JP6620544B2 - 塗布装置及び塗布方法 - Google Patents

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Description

本発明は、塗布装置及び塗布方法、特に液剤の塗布装置及び塗布方法に関する。
従来、接着剤等の塗布液を対象物に塗布する塗布装置として、例えばスロット状の孔部を有するノズル又は複数の小孔を直線状に配設したノズルを備えたものが知られている。
例えば、特許文献1には、このような塗布装置において、シートにホットメルト型接着剤の低坪量塗工を行なうことが容易であり、また、きれいなパターン塗工を行なうことができ、且つ高速生産を可能にする吸収性物品の製造方法及びその装置を提供することを目的として、ホットメルト型接着剤をシート上に塗工する塗工工程を有する吸収性物品の製造方法において、上記塗工工程が、スロット状の孔部を有するノズル又は複数の小孔を直線状に配設したノズルから溶融状態のホットメルト型接着剤を加熱気体流を利用してカーテン状に吐出するカーテンコーターを用いて、上記ホットメルト型接着剤を上記シート上に塗工する塗工工程であることを特徴とする製造方法が開示されている。
しかしながら、上記の製造方法は、溝を彫ったシャフト(ドラム)を回転させ、シャフトの表面に彫り込まれた溝部のとおりの塗布パターンを塗布するものであり、溝部がつながっている連続した塗布パターンしか施すことができない構造のため、連続していない独立した塗布パターンを施すことができないという問題がある。
この点を図8を用いて模式的に説明すると、次のようである。図8(a)はドラムの正面図、(b)はドラムをハウジングに取り付けた状態の正面図、(c)はノズルをドラムの下方にさらに取り付けた状態の正面図、(d)は(c)のγ−γ線側断面図を示している。これらの図に示すように、従来技術では、塗布液Aの供給口301とノズル吐出口611が、塗布パターンとしてドラム501に彫り込まれた溝部511を経由してつながっている状態でないと、対象物に塗布液Aを塗布することができない。すなわち、従来技術は、塗布液Aの供給口301からノズル吐出口611までの流路をドラム501の表面に彫りつなげているため、つながっていない部分は塗布することができないのである。なお、図8中、541はシール部を、21はハウジングを、201は塗布液Aの流路を、601はノズルを、それぞれ指している。
特開平6−237957号公報
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、連続した塗布パターンのみならず、独立した塗布パターンをも施すことが可能な液剤の塗布装置及び塗布方法を提供することを目的とする。
本発明は、以下の構成によって把握される。
(1)本発明に係る第1の観点は、塗布装置であって、ハウジングと、前記ハウジング内に形成され、塗布液の供給口を有するドラム収容室と、前記ドラム収容室に収容されたドラムであって、前記ドラム収容室の両端における収容径より小さい第1ドラム径を有し、彫り込まれた溝部及びそれ以外の非溝部とを含む塗布液受容部と、前記収容径と実質的に同じ第2ドラム径を有し、前記塗布液受容部の両端にあって前記ハウジングとの間をシールするシール部とを含む前記ドラムと、前記ドラムの前記塗布液受容部の下方に接触してその長手方向の全長にわたり延在し、ノズル吐出口を有するノズルと、を備え、前記ドラムの前記塗布液受容部が全域にわたって前記塗布液を受容し、前記ドラムの前記塗布液受容部の前記溝部が下方に向いたとき、前記溝部に受容されている前記塗布液が前記ノズル吐出口から吐出されることを特徴とする。
(2)上記(1)の構成において、前記ノズルが、側面視において、前記第1ドラム径よりも小さい曲率の凹状曲面に形成されたドラム接触面を有し、前記ドラムの前記塗布液受容部の前記非溝部が下方に向いたとき、前記塗布液が前記ノズル吐出口から吐出されないように、前記ドラム接触面に設けられている前記ノズル吐出口の開口部が前記非溝部によってシールされてもよい。
(3)上記(1)又は(2)の構成において、前記ノズル吐出口は、前記ノズルの長手方向に、一列に又は千鳥状に多列に配置された複数の貫通穴から構成されてもよい。
(4)本発明に係る第2の観点は、塗布方法であって、塗布液の供給口を有するドラム収容室がハウジング内に形成された塗布装置を用意するステップと、前記ドラム収容室の両端における収容径より小さい第1ドラム径を有し、塗布パターンとして彫り込まれた溝部及びそれ以外の非溝部とを含む塗布液受容部と、前記収容径と実質的に同じ第2ドラム径を有し、前記塗布液受容部の両端にあって前記ハウジングとの間をシールするシール部とを含むドラムが収容された前記ドラム収容室へ、前記塗布液を供給するステップと、前記ドラムの前記塗布液受容部の下方に接触してその長手方向の全長にわたり延在するノズルのドラム接触面に設けられたノズル吐出口から、前記塗布液を吐出するステップと、を備え、前記吐出するステップにおいて、前記ドラムの前記塗布液受容部が全域にわたって前記塗布液を受容し、前記ドラムの前記塗布液受容部の前記溝部が下方に向いたとき、前記溝部に受容されている前記塗布液が前記ノズル吐出口から吐出されることを特徴とする。
本発明によれば、連続した塗布パターンのみならず、独立した塗布パターンをも施すことが可能な液剤の塗布装置及び塗布方法を提供することができる。
本発明の実施形態に係る塗布装置の中央部の側断面を概略的に示す図である。 図1の実施形態の塗布装置のドラムに彫り込まれた塗布パターン及び対象物に転写された同塗布パターンを示す図である。 本発明の実施形態に係る塗布装置の要部を図1のα−α線断面で切断して示す図であって、(a)はドラムの正面図、(b)はドラムをハウジングに取り付けた状態の正面図、(c)はノズルをドラムの下方にさらに取り付けた状態の正面図、(d)は(c)のβ−β線側断面図である。 本発明の実施形態に係る塗布装置のドラムとノズルの関係を正面から拡大して示す図である。 本発明の実施形態に係る塗布装置のドラムとノズルの関係を側断面からみて示す図であって、(a)はドラムの溝部がノズルの吐出口の位置に来たときの状態、(b)はドラムの非溝部がノズルの吐出口の位置に来たときのシール状態を、それぞれ示す。 本発明の実施形態に係る塗布装置によって施される多彩な塗布パターンの例を示す図であって、(a)はV字形の溝部を用いて円形の塗布パターンを施す場合、(b)は三角形の溝部を用いてワッペン様の塗布パターンを施す場合を、それぞれ示す。 図6(b)のワッペン様の塗布パターンを施す場合のドラムの動作を示す図であって、(a)は側断面図、(b)は(a)の各段階に対応する正面図、(c)は対象物にワッペン様の塗布パターンが施される状態を段階的に示す図である。 従来技術に係る塗布装置の要部を示す図であって、(a)はドラムの正面図、(b)はドラムをハウジングに取り付けた状態の正面図、(c)はノズルをドラムの下方にさらに取り付けた状態の正面図、(d)は(c)のγ−γ線側断面図である。
以下、本発明を実施するための形態(以下、「実施形態」という)を、添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施形態の説明の全体を通して同じ要素には同じ番号を付している。
図1は、本発明の実施形態に係る塗布装置の中央部の側断面を概略的に示す図である。塗布装置1は、塗布液を貯留するタンクTと、塗布液をタンクTから吸入して吐出するポンプPと、ポンプPが吐出した塗布液を送液する送液管Lとから構成される供給部SPから、塗布液を供給される。塗布装置1の外郭を構成するハウジング2の内部には、供給された塗布液を一端貯留するバッファ室10、塗布液を流下させる流路20、流路20の末端に設けられた供給口30、供給口30から塗布液が供給されるドラム収容室40が設けられている。そして、ドラム収容室40にはドラム50が収容されており、ドラム50の下方にはノズル吐出口61を有するノズル60が取り付けられている。塗布液は、ドラム収容室40の下方に設けられノズル60が取り付けられている接続口43(図3(c)参照)を通って、ノズル60(ノズル吐出口61)から対象物SBへ吐出される。
詳しくは後述するが、本実施形態では、ドラム50の中央部は、ドラム収容室40の両端における収容径R1よりも小さいドラム径すなわち第1ドラム径R2を有しており、図1に示すように、ドラム収容室40の内壁と、ドラム50の表面の間には間隙42が設けられている。したがって、塗布液は、供給口30から、ドラム50の表面に彫り込まれた塗布パターンとしての溝部51のみならず、溝部51が彫り込まれていない非溝部52も含めて、受容されることとなる。以下では、このようなドラム50の中央部を、溝部51と非溝部52を含めて塗布液受容部53と呼ぶ。
このようにドラム収容室40とドラム50を構成したことから、例えば、図2に示すような、塗布パターンを対象物SBに施すことができる。すなわち、ドラム50の表面に彫り込まれた溝部51が図示したような独立した(塗布液の供給口30とノズル吐出口61のいずれかにつながっていない)ものであっても、間隙42を経由して塗布液が溝部51に受容されるため、対象物SBに塗布パターンを転写することができるようになる。以下、図3から図7を参照して、詳細に本実施形態を説明する。
図3は、図1のα−α線断面で切断し、ドラム収容室40、ドラム50、ノズル60を矢印方向に見た図である。図3(a)はドラムの正面図、図3(b)はドラムをハウジングに取り付けた状態の正面図、図3(c)はノズルをドラムの下方にさらに取り付けた状態の正面図、図3(d)は(c)の側断面図である。
ドラム50は、図3(a)に示すように、中央の塗布液受容部53と、塗布液受容部53の両端に設けられたシール部54,54から構成されている。塗布液受容部53は、前述のとおり、塗布パターンとして彫り込まれた溝部51と、彫り込まれていないそれ以外の非溝部52を含んでいる。ここでは、溝部51について、供給口30とノズル吐出口61とつながっている塗布パターンである折曲状溝部51a、及び独立した塗布パターンである円形状溝部51bを例として示している。シール部54,54は、それぞれ、弾性素材から形成されるO−リング54aと、O−リング54aを挟むように形成された2つのフランジ部54b,54cから構成されている。
図3(b)は、このようなドラム50をハウジング2のドラム収容室40に収容した場合を示している。図示されているように、ドラム収容室40の両端における収容径R1に対し、ドラム50の塗布液受容部53の非溝部52に対応する第1ドラム径R2が小さく構成されていることから、塗布液受容部53とドラム収容室40の内壁41との間には間隙(空間)42が発生しており、供給口30から供給された塗布液は、この間隙42に充填され、塗布液受容部53はその全域にわたって塗布液を受容することとなる。そして、シール部54,54は、ドラム収容室40の内壁41と当接しており、間隙42に充填された塗布液が間隙42から漏出しないようにシールしている。シール部54,54のそれぞれのフランジ部54b,54cのドラム径すなわち第2ドラム径R3は、ドラム収容室40の収容径R1と実質的に同じである。ここで、「実質的に同じ」とは、寸法的に一致するという意味ではなく、塗布液受容部53の両端におけるシール部54,54がハウジング2との間をシールするのに必要十分な程度に同じであることを意味する。
図3(c)は、このような状態で塗布液Aを供給したとき、供給液がどのように受容され、ノズル吐出口61から吐出されるかを示したものである。ここで、ノズル60は、ドラム収容室40の下方に設けられた接続口43に取り付けられており、ドラム接触面62(図3(d)参照)をもってドラム50の塗布液受容部53の長手方向の全長にわたって接触している。塗布液Aは、供給口30から供給されると、間隙42に充填され、非溝部52を覆っていくとともに、溝部51の折曲状溝部51a及び円形状溝部51bの中に浸入していく。そして、塗布液受容部53の下方にあるノズル60のノズル吐出口61から外部へと吐出される。図3(d)は、図3(c)の様子をβ−β線断面図で示したものである。
図3(c)及び図3(d)では、供給口30からノズル吐出口61まで連続している折曲状溝部51aから塗布液Aが吐出される場合を図示しているが、ドラム50が回転して独立した円形状溝部51bが下方にくれば、その円形状溝部51bに充填された塗布液Aがノズル吐出口61から外部へ吐出されることとなる。
次に、ノズル60について、説明する。図4は、ノズル60をドラム50とともに抜き出して模式的に示した図である。ノズル60は、ドラム50の塗布液受容部53の下方に接触してその長手方向の全長にわたり延在している、なお、図4では、ドラム50を塗布液受容部53とシール部54に区別して図示していないが、ノズル吐出口61が設けられている範囲が塗布液受容部53に対応するものである。
本実施形態では、ノズル60は、その長手方向に延在する直線状のスリットから構成されるノズル吐出口を有してもよいし、複数の貫通穴から構成されるノズル吐出口を有してもよいが、次に示すような観点から、複数の貫通穴から構成されるノズル吐出口が好ましい。図4に示すように、その長手方向に一列に又は千鳥状に多列に配置された複数の貫通穴から構成されるノズル吐出口61とした方が、ノズル吐出口61を例えば1本の長いスリットから構成した場合に比べ、ドラム50の溝部51からの塗布液Aのみを確実に吐出させ、また、非溝部52における塗布液Aが吐出されないようにシールするために、溝部51からの吐出と非溝部52からの吐出防止の区別を確実に制御でき、細かい塗布パターンや小さい塗布パターンを施すことが可能となる。なお、図4では、4つの溝部51がノズル60に当接した場合であって、図中右側の2つの溝部51が近接して彫り込まれている様子を示している。
次に、非溝部52からの吐出防止を図る手段について、説明する。図5(a)はドラム50の溝部51がノズル吐出口61の位置に来たときの状態、図5(b)はドラム50の非溝部52がノズル吐出口61の位置に来たときの状態を、それぞれ側断面から示している。図5(a)に示すように、溝部51がノズル吐出口61の位置に来たときは、当然のことながら、塗布液Aはノズル吐出口61から外部へ吐出される。
これに対し、図5(b)に示すように、非溝部52がノズル吐出口61の位置に来たときは、次のようにして、非溝部52からの吐出を防止する。すなわち、ノズル60のドラム接触面62を、側面視において、第1ドラム径R2よりも小さい曲率の凹状曲面に形成しておき、非溝部52が下方に向いたとき、ドラム50の非溝部52とノズル60のドラム接触面62でノズルシール部63を構成し、ドラム接触面62に設けられているノズル吐出口61の開口部611が非溝部52によってシールされるようにする。このようにすると、非溝部52に対する吐出防止ができるとともに、溝部51がドラム接触面62の端部やノズル吐出口61の開口部611に引っ掛かることも防止される。ここで、シールをより確実にするため、ドラム50とノズル60とを相対的に押圧する方向に構成することにより、ドラム50の非溝部52とノズル60のドラム接触面62との接触範囲を広げ、ノズル吐出口61を挟んで回転方向に一定の範囲をもったノズルシール範囲Wを形成するようにしてもよい。
本実施形態は、以上説明したように、連続した塗布パターンに加えて独立した塗布パターンを施すことができるものであるが、これは、従来技術のように、ドラム50に彫り込まれた溝部51が供給口30からノズル吐出口61までをつなぐ塗布液Aの流路となるのではなく、ノズルシール部63からノズル吐出口61までが塗布液Aの流路となることによる。そのため、溝部51は、供給口30からノズル吐出口61まで溝部51を経由してつながっていなくてもよく、したがって、独立した溝部51によって独立した塗布パターンを施すことができる。
また、ノズル吐出口61からの吐出のレスポンスを良くしたうえで流量変化を防ぐため、供給口30からノズルシール部63までは、ドラム収容室40とドラム50の間に形成されている間隙42を経由して、塗布液Aがすべてつながった構造となっている。これにより、細かい塗布パターンや小さい塗布パターンについても、連続/独立の関係なく、均一に塗布することができる。
次に、本実施形態の塗布装置1の動作(塗布方法)を、図6及び図7を参照して、溝部51の形状と対象物SBに施される塗布パターンとの関係を含め説明する。
塗布装置1による塗布方法は、塗布液の供給口30を有するドラム収容室40がハウジング2内に形成された塗布装置1を用意するステップと、ドラム収容室40の収容径R1より小さい第1ドラム径R2を有し、彫り込まれた溝部51及びそれ以外の非溝部52とを含む塗布液受容部53と、収容径R1と実質的に同じ第2ドラム径R3を有し、塗布液受容部53の両端にあってハウジング2との間をシールするシール部54とを含むドラム50が収容されたドラム収容室40へ、塗布液を供給するステップと、ドラム50の塗布液受容部53の下方に接触してその長手方向の全長にわたり延在するノズル60のドラム接触面62に設けられたノズル吐出口61から、塗布液を吐出するステップと、を備え、吐出するステップにおいて、ドラム50の塗布液受容部53が全域にわたって塗布液を受容し、ドラム50の塗布液受容部53の溝部51が下方に向いたとき、溝部51に受容されている塗布液がノズル吐出口61から吐出されるものである。
本実施形態では、溝部51が塗布液の供給口30及びノズル吐出口61につながっていない独立した溝部51が存することから、図3に示したような、独立した円形状溝部51bの形状をそのまま転写した独立した塗布パターンを対象物SBに施すことが可能なことはもちろん、ドラム50の回転を制御することによって、独立した溝部51の形状とは異なる塗布パターンを対象物SBに施すことも可能である。
これは、ドラム50の回転と対象物SBの搬送を同期させた場合には、独立した溝部51の形状がそのまま対象物SBに転写されるが、ドラム50の回転を対象物SBの搬送に対して速くしたり、遅くしたり、停止したり、逆回転させたりなどの制御を行うことにより、溝部51の形状とは異なる塗布パターンを対象物SBに施せるものである。例えば、図6(a)はV字形の溝部51を用いて円形の塗布パターンを対象物SBに施した場合を、(b)は逆三角形の溝部51を用いてワッペン様の塗布パターンを対象物SBに施した場合を
、それぞれ示している。
例えば、図6(a)のような場合は、ドラム50を対象物SBに対して、V字形の斜線部の前半部分を早く、後半部分を遅く正回転させると、対象物SBには下半分の半円の塗布パターンが施される。そして、V字形の斜線部の先端まで至った後に同じ要領で逆回転させると、上半分の半円が形成され、V字形の溝部51を用いて円形の塗布パターンを施すことができる。
さらに、図6(b)のような場合は、図7に示すような5段階を経て逆三角形の溝部51を用いてワッペン様の塗布パターンを施すことができる。ここで、図7(a)は5段階ごとの側断面図、(b)は(a)の各段階に対応する正面図、(c)は段階ごとに塗布パターンが施されていく状態を示す図である。
まず、第1段階(図中、左端の図)では、ドラム50と対象物SBを同期させた状態で、ドラム50を、溝部51の逆三角形の頂点から2側辺の終端直前まで反時計回りに正回転させる。そうすると、対象物SB上にはV字形の塗布パターンP1が施される。
次に、第2段階(図中、左端より2番目の図)では、ドラム50を停止した状態で、対象物SBを右側に搬送させる。そうすると、逆三角形の2側辺の終端直前の箇所によって塗布パターンP1の端部が上方に延びていき、縦長直線が追加された塗布パターンP2が施される。
次に、第3段階(図中、中央の図)では、ドラム50をまず逆三角形の2側辺の途中まで時計回りに逆回転させ、その後、2側辺の終端直前まで反時計回りに正回転させる。このとき、ドラム50の回転速度を調節すると、内側に凹んだ曲線が追加された塗布パターンP3が施される。
次に、第4段階(図中、右端より2番目の図)では、第2段階と同様に、ドラム50を停止した状態で、対象物SBを右側に搬送させる、そうすると、逆三角形の2側辺の終端直前の箇所によって塗布パターンP3の端部が上方に延びていき、縦長直線が追加された塗布パターンP4が施される。
そして、最後に、第5段階(図中、右端の図)では、ドラム50と対象物SBを同期させた状態で、ドラム50を、逆三角形の底辺が対象物SBに向くように反時計回りに正回転させる。そうすると、塗布パターンP4の端部の両端を結ぶ横長直線が追加された塗布パターンP5が施される。
以上説明したように、本実施形態によれば、ノズル60を様々な形状のノズル吐出口61を備えたものに取替えることなく、ドラム50の塗布液受容部53に彫り込んだ線状、面状(円形、三角形、四角形など)等の溝部51を組み合わせることにより、様々な形状の塗布パターンを短時間で塗布できる。そして、連続した塗布パターンのみならず独立した塗布パターンも施すことができるだけでなく、塗布液受容部53に彫り込んだ溝部51のとおりに塗布パターンを施すことができるのはもちろんのこと、塗布液受容部53に彫り込んだ溝部51を部分的に使用することで、溝部51とは別の塗布パターンを施すことも可能となる。
以上、実施形態について説明したが、本発明は、具体的な実施形態に限定されるものではなく、種々の変更を行ったものも含まれるものであり、そのことは、当業者にとって特許請求の範囲の記載から明らかである。
以上のとおり、本発明は、塗布液をもって様々な塗布パターンを対象物に施すことが可能な塗布装置及び塗布方法であって、塗布液や対象物としては種々のものを採用することができる。例えば、塗布液としては、シール剤、接着剤、レジスト、塗料、コーティング剤などを、対象物としては、燃料電池用モジュール、燃料電池セパレータ、液晶パネル、有機ELパネルなどに採用することができ、様々な産業において求められている塗布液の塗布を提供することができる。
1…塗布装置
2…ハウジング
10…バッファ室
20…流路
30…供給口
40…ドラム収容室
41…内壁(ドラム収容室の)
42…間隙(ドラム収容室とドラムの間の)
43…接続口
50…ドラム
51…溝部
52…非溝部
53…塗布液受容部
54…シール部
60…ノズル
61…ノズル吐出口
611…開口部(ノズル吐出口の)
62…ドラム接触面
63…ノズルシール部
A…塗布液
SP…供給部
T…タンク
P…ポンプ
L…送液管
SB…対象物

Claims (2)

  1. 塗布装置であって、
    ハウジングと、
    前記ハウジング内に形成され、塗布液の供給口を有するドラム収容室と、
    前記ドラム収容室に収容されたドラムであって、
    前記ドラム収容室の両端における収容径より小さい第1ドラム径を有し、彫り込まれた溝部及びそれ以外の非溝部とを含む塗布液受容部と、
    前記収容径と実質的に同じ第2ドラム径を有し、前記塗布液受容部の両端にあって前記ハウジングとの間をシールするシール部とを含む前記ドラムと、
    前記ドラムの前記塗布液受容部の下方に接触してその長手方向の全長にわたり延在し、ノズル吐出口を有するノズルと、を備え、
    前記ドラムの前記塗布液受容部が全域にわたって前記塗布液を受容し、前記ドラムの前記塗布液受容部の前記溝部が下方に向いたとき、前記溝部に受容されている前記塗布液が前記ノズル吐出口から吐出され
    前記ノズルが、側面視において、前記第1ドラム径よりも小さい曲率の凹状曲面に形成されたドラム接触面を有し、前記ドラムの前記塗布液受容部の前記非溝部が下方に向いたとき、前記塗布液が前記ノズル吐出口から吐出されないように、前記ドラム接触面に設けられている前記ノズル吐出口の開口部が前記非溝部によってシールされ、
    前記ノズル吐出口が、前記ノズルの長手方向に、一列に又は千鳥状に多列に配置された複数の貫通穴から構成されることを特徴とする塗布装置。
  2. 塗布方法であって、
    塗布液の供給口を有するドラム収容室がハウジング内に形成された塗布装置を用意するステップと、
    前記ドラム収容室の両端における収容径より小さい第1ドラム径を有し、塗布パターンとして彫り込まれた溝部及びそれ以外の非溝部とを含む塗布液受容部と、前記収容径と実質的に同じ第2ドラム径を有し、前記塗布液受容部の両端にあって前記ハウジングとの間をシールするシール部とを含むドラムが収容された前記ドラム収容室へ、前記塗布液を供給するステップと、
    前記ドラムの前記塗布液受容部の下方に接触してその長手方向の全長にわたり延在するノズルのドラム接触面に設けられたノズル吐出口から、前記塗布液を吐出するステップと、を備え、
    前記吐出するステップにおいて、前記ドラムの前記塗布液受容部が全域にわたって前記塗布液を受容し、前記ドラムの前記塗布液受容部の前記溝部が下方に向いたとき、前記溝部に受容されている前記塗布液が前記ノズル吐出口から吐出され
    前記ノズルが、側面視において、前記第1ドラム径よりも小さい曲率の凹状曲面に形成されたドラム接触面を有し、前記ドラムの前記塗布液受容部の前記非溝部が下方に向いたとき、前記塗布液が前記ノズル吐出口から吐出されないように、前記ドラム接触面に設けられている前記ノズル吐出口の開口部が前記非溝部によってシールされ、
    前記ノズル吐出口が、前記ノズルの長手方向に、一列に又は千鳥状に多列に配置された複数の貫通穴から構成されることを特徴とする塗布方法。
JP2015244039A 2015-12-15 2015-12-15 塗布装置及び塗布方法 Active JP6620544B2 (ja)

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