JP7471757B2

JP7471757B2 - 塗布装置

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Publication number: JP7471757B2
Application number: JP2021155305A
Authority: JP
Inventors: 貞雄夏; 雅樹横山; 賢治岩成
Original assignee: Chugai Ro Co Ltd
Current assignee: Chugai Ro Co Ltd
Priority date: 2021-09-24
Filing date: 2021-09-24
Publication date: 2024-04-22
Anticipated expiration: 2041-09-24
Also published as: JP2023046612A

Description

本発明は、塗布用ノズルにおける塗液収容部内に塗液を供給し、この塗液収容部内における塗液を吐出させる塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を被塗布体と対向するように配置させ、前記の被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させて、前記の塗液収容部内における塗液を、前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布する塗布装置に関するものである。特に、前記のような塗布装置において、塗液収容部内における塗液を、塗布用ノズルの先端部に設けたスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布させる動作と、塗液収容部内に塗液を供給する動作とが同時に行えるようにして、被塗布体の表面に塗液を塗布する操作の切り換えが速やかに行えると共に、塗液を被塗布体の表面に均一な厚みになるように簡単に塗布できるようにした点に特徴を有するものである。

従来から、塗液を被塗布体の表面に塗布する塗布装置が使用されており、このような塗布装置としては、特許文献１に示されるようなスリット状吐出口を備えた塗布ノズルを用い、特許文献２に示されるように、塗液供給装置から塗液供給管を通して塗液を塗布用ノズルに供給させると共に、この塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を被塗布体に対向させるようにして、塗布用ノズルを被塗布体の上に配置させ、前記の塗液供給装置から塗液供給管を通して塗液を塗布用ノズルに所定の圧力で供給して、この塗液をスリット状吐出口から被塗布体の表面に吐出させながら、被塗布体の上において塗布用ノズルを塗布方向に移動させ、被塗布体の表面に塗液を塗布させるようにしたものが広く利用されている。

ここで、前記のように塗液供給装置から塗液を塗布用ノズルに所定の圧力で供給して、この塗液をスリット状吐出口から被塗布体の表面に吐出させる場合、塗液供給装置から塗液供給管を通して塗液を塗液収容部に供給する際に、配管圧損（圧力損失）等か生じて、速やかに所定量の塗液をスリット状吐出口から被塗布体の表面に吐出させることができず、塗布開始時から被塗布体の表面に塗布される塗液の膜厚が徐々に増加して、被塗布体の表面に塗布される塗液の膜厚が一定になるまでに所定の時間を要し、また被塗布体の表面への塗液の塗布を停止させるにあたり、塗液供給装置から塗布用ノズルに供給する塗液に加わる圧力を減圧させて塗布用ノズルから塗液が吐出されないようにする場合にも、塗布用ノズルから塗液が吐出されなくなるまでに時間を要し、被塗布体の表面に塗布される塗液の膜厚が徐々に減少するようになり、塗布の開始時と停止時においては、塗液を被塗布体の表面に均一な厚みに塗布することができなかった。

このため、近年においては、塗布用ノズルにおける塗液収容部内に液供給管を通して塗液を供給し、前記の塗液収容部内に供給された塗液を、前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布するにあたり、特許文献３に示されるように、前記の塗液収容部内で回転して塗液収容部と前記のスリット状吐出口との間の開閉を行うシャッター部材を設け、前記のシャッター部材を回転させて、塗液収容部とスリット状吐出口との間を開閉させるようにしたものが提案されている。

そして、この特許文献３においては、前記の塗液収容部内における塗液に加わる圧力を調整する圧力調整手段を設け、圧力調整手段により塗液収容部内に収容された塗液に加わる圧力を一定圧に保った状態で、前記のシャッター部材を回転させて、塗液収容部とスリット状吐出口との間を開閉させるようにし、塗液収容部とスリット状吐出口との間を開口させた場合には、塗液収容部内に収容された塗液が一定した圧力でスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に供給されて、相対的に移動する被塗布体の表面に塗液が一定した厚みで塗布されるようにする一方、シャッター部材を回転させて塗液収容部とスリット状吐出口との間を閉塞させた場合には、スリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗液が供給されるのが速やかに停止されるようにすることも提案されている。

ここで、この特許文献３において、前記のように塗液収容部内に収容された塗液を一定した圧力でスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に供給して、被塗布体の表面に塗液を塗布させた場合において、塗液収容部内に収容された塗液がなくなった場合には、塗布動作を停止して、塗液収容部内に所定量の塗液を供給（補充）することが必要になり、塗布動作を再開させるまでの待機時間が長くなり、塗布動作を効率よく行うことができないという問題があった。

特開平７－１３２２６７号公報特許第４３４４３８１号公報特許第６８７３５８６号公報

本発明は、塗布用ノズルにおける塗液収容部内に塗液を供給し、この塗液収容部内における塗液を吐出させる塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を被塗布体と対向するように配置させ、前記の被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させて、前記の塗液収容部内における塗液を、前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布するようにした塗布装置における前記のような問題を解決することを課題とするものである。

すなわち、本発明においては、前記のような塗布装置において、塗液収容部内における塗液を、塗布用ノズルの先端部に設けたスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布させる動作と、塗液収容部内に塗液を供給する動作とが同時に行えるようにして、被塗布体の表面に塗液を塗布する操作の切り換えか速やかに行えると共に、塗液を被塗布体の表面に均一な厚みになるように簡単に塗布できるようにすることを課題とするものである。

本発明における塗布装置においては、前記のような課題を解決するため、塗布用ノズルにおける塗液収容部内に塗液を供給し、この塗液収容部内における塗液を吐出させる塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を被塗布体の上に配置させ、前記の被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させて、前記の塗液収容部内における塗液を、前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布する塗布装置において、前記の塗液収容部内を第１塗液収容部と第２塗液収容部とに分割する分割部材を塗液収容部内に移動可能に設け、前記の分割部材を移動させて、第１塗液収容部と第２塗液収容部との一方が前記のスリット状吐出口と連通されるようにし、前記の第１塗液収容部に塗液を供給する第１塗液供給管と、前記の第２塗液収容部に塗液を供給する第２塗液供給管とにそれぞれ塗液の供給・停止を行うバルブを設けると共に、第１塗液収容部内における塗液に加わる圧力を調整する第１圧力調整手段として、前記の第１塗液収容部内に空気を供給する第１空気供給管にバルブを設けると共に、第１塗液収容部内における空気を排気させる第１排気管にバルブを設け、第２塗液収容部内における塗液に加わる圧力を調整する第２圧力調整手段として、前記の第２塗液収容部内に空気を供給する第２空気供給管にバルブを設けると共に、第２塗液収容部内における空気を排気させる第２排気管にバルブを設け、
塗液が収容された第１塗液収容部から塗液を被塗布体に塗布させるにあたり、前記の分割部材を移動させて、第１塗液収容部を前記のスリット状吐出口と連通させ、前記の第１塗液供給管に設けたバルブと、前記の第１排気管に設けたバルブを閉じると共に、前記の第１空気供給管に設けたバルブを開けて空気を第１塗液収容部内に供給し、第１塗液収容部内に収容された塗液に加わる圧力を調整して塗液を被塗布体に塗布させる一方、前記の第２塗液収容部においては、前記の第２空気供給管に設けたバルブを閉じ、前記の第２塗液供給管に設けたバルブと、前記の第２排気管に設けたバルブを開け、前記の第２塗液供給管を通して塗液を第２塗液収容部内に供給すると共に、第２塗液収容部内における空気を前記の第２排気管を通して排気させるようにし、
また、塗液が収容された第２塗液収容部から塗液を被塗布体に塗布させるにあたり、前記の分割部材を移動させて、第２塗液収容部を前記のスリット状吐出口と連通させ、前記の第２塗液供給管に設けたバルブと、前記の第２排気管に設けたバルブを閉じると共に、前記の第２空気供給管に設けたバルブを開けて空気を第２塗液収容部内に供給し、前記の第２塗液収容部内に収容された塗液に加わる圧力を調整して塗液を被塗布体に塗布させる一方、前記の第１塗液収容部においては、前記の第１空気供給管に設けたバルブを閉じ、前記の第１塗液供給管に設けたバルブと、前記の第１排気管に設けたバルブを開け、前記の第１塗液供給管を通して塗液を第１塗液収容部内に供給すると共に、第１塗液収容部内における空気を前記の第１排気管を通して排気させるようにした。

そして、本発明の塗布装置においては、前記のように塗液が収容された第１塗液収容部から塗液を被塗布体に塗布させるにあたり、前記の分割部材を移動させて、第１塗液収容部を前記のスリット状吐出口と連通させ、前記の第１塗液供給管に設けたバルブと、前記の第１排気管に設けたバルブを閉じると共に、前記の第１空気供給管に設けたバルブを開けて空気を第１塗液収容部内に供給し、第１塗液収容部内に収容された塗液に加わる圧力を調整して塗液を被塗布体に塗布させる一方、前記の第２塗液収容部においては、前記の第２空気供給管に設けたバルブを閉じ、前記の第２塗液供給管に設けたバルブと、前記の第２排気管に設けたバルブを開け、前記の第２塗液供給管を通して塗液を第２塗液収容部内に供給すると共に、第２塗液収容部内における空気を前記の第２排気管を通して排気させるようにし、
また、塗液が収容された第２塗液収容部から塗液を被塗布体に塗布させるにあたり、前記の分割部材を移動させて、第２塗液収容部を前記のスリット状吐出口と連通させ、前記の第２塗液供給管に設けたバルブと、前記の第２排気管に設けたバルブを閉じると共に、前記の第２空気供給管に設けたバルブを開けて空気を第２塗液収容部内に供給し、前記の第２塗液収容部内に収容された塗液に加わる圧力を調整して塗液を被塗布体に塗布させる一方、前記の第１塗液収容部においては、前記の第１空気供給管に設けたバルブを閉じ、前記の第１塗液供給管に設けたバルブと、前記の第１排気管に設けたバルブを開け、前記の第１塗液供給管を通して塗液を第１塗液収容部内に供給すると共に、第１塗液収容部内における空気を前記の第１排気管を通して排気させるようにしたため、第１塗液収容部と第２塗液収容部の一方の塗液収容部内における塗液を、スリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布させながら、他方の塗液収容部内に塗液を供給させることができるようになる。また、前記の分割部材を塗液収容部内で移動させて、前記のスリット状吐出口と連通される塗液収容部を、前記の第1塗液収容部と第２塗液収容部との間で切り換えることにより、前記のような動作を繰り返して交互に行えるようになり、塗液の供給（補充）のための待機時間が殆どなくなって、生産効率を向上することができる。

また、本発明の塗布装置においては、前記のように第1圧力調整手段によって、第１塗液収容部内における塗液に加わる圧力を調整し、また第２圧力調整手段によって、第２塗液収容部内における塗液に加わる圧力を調整することにより、各塗液収容部内における塗液に加わる圧力を一定圧に保った状態で、前記の各塗液収容部内における塗液を前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に供給することができるようになり、相対的に移動する被塗布体の表面に塗液が一定した厚みで塗布されるようになる。

ここで、本発明の塗布装置においては、前記の塗液収容部を円筒状に形成すると共に、前記の分割部材に塗液収容部の内壁面に接触して塗液収容部内を第１塗液収容部と第２塗液収容部とに分割させる分離凸条を２つ設け、前記の分割部材を塗液収容部内において回転させて、前記のスリット状吐出口と連通させる第１塗液収容部と第２塗液収容部との切り換えるようにすることができる。このようにすると、分割部材を塗液収容部内で移動させて、スリット状吐出口と連通される第１塗液収容部と第２塗液収容部とを切り換える操作が簡単に行えるようになる。

また、本発明の塗布装置においては、前記のように塗液が収容された第１塗液収容部から塗液を被塗布体に塗布させるにあたり、第1圧力調整手段によって、塗液が供給された前記の第１塗液収容部内に気体を供給して、第１塗液収容部内における塗液に加わる圧力が一定圧になるように調整し、また塗液が収容された第２塗液収容部から塗液を被塗布体に塗布させるにあたり、前記の第２圧力調整手段によって、塗液が供給された前記の第２塗液収容部内に気体を供給して、第２塗液収容部内における塗液に加わる圧力を一定圧になるように調整することができる。

本発明における塗布装置においては、前記のように塗液が収容された一方の第1又は第２塗液収容部を、塗液を吐出させるスリット状吐出口と連通させ、この第1又は第２塗液収容部内における塗液に加わる圧力を第1又は第２圧力調整手段により一定圧に保った状態で、前記の第1又は第２塗液収容部内における塗液を前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布する一方、スリット状吐出口と連通されていない他方の第２又は第１塗液収容部内に塗液供給管を通して塗液を供給することにより、一方の第1又は第２塗液収容部内における塗液を、スリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布させながら、他方の第２又は第１塗液収容部内に塗液を供給させることができ、また分割部材を塗液収容部内で移動させて、前記のスリット状吐出口と連通される第1又は第２塗液収容部を切り換えることにより、前記のような動作を繰り返して交互に行えるようになる。

それにより、塗布装置に塗液を供給（補充）するための待機時間を殆どなくすことができ、生産効率を向上できる。

また、本発明の塗布装置においては、前記のように第1又は第２塗液収容部内における塗液に加わる圧力を前記の第1又は第２圧力調整手段により一定圧に保った状態で、前記の塗液収容部内における塗液を前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布するようにしたため、塗液が一定した圧力でスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に供給されて、相対的に移動する被塗布体の表面に塗液が一定した厚みで塗布されるようになる。

この結果、本発明の塗布装置においては、塗液収容部内における塗液を、塗布用ノズルの先端部に設けたスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布させる動作と、前記の塗液収容部内に塗液を供給する動作とが同時に行え、被塗布体の表面に塗液を塗布する操作の切り換えか速やかに行え、従来のような塗布装置に塗液を供給（補充）するための待機時間を殆どなくすことができ、生産効率が向上すると共に、塗液を被塗布体の表面に均一な厚みになるように簡単に塗布できるようになる。

本発明の実施形態に係る塗布装置において、塗布動作を行う前の状態を示した概略断面説明図である。前記の実施形態に係る塗布装置において、（Ａ）は、分割部材における分離凸条により塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を閉じた状態で塗液を第１塗液収容部内に収容させる状態を示した概略断面説明図、（Ｂ）は、分割部材を回転させて、第１塗液収容部をスリット状吐出口と連通させ、第１塗液収容部に収容された塗液を一定圧に保った状態でスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布する一方、スリット状吐出口と連通されていない第２塗液収容部に塗液を供給する状態を示した概略断面説明図、（Ｃ）は、第１塗液収容部に収容された塗液が減少した場合に、分割部材を回転させて、第１塗液収容部に収容された塗液を被塗布体の表面に塗布する動作を停止させた状態を示した概略断面説明図、（Ｄ）は、分割部材を回転させて、第２塗液収容部をスリット状吐出口と連通させ、第２塗液収容部に収容された塗液を一定圧に保った状態でスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布する一方、スリット状吐出口と連通されていない第１塗液収容部に塗液を供給する状態を示した概略断面説明図、である。本発明の第２実施形態に係る塗布装置を示した概略断面説明図である。

以下、本発明の実施形態に係る塗布装置を添付図面に基づいて具体的に説明する。なお、本発明の塗布装置は、下記の実施形態に示したものに限定されず、発明の要旨を変更しない範囲において、適宜変更して実施できるものである。

図１に示す実施形態における塗布装置においては、塗布用ノズル１０の内部に塗液Ｐを収容させる円筒状になった塗液収容部１１を設けると共に、前記の塗布用ノズル１０の先端部に前記の塗液収容部１１内に収容された塗液Ｐを吐出させるスリット状吐出口１２を塗液収容部１１と連通するように設けている。

そして、この実施形態における塗布装置においては、前記の塗液収容部１１内を第１塗液収容部１１ａと第２塗液収容部１１ｂとに分割させるにあたり、円筒状になった塗液収容部１１内において回転可能に設けた分割部材１３に放射状に半径方向に伸びた２つの分離凸条１３ａを設け、この２つの分離凸条１３ａの先端を塗液収容部１１の内周面に接触させて、塗液収容部１１内を第１塗液収容部１１ａと第２塗液収容部１１ｂとに分割させるようにし、またこの分離凸条１３ａによって塗布用ノズル１０の先端部に設けたスリット状吐出口１２との間を閉塞できるようにしている。

また、この実施形態における塗布装置においては、前記の第１塗液収容部１１ａに対して塗液Ｐを供給する第１塗液供給管１４ａにバルブ１５ａを設けると共に、前記の第２塗液収容部１１ｂに対して塗液Ｐを供給する第２塗液供給管１４ｂにバルブ１５ｂを設け、前記のバルブ１５ａとバルブ１５ｂの開閉を制御して、第１塗液収容部１１ａと第２塗液収容部１１ｂとに対する塗液Ｐの供給と停止とを行うようにしている。

また、この実施形態における塗布装置においては、前記の第１塗液収容部１１ａ内における塗液Ｐに加わる圧力を調整する第１圧力調整手段１６ａとして、第１塗液収容部１１ａ内に空気（気体）Ａｉｒを供給する第１空気供給管１６１ａにバルブ１６２ａを設けると共に、第１塗液収容部１１ａ内における空気Ａｉｒを排気させる第１排気管１６３ａにバルブ１６４ａを設け、また前記の第２塗液収容部１１ｂ内における塗液Ｐに加わる圧力を調整する第２圧力調整手段１６ｂとして、第２塗液収容部１１ｂ内に空気Ａｉｒを供給する第２空気供給管１６１ｂにバルブ１６２ｂを設けると共に、第２塗液収容部１１ｂ内における空気Ａｉｒを排気させる第２排気管１６３ｂにバルブ１６４ｂを設けている。なお、図面においては、前記の各バルブ１５ａ，バルブ１５ｂ，バルブ１６２ａ，バルブ１６２ｂ，バルブ１６４ａ，バルブ１６４ｂを開けた場合を白抜きで、閉じた場合を黒塗りで示した。

また、前記の各圧力調整手段１６ａ，１６ｂにおける圧力調整とは、前記の各空気供給管１６１ａ，１６１ｂに設けた各バルブ１６２ａ，１６２ｂの開度を変更することによる圧力の調整の他に、各バルブ１６２ａ，１６２ｂを閉じて圧力をゼロにすることも含まれる。

ここで、この実施形態における塗布装置において、被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐを塗布するにあたっては、例えば、最初は、図２（Ａ）示すように、前記の分割部材１３における分離凸条１３ａにより塗布用ノズル１０の先端部におけるスリット状吐出口１２を閉じた状態で、前記の第１塗液供給管１４ａに設けたバルブ１５ａを開けると共に、前記の第１空気供給管１６１ａに設けたバルブ１６２ａを閉じた状態で、第１排気管１６３ａに設けたバルブ１６４ａを開け、前記の第１塗液供給管１４ａを通して塗液Ｐを第１塗液収容部１１ａ内に供給すると共に、第１塗液収容部１１ａ内における空気Ａｉｒを、第１排気管１６３ａを通して排気させるようにする。なお、最初であるため、第２塗液収容部１１ｂは空の状態になっている。

このようにして、最初に、前記の第１塗液収容部１１ａ内に所定量の塗液Ｐを収容させた後は、図２（Ｂ）に示すように、前記の分割部材１３を、図では反時計方向に回転させて、スリット状吐出口１２を閉じていた前記の分離凸条１３ａを第２塗液収容部１１ｂの方向に移動させて、第１塗液収容部１１ａを前記のスリット状吐出口１２と連通させるようにする。

そして、前記の第１塗液収容部１１ａにおいては、第１塗液供給管１４ａに設けたバルブ１５ａを閉じると共に、前記の第１排気管１６３ａに設けたバルブ１６４ａを閉じる一方、前記の第１空気供給管１６１ａに設けたバルブ１６２ａを開けて空気Ａｉｒを第１塗液収容部１１ａ内に供給して圧力をかけ、前記の第１塗液収容部１１ａ内に収容された塗液Ｐに加わる圧力を調整し、第１塗液収容部１１ａ内に収容された塗液Ｐを一定圧に保った状態で、前記のスリット状吐出口１２を通して移動する被塗布体Ｗの表面に塗布させるようにする。

一方、前記の第２塗液収容部１１ｂにおいては、前記の第２塗液供給管１４ｂに設けたバルブ１５ｂを開けると共に、前記の第２空気供給管１６１ｂに設けたバルブ１６２ｂを閉じた状態で、第２排気管１６３ｂに設けたバルブ１６４ｂを開け、前記の第２塗液供給管１４ｂを通して塗液Ｐを第２塗液収容部１１ｂ内に供給すると共に、第２塗液収容部１１ｂ内における空気Ａｉｒを、第２排気管１６３ｂを通して排気させるようにする。

また、このようにして第１塗液収容部１１ａ内に収容された塗液Ｐを、前記のスリット状吐出口１２を通して移動する被塗布体Ｗの表面に塗布させた結果、第１塗液収容部１１ａ内に収容された塗液Ｐの量が減少した場合には、図２（Ｃ）に示すように、前記の分割部材１３を、図では時計方向に回転させて、前記の分離凸条１３ａによりスリット状吐出口１２を閉じると共に、前記の第１空気供給管１６１ａに設けたバルブ１６２ａを閉じて、前記の第１塗液収容部１１ａ内に収容された塗液Ｐがスリット状吐出口１２から被塗布体Ｗの表面に供給されないようにし、また、前記の第２塗液供給管１４ｂを通して第２塗液収容部１１ｂ内に供給された塗液Ｐの量が所定量に達すると、前記の第２塗液供給管１４ｂに設けたバルブ１５ｂを閉じて、第２塗液収容部１１ｂ内に塗液Ｐを供給するのを停止させると共に、前記の第２排気管１６３ｂに設けたバルブ１６４ｂを閉じるようにする。

その後、図２（Ｄ）に示すように、前記の分割部材１３を、図では時計方向に回転させて、スリット状吐出口１２を閉じていた前記の分離凸条１３ａを第１塗液収容部１１ａの方向に移動させて、塗液Ｐが供給された前記の第２塗液収容部１１ｂを前記のスリット状吐出口１２と連通させると共に、前記の第２空気供給管１６１ｂに設けたバルブ１６２ｂを開けて空気Ａｉｒを第２塗液収容部１１ｂ内に供給して圧力をかけ、前記の第２塗液収容部１１ｂ内に収容された塗液Ｐに加わる圧力を調整し、第２塗液収容部１１ｂ内に収容された塗液Ｐを一定圧に保った状態で、前記のスリット状吐出口１２を通して移動する被塗布体Ｗの表面に塗布させることを再開させるようにする。

一方、前記の第１塗液収容部１１ａにおいては、前記の第１塗液供給管１４ａに設けたバルブ１５ａを開けると共に、前記の第１空気供給管１６１ａに設けたバルブ１６２ａを閉じた状態で、第１排気管１６３ａに設けたバルブ１６４ａを開け、前記の第１塗液供給管１４ａを通して塗液Ｐを第１塗液収容部１１ａ内に供給すると共に、第１塗液収容部１１ａ内における空気Ａｉｒを、第１排気管１６３ａを通して排気させるようにする。

その後は、前記の図２（Ｂ）～（Ｄ）に示すように、第１塗液収容部１１ａ内に収容された塗液Ｐを、スリット状吐出口１２を通して被塗布体Ｗの表面に塗布させながら、第２塗液収容部１１ｂ内に塗液Ｐを供給する動作と、第２塗液収容部１１ｂ内に収容された塗液Ｐを、スリット状吐出口１２を通して被塗布体Ｗの表面に塗布させながら、第１塗液収容部１１ａ内に塗液Ｐを供給する動作とを、交互に繰り返して行うことにより、従来に比べて、被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐを塗布する操作を繰り返して行うことが短時間で速やかに行え、従来のような塗布装置に塗液Ｐを供給（補充）するための待機時間を殆どなくすことができ、生産効率を向上できるようになる。

また、前記のように第１塗液収容部１１ａ内や第２塗液収容部１１ｂ内における塗液Ｐに加わる圧力を一定圧に保った状態で、第１塗液収容部１１ａ内や第２塗液収容部１１ｂ内における塗液Ｐを、スリット状吐出口１２を通して被塗布体Ｗの表面に塗布するようにしたため、塗液Ｐが一定した圧力でスリット状吐出口１２を通して被塗布体Ｗの表面に供給されて、移動する被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐが一定した厚みで塗布されるようになる。

なお、この実施形態においては、スリット状吐出口１２を通して被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐを塗布するにあたり、被塗布体Ｗを移動させるようにしたが、塗布用ノズル１０を被塗布体Ｗに沿って移動させるようにすることもできる。

また、この実施形態においては、第１塗液収容部１１ａと第２塗液収容部１１ｂとに供給する塗液Ｐを同じにして、被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐを塗布する操作を繰り返して行うようにしたが、第１塗液収容部１１ａと第２塗液収容部１１ｂとに供給する塗液Ｐの種類を異ならせて、第１塗液収容部１１ａと第２塗液収容部１１ｂとから異なる塗液Ｐを塗布させるようにすることもできる。

なお、便宜上、上記では図２（Ｂ），図２（Ｃ），図２（Ｄ）の順で説明したが、図２（Ｃ）の状態は、塗布を一旦停止させたい場合に用いてもよい。図２（Ｃ）の状態の後、第１塗液収容部１１ａ内に収容された塗液Ｐが、さほど減少していなければ、分割部材１３を反時計方向に回転させて、図２（Ｂ）の状態に戻して塗布を再開してもよい。

また、図２（Ｃ）の状態で分割部材１３の回転を止めるように説明したが、図２（Ｂ）の状態から分割部材１３の回転を止めずに、図２（Ｄ）の状態に素早く切替えしてもよい。そのようにすれば、塗工がほぼ途絶えることなく連続して行うことができる。

さらに、この実施形態においては、前記のように円筒状になった塗液収容部１１内において回転可能に設けた分割部材１３に放射状に半径方向に伸びた２つの分離凸条１３ａを設け、この２つの分離凸条１３ａにより塗液収容部１１内を第１塗液収容部１１ａと第２塗液収容部１１ｂとに分割させるようにしたが、図３の第２の実施形態に示すように、塗液収容部１１の形状を変更し、分割部材１３を、図中において矢印で示すように、スリット状吐出口１２の長手方向と直交する方向に往復移動させるようにして、塗液収容部１１内を第１塗液収容部１１ａと第２塗液収容部１１ｂとに分割させるようにすることもできる。

１０：塗布用ノズル
１１：塗液収容部
１１ａ：第１塗液収容部
１１ｂ：第２塗液収容部
１２：スリット状吐出口
１３：分割部材
１３ａ：分離凸条
１４ａ：第１塗液供給管
１４ｂ：第２塗液供給管
１５ａ：バルブ
１５ｂ：バルブ
１６：第１圧力調整手段
１６ｂ：第２圧力調整手段
１６１ａ：第１空気供給管
１６１ｂ：第２空気供給管
１６２ａ：バルブ
１６２ｂ：バルブ
１６３ａ：第１排気管
１６３ｂ：第２排気管
１６４ａ：バルブ
１６４ｂ：バルブ
Ａｉｒ：空気
Ｐ：塗液
Ｗ：被塗布体

Claims

塗布用ノズルにおける塗液収容部内に塗液を供給し、この塗液収容部内における塗液を吐出させる塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を被塗布体の上に配置させ、前記の被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させて、前記の塗液収容部内における塗液を、前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗布する塗布装置において、前記の塗液収容部内を第１塗液収容部と第２塗液収容部とに分割する分割部材を塗液収容部内に移動可能に設け、前記の分割部材を移動させて、第１塗液収容部と第２塗液収容部との一方が前記のスリット状吐出口と連通されるようにし、前記の第１塗液収容部に塗液を供給する第１塗液供給管と、前記の第２塗液収容部に塗液を供給する第２塗液供給管とにそれぞれ塗液の供給・停止を行うバルブを設けると共に、第１塗液収容部内における塗液に加わる圧力を調整する第１圧力調整手段として、前記の第１塗液収容部内に空気を供給する第１空気供給管にバルブを設けると共に、第１塗液収容部内における空気を排気させる第１排気管にバルブを設け、第２塗液収容部内における塗液に加わる圧力を調整する第２圧力調整手段として、前記の第２塗液収容部内に空気を供給する第２空気供給管にバルブを設けると共に、第２塗液収容部内における空気を排気させる第２排気管にバルブを設け、
塗液が収容された第１塗液収容部から塗液を被塗布体に塗布させるにあたり、前記の分割部材を移動させて、第１塗液収容部を前記のスリット状吐出口と連通させ、前記の第１塗液供給管に設けたバルブと、前記の第１排気管に設けたバルブを閉じると共に、前記の第１空気供給管に設けたバルブを開けて空気を第１塗液収容部内に供給し、第１塗液収容部内に収容された塗液に加わる圧力を調整して塗液を被塗布体に塗布させる一方、前記の第２塗液収容部においては、前記の第２空気供給管に設けたバルブを閉じ、前記の第２塗液供給管に設けたバルブと、前記の第２排気管に設けたバルブを開け、前記の第２塗液供給管を通して塗液を第２塗液収容部内に供給すると共に、第２塗液収容部内における空気を前記の第２排気管を通して排気させるようにし、
また、塗液が収容された第２塗液収容部から塗液を被塗布体に塗布させるにあたり、前記の分割部材を移動させて、第２塗液収容部を前記のスリット状吐出口と連通させ、前記の第２塗液供給管に設けたバルブと、前記の第２排気管に設けたバルブを閉じると共に、前記の第２空気供給管に設けたバルブを開けて空気を第２塗液収容部内に供給し、前記の第２塗液収容部内に収容された塗液に加わる圧力を調整して塗液を被塗布体に塗布させる一方、前記の第１塗液収容部においては、前記の第１空気供給管に設けたバルブを閉じ、前記の第１塗液供給管に設けたバルブと、前記の第１排気管に設けたバルブを開け、前記の第１塗液供給管を通して塗液を第１塗液収容部内に供給すると共に、第１塗液収容部内における空気を前記の第１排気管を通して排気させることを特徴とする塗布装置。
請求項1に記載の塗布装置において、前記の塗液収容部を円筒状に形成すると共に、前記の分割部材に塗液収容部の内壁面に接触して塗液収容部内を第１塗液収容部と第２塗液収容部とに分割させる分離凸条を２つ設け、前記の分割部材を塗液収容部内において回転させて、前記のスリット状吐出口と連通させる第１塗液収容部と第２塗液収容部との切り換えを行うことを特徴とする塗布装置。
請求項１又は請求項２に記載の塗布装置において、塗液が収容された第１塗液収容部から塗液を被塗布体に塗布させるにあたり、前記の第１圧力調整手段は、塗液が供給された前記の第１塗液収容部内に気体を供給して、第１塗液収容部内における塗液に加わる圧力が一定圧になるように調整し、また塗液が収容された第２塗液収容部から塗液を被塗布体に塗布させるにあたり、前記の第２圧力調整手段は、塗液が供給された前記の第２塗液収容部内に気体を供給して、第２塗液収容部内における塗液に加わる圧力が一定圧になるように調整することを特徴とする塗布装置。