KR101899243B1 - 스트로크 제어형 점성 용액 펌프 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 스트로크 제어형 점성 용액 펌프에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 하나의 펌프로 여러 도포 방식을 수행할 수 있고, 다양한 도포 용액에 대응가능하며 유지 보수가 용이한 스트로크 제어형 점성 용액 펌프에 관한 것이다.
본 발명에 의한 스트로크 제어형 점성 용액 펌프는, 사용하는 점성 수지(용액)의 특성과 작업 대상물의 성질, 작업 환경 및 작업 용도에 따라 다양한 방식으로 구동이 가능한 스트로크 제어형 점성 용액 펌프를 제공하는 효과가 있다.

Description

스트로크 제어형 점성 용액 펌프{Stroke Control Type Viscous Liquid Pump}
본 발명은 스트로크 제어형 점성 용액 펌프에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 하나의 펌프로 여러 도포 방식을 수행할 수 있고, 다양한 도포 용액에 대응가능하며 유지 보수가 용이한 스트로크 제어형 점성 용액 펌프에 관한 것이다.
LED 칩에 형광액을 도포하거나 반도체 칩의 패키지에 인캡슐레이터를 도포하는 공정에 점성 수지를 도포하는 펌프가 널리 사용된다.
용액 도포용 펌프에는 리니어 펌프 방식과 제트 펌프 방식이 대표적으로 사용된다. 리니어 펌프와 제트 펌프는 각각 장단점이 있고, 공정 특성에 따라 적절한 방식의 펌프가 선택되어 사용된다.
다양한 점성과 특성을 지닌 용액 마다 다른 방식의 펌프를 사용하거나 작업의 대상이 되는 자재의 특성에 따라 매번 다른 종류의 펌프를 선택해서 사용하는 것은 공정 비용을 상승시키는 원인이 된다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 위하여 안출된 것으로, 리니어 펌프 방식과 제트 펌프 방식을 하나의 펌프로 수행할 수 있으면서 유지관리가 용이한 스트로크 제어형 점성 용액 펌프를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 의한 스트로크 제어형 점성 요액 펌프는, 메인 프레임; 연결홈을 구비하고 상기 메인 프레임에 대해 상하로 슬라이딩 가능하게 설치되는 승강 부재; 상기 메인 프레임에 설치되어 상기 승강 부재를 상기 메인 프레임에 대해 슬라이딩시키는 보이스 코일 모터(VCM; Voice Coil Motor); 상기 승강 부재의 변위를 측정할 수 있도록 상기 메인 프레임에 설치되는 리니어 스케일; 용액이 저장되는 저장부와, 상기 저장부로 용액을 공급할 수 있도록 상기 저장부에 연결되는 유입구와, 상기 저장부에 저장된 용액이 토출될 수 있도록 상기 저장부에 연결되는 노즐 구멍을 구비하고 상기 메인 프레임에 설치되는 노즐 몸체; 및 상기 승강 부재와 연결되도록 상기 승강 부재의 연결홈에 끼워지는 걸림부를 구비하고, 상기 노즐 몸체의 저장부에 승강 가능하게 삽입되는 밸브 로드를 구비하는 밸브 부재;를 포함하는 것에 특징이 있다.
본 발명에 의한 스트로크 제어형 점성 용액 펌프는, 사용하는 점성 수지(용액)의 특성과 작업 대상물의 성질, 작업 환경 및 작업 용도에 따라 다양한 방식으로 구동이 가능한 스트로크 제어형 점성 용액 펌프를 제공하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 스트로크 제어형 점성 용액 펌프의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 스트로크 제어형 점성 용액 펌프의 분리 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 스트로크 제어형 점성 용액 펌프의 Ⅲ-Ⅲ선 단면도이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 일실시예에 따른 스트로크 제어형 점성 용액 펌프에 대해 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 스트로크 제어형 점성 용액 펌프의 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 스트로크 제어형 점성 용액 펌프의 분리 사시도이다.
도 1을 참조하면 본 실시예의 스트로크 제어형 점성 용액 펌프는 메인 프레임(100)과 승강 부재(200)와 보이스 코일 모터(300)와 리니어 스케일(400)과 노즐 몸체(500)와 밸브 부재(600) 및 제어부(800)를 포함하여 이루어진다.
메인 프레임(100)은 본 실시예의 스트로크 제어형 점성 용액 펌프의 구성들을 전체적으로 지지한다. 메인 프레임(100)은 본 실시예의 스트로크 제어형 점성 용액 펌프를 이송하는 이송부에 결합될 수 있도록 구성된다. 메인 프레임(100)은 스트로크 제어형 점성 용액 펌프의 구성들을 안정적으로 지지할 수 있도록 금속 재질로 형성되는 것이 바람직하다. 메인 프레임(100)은 안착부(110)와 고정 볼트(120)를 구비한다. 도 2를 참조하면, 본 실시예의 스트로크 제어형 점성 용액 펌프에서 안착부(110)는 전방이 개방되어 상하로 연장되도록 형성된다. 안착부(110)에는 후술할 노즐 몸체(500)가 안착된다. 고정 볼트(120)는 안착부(110)에 안착된 노즐 몸체(500)를 안착부(110)에 대해 고정한다. 고정 볼트(120)는 전방이 개방된 안착부(110)에 대하여 측방향에서 수평방향으로 진퇴가능 하게 설치된다. 안착부(110)에는 고정 볼트(120)가 수평방향으로 진퇴가능하도록 측방향에 암나사가 형성된다.
승강 부재(200)는 메인 프레임(100)에 대하여 상하로 슬라이딩 가능하게 설치된다. 승강 부재(200)는 메인 프레임(100)에 대해 슬라이딩하면서, 메인 프레임(100)의 하측에 배치되는 자재에 대해 가까워지거나 멀어지게 된다. 승강 부재(200)에는 연결홈(210)이 구비되어 있다. 연결홈(210)은 상술한 안착부(110)와 같이 전방이 개방되어 있다. 도 1을 참조하면, 본 실시예의 스트로크 제어형 점성 용액 펌프에서 연결홈(210)은 전방에서 볼 때 T자 형태의 홈으로 형성된다. 결국 연결홈(210)은 전방이 T자 형태로 개방되어 수평으로 연장되는 홈을 가지는 형상이다.
보이스 코일 모터(300) 는 메인 프레임(100)의 상부에 설치된다. 보이스 코일 모터(300)는 코일과 영구 자석을 통해 로렌츠 힘을 발생시켜 모터의 기계적 움직임을 만든다. 보이스 코일 모터(300)에는 승강 부재(200)가 연결된다. 승강 부재(200)는 보이스 코일 모터(300)의 작동에 의해 메인 프레임(100)에 대해 슬라이딩하며 승강한다.
리니어 스케일(400)은 승강 부재(200)의 변위를 측정하도록 메인 프레임(100)에 설치된다. 본 실시예의 스트로크 제어형 점성 용액 펌프에서는 리니어 스케일(400)은 메인 프레임(100)의 측면에 설치되고 승강 부재(200)와 연결된다. 승강 부재(200)의 승강에 따라 승강 부재(200)와 연결된 리니어 스케일(400)은 승강 부재(200)의 변위를 측정한다.
도 3을 참조하면, 노즐 몸체(500)는 저장부(510)와 유입구(520)와 노즐 구멍(530)과 고정홈(540)과 걸림 돌기(550)를 구비한다.
저장부(510)는 노즐 몸체(500)에 상하로 연장되도록 형성되고 노즐 구멍(530)을 통해 토출하고자 하는 용액(L)이 저장된다. 유입구(520)는 외부로부터 공급되는 용액(L)을 저장부(510)로 전달할 수 있도록 저장부(510)에 연결되는 위치에서 노즐 몸체(500)에 형성된다. 유입구(520)를 통해 저장부(510)로 용액(L)이 공급된다. 유입구(520)에는 유입관(522)이 연결되고 유입관(522)에는 유입 밸브(521)가 설치된다. 노즐 구멍(530)은 저장부(510)에 저장된 용액(L)이 노즐 몸체(500) 하측에 배치된 자재로 토출될 수 있도록 노즐 몸체(500)의 하부에 형성된다. 노즐 구멍(530)은 저장부(510)에 연결되어 저장부(510)의 용액(L)을 외부로 배출한다.
노즐 구멍(530)에는 노즐 밸브(531)가 설치되어 노즐 구멍(530)을 개폐한다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 노즐 몸체(500)는 메인 프레임(100)의 안착부(110)에 안착되어 고정 볼트(120)에 의해 고정된다. 고정홈(540)은 안착부(110)에 설치된 고정 볼트(120)와 대응하는 위치에 형성된다. 고정홈(540)은 고정 볼트(120)의 끝부분이 끼워질 수 있도록 원추형으로 형성된다. 노즐 몸체(500)가 안착부(110)에 안착되고, 고정 볼트(120)가 안착부(110)의 측방향에서 진입하여 노즐 몸체(500)의 고정홈(540)에 끼워진다. 그 결과 노즐 몸체(500)는 메인 프레임(100)의 안착부(110)에 대한 위치가 정렬된 상태로 고정된다. 본 실시예에 따른 스트로크 제어형 점성 용액 펌프에서 걸림 돌기(550)는 노즐 몸체(500)의 상부에 형성된다. 노즐 몸체(500)의 걸림 돌기(550)는 노즐 몸체(500)가 안착부(110)에서 고정 볼트(120)에 의해 고정되기 전까지 흔들리지 않고 안착부(110)에 걸려 있게 하는 역할을 한다.
밸브 부재(600)는 걸림부(610)와 밸브 로드(620)로 이루어진다. 걸림부(610)는 연결홈(210)의 홈 모양과 대응되는 형상으로 형성된다. 본 실시예 경우 상술한 바와 같이 연결홈(210)은 T자 형상으로 형성되므로, 걸림부(610)도 밸브 부재(600)를 정면에서 바라봤을 때 T자 형태로 형성된다. 걸림부(610)는 승강 부재(200)의 연결홈(210)에 끼워짐으로써, 밸브 부재(600)와 승강 부재(200)를 연결한다. 그에 따라 밸브 부재(600)는 승강 부재(200)와 함께 상하로 승강하게 된다. 도 3을 참조하면, 밸브 로드(620)는 노즐 몸체(500)의 저장부(510)에 승강 가능하게 삽입된다. 밸브 부재(600)가 승강 부재(200)와 함께 상하로 승강하면, 밸브 로드(620)는 노즐 몸체(500)의 저장부(510)에 대하여 승강한다.
제어부(800)는 리니어 스케일(400)에서 측정하는 승강 부재(200)의 변위 정보를 받아 보이스 코일 모터(300)의 동작을 제어한다. 또한, 제어부(800)는 유입구(520)와 노즐 구멍(530)을 각각 개폐하도록 유입 밸브(521)와 노즐 밸브(531)의 작동을 제어한다.
이하, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 스트로크 제어형 점성 용액 펌프의 작동에 대해 설명한다.
먼저, 본 실시예에 따른 스트로크 제어형 점성 용액 펌프가 비교적 대용량의 용액(L)을 토출하는 리니어 펌프로서 작동하는 방법을 설명한다.
외부로부터 디스펜싱에 사용되는 용액(L)은 노즐 몸체(500)의 유입구(520)를 통해 저장부(510)로 공급된다. 공급 과정은 다음과 같은 과정으로 이루어진다. 제어부(800)는 유입구(520)의 유입 밸브(521)를 개방한다. 보이스 코일 모터(300)는 승강 부재(200)를 상승시킨다. 승강 부재(200)의 상승으로 인해 승강 부재(200)에 끼워진 밸브 부재(600)가 함께 상승한다. 밸브 부재(600)의 상승에 따라, 저장부(510)에 삽입된 밸브 로드(620)가 상승한다. 밸브 로드(620)가 상승하면 저장부(510)의 압력이 낮아지고 유입구(520)를 통해 용액(L)이 저장부(510)로 공급된다. 공급 과정에서 필요에 따라서는 제어부(800)가 노즐 밸브(531)를 작동시켜 노즐 구멍(530)을 폐쇄할 수도 있다.
이와 같이 저장부(510)에 용액(L)이 채워지면 제어부(800)는 유입 밸브(521)를 작동시켜 유입구(520)를 폐쇄한다. 제어부(800)가 노즐 밸브(531)를 작동시켜 노즐 구멍(530)을 폐쇄한 경우라면 노즐 밸브(531)를 열어 노즐 구멍(530)을 개방한다. 이 상태에서 보이스 코일 모터(300)가 승강 부재(200)를 하강시키면, 밸브 부재(600)도 하강한다. 밸브 부재(600)의 하강에 따라서 밸브 로드(620)가 저장부(510)로 진입한다. 밸브 로드(620)가 저장부(510)로 진입하면 저장부(510) 내부의 압력이 높아져 저장부(510)에 저장된 용액(L)이 노즐 구멍(530)을 통해 토출된다.
다음으로, 본 실시예에 따른 스트로크 제어형 점성 용액 펌프가 제트 펌프로서 작동하는 방법을 설명한다.
노즐 몸체(500)의 유입구(520)를 개방하여 용액(L)이 저장부(510)로 유입되도록 한다. 이때 유입구(520)는 용액(L)을 일정한 압력으로 지속적으로 공급하는 외부 시린지에 연결된다. 이와 같은 상태에서 승강 부재(200)가 상하로 빠르게 진동하도록 제어부(800)에서 보이스 코일 모터(300)에 신호를 보낸다. 보이스 코일 모터(300)의 작동에 의해 승강 부재(200)도 빠른 속도로 승강하고 밸브 부재(600)도 빠르게 승강한다. 밸브 부재(600)의 승강에 의해 저장부(510)에 삽입된 밸브 로드(620)도 빠르게 승강한다. 저장부(510)에 대해 밸브 로드(620)가 빠르게 승강하게 되면, 노즐 구멍(530)을 통해 용액(L)이 액적(droplet) 단위로 토출된다. 이와 같이 밸브 로드(620)를 상하로 빠르게 진동시키는 제팅(jetting) 방식으로 본 실시예의 스트로크 제어형 점성 용액 펌프를 구동하는 경우 앞에서 리니어 모터 방식으로 작동시키는 것에 비해 더 빠르게 용액(L)을 토출하는 것도 가능하다.
밸브 로드(620)의 작동 변위는 사용자의 필요에 따라 조절 가능하다. 밸브 로드(620)가 저장부(510) 하면에 접촉하는 범위까지 밸브 로드(620)를 상하로 진동시킬 수도 있고, 밸브 로드(620)가 저장부(510) 하면 접촉하지 않는 범위까지 밸브 로드(620)를 상하로 진동시킬 수 있다. 제어부(800)는 보이스 코일 모터(300)의 변위와 작동 주파수를 쉽게 제어할 수 있으므로, 본 실시예의 스트로크 제어형 점성 용액 펌프는 매우 빠르게 용액(L)을 도포하면서도 동시에 정확한 용량으로 용액(L)을 도포하는 것이 가능한 장점이 있다. 특히, 보이스 코일 모터(300)는 비교적 작은 부피를 가지는 경우에도 인가 전압이나 코일의 권선수, 영구자석의 세기 등에 따라 매우 강한 힘을 발생시키는 구성을 하는 것이 용이한 장점이 있다. 특히, 점성이 큰 용액(L)을 고속으로 토출하기 위해서는 매우 강한 힘으로 밸브 로드(620)를 작동시켜야 하는데 보이스 코일 모터(300)는 종래의 다른 펌프에 비해 매우 효과적으로 고점도의 용액(L)을 토출할 수 있는 장점이 있다. 특히, 형광 물질이 혼합된 액상의 합성수지(형광액)을 LED 칩에 도포하는 공정을 수행함에 있어서 본 실시예에 따른 스트로크 제어형 점성 용액 펌프를 이용하여 고점도의 형광액을 LED 칩에 도포하는 공정을 수행하는 경우 작업 속도를 향상시킬 수 있고 원가를 절감하는 것이 가능한 장점이 있다.
상술한 바와 같이 스트로크 제어형 점성 용액 펌프는 비교적 대용량의 용액(L)을 토출시키기 위해 리니어 펌프처럼 구동될 수 있고, 빠르고 정확한 용액(L)의 토출을 위해 제트 펌프처럼 구동될 수 있다. 하나의 펌프로 두 가지의 동작을 수행하기 때문에 다양한 용액(L)과 디스펜싱 용도에 대응할 수 있는 효과가 있다. 필요에 따라서는 위 두 가지 방식을 혼용하여 디스펜싱하는 것도 가능하다.
또한, 본 실시예의 스트로크 제어형 점성 용액 펌프는 점성 용액 토출시에 발생할 수 있는 테일(tail)을 방지할 수 있는 장점이 있다. 본 실시예의 스트로크 제어형 점성 용액 펌프를 리니어 펌프로 구동하다가 다른 자재로 옮겨가기 직전에 밸브 로드(620)를 빠르게 상승시키도록 보이스 코일 모터(300)를 작동시키면, 자재에 도포되고 있는 용액(L) 부분과 노즐 구멍(530)에서 토출되고 있는 용액(L) 부분이 쉽게 분리되면서 테일이 생기지 않게 된다.
이처럼 하나의 펌프로 여러 가지 방식의 토출을 수행하기 때문에 비용절감 및 범용성이 뛰어난 효과가 있다.
리니어 스케일(400)은 승강 부재(200)의 변위를 측정한다. 정확한 디스펜싱을 위해 통상적으로 펌프의 캘리브레이션 작업이 필수적으로 요구된다. 이를 위해 종래에는 별도의 캘리브레이션 장비를 통해 캘리브레이션을 수행하였다. 리니어 스케일(400)을 설치한 본 실시예의 스트로크 제어형 점성 용액 펌프의 경우에는 별도의 캘리브레이션 장비 없이, 승강 부재(200)의 변위를 통해 펌프의 캘리브레이션을 수행할 수 있다. 디스펜싱 환경이 변화하면 초기 설정한 보이스 코일 모터(300)의 동작에 의해 토출되는 용액(L)의 양이 변화하는 문제가 발생할 수 있다. 리니어 스케일(400)은 실시간으로 승강 부재(200)의 변위 정보를 읽고 이를 제어부(800)에 제공한다. 이 정보를 통해 제어부(800)는 승강 부재(200)의 변위를 실시간으로 모니터링하면서, 일정하고 정확한 양의 용액(L) 디스펜싱을 수행하도록 보이스 코일 모터(300)의 작동을 제어할 수 있는 장점이 있다.
도 1과 도 2를 참조하면, 본 실시예의 스트로크 제어형 점성 용액 펌프에서 승강 부재(200)는 전방이 T자 형태로 개방되어 수평방향으로 연장되는 연결홈(210)을 구비한다. 이 연결홈(210)에는 밸브 부재(600)의 걸림부(610)가 끼워진다. 걸림부(610)는 상술한 바와 같이 연결홈(210)의 모양과 대응되도록 T자 형태로 형성된다. T자 형태의 걸림부(610)는 T자 형태의 연결홈(210)의 전방으로부터 끼워져 안쪽으로 들어간다. 노즐 몸체(500)는 메인 프레임(100)의 안착부(110)에 안착되어 고정 볼트(120)에 의해 고정되는데, 안착부(110) 역시 전방으로 개방되어 있다. 노즐 몸체(500)는 안착부(110)에 안착되기 위해 전방으로부터 끼워진다. 한편, 밸브 부재(600)의 밸브 로드(620)가 노즐 몸체(500)에 삽입되어 있기 때문에 밸브 부재(600)와 노즐 몸체(500)는 연결되어 있다. 상술한 바와 같이, 밸브 부재(600)와 노즐 몸체(500)는 승강 부재(200)의 연결홈(210)과 메인 프레임(100)의 안착부(110)에 각각 끼워져 배치된 상태이다. 연결홈(210)과 안착부(110) 모두 전방 방향으로 개방되어 있기 때문에 밸브 부재(600)와 노즐 몸체(500)는 각각 전방 방향으로 탈착이 가능하다. 그 결과 메인 프레임(100)이 이송부에 설치되어 고정된 상태에서도 밸브 부재(600)와 노즐 몸체(500)를 승강 부재(200) 및 메인 프레임(100)으로부터 쉽게 분리하고 교체할 수 있다.
밸브 부재(600)의 밸브 로드(620)는 빈번한 승강에 의해 마모되어 교체가 필요할 수도 있다. 노즐 몸체(500) 역시 용액(L)의 종류에 따라 교체가 필요하다. 특히 디스펜싱에 의해 오염된 밸브 로드(620)와 노즐 몸체(500)의 세척과 정비를 위해 밸브 부재(600)와 노즐 몸체(500)를 탈착할 필요가 있다. 본 실시예의 스트로크 제어형 점성 용액 펌프는 연결홈(210)과 안착부(110)에 끼워진 밸브 부재(600)와 노즐 몸체(500)를 상술한 과정을 통해 쉽게 탈착이 가능하기 때문에 유지 보수가 매우 용이하고 다양한 디스펜싱 환경에 적응력이 매우 뛰어나다.
한편, 도 1과 도 2를 참조하면 본 실시예에 따른 스트로크 제어형 점성 용액 펌프에서, 노즐 몸체(500)는 상부에 걸림 돌기(550)를 구비한다. 노즐 몸체(500)가 메인 프레임(100)의 안착부(110)에 안착되고 고정 볼트(120)에 의해 고정되기 전까지 걸림 돌기(550)는 노즐 몸체(500)를 안착부(110)에 거치시킨다. 노즐 몸체(500)의 걸림 돌기(550)가 안착부(110) 상부에 걸린다. 안착부(110) 상부에서 걸림 돌기(550) 하부로 작용하는 힘은 노즐 몸체(500)에 작용하는 중력과 평형관계에 있다. 고정 볼트(120)를 풀어 노즐 몸체(500)를 탈착하는 과정에서 사용자가 노즐 몸체(500)를 잡고 있지 않아도 노즐 몸체(500)가 중력에 의해 아래로 떨어지지 않기 때문에 탈착을 더 용이하게 만드는 효과가 있다.
이상 본 발명에 대해 바람직한 예를 들어 설명하였으나 본 발명의 범위가 앞에서 설명하고 도시한 형태로 한정되는 것은 아니다.
예를 들어, 앞에서 승강 부재(200)의 연결홈(210)은 T자 형태로 형성된 홈으로 되어 있는 것으로 설명하고 밸브 부재(600)의 걸림부(610)가 연결홈(210)에 대응되도록 T자 형태로 되어 있는 것으로 설명하였으나, 연결홈의 형태는 다양하게 구성될 수 있고 이에 대응하는 걸림부의 형태도 다양하게 구성 가능하다.
또한, 앞에서 메인 프레임(100)의 안착부(110)는 전방을 개방하는 형태로 설명하였고, 승강 부재(200)의 연결홈(210) 또한 전방이 개방된 형태로 도시하고 설명하였으나, 안착부의 개방 방향과 연결홈의 개방 방향이 같은 방향으로 구성되면 다른 다양한 구성도 가능하다. 따라서 안착부와 연결홈의 개방 방향은 전방이 아닌 측방으로도 구성 가능하다.
또한, 앞에서 노즐 몸체(500)의 노즐 구멍(530)에는 노즐 밸브(531)가 설치되고, 유입구(520)에는 유입 밸브(521)가 각각 설치되는 것으로 설명하였으나, 필요에 따라 이들 중 하나 또는 전부를 구비하는 구성도 가능하다.
또한, 앞에서 리니어 스케일(400)이 승강 부재(200)에 직접 연결되어 승강 부재(200)의 변위를 측정하는 것으로 도시하고 설명하였으나, 리니어 스케일이 승강 부재의 변위를 측정할 수 있는 다양한 구성이 사용될 수 있다. 예를 들어 리니어 스케일의 측정 장비는 광학 장치를 구비하고 있어 빛을 승강 부재에 조사하고 반사된 빛을 읽는 방법으로 승강 부재의 변위를 측정할 수 있다. 이 경우에는 리니어 스케일과 승강 부재가 직접 연결되지 않는다.
100: 메인 프레임 110: 안착부
120: 고정 볼트 200: 승강 부재
210: 연결홈 300: 보이스 코일 모터
400: 리니어 스케일 500: 승강 부재
510: 저장부 520: 유입구
521: 유입 밸브 522: 유입관
530: 노즐 구멍 531: 노즐 밸브
540: 고정홈 550: 걸림 돌기
600: 밸브 부재 610: 걸림부
620: 밸브 로드 800: 제어부
L: 용액

Claims (7)

  1. 메인 프레임;
    연결홈을 구비하고 상기 메인 프레임에 대해 상하로 슬라이딩 가능하게 설치되는 승강 부재;
    상기 메인 프레임에 설치되어 상기 승강 부재를 상기 메인 프레임에 대해 슬라이딩시키는 보이스 코일 모터(VCM; Voice Coil Motor);
    상기 승강 부재의 변위를 측정할 수 있도록 상기 메인 프레임에 설치되는 리니어 스케일;
    용액이 저장되는 저장부와, 상기 저장부로 용액을 공급할 수 있도록 상기 저장부에 연결되는 유입구와, 상기 저장부에 저장된 용액이 토출될 수 있도록 상기 저장부에 연결되는 노즐 구멍을 구비하고 상기 메인 프레임에 설치되는 노즐 몸체; 및
    상기 승강 부재와 연결되도록 상기 승강 부재의 연결홈에 끼워지는 걸림부를 구비하고, 상기 노즐 몸체의 저장부에 승강 가능하게 삽입되는 밸브 로드를 구비하는 밸브 부재;를 포함하고,
    상기 메인 프레임은, 상기 노즐 몸체가 안착되는 안착부와, 상기 안착부에 대해 진퇴 가능하도록 설치된 고정 볼트를 구비하고,
    상기 노즐 몸체는, 상기 고정 볼트와 대응하는 위치에 상기 고정 볼트의 끝부분이 끼워질 수 있는 고정홈을 구비하고, 상기 메인 프레임의 고정 볼트에 의해 상기 메인 프레임에 고정되고,
    상기 메인 프레임의 안착부는 일측이 개방되어 상하로 연장되도록 형성되고,
    상기 메인 프레임의 고정 볼트는 상기 안착부가 개방된 방향에 대해 측방향에서 수평방향으로 진퇴 가능하게 설치되며,
    상기 노즐 몸체는 상기 안착부에 걸리도록 걸림 돌기를 구비하고,
    상기 승강 부재의 연결홈은 상기 메인 프레임의 안착부와 동일 방향으로 개방되도록 형성되고,
    상기 밸브 부재는, 상기 밸브 부재의 걸림부를 상기 승강 부재의 연결홈에 대해 수평 방향으로 삽입하여 상기 승강 부재에 연결되는 스트로크 제어형 점성 용액 펌프.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 리니어 스케일의 측정값을 전달받아 상기 보이스 코일 모터를 제어하는 제어부;를 더 포함하는 스트로크 제어형 점성 용액 펌프.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 노즐 몸체의 유입구에는 유입관이 연결되며, 유입구를 개폐하는 유입밸브가 설치되고,
    상기 제어부는, 상기 유입 밸브의 작동을 제어하는 스트로크 제어형 점성 용액 펌프.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 노즐 몸체의 노즐 구멍에는 그 노즐 구멍을 개폐할 수 있도록 노즐 밸브가 설치되고,
    상기 제어부는, 상기 노즐 밸브의 작동을 제어하는 스트로크 제어형 점성 용액 펌프.
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