TWI756842B - 塗布裝置 - Google Patents

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Abstract

一種塗布裝置，係在被塗布體W之上方，使塗布用噴頭10和被塗布體相對地移動，將塗布用噴頭之塗液收容部11內的塗液P從開縫狀吐出口12塗布到被塗布體之表面，該塗布裝置設有：控制手段22，係於塗液供給裝置20與塗布用噴頭之間控制對於塗液收容部進行供給塗液及停止供給塗液；塗布寬度調整手段13、13，係將塗液收容部內的塗液從開縫狀吐出口塗布於被塗布體之表面的塗液的塗布寬度調整；及氣體供給手段30，係將氣體用一定的壓力供給到塗液收容部內，使貯於塗液收容部內的塗液吐出。

Description

塗布裝置
本發明係關於一種塗布裝置，係將在前端部設有供塗液收容部內的塗液吐出的開縫狀吐出口的塗布用噴頭配置在被塗布體之上方，將塗液從塗液供給裝置供給至該塗布用噴頭之內部的塗液收容部內，使前述的被塗布體與塗布用噴頭相對地移動，一面將塗液收容部內的塗液經由前述開縫狀吐出口塗布到被塗布體的表面。特別是具有以下特徵點：以前述方式使被塗布體與塗布用噴頭相對移動，經由設在塗布用噴頭的開縫狀吐出口，使塗液塗布到被塗布體的表面，同時使塗布於被塗布體之表面的塗液寬度變更，使塗液於被塗布體之表面塗布成圓形等各種形狀的情況中，能夠以不會使所塗布之塗液的厚度產生不均之方式進行塗布。
往昔技術中，將在前端部設有供塗液收容部內之塗液吐出的開縫狀吐出口的塗布用噴頭設在被塗布體之上，將塗液從塗液供給裝置經由塗液供給管供給到該塗布用噴頭之內部的塗液收容部內，且使前述被塗布體與塗布用噴頭相對地移動，將塗液收容部內的塗液經由前述的開縫狀吐出口塗布到被塗布體之表面的塗布裝置已廣為利用。
再者，近年來，如專利文獻1~4等所示，提案有於如前述塗布裝置中，使收容在塗布用噴頭之塗液收容部內的塗液從設在塗布用噴頭之前端的開縫狀吐出口塗布到被塗布體的表面時，一邊使塗液塗布到被塗布體之表面，一邊使所塗布的塗液之寬度改變，使塗液塗布到晶圓等被塗布體的表面成為圓形等各種形狀之技術。
在此處，在要如前述地將塗液從塗液供給裝置經由塗液供給管供給到塗布用噴頭內部的塗液收容部內，而從開縫狀吐出口塗布到被塗布體之表面時，使塗液塗布於被塗布體的表面，同時令所塗布的塗液寬度改變之情形，從塗液供給裝置供給塗液到塗液供給管的壓力即使為一定，從塗液供給裝置經由塗液供給管供給到塗液收容部之際，也會產生配管壓損(壓力損失)，並且使塗液的寬度改變而使從開縫狀吐出口吐出的塗液量的變化，該配管壓損會相應地變化，故在所塗布的塗液的寬度寬闊的部分，被塗布體之表面之塗液的膜厚會變薄，另一方面，在所塗布之塗液的寬度狹窄的部分，被塗布體表面的塗液膜厚會變厚，而有塗液難以一定的膜厚塗布在一個被塗布體之表面的問題。
因此，在專利文獻3或專利文獻4的技術中，揭示了當要將塗液從塗液供給裝置經由塗液供給管供給到塗液收容部內時，可將經由塗液供給管供給到塗液收容部內的塗液壓力予以調整，以該塗液收容部內的塗液之液壓保持一定的方式供給塗液，從而即使在塗布於被塗布體表面的塗液寬度有改變的情況中，塗液也能以一定的膜厚塗布在被塗布體的表面。
但是，以該方式將從塗液供給裝置經由塗液供給管供給到塗液收容部內之塗液的壓力調整，而以使該塗液收容部內的塗液的液壓達到 一定的方式，將塗液供給到塗液收容部內的情況中，構造會變得複雜，控制非常麻煩，有將塗液收容部內之塗液的液壓調整成一定而使塗液以一定的膜厚塗布在被塗布體之表面係難以達成的問題。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2014-22545號公報
[專利文獻2]日本特開2012-120938號公報
[專利文獻3]日本專利第4040144號公報
[專利文獻4]日本特開2018-69230號公報
本發明的課題係在於：對於將在前端部設有供塗液收容部內的塗液吐出的開縫狀吐出口的塗布用噴頭配置在被塗布體之上方，並將塗液從塗液供給裝置供給至該塗布用噴頭內部的塗液收容部內，令前述的被塗布體與塗布用噴頭相對地移動，將塗液收容部內的塗液經由前述的開縫狀吐出口塗布到被塗布體表面的塗布裝置，解決該塗布裝置的前述問題。
亦即，本發明的課題係在於：當要以前述方式使被塗布體與塗布用噴頭相對地移動，將塗液塗布在被塗布體之表面時，使塗液經由設在塗布用噴頭的開縫狀吐出口塗布在被塗布體的表面，並同時使所塗布的 塗液寬度改變，而使塗液在被塗布體之表面塗布成圓形等各種形狀之際，能夠以不會使塗布在被塗布體表面的塗液厚度產生不均之方式進行塗布。
本發明的塗布裝置中，為了解決如前述的課題，塗布裝置係將在前端部設有供塗液收容部內的塗液吐出的開縫狀吐出口的塗布用噴頭配置在被塗布體之上方，將塗液從塗液供給裝置供給到該塗布用噴頭內部的塗液收容部內，令前述被塗布體與塗布用噴頭相對地移動，使塗液收容部內的塗液經由前述的開縫狀吐出口塗布到被塗布體之表面，該塗布裝置設有：控制手段，係於前述塗液供給裝置與塗布用噴頭之間控制對於塗液收容部進行供給塗液及停止供給塗液；塗布寬度調整手段，係將前述塗液收容部內的塗液經由前述的開縫狀吐出口塗布在被塗布體之表面的塗液的塗布寬度調整；及氣體供給手段，係以一定的壓力將氣體供給至前述塗液收容部內，使塗液收容部內的塗液吐出。
再者，本發明的塗布裝置中，係在以前述方式使被塗布體與塗布用噴頭相對地移動，將塗液收容部內的塗液經由前述的開縫狀吐出口塗布於被塗布體的表面時，藉前述的控制手段，使塗液從前述的塗液供給裝置供給到塗布用噴頭的塗液收容部內，並停止對於塗液收容部供給塗液，在此狀態下，將氣體以一定的壓力從前述的氣體供給手段供給至塗液收容部內，使貯於塗液收容部內的塗液吐出，並同時藉前述的塗布寬度調整手段，對貯在塗液收容部內的塗液經由前述的開縫狀吐出口塗布到被塗布體之表面的塗液的塗布寬度進行調整。
再者，以前述方式從塗液供給裝置供給到塗液收容部內的塗液減少的情形中，再度進行這種操作，將氣體以一定的壓力從氣體供給手段供給到塗液收容部內，使貯於塗液收容部內的塗液吐出，且藉塗布寬度調整手段，對將貯於塗液收容部內的塗液經由前述的開縫狀吐出口塗布到被塗布體的表面之塗液的塗布寬度進行調整。
在此處，依本發明塗布裝置的方式，藉前述的控制手段將塗液從塗液供給裝置供給到塗布用噴頭的塗液收容部內，並停止對於塗液收容部供給塗液，且在該狀態下，藉塗布寬度調整手段，使貯於收容部內的塗液經由前述開縫狀吐出口塗布於被塗布體之表面之塗液的塗布寬度調整時，在將氣體以一定的壓力從氣體供給手段供給到塗液收容部內並使貯於塗液收容部內的塗液吐出時，塗液的吐出即和塗液供給管不相關，而是如習知技術之方式，將從塗液供給裝置經由塗液供給管供給到塗液收容部內之塗液的壓力調整，並如將貯於該塗液收容部內之塗液的液壓進行調整的情況，在將塗液從塗液供給裝置經由塗液供給管供給到塗液收容部之際，不會發生配管壓損的問題。
此外，本發明的塗布裝置中，以前述方式從氣體供給手段將氣體以一定的壓力供給到塗液收容部內，使塗液收容部內的壓力達到一定時，即使是將塗液收容部內的塗液經由前述的開縫狀吐出口塗布到被塗布體的表面，並同時使塗液的塗布寬度改變的情況，塗液收容部內的塗液之液壓也會達到一定，所塗布的塗液不會產生厚度不均，可將塗液於被塗布體的表面塗布成均一的厚度。
此外，本發明的塗布裝置中，從塗液供給裝置向塗液收容部內供給塗液時，若設置將前述的塗液收容部內之氣體排放的排氣閥時，可將該排氣閥打開而形成供排出氣體的孔洞，使塗液從塗液供給裝置供給到塗液收容部內的動作可順暢地進行。
而且，本發明的塗布裝置中，作為將塗液收容部內的塗液經由前述的開縫狀吐出口塗布在被塗布體之表面的塗液的塗布寬度進行調整的塗布寬度調整手段，可設置開縫寬度調整構件，係將塗液收容部內的塗液經由前述的開縫狀吐出口引導到被塗布體表面的寬度調整。
此外，作為另外的塗布寬度調整手段，係將在外周面設有供收容前述塗液收容部內的塗液且呈預定的圖樣形狀的塗液收容凹部的圓柱狀塗液供給體，以位於前述的開縫狀吐出口之上方的方式可旋轉地設置，使該塗液供給體在開縫狀吐出口的上面旋轉，將塗液收容凹部內所收容的塗液經由前述的開縫狀吐出口供給到和塗布用噴頭相對地移動的被塗布體之表面，使塗液依照塗液收容凹部的形狀塗布在前述被塗布體之表面。
本發明的塗布裝置中，係如前述方式使被塗布體與塗布用噴頭相對地移動，將塗液收容部內的塗液經由前述的開縫狀吐出口塗布在被塗布體的表面時，藉前述的控制手段將預定量的塗液從前述的塗液供給裝置供給到塗布用噴頭的塗液收容部內，並停止對於塗液收容部的供給塗液，在此狀態下，將氣體以一定的壓力從前述的氣體供給手段供給到塗液收容部內，使貯於塗液收容部內的塗液吐出，並且，藉前述的塗布寬度調整手段將貯於塗液收容部內的塗液經由前述的開縫狀吐出口塗布在被塗布體表 面之塗液的塗布寬度進行調整，故塗液供給管和塗液的吐出不相關，而不會像往昔技術，在對從塗液供給裝置經由塗液供給管供給到塗液收容部內之塗液的壓力調整，而對貯於塗液收容部內的塗液的液壓進行調整之情形，在從塗液供給裝置經由塗液供給管將塗液供給到塗液收容部之際產生配管壓損的情形。
結果，本發明的塗布裝置中，僅是如前述方式將氣體從氣體供給手段以一定的壓力供給到塗液收容部內，而使塗液收容部內的壓力會達到一定，故即使是在將塗液收容部內的塗液經由前述的開縫狀吐出口塗布到被塗布體的表面，並同時使要塗布的塗液的塗布寬度改變的情況中，經由開縫狀吐出口供給到被塗布體之表面的塗液量，即使塗布寬度各有變化也能達成比例，被塗布體之表面所塗布的塗液厚度也會與其對應而達到一定，所塗布的塗液的厚度不會產生不均，即便不使用複雜的機構或控制也能將塗液以均一的厚度塗布在被塗布體的表面。
10:塗布用噴頭
11:塗液收容部
12:開縫狀吐出口
13:開縫寬度調整構件(塗布寬度調整手段)
20:塗液供給裝置
21:塗液供給管
22:塗液供給閥(控制手段)
23:氣體導入口
30:氣體供給手段
31:供給排氣管
31a:供給側管
31b:供給閥
32a:排氣側管
32b:排氣閥
40:塗液供給體(塗布寬度調整手段)
41:塗液收容凹部
P:塗液
W:被塗布體
圖1係顯示本發明之實施型態的塗布裝置，其中，(A)為塗布用噴頭之開縫狀吐出口之寬度方向的概略剖面說明圖，(B)為塗布用噴頭之和開縫狀吐出口之寬度方向交叉之方向的概略剖面說明圖。
圖2係顯示本發明之實施型態的塗布裝置，其中，(A)為塗布用噴頭之開縫狀吐出口之寬度方向的概略剖面說明圖，(B)為塗布用噴頭之和開縫狀吐出口之寬度方向交叉之方向的概略剖面說明圖。
圖3係顯示本發明之實施型態的塗布裝置，其中，(A)為顯示塗液藉塗布用噴頭塗布在被塗布體之表面的最初狀態的塗布用噴頭的長邊方向及和長邊方向交叉之方向的概略剖面說明圖，(B)為藉塗布用噴頭使塗液以最大寬度塗布在被塗布體表面之狀態的塗布用噴頭的長邊方向及和長邊方向交叉之方向的概略剖面說明圖，(C)為藉塗布用噴頭使塗液塗布在被塗布體之整個表面時之塗布用噴頭之長邊方向及和長邊方向交叉之方向的概略剖面說明圖。
圖4係顯示本發明之實施型態的塗布裝置，其中，(A)為顯示圖3(A)之狀態的俯視圖，(B)為顯示圖3(B)之狀態的俯視圖，(C)為顯示圖3(C)之狀態的俯視圖。
圖5係顯示本發明另一實施型態的塗布裝置，其中，(A)為設有塗液收容凹部之塗液供給體的概略前視圖，(B)為設在塗液供給體之外周面的塗液收容凹部的展開俯視圖。
圖6係顯示前述另一實施型態的塗布裝置，其中，(A)為顯示在使塗液供給至塗布用噴頭之塗液收容部的狀態下，將塗布用噴頭引導至被塗布體之上方的狀態之和塗布用噴頭之長邊方向交叉之方向的概略剖面說明圖，(B)為顯示利用塗布用噴頭使塗液塗布在被塗布體之表面的最初狀態之和塗布用噴頭之長邊方向交叉之方向的概略剖面說明圖，(C)為顯示利用塗布用噴頭使塗液以最大寬度塗布在被塗布體之表面的狀態之和塗布用噴頭之長邊方向交叉之方向的概略剖面說明圖，(D)為利用塗布用噴頭使塗液塗布於被塗布體的整個表面時之和塗布用噴頭的長邊方向交叉之方向的概略剖面說明圖。
以下根據附圖具體說明本發明實施型態的塗布裝置。另外，本發明的塗布裝置及塗布方法並不限定於下述實施型態所揭露的構成，在不改變發明要旨的範圍內，仍可作適當改變並實施。
就圖式而言，圖1所示之塗布裝置中，顯示在塗布用噴頭的前端部設有開縫狀吐出口，供該塗布用噴頭內部的塗液收容部所收容的塗液吐出，並且設有將該開縫狀吐出口之開閉狀態加以調整的一對寬度調整構件作為塗布寬度調整手段，而將塗液從塗液供給裝置供給到塗布用噴頭內部之塗液收容部內的狀態。
圖2所示之塗布裝置中，顯示使預定量的塗液從塗液供給裝置供給到前述塗布用噴頭內部的塗液收容部內，並開始由塗布用噴頭進行之塗液的塗布之前的狀態。
圖3所示之塗布裝置中，顯示使該塗布用噴頭在被塗布體之上方移動，並且使塗布用噴頭之前端部的開縫狀吐出口處於閉合狀態中的前述一對寬度調整構件移動，將前述塗液收容部所收容的塗液經由一對寬度調整構件之間的前述開縫狀吐出口塗布在被塗布體之表面的狀態。
圖4所示之塗布裝置中，如前述圖3所示地，顯示使塗布用噴頭在被塗布體的上面移動，同時以使前述一對寬度調整構件之間的寬度改變的方式移動，將前述塗液收容部所收容的塗液經由一對寬度調整構件之間的前述開縫狀吐出口塗布於被塗布體表面之被塗布體的俯視狀態。
圖5所示之塗布裝置中，顯示作為塗布寬度調整手段，使用對於塗液供給體之外周面設有塗液收容凹部而成者之狀態，該塗液供給體係可旋轉地設在供給有塗液之塗布用噴頭的塗液收容部內，該塗液收容凹部係收容塗液且呈橢圓形。
圖6所示之塗布裝置中，顯示在使塗液供給到塗布用噴頭的塗液收容 部之狀態下，將該塗布用噴頭引導至被塗布體之上方，且在被塗布體之上方移動，並同時使前述的塗液供給體在塗液導入部內旋轉，將塗液供給體的塗液收容凹部內所收容的塗液從塗布用噴頭之前端部的開縫狀吐出口塗布到被塗布體之表面的情況。
在此處，本發明實施型態的塗布裝置中，如圖1(A)、(B)等附圖所示，作為塗布用噴頭10，係設置在內部收容塗液P的塗液收容部11，並在前端部設有供收容於前述塗液收容部11內之塗液P吐出的開縫狀吐出口12，且在前述開縫狀吐出口12之下方，以藉移動裝置(未圖示)沿開縫狀吐出口12之長邊方向滑動的方式，設置一對開縫寬度調整構件13、13作為塗布寬度調整手段，令該一對開縫寬度調整構件13、13沿開縫狀吐出口12之長邊方向滑動，使開縫狀吐出口12的開閉寬度調整。
再者，該實施型態的塗布裝置中，係在從塗液供給裝置20供給塗液P到前述塗布用噴頭10之塗液收容部11的塗液供給管21，設有塗液供給閥22作為控制手段，令該塗液供給閥22開閉，而可對於塗液收容部11進行供給塗液或停止供給塗液，並且設有對於塗液收容部11內進行供給氣體、排放氣體的供給排氣管31，並設有經由設在供給排氣管31之供給側管31a的供給閥31b將氣體供給到塗液收容部11的氣體供給手段30，另一方面，經由設在供給排氣管31之排氣側管32a的排氣閥32b將塗液收容部11內的氣體排放。
另外，在將塗液P供給至塗液收容部11之際而從上方落下時，因會在塗液P中產生氣泡並混入其中，故為了避免這種情形，塗液供給管21係連接在塗液收容部11的底部。再者，塗液供給裝置20中，係藉從氣體導入口23導入之氣體的壓力，使貯於密閉容器的塗液P經由塗液供給管21進行壓送。
在此處，該實施型態的塗布裝置中，在將塗液P供給到塗布用噴頭10之塗液收容部11內時，如圖1(A)、(B)所示，係在藉前述的一對開縫寬度調整構件13、13將塗布用噴頭10之前端部的開縫狀吐出口12閉合的狀態下，將設在前述塗液供給管21的塗液供給閥22打開，使塗液P從塗液供給裝置20供給到塗液收容部11，同時將設在前述排氣側管32a的排氣閥32b打開，經由該排氣側管32a使塗液收容部11內的氣體排放(排氣)，另一方面，將設在前述的供給側管31a的供給閥31b關閉，使氣體不會從氣體供給手段30供給到塗液收容部11。另外，關於圖中所示的各閥22、31b、32b，係以空白表示打開狀態，以塗黑表示閉合狀態。
再者，以前述方式使預定量的塗液P供給到塗布用噴頭10的塗液收容部11內之後，如圖2(A)、(B)所示，係在藉前述的一對開縫寬度調整構件13、13將塗布用噴頭10之前端部的開縫狀吐出口12閉合的狀態下，將設在塗液供給管21的前述塗液供給閥22關閉，使塗液P不會從塗液供給裝置20供給到塗液收容部11，同時，將設在前述排氣側管32a的排氣閥32b關閉，不使塗液收容部11內的氣體排放，另一方面，將設在前述供給側管31a的供給閥31b打開，用壓力調整閥(未圖示)以一定的壓力將氣體從氣體供給手段30自塗液收容部11的上部供給到塗液收容部11內。
然後，在該實施型態的塗布裝置中，當使塗液P從前述的塗布用噴頭10塗布到被塗布體W的表面時，係在如前述之方式藉前述的一對開縫寬度調整構件13、13將塗布用噴頭10之前端部的開縫狀吐出口12閉合的狀態下，使預定量的塗液P供給到塗布用噴頭10的塗液收容部11內，並且，從氣體供給手段30以一定的壓力供給氣體，使塗液收容部11內達到預定的壓力，並將該塗布用噴頭10引導到塗液P開始從前述的開 縫狀吐出口12對被塗布體W的表面進行塗布的位置。
接著，就使用該實施型態的塗布裝置，如圖3(A)~(C)及圖4(A)~(C)所示，使塗液P一面從前述的塗布用噴頭10塗布到被塗布體W之表面，同時使塗液P的塗布寬度改變，使塗液P以圓形塗布在呈圓形的被塗布體W之表面的情形加以說明。
在此處，該實施型態的塗布裝置中，係將氣體從氣體供給手段30以一定的壓力供給，以使塗液收容部11內達到預定的壓力，且如圖3(A)~(C)所示地，從使前述的塗布用噴頭10朝使塗液P塗布於被塗布體W之表面的方向移動，並同時如前述之方式藉一對開縫寬度調整構件13、13將開縫狀吐出口12閉合的狀態開始，如圖3(A)所示地，使前述的一對開縫寬度調整構件13、13朝分離的方向移動，將開縫狀吐出口12略微打開，使塗液P從開縫狀吐出口12塗布於被塗布體W的表面。
然後，以上述方式使塗布用噴頭10移動，並同時使一對的開縫寬度調整構件13、13朝分離的方向緩緩地移動，將開縫狀吐出口12更大幅地打開，而如圖3(B)所示，使塗液P塗布於呈圓形的被塗布體W之表面的整個直徑方向。然後，進一步使前述的塗布用噴頭10移動，並同時使前述的一對開縫寬度調整構件13、13朝靠近的方向移動，而在使開口狀的開縫狀吐出口12的寬度逐漸減小，並同時使前述的塗布用噴頭10移動到供塗液P塗布的被塗布體W之端部的狀態下，係如圖3(C)所示，依前述方式藉一對開縫寬度調整構件13、13使開縫狀吐出口12成為閉合的狀態，以使塗液P不會從開縫狀吐出口12漏出。
在此處，該實施型態的塗布裝置中，係使塗布用噴頭10在被塗布體W之上方移動，並同時將塗液P於呈圓形的被塗布體W的表面塗布成圓形時，由於以一定的壓力從氣體供給手段30供給氣體，以使塗液 收容部11內一直保持預定的壓力，故無需如往昔技術之情形，在將塗液從塗液供給裝置經由塗液供給管供給到塗液收容部之際，為了解決產生配管壓損的問題，將從塗液供給裝置經由塗液供給管供給至塗液收容部內之塗液壓力加以調整而對貯於塗液收容部內的塗液液壓進行調整。
結果，如前述方式使前述的一對開縫寬度調整構件13、13移動，使開縫狀吐出口12的開口寬度改變，使從塗布用噴頭10塗布到被塗布體W之表面的塗液P的塗布寬度改變的情形中，因液壓係保持一定，故經由開縫狀吐出口12供給到被塗布體W之表面的塗液P的量會和塗布寬度對應成比例，使所塗布的塗液P之厚度不會產生不均，即使不使用複雜的機構或控制，也可將塗液P以均一厚度塗布於被塗布體W之表面。
另外，將從前述的氣體供給手段30供給到塗液收容部11內之氣體的壓力改變時，可使塗布於被塗布體W之表面的塗液P之厚度改變，從而，可使塗液P塗布於被塗布體W的表面並同時將一部分塗液P的厚度改變。
此外，本發明的塗布裝置並不限定於前述實施型態所揭示的塗布裝置，就從塗布用噴頭10塗布到被塗布體W之表面的塗液P的塗布寬度改變的塗布寬度調整手段而言，也可使用各種塗布寬度調整手段。
例如，如圖5(A)、(B)所示，也可使用在呈圓柱狀的塗液供給體40之外周面凹設之呈橢圓形的塗液收容凹部41而成者作為塗布寬度調整手段，而使塗液P在如圖4(A)~(C)所示之呈圓形的被塗布體W之表面塗布成圓形。
在此處，使用這種塗液供給體40之實施型態的塗布裝置中，如圖6(A)~(D)所示，使呈前述圓柱狀的塗液供給體40在塗布用噴頭10的塗液收容部11內位於前述開縫狀吐出口12之上方，沿著開縫狀吐出口 12配置，並利用旋轉裝置(未圖示)使依此方式配置的塗液供給體40能夠旋轉，使凹設在塗液供給體40之外周面的塗液收容凹部41和前述的開縫狀吐出口12相對向。
並且，在使用這種塗液供給體40的實施型態的塗布裝置中，如圖6(A)所示，前述呈圓柱狀的塗液供給體40中，在使未設有塗液收容凹部41的塗液供給體40的部分位在開縫狀吐出口12之上方，而藉塗液供給體40使開縫狀吐出口12閉合的狀態下，和前述實施型態的情況同樣地，將預定量的塗液P供給到塗布用噴頭10的塗液收容部11內，將設在塗液供給管21的前述塗液供給閥22關閉，使塗液P不會從塗液供給裝置20供給到塗液收容部11，並且將設在前述排氣側管32a的排氣閥32b關閉，不讓塗液收容部11內的氣體排放，另一方面，將設在前述供給側管31a的供給閥31b打開，使氣體以一定的壓力從氣體供給手段30供給到塗液收容部11內，並在該狀態下將塗布用噴頭10引導到被塗布體W之上方。
接著，從氣體供給手段30以一定的壓力供給氣體，以使前述塗液收容部11內達到預定的壓力，且如圖6(B)~(D)所示，使前述的塗布用噴頭10朝能使塗液P塗布在被塗布體W之表面的方向移動，並且使處於如前述方式將開縫狀吐出口12閉合之狀態的前述塗液供給體40旋轉，而從凹設在該塗液供給體40之外周面且呈橢圓形的塗液收容凹部41和塗布用噴頭10的開縫狀吐出口12重疊的部分，經由開縫狀吐出口12使收容到前述呈橢圓形的塗液收容凹部41內的塗液P對應於開縫狀吐出口12重疊的寬度，而供給到被塗布體W的表面。另外，在該塗布裝置中，操作運轉中係為塗液P填滿於整個開縫狀吐出口12的狀態，如圖6(B)、(C)所示，凹設於塗液供給體40之外周面的塗液收容凹部41和塗布用噴頭10的開縫狀吐出口12重疊的情形中，只有從重疊的部分經由開縫狀吐出口 12使收容在塗液收容凹部14a內的塗液P供給到被塗布體W的表面，另一方面，如圖6(A)、(D)所示，在凹設在塗液供給體40之外周面的塗液收容凹部41不和塗布用噴頭10的開縫狀吐出口12重疊的狀態中，塗液P不會重新供給到開縫狀吐出口12，塗液P不會從開縫狀吐出口12供給到被塗布體W的表面。
在此處，該實施型態的塗布裝置中，由於係使塗液收容凹部41形成為軸方向長度較長的橢圓形且凹設在如前述之呈圓柱狀的塗液供給體40之外周面，故在如前述將凹設在塗液供給體40之外周面的塗液收容凹部41所收容的塗液P，從塗布用噴頭10的開縫狀吐出口12對呈圓形的被塗布體W之表面塗布成圓形時，係使移動於被塗布體W之上方的塗布用噴頭10的移動速度較前述的塗液供給體40旋轉的周速度更快，而從軸方向長度較長且呈橢圓形的塗液收容凹部41經由前述的開縫狀吐出口12，如圖4(A)~(C)所示，將塗液P在呈圓形的被塗布體W的表面塗布成圓形。
另外，在該實施型態的塗布裝置中，在使塗布用噴頭10在被塗布體W之上方移動，並同時使塗液P對呈圓形的被塗布體W的表面作圓形塗布時，使氣體從氣體供給手段30以一定的壓力供給，以使塗液收容部11內形成預定的壓力，故在如前述從凹設在塗液供給體40之外周面且呈橢圓形的塗液收容凹部41和塗布用噴頭10的開縫狀吐出口12重疊的部分，經由開縫狀吐出口12使收容在前述呈橢圓形的塗液收容凹部41內的塗液P對應於和開縫狀吐出口12重疊的寬度而供給到被塗布體W之表面的情形中，亦由於液壓會保持一定，故經由開縫狀吐出口12供給到被塗布體W之表面的塗液P之量會分別對應塗布寬度並成比例，使所塗布的 塗液P的厚度不會發生不均，從而即使不用複雜的機構或控制，也可將塗液P以會形成均勻的厚度之方式塗布在被塗布體W之表面。
10:塗布用噴頭
11:塗液收容部
12:開縫狀吐出口
13:開縫寬度調整構件(塗布寬度調整手段)
20:塗液供給裝置
21:塗液供給管
22:塗液供給閥(控制手段)
23:氣體導入口
30:氣體供給手段
31:排氣管
31a:供給側管
31b:供給閥
32a:排氣側管
32b:排氣閥
P:塗液
W:被塗布體

Claims (5)

  1. 一種塗布裝置，係將在前端部設有供塗液收容部內的塗液吐出的開縫狀吐出口的塗布用噴頭配置於被塗布體之上方，將塗液從塗液供給裝置供給到該塗布用噴頭之內部的塗液收容部內，使前述被塗布體與塗布用噴頭相對地移動，將塗液收容部內的塗液經由前述開縫狀吐出口塗布到被塗布體之表面，該塗布裝置設有：
    控制手段，係於前述塗液供給裝置與塗布用噴頭之間控制對於塗液收容部進行供給塗液及停止供給塗液；
    塗布寬度調整手段，係將前述塗液收容部內的塗液經由前述開縫狀吐出口塗布到被塗布體之表面的塗液的塗布寬度調整；及
    氣體供給手段，係將氣體以一定的壓力供給到前述塗液收容部內，使貯於塗液收容部內的塗液吐出。
  2. 如請求項1所述之塗布裝置，其中，在使被塗布體與塗布用噴頭相對地移動，將塗液收容部內的塗液經由前述開縫狀吐出口塗布到被塗布體之表面時，利用前述控制手段使塗液從前述的塗液供給裝置供給到塗布用噴頭的塗液收容部內，並停止對於塗液收容部供給塗液，在此狀態下，將氣體以一定的壓力從前述的氣體供給手段供給到塗液收容部內，使貯於塗液收容部內的塗液吐出，並且利用前述塗布寬度調整手段，對將貯於塗液收容部內之塗液經由前述開縫狀吐出口塗布在被塗布體表面之塗液的塗布寬度進行調整。
  3. 如請求項1或2所述之塗布裝置，更設有排氣閥，前述排氣閥係在塗液從塗液供給裝置向塗液收容部內供給時，使前述塗液收容部內的氣體排放。
  4. 如請求項1或2所述之塗布裝置，其中，設有開縫寬度調 整構件作為前述塗布寬度調整手段，前述開縫寬度調整構件係將塗液收容部內的塗液經由前述開縫狀吐出口引導到被塗布體表面之寬度加以調整。
  5. 如請求項1或2所述之塗布裝置，其中，設有圓柱狀之塗液供給體作為前述塗布寬度調整手段，前述塗液供給體係於外周面設有收容前述塗液收容部內的塗液且呈預定圖樣形狀的塗液收容凹部，且以位於前述開縫狀吐出口之上方的方式可旋轉地設置，使該塗液供給體在開縫狀吐出口的上方旋轉，而將塗液收容凹部內所收容的塗液經由前述開縫狀吐出口供給到和塗布用噴頭相對地移動的被塗布體之表面，使塗液依照塗液收容凹部的形狀塗布在前述被塗布體之表面。
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