JP3828713B2 - 粘性材料塗布方法及び装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、接着剤やクリーム半田や導電ペーストなどの粘性材料を回路基板等の被塗布物上にスクリーンマスクを介して所定パターンで塗布する粘性材料塗布方法及び装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の粘性材料塗布装置として、図12(a)〜(e)に示すように、接着剤やクリーム半田などの粘性材料4をスクリーンマスク53を介して被塗布物50である回路基板等のランド51上に塗布するスクリーン印刷装置が一般的に知られている。
【0003】
スクリーンマスク53は被塗布物50のランド51に対応する所定パターンで配置された貫通穴からなる開口52を有しており、(a)、(b)に示すように、このスクリーンマスク53に対して図示しないテーブル部により被塗布物50を位置決めして接触させる。次に、(c)に示すように、スクリーンマスク53の一端に供給した粘性材料4をスキージ54により所定方向に移動させることにより、開口52内に粘性材料4を充填する。次に、(d)に示すように、被塗布物50をスクリーンマスク53から離すことにより、(e)に示すように、開口52内の粘性材料4を被塗布物50のランド51上に転写させ、粘性材料4を被塗布物50のランド51上に塗布している。
【0004】
また、本発明者は特願平10−232164号において、スクリーンマスク上を移動自在な充填ユニットに、印刷ペーストを大気から遮断する密閉構造を有し、スクリーンマスクに臨んで吐出口が形成され、印刷ペーストが充満されるチャンバと、チャンバ内の印刷ペーストを加圧して吐出口から押し出す加圧手段と、充填ユニット移動方向前後に、スクリーンマスクに押し付けられて摺動する一対の掻き取りブレードと、加圧手段の一部を構成し着脱自在に装着できるペーストタンクと、吐出口を開閉自在なシャッタ機構を設けた密閉タイプのスキージを提案している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記従来の粘性材料塗布装置では、スクリーンマスク53上をスキージ54を移動させて粘性材料4を開口52に充填する方式であるため、また粘性材料4が常時空気に触れているため、粘性材料4の状態が変化し易く、安定した塗布ができなくなる恐れがあるという問題があり、またスキージ54からはみ出した粘性材料4をスキージ54内に掻き寄せなくてはならないという問題があった。
【0006】
また、適正な塗布状態を得るために多くのノウハウがあって、熟練した技術者が必要であり、特に近年の開口52のファインピッチ化に対処し、かつ高速化の要請も満足しながら適正に塗布するのは一層困難であるため、ますますノウハウと熟練を要するという問題があった。
【0007】
一方、上記特願平10−232164号の構成では、粘性材料4を掻き寄せる必要がなく、また粘性材料4が空気に触れず状態が変化することも抑制できるが、吐出口に向けて粘性材料を供給する手段と吐出圧を付与する手段が共用されているので、粘性抵抗などによって吐出圧を高精度に制御するのが困難でかつ応答性も悪いため、ファインピッチ化や高速化に対応できないという問題があった。特にクリーム半田のような高粘性の粘性材料においては供給手段とチャンバが連通している箇所近傍では圧力が伝わり易く吐出圧が高くなり、そのばらつきはさらに顕著になるという問題がある。
【0008】
そこで、吐出口に連通する貯留室を設け、この貯留室に吐出圧を付与する手段を設けるとともに貯留室に粘性材料を供給する手段を設けることが考えられるが、その場合、貯留室内の粘性材料が減って吐出圧を付与できなくなると、貯留空間内に粘性材料を供給する工程が必要となり、その間塗布動作が中断しなければならず、生産性が低下するという問題がある。さらに、供給手段から貯留室へ粘性材料を押し出すことによって粘性材料を貯留室へ供給する際に、貯留室に発生した圧力が残り(残圧)、吐出圧を高精度に制御することが困難になるという問題がある。
【0009】
本発明は、上記問題点に鑑み、粘性材料が常時空気に触れるのを防止して安定して塗布することができ、また動作時に粘性材料がはみ出すことがなく、しかもそのために吐出口に連通するように設けた粘性材料の貯留室に粘性材料が絶えず補給されるようにし、また貯留室に粘性材料を供給する時間を短縮するように高い圧力で供給しても吐出制御に影響を与えないようにし、また1回の粘性材料の供給による吐出量を増やすことができる粘性材料塗布方法及び装置を提供することを目的としている。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明の粘性材料塗布方法は、粘性材料の貯留室を有し、貯留室に連通して粘性材料の吐出口が設けられ、貯留室に粘性材料を供給する粘性材料供給手段が連結され、貯留室内の粘性材料に吐出圧を付与する吐出圧調整手段が設けられ、貯留室の下部に弾性を有する薄板からなる2枚のブレードが下方に向けて互いに接近してその先端に吐出口を設けた塗布ユニットを用い、被塗布物に対応した開口を有するスクリーンマスク又は被塗布物自体と塗布ユニットの吐出口とを接触させ、貯留室の粘性材料に吐出圧を付与しながら塗布ユニットとスクリーンマスク又は塗布ユニットと被塗布物を相対移動させ、被塗布物に粘性材料を塗布する粘性材料塗布方法であって、吐出口をスクリーンマスク又は被塗布物に押し付けた状態で貯留室内に粘性材料を加圧供給し、供給終了後、前記加圧供給により生じた貯留室内の残圧を除去してから前記粘性材料を塗布するものであり、貯留室内に粘性材料を貯留しているので、粘性材料が常時空気に触れることがなく、粘性材料の変質を防いで安定して塗布することができ、かつ貯留室に粘性材料を供給する時間を短縮するように高い圧力で供給しても吐出制御に影響を与えず、塗布品質に影響を与えずに粘性材料の供給時間を短縮して生産性を高くできる
【0012】
上記残圧除去に際して、貯留室の容積を変えると、簡単にかつ瞬時に残圧を除去することができる
【0013】
また、吐出圧調整手段の構成要素として貯留室内に臨んで配設された膨張収縮可能な袋部を用い、前記貯留室内への粘性材料の供給は前記袋部をエアで膨らませた状態で行い、前記粘性材料の供給終了後に前記袋部のエアを排出することにより、前記袋部の容積を変えて残圧を除去すると残圧を確実に除去でき、さらにこうして前記袋部の容積を変えて残圧を除去した後に、前記塗布ユニットの高さを下降させ、前記袋部を完全にしぼませてから前記粘性材料を塗布するのが好適である。
【0014】
また、吐出圧調整手段の構成要素として貯留室内に臨んで配設された膨張収縮可能な袋部を用い、前記貯留室内への粘性材料の供給は前記袋部にエアを供給せず、収縮自在な状態で前記袋部がしぼむまで行い、前記粘性材料の供給終了後に前記塗布ユニットを前記吐出口が前記スクリーンマスク又は前記被塗布物に当接する高さまで上昇させることにより残圧を除去すると、貯留室への粘性材料の供給量が増加して、粘性材料の吐出量を増やすことができる。
【0015】
また、残圧を除去した後、吐出圧調整手段にて付与する吐出圧より小さい圧力で、粘性材料供給手段にて貯留室内に粘性材料を常時補給しながら前記粘性材料を塗布すると、最初に貯留室に粘性材料を満たした後、吐出圧の制御に影響を与えて塗布品質を悪化するようなことなく、塗布中に常時粘性材料が補給されるので、連続して生産することができ、生産性を向上することができる。
【0016】
また、本発明の粘性材料塗布装置は、粘性材料の貯留室と、貯留室に連通して設けられた粘性材料の吐出口と、貯留室内の粘性材料に吐出圧を付与する吐出圧調整手段とが設けられ、貯留室に粘性材料を供給する粘性材料供給手段が連結され、貯留室の下部に弾性を有する薄板からなる2枚のブレードが下方に向けて互いに接近してその先端に吐出口を設けた塗布ユニットを備え、被塗布物に対応した開口を有するスクリーンマスク又は被塗布物自体と塗布ユニットの吐出口とを接触させ、貯留室の粘性材料に吐出圧を付与しながら塗布ユニットとスクリーンマスク又は塗布ユニットと被塗布物を相対移動させ、被塗布物に粘性材料を塗布する粘性材料塗布装置であって、貯留室内に粘性材料を加圧供給した後、前記加圧供給により生じた貯留室内の残圧を除去する手段を設けたものであり、上記のように貯留室に粘性材料を供給する時間を短縮するように高い圧力で供給しても吐出制御に影響を与えず、塗布品質に影響を与えずに粘性材料の供給時間を短縮して生産性を高くできる
【0018】
また、残圧を除去する手段を、貯留室内の容積を変化させる手段とすると、簡単にかつ瞬時に残圧を除去することができて好適である。
【0019】
また、前記残圧除去手段は、吐出圧調整手段の構成要素として貯留室内に臨んで配設された膨張収縮可能な袋部を用い、前記貯留室内への粘性材料の供給は前記袋部をエアで膨らませた状態で行い、前記粘性材料の供給終了後に前記袋部のエアを排出することにより、前記袋部の容積を変えて残圧を除去すると残圧を確実に除去でき、さらにこうして前記袋部の容積を変えて残圧を除去した後に、前記塗布ユニットの高さを下降させ、前記袋部を完全にしぼませてから前記粘性材料を塗布するのが好適である。
【0020】
また、前記残圧除去手段は、吐出圧調整手段の構成要素として貯留室内に臨んで配設された膨張収縮可能な袋部を用い、前記貯留室内への粘性材料の供給は前記袋部にエアを供給せず、収縮自在な状態で前記袋部がしぼむまで行い、前記粘性材料の供給終了後に前記塗布ユニットを前記吐出口が前記スクリーンマスク又は前記被塗布物に当接する高さまで上昇させることにより残圧を除去すると、貯留室への粘性材料の供給量が増加して、粘性材料の吐出量を増やすことができる。
【0021】
また、吐出圧調整手段にて付与する吐出圧より小さい圧力で、粘性材料供給手段にて貯留室内に粘性材料を常時補給しながら前記粘性材料を塗布すると、塗布中に常時粘性材料が補給されるので、連続して生産することができ、生産性を向上することができる。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態の粘性材料塗布装置について、図1〜図7を参照して説明する。
【0023】
本実施形態の粘性材料塗布装置における塗布ヘッドは、図1に示すように、材料供給部1、エア供給部2、塗布ユニット3から主構成されている。材料供給部1は、接着剤やクリーム半田等の粘性材料4がシリンジ状の収納タンク1bに収容されており、材料供給用の圧縮エアによってプランジャ1aが作動して粘性材料4が加圧され、塗布ユニット3における粘性材料4の貯留室であるチャンバ3a内に粘性材料4が充満するように圧送される。
【0024】
塗布ユニット3のチャンバ3aと材料供給部1とはジョイント5によって連結されており、ジョイント5に設けられた供給通路5aを通過して粘性材料4がチャンバ3a内に供給される。
【0025】
チャンバ3aの下部両側には、弾性を有する薄板からなる2枚のブレード6が、下方に向けて互いに接近してその先端間に10mm程度の間隔があくようにブレード押え7によって取付けられており、2枚のブレード6間の開口により、粘性材料4を吐出する吐出口8が形成されている。ブレード6は、例えば0.1〜0.5mm程度の銅やステンレスや樹脂などの薄板にて構成されるが、特にポリイミドやポリアミド・イミド等の樹脂材料が好適である。
【0026】
2枚のブレード6の両端にはストッパ9が配置されており、粘性材料4がチャンバ3aから漏れるのを防いでおり、粘性材料4にかかる圧力によりストッパ9が外れないようにジョイント5により押さえられている。
【0027】
チャンバ3aの吐出口8とは反対側、即ちチャンバ3aの上部には、吐出口8と対向させて、チャンバ3a内に一部が臨むように、くぼみを有したシートからなる袋10がチャンバ3aの長手方向に沿ってほぼ全長にわたって配設されており、チャンバ3aとその上部を閉鎖するプレート3bとにより挟み込まれて固定されている。袋10はエア供給部2からエアポート2aを介してエアが供給及び排出されることにより、内部容積が増減するように構成されている。袋10は、厚みが0.03から1mm程度のウレタンエラストマーやポリエチレンやナイロン等の樹脂材にて構成され、より好ましい厚みは0.3から0.5mm程度である。ここで、袋10の厚みは、供給されるエアの圧力にもよるが、薄すぎると破れる恐れがあり、また厚すぎると膨張収縮の応答性が悪くなる恐れがある。
【0028】
チャンバ3a内に粘性材料を供給した後、袋10にエアを供給すると、粘性材料4を所定の圧力で押すことができ、粘性材料4の塗布時の吐出圧を付与することができ、袋10からエアを排出すると、瞬時に吐出圧を解除することができる。
【0029】
袋10のチャンバ3aとプレート3bとで挟まれて固定されている部分において、袋10の下面にエアを抜くためのエア抜きシート11が配置されており、材料供給部1からチャンバ3a内に最初に粘性材料4が供給される際に、チャンバ3a内のエアがエア抜きシート11から抜けるようになっている。
【0030】
チャンバ3aの中央は、袋10が配設されず、この部分にチャンバ3a内の粘性材料4の圧力を検出するために圧力検出手段12が設けられている。
【0031】
次に、図2を参照して粘性材料4を塗布ユニット3のチャンバ(貯留室)内に供給する2つの方法における、粘性材料4を供給する時及び被塗布物50に塗布する時のチャンバ3a内の圧力の変化について説明する。
【0032】
図2において、(a)は第1の供給方法における圧力変化を示し、(b)は第2の供給方法における圧力変化を示している。
【0033】
第1の供給方法を示す図2(a)において、初めはチャンバ3a内に粘性材料4は無いので、検出圧力は0であるが、材料供給部1からチャンバ3a内に粘性材料4を供給して行くと、徐々に圧力が高くなって行く。ここで、材料供給部1による供給時のチャンバ3a内の供給圧13を一点鎖線で示す。チャンバ3a内に粘性材料4が十分供給された時の圧力をP1とし、予め粘性材料塗布装置の制御部に登録しておくと、圧力検出手段12で検出する圧力がP1以上になると、チャンバ3a内に粘性材料4が十分に供給されたことになるので、供給を停止する。
【0034】
次に、被塗布物50に粘性材料4を塗布する時は、エア供給部2により袋10を加圧して、チャンバ3a内の粘性材料4の圧力を、塗布に必要な圧力P2以上のP3にする。ここで、塗布時のチャンバ3a内の吐出圧14を実線で示す。
【0035】
次に、塗布を繰り返しいくと、チャンバ3a内の粘性材料4が少なくなるため、吐出圧14が塗布に必要な圧力P2以下になってしまい、ここで再度粘性材料4をチャンバ3a内に供給する必要があり、供給し終わった後は、同様に塗布を行うことができる。
【0036】
しかしながら、粘性材料4を供給している時のチャンバ3a内の圧力P1は、短時間で供給を終了するために塗布時の圧力P3より大きく設定されているので、粘性材料4を供給している時は塗布動作は停止する必要がある。
【0037】
そこで、第2の供給方法を示す図2(b)においては、初めはチャンバ3a内が空なので、同様に粘性材料4を圧力P1まで供給するが、その後は塗布時の圧力P3より小さい圧力P4の供給圧13aで、例えば吐出圧P3は通常0.2〜0.3kgf/cm2 であるので、その約半分に当たる0.1〜0.15kgf/cm2 で、粘性材料4をチャンバ3a内に常時供給している。このような供給方法を採用することにより、供給のために塗布動作を停止することなく、連続して塗布を行うことができる。
【0038】
ここで、供給圧13a(P4)は、スクリーンマスク53を下面からサポートしなくても吐出口8から粘性材料4が漏れない範囲で、できるだけ高い圧力に設定される。しかし、粘性材料4の特性によってはそのような圧力では供給し難いものもあるが、その場合にはスクリーンマスク53がサポートされている間に圧力P4をかけるようにしてもよい。
【0039】
また、チャンバ3a内への供給圧力は、粘性材料4がジョイント5を介してチャンバ3a内に入り込んだ場所、つまり本実施形態のチャンバ3aであればその両端部での圧力である必要がある。即ち、両端部の圧力が吐出圧以上になると、チャンバ3aの長手方向で圧力ばらつきが生じてしまうためである。
【0040】
各圧力P1〜P4は、粘性材料4の特性や生産性によるところが大きいが、例えば(P1=0.1MPa)>(P3=0.03MPa)>(P2=0.025MPa)>(P4=0.01MPa)という関係にされる。
【0041】
次に、チャンバ3a内への粘性材料4の供給時、及びその後の塗布時の塗布ユニット3の動作について、図3〜図7を参照して説明する。
【0042】
図3に示すように、塗布ユニット3はブラケット15を介してガイド16にて上下移動自在に支持され、送りねじ機構17とモータ18にて上下駆動可能に構成され、上下方向の任意の位置に位置決め可能である。ここで、スクリーンマスク53に吐出口8を当接させている時の塗布ユニット3の高さをZとする。
【0043】
図4は、供給時と塗布時の第1の動作態様を示す。チャンバ3a内に粘性材料4を供給する時や塗布を行う時以外は、図3に示したように吐出口8をスクリーンマスク53に当接させて塗布ユニット3の高さをZとしているが、チヤンバ3a内に粘性材料4を供給するときは、図4(a)に示すように、スクリーンマスク53に対して吐出口8を押し付け、塗布ユニット3の高さをZ−αとする。また、供給時には袋10にエアを供給して袋10を膨らませておく。塗布ユニット3の高さは、ブレード6が撓むことで吐出口8が弾性変形可能であることで変更可能であり、またブレード6とスクリーンマスク53は常に接触しているのでチャンバ3a内の粘性材料4が漏れることはない。粘性材料4の供給が終了すると、袋10のエアを排出する。これによって、粘性材料4の供給によるチャンバ3a内の残圧が吸収され、図2で示したように、供給直後にチャンバ3a内の圧力を瞬時にほぼ0にすることができ、残圧によって塗布時の吐出圧がばらつき、塗布品質が低下するのを防止できる。この供給終了後、塗布ユニット3はスクリーンマスク53に吐出口8が当接する高さZまで上昇させるが、そのままの位置から次の塗布動作に入る場合もある。
【0044】
次に、塗布を行うときは、図4(b)に示すように、再度吐出口8をスクリーンマスク53に押し付け、塗布ユニット3の高さをZ−αにする。ここで、チャンバ3a内の残圧が除去されており、かつ袋10内のエアが排出されて自在に収縮するため、この状態で粘性材料4に圧力がかかることはなく、その後のフクロ10へのエア圧のみで吐出圧を高精度に制御することができ、品質の高い塗布状態が得られる。
【0045】
しかし、この動作態様では、粘性材料4の供給・塗布は図4(a)と(b)の状態で袋10が増減する容積に応じた量しかできず、1回の供給による吐出量が少ない。
【0046】
次に、より多くの被塗布物50への塗布ができるように吐出量を増やすことができる第2、第3の動作態様を、図5、図6を参照して説明する。
【0047】
図5は供給時と塗布時の第2の動作態様を示す。図5(a)は塗布ユニット3に粘性材料4を供給する状態で、塗布ユニット3の高さをZ−αとし、袋10にエアを供給して膨らませた状態で供給する。供給終了後には袋10のエアを排出し、図5(b)に示すように、袋10の収縮によって残圧を除去する。しかし、この状態でも、袋10は完全にしぼんではいないので、塗布時には、図5(c)に示すように、塗布ユニット3の高さをZ−β(β>α)とすることによって、袋10を完全にしぼませる。これによって、袋10が膨らみきるまで、粘性材料4に吐出圧をかけることができ、吐出量を増やしてより多くの被塗布物50への塗布を行うことができる。
【0048】
図6は供給時と塗布時の第3の動作態様を示す。図6(a)は塗布ユニット3に粘性材料4を供給する状態で、塗布ユニット3の高さをZ−γとし、袋10にエアを供給せず、収縮自在な状態で、袋10がしぼんでしまうまで供給する。次に、供給終了後に塗布ユニット3を、吐出口8がスクリーンマスク53に当接する高さZまで上昇することによってチャンバ3a内の容積が増加して残圧が除去される。次に、塗布時には、図6(c)に示すように、塗布ユニット3の高さをZ−δとして吐出口8をスクリーンマスク53に所定量押し付ける。この押し付け量δは、塗布時の吐出圧がチャンバ3a内に作用しても粘性材料4が漏れない量であり、かつその状態で残圧が0となるように袋10内に多少の余裕空間が残っている必要があり、それだけの量がチュンバ3a内に粘性材料4が供給されるように、図6(a)における塗布ユニット3の高さZ−γ、すなわちγが設定される。この動作態様においても、図6(c)に示す状態から袋10が膨らみきるまで、粘性材料4に吐出圧をかけることができ、吐出量を増やしてより多くの被塗布物50への塗布を行うことができる。
【0049】
以上の実施形態の説明では、粘性材料4に吐出圧をかけたり、チャンバ3a内の残圧を除去したり、粘性材料4の吐出量を多くするための手段として、袋10を用いた例を示したが、図7に示すようなシリンダ19や図示しないモータ等の駆動手段を用いてチャンバ3a内に物体20を侵入・退出させるようにしてもよい。
【0050】
また、塗布ユニット3の上下位置決め手段として、モータ18を用いた例を示したが、シリンダとストッパの組合せによって、上下位置を選択して位置決めできるようにしてもよい。
【0051】
次に、本発明の粘性材料塗布装置の他の実施形態について、図8〜図10を参照して説明する。図8に示すように、本実施形態では、塗布ユニット3のチャンバ3a内に臨むように、2つの袋10a、10bを内外二重に配設し、粘性材料4をチャンバ3a内に供給する時と粘性材料4に吐出圧をかける時で、袋10a、10bを使い分けるように構成している。
【0052】
すなわち、粘性材料4をチャンバ3a内に供給するときには、図9(a)に示すように、袋10aを膨らませておき、袋10bは収縮自在な状態としておき、粘性材料4の供給が終了すると、袋10aをしぼませることによって残圧を除去する。粘性材料4に吐出圧をかけて塗布を行う時は、図9(b)に示すように、袋10bを膨らませ、吐出口8から粘性材料4を塗布する。いずれの場合も、図4の場合と同様にスクリーンマスク53に対する塗布ユニット3の高さ位置は一定であるが、吐出用の袋10bがしぼんだ状態から使用できるので、粘性材料4を塗布する回数は、図5、図6の場合と同様に多くすることができる。
【0053】
なお、袋10a、10bは、図10(a)に示すように、並列して配設してもよい。また、図10(b)に示すように、袋10a、10bに代えて、シリンダ19a、19bや図示しないモータ等にてチャンバ3a内に侵入・退出可能な物体20a、20bを用いてチャンバ3a内の容積を変化させるようにしても同様の効果を得ることができる。また、図8〜図10では、2つの袋10a、10bや物体20a、20bを用いた例を示したが、3個以上用いることもできる。
【0054】
また、複数の袋やシリンダ等はエア供給部2を各々別のものとして独立して制御してもよいが、粘性材料4を供給する時と塗布する時は別々であるので、途中のエア経路を切り換えるようにして1つのエア供給部2を共用して使用する方が好適である。
【0055】
また、以上の実施形態では、スクリーンマスク53は移動させずに塗布ユニット3側を移動させる例についてのみ説明したが、逆に塗布ユニット3は移動させずに、スクリーンマスク53や被塗布物50を移動させるように構成しても、同様に作用してその効果を奏することができる。
【0056】
また、以上の実施形態では、図11(a)に示すように、スクリーンマスク53の下面に被塗布物50を配置し、塗布ユニット3から吐出した粘性材料4をスクリーンマスク53の開口52を通して被塗布物50のランド51上に塗布して印刷する例を示したが、本発明は、図11(b)に示すように、被塗布物50に形成されている凹部又は貫通穴内に粘性材料4を充填塗布する場合にも適用でき、この場合も同様の効果を奏することができる。
【0057】
【発明の効果】
本発明の粘性材料塗布方法及び装置によれば、以上の説明から明らかなように、貯留室内に粘性材料を貯留しているので、粘性材料が常時空気に触れることがなく、粘性材料の変質を防いで安定して塗布することができ、かつ貯留室に粘性材料を供給する時間を短縮するように高い圧力で供給しても供給終了後貯留室内の残圧を確実に除去することで、吐出制御に影響を与えず、塗布品質に影響を与えずに粘性材料の供給時間を短縮して生産性を高くできる
【0058】
また、吐出圧調整手段にて付与する吐出圧より小さい圧力で、粘性材料供給手段にて貯留室内に粘性材料を常時補給するようにしているので、吐出圧の制御に影響を与えずに、常時粘性材料が補給されるので、塗布品質を悪化することなく生産性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の粘性材料塗布装置の一実施形態における塗布ヘッドの構成を示し、(a)は縦断正面図、(b)は縦断側面図である。
【図2】同実施形態における貯留室への粘性材料の2つの供給方法における貯留室内の圧力変化を示すグラフである。
【図3】同実施形態における塗布ユニットの上下位置決め手段の構成図である。
【図4】同実施形態における粘性材料の供給時と塗布時の状態を示す要部の縦断側面図である。
【図5】同実施形態において粘性材料の吐出量を増やす方法を実施する際の粘性材料の供給時と残圧除去時と塗布時の状態を示す要部の縦断側面図である。
【図6】同実施形態において粘性材料の吐出量を増やす他の方法を実施する際の粘性材料の供給時と残圧除去時と塗布時の状態を示す要部の縦断側面図である。
【図7】同実施形態において他の吐出圧調整手段を適用した例を示す要部の縦断側面図である。
【図8】本発明の粘性材料塗布装置の他の実施形態における塗布ユニットの要部構成を示す縦断側面図である。
【図9】同実施形態における粘性材料の供給時と塗布時の状態を示す要部の縦断側面図である。
【図10】同実施形態における塗布ユニットの変形例の構成を示す縦断側面図である。
【図11】本発明の格実施形態の他の適用例の説明図である。
【図12】従来例のスクリーン印刷方式の説明図である。
【符号の説明】
1 材料供給部(粘性材料供給手段)
2 エア供給部(吐出圧調整手段)
3 塗布ユニット
3a チャンバ(貯留室)
4 粘性材料
8 吐出口
10、10a、10b 袋(吐出圧調整手段)
19、19a、19b シリンダ
20、20a、20b 物体
53 スクリーンマスク

Claims (12)

  1. 粘性材料の貯留室を有し、貯留室に連通して粘性材料の吐出口が設けられ、貯留室に粘性材料を供給する粘性材料供給手段が連結され、貯留室内の粘性材料に吐出圧を付与する吐出圧調整手段が設けられ、貯留室の下部に弾性を有する薄板からなる2枚のブレードが下方に向けて互いに接近してその先端に吐出口を設けた塗布ユニットを用い、被塗布物に対応した開口を有するスクリーンマスク又は被塗布物自体と塗布ユニットの吐出口とを接触させ、貯留室の粘性材料に吐出圧を付与しながら塗布ユニットとスクリーンマスク又は塗布ユニットと被塗布物を相対移動させ、被塗布物に粘性材料を塗布する粘性材料塗布方法であって、吐出口をスクリーンマスク又は被塗布物に押し付けた状態で貯留室内に粘性材料を加圧供給し、供給終了後、前記加圧供給により生じた貯留室内の残圧を除去してから前記粘性材料を塗布することを特徴とする粘性材料塗布方法。
  2. 貯留室の容積を変えて残圧を除去することを特徴とする請求項記載の粘性材料塗布方法。
  3. 吐出圧調整手段の構成要素として貯留室内に臨んで配設された膨張収縮可能な袋部を用い、前記貯留室内への粘性材料の供給は前記袋部をエアで膨らませた状態で行い、前記粘性材料の供給終了後に前記袋部のエアを排出することにより、前記袋部の容積を変えて残圧を除去することを特徴とする請求項記載の粘性材料塗布方法。
  4. 前記袋部の容積を変えて残圧を除去した後に、前記塗布ユニットの高さを下降させ、前記袋部を完全にしぼませてから前記粘性材料を塗布することを特徴とする請求項3記載の粘性材料塗布方法。
  5. 吐出圧調整手段の構成要素として貯留室内に臨んで配設された膨張収縮可能な袋部を用い、前記貯留室内への粘性材料の供給は前記袋部にエアを供給せず、収縮自在な状態で前記袋部がしぼむまで行い、前記粘性材料の供給終了後に前記塗布ユニットを前記吐出口が前記スクリーンマスク又は前記被塗布物に当接する高さまで上昇させることにより残圧を除去することを特徴とする請求項2記載の粘性材料塗布方法。
  6. 残圧を除去した後、吐出圧調整手段にて付与する吐出圧より小さい圧力で、粘性材料供給手段にて貯留室内に粘性材料を常時補給しながら前記粘性材料を塗布することを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載の粘性材料塗布方法。
  7. 粘性材料の貯留室と、貯留室に連通して設けられた粘性材料の吐出口と、貯留室内の粘性材料に吐出圧を付与する吐出圧調整手段とが設けられ、貯留室に粘性材料を供給する粘性材料供給手段が連結され、貯留室の下部に弾性を有する薄板からなる2枚のブレードが下方に向けて互いに接近してその先端に吐出口を設けた塗布ユニットを備え、被塗布物に対応した開口を有するスクリーンマスク又は被塗布物自体と塗布ユニットの弾性変形可能な吐出口とを接触させ、貯留室の粘性材料に吐出圧を付与しながら塗布ユニットとスクリーンマスク又は塗布ユニットと被塗布物を相対移動させ、被塗布物に粘性材料を塗布する粘性材料塗布装置であって、貯留室内に粘性材料を加圧供給した後、前記加圧供給により生じた貯留室内の残圧を除去する手段を設けたことを特徴とする粘性材料塗布装置。
  8. 残圧を除去する手段は、貯留室内の容積を変化させる手段であることを特徴とする請求項記載の粘性材料塗布装置。
  9. 前記残圧除去手段は、吐出圧調整手段の構成要素として貯留室内に臨んで配設された膨張収縮可能な袋部を用い、前記貯留室内への粘性材料の供給は前記袋部をエアで膨らませた状態で行い、前記粘性材料の供給終了後に前記袋部のエアを排出することにより、前記袋部の容積を変えて残圧を除去することを特徴とする請求項8記載の粘性材料塗布装置。
  10. 前記袋部の容積を変えて残圧を除去した後に、前記塗布ユニットの高さを下降させ、前記袋部を完全にしぼませてから前記粘性材料を塗布することを特徴とする請求項9記載の粘性材料塗布装置。
  11. 前記残圧除去手段は、吐出圧調整手段の構成要素として貯留室内に臨んで配設された膨張収縮可能な袋部を用い、前記貯留室内への粘性材料の供給は前記袋 部にエアを供給せず、収縮自在な状態で前記袋部がしぼむまで行い、前記粘性材料の供給終了後に前記塗布ユニットを前記吐出口が前記スクリーンマスク又は前記被塗布物に当接する高さまで上昇させることにより残圧を除去することを特徴とする請求項8記載の粘性材料塗布装置。
  12. 吐出圧調整手段にて付与する吐出圧より小さい圧力で、粘性材料供給手段にて貯留室内に粘性材料を常時補給しながら前記粘性材料を塗布することを特徴とする請求項7〜11の何れかに記載の粘性材料塗布装置。
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