WO2000064980A1 - Matiere de charge pour elastomere reticulable et composition d'elastomere reticulable en contenant - Google Patents

Description

明 糸田 架 橋 性 エ ラ ス 卜 マ ー 用 フ ィ ラ ー お よ び そ れ を 含 有 す る 架 橋性 エ ラ ス ト マ 一 組 成 物 技 術 分 野

本 発 明 は 、 半 導 体 の 製 造 工 程 で 必 ず曝 さ れ る 酸 素 （ 〇 ₂) プ ラ ズ マ 処 理 お よ び C F ₄ プ ラ ズ マ 処 理 に 対 し て 重 量 変 化 力 S共 に 小 さ く 、 プ ラ ズ マ 処 理 に お い て 異 物 （ パ ー テ ィ ク リレ ） の 発 生 を 顕 著 に 抑 制 し 得 る フ イ ラ 一 お よ び該 フ ィ ラ ー を 含 有 す る 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 組 成 物 、 な ら び に 該 組 成 物 を 用 い た 各 種材 料 お よ び 各 種 最 終 製 品 に 関 す る 。 背 景 技 術

半 導 体や 液 晶 の 製造 で は 、 シ リ コ ン ウ エ ノヽ ー な ど の C V D や ド ラ イ エ ッ チ ン グ 、 ア ツ シ ン グ な ど の 段 階 で 酸 素 プ ラ ズ マ お よ び C F ₄ プ ラ ズ マ な ど 種 々 の プ ラ ズ マ を 使 用 し た 各 種 の 処 理 が な さ れ て い る 。 こ う し た プ ラ ズ マ を 使 用 す る 処 理 装 置 で は 種 々 の 連 結 部 分 や 可 動 部 分 に 封 止 の た め に エ ラ ス ト マ 一 性 の シ ー ル 材 が 使 用 さ れ て い る 。 こ れ ら の シ ー ル 材 に は シ ー ル性 だ け で は な く 、 微 細 化 や 基 板 ウ ェ ハ ー の 大 型 化 に よ り 、 高 密 度 （ 1 0 ¹²〜 1 0 ¹³ / c m ³) と い う 厳 し い プ ラ ズ マ 処 理 条 件 に 耐 え ら れ 、 極 め て 精 密 な 加 工 が 要 求 さ れ る 半 導体 を 汚 染 し な い こ と が 要 求 さ れ る 。 こ の よ う な 要 求 に 対 応 で き る シ ー ル 材 の ェ ラ ス ト マ 一 性 の 材 料 と し て 架 橋 性 の フ ッ 素 系 エ ラ ス ト マ 一 お よ び シ リ コ ー ン 系 エ ラ ス ト マ 一 が採 用 さ れ て い る 。

た だ 、 エ ラ ス ト マ 一 単 独 で は い カゝ に 架 橋 し た と し て も 充 分 な 機 械 的 強 度 が 得 ら れ な い た め 、 通 常 、 有 機 ま た は 無機 フ イ ラ 一 力 配 合 さ れ て い る 。 し 力、 し フ ィ ラ ー と い え ど も 前 記 の 性 能 （ 分解 し て 異 物 を 発 生 し な い な ど ） が要 求 さ れ 、 ど の よ う な フ ィ ラ ー で も よ い わ け で は な い 。 従 来 か ら 使 用 ま た は 提 案 さ れ て い る フ ィ ラ 一 に は 、 カ ー ボ ン ブ ラ ッ ク 、 シ リ カ （ 特 許 第 2 7 8 3 5 7 6 号 公 報 、 特 許第 2 8 5 8 1 9 8 号 公 報 ） 、 ポ リ テ ト ラ フ ル ォ ロ ェ チ レ ン （ P T F E ) 粉 末 、 酸 化 チ タ ン 粉 末 、 ク レ ー 、 タ ル ク 、 硫 酸 バ リ ウ ム な ど 力 S あ る 。

し カゝ し こ れ ら の フ イ ラ 一 は 、 酸 素 ブ ラ ズ マ 処 理 で は安 定 で あ る 力 s C F ₄ プ ラ ズ マ 処 理 で は 分 解 し て 重 量 減 少 を 生 じ て し ま っ た り （ シ リ カ 、 酸 化 チ タ ン な ど ） 、 逆 に 、 C F ₄ プ ラ ズ マ 処 理 で は 安 定 で あ る が 酸 素 プ ラ ズ マ 処 理 で は 分解 し て 重 量 減 少 を 生 じ て し ま う （ カ ー ボ ン フ ラ ッ ク 、 P T F E 粉 末 ） 。 フ ィ ラ ー が プ ラ ズ マ 照 射 に よ り 重 量変 化 、 特 に 重 量減 少 を 生 じ る こ と は 、 減 少 し た 部 分 が 何 ら か の 形 で 半 導 体 や 液 晶 に 不 要 な 異 物 と し て 悪影 響 を 与 え て い る こ と は確 実 で あ る 。 そ こ で 前 記 の よ う な 各 種 の フ ィ ラ ー 力 提 案 さ れ て い る の で あ る が 、 プ ラ ズ マ の 種 類 が 異 な れ ば重 量 変 化 の 状 況 も 変 わ っ て し ま い 、 両 プ ラ ズ マ 処 理 で 共 に 安 定 な フ ィ ラ ー は 知 ら れ て い な い

本 発 明 は 、 酸 素 プ ラ ズ マ 処 理 お よ び C F ₄ プ ラ ズ マ 処 理 の い ずれ の 処 理 に 対 し て も 安 定 で 重 量 減 少 が極 め て 少 な い フ ィ ラ 一 お よ び こ の フ ィ ラ ー と 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 と を 含 む 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 組 成 物 な ど を 提 供 す る こ と を 目 的 と す る 。 発 明 の 開 示 す な わ ち 本 発 明 は 、 流 量 2 0 0 s c c m 、 圧 力 2 8 0 ミ リ ト ー ル 、 R F 電 力 4 0 0 W お よ び照 射 時 間 5 4 分 間 の 条 件 で 測 定 し た 酸 素 プ ラ ズ マ 照 射 お よ び C F ₄ プ ラ ズ マ 照 射 前 後 の 重 量 変 化 が い ずれ も 4 m g Z c m ² · h r 以 下 、 好 ま し く は l m g Z c m ² ' h r 以 下 で あ る 架 橋 性 ェ ラ ス ト マ 一 用 の フ ィ ラ ー に 関 す る 。

か か る フ イ ラ 一 と し て は 、 主 鎖 に 熱 的 、 化 学 的 に 安 定 な 芳香 族環 を 有 し 耐 熱 温 度 1 5 0 °C 以 上 で あ る も の 、 特 に 主鎖 中 に ア ミ ド 結 合 を も つ 合 成 高 分 子 化 台 物 ま た は ィ ミ ド 結 合 を も つ 合 成 高 分 子化 合 物 か ら な る も の が好 ま し い

本 発 明 の フ ィ ラ ー の 形 状 は 特 に 限 定 さ れ ず 、 繊維 状 、 粒子 状 、 薄 片 状 な ど の 種 々 の 形 状 で 使 用 で き る 。

本 発 明 は 、 さ ら に 上 記 の フ ィ ラ ー と 架 橋性 エ ラ ス ト マ 一 と を 含 む 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 組 成物 に 関 す る 。

こ の 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 組 成 物 は 、 前 記 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 1 0 0 重 量 部 に 対 し て 前 記 フ ィ ラ ー を 1 〜 1 5 0 重 量部含 有 す る も の が 好 ま し く 、 ま た 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 力 フ ッ 素 系 エ ラ ス ト マ 一 ま た は シ リ コ ー ン 系 エ ラ ス 卜 マ 一 で あ る こ と 力 好 ま し レ 。

ま た 、 こ の 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 組成 物 は 成 形 用 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 材 料 と し て 、 ま た は コ ー テ ィ ン グ 用 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 材 料 と し て 利 用 で き る 。

成 形 用 材 料 と す る と き は 、 前 記 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 1 0 0 重 量部 に 対 し て 前 記 フ イ ラ 一 を 1 〜 1 5 0 重 量 部 お よ び架 橋 剤 を 0 . 0 5 〜 1 0 重 量 部 含 有 し た も の が 好 ま し い 。

コ ー テ ィ ン グ 用 材 料 と す る と き は 、 前 記 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 1 0 0 重 量 部 に 対 し て 前 記 フ ィ ラ ー を 1 〜 1 5 0 重 量 部 お よ び架 橋 剤 を 0 . 1 〜 1 0 重 量 部含 有 し た も の が好 ま し い 。

さ ら に ま た 本 発 明 は 、 成 形 用 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 材 料 を 架 橋 成 形 し て 得 ら れ る 成 形 品 、 特 に 半 導体 製 造 装 置 に お け る 封 止 の た め の シ ー リレ 材 に 関 す る 。

ま た 本 発 明 は 、 コ ー テ ィ ン グ 用 架 橋 性 エ ラ ス ト マ ー 材 料 を エ ラ ス ト マ 一 性 成 形 物 の 表 面 に コ ー テ ィ ン グ し た の ち 架 橋 し て 得 ら れ る 被 覆 成 形 品 、 特 に 半 導体 製 造 装 置 に お け る 封 止 の た め の シ ー ル 材 に 関 す る 。 発 明 を 実 施 す る た め の 最 良 の 形 態 本発 明 の 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 用 の フ イ ラ 一 は 、 前 記 の 条 件 で 測 定 し た 酸 素 プ ラ ズ マ 照 射 お よ び C F ₄ プ ラ ズ マ 照 射 前 後 の 重 量 変 化 力 s ' い ず れ も 4 m g Z c m h 以 下 で あ る

基準 と し た プ ラ ズ マ 照 射 条 件 は 、 半 導体 製 造 の 実 際 の 処 理 環 境 を 念 頭 に 設 定 し て お り 、 こ れ ら の 条 件 下 で の 結 果 は 半 導 体 の 製 造 現 場 で の 状 況 を 反 映 し て い る も の と 考 え て い る 。 か か る 照 射 条 件 で の 重 量 変 化 は 、 好 ま し く は 1 m g / c m ² - h r 以 下 で あ る 。

本 発 明 の フ ィ ラ ー に 該 当 す る 物 質 と し て は 、 た と え ば ポ リ イ ミ ド 、 ポ リ ア ミ ド イ ミ ド 、 ポ リ エ ー テ ル イ ミ ド な ど の ィ ミ ド 構 造 を 有 す る イ ミ ド 系 フ ィ ラ ー ； ポ リ ア リ レ 一 卜 、 ポ リ ス ル ホ ン 、 ポ リ エ ー テ ル ス ル ホ ン 、 ポ リ フ エ 二 レ ン ス ル フ ィ ド 、 ポ リ エ ー テ ル エ ー テ ル ケ ト ン 、 ボ リ ォ キ シ ベ ン ゾ エ ー ト な ど の 耐熱 温 度 力 1 5 0 °C 以 上 の ェ ン ァ リ ン グ プ ラ ス チ ッ ク 製 の 有 機 物 フ ィ ラ ー な ど が あ げ ら れ る 。

こ れ ら の う ち 、 イ ミ ド 系 フ イ ラ 一 が 、 耐 熱性 、 低含有 金 属性 、 低 ア ウ ト ガ ス 性 の 点 カゝ ら 好 ま し い 。

か か る フ ィ ラ 一 は架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 に 配 合 さ れ て 架 橋性 エ ラ ス ト マ 一 組成 物 と な る 。 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 と し て は 、 フ ッ 素 系 エ ラ ス 卜 マ ー 、 シ リ コ ー ン 系 エ ラ ス ト マ ー な ど が 使 用 で き る が 、 耐熱 性 の 点 か ら フ ッ 素 系 エ ラ ス ト マ ー が好 ま し い 。 本 発 明 に 好 適 に 使 用 さ れ得 る フ ッ 素 系 エ ラ ス ト マ 一 と し て は 、 従 来 カゝ ら シ ー ル 材 用 、 特 に 半 導体 製造 装 置 の シ ー ル材用 に 用 い ら れて い る も の で あ れ ば特 に 制 限 はな く 、 た と え ば

式 （ I ) ：

CF

3

( 式 中 、 m は 8 5 〜 6 0 、 n は 1 5 〜 4 0 ) も し く は 式 （ II) ：

CF₂-CF ₂ -^CF₂-CF _n

OR_f

( 式 中 、 m は 9 5 〜 5 0 、 n は 5 〜 5 0 、 R _f は炭 素 数 1 〜 8 の パ ー フ ル ォ ロ ア ル キ ル 基 ） で 示 さ れ る 2 元 共 重 合 体 ゴ ム 、

式 （ III) ：

-4 C_¾ - CF ₂^CF₂- CF₂^CF₂- CF _n

CF

3

( 式 中 、 1 は 8 5 〜 2 0 、 m は 0 〜 4 0 、 n は 1 5 〜 4 0 ) で 示 さ れ る 3 元 共 重 合 体 ゴ ム 、

式 （ IV) ： H Y

⁴ CF₂- CF ₂ ^-C - C-^-i CF₂- CF ^

X Z 〇R_f

( 式 中 、 1 は 9 5 〜 4 5 、 m は 0 〜 1 0 、 n は 5 〜 4 5 、 X 、 Y お よ び Z は そ れぞれ独 立 し て フ ッ 素 原子 ま た は 水 素 原子 、 R _f は 炭 素 数 1 〜 8 の パ ー フ ル ォ ロ ア ル キ ル基 ） で 示 さ れ る 3 元 共 重 合 体 ゴ ム 、

式 （ V ) ：

CF₉- CF ₉ -^-CF.- CF) ~~ ^CF₉— CF 4- L L l L I m L I n

^CF3 OR_f

( 式 中 、 1 は 9 5 〜 3 5 、 m は 0 〜 3 0 、 n は 5 〜 3 5 、 R _f は 炭 素 数 1 〜 8 の パ ー フ ル ォ ロ ア ル キ ル基）で 示 さ れ る 3 元 共重 合体 ゴ ム な ど が あ げ ら れ る 。 こ れ ら の 中 で も 、 耐薬 品 性 、 耐熱 性 、 耐 プ ラ ズ マ 性 と い う 点 か ら 、 式 （ I ) も し く は 式 （ II) で 示 さ れ る 2 元 共 重 合 体 ゴ ム 、 ま た は 式 （ III) で 示 さ れ る 3 元 共 重 合 体 ゴ ム を 用 い る の が好 ま し い 。

さ ら に 、 本 発 明 に お け る フ ッ 素 ゴ ム 系 シ ー ル 材 を 構 成 す る フ ッ 素 ゴ ム と し て は 、 エ ラ ス ト マ 一 性 セ グ メ ン ト で あ る 共 重 合体 と 非 エ ラ ス ト マ ー 性 セ グ メ ン ト で あ る 共 重 合体 と の 共 重 合 体 も あ げ ら れ る 。

エ ラ ス ト マ ー 性 セ グ メ ン 卜 と は 、 非 晶 性 で か つ ガ ラ ス 転移 点 が 2 5 °C 以 下 で あ る セ グ メ ン ト を 示 し 、 具体 的 に 好 ま し い 組成 と し て は 、 た と え ば T F E Z P A V E Z硬 化 部位 を 与 え る 単 量体 （ 4 5 〜 9 0 / 1 0 〜 5 0 Z 0 〜 5 。 モ ル ％ 、 以 下 同 様 ） 、 さ ら に 好 ま し い 組成 は 4 5 〜 8 0 Z 2 0 〜 5 0 Z 0 〜 5 、 特 に 5 3 〜 7 0 / 3 0 〜 4 5 Z 0 〜 2 で あ る 。 化部位 を 与 え る 単量体 と し て は 、 た と え ば フ ッ 化 ビ

―、、 ヽ

二 リ τ ノ C X = C X R _f ³ C H R I (式 中 、 X は H 、

F ま た は C H ₃、 R _f ³ は フ ル ォ ロ ア ルキ レ ン 基 、 パ 一 フ ル ォ 口 ァ ルキ レ ン 基 、 フ ルォ ロ ポ リ オキ シ ア ルキ レ ン 基 ま た はパ 一 フ ルォ ロ ポ リ オ キ シ ア ル キ レ ン 基 、 R は H ま た は C H ₃) で示 さ れ る ョ ゥ 素含有単量体 、

CF₃

CF₂ = CFO (CF₂ CF^pO-^CFg-^X

(式 中 、 X は C N 、 C O O H 、 C O O R ( R は炭素 数 1 〜 1 0 の フ ッ 素 原子 を 含 ん で い て も よ い ア ル キ ル基） 、 m は 0 〜 5 、 n は 1 〜 3 ) 、 臭素含有単量体な ど が あ げ ら れ、 通常、 ヨ ウ 素含有単量体 な どが好適で あ る 。

た 、 非エ ラ ス ト マ 一性セ グ メ ン ト で あ る 共重合体 と し て は 、

( 1 ) V d F T F E ( 0 〜 ： L 0 0 Z 1 0 0 〜 0 ) 、 特 に V d F Z T F E ( 7 0 〜 9 9 / 3 0 〜 1 ) 、 P T F E

Π 6 ま た は P V d F ； oト

~ピリ o

( 2 ) ェチ レ ン / T F E Z H F P ( 6 〜 4 3 / 4

~フレ 8 1 / 1 0 〜 3 0 ) 、 3 ， 3 ， 3 - 卜 リ フ ル ォ ロ プ ン 一 1 , 2 — ト リ フ ル ォ ロ メ チ ル 一 3 , 3 , 3 — ルォ 口 プ ロ ピ レ ン 一 1 Z P A V E ( 4 0 〜 6 0 Z

4 0 ) ；

( 3 ) T F E Z C F ₂ = C F - R (非 ェ ラ ス 卜 マ 性 を 示す組成範 囲 、 す な わ ち 、 C F ₂ = C F 一 R が 1 5 モ ル ％ 以下 ) ；

( 4 ) V d F Z T F E Z C T F E ( 5 0 9 9 3 0

0 / 2 0 〜 1 ) ；

( 5 ) V d F / T F E Z H F P ( 6 0 〜 9 9 Z 3 0 〜 0 ( 6 ) ェチ レ Z' T F E ( 3 0 〜 6 0 / 7 0 4 0 )

( 7 ) ポ U ク □ □ 卜 リ フ ル ォ ロ ェ チ レ ン （ P C T F E ) ：

( 8 ) ェチ レ / C T F E ( 3 0 〜 6 0 Z 7 0 〜 4 0 ) な ど が あ げ ら れ る 。 こ れ ら の う ち 、 耐 薬 品 性 と 耐 熱 性 の 点 か ら 、 特 に P T F E お よ び T F E Z C F ₂ = C F - R f ¹ の 非 ェ ラ ス 卜 一 性 の 共 重 合体 が 好 ま し い 。

シ リ 3 一 ン ェ ラ ス ト マ 一 と し て は 、 た と え ば シ リ コ 一 ン ゴ ム 、 フ ル ォ 口 シ リ コ ー ン ゴ ム な ど 力 s あ げ ら れ る 。

架 橋 性 ェ ラ ス 卜 マ 一 組 成 物 に お い て 、 前 記 本 発 明 の フ ィ ラ の 配 合 は 架 橋 性 エ ラ ス 卜 マ 一 1 0 0 重 量 部 に 対 し て 1 5 部 、 好 ま し く は 5 〜 1 0 0 重 量 部 で あ る 。 フ ィ ラ の 配 合 量 が 少 な い と 機 械 的 強 度 が 充 分 で は な < 、 多 す る と 伸 びな ど に 劣 る

の フ ィ ラ 含 有 架 橋 性 ェ ラ ス 卜 マ ー 組 成 物 は 、 各 種 成 形 品 の 成 形 材 料 と し て 、 ま た は 各 種 エ ラ ス ト マ 一 性 成 形 物 の コ 一 テ ィ グ 用 の 材 料 と し て 有 用 で あ る 。

成 形 用 の 架 性 ェ ラ ス 卜 マ 一 材 料 と す る に は 、 前 記 架 橋性ェ ラ ス 卜 一 1 0 0 重 量部 に 対 し て 前 記 フ ィ ラ ー を 1 〜 1 5 0 重 部 、 好 ま し く は 5 〜 1 0 0 重 量 部 、 お よ び架 橋 剤 を 0 0 5 〜 1 0 重 量 部 、 好 ま し く は 0 . 5 〜 5 重 量 部 a ¾ さ せ れ ば よ い 。

架 橋 剤 は 架 性 ェ ラ ス ト マ 一 の 架 橋 性 基 （ キ ュ ア サ イ 卜 ) の 種類 に つ て 適 宜 選 定 す れ ば よ い 。 架 橋 系 と し て は 、 た と え ば パ 一 ォ キ サ イ ド 架 橋 系 、 ポ リ ォ 一 ル 架 、 ポ リ ア ミ ： 架 橋 系 、 卜 リ ア ジ ン 架 橋 系 、 ォ キ サ ゾ ル 架 橋 系 、 イ ミ ダ ゾ一 ル 架 橋 系 、 チ ア ゾ ー ル 架 橋 系 な ど に よ り 行 な う こ と 力 で き る 。 パ 一 ォ キ サ イ ド 架 橋 に 用 い る 有 機 過酸 化 物 と し て は 、 加 硫温 度 条 件 下 で パ ー ォ キ シ ラ ジ カ ル を 発 生 す る 公 知 有 機過 酸 化 物 な ら い ずれ で も よ く 、 好 ま し い 有 機 過 酸 化 物 は 、 ジ ー t 一 ブ チ ル パ ー オ キ サ イ ド 、 ジ ク ミ ルバ 一 ォ キ サ イ ド 、 2 , 5 — ジ メ チ ル 一 2 ， 5 — ジ （ ベ ン ゾイ リレバ 一 ： 十 シ ) へ キ サ ン 、 2 , 5 — ジ メ チ ル ー 2 , 5 — ジ （ t 一 ブチ ル パ ー ォ キ シ ） へ キ サ ン な ど で あ る 。

ポ リ 才 ー ル 架 橋 に 用 い る 架 橋 剤 と し て は 、 ビ ス フ エ ノ 一 ル A 、 ビ ス フ エ ノ ー ル A F な ど の 多価 ア ル コ ー ル化 合 物 が あ げ ら れ る 。

ポ リ ア ミ ン 架 橋 に 用 い る 架橋 剤 と し て は 、 へ キ サ メ チ レ ン ジ ァ ミ ン 力 ル バ メ ー ト 、 N , N ' — ジ シ ン ナ ミ リ デ ン ー 1 ， 6 — へ キ サ ン ジ ァ ミ ン 、 4 ， 4 ' 一 ビ ス （ ア ミ ノ シ ク ロ へ キ シ ル ） メ タ ン カ リレ ノ メ ー ト な ど の 多価 ア ミ ン 化 合 物 が あ げ ら れ る 。

卜 リ ア ジ ン 架 橋 に 用 い る 架 橋 剤 と し て は 、 テ ト ラ フ エ ニ リレ ス ズ 、 ト リ フ エ ニ ル ス ズ な ど の 有 機 ス ズ化 合 物 が あ げ ら れ る

ォ キ サ ゾ ー ル 架 橋 系 、 イ ミ ダ ゾ ー ル架 橋 系 、 チ ア ゾー ル架橋 系 に 使 用 す る 架 橋 剤 と し て は 、 た と え ば式 （ VI ) ：

( 式 中 、 R ³ は 一 S 〇 ₂— 、 — O — 、 一 C O — 、 炭 素 数 1

〜 6 の ア ル キ レ ン 基 、 炭 素 数 1 〜 1 0 の ノ\° — フ リレ オ ロ ア ル キ レ ン 基 ま た は 単 結 合 手 で あ り 、 R ⁴ お よ び R ⁵ は 一方 が ー N H ₂ で あ り 他 方 が — N H ₂、 一 〇 H ま た は — S H 、 好 ま し く は R ⁴ お よ び R ⁵ の い ず れ も 一 N H ₂ で あ る ） で 示 さ れ る ビ ス ジ ァ ミ ノ フ エ 二 リレ 系 架 橋 剤 、 ビ ス ア ミ ノ フ ェ ノ ー ル 系 架 橋 剤 、 ビ ス ア ミ ノ チ ォ フ エ ノ ー ル 系 架 橋 剤 、 式 （ VII) ：

(式中、 R³は前記と同 じ、 R⁶は 一 ίί_τ ^Η

ΝΗΝΗ 3

^ NOH

ま たは 一 C

\ NH で 示 さ れ る ビ ス ァ ド ラ ゾ ン 系 架 橋剤 、 式 （ VIII) ま た は （ I X ) ：

NH NH

II ₀ II

H₂NHN - C - Rf3 - C - NHNH₂ (VDI)

( 式 中 R _f ³ は 炭 素 数 1 〜 1 0 の ノ\° 一 フ ル ォ ロ ア ル キ レ ン 基）

NH₂ NH2

HON = C-(CF₂^- C = NOH (IX)

( 式 中 、 n は ：！ 〜 1 0 の 整数 ） で 示 さ れ る ビ ス ア ミ ド キ シ ム 系 架 橋剤 な ど 力 あ げ ら れ る 。 こ れ ら の ビ ス ア ミ ノ フ ェ ノ ー ル 系 架 橋 剤 、 ビ ス ア ミ ノ チ ォ フ エ ノ ー ル 系 架 橋 剤 ま た は ビ ス ジ ァ ミ ノ フ エ ニ ル 系 架 橋剤 な ど は従 来 二 ト リ ル基 を 架橋 点 と す る 架 橋 系 に使 用 し て い た も の で あ る が 、 カ ル ボ キ シ ル 基 お よ び ア ル コ キ シ カ ル ボ ニ ル 基 と も 反 応 し 、 ォ キ サ ゾ ー ル環 、 チ ア ゾー ル環 、 イ ミ ダ ゾー ル 環 を 形 成 し 、 架橋 物 を 与 え る 。

特 に 好 ま し い 架 橋 剤 と し て は 複 数個 の 3 — ア ミ ノ ー 4

— ヒ ド ロ キ シ フ エ ニ ル 基 、 3 — ァ ミ ノ 一 4 一 メ リレ カ プ ト フ エ ニ ル基 ま た は 式 ：

(式 中 、 R ³ は 前 記 と 同 じ 、 R ¹ と R ² は前 記 の R ⁴ お よ び R ⁵ と 同 じ ） で 示 さ れ る 3 ， 4 ー ジ ァ ミ ノ フ エ ニ ル基 を 有す る 化 合物 が あ げ ら れ 、 具体 的 に は 、 た と え ば 2 ， 2 — ビ ス （ 3 — ァ ミ ノ 一 4 ー ヒ ド ロ キ シ フ エ ニ ル） へ キ サ フ ル ォ ロ プ ロ パ ン （ 一 般 名 ： ビ ス （ ァ ミ ノ フ エ ノ ー ル） A F ) 、 2 ， 2 — ビ ス （ 3 — ァ ミ ノ 一 4 一 メ ル カ プ 卜 フ ェ ニ ル ） へ キ サ フ ル ォ ロ プ ロ パ ン 、 テ 卜 ラ ァ ミ ノ べ ン ゼ ン 、 ビ ス 一 3 ， 4 ー ジ ァ ミ ノ フ エ ニ ル メ タ ン 、 ビ ス - - 3 ， 4 一 ジ ァ ミ ノ フ エ ニ ル エ ー テ ル 、 2 ， 2 — ビ ス （ 3 , 4

— ン ノ フ エ ニ ル ） へ キ サ フ ル ォ ロ プ ロ ノ° ン な ど で あ る 。

架橋 剤 の 配合 量 は 、 架橋性 エ ラ ス ト マ ー 1 0 0 重 量部 に 対 し 、 通 常 0 . 0 5 〜 1 0 重 量 部 、 好 ま し く は 1 〜 5 重量部 で あ る 。 0 . 0 5 重 量部 よ り 少 な い と 、 架橋 性 ェ ラ ス 卜 マ ― が充 分 架 橋 さ れず 、 一方 1 0 重 量 部 を 超 え る と 、 架 橋 物 の 物 性 を 悪北 さ せ る

本発 明 、 特 に コ ー テ イ ン グ用 の 材料 と し て 使 用 す る 場 合 は 、 さ ら に 多 官 能 性共 架橋剤 な ど の 架 橋 助 剤 を 用 い る こ と が で さ る 。 使 用 す る 多官 能 性共架橋剤 と し て は 、 た と え ば 卜 リ ァ リ ル シ ァ ヌ レ ー ト 、 卜 '」 メ タ ァ リ ル イ ソ シ ァ ヌ レ 一 卜 、 卜 リ ァ リ ル ィ ソ シ ァ ヌ レ 一 卜 、 卜 リ ア ク U ル ホ ソレ マ 一 ル 、 卜 リ ア U ル 卜 U メ リ テ — 卜 、 N , N m — フ エ 二 レ ン ビ ス マ レ イ ミ ド 、 ジ ァ リ リレ フ 夕 レ ー h 、 テ 卜 ラ ァ リ レ テ レ フ 夕 ー ル ア ミ ド、 、 h リ ス （ ジ ァ リ ル ァ ミ ン ） 一 S — 卜 リ ァ ジ ン 、 亜 リ ン 酸 ト リ ア リ リレ 、 N ， N ル ォ 口 へ キ サ ン に 代 表 さ れ る ビ ス ォ レ フ ィ ン な ど 力 あ げ ら れ る 。

架 橋 助 剤 の 配 合 量 は 、 架 橋 性 エ ラ ス 卜 マ ー 1 0 0 重 量 部 に 対 し 、 通 常 0 . 1 〜 1 0 重 量 部 、 好 ま し く は 0 . 5 5 重 量 部 で あ る 。

架 橋 助 剤 の 含 有 量 が 0 . 1 重 量 部 よ り 少 な い と 、 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 が 充 分 架 橋 さ れ ず 、 一 方 1 0 重 量 部 を 超 え る と 架 橋 物 の 伸 びが 低 下 す る 。

本 発 明 に お い て 、 特 に 高 純 度 か つ 非 汚 染 性 が 要 求 さ れ な い 分 野 で は 、 必 要 に 応 じ て 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 組 成物 に 配 合 さ れ る 通 常 の 添 加 物 、 た と え ば充 填 剤 、 加 工 助 剤 、 可 塑剤 、 着 色 剤 な ど を 配 合 す る こ と が で き 、 前 記 の も の と は 異 な る 常 用 の 架 橋 剤 や 架 橋 助 剤 を 1 種 ま た は そ れ以 上 配 合 し て も よ い 。

本 発 明 の 組成 物 お よ び成 形 用 ま た は コ ー テ ィ ン グ 用 材 料 は 、 上 記 の 各 成 分 を , 通 常 の エ ラ ス ト マ 一 用 加 工 機 械 、 た と え ば 、 オ ー プ ン 口 — リレ 、 バ ン バ リ 一 ミ キ サ ー 、 ニ ー ダ 一 な ど を 用 い て 混 合 す る こ と に よ り 調 製 す る こ と 力 で る 。 こ の 他 、 密 閉 式 混 合 機 を 用 い る 方 法 ゃ ェ マ ル ジ ョ ン 混 合 か ら 共 凝 析 す る 方 法 に よ っ て も 調 製 す る こ と が で る 。

上 記 組 成 物 お よ び材 料 か ら 予 備 成 形 体 を 得 る 方 法 は 通 常 の 方 法 で よ く 、 金 型 に て 加 熱 圧 縮 す る 方 法 、 加 熱 さ れ た 金 型 に 圧 入 す る 方 法 、 押 出 機 で 押 出 す 方 法 な ど 公 知 の 方 法 で 行 な う こ と が で き る 。 ホ ー ス や 電 線 な ど の 押 出 製

PP の 場 合 は 押 出 後 も 形 を 保 持 す る こ と が 可 能 な の で 、 架 剤 を 使 用 せ ず に 押 出 し た 予 備 成 形 体 を そ の ま ま 用 い る と 力 s で き る 。 も ち ろ ん 架 橋 剤 を 使 用 し て ス チ ー ム な ど に よ る 加 熱 架 橋 を 施 し た 予 備 成 形 体 を 用 い る こ と も 可 能 で あ る 。 ま た 〇 一 リ ン グ な ど の 型 物 製 品 で 未 架 橋 状 態 で は離 型 後 も 形 を 保 持 す る こ と が 困 難 な 場 合 は 、 架 橋 剤 を 使 用 し て あ ら か じ め 架 橋 し た 予 備 成 形 体 を 用 い る こ と に よ り 実 施 可 能 と な る 。

ま た パ ー ォ キ サ イ ド 架 橋 を 行 な う 場 合 、 通 常 の 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 の 架 橋 条 件 下 で 行 な う こ と が で き る 。 た と え ば 、 金 型 に 入 れ 、 力 Π 圧 下 に お い て 1 2 0 〜 2 0 0 で 1 〜 6 0 分 間 保 持 す る こ と に よ っ て プ レ ス 架 橋 を 行 な い 、 続 い て 1 2 0 〜 2 5 0 °C の 炉 中 で 0 〜 4 8 時 間 保持 す る こ と に よ っ て オ ー ブ ン 架 橋 を 行 な う と 、 架 橋 物 を 得 る こ と が で き る 。

本 発 明 に お い て ビ ス ア ミ ノ フ エ ノ ー ル な ど の 架 橋 剤 を 用 い て ォ キ サ ゾ ー ル 架 橋 を 行 な う 場 合 、 通 常 の 架橋 性 ェ ラ ス ト マ 一 の 架 橋 条 件 下 で 行 な う こ と 力 S で き る 。 た と え ば、 金 型 に 入 れ 、 カ卩 圧 下 に お い て 1 2 0 〜 2 5 0 °C で 1 〜 6 0 分 間 保 持 す る こ と に よ っ て 、 プ レ ス 架 橋 を 行 な い 、 続 い て 1 2 0 〜 3 2 0 °C の 炉 中 で 0 〜 4 8 時 間 保持 す る こ と に よ っ て オ ー ブ ン 架 橋 を 行 な う と 、 架 橋 物 を 得 る こ と が で き る 。ま た 公 知 の 架 橋 性 エ ラ ス 卜 マ ー の 架 橋 方 法 、 た と え ば ポ リ ア ミ ン 架 橋 や ポ リ オ ー ル 架 橋 、 パ ー ォ キ サ イ ド 架 橋 の 配 合 に ビ ス （ ァ ミ ノ フ エ ノ ー ル ） A F な ど を 添 力 D し て 併 用 架 橋 す る こ と も で き る 。

ま た 、 カ ル ボ キ シ ル 基 を ビ ス ジ ア ミ ノ フ エ ニ ル 系 架 橋 剤 で 架 橋 す る ィ ミ ダ ゾ ー ル 架 橋 は 、 カ ル ボ キ シ ル 基 を 末 端 以 外 に 有 す る カ ル ボ キ シ ル含 有 ポ リ マ ー に 最 適 で あ り 、 比 較 的 低 い 架 橋 温 度 （ た と え ば 1 5 0 〜 2 3 0 ： 、 好 ま し く は 1 7 0 〜 2 0 0 °C ) で 良 好 な 物 性 を も つ 架 橋 物 を 与 え る 。 半 導 体 関 連 製 造 装 置 な ど の 非 汚 染 性 を 強 く 求 め ら れ る 用 途 の ば あ い 、 架 橋 剤 な ど を 添 加 せ ず に 高 エ ネ ル ギ ー 線 架 橋 を す る の が好 ま し い 。 架 橋 源 と し て は 、 α 線 、 3 線 、 r 、 X 線 な ど の 放射 線 、 電 子 線 、 紫 外 線 な ど が 用 い ら れ る

予 備 成 形体 に 照 射 さ れ る 高 エ ネ ル ギ ー 線 は 、 た と え ば 電 子 線 の 口 、照 射 線 i は 5 〜 5 0 0 k G y 力 好 ま し く 、 さ ら に 1 0 〜 3 0 0 k G y が 好 ま し い 。 5 k G y よ り も 少 な い と 電 子線 の 照 射 に よ る 機 械 的 強 度 の 改 善 が不 充 分 と な り 、 5 0 0 k G y よ り 多 い と エ ラ ス ト マ 一 の 崩 壊 が 進行 し 、 分子 間 結 合 が 一 部 切 断 さ れ て 成 形 体 の 機械 的 強 度 が低 下 す る 。 ま た 、 機 械 的 強 度 の 改 善 の た め に は 線量 率 は 5 0 0 k G y / h r 以 上 が好 ま し く 、 さ ら に 1 0 0 0 k G y Z h r が好 ま し い 。

本 発 明 は 上 記 組 成物 ま た は 成 形 用 材 料 を 架 橋 成 形 し て 得 ら れ る 成 形 品 に 関 す る 。 さ ら に 、 上 記 コ ー テ ィ ン グ 用 材 料 で ェ ラ ス ト マ 一 性 成 形 物 を 被 覆 し 架 橋 し て 得 ら れ る

α

被 覆 成 形 ロロ も 関 す る

被 覆 さ れ る エ ラ ス 卜 マ 一 性 成 形 物 と し て は 、 各 種 の ェ ラ ス 卜 マ 一 性 の 材 料 で 作 製 さ れ た 物 品 が 使 用 で き る が 、 特 に 耐 熱 性 の 点 力ゝ ら フ ッ 素 系 エ ラ ス ト マ 一 ゃ シ リ コ ー ン 系 ェ ラ ス 卜 マ ― な ど が好 ま し い 。

本 発 明 の 成 形 品 お よ び被 覆 成 形 品 は つ ぎ の 表 1 、 表 2 お よ び表 3 に 示 す 分 野 の 各 種 成 形 品 と し て 有 用 で あ る 。

業界 基本 ニ ー ズ

酎プラズマ性、酎酸性、耐ァルカリ性、耐ァミン性、 耐オゾン性、 耐ガス性、 耐薬品性、 クリ一ン性、 耐熱性

輸送機 it熱性、 尸ミ ン性

熱性、 耐ァミ ン性

Si燃料性、 燃料透過性、 酎熱性 耐燃料性、 燃料透過性、 酎熱性

ίί燃料性、 燃料透過性、 酎熱性

酎燃料性、 燃料透過性、 耐熱性

化学 6ί薬品性、 耐溶剤性、 耐 性

薬品性、 耐溶剤性、 耐熱性

クリーン性

機械 肘薬品性

β薬品性

肘溶剤性

时溶剤性

食 no 时薬品性、 耐溶剤性、 酎熱性

St熱性、 雖性 3

具 体 名 称

該当製品 Sftのゲートバルブの 0リ ング、 シ一ノレ材 該当製品装置のクォーツウィ ンドウの 0リ ング、 シ一ノレ材 該当製品装置のチャ ンバ一の 0リング、 シ一ル材 該当製品装置のゲートの 0リ ング、 シール材

当製品装置のベルジャーの 0リ ング、 シール材 バオマカェメク該当製品装置の力ップリ ングの 0リ ング、 シール材 該イルニム夕ラ当ン製品装置のポンプの 0リ ング、 シ一ノレ材

該当ルルホ製ブシジン品装置の半導体用ガス制御装置の 0リング、 シ一ル材 レジス一ホスガクヤント現像液、 剥離液用の 0リ ング、 シール材 ゥヱ ル一ヘテ洗スフシ浄液用の 0リ ング、 シール材

当製造装ケスム置ャッドトのポンプのダイアフラム

レジス ト現像パ液フシンッド、 剥離液用のホース

ウェハー洗浄液ー一用ガットトのホース、 チューブ

ゥヱ 搬送用のキルルスシロール

レジスト現像液槽、 剥ケン離液槽のライニング、 コ一ティング ゥェハ一洗浄液槽のラルイッニング、 コーティ ング

ゥエツ トエツチング槽のライニング、 コーティ ング 輸送機 卜

TFホース

インジェクター 0リ ング

ィ ンジ -クタ一パッキン

料ポンプ 0リ ング、 ダイャフ 'ム

料ホース

機械展像ロール

薛像ロール

グラビアロール

ガイ ドロール

磁気テープ製造塗工ラインのグラビアロール

磁気テープ製造塗工ライ ンのガイ ドロール

各種コ一ティ ングロ一ル 会 ¾口 π Π 特 に 具 体 的 は 次 の よ う な 半 導 体 製 造 装 置 組 み ；)^ ん で 用 い る こ と が で き る 。

( 1 ) ェ ッ チ ノ グ 装 置

ド ラ ィ ェ 'ソ チ ン グ 装 置

プ ラ ズデマ エ ッ チ ン グ 装 置

ベ

反 応 性 ィ オ ン エ ッ チ ン グ 装 置

反 応 性 ィ オ ン ビ ー ム エ ッ チ ン グ 装 置

ノ

ス パ ッ 夕 エ ッ チ ン グ 装 置

ィ ォ ン ビ ー ム エ ッ チ ン グ 装 置

ク X ッ 卜 ェ ツ チ ン グ 装 置

ァ ッ シ ン グ

( 2 ) 洗 浄 装 置

乾 式 ェ ッ チ ン グ洗 浄 装 置

U V / o ₃ 洗 浄 装 置

ィ ォ ン ビ ー ム 洗浄 装 置

レ 一 ザ ビ ー ム 洗浄 装 置

プ ラ ズ マ 洗浄 装 置

ガ ス ェ ッ チ ン グ 洗浄 装 置

抽 出 洗浄 置

ソ ッ ク ス レ ー 抽 出 洗浄 装 置

高 1皿 间 圧 抽 出 洗浄 装 置

ィ ク P ウ ェ ー ブ抽 出 洗浄 装

臨 界抽 出 洗浄 装 置

( 3 ) 露 光 装

ス テ ッ パ

コ 一 夕 ·

( 4 ) 研 磨 装

C M P 装 ( 5 ) 成 膜装

C V D 装

ス パ ッ 夕 リ ン グ 装 置

( 6 ) 拡 散 · ィ ォ ン 注 入 装 置

化 拡散

ィ オ ン 注 入 装

こ れ ら の う ち 、 特 に プ ラ ズ マ 処 理 が行 な わ れ る 装 置 、 た と え ば C V D 装 置 、 プ ラ ズ マ エ ッ チ ン グ 装 置 、 反 応 性 イ オ ン エ ッ チ ン グ 装 置 、 ア ツ シ ン グ 装 置 、 エ キ シ マ レ ー ザ一 露 光機 の シ ― ル 材 と し て 優 れ た 性 能 を 発 揮 す る 。

つ ぎ に 本 発 明 を 実 施 例 を あ げ て 説 明 す る が 、 本 発 明 は 力 る 実 施 例 の み に 限 ら れ る も の で は な い 。

実 施例 1

ポ リ イ ミ ド フ ィ ル ム を ガ ラ ス 製 の シ ャ ー レ に 入 れ 窒 素 雰 囲 気 に て 1 5 0 °C で 6 0 分 間 加 熱 し 、 サ ン プル を 作 製 し た 。

こ の サ ン プル に つ い て 、 つ ぎ の 条 件 下 で プ ラ ズ マ 照 射 処 理 を 施 し 、 照 射 前 後 の 重 量 を 測 定 し て 重 量変 化 を 調 べ た 果 を 表 4 に 示 す 。

使 用 プ ラ ズ マ 照 射 装 置 ：

マ 一 チ · ィ ン ス ツ ル メ ン ッ （ March Instruments ) 社製 の P X - 1 0 0 0

照 射 条 件 ：

酸 素 プ ラ ズ マ 照 射処 理

ガ ス 流 量 ： 2 0 0 s c c m

R F 出 力 ： 4 0 0 W

圧 力 ： 2 8 0 ミ リ ト ー ル

ェ ッ チ ン グ 時 間 ： 5 4 分 間 C F ₄ ブ ラ ズ マ 照 射 処 理

ガ ス 流 量 ： 2 0 0 s c c m

R F 出 力 ： 4 0 0 W

圧 力 ： 2 8 0 ミ リ ト ー ル

エ ッ チ ン グ 時 間 ： 5 4 分 間

照 射操 作 ：

プ ラ ズ マ 照 射 装 置 の チ ヤ ン バ ー 内 の 雰 囲 気 を 安 定 さ せ る た め に 、 チ ャ ン ノ 一 前 処 理 と し て 5 分 間 か け て 実 ガ ス 空 放電 を 行 な う 。 つ い で サ ン プ ル を 入 れ た シ ャ ー レ を R F 電極 の 中 心 部 に 配 置 し 、 上 記 の 条 件 で 照 射 す る 。

重 量測 定 ：

シ ャ リレ 卜 リ ウ ス （ Sartorius) - G M B H (株）製 の 電 子 分析 天 秤 2 0 0 6 M P E を 使用 し 、 0 . 0 1 m g ま で測 定 し 0 . O l m g の 桁 を 四 捨五 入 す る 。

サ ン プル は 1 種 類 に つ き 3 個 使 用 し 、平均 で 評価 す る 。 比 較例 1

フ イ ラ 一 と し て 黒 鉛 化 カ ー ボ ン ブ ラ ッ ク （ 東 海 カ ー ボ ン （株）製 の # 3 8 8 5 。 平 均 粒 径 1 5 ) を 用 い た ほ か は 実 施例 1 と 同 様 に し て プ ラ ズ マ 照 射 し 、 照 射 前 後 の 重 量 変 化 を 調 べ た 。 結 果 を 表 4 に 示 す 。

比 較例 2

フ イ ラ 一 と し て ポ リ テ 卜 ラ フ ル ォ ロ エ チ レ ン 粉 末 （ ダ ィ キ ン 工 業 （株）製 の ル ブ ロ ン L 5 F 。 平 均 粒 径 5 /i m ) を 用 い た ほ か は 実 施 例 1 と 同 様 に し て プ ラ ズ マ 照 射 し 、 照 射 前 後 の 重 量 変 化 を 調 べ た 。 結 果 を 表 4 に 示 す 。

比 較例 3

フ イ ラ 一 と し て ル チ ル 型 酸 化 チ タ ン 粉 末 （ 富 士 チ タ ン (株）製 の T M — 1 。 平 均 粒 径 0 . 4 0 m ) を 用 い た ほ か は実 施例 1 と 同 様 に し て プ ラ ズ マ 照 射 し 、 照 射 前 後 の 重 量 変 化 を 調 べ た 。 結 果 を 表 4 に 示 す 。

比 較例 4

フ イ ラ 一 と し て 乾 式 シ リ カ （ （株）龍 森 製 の 1 一 F X 。 平 均 粒 径 0 . 3 8 m ) を 用 い た ほ か は 実 施 例 1 と 同 様 に し て プ ラ ズ マ 照 射 し 、 照 射 前 後 の 重 量 変 化 を 調 べ た 。 結 果 を 表 4 に 示 す 。

表 4

表 4 カゝ ら 明 ら か な よ う に 、 カ ー ボ ン ブ ラ ッ ク （ 比 較例 1 ) お よ び ポ リ テ ト ラ フ ル ォ ロ エ チ レ ン 粉 末 （ 比 較 例 2 ) で は酸 素 プ ラ ズマ 照 射 に よ り 大 き く 重 量 が減 少 し て お り 、 ま た 酸 化 チ タ ン 粉 末 （ 比 較例 3 ) お よ び乾 式 シ リ カ （ 比 較例 4 ) で は C F ₄ プ ラ ズ マ 照 射 に よ り 大 き く 重 量 減 少 が 生 じ て い る 。 な お 、 比 較 例 1 の C F ₄ プ ラ ズ マ 照 射 に お い て 重 量 が増 力 Π し て い る が 、 こ れ は C F ₄ プ ラ ズ マ に よ り カ ー ボ ン ブ ラ ッ ク は 一 部 フ ッ 素 ィ匕 さ れ た た め と 考 え ら れ る 。 こ れ ら に 対 し 、 本 発 明 の フ ィ ラ ー で は 酸 素 ブ ラ ズ マ 照 射 お よ び C F ₄ プ ラ ズ マ 照 射 の い ず れ に お い て も 極 め て 重 量 が安 定 し て い る こ と が わ か る 。 産 業 上 の 利 用 可 能 性

本 発 明 に よ れ ば 、 酸 素 プ ラ ズ マ 照 射 お よ び C F ₄ ブ ラ ズマ 照 射 の い ず れ に お い て も 重 量 変 化 が 小 さ い の で 、 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 に 配 合 す る と き に は 、 極 め て 異 物 の 混 入 を 嫌 う 半 導体 製 造 装 置 に お け る 封 止 の た め の シ ー ル 材 な ど 用 の 組 成 物 、 さ ら に は シ 一 ル 材 と い っ た 成 形 品 を 提 供 で き る 。

Claims

清 求 の 範 囲 二一口青

1. 流 量 2 0 0 s c c m 、 圧 力 2 8 0 ミ リ ト ー ル 、 電 力 4 0 0 W お よ び照 射 時 間 5 4 分 間 の 条 件 で 測 た 酸 素 プ ラ ズ マ 照 射 お よ び C F ₄ プ ラ ズ マ 照 射 前 重 量変 化 力 い ずれ も 4 m g Z c m ² ' h r 以 下 で あ 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 用 の フ ィ ラ ー 。

2. 重 量 変 化 が l m g Z c m ² ' h r 以 下

範 囲 第 1 項記 載 の フ ィ ラ ー 。

3. 主鎖 に 熱 的 、 化 学 的 に 安 定 な 芳 香 族 環 を 有 し 耐 熱温 度 1 5 0 °C 以 上 で あ る 請 求 の 範 囲 第 1 項 ま た は 第 2 項 記載 の フ ィ ラ ー 。

4. 主鎖 中 に ア ミ ド 結 合 を も つ合 成 高 分 子化 合物 ま た は イ ミ ド 結 合 を も つ 合 成 高 分子化 合 物 か ら でな る 請 求 の 範 囲 第 1 項 〜 第 3 項 の い ずれ か に 記 載 の フ ィ ラ ー 。

る

5. 請 求 の 範 囲 第 1 項 〜 第 4 項 の い ずれか に 記 載 の フ ィ 青 ラ ー と 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 と を 含 む 架 橋 性 エ ラ ス 後定る R卜 マ 一 組 成 物 。 架のの Fし

6. 前 記 架 橋 性 エ ラ ス ト マ一 1 0 0 重 量 部 に 対 し て 刖 sd フ イ ラ 一 を 1 〜 1 5 0 重 量 部含 有 す る 請求 の 範 囲 第 5 項 記 載 の 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 組 成 物 。

7. 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 が 、 フ ッ 素 系 エ ラ ス ト マ 一 ま た は シ リ コ ー ン 系 エ ラ ス ト マ 一 で あ る 請 求 の 範 囲 第 5 項 ま た は 第 6 項 記 載 の 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 組 成 物 。

求 の 範 囲 第 5 項 〜 第 7 項 の い ずれか に 記 載 の 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 組 成 物 か ら な る 成 形 用 架 橋 性 エ ラ ス 卜 マ ー 材 料 。

9. 前 記 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 1 0 0 重 量 部 に 対 し て 前 記 フ ィ ラ ー を 1 〜 1 5 0 重 量部 お よ び架 橋 剤 を 0 . 0 5 〜 1 0 重 量 部含 有 す る 請求 の 範 囲 第 8 項 記 載 の 成 形 用 架 橋 性 エ ラ ス 卜 マ ー 材 料 。

10. 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 が 、 フ ッ 素 系 エ ラ ス ト マ 一 ま た は シ リ コ ー ン 系 エ ラ ス ト マ 一 で あ る 請 求 の 範 囲 第 8 項 ま た は 第 9 項 記 載 の 成 形 用 架橋 性 エ ラ ス ト マ 一 材料 。

11. 請求 の 範 囲 第 8 項 〜 第 1 0 項 の い ずれか に 記 載 の成 形 用 架 橋性 エ ラ ス ト マ 一 材 料 を 架 橋 成形 し て 得 ら れ る 成 形 品 。

12. 半 導体 製 造 装 置 に お け る 封 止 の た め の シ ー ル材 で あ る 請求 の 範 囲 第 1 1 項 記 載 の 成 形 品 。

13. 請 求 の 範 囲 第 5 項 〜 第 7 項 の いずれか に 記載 の 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 組 成 物 カゝ ら な る コ ー テ ィ ン グ用 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 材 料 。

14. 前 記 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 1 0 0 重 量部 に 対 し て 前 記 フ イ ラ 一 を 1 〜 1 5 0 重 量 部 お よ び架橋 剤 を 0 . 1 〜 1 0 重 量部含有 す る 請 求 の 範 囲 第 1 3 項 記 載 の コ ー テ ィ ン グ 用 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一材 料 。

15. 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 が 、 フ ッ 素 系 エ ラ ス ト マ 一 ま た は シ リ コ ー ン 系 エ ラ ス ト マ 一 で あ る 請 求 の 範 囲 第 1 3 項 ま た は 第 1 4 項 記 載 の コ ー テ ィ ン グ 用 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 材 料 。

16. 請求 の 範 囲 第 1 3 項 〜 第 1 5 項 の い ずれか に 記 載 の コ ー テ ィ ン グ 用 架 橋 性 エ ラ ス ト マ 一 材 料 を エ ラ ス ト マ — 性 成 形 物 の 表 面 に コ 一 テ ィ ン グ し た の ち 架 橋 し て 得 ら れ る 被 覆 成 形 品 。

17. 半 導体 製 造 装 置 に お け る 封 止 の た め の シ ー ル材 で あ る 請求 の 範 囲 第 1 6 項 記 載 の 被 覆 成 形 品 。