JP6808304B1

JP6808304B1 - 塗布装置

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Publication number: JP6808304B1
Application number: JP2020003532A
Authority: JP
Inventors: 西尾　勤; 勤西尾
Original assignee: Chugai Ro Co Ltd
Current assignee: Chugai Ro Co Ltd
Priority date: 2020-01-14
Filing date: 2020-01-14
Publication date: 2021-01-06
Anticipated expiration: 2040-01-14
Also published as: TW202126391A; CN113117970B; KR20210091648A; TWI756842B; JP2021109156A; KR102413491B1; CN113117970A

Abstract

【課題】被塗布体の上において塗布用ノズルを被塗布体と相対的に移動させ、塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口から被塗布体の表面に、塗液を厚みムラ等が生じないようにして、均一な厚みに塗布できるようにする。【解決手段】被塗布体Wの上において塗布用ノズル10を被塗布体と相対的に移動させ、塗布用ノズルの塗液収容部11内における塗液をスリット状吐出口11から被塗布体の表面に塗液Pを塗布するにあたり、塗液供給装置20と塗布用ノズルとの間に塗液収容部への塗液の供給と停止とを制御する制御手段22と、塗液収容部内における塗液をスリット状吐出口から被塗布体の表面に塗布する塗液の塗布幅を調整する塗布幅調整手段13,13と、塗液収容部内に一定の圧力で気体を供給して塗液収容部内に貯えた塗液を吐出させる気体供給手段30とを設けた。【選択図】図３

Description

本発明は、塗液収容部内における塗液を吐出させるスリット状吐出口が先端部に設けられた塗布用ノズルを被塗布体の上に配置し、この塗布用ノズルの内部における塗液収容部内に塗液供給装置から塗液を供給し、前記の被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させて、塗液収容部内における塗液を、前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布する塗布装置に関するものである。特に、前記のように被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させて、塗布用ノズルに設けたスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗液を塗布させながら、被塗布体の表面に塗布させる塗液の幅を変更させるようにし、被塗布体の表面に塗液を円形状等の各種の形状になるように塗布する場合において、塗布された塗液の厚みにムラ等が生じないように塗布できるようにした点に特徴を有するものである。

従来から、塗液収容部内における塗液を吐出させるスリット状吐出口が先端部に設けられた塗布用ノズルを被塗布体の上に設け、この塗布用ノズルの内部における塗液収容部内に塗液供給装置から塗液供給パイプを通して塗液を供給し、前記の被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させて、塗液収容部内における塗液を、前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布するようにした塗布装置が広く利用されている。

そして、近年においては、特許文献１〜４等に示されるように、前記のような塗布装置において、塗布用ノズルにおける塗液収容部内に収容させた塗液を、塗布用ノズルの先端に設けたスリット状吐出口から被塗布体の表面に塗布させるにあたり、被塗布体の表面に塗液を塗布させながら、塗布させる塗液の幅を変更させて、ウエハー等の被塗布体の表面に塗液を円形状等の各種の形状になるように塗布することが提案されている。

ここで、前記のように塗布用ノズルの内部における塗液収容部内に塗液供給装置から塗液供給パイプを通して塗液を供給し、スリット状吐出口から被塗布体の表面に塗布させるにあたり、被塗布体の表面に塗液を塗布させながら、塗布させる塗液の幅を変更させる場合、塗液供給装置から塗液を塗液供給パイプに供給する圧力が一定であっても、塗液供給装置から塗液供給管を通して塗液を塗液収容部に供給する際に配管圧損（圧力損失）が発生し、塗液の幅を変更してスリット状吐出口から吐出される塗液の量の変化に対応して、この配管圧損が変化するため、塗布させる塗液の幅が広い部分においては、被塗布体の表面における塗液の膜厚が薄くなる一方、塗布させる塗液の幅が狭い部分においては、被塗布体の表面における塗液の膜厚が厚くなり、一つの被塗布体の表面に塗液を一定の膜厚で塗布することが困難になるという問題があった。

このため、特許文献３や特許文献４のものにおいては、塗液供給装置から塗液供給管を通して塗液を塗液収容部内に供給させるにあたり、塗液供給管を通して塗液収容部内に供給させる塗液の圧力を調整して、この塗液収容部内における塗液の液圧が一定になるように塗液を供給し、被塗布体の表面に塗布させる塗液の幅が変化した場合においても、塗液が被塗布体の表面に一定した膜厚で塗布させるようにすることを示している。

しかし、このように塗液供給装置から塗液供給管を通して塗液収容部内に供給させる塗液の圧力を調整して、この塗液収容部内における塗液の液圧が一定になるように塗液を塗液収容部内に供給させるようにした場合、構造が複雑になって制御が非常に面倒であり、塗液収容部内における塗液の液圧が一定になるように調整して、被塗布体の表面に塗液を一定した膜厚で塗布させることが困難であるという問題があった。

特開２０１４−２２５４５号公報特開２０１２−１２０９３８号公報特許第４０４０１４４号公報特開２０１８−６９２３０号公報

本発明は、塗液収容部内における塗液を吐出させるスリット状吐出口が先端部に設けられた塗布用ノズルを被塗布体の上に配置し、この塗布用ノズルの内部における塗液収容部内に塗液供給装置から塗液を供給し、前記の被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させて、塗液収容部内における塗液を、前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布するようにした塗布装置における前記のような問題を解決することを課題とするものである。

すなわち、本発明においては、前記のように被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させて被塗布体の表面に塗液を塗布させるにあたり、塗布用ノズルに設けたスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗液を塗布させながら、塗布させる塗液の幅を変更させて、被塗布体の表面に塗液を円形状等の各種の形状になるように塗布するにあたり、被塗布体の表面に塗布された塗液の厚みにムラ等が生じないように塗布できるようにすることを課題とするものである。

本発明に係る塗布装置においては、前記のような課題を解決するため、塗液収容部内における塗液を吐出させるスリット状吐出口が先端部に設けられた塗布用ノズルを被塗布体の上に配置し、この塗布用ノズルの内部における塗液収容部内に塗液供給装置から塗液を供給し、前記の被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させて、塗液収容部内における塗液を、前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布する塗布装置において、前記の塗液供給装置と塗布用ノズルとの間に塗液収容部への塗液の供給と停止とを制御する制御手段と、前記の塗液収容部内における塗液を前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布する塗液の塗布幅を調整する塗布幅調整手段と、前記の塗液収容部内に一定の圧力で気体を供給して塗液収容部内の塗液を吐出させる気体供給手段とを設けた。

そして、本発明に係る塗布装置においては、前記のように被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させて、塗液収容部内における塗液を、前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布するにあたり、前記の塗液供給装置から前記の制御手段により塗布用ノズルにおける塗液収容部内に塗液を供給させて、塗液収容部への塗液の供給を停止させ、この状態で、前記の気体供給手段から塗液収容部内に一定の圧力で気体を供給して、塗液収容部内に貯えた塗液を吐出させると共に、前記の塗布幅調整手段により、塗液収容部内に貯えた塗液を前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布する塗液の塗布幅を調整させるようにする。

また、前記のように塗液供給装置から塗液収容部内に供給させた塗液が減少した場合には、再度このような操作を行い、気体供給手段から塗液収容部内に一定の圧力で気体を供給して塗液収容部内に貯えた塗液を吐出させると共に、塗布幅調整手段により、塗液収容部内に貯えた塗液を前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布する塗液の塗布幅を調整させるようにする。

ここで、本発明に係る塗布装置のように、塗液供給装置から前記の制御手段により塗布用ノズルにおける塗液収容部内に塗液を供給させて、塗液収容部への塗液の供給を停止させ、この状態で、塗布幅調整手段により、塗液収容部内に貯えた塗液を前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布する塗液の塗布幅を調整させるにあたり、気体供給手段から塗液収容部内に一定の圧力で気体を供給して塗液収容部内に貯えた塗液を吐出させるようにすると、塗液の吐出に塗液供給管が無縁となり、従来のように、塗液供給装置から塗液供給管を通して塗液収容部内に供給させる塗液の圧力を調整して、この塗液収容部内に貯えた塗液の液圧を調整する場合のように、塗液供給装置から塗液供給管を通して塗液を塗液収容部に供給する際に配管圧損が発生することがなくなる。

そして、本発明に係る塗布装置において、前記のように気体供給手段から塗液収容部内に一定の圧力で気体を供給して、塗液収容部内における圧力が一定になるようにすると、塗液収容部内における塗液を前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗液を塗布させながら、塗液の塗布幅を変更させた場合であっても、塗液収容部内における塗液の液圧が一定になり、塗布された塗液に厚みにムラ等が生じないようにして、被塗布体の表面に塗液を均一な厚みになるように塗布することができる。

また、本発明に係る塗布装置において、塗液供給装置から塗液収容部内へ塗液を供給するときに、前記の塗液収容部内の気体を排気させる排気弁を設けるようにすると、この排気弁を開けて気体抜きの穴ができ、塗液供給装置から塗液収容部内に塗液を供給させることがスムーズに行えるようになる。

そして、本発明に係る塗布装置において、塗液収容部内における塗液を前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布する塗液の塗布幅を調整する塗布幅調整手段としては、塗液収容部内における塗液が前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に導かれる幅を調整するスリット幅調整部材を設けるようにすることができる。

また、別の塗布幅調整手段としては、塗液収容部内における塗液を収容させる所定のパターン形状になった塗液収容凹部が外周面に設けられた円柱状の塗液供給体を前記のスリット状吐出口の上に位置するようにして回転可能に設け、この塗液供給体をスリット状吐出口の上で回転させて、塗液収容凹部内に収容された塗液を、前記のスリット状吐出口を通して塗布用ノズルと相対的に移動される被塗布体の表面に供給し、前記の被塗布体の表面に塗液収容凹部の形状に応じて塗液を塗布させるようにすることができる。

本発明における塗布装置においては、前記のように被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させて、塗液収容部内における塗液を、前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布するにあたり、前記の塗液供給装置から前記の制御手段により塗布用ノズルにおける塗液収容部内に所定量の塗液を供給させて、塗液収容部への塗液の供給を停止させ、この状態で、前記の気体供給手段から塗液収容部内に一定の圧力で気体を供給して、塗液収容部内に貯えた塗液を吐出させると共に、前記の塗布幅調整手段により、塗液収容部内に貯えた塗液を前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布する塗液の塗布幅を調整させるようにしたため、塗液の吐出に塗液供給管が無縁となり、従来のように、塗液供給装置から塗液供給管を通して塗液収容部内に供給させる塗液の圧力を調整して塗液収容部内に貯えた塗液の液圧を調整する場合のように、塗液供給装置から塗液供給管を通して塗液を塗液収容部に供給する際に配管圧損が発生するということがなくなる。

この結果、本発明に係る塗布装置において、前記のように気体供給手段から塗液収容部内に一定の圧力で気体を供給するだけで、塗液収容部内における圧力が一定になるので、塗液収容部内における塗液を前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗液を塗布させながら、塗布する塗液の塗布幅を変更させた場合であっても、スリット状吐出口を通して被塗布体の表面に供給される塗液の量が、それぞれ塗布幅が変化しても比例するようになり、被塗布体の表面に塗布される塗液の厚みもこれに対応して一定になり、塗布された塗液の厚みにムラ等が生じないようにして、被塗布体の表面に塗液を均一な厚みになるようにして塗布することが、複雑な機構や制御を用いなくてもできるようになる。

本発明の一実施形態に係る塗布装置において、塗布用ノズルの先端部に、この塗布用ノズルの内部における塗液収容部に収容させた塗液を吐出させるスリット状吐出口を設けると共に、塗布幅調整手段としてこのスリット状吐出口の開閉状態を調整する一対の幅調整部材を設け、塗布用ノズルの内部における塗液収容部内に塗液供給装置から塗液を供給する状態を示し、（Ａ）は塗布用ノズルにおけるスリット状吐出口の幅方向の概略断面説明図、（Ｂ）は塗布用ノズルにおけるスリット状吐出口の幅方向と交差する方向の概略断面説明図である。前記の実施形態に係る塗布装置において、前記の塗布用ノズルの内部における塗液収容部内に塗液供給装置から所定量の塗液を供給させて、塗布用ノズルによる塗液の塗布を開始する前の状態を示し、（Ａ）は塗布用ノズルにおけるスリット状吐出口の幅方向の概略断面説明図、（Ｂ）は塗布用ノズルにおけるスリット状吐出口の幅方向と交差する方向の概略断面説明図である。前記の実施形態に係る塗布装置において、この塗布用ノズルを被塗布体の上を移動させる共に、塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を閉じた状態にある前記の一対の幅調整部材を移動させて、前記の塗液収容部に収容された塗液を、一対の幅調整部材の間における前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布させる状態を示し、（Ａ）は塗布用ノズルにより被塗布体の表面に塗液を塗布させる最初の状態を示した塗布用ノズルの長手方向及び長手方向と交差する方向の概略断面説明図、（Ｂ）は塗布用ノズルにより被塗布体の表面に塗液を最大幅で塗布させる状態を示した塗布用ノズルの長手方向及び長手方向と交差する方向の概略断面説明図、（Ｃ）は塗布用ノズルにより被塗布体の表面全体に塗液を塗布させた場合における塗布用ノズルの長手方向及び長手方向と交差する方向の概略断面説明図である。前記の実施形態に係る塗布装置において、前記の図３に示したように、塗布用ノズルを被塗布体の上を移動させる共に、前記の一対の幅調整部材間の幅を変更させるように移動させて、前記の塗液収容部に収容された塗液を、一対の幅調整部材の間における前記のスリット状吐出口を被塗布体の表面に塗布させた被塗布体の平面状態を示し、（Ａ）は図３（Ａ）の状態を示した平面図、（Ｂ）は図３（Ｂ）の状態を示した平面図、（Ｃ）は図３（Ｃ）の状態を示した平面図である。本発明の他の実施形態に係る塗布装置において、塗布幅調整手段として、塗液が供給される塗布用ノズルにおける塗液収容部内に回転可能に設ける塗液供給体の外周面に対して塗液を収容させる楕円形状になった塗液収容凹部を設けたものを用いた状態を示し、（Ａ）は塗液収容凹部を設けた塗液供給体の概略正面図、（Ｂ）は塗液供給体の外周面に設けた塗液収容凹部の展開平面図である。前記の他の実施形態に係る塗布装置において、塗布用ノズルにおける塗液収容部に塗液を供給させた状態で、この塗布用ノズルを被塗布体の上に導いて、被塗布体の上を移動させる共に、前記の塗液供給体を塗液導入部内で回転させて、塗液供給体における塗液収容凹部内に収容された塗液を、塗布用ノズルの先端部のスリット状吐出口から被塗布体の表面に塗布させる場合を示し、（Ａ）は塗布用ノズルにおける塗液収容部に塗液を供給させた状態で、この塗布用ノズルを被塗布体の上に導いた状態を示した塗布用ノズルの長手方向と交差する方向の概略断面説明図、（Ｂ）は塗布用ノズルにより被塗布体の表面に塗液を塗布させる最初の状態を示した塗布用ノズルの長手方向と交差する方向の概略断面説明図、（Ｃ）は塗布用ノズルにより被塗布体の表面に塗液を最大幅で塗布させる状態を示した塗布用ノズルの長手方向と交差する方向の概略断面説明図、（Ｄ）は塗布用ノズルにより被塗布体の表面全体に塗液を塗布させた場合における塗布用ノズルの長手方向と交差する方向の概略断面説明図である。

以下、本発明の実施形態に係る塗布装置を添付図面に基づいて具体的に説明する。なお、本発明に係る塗布装置及び塗布方法は、下記の実施形態に示したものに限定されず、発明の要旨を変更しない範囲において、適宜変更して実施できるものである。

ここで、本発明の実施形態における塗布装置においては、図１（Ａ），（Ｂ）等の添付図面に示すように、塗布用ノズル１０として、内部に塗液Ｐを収容させる塗液収容部１１を設けると共に、先端部に前記の塗液収容部１１内に収容された塗液Ｐを吐出させるスリット状吐出口１２を設け、さらに前記のスリット状吐出口１２の下に、塗布幅調整手段として、一対のスリット幅調整部材１３，１３を移動装置（図示せず）によってスリット状吐出口１２の長手方向にスライドするように設け、この一対のスリット幅調整部材１３，１３をスリット状吐出口１２の長手方向にスライドさせて、スリット状吐出口１２を開閉させる幅を調整させるようにしている。

また、この実施形態における塗布装置においては、前記の塗布用ノズル１０における塗液収容部１１に対して、塗液供給装置２０から塗液Ｐを供給させる塗液供給パイプ２１に、制御手段として塗液供給弁２２を設け、この塗液供給弁２２を開閉させて、塗液収容部１１への塗液Ｐの供給や停止を行うようにすると共に、塗液収容部１１内への気体の供給・排気を行う供給・排気パイプ３１を設け、この供給・排気パイプ３１における供給側パイプ３１ａに設けた供給弁３１ｂを通して気体を塗液収容部１１に供給する気体供給手段３０を設ける一方、供給・排気パイプ３１における排気側パイプ３２ａに設けた排気弁３２ｂを通して、塗液収容部１１内における気体を排気させるようにしている。

なお、塗液供給パイプ２１は、塗液Ｐを塗液収容部１１へ供給する際に上から落下させると、塗液Ｐ中に気泡が発生して混入してしまうため、そうならないように、塗液収容部１１の底部に接続されている。また、塗液供給装置２０では、密閉容器に溜めた塗液Ｐを、気体導入口２３から導入させた気体の圧力により塗液供給パイプ２１を通して圧送させるようにしている。

ここで、この実施形態における塗布装置において、塗布用ノズル１０における塗液収容部１１内に塗液Ｐを供給する場合には、図１（Ａ），（Ｂ）に示すように、塗布用ノズル１０の先端部におけるスリット状吐出口１２を前記の一対のスリット幅調整部材１３，１３によって閉じた状態で、前記の塗液供給パイプ２１に設けた塗液供給弁２２を開けて、塗液供給装置２０から塗液Ｐを塗液収容部１１に供給させると共に、前記の排気側パイプ３２ａに設けた排気弁３２ｂを開けて、この排気側パイプ３２ａを通して塗液収容部１１内における気体を排気（気抜き）させる一方、前記の供給側パイプ３１ａに設けた供給弁３１ｂを閉じて、気体供給手段３０から気体を塗液収容部１１に供給させないようにする。なお、図に示した各弁２２，３１ｂ，３２ｂについては開いた状態を白抜きで、閉じた状態を黒塗りで示した。

また、前記のようにして塗布用ノズル１０における塗液収容部１１内に所定量の塗液Ｐを供給させた後は、図２（Ａ），（Ｂ）に示すように、塗布用ノズル１０の先端部におけるスリット状吐出口１２を前記の一対のスリット幅調整部材１３，１３によって閉じた状態で、塗液供給パイプ２１に設けた前記の塗液供給弁２２を閉じて、塗液供給装置２０から塗液Ｐを塗液収容部１１に供給させないようにすると共に、前記の排気側パイプ３２ａに設けた排気弁３２ｂを閉じて塗液収容部１１内における気体を排気させないようにする一方、前記の供給側パイプ３１ａに設けた供給弁３１ｂを開けて、気体供給手段３０から圧力調整弁（図示せず）を用いて一定の圧力で気体を塗液収容部１１の上部から塗液収容部１１内に供給させるようにする。

そして、この実施形態における塗布装置において、前記の塗布用ノズル１０から被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐを塗布させるにあたっては、前記のように塗布用ノズル１０の先端部におけるスリット状吐出口１２を前記の一対のスリット幅調整部材１３，１３によって閉じた状態で、塗布用ノズル１０における塗液収容部１１内に所定量の塗液Ｐを供給させると共に、塗液収容部１１内が所定の圧力になるように気体供給手段３０から一定の圧力で気体を供給させるようにして、この塗布用ノズル１０を、前記のスリット状吐出口１２から被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐの塗布を開始させる位置に導くようにする。

そして、この実施形態における塗布装置を使用して、図３（Ａ）〜（Ｃ）及び図４（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、前記の塗布用ノズル１０から被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐを塗布させながら塗液Ｐの塗布幅を異ならせて、円形状になった被塗布体Ｗの表面に対して塗液Ｐを円形状に塗布させる場合について説明する。

ここで、この実施形態における塗布装置においては、塗液収容部１１内が所定の圧力になるように気体供給手段３０から気体を一定の圧力で供給させるようにして、図３（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、前記の塗布用ノズル１０を被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐを塗布させる方向に移動させると共に、前記のようにスリット状吐出口１２を一対のスリット幅調整部材１３，１３によって閉じた状態から、図３（Ａ）に示すように、前記の一対のスリット幅調整部材１３，１３を離れる方向に移動させてスリット状吐出口１２を少し開け、このスリット状吐出口１２から被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐを塗布させるようにする。

そして、このように塗布用ノズル１０を移動させながら、一対のスリット幅調整部材１３，１３を離れる方向に徐々に移動させて、スリット状吐出口１２をさらに大きく開けて、図３（Ｂ）に示すように、円形状になった被塗布体Ｗの表面の直径方向全体に塗液Ｐを塗布させるようにする。その後は、さらに前記の塗布用ノズル１０を移動させながら、前記の一対のスリット幅調整部材１３，１３を近づける方向に移動させて、開口されたスリット状吐出口１２の幅を次第に減少させながら、前記の塗布用ノズル１０を、塗液Ｐを塗布させる被塗布体Ｗの端部まで移動させた状態では、図３（Ｃ）に示すように、前記のようにスリット状吐出口１２を一対のスリット幅調整部材１３，１３によって閉じた状態にして、塗液Ｐがスリット状吐出口１２から漏れ出さないようにする。

ここで、この実施形態における塗布装置においては、塗布用ノズル１０を被塗布体Ｗの上を移動させながら、円形状になった被塗布体Ｗの表面に対して塗液Ｐを円形状に塗布させるにあたり、塗液収容部１１内が常に所定の圧力になるように気体供給手段３０から一定の圧力で気体を供給させるようにしたため、従来のように、塗液供給装置から塗液供給管を通して塗液を塗液収容部に供給する際に配管圧損が発生するということに対処するために、塗液供給装置から塗液供給管を通して塗液収容部内に供給させる塗液の圧力を調整して塗液収容部内に貯えた塗液の液圧を調整する必要がなくなる。

この結果、前記のように前記の一対のスリット幅調整部材１３，１３を移動させて、スリット状吐出口１２の開口幅を変更させ、塗布用ノズル１０から被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐの塗布幅を変更させた場合においても、液圧が一定に保るので、スリット状吐出口１２を通して被塗布体Ｗの表面に供給される塗液Ｐの量が塗布幅に対応して比例するようになり、塗布された塗液Ｐの厚みにムラ等が生じないようにして、被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐを均一な厚みになるようにして塗布することが、複雑な機構や制御を用いなくてもできるようになった。

なお、前記の気体供給手段３０から塗液収容部１１内に供給させる気体の圧力を変更させると、被塗布体Ｗの表面に塗布させる塗液Ｐの厚みを変更させることかでき、そうすると、被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐを塗布させながら、一部の塗液Ｐの厚みを変更したりすることができるようになる。

また、本発明における塗布装置は、前記の実施形態に示したような塗布装置に限定されず、塗布用ノズル１０から被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐの塗布幅を変更させる塗布幅調整手段としては、様々な塗布幅調整手段のものを用いることができる。

例えば、図５（Ａ），（Ｂ）に示すような、塗布幅調整手段として、円柱状になった塗液供給体４０における外周面に楕円形状になった塗液収容凹部４１を凹設させたものを用い、図４（Ａ）〜（Ｃ）で示したような、円形状になった被塗布体Ｗの表面に対して塗液Ｐを円形状に塗布させるようにすることもできる。

ここで、このような塗液供給体４０を用いた実施形態の塗布装置においては、図６（Ａ）〜（Ｄ）に示すように、前記の円柱状になった塗液供給体４０を塗布用ノズル１０における塗液収容部１１内において、前記のスリット状吐出口１２の上に位置するようにして、スリット状吐出口１２に沿って配置させると共に、このように配置させた塗液供給体４０を回転装置（図示せず）によって回転できるようにして、塗液供給体４０における外周面に凹設された塗液収容凹部４１を前記のスリット状吐出口１２と対向させるようにする。

そして、このような塗液供給体４０を用いた実施形態の塗布装置においては、図６（Ａ）に示すように、前記の円柱状になった塗液供給体４０において、塗液収容凹部４１が設けられていない塗液供給体４０の部分をスリット状吐出口１２の上に位置させて、スリット状吐出口１２を塗液供給体４０によって閉じた状態で、前記の実施形態の場合と同様に、塗布用ノズル１０における塗液収容部１１内に所定量の塗液Ｐを供給し、塗液供給パイプ２１に設けた前記の塗液供給弁２２を閉じて、塗液供給装置２０から塗液Ｐを塗液収容部１１に供給させないようにすると共に、前記の排気側パイプ３２ａに設けた排気弁３２ｂを閉じて塗液収容部１１内における気体を排気させないようにする一方、前記の供給側パイプ３１ａに設けた供給弁３１ｂを開けて、気体供給手段３０から一定の圧力で気体を塗液収容部１１内に供給させ、この状態で、塗布用ノズル１０を被塗布体Ｗの上に導くようにする。

次いで、前記の塗液収容部１１内が所定の圧力になるように気体供給手段３０から一定の圧力で気体を供給させるようにして、図６（Ｂ）〜（Ｄ）に示すように、前記の塗布用ノズル１０を被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐを塗布させる方向に移動させると共に、前記のようにスリット状吐出口１２を閉じた状態にある前記の塗液供給体４０を回転させて、この塗液供給体４０の外周面に凹設された楕円形状になった塗液収容凹部４１が塗布用ノズル１０のスリット状吐出口１２と重なった部分から、スリット状吐出口１２を通して前記の楕円形状になった塗液収容凹部４１内に収容された塗液Ｐを、スリット状吐出口１２と重なる幅に対応させて被塗布体Ｗの表面に供給するようにしている。なお、この塗布装置においては、操業中はスリット状吐出口１２全体に塗液Ｐが溜まった状態であり、図６（Ｂ），（Ｃ）に示すように、塗液供給体４０の外周面に凹設させた塗液収容凹部４１が塗布用ノズル１０のスリット状吐出口１２と重なった場合には、重なった部分からだけから、スリット状吐出口１１を通して塗液収容凹部１４ａ内に収容された塗液Ｐが被塗布体Ｗの表面に供給されて被塗布体Ｗの表面に供給されるようになる一方、図６（Ａ），（Ｄ）に示すように、塗液供給体４０の外周面に凹設させた塗液収容凹部４１が塗布用ノズル１０のスリット状吐出口１２と重ならない状態では、塗液Ｐがスリット状吐出口１１に新たに供給されず、塗液Ｐがスリット状吐出口１１から被塗布体Ｗの表面に供給されなくなる。

ここで、この実施形態における塗布装置においては、前記のように円柱状になった塗液供給体４０の外周面に塗液収容凹部４１を軸方向の長さが長くなった楕円形状になった凹設させているため、前記のように塗液供給体４０の外周面に凹設させた塗液収容凹部４１に収容された塗液Ｐを、塗布用ノズル１０のスリット状吐出口１２から円形状になった被塗布体Ｗの表面に円形状に塗布するにあたっては、前記の塗液供給体４０を回転させる周速度よりも被塗布体Ｗの上を移動させる塗布用ノズル１０の移動速度を速くし、軸方向の長さが長くなった楕円形状になった塗液収容凹部４１から前記のスリット状吐出口１２を通して、図４（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、円形状になった被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐを円形状に塗布できるようにしている。

なお、この実施形態における塗布装置においても、塗布用ノズル１０を被塗布体Ｗの上を移動させながら、円形状になった被塗布体Ｗの表面に対して塗液Ｐを円形状に塗布させるにあたり、塗液収容部１１内が所定の圧力になるように気体供給手段３０から一定の圧力で気体を供給させるようにしたため、前記のように塗液供給体４０の外周面に凹設された楕円形状になった塗液収容凹部４１が塗布用ノズル１０のスリット状吐出口１２と重なった部分から、スリット状吐出口１２を通して前記の楕円形状になった塗液収容凹部４１内に収容された塗液Ｐを、スリット状吐出口１２と重なる幅に対応させて被塗布体Ｗの表面に供給した場合においても、液圧が一定に保たれるので、スリット状吐出口１２を通して被塗布体Ｗの表面に供給される塗液Ｐの量がそれぞれ塗布幅に対応して比例するようになり、塗布された塗液Ｐの厚みにムラ等が生じないようにして、被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐを均一な厚みになるようにして塗布することが、複雑な機構や制御を用いなくてもできるようになる。

１０：塗布用ノズル
１１：塗液収容部
１２：スリット状吐出口
１３：スリット幅調整部材（塗布幅調整手段）
２０：塗液供給装置
２１：塗液供給パイプ
２２：塗液供給弁（制御手段）
２３：気体導入口
３０：気体供給手段
３１：排気パイプ
３１ａ：供給側パイプ
３１ｂ：供給弁
３２ａ：排気側パイプ
３２ｂ：排気弁
４０：塗液供給体（塗布幅調整手段）
４１：塗液収容凹部
Ｐ：塗液
Ｗ：被塗布体

Claims

塗液収容部内における塗液を吐出させるスリット状吐出口が先端部に設けられた塗布用ノズルを被塗布体の上に配置し、この塗布用ノズルの内部における塗液収容部内に塗液供給装置から塗液を供給し、前記の被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させて、塗液収容部内における塗液を、前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布する塗布装置において、前記の塗液供給装置と塗布用ノズルとの間に塗液収容部への塗液の供給と停止とを制御する制御手段と、前記の塗液収容部内における塗液を前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布する塗液の塗布幅を調整する塗布幅調整手段と、前記の塗液収容部内に一定の圧力で気体を供給して塗液収容部内に貯えた塗液を吐出させる気体供給手段とを設けたことを特徴とする塗布装置。
請求項１に記載の塗布装置において、被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させて、塗液収容部内における塗液を、前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布するにあたり、前記の塗液供給装置から前記の制御手段により塗布用ノズルにおける塗液収容部内に塗液を供給させて、塗液収容部への塗液の供給を停止させ、この状態で、前記の気体供給手段から塗液収容部内に一定の圧力で気体を供給して塗液収容部内に貯えた塗液を吐出させると共に、前記の塗布幅調整手段により、塗液収容部内に貯えた塗液を前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布する塗液の塗布幅を調整することを特徴とする塗布装置。
請求項１又は請求項２に記載の塗布装置において、塗液供給装置から塗液収容部内へ塗液を供給するときに、前記の塗液収容部内の気体を排気させる排気弁を設けたことを特徴とする塗布装置。
請求項１〜請求項３の何れか１項に記載の塗布装置において、前記の塗布幅調整手段として、塗液収容部内における塗液が前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に導かれる幅を調整するスリット幅調整部材を設けたことを特徴とする塗布装置。
請求項１〜請求項３の何れか１項に記載の塗布装置において、前記の塗布幅調整手段として、前記の塗液収容部内における塗液を収容させる所定のパターン形状になった塗液収容凹部が外周面に設けられた円柱状の塗液供給体を前記のスリット状吐出口の上に位置するようにして回転可能に設け、この塗液供給体をスリット状吐出口の上で回転させて、塗液収容凹部内に収容された塗液を、前記のスリット状吐出口を通して塗布用ノズルと相対的に移動される被塗布体の表面に供給し、前記の被塗布体の表面に塗液収容凹部の形状に応じて塗液を塗布させることを特徴とする塗布装置。