JP5969064B2 - 膜形成装置および膜形成方法 - Google Patents
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Description
2 基板
2A 基板の膜形成面
2b 基板の外周端部
2c 基板の裏面
3 インクジェットヘッド
3a 個別インクジェットヘッド
4 ノズル
5 記憶手段
6 膜液
7 制御手段
8 膜(吐出直後の膜)
8A 膜(乾燥後の膜)
9 凸部
Claims (4)
- 膜液を吐出する複数のノズルが幅方向に配列されたインクジェットヘッドの吐出面と、前記ノズルから膜液が吐出される基板の膜形成面とを対向させて、前記インクジェットヘッド及び前記基板を非回転状態で、この両者を前記幅方向と直交する方向に相対的に移動させながら、前記ノズルから前記基板の膜形成面に前記膜液を吐出するように構成した膜形成装置において、
前記インクジェットヘッドのノズルの配列幅長さを、前記基板が相対的に移動する際における該基板の膜形成面の幅方向最大長さ以上にし、
前記基板の膜形成面が、該膜形成面の外周端にコーナー部が接し且つ前記相対的な移動方向に平行な二辺とこの方向に直交する二辺とからなる矩形領域と、前記矩形領域から食み出した複数の非矩形領域とに区分され、
前記複数の非矩形領域ではそれぞれ、前記相対的な移動方向に対して前記膜液を吐出するノズルの個数を変化させると共に、前記膜液を吐出するノズルの個数が少ない場合と多い場合とで前記ノズルからの膜液の吐出直後に得られる膜の厚みが均一になるように前記ノズルからの膜液の吐出量の制御が行われるように構成し、
前記複数の非矩形領域がそれぞれ、前記相対的な移動方向に対して複数の部分領域に区分され、それらの部分領域の別異に応じて、前記膜液を吐出するノズルの個数および前記ノズルからの膜液の吐出量についての異なる制御が行われるように構成したことを特徴とする膜形成装置。 - 前記矩形領域では、前記相対的な移動位置の別異に関わらず前記膜液を吐出するノズルの個数および前記ノズルからの膜液の吐出量を一定にする制御が行われるように構成したことを特徴とする請求項1に記載の膜形成装置。
- 前記矩形領域は、前記膜形成面の外周端に四つのコーナー部が接する中央矩形領域と、前記相対的な移動方向と直交する方向に対して前記中央矩形領域の両側に配置され且つ前記膜形成面の外周端に二つのコーナー部が接する側方矩形領域とに区分され、前記中央矩形領域および前記側方矩形領域ではそれぞれ、前記相対的な移動位置の別異に関わらず前記膜液を吐出するノズルの個数および前記ノズルからの膜液の吐出量を一定にする制御が行われるように構成したことを特徴とする請求項1または2に記載の膜形成装置。
- 膜液を吐出する複数のノズルが幅方向に配列されたインクジェットヘッドの吐出面と、前記ノズルから膜液が吐出される基板の膜形成面とを対向させて、前記インクジェットヘッド及び前記基板を非回転状態で、この両者を前記幅方向と直交する方向に相対的に移動させながら、前記ノズルから前記基板の膜形成面に前記膜液を吐出する膜形成方法において、
前記インクジェットヘッドのノズルの配列幅長さを、前記基板が相対的に移動する際における該基板の膜形成面の幅方向最大長さ以上にし、
前記基板の膜形成面が、該膜形成面の外周端にコーナー部が接し且つ前記相対的な移動方向に平行な二辺とこの方向に直交する二辺とからなる矩形領域と、前記矩形領域から食み出した複数の非矩形領域とに区分され、
前記複数の非矩形領域ではそれぞれ、前記相対的な移動方向に対して前記膜液を吐出するノズルの個数を変化させると共に、前記膜液を吐出するノズルの個数が少ない場合と多い場合とで前記ノズルからの膜液の吐出直後に得られる膜の厚みが均一になるように前記ノズルからの膜液の吐出量の制御が行われ、
前記複数の非矩形領域がそれぞれ、前記相対的な移動方向に対して複数の部分領域に区分され、それらの部分領域の別異に応じて、前記膜液を吐出するノズルの個数および前記ノズルからの膜液の吐出量についての異なる制御が行われることを特徴とする膜形成方法。
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JP2015010230A JP5969064B2 (ja) | 2015-01-22 | 2015-01-22 | 膜形成装置および膜形成方法 |
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JP2015010230A JP5969064B2 (ja) | 2015-01-22 | 2015-01-22 | 膜形成装置および膜形成方法 |
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