JPH1076209A - 液体塗布装置 - Google Patents

液体塗布装置

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JPH1076209A
JPH1076209A JP8257620A JP25762096A JPH1076209A JP H1076209 A JPH1076209 A JP H1076209A JP 8257620 A JP8257620 A JP 8257620A JP 25762096 A JP25762096 A JP 25762096A JP H1076209 A JPH1076209 A JP H1076209A
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    • B05B12/02—Arrangements for controlling delivery; Arrangements for controlling the spray area for controlling time, or sequence, of delivery

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 垂れ現象を生じず塗布開始部および塗布終了
部がシャープなエッジに塗布することができると共に、
管路が切り替えられると直ちに液体がスリットダイから
吐出されるようにすることができる塗布装置を提供する
ことである。 【解決手段】 液体貯留槽１と送液ポンプ４と液体引き
戻し機構を有する供給用仕切弁８と液体吐出用のスリッ
トダイ９とが前記順序で第１送液用管３、第２送液用管
５、第３送液用管７によって連結されている装置におい
て、前記送液ポンプ４と供給用仕切弁８の間に液体を直
接液体貯留槽１に戻すための戻り用仕切弁１０を有する
第１液戻し用管１１と第２戻り用管１２を設けると共
に、電磁弁１５、１７および制御装置２２によって前記
供給用仕切弁８と戻り用仕切弁１０との管路を瞬時に切
り替える構成にしてある。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は塗布対象物に合成樹
脂液あるいは塗料等の液体を塗布する塗布装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、リチウム−イオン電池製造工程
において長尺のアルミ箔、銅箔等の基材に電極材料であ
る黒鉛、コークス、炭素繊維等を所定の間隔をもって間
欠的に塗布する場合、あるいは長尺の合成樹脂フイル
ム、紙のシート状物の表面に合成樹脂液あるいは塗料等
の液体を間歇的に塗布する場合には、これ等の塗布対象
物をローラによって水平方向または垂直方向に搬送す
る。
【０００３】また、所定の寸法に裁断された枚葉状のガ
ラス基板、ウエハ等の塗布対象物の表面に合成樹脂液あ
るいは塗料等の液体を間歇的に塗布する場合には、該塗
布対象物が枚葉状物の場合はベルトコンベアー、ローラ
コンベア等によって水平方向に搬送する。
【０００４】そして、塗布対象物が長尺のシート状物の
場合にはバックアップローラ等の前方に幅方向にスリッ
ト状の液体吐出口を有するスリットダイを設置し、液体
貯留槽の液体を該スリットダイに供給するための送液用
管を三方弁によってスリットダイに連結せしめると共
に、該三方弁に液戻り用管を連結せしめた構成の塗布装
置が使用されている。
【０００５】上述の塗布装置においては送液ポンプを連
続運転して液体を送り、三方弁の管路を切り替えること
によって液体をスリットダイから吐出したり、吐出を停
止したりしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述のような三方弁の
管路の切り替えによって液体の吐出と停止を行なう方法
では、該三方弁の管路を切り替えても直ちに液体の吐出
が停止されずに垂れ現象を生じて塗布開始部あるいは塗
布終了部がシャープなエッジにならないという問題があ
る。
【０００７】また、液体貯留槽が大気圧の状態になって
いる場合には、三方弁の管路を切り替えて液体を貯槽に
戻すようにすると送液用管内の圧力が低下し、再び液体
を吐出するために管路を切り替えても送液用管内の液体
圧力が所定の圧力に上昇するまで液体がスリットダイか
ら安定して吐出されず、塗布不良や膜厚不良を引き起こ
すという問題がある。
【０００８】本発明は垂れ現象を生じず塗布開始部およ
び塗布終了部がシャープなエッジに塗布することができ
ると共に、管路が切り替えられると直ちに液体がスリッ
トダイから安定して吐出されるようにすることができる
塗布装置を提供することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
め本発明の塗布装置は請求項１のように送液ポンプと液
体引き戻し機構を有する供給用仕切弁の間に液体を直接
液体貯留槽に戻すための戻り用仕切弁を有するバイパス
管を設けると共に、前記供給用仕切弁と戻り用仕切弁と
の管路を瞬時に切り替える切り替え制御手段を設けた構
成にしてある。
【００１０】また、請求項２のような液戻し用管に圧力
調節弁を設けると共に、送液ポンプと圧力調節弁の間ま
たは送液ポンプと供給用仕切弁の間に圧力計を設けた構
成、請求項３のような圧力計の検知圧力が常に一定にな
るように圧力調節弁をコントロールする圧力制御手段を
設けた構成にしてある。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１は本発明の塗布装置の１実施
例を示す概略図であって、該塗布装置は液体貯留槽１
と、仕切り弁２を有し、一端が該液体貯留槽１に連結さ
れ他端が送液ポンプ４に連結された第１液用管３と、一
端が送液ポンプ４に連結され他端がＴ字形管６に連結さ
れた第２送液用管５と、一端がＴ字形管６に連結され他
端が供給用仕切弁８によってスリットダイ９に連結され
た第３送液用管７と、一端がＴ字形管６に連結され他端
が戻り用仕切弁１０に連結された第１戻り用管１１と、
圧力調節弁１３を有し、一端が戻り用仕切弁１０に連結
され他端が貯槽１に連結された第２戻り用管１２とによ
り構成されている。
【００１２】上述の供給用仕切弁８は例えば実公平１−
３７７２７号公報、特開昭４９−１００１５６号公報等
に記載されているような液体引き戻し機構を有するもの
を使用する。
【００１３】上述の第２戻り用管１２の貯槽１に対する
連結位置は、液体が液体貯留槽１内の液中に戻されるよ
うに液面より下方になるようにするのが好ましい。
【００１４】また、供給用仕切弁８には電磁弁１５を有
する第１圧空供給用管１４が連結され、戻り用仕切弁９
には電磁弁１７を有する第２圧空供給用管１６が連結さ
れている。
【００１５】上述の電磁弁１５、１７、シート状物の移
動量を検出する検出器（図示せず）、電磁弁１５、１７
を作動させる制御装置２２等により切り替え制御手段１
８を形成している。
【００１６】そして、スリットダイ９からの液体の吐
出、停止を行なう場合の供給用仕切弁８と戻り用仕切弁
１０の管路切り替えタイミングは、タイマーによる時間
あるいはシート状物の移動長さを搬送用のドラム２３の
回転量をパルスとしてカウントした値等に基づいて設定
機能、比較演算機能、動作指令機能等を有するコンピュ
ータ等の制御装置２２によって夫々個別に電磁弁１５、
１７を作動させて制御する。
【００１７】上述の圧力調節弁１３は第２送液用管５に
設けられた圧力計１９と圧力設定器２０とからなる圧力
制御手段２１により制御されるようになっている。
【００１８】該圧力計１９は送液用のポンプ４の送液圧
力を検出して圧力検知信号を圧力設定器２０に送るよう
になっている。
【００１９】該圧力計１９から検出信号が圧力設定器２
０に送られると、その圧力値を記憶し、その後送られて
きた圧力値と比較演算し、先に記憶された圧力値になる
ように圧力調節弁１３の開口量を制御する。
【００２０】上述の圧力計１９は第３送液用管７あるい
は第１戻り用管１１に設けることができるが、第２送液
用管５に設けるのが好ましい。
【００２１】該圧力計１９が圧力値記憶機能、演算機
能、圧力調節弁作動機能等を備えているものを使用する
場合は、圧力設定器２０を省略することができる。
【００２２】上述の液体貯留槽１には、液体貯留槽１内
の液体を混合する撹拌装置、槽内の液面を検出する液面
計を設けたり、液体貯留槽１内の液体の変化防止用の不
活性ガスあるいは貯槽内圧力調節用の圧空等を供給する
ための流体供給用管を連結することもできる。
【００２３】また、液体を所定の温度に維持する必要が
ある場合は液体貯留槽１及び送液用管、戻り用管、スリ
ットダイ等にジャケットを設けて熱媒体あるいは冷媒体
を供給する。
【００２４】上述の供給用仕切弁８と戻り用仕切弁１０
は高速応答型のものを使用する。
【００２５】上述のスリットダイ９が往復動あるいは回
動して吐出口が吐出位置と待機位置に移動する場合は、
第３送液用管７全体またはその一部をゴム管、フレキシ
ブル管等の可撓性のある管にすることもできる。
【００２６】上述の塗布装置による液体の塗布動作を説
明する。
【００２７】先ず、液体貯留槽１に塗布用の液体を所定
量供給し、次いで仕切弁２を操作して開栓の状態にする
と共に電磁弁１５を作動させて供給用仕切弁８を開、電
磁弁１７を作動させて戻り用仕切弁１０を閉の状態にす
る。
【００２８】この状態で送液ポンプ４を作動させて液体
をスリットダイ９に送って垂れ流してトレー（図示せ
ず）に受ける。
【００２９】この操作によって各送液用管３、５、７、
およびスリットダイ９内の空気抜きを行なう。
【００３０】そして、スリットダイ９から液体が垂れ流
されている状態で、第２送液用管５に設けられた圧力計
１９によって液体吐出状態の圧力を検出してその圧力値
を圧力設定値２０に直接入力して記憶させる。
【００３１】該圧力値の圧力設定器２０に対する入力操
作は、作業者が圧力計１９の値を読み取ってその値を圧
力設定器２０に入力する方法でも実施することができ
る。
【００３２】次いで、電磁弁１５を作動させて供給用仕
切弁８を閉、電磁弁１７を作動させて戻り用仕切弁１０
を開の状態にすると、液体戻し時の圧力がスリットダイ
９からの吐出状態の時と同一の圧力値になるように圧力
調節弁１３の開口量が圧力設定器２０からの信号に基づ
いて制御される。
【００３３】これ等の操作が済むと、スリットダイ９の
吐出口をドラム２３によって搬送される塗布対象物であ
るシート状物５０位置に対向させる。
【００３４】次いで、制御装置２２を始動させると、該
制御装置２２からの信号に基づいて電磁弁１７が作動し
て戻り用仕切弁１０が閉の状態になると同時に電磁弁１
５が作動して供給用仕切弁８が開の状態になり、スリッ
トダイ９から液体が吐出されてシート状物５０上に塗布
される。
【００３５】そして、液体がシート状物５０上に予め設
定された長さ塗布されると、電磁弁１５が作動して供給
用仕切弁８が閉の状態になると同時に、電磁弁１７が作
動して戻り用仕切弁１０が開の状態になり、スリットダ
イ９からの液体の吐出が停止される。
【００３６】上述の供給用仕切弁８においては電磁弁１
５が作動して圧空が供給されて弁体（図示せず）が移動
されると、液体が液体供給部側に押し戻されてスリット
ダイ９の吐出口部の液体が供給側に引き戻される。
【００３７】そのため、液体の吐出を停止した時に垂れ
現象を生じず、塗布終了部をシャープなエッジにするこ
とができると共に、吐出口部において液体が凸状に溜ま
らないため、塗布開始部をシャープなエッジにすること
ができる。
【００３８】上述の戻り用仕切弁１０が開の状態になる
と、送液ポンプ４によって送られてきた液体は液体貯留
槽１に戻される。
【００３９】そして、予め設定した時間あるいは所定の
パルスカウント値になると、電磁弁１７が作動して戻り
用仕切弁１０が閉の状態になると同時に電磁弁１５が作
動して供給用仕切弁８が開の状態になり、スリットダイ
９から液体が吐出されてシート状物５０上に塗布され
る。
【００４０】上述の液体戻し時の圧力と液体吐出時の圧
力が同一になるように調節されているため、管路が切り
替えられると直ちに液体がスリットダイ９から吐出され
る。
【００４１】上述の供給用仕切弁８と戻り用仕切弁１０
の開閉タイミングは基本的には同時であるが、供給用仕
切弁８の開動作を戻り用仕切弁１０の閉動作より数十〜
数百ミリセック、好ましくは５０〜２００ミリセック程
度遅らせると、塗布開始時の直線性を良くすることがで
きる。
【００４２】
【発明の効果】本発明の塗布装置は請求項１のように送
液ポンプと液体引き戻し機構を有する供給用仕切弁の間
に液体を直接液体貯留槽に戻すための戻り用仕切弁を有
するバイパス管を設けると共に、前記供給用仕切弁と戻
り用仕切弁との管路を瞬時に切り替える切り替え制御手
段を設けた構成にしているため、垂れ現象を生じず塗布
開始部および塗布終了部がシャープなエッジに塗布する
ことができる。
【００４３】また、請求項２のような液戻し用管に圧力
調節弁を設けると共に、送液ポンプと圧力調節弁の間ま
たは送液ポンプと供給用仕切弁の間に圧力計を設けた構
成にすると、管路が切り替えられると直ちに液体がスリ
ットダイから安定して吐出されるようにすることがで
き、塗工長さ全体において均一な膜厚を得ることがで
き、請求項３のような圧力計の検知圧力が常に一定にな
るように圧力調節弁をコントロールする圧力制御手段を
設けた構成すると、確実に液体を安定して吐出させるこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の塗布装置の構成の１実施例を示す概略
図である。
【符号の説明】
１ 液体貯留槽 ２ 仕切弁 ３ 第１液用管 ４ 送液ポンプ ５ 第２送液用管 ６ Ｔ字形管 ７ 第３送液用管 ８ 供給用仕切弁 ９ スリットダイ １０ 戻り用仕切弁 １１ 第１戻り用管 １２ 第２戻り用管 １３ 圧力調節弁 １４ 第１圧空供給用管 １５、１７ 電磁弁 １６ 第２圧空供給用管 １８ 切り替え制御手段 １９ 圧力計 ２０ 圧力設定器 ２１ 圧力制御手段 ２２ 制御装置 ２３ ドラム

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 液体貯留槽と送液ポンプと液体引き戻し
    機構を有する供給用仕切弁と液体吐出用のスリットダイ
    とが前記順序で送液用管によって連結されている装置に
    おいて、前記送液ポンプと供給用仕切弁の間に液体を直
    接液体貯留槽に戻すための戻り用仕切弁を有する液戻し
    用管を設けると共に、前記供給用仕切弁と戻り用仕切弁
    との管路を瞬時に切り替える切り替え制御手段を設けた
    ことを特徴とする液体塗布装置。
  2. 【請求項２】 液戻し用管に圧力調節弁を設けると共
    に、送液ポンプと圧力調節弁の間または送液ポンプと供
    給用仕切弁の間に圧力計を設けたことを特徴とする請求
    項１に記載の液体塗布装置。
  3. 【請求項３】 圧力計の検知圧力が常に一定になるよう
    に圧力調節弁をコントロールする圧力制御手段を設けた
    ことを特徴とする請求項２に記載の液体塗布装置。
JP25762096A 1996-09-05 1996-09-05 液体塗布装置 Expired - Lifetime JP3165043B2 (ja)

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