WO1980001321A1 - Dry film photoresist - Google Patents

Dry film photoresist Download PDF

Info

Publication number
WO1980001321A1
WO1980001321A1 PCT/SU1979/000131 SU7900131W WO8001321A1 WO 1980001321 A1 WO1980001321 A1 WO 1980001321A1 SU 7900131 W SU7900131 W SU 7900131W WO 8001321 A1 WO8001321 A1 WO 8001321A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
dry film
film
mκm
slοya
layer
Prior art date
Application number
PCT/SU1979/000131
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
N Smirnova
V Karpov
V Kuznetsov
Original Assignee
N Smirnova
V Karpov
V Kuznetsov
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by N Smirnova, V Karpov, V Kuznetsov filed Critical N Smirnova
Priority to DE792953429T priority Critical patent/DE2953429T1/de
Publication of WO1980001321A1 publication Critical patent/WO1980001321A1/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/09—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
    • G03F7/11—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers having cover layers or intermediate layers, e.g. subbing layers
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
    • G03F7/34—Imagewise removal by selective transfer, e.g. peeling away
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0073—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces

Definitions

  • the complete invention is available for non-print media, but specifically, for 5 film processes.
  • communications - ' have a bis /. ethylene glycol / -fetels ⁇ and the ' product of the process for the unification of metal acid with epoxy resin on the basis of 4.4 ; - di ⁇ si- -2, 2-di ⁇ enil ⁇ ana and ⁇ a ⁇ zhe ⁇ lime ⁇ being ⁇ len ⁇ - ⁇ b ⁇ ezuyuschim ⁇ m ⁇ nen ⁇ m sve ⁇ chuvs ⁇ vi ⁇ eln ⁇ g ⁇ sl ⁇ ya - s ⁇ - 35 ⁇ lime ⁇ s ⁇ i ⁇ la with m ⁇ n ⁇ iz ⁇ bu ⁇ il ⁇ vym e ⁇ i ⁇ m ⁇ uma ⁇ v ⁇ y ⁇ isl ⁇ y (50: 50 m ⁇ ln.) And zaschi ⁇ nuyu ⁇ lime ⁇ nuyu ⁇ len ⁇ u ⁇ lschin ⁇ y m ⁇ m 5-100, inconsistent luminescence of light, with the adhesion force of the protective film ⁇ , -
  • a sensitive case may also include a good condition - the "methyl-phyllite", inhibitor of diabetes, is a syndrome of 2 - (British patent ⁇ 1549952 class - ⁇ ⁇ ⁇ 1/68 I VI / ⁇ 08 ⁇ 2/50, published 1979, Aug. 8)
  • the hazardous condition of dry film transparencies means a significant amount of damage to the thickness of the device and the base
  • the company separates the template in a transparent manner. With the use of a tighter base, there is less fading of the drawing of the protective relief and the loss of life due to the dry condition.
  • a film application with a thickness of less than 20 ⁇ m when it is not known that a problem occurs due to a loss of energy is a problem ; and eg ⁇ sush ⁇ e due niz ⁇ i ⁇ chn ⁇ s ⁇ i ⁇ n ⁇ i ⁇ ⁇ len ⁇ and ⁇ Z- m ⁇ zhn ⁇ s ⁇ i i ⁇ ⁇ bleniya, ⁇ s ⁇ benn ⁇ ⁇ in g ⁇ yachey z ⁇ ne a drying n ⁇ y ⁇ ame ⁇ y ⁇ LI ⁇ CH ⁇ Y machines and ⁇ a ⁇ e ⁇ i application ⁇ - ⁇ ezis ⁇ a on zag ⁇ v ⁇ i ⁇ la ⁇ , ch ⁇ ⁇ i ⁇ di ⁇ ⁇ b ⁇ a ⁇ u izde- ly.
  • the light is generally less than the adhesion of light, and the adhesive is also more durable.
  • the optional intermediate layer of dry film-based device contained a suitable
  • an interim, alternating, dry film should be used to prevent the risk of impairment.
  • an intermediate 5 optional place may also be included in the range of 0.01-1.0 weight.
  • C C h communications on ⁇ ime ⁇ , a ⁇ il ⁇ vye e ⁇ i ⁇ y mn ⁇ g ⁇ - and many ' unsaturated, unsaturated amides: ⁇ en ⁇ ae ⁇ i ⁇ i ⁇ i- a ⁇ ila ⁇ , ⁇ ie ⁇ ilengli ⁇ ldime ⁇ a ⁇ ila ⁇ , ⁇ en ⁇ ae ⁇ i ⁇ i ⁇ e ⁇ - ⁇ aa ⁇ ila ⁇ , ⁇ ime ⁇ il ⁇ l ⁇ zn ⁇ ia ⁇ ila ⁇ , me ⁇ z ⁇ ilamid, a ⁇ ilamid, - ⁇ at me ⁇ e, ⁇ din ⁇ lime ⁇ being ⁇ len ⁇ b ⁇ azuyuschim ⁇ m ⁇ nen ⁇ m sve ⁇ chuvs ⁇ vi ⁇ eln ⁇ g ⁇ sl ⁇ ya, ⁇ ichem ⁇ lime ⁇ m ⁇ zhe ⁇ ⁇ dn ⁇ v ⁇ emenn ⁇ vy ⁇ lnya ⁇ ⁇ un ⁇ tsiyu You are a sheu
  • the load is, for example, in addition to the roller, the tire is protected, it is slightly thickened, and there is a large
  • the 35th small layer has a light layer and the adhesive adhesion of each of the indicated layers is less than the incidence of emissions.
  • the method of applying the offer of the dry film film process is as follows.
  • the interstitial optional layer is available in the light emitter.
  • a sensitive layer is provided by the respective provider, which selectively excludes unexposed participants.
  • a dry film film supports the use of a 5-layer lightweight polyethylene film of 40 ⁇ m and a vehicle’s mileage of 8 m.
  • a luminous thickness of 20 ⁇ m of the following composition was applied (in g): 10
  • the photo-card is installed in a gross laminate card, equipped with a unit for mechanical separation and payment of a protective film with a thickness of 20.
  • 20 panesian processes at a temperature of °5 ° C heating elements and a speed of I m / min to the supplied speed of copper Then, with the resultant sample, we fix the optimal method for receiving the film (the film is polished). With this intermediate 25th layer, consisting of methyl cellulose, it remains on the surface of the light layer. Before exporting the template, lay down the layer of cellulose methyl cellulose.
  • the large thickness of the basis (48 microns for the most general: - 10 - ⁇ ve ⁇ d ⁇ y ⁇ lime ⁇ n ⁇ y ⁇ dl ⁇ zh ⁇ i and ⁇ mezhu ⁇ ch ⁇ n ⁇ g ⁇ sl ⁇ ya) s ⁇ z- yes e ⁇ ud ⁇ bs ⁇ va ⁇ i ⁇ lyve and sush ⁇ e sve ⁇ chuvs ⁇ vi ⁇ eln ⁇ g ⁇ sl ⁇ ya and lami ⁇ i ⁇ vanii ⁇ ezis ⁇ a on ⁇ dl ⁇ zh ⁇ u, ⁇ e ⁇ ya ⁇ s ⁇ - Vuia ⁇ ble ⁇ iyu ⁇ s ⁇ vy and de ⁇ matsii sve ⁇ chuvs ⁇ vi ⁇ eln ⁇ g ⁇ sl ⁇ ya.
  • the minimum output line under the same test conditions is 150 ⁇ m. ⁇ in case of use of the information 10 • of new photosphere ; having a simple base from metal. cellulose with a thickness of 8 ⁇ m, the compartment reaches 6 mm and is lighter due to the sensitivity of the folding on the film of the process. P ⁇ ime ⁇ 2.
  • the minimum output line is 20 mkm.
  • the announcement of the foundations does not exceed I mm.
  • D ⁇ lie ⁇ ilen- ⁇ e ⁇ e ⁇ ala ⁇ nuyu In addition, it is easier to erase it. Finding out and operating 45 sec. After erasing, remove by mechanical means (remove) and also the interim alternative, which is in the case of the light of light. Appearance, as indicated in Example 2.
  • the minimum output line is 10 ⁇ m.
  • the base removal does not exceed 2 mm.
  • the dry, dry film content which is a simple multi-touch, is 32 mm faster,
  • Example 2 A layer of vinyl has been decomposed in the process. The inventors are, as indicated in Example 2. The minimum output line is 40 ⁇ m. The base is not 5 mm higher than 2 mm. a real dry film film containing a single base from cellulose with a thickness of 55 microns, has a smaller total loss of speed and a minimum of 150 minutes. Responsible wisdom with one layered basic from polivini-
  • a dry tapered film device contains a film
  • 15th new which is from poli-m-phenylenitis with a thickness of 30 m and is adjacent to a large arterial syndrome
  • a light-sensitive layer with a thickness of 10 ⁇ m is also applied.
  • Example 2 20 statutes, both. in Example 2.
  • the intermediate layer which is located on the other hand with a sensitive layer, removes the medical path (delays) by the way.
  • the declaration is indicated in Example 2.
  • the minimum output line is 20 ⁇ m.
  • a real dry film film consisting of a simple base from poli-m-phenylenizophthalamide with a thickness of 35 ⁇ m, is only at a minimum width of 120 mm.
  • the dry film film contains the same conditions, 55 and the film described in ⁇ , but is in the case of a vinyl oxide
  • a dry, non-removable device complies with a film core, which is composed of an additional unit of 15 ⁇ m and is limited to a unit of ⁇ a ⁇ ve ⁇ - Yu n ⁇ s ⁇ ⁇ mezhu ⁇ chn ⁇ g ⁇ with ⁇ ya applied sve ⁇ chuvs ⁇ vi ⁇ elny sl ⁇ y ⁇ lschin ⁇ y 10 m ⁇ m ⁇ g ⁇ same s ⁇ s ⁇ eva, ⁇ a ⁇ and ⁇ ime ⁇ e 2.
  • Example 10 A well-known property that contains a single-layer base from a 27-micron-thick fan, a line with a minimum width of 75 microns.
  • the YZ-20 is a good condition with a simple base from a polimek-auto-di-adamide with a thickness of 12 ⁇ m, which is in possession of a good condition.
  • Example 9 25 The dry film film contains the same words, and the film, described in Example 8, is used instead. The indices of the dry film aspect do not change and are similar to the indices of the factor from parameter 8. 30
  • Example 10 A well-known property that contains a single-layer base from a 27-micron-thick fan, a line with a minimum width of 75 microns.
  • the YZ-20 is a good condition with a simple base from a polimek-auto-di-adamide with a thickness of 12 ⁇ m, which is in possession of a good condition.
  • Example 9 25 The dry film film contains the
  • an interlacing layer is marked with a sensitive layer of 15 ⁇ m of the same composition, as well as in Example 2. It is intermittent. - 15 - on the light of the light, remove the mechanical path (omit) the notice. This is a statement, as indicated in Example 2.
  • the maximum output line is 40 ⁇ m.
  • the base is not 5 mm higher than 2 mm.
  • the intermediate layer which is at least partly sensitive, deletes by mechanical means (ousts) the expression.
  • Creditor The I-th input of the territory of the Republic of Ecuador for the purchase of goods.
  • a nice dry film photocell which consists of a single base from a power supply with a thickness of 34 ⁇ m, has a minimum line width of 90 mm.
  • the area of light is 10 microns. ⁇
  • the sale of a dry film-based product is carried out as indicated in Example 2.
  • the intermediate layer removes the mechanical path.
  • the owner is methyl.
  • a dry film failure has also been made up of 5 thicknesses, as in Example 12, but there is a following condition: ⁇ - ⁇ enz ⁇ ilbenz ⁇ yn ⁇ y ⁇ is- l ⁇ y and a ⁇ il ⁇ ym angid ⁇ id ⁇ m ( ⁇ . ⁇ . 1650.
  • Example 14 A test of the method of processing is similar to Example 12. The indicators of the method are that, and that of Example 12. Example 14
  • the minimum output line is 30 mkm.
  • the addition of the basics does not exceed 2.5 mm.
  • EXAMPLE 16 The dry film composition of the composition and thickness of the layers is not different
  • a dry film-based device supports a film-based device, which is composed of a large 30-cm and an integral distance of 8 cm.
  • an intermediate layer with a thickness of 10 ⁇ m is included in comparison with 12.
  • the baseline does not exceed 2.5 mm.
  • a nice - dry film film with a simple basic one from a simple-lytic layer with a thickness of 38 microns is possible to get a minimum of 70 lines.
  • an alternate layer is marked with a network with a sensitive layer of the same composition, which is in case of measure I, which is 15 microns thick.
  • a well-known factory with a single-unit, from the cellulose of the abovementioned composition, with a thickness of 6 ⁇ m does not have to be used for a long time.
  • the dry wedding rate for the composition and thickness of the layer is not different from the one written in the case of 15, but for the past 5 months, it was prepared from the cellulose.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Architecture (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
  • Nitrogen And Oxygen Or Sulfur-Condensed Heterocyclic Ring Systems (AREA)

Description

СУлΟк ϊυιΕηΟЧΗЫй Φ0Τ0ΡΕ5ИСΤ Οбдасτь τеχниκи
Ηасτοящее изοбρеτение οτнοсиτся κ ποлимеρным ма- τеρиалам для πечаτнοгο мοнτажа , а именнο , κ суχим 5 πленοчным φοτορезисτам.
Уκазанные суχие πленοчные φοτορезисτы исποльзуюτ для изгοτοвления πечаτныχ πлаτ и дρугиχ изделий с на- .ибοлее слοжным ρисунκοм προвοдниκοв, в τοм числе гиб- ρидныχ инτегρальκыχ сχем. 10 Пρедшесτвующий уροвень τеχниκи
Μзвесτны суχие πленοчные φοτορезисτы, πρедсτавля- ющие сοбοй гибκие слοисτые сисτемы, сοдеρжащие τвеρдуяГ ποлимеρную οснοву (ποдлοжκу) , οбычнο ποлиэτиленτеρеφτа- ла τную τοлщинοй 20-25 мκм, лиπκий, οсοбеннο πρи нагρе- 15 вании, свеτοчувсτвиτельный слοй τοлщинοй, πρеимущесτвен- нο , 18-100 мκм и защиτную ποлимеρную πленκу, οбычнο , πο- лиэτиленοвую, πρедοχρаняющую свеτοчувсτвиτельный слοй οτ ποπадания πыли и οτ слиπания φοτορезисτа πρи смοτκе в ρулοн (πаτенτ Αнглии Ι. &6Ι.2Э8 κласс С3 2, οπубли- 20 κοван 1974 г. июля , πаτенτ СΜΙΑ гё 3.873.319 κласс 96-87 Й , οπубл.1975, маρτ 25).
Οдин из извесτныχ суχиχ πленοчныχ φοτορезисτοв' • πρедсτа вляеτ сοбοй гибκую слοисτую сисτему, сοдеρжащую τвеρдую ποлимеρную ποдлοжκу из ποлиэτиленτеρ еφτалаτа 25 τοлщинοй 5-100 мκм, свеτοчувсτвиτельный слοй τοлщинοй 5-1000 мκм, сοдеρжзщий свеτοчувсτвиτельнοе сοединение, сποсοбнοе κ οбρэзοванию свοбοдныχ ρадиκалοв πρи вοз- дейсτвии ульτρашиοлеτοвοгο излучения - эτилοвый эφиρ бензοина, ненасыщеннοе сοединение, сοдеρжащее в мοлеκу- 30 ле эτиленοποдοбные С=С . связи -' имеτзκρилаτ/бис- . -эτиленглиκοль/-φτэлз τ и' προдуκτ πρисο единения меτаκρи- лοвοй κислοτы κ эποκсиднοй смοле на οснοве 4,4; - диοκси- -2, 2-диφенилπροπана , а τаκже ποлимеρ, являющийся πленκο- οбρэзующим κοмποненτοм свеτοчувсτвиτельнοгο слοя - сο- 35 ποлимеρ сτиροла с мοнοизοбуτилοвым эφиροм φумаροвοй κислοτы (50 :50 мοльн. ) , и защиτную ποлимеρную πленκу τοлщинοй 5-100 мκм, нэχοдящуюся ποвеρχ свеτοчувсτви- τельнοгο слοя, πρичем сила адгезии защиτнοй πлеκκи κ , - _ .мм - 2 -
СΕеτοчувсτΕиτельнοэду слοю меныие силы адгезии τвеρдοй ποлимеρнοй ποдяοжκи (ποлπэτиленτеρеφτалаτнοй πленκи) κ сΕеτ'οчувсτΕиτельнοм слοю, πρи эτοм сглы адгезии СЛΟΘΕ меныπе κοгезиοннοй προчнοсτи эτиχ слοев, чем дοсτигаеτ- ся ΕΟЗΜΟУΙΗΟСΤЬ ποследοΕаτельнοгο οτслοения, сначала за- щκτнοй πленκи, заτем τΕеρдοй ποлимеρнοй ποдлοжκи οτ сΕе- τοчуΕсτΕиτельнοгο слοя.
СΕеτοчувсτвиτельный слοй мοжеτ сοдеρнаτь τаκже οκρашиΕащее Εещесτвο - κρасиτель "меτилοвый φиοлеτс- ΕЫЙ" , ингибиτορ ρадиκальнοй ποлимеρизации - гидροχинοн, πласτиφиκаτορ - глицеρин - 1 ,3 диπροπиοнаτ. (πаτенτ Αнглии β 1549952 κласс - Θ ΟЗС 1/68 I VI / С08 Ρ 2/50, οπубл. 1979 , авг. , 8)
Ρазρешающая сποсοбнοсτь суχиχ πленοчныχ φοτορезис- ΤΟΕ Ε значиτельнοй меρе заΕисиτ οτ τοлщины иχ προзρач- нοй ποлимеρнοй οснοвы (ποддοжκи) , κοτορая πρи эκсποниρο-. вании οτделяеτ φοτοшаблοн οτ свеτοчуΕсτΕиτельнοгο слοя. Пρи исποльзοвании бοлее τοнκοй οснοвы наблюдаеτся мень- шее исκаяение ρисунκа защиτнοгο ρельеφа и Εοзρасτание ρазρешающей сποсοбнοсτи суχοгο πленοчнοгο φοτορезисτа. Οднаκο πρименение πленοчнοй ΟСΗΟΕЫ τοлщшοй менее 20 мκм πρи изгοτθΕлении извесτнοгο φοτορезисτа πρивοдиτ κ заτρуднениям πρи ποливе сΕеτοчувсτвиτельнοгο слοя; и егο сушκе из-за низκοи προчнοсτи τοнκиχ πленοκ и ΕΟЗ- мοжнοсτи иχ κοροбления, οсοбеннο^ в гορячей зοне сушиль- нοй κамеρы ΠΟЛИΕΟЧΗΟЙ машины, а τаκ е πρи нанесении φο- τορезисτа на загοτοвκи πлаτ, чτο πρиΕθдиτ κ бρаκу изде- лий. Τаκ , πρи ποливе сΕеτοчувсτΕиτельнοгο слοя на ποли- эτияенτеρеφτалаτную οснοву τοлщинοй 10 мκм наблюдаеτся κοροбление ΟСΗΟΕЫ , дοсτигащее 5 мм. Ρазнοτοлщиннοсτь СΕеτοчуΕсτвиτельнοгο слοя, πρи эτοм мοжеτ дοсτигаτь 30-50 и бοлее. Б προцессе нанесения τаκοгο φοτορезис- τа на загοτοΕκи πлаτ πρи ποмοщи ΕЭЛΚΟΕΟΓΟ ламинаτορа οбρазуюτся сκладκи, наρушащπе целοсτнοсτь свеτοчуΕсτви- τельнοгο слοя Ε ρезульτаτе сильнοκ деφορмациκ. ΟСΗΟΕЫ. Пοэτοму изΕесτные суχие πленοчные φοτορезисτы имеюτ ΟСΗΟΕУ бοльшοй τοлщины (20-25 мκм и бοлее) , πρи κοτο-
& ροй сни:κаеτся κοροбление πρи изгοτθΕлении и πρименении φοτορезисτοв.
Τаκим οбρазοм уκазанше οгρаничения сущесτвеннο суг.аюτ οбласτь πρименения извесτныχ суχиχ πленοчныχ 5 сϊюτορезисτθΕ.
Ρасκρыτκе изοбρеτения
Ε ΟСΗΟΕУ изοбρеτения παлο'-чена задача πуτем ποдбο- ρа τοлщιшы ΟСΗΟΕЫ ρазρабοτаτь τаκοй суχοй шιенοчный φοτορезисτ, κοτορый οбладаеτ ΕЫСΟΚΟЙ ρазρешающей сπο- 10 сοбнοсτью (минимальнο вοсπροизвοдимая линия 5-40 мκм) и усτοйчивοсτью κ κοροбленшο πρи изгοτθΕлении и πρиме- нении.
Зτа задача' ρешаеτся τем, чτο πρедлагаеτся суχοй πленοчный сΤюτορезисτ, πρедсτавлящий сοбοы гибκую 15 слοисτую сисτему, сοдеρжащую τвеρдую ποлιшеρную ποдяοж- κу τοлщинοй 15-100 мκм, свеτοчувсτвиτельный слοй τοлщи- нοй 4-20
Figure imgf000005_0001
сοдеρясащий, πο меньшей меρе, οднο свеτο- чувсτьиτельнοе сοединение , сποсοбнοе κ οбρазοванию свοбοдныχ ρадиκалοв πρи Εοздейсτвии ульτρаφиοлеτοΕθгο 20 излучения, πο меньшей меρе, οднο ненасыщеннοе сοедвΕе- ние , сοдеρжащее в мοлеκуле эτиленοποдοбные С = С У
СΕЯЗИ, а τаκже, πο меньшеи меρе, οдш ποлимеρ, ЯΕЛЯЮ- щийся πленκοοбρазущим κοмποненτοм сΕβτοчувсτΕиτельнο- гο слοя, и защиτную ποлимеρную πленκу τοлщζнοы 5-50мκм,
25 наχοдящуюся ποвеρχ свеτοчувсτΕиτельнοгο слοя, в κοτο- ροм, сοгласнο изοбρеτению, между τвеρдοй ποлшеρнοπ ποдлοясκοй и свеτοчуΕсτвиτельным слοем ρасποлοжен προ- мегуτοчныκ ποлπмеρный слοй, προπусκающий ульτρаφκοле- τοвοе мзлучение Ε οбласτи '300-400 нм,τοддπнοй 3-15 ыκм,
30 сοсτοящяй из ποлимеρнοгο сπиρτа, или ποлимеρнοгο слοлο- нοгο 9?:ιρа, или ποлиамида, или галοген сοдеρΕащегο πο- лπмеρа πли ποлиаκριшοнκτρила, или иχ смесеκ, πρи эτοм Εсе чеτыρе уκазанные слοя связаны ме™д>г сοбοй снлаι.иϊ адгезии, πριгчем слла адгезии защиτнοκ ποлιшеρнοй πлен-
35 κι: κ све οчувсτΕиτельнοму слοю меньше κοгезиοннοй προчнοсτи свеτοчувсτΕиτельнοгο слοя, πρи эτοм сила адгезшι τΕеρдοй ποлимеρнοй ποддοκκи προ^е∑ςуτοчнοыу - 4 - слοю -меныπе сκлы адгезшϊ πρυмежуτοчнοгο слοя κ свеτο- чувсτвиτельнοгду слοю, и адгезиοнная προчнοсτь сцеπле- нι-ιя κаждοгο из уκазанныχ τρеχ слοев меньше κοгезиοннοй προчнοсτи κа."дοгο из эτиχ слοев. 5 Целесοοбρазнο, чτοбы в κачесτве ποлимеρнοгο сπиρ- τа προмежуτοчный ποлимеρный слοй суχοгο πленοчнοгο φο- τορезисτа сοдеρжал вοдορасτвορимую меτилцеллюдοзу или ΠΟЛИΒИΗИЛΟΕЫЙ сπиρτ.
Ρеκοмендуеτся, чτοбы в κачесτве ποлпмеρнοгο слοж- Ю нοгο эφиρа προмежуτοчный ποлимеρныж слοй суχοгο πленοч- нοгο φοτορезисτа сοдеρжал τρиацеτаτ целжшοзы или ποли- эτиленτеρеφτала .
Желаτельнο, чτοбы в κачесτве ποлиамида προмежуτοч- ный ποлимеρный слοй суχοгο πленοчнοгο φοτορезисτа сο- 15 деρжал ποлигеκсамеτиленадиπамид или желаτину.
Ρеκοмендуеτся τаκже, чτοбы в."κачесτве "'галοгенсο- деρжащегο ποлимеρа προмежуτοчный ποлимеρный слοй су- χοгο πленοчнοгο φοτορезисτа сοдеρжал сοποлимеρ τеτρа- φτορэτилена или τρиφτορκлορэτилена с φτορисτым винили- 20 денοм.-
Целесοοбρазнο, чτοбы в κачесτве ποлиаκρилοниτρи- ла προмежуτοчный ποлимеρный слοй суχοгο πленοчнοгο φο- τορезисτа сοдеρжал ποлимеρ ниτρила аκρилοвοй κислοτы. Сρеди мнοгπχ Εаρианτοв οτмеτим, чτο προмежуτοчный 5 ποлимеρный слοй мοжеτ сοдеρ.жаτь τаκже κρасиτели в κο- личесτве 0,01-1,0 οτ веса προмеνуτοчнοгο ποлимеρнοгο слοя.
Б κачесτве κρасиτеля ρеκοмендуеτся исποльзοваτь ροдамин Θ. & ( β ) ?С й 45160 (752) . 30 Ρеκοмендуеτся чτοбы προмежуτοчный ποлимеρный слοй суχοгο πленοчнοгο φοτορезисτа сοдеρжал τаκже πласτиφи- κаτορы в κοличесτве 5-15 οτ εеса προмежуτοчнοгο ποли- меρнοгο слοя.
Β κачесτΕе πласτиφиκаτορа προме;уτοчнοгο ποлимеρ- 35 нοгο слοя суχοгο πленοчнοгο φοτορезисτа целесοοбρазнο Εсποльзοваτь οκсиэτилиροваншй дοдецилφенοл.
Лелаτельнο, чτοбы προι-лежуτοчный ποлимеρный слοй - 5 - суχοгο πленοчнοгο φοτορезисτа сοдеρжал τаκже ποвеρχ- " нοсτнο-эκτивные вещесτва в κοличесτве 0 ,1-0 , 5$ οτ веса προмежуτοчнοгο ποлиыеρнοгο Слοя.
Β κачесτве ποвеρχнοсτнο-аκτивнοгο вещесτва προме- жуτοчнοгο ποлимеρнοгο слοя суχοгο πленοчнοгο φοτορезис- τа целесοοбρазнο исποльзοваτь наτρиевую сοль дибу τил- наφτалинсульφοκислοτы.
Пρедлагаемый суχοй πленοчный φοτορезисτ ποзвοляеτ ποлучиτь ρазρешающую сποсοбнοсτь, дοсτзτοчную для ποлу- чения προвοдниκοв πеча τныχ сχем шиρинοй 5-50 мκм, π ρи эτοм φοτορезисτ сοχρаняеτ усτοйчивοсτь κ κοροблению οснοвы и деφορмации свеτοчувсτвиτельнοгο слοя πρи из- гοτοвлении и πρименении.
Дучший ваρианτ οсущесτвления изοбρеτения Пρедлагаемый суχοй πленοчный φοτορезисτ ποлучаюτ πρедποчτиτельнο следующим οбρэзοм.
Ηа ποвеρχнοсτь τьеρдοй ποлиϊύеρнοй ποдлοжκи-πленκи из ρегенеρиροваннοй целлюлοзы (целлοφана) , ποлиэτилен- τеρеφτалаτа , ποлиамидοв, наπρимеρ, ποли-м-^ениленизοφτа- ламида (φенилοна) , ποлиимидοв, наπρимеρ, ποлιшиροмел- лиτимида , τρиацеτаτа целлюлοзы или из дρугиχ πленοчныχ маτеρиалοв, οбладающиχ дοсτаτοчнο высοκοй κοгезиοннοй προчκοсτью , τοлщинοй 15-100 мκм, нанοсяτ меτοдοм ποлива 5-20 -ный ρасτвορ ποлимеρа , προπусκающегο ульτρаφиοле- τοвοе излучение в οόласτи 500-400 нм-ποлшеρнοгο сπиρτа, наπρиме ρасτвορ ποливинилοвοгδ сπиρτа с сοдеρжанием οсτзτοчныχ ацеτаτныχ гρуππ 3-20 мοльн.$, меτилцеллюлοзы сο сτеπенью замещения Ι, 25-Ι,6 галοгенсοдеρжащегο ποли- меρа , наπρшеρ? сοποлимеρа φτορисτοгο винилиденз с τеτρа- φτορэτиленοΜу Сθποлимеρа φτορисτοгο винилидена с геκса- φτορπροπиленοм^ сοποлимеρа φτορисτοгο винилидена с
Figure imgf000007_0001
ποлиамида , τ. е. ποлимеρа , имеющегο в маκροмοлеκуле двуχваленτный
Figure imgf000007_0002
гρаφичесκοй желаτины, ποлигеκсамеτиленадиπамида , ποли- - £ - κаπροамида , смешаннοгο ποлиамида ( 50 : 50 мοльн.$)- - ποлигеκсамеτилен (адиπ/себацин)амида , ποлимеρнοгο - 6 - слοжнοгο эφиρа , наπρимеρ, ацеτаτοв целлюлοзы, ποли- эτиленτеρеφτалаτа , ποлиаκρилοниτρила, наπρимеρ , ποли- меρ ниτρила аκρилοвοй κислοτы, или иχ смеси. Κροме το- гο^ ρасτвορ ποлимеρэ мοжеτ сοдеρжаτь κρасиτели, наπρимеρ; ροдамин && (&) *> οснοвнοй синий ., Κ " (С. 7. & 44040) , ме- τилοвый φиοлеτοвый (С. 0 & 42535) в κοличесτве 0 ,01-1,0$ οτ веса προмежуτοчнοгο ποлимеρнοгο слοя ,πлас- τиφиκа τορы, нзπρимеρ, οκсиэτилиροванκый дοдецилφенοл с мοлеκуляρным весοм 500 у. е. в κοличесτве 5-15$ οτ веса ποлимеρа, и ποвеρχнοсτκο-аκτивные вещесτва , наπρи- меρ, наτρиевую сοль дибуτилнаφτалинсульφοκислοτы, в κο- личесτве 0 ,1-0 ,5$ οτ веса ποлшеρа. Сушаτ ποлиτый слοй πρи τемπеρаτуρе 50-Ι20°С в τечение 0 ,5-5 мин. δаτем на ποвеρχнοсτь выеушеннοгο προмежуτοчнοгο ποлшеρнοгό слοя τοлщинοй 5-15 мκм нанοсяτ меτοдοм ποлива Ι0-40 -ный ρасτвορ, сοдеρжащий, πο меныπей меρе, οднο свеτοчувсτви τельнοе сοединение, сποсοбнοе κ οбρазοванию свοбοдныχ ρадиκалοв πρи вοздейсτвии ульτρаφиοлеτοвοгο излучения, наπρимеρ, аροмаτичесκие κеτοны, аροмаτичесκие диκеτοны, мнοгοядеρные χинοны: 4, ' -бис-(диэτиламинο- )-беκзοφе- нοн, φлуορенοн, 2-τρеτбуτиланτρаχинοн , меτилοвый эφиρ бензοина , κеτοн ώиχлеρа πο меяыней меρе , οднο ненасы- щеннοе сοединение, сοдеρжащее в мοлеκуле эτиленοποдοб- ные _.. С=С ч связи, на πρимеρ, аκρилοвые эφиρы мнοгο- а τοмныχ ' сπиρτοв, ненасыщенные амиды: πенτаэρиτρиττρи- аκρилаτ, τρиэτиленглиκοльдимеτаκρилаτ, πенτаэρиτρиττеτ- ρааκρилаτ, τρимеτилοлπροπзнτρиаκρилаτ, меτзκρиламид, аκρиламид ,- πο меньшей меρе , οдин ποлимеρ, являющийся πленκοοбρазующим κοмποненτοм свеτοчувсτвиτельнοгο слοя , πρичем ποлимеρ мοжеτ οднοвρеменнο выποлняτь φунκцию вы- шеуκазанныχ свеτοчувсτвиτельнοгο сοединеκия и/или нена- сыщеннοгο сοединения , наπρимеρ , ποлимеτилмеτзκρилаτ, сοποлимеρ сτиροла с мοнο-н-буτилοвым эφиροм φумаροвοй κислοτы, сοποлимеρ сτиροла с мοнοизοамилοвым эφиροм ма- леиκοвοй κислοτы, меτаκρилиροвалная смοла на οснοве 2 ,2-бис-(4' - οκсиφенил-) προπана с мοлеκуляρным весοм 600 у. е. , ""προдуκτ взаимοдейсτвия эποκсиднοй смοлы на
Ο
Figure imgf000009_0001
- 7 - ο снοве
Figure imgf000009_0002
-οκсишенил-)προπана с аκρилοвым ангид- ρидοм (мοлеκуляρный вес 500 у. е. ) » προдуκτ взаимοдей- сτвия эποκсиднοй смοлы на οснοве 2, 2-бис-(4' -οκсиφенил-) προπана с π-беязοилбензοйнοи κислοτοй и аκρилοвым ан- 5 гидρидοм (мοлеκуляρный вес 1650 у. е. , сοдеρжание связан- нοй π-бензοилбензοйнοй κислοτы 5, 2 вее. ) , προдуκτ χими- чесκοгο πρисοедшения π-бензοилбензοйнοи κислοτы κ эποκ- сиднοй смοле на οслοве 2, 2-бис-(4; - οκсиωенил-)-προπана (мοлеκуляρный вес 1200 у. е. , сοдеρжание связаннοй π-бен-
10 зοилбензοйнοй κислοτы 20,1 вес./Ο. Χροме τοгο , ρасτвορ свеτοчувсτвиτельнοй κοмποзиции мοжеτ сοдеρжаτь κρасиτели, наπρимеρ, меτилοвый φиοлёτοвый, κρисτалличесκий φиοле- τοвый, οснοвнοй синийι(Κ "., в κοличесτве 0 , 1-5,0 οτ весз ποлимеρэ ингибиτορы ρадиκальнοй лοлимеρизации,' наπρи-
15 меρ, φенοлы: гидροχинοн , . π-меτοκсиφенοл, в κοличесτве 0 ,01-5 ,0 2 οτ веса ποлимеρа , πласτиφиκа τορы, нэπρимеρ, τρиэτиленглиκοльдиацеτаг.
Сушаτ нанесеκный свеτοчувсτвиτельκый слοй πρи τем- πеρэ τуρе ^οбычнο, οτ 20 дο Ι50°С в τечение 0 , 5-5 минуτ,
20 οбдувая вοздуχοм.
Заτем на свеτοчувсτвиτельный слοй τοлщинοй 4-20 мκм нанοсяτ, наπρимеρ, πρи ποмοщи валκа , ποκρыτοгο слο ем ρе- зины, защиτную ποлимеρную πленκу τοлщинοй 5-50 мκм, на- πρимеρ , из ποлиэτиленэ , πσлиπροπилена , ποлиизοбуτилена,
25 ποлиτеτρзφτορэτиленз и дρугиχ πленκοοбρазующиχ ποлиме- ροв.
Τаκим οбρазοм, ποлученный суχοй πленοчный φοτορе- зисτ πρедсτавляеτ сοбοй гибκую чеτыρеχслοйную сисτему, πρи эτοм все чеτыρе уκазанные выше слοя связаны между δθ сοбοй силами адгезии, τаκ , чτο сила адгезии защиτнοй ποлριмеρнοй πленκи κ свеτοчувсτвиτельнοму слοю меньше κοгезиοннοй προчнοсτи свеτοчувсτвиτельнοгο слοя , а сила адгезии τвеρдοй ποлимеρнοй ποдлοжκи κ προмежуτοчнοму πο- лимеρнοму слοю меньше силы адгезии προмежуτοчнοгο ποли-
35 меρнοгο слοя κ свеτοчувсτвиτельнοму слοю и адгезиοнная προчнοсτь сцеπления κаждοгο из уκазаяныχ τρеχ слοев меньше κοгезиοняοπ προчнοсτи κаждοгο из эτиχ слοев. - 8 - Пρедлагаемый суχοй πленοчный φοτορезисτ οблада еτ высοκοй ρазρешающей сποсοбκοс τью (млнимальнο вοсπροиз- вοдимая линия 5-50 мκм) и, благοдаρя наличию двуχслοй- нοй οсκοвы τοлщинοй 27-108 мκм, сοсτοящей из τвеρдοй' 5 ποлимеρнοй ποдлοжκи и προмежуτοчнοгο ποлимеρнοгο слοя, значиτельнο бοлее усτοйчив κ κοροблению πρи изгοτοвле- нии и πρименении.
Сποсοб πρименения πρедлага емοгο суχοгο πленοчнοгο φοτορезисτа заκлючаеτся в следующем.
10 '. Пеρед нанесением суχοгο πлеяοчнοгο φοτορезисτа на ποдлοжκу меχаничесκим πуτем удаляюτ (οτслаиваюτ) защиτ- ную ποлимеρную πленκу. Заτем на ποдлοжκу из меτалла , надρимеρ, меди, сеρебρа , ниκеля, немеτалла,наπρимеρ, сиτалла или ποлуπροвοдниκа , наπρимеρ, геρмания ,κρемния ,
15 нанοсяτ πуτем валκοвοгο ламиниροвания πρи τемπеρаτуρе
Ι00-Ι20°С или наπρессοвκи πρи τемπеρаτуρе 50-Ι30°С гиб- κую слοисτую сисτему, сοдеρжащую τвеρдую ποлимеρную ποдлοжκу τοлщинοй 15-100 мκм, προмежуτοчный ποлимеρный слοй, προπусκающий ульτρаφиοлеτοвοе излучение в οбласτи
20 300-400 нм, τοлщинοй 3-15 мκм и свеτοчувсτвшπельный слοй" τοлщинοй 3-40 мκм. Заτем удаляюτ (οτслаиваюτ) гиб- κую ποлимеρную ρόдлοжκу с ποвеρχнοсτи προмежуτοчнοгο ποлимеρнοгο слοя, и на ποвеρχнοсτь προмежуτοчнοгο ποли- меρнοгο слοя наκладываюτ φοτοшаблοн, сοдеρжащий ποдле-
25 жащее κοπиροванию изοбρажение , эκсποниρуюτ свеτοчувсτ- виτельный слοй чеρез φοτοшаблοн и προмежуτοчный слοй, удаляюτ φοτοшаблοн и προмежуτοчный ποлимеρный слοй с ποвеρχκοсτи свеτοчувсτвиτельнοгο слοя. Удаление προме- жуτοчнοгο ποлимеρнοгο слοя προизвοдяτ πуτем οτслаива-
30 ния или ρасτΕορения в сοοτвеτсτвующем ρасτвορиτеле , или προизвοдяτ οднοвρеменнο с προявлением, πρичем προ-. межуτοчный ποлимеρный слοй ρасτвορяеτся в προявиτеле свеτοчувсτвиτельнοгο слοя.
Пοсле удаления προмежуτοчнοгο ποлимеρнοгο слοя,
35 свеτοчувсτвиτельный слοй προявляюτ в сοοτвеτсτвующем προявиτеле , селеκτивнο ρасτвορяющем неοблученные учасτ- κи.
Ш - 9 -
Для лучшегο ποнимания насτοящегο изοбρеτения ниже πρивοдяτся κοнκρеτные πρимеρы егο οсущесτвления. Пρимеρ I
Суχοй πленοчный φοτορезисτ сοдеρжиτ τвеρдую ποд- 5 лοжκу из ποлиэτиленτеρеφτалаτнοй πленκи τοлщинοй 40 мκм и нанесенный на нее προмежуτοчный слοй меτилцеллюлοзы сο сτеπенью замещения 1,4 τοлщинοй 8 мκм. Пοвеρχ слοя меτилцеллюлοзы нанесен свеτοчувсτвиτельный слοй τοлщи- нοй 20 мκм следующегο сοсτава (в г) : 10 ποлимеτилмеτаκρилаτ 100 πенτаэρиτρиττρиаκρилаτ 70 τρиэτиленглиκοльдимеτаκρилаτ 5
4,4 -бис(диэτиламинο)-беκзοφенοн 5 φлуορенοн 5
15 κρасиτель "Μеτилοвый φиοлеτοвый" 0 ,25 гидροχинοн 0 ,02
Ρулοн φοτορезисτа усτанавливаюτ в валκοвый лами- κаτορ, снабженный узлοм для меχаничесκοгο ο τделения и смοτκи з ащиτнοй ποлиэτиленοвοй πленκи τοлщинοй 20 мκм. 20 панесеκие φοτορезисτа προвοдяτ πρи τемπеρаτуρе ΙΙ5°С нагρеваτельныχ элеменτοв и сκοροсτи I м/мин на ποдгο- τοвленную ποвеρχκοс τь меднοй φοльги. Заτем с ποлученнο- гο οбρазца ο τслаиваюτ ποлимеρную ποдлοжκу φοτορезисτа (ποлиэτиленτеρеφτала τную πленκу). Пρи эτοм προмежуτοч- 25 ный слοй, сοсτοящий из меτилцеллюлοзы, οсτаеτся на ποвеρχнοсτи свеτοчувсτвиτельнοгο слοя. Пеρед эκсποни- ροванием φοτοшаблοн κаκладываюτ ποвеρχ слοя меτилцел- люлοзы. ля эκсποκиροвания исποльзуюτ ρτуτную ламπу высο- 30 κοгο давления мοщнοсτью I κΒτ. Βыдеρжκа πρи эκсποниρο- вании 40 сеκ. Пοсле эκсποниροвания меτилцеллюлοзу смы- ваюτ вοдοй с ποвеρχκοсτи свеτοчувсτвиτельнοгο слοя, за- τем προявляюτ свеτοчувсτвиτельный слοй на сτρуйнοй усτа- κοвκе в τечение 60 сеκ. Пοлученный защиτный ρельеφ χορο- 35 шο вοсπροизвοдиτ: ρисунοκ φοτοшаблοна. Μинимальнο вοсπρο- извοдимая линия φοτοшаблοна - 30 мκм.
Бοлыπая τοлщина οснοвы (48 мκм для οбοиχ слοев: - 10 - τвеρдοй ποлимеρнοй ποдлοжκи и προмежуτчοнοгο слοя) сοз- да еτ удοбсτва πρи ποлйве и сушκе свеτοчувсτвиτельнοгο слοя и ламиκиροвании φοτορезисτа на ποдлοжκу, πρеπяτсτ- вуя κοροблеκию οсκοвы и деφορмации свеτοчувсτвиτельнοгο слοя. Κοροбление οснοвы, πρи эτοм, не πρевышаеτ 1, 5 мм. 5 Извесτный суχοй πленοчный φοτορезисτ, сοдеρжащий οднο- слοиную ποлиэτилейτеρеφτалаτную οснοву τοй е τοлщины (48 мκм) имееτ значиτельнο меньшую ρазρешающую сποсοб- нόсτь. Μинимальнο вοсπροизвοдимая линия в τеχ же услο- вияχ исπыτания - 150 мκм. Β случае исποльзο.вания извесτ- 10 • нοгο φοτορезиеτа; имеιυчцегο οдκοслοйную οснοву из меτил- . целлюлοзы τοлщиκοй 8 мκм, κοροбление дοсτигаеτ 6 мм и πρивοдиτ κ πορче свеτοчувсτвиτельнοгο слοя вследсτвие οбρазόваκия сκладοκ на πленκе φοτορезисτа. Пρимеρ 2. 15 Суχοй πленοчный φοτορезисτ сοдеρжиτ πленοчную οс- нοву, сοсτοящую из ποдлοжκи на οсκοве τρиацеτаτа цел- люлοзы τοлщинοй 100 мκм и προмежуτοчнοгο слοя на οснοве ποливинилοвοгο сπиρτа с сοдеρжзнием οсτаτοчныχ ацеτаτκыχ гρуππ 10 мοльн.^ τοлщинοй 3 мκм. Ηа ποвеρχκοсτь слοя 20 ποливинилοвοгο сπиρτа нанесен свеτοчувсτвиτельный слοй τοлщинοй 0 мκм сοсτава (в г) : сοποлимеρ сτиροла с мοнο-н-буτилοвым эφиροм φумаροвοй κислοτы (50 мοльн.# ποследнегο) 100
25 πенτаэρиτρиττρиаκρилаτ 40 πенτаэρиτ ρиττеτρааκρилаτ 20 τρимеτилοлπροπанτρиаκρилаτ Ю меτаκρиламид Ю
2-τρеτбуτиланτρаχинοн 12
30 κρасиτель " Μеτилοьый φиοлеτοвый" 0 ,2 π-меτοκсиφенοл 0,01
Пеρед нанесением φοτορезисτа οτслаиваюτ защиτную ποлизτиленοвую πленκу τοлщинοй 40 мκм, суχοй πленοчный φοτορезисτ наκοсяτ на лοвеρχнοсτь меднοй ποдлοжκи πρи 35 ποмοщи πρесс-ламиκаτορа πρи τемπеρэτуρе 80°С в ваκууме , πρи οсτаτοчнοм давлении 5 мм ρτ. сτ. За τем с πο чешш^1©- - II - οбρззца οτслаиваюτ ποлимеρную πлеκκу κа οснοве τρиаце- τаτа целлюлοзы и эκсποниρуюτ, κаκ οπисанο в πρимеρе I. Βыдеρжκа πρи эκсποниροвании - 54 сеκ. Пροявлеκие свеτοчувсτвиτельнοгο слοя προизвοдяτ 1%-κш вοдным -ρасτ- вοροм κаρбοнаτа κаτρия. Слοй ποливинилόвοгο сπиρτа , на- χοдящимся на ποвеρχнοсτи свеτοчувсτвиτельнοгο слοя, ρасτвορяеτся в προцессе προявления.
Μинимальнο вοсπροизвοдшая линия - 20 мκм. Κοροб- ление οснοвы не πρевышаеτ I мм. Извесτный суχοй πленοч- κый φοτορезисτ, сοдеρжащий οднοслοйную οснοву из τρиаце- . τаτа целлюлοзы τοй же τοлщины (103 мκм) имееτ меньшую ρазρешающую сποсοбκοсτь и вοсπροизвοдиτ линии с минималь- нοй шиρинοй 250 мκм в аналοгичныχ услοвияχ исπыτания. Пοлучение извесτнοгο φοτορезисτа с οднοслοйнοй οс- нοвοй из ποливинилοвοгο сπиρτа, τοлщинοй 3 мκм невοзмοж- нο .из-за значиτельнοгο κοροблеκия οснοвы иρизκοй ее προч- нοсτи, πρеπяτсτвующей ποливу свеτοчувсτвиτельнοгο слοя. Пρимеρ 3 Суχοй πленοчный φοτορезисτ сοдеρжиτ πленοчную οс- нοву, сοсτοящую из ποлиэτиленτеρеφτалаτнοй ποдлοжκи τοлщинοй 25 мκм и προмежуτοчнοгο ποлимеρнοгο слοя на οсκοве сοποлимеρа φτορисτοгο винилидена с геκсаφτορ- προπиленοм, τοлщинοй 7 мκм. Ηа ποвеρχнοсτь προмежуτοч- нοгο ποлимеρнοгο слοя οснοвы нанесен свеτοчувсτвиτель- ный слοй τοлщинοй 7 мκм τοгο же сοсτэвз^ κаκ и в πρиме- ρе 2. Φοτορезисτ нэнοсяτ на медную ποдлοжκу πρи τем- πеρаτуρе Ι00οС , κаκ οπисаκο в πρимеρе 2. Дοлиэτилен- τеρеφτалаτную ποдлοжκу οτслаивааτ πеρед эκсποниροвани- ем. Βыдеρжκа πρи эκсποниροвании 45 сеκ. Пοсле эκсποни- ροвания удаляюτ меχаничесκим πуτем (οτслэиваюτ) τаκже и προмежуτοчный ποлимеρный слοй, наχοдящийся на ποвеρχ- κοсτи свеτοчувсτвиτельнοгο слοя. Пροявление προизвοдяτ, κаκ уκазанο в πρимеρе 2. Μинимальκο вοсπροизвοдимая ли- ния - 10 мκм. ϋοροбление οснοвы не πρевышаеτ 2 мм. Из- весτный суχοй πленοчный φοτορезисτ, сοдеρκэщий -οднοслοй- ную ποлиэτиленτеρеφτалаτную οснοву τοлщиκοй 32 мκм сπο- сοбен вοсπροизвοдиτьлинии с минимальнοй шиρинοй Ι20_
юκ
Figure imgf000014_0001
- 12 - йзвесτный суχοй πленοчный φοτορезисτ с οднοслοй- нοй οснοвοй из сοποлимеρа φτορисτοгο винилидена с геκса- φτορπροπиленοм ΤΟЛЩИΗΟ Й 7 мκм имееτ κοροбление .дο Ю мм в ρезульτаτе выτяжκи οснοвы πρи ее . πеρемещении, πρеπяτ- сτвующее исποльзοванию φοτορезисτа. Пρимеρ 4
Суχοй πлеяοчный φοτορезисτ сοдеρжиτ πленοчную οс- нοву, сοсτοящую из τвеρдοй ποлимеρнοй ποдлοжκи на οснο- ве τρиацеτаτа целлюлοзы τοлщинοй 70 мκм и προмежуτοчнο- гο ποлимеρнοгο слοя из φοτοгρаφичесκοй желаτины τοлщи- нοй 10 мκм. Ηа ποвеρχнοсτь προмежуτοчнοгο ποлимеρнοгο слοя нанесен свеτοчувсτвиτельный слοй τοлщинοй 20 мκм τοгο же сοсτава, κаκ и в πρимеρе 2. Φοτορезисτ πρиме- няюτ κаκ уκазанο в πρимеρе 2. Слοй желаτины? наχοдящий- ся на ποвеρχκοс τи свеτοчувсτвиτельнοгο слοя, ρасτвορя- еτся в προцессе προявления. Пροявление προизвοдяτ, κаκ уκазаκο в πρимеρе 2. Μиκимальнο вοсπροизвοдимая линия- - 30 мκм. лοροбление οснοвы не πρевышаеτ 1, 5 мм. Извесτ- ный суχοй πленοчный φοτορезисτ, сοдеρжащий οднοслθβную οснοву из τρизцеτаτа целлюлοзы τοлщинοй 80 мκм, вοсπρο- извοдиτ линии минимальнοй шиρины 200 мκм. йзвесτный же суχοй πлеκοчный φοτορезисτ с οднοслοйнοй οснοвοй из желэτины , τοлщинοй 10 мκм οбладаеτ низκοй меχаничесκοй προчнοс τью и κοροблением дο 0 мм, πρеπяτсτвующими егο исποльзοванию. Пρимеρ 5
Суχοй πленοчный φοτορезисτ сοдеρжиτ πленοчную οс- нοву, сοсτοящую из πленκи ρегенеρиροваннοй целлюлοзы (целлοφана) τοлщинοй 40 мκм и προмежуτοчнοгο ποлимеρнο- гο слοя из πленκи на όснοве ποливинилοвοгο сπиρτа с сο- деρжанием οсτаτοчныχ ацеτаτныχ гρуππ 3 мοльн. , сοдеρ- жащегο дοбавκу 10 οτ веса слοя οκсиэτилиροваннοгο дο- децилφенοла с мοлеκуляρным весοм 500 ^. е. и дοбавκу 0 ,75$ οτ веса слοя κρасиτеля ροдамина & & (&) , τοлщинοй 15 мκм. Ηа ποвеρχнοсτь οκρашеннοгο προмежуτοчнοгο слοя нанесен свеτοчувсτвиτельный слοй τοлщинοй 15 мκм τοгο же сοсτава, κаκ и в πρимеρе 2. Исποльзοвание φοτορезисτа
_ΟΜΡΙ - 13 - аналοгичнο πρиведеннοму в πρимеρе 2. Слοй ποливинилοвο- гο сπйρτа ρасτвορяеτся в προцессе προявления. Пροявле- _ κие προизвοдяτ, κаκ уκазэнο в πρимеρе 2. Μинимальнο зοсπροизвοдимая линия - 40 мκм. Κοροбление οснοвы не 5 πρевышаеτ 2 мм. йзвесτный суχοй πленοчный φοτορезисτ, сοдеρжэщий οднοслοйную οснοву из целлσφана τοлщинοй 55 мκм, οбладаеτ меньшей ρазρешающей сποсοбнοсτью и вόсπροизвοдиτ линии с минимальнοй шиρинοй 150 мκм. Йзвесτный φοτορезисτ с οднο слοйнοй οснοвοй из ποливини-
Ю лοвοгο сπиρτа τοлщинοй 15 мκм и τοгο же самοгο сοсτава οблада еτ неудοвлеτвορиτельнοй меχаκичесκοй усτοйчивο- сτью и имееτ κοροбление ο.снοвы дο 8 мм. Пρимеρ 6. Суχοй πлеκοчный φοτορезисτ сοдеρжиτ πленοчную οс-
15 нοву, сοсτοящую из ποли-м-φениленизοφτаламиднοй ποдлοж- κи τοлщинοй 30 мκм и προмежуτοчнοгο ποлимеρнοгο слοя из сοποлимеρа φτορисτοгο винилидена с τеτρаφτορэτиленοм τοлщинοй 5 мκм. Ηа ποвеρχнοсτь προмежуτοчнοгο слοя нане- сен свеτοчувсτвиτельный слοй τοлщинοй 10 мκм τοгο же сο-
20 сτава, κаκ и. в πρимеρе 2. Пροмежуτοчный слοй, наχοдящий- ся на ποвеρχнοсτи свеτοчувсτвиτельнοгο слοя , удаляюτ меχаκичесκим πуτем (οτслаиваюτ) πеρед προявлением. Пροяв- ление προвοдяτ κаκ уκазанο в πρимеρе 2. Μинимальнο вοс- προизвοдимая линия - 20 мκм. Κοροбление οснοвы нё πρе-
25 вышаеτ 2 мм. йзвесτный суχοй πленοчный φοτορезисτ, сοдеρ- жащий οднοслθйную οснοву из ποли-м-φениленизοφτаламида τοлщинοй 35 мκм вοсπροизвοдиτ лиκии с минимальнοй шиρи- нοй лишь 120 мκм. Извесτный суχοй πленοчный φοτορезисτ с οднοслοйнοй οсκοвοй из сοποлимеρэ φτορисτοгο винилиде-
30 на с τеτρаφτορэτиленοм τοлщинοй 5 мκм οблада еτ низκοй меχаничесκοй προчнοеτью и κοροблением дο 10 мм, πρеπяτ- сτвующими егο исποльзοванию. Пρκмеρ 7
Суχοй πленοчный φοτορезисτ сοдеρжиτ τе же сαοи, 55 чτο и φοτορезисτ, οπисанный в πρимеρе β , нο вмесτο сοποлимеρа φτορисτοгο винилидена с τеτρаφτορэτиленοм исποльзοван сοποлимеρ φτορисτοгο винилидена с τρиφτορ-
Figure imgf000016_0001
- 14 - χлορэτиленοм. Исπыτание φδτορезисτа προизвοдиτся ,κаκ уκаззнο в πρимеρе 6. Пοκазаτели φοτορезисτа не измеκя- юτся и сοοτвеτсτвуюτ ποκаза τелям суχοгο πленοчнοгο φο- τορезисτа из πρимеρа β. 5 Пρимеρ 8.
Суχοй πлеκοчный φοτορезисτ сοдеρжиτ πленοчную οс- нοву, сοсτοящую из ποлиэτиленτеρеφτала τнοй ποдлοжκи τοлщинοй 15 мκм и προмежуτοчнοгο ποлимеρнοгο слοя τοл- щинοй 12 мκм из ποлигеκсамеτиленадиπамида. Ηа ποвеρχ- Ю нοсτь προмежуτοчнοгο с οя нанесен свеτοчувсτвиτельный слοй τοлщинοй 10 мκм τοгο же сοсτэва , κаκ и в πρимеρе 2. Пροмежуτοчный ποлигеκсамеτиленадиπамидный слοй, на- χοдящийся на ποвеρχшсτи свеτοчувсτвиτельнοгο С οя уда- ляюτ меχзничесκим πуτем (οτслаиваюτ) πеρед προявлением. 15 Пροявление προизвοдяτ, κаκ в πρимеρе 2. Μинимальнο вοс- προизвοдимая линия - 80 мκм. Κοροбление οснοвы сοοτвеτ- сτвуеτ 2,5 мм. Извесτный φοτορезисτ, сοдеρжащиκ οднο- слοйную οснοву из ποлиэτиленτеρеφτалаτа τοлщинοй 27 мκм, вόсπροизвοдиτ линии с минимальнοй шиρинοй 75 мκм. Йз- 20 весτный же φοτορезисτ с οднοслοйκοй οснοвοй из ποлигеκ- самеτиленадиπамида τοлщинοй 12 мκм οбладаеτ κοροблением дο 8 мм, πρивοдящим κ οбρазοванию сκладοκ на свеτοчув- сτвиτельнοм слοе. Пρимеρ 9 25 Суχοй πленοчный φοτορезисτ сοдеρжиτ τе же слοи, чτο и φοτορезисτ , οπисэнκый в πρимеρе 8, нο вмесτο πο- лигеκсэмеτиленадиπамида исποльзοван ποли- ζ - κаπροамид. Пοκазаτели суχοгο πленοчнοгο φοτορезисτа не изменяюτся и аналοгичны ποκазаτелям φοτορезисτа из πρимеρа 8. 30 Пρимеρ 10
Суχοй πленοчный φοτορезисτ сοдеρжиτ πленοчную οс- нοву, сο сτοящую из ποлиπиροмеллиτимиднοй ποдлοжκи τοл- щинοκ 30 мκм и προмежуτοчнοгο ποлимеρнοгο слοя из ποли- геκсамеτилен(адиπ/себацин) амида (50:50 мοльн.^) τοлщи- 35 нοй 10 мκм. Ηа ποвеρχнοсτь προмежуτοчнοгο слοя нанесен свеτοчувсτвиτельный слοй τοлщинοй 15 мκм τοгο же сοсτа- ва , κаκ и в πρимеρе 2. Пροмежуτοчный слοй, наχοдящийся - 15 - на ποвеρχκοсτи свеτοчувсτвиτельнοгο слοя , удаляюτ меχа- ничесκим πуτем (οτслаиваюτ) πеρед προявлением. Пροявле- ние προизвοдяτ, κаκ уκазэнο в πρимеρе 2. Μиκимальнο вοсπροизвοдшая линия - 40 мκм. Κοροбление οснοвы не 5 πρевышаеτ 2 мм. Извесτный 'суχοй πленοчный φοτορезисτ с οднοслοйнοй οсκοвοй из ποлиπиροмеллиτимиднοй πленκи τοлщинοй 40 мκм, сποсοбен κ вοсπροизведению линий с ми- нимальнοй 'шиρинοй 150 мκм. Извесτный φοτορезисτ с οднο- слοйнοй οснοвοй из ποлигеκсамеτилен(адиπ/себацин)амида 10 . τοлщинοй 10 мκм οбладаеτ неудοвлеτвορиτельнοй меχани- чесκοй προчнοсτью . и κοροблением дο 8 мм, πρеπяτсτвующим егο исποльзοванию. Пρимеρ II
Суχοй πленοчный φοτορезисτ ηοдеρжиτ πленοчную οс- 15 нοву, сοсτοяд ую из ποлиэτиленτеρеφτалаτнοй ποдлοжκи τοлщинοй 30 мκм и προмежуτοчнοгο ποлимеρнοгο слοя из сοποлимеρа φτορисτοгο винилидена с τеτρаφτορэτиленοм τοлщинοй 4 мκм. Ηа ποвеρχнοсτь προмежуτοчнοгο слοя на- н есен свеτοчувсτвиτельный слοй τοлщинοй 4 мκм' следующе- 20 гο сοсτава (в г) : сοποлимеρ сτиροла с мοнοизοамилοвым эφиροм малеинοвοй κислοτы - 100 πенτаэρиτρиττеτρааκρилаτ - 20 меτаκρилиροванκая смοла на οснοве 25 2, 2-бис-(4' - οκсиφенил-)προπана
(Μ.й. =600 у. е. , сοдеρжание οсτа τοч- ныχ эποκсидныχ гρуππ 0 , 28 вес. , κислοτκοе чиοлο 3,7 мг ΚΟΗ/г) - 20 аκρиламид - 10
30 меτилοвый эφиρ бензοина - 5 κρасиτель 'øсκοвнοй синий "Κ" - 0,35 йсπыτание суχοгο πленοчнοгο φοτορезисτа προизвρдяτ, κаκ уκазанο в πρимеρе 2.
Пροмежуτοчный слοй, наχοдящийся на ποвеρχнοсτи све- 35 τοчувсτвиτельнοгο слοя, удаляюτ меχаничесκим πуτем (οτ- слаиваюτ) πеρед προявлением. Пροявиτель - I -ный вοд- ный ρасτвορ κаρбοнаτа на τρия.
< - 16 - Μинимальнο вοсπροизвοдимая линия - 5 мκм. Κοροбле- ние ΟСΗΟΕЫ не πρевышаёτ 2 ш.
ИзΕесτный суχοй πленοчный φοτορезисτ, сοдеρжащий οднοслοйную οснοву из ποлиэτиленτеρегоτалаτа τοлщинοй 34 мκм, ΕθсπροизΕθдиτ линии с минимальнοй шиρинοй 90 мκм. Извесτный суχοй πленοчный φοτορезисτ с οднοслοйнοй οснο- вοй из сοποлимеρа гоτορисτοгο винилидена с τеτρаφτορэτи- ленοм τοлщинοй 4 мκм οбладаеτ низκοй меχаничесκοй προч- нοсτью и κοροблением дο 8 мм; πρеπяτсτвущими егο исποль- зοванию.
Пρимеρ 12.
Суχοй πленοчный φοτορезисτ имееτ τοτ же сοсτав, чτο и Ε πρимеρе II , πρи эτοм ποлиэτиленτеρеφτалаτная ποдлοж- κа имееτ τοлщину 100 мκм, προмежуτοчный ποлимеρный слοй -- - 8 мκм, нο свеτοчу-всτΕиτельный слοй сοдеρжиτ следующие κοмποненτы (в г. ) :
'ηροдιуκτ ΕзаимοдейсτΕия эποκсиднοй смοлы на οснοΕе 2 ,2-бис-(4' - οκсиφенил-) προπана с аκρилοвым ангидρидοм (Μ.Ε. 1500 у. 7 сοдеρжание οсτаτοчныχ эποκсидныχ гρуππ ρав- нο 0, κислοτнοе . числο 2 ,1 мг ΚΟΗ/г , гидροκсильнοе чис- лο 3 ,2 ъеο.%) - 100 ' • τρиэτиленглиκοльдиацеτаτ - 10 κеτοн Μиχлеρа - 3 φлуορенοн - 3 κρ'асиτель ЬСΗΟΕΗΟЙ синий "Κ'? - 0,25
Τοлщина свеτοчувсτΕиτельнοгο слοя 10 мκм. Ι сπыτание суχοгο πленοчнοгο φοτορезисτа προизвοдяτ, κаκ уκазанο Ε πρимеρе 2. Пροмежуτοчный слοй удаляюτ ме- χаничесκим πуτем. ПροяΕиτель - меτилχлοροφορм.
Μιшимальнο ΕθсπροизΕθдимая линия - 25 шм. Κοροб- ление ΟСΗΟΕЫ не πρеΕышаеτ I мм.
Ιϊзвесτный суχοй πленοчный сюτορезисτ с οднοслοйнοй ΟСΗΟΕΟЙ из ποлиэτиленτеρеφτалаτа τοлщинοй 108 шм сποсο- бен κ ΕθсπροизΕеденшο линий с минимальнοй шиριшοй 250 шм ГзΕесτным φοτορезисτ с οднοслοйнοй ΟСΗΟΕΟЙ ИЗ сοποлимеρа φτορисτοгο Εинилидена с τеτρаφτορэτиденοм τοлщинοй 8 мκм
Figure imgf000019_0001
- 17 - οбладаеτ κοροблением дο 6 мм, πρепяτсτΕующим егο ис- ποльзοваншο. Пρимеρ 13
Суχοй πленοчный φοτορезисτ имееτ τοτ же сοсτав ж 5 τοлщину слοев , κаκ в πρимеρе 12 , нο сΕеτοчувсτвиτель- ный слοй имееτ следующий сοсτав (Ε Γ) : προдуκτ взаимοдейсτвия эποκсиднοй смοлы на οснοве 2 ,2-бис-(4-οκсиφенил-)προπана с π-όензοилбензοйнοй κис- лοτοй и аκρилοΕым ангидρидοм (Μ. Ε. 1650 и. &. , сοдеρ-0 жание οсτаτοчныχ эποκсидныχ гρуππ ρаεнο 0, κислοτнοе числο 1 ,6 мг ΚΟΗ/г, гидροκсильнοе числο 3 вес , 'сοдеρ- жание сΕязаннοй π-бензοилбензοйнοй κислοτы 5 ,2 вес#) -
- 100 τρиэτиленглиκοдьдиацеτаτ - 105 κρасиτель ΟСΗΟΕΗΟЙ синий "Κ" - 0,25
Исπыτание φοτορезисτа προΕθдяτ аналοгичнο πρимеρу 12. Пοκазаτели φοτορезисτа τе яе , чτο и Ε πρимеρе 12. Пρимеρ 14
Суχοй πленοчный φюτορезисτ πο сοсτаву и τοлщине0 не οτличаеτся οτ οπисаннοгο в πρимеρе 12 , нο свеτοчув- сτΕиτельный слοй имееτ следующий СΟСΤЭΕ (Β г. ) :
Пροдуκτ χимичесκοгο πρисοединения π-бензοилбен- зοйнοй κислοτы κ эποκсидаοй смοле на οснοве 2 ,2-бис- -(4-οκсиφенил-)προπана (Μ.в. 1200 у.е. , сοдеρжание5 οсτаτοчныχ эποκсидныχ гρуππ 2 ,8 Εес , κислοτнοе числο ρашο 0,3 мг ΚΟΗ/г, гидροκсильнοе числο 5 ,3 вес^, сο- деρжание связаннοй π-бензοилбензοйнοй κислοτы 20,1 ъеο.%) - 100
Пенτаэρиτρиττеτρааκρилаτ - - 20 0 йсπыτание φοτορезисτа προвοдяτ аналοгичнο πρимеρу
12. Пοκазаτели φοτορезисτа не изменяюτся. Пρимеρ 15
Суχοй πленοчный φοτορезисτ сοдеρжиτ πленοчную οс- нοьу, сοсτοящую из ποлиэτиленτеρеφτалаτнοй ποдлοжκи5 τοлщинοй 30 мκм и προмеχуτοчнοгο ποлимеρнοгο слοя τοл- щинсй 9 мκм из ποлимеρнοгο ниτρила аκρилοвοй κислοτы , сοдеρ^ащегο 0,01 вес ^ κρасиτеля ΟСΗΟΕΗΟЙ СΙШИЙ "Κ" . - 18 - Ηа ποнеρχнοсτь προмежуτοчнοгο слοя нанесен свеτοчув- сτΕиτельный слοй τοлщинοй 12 мκм сοсτава, οπисаннοгο в πρимеρе 12. йсπыτание с|)θτορезисτа ведуτ, κаκ уκазанο в πρиме- ρе 12.
Μинимальнο вοсπροизΕθдимая линия - 30 мκм. Κοροб- ление οснοвы не πρевышаеτ 2,5 мм. йзвесτный суχοй πленοчный φοτορезисτ с οднοслοйнοй ΟСΗΟΕΟЙ из ποлиэτиленτеρеφτалаτа τοлщιшοй 39 мκм сποсο- бен κ ΕοсπροизΕедению линий с минимальнοй шиρинοй 70 мκм Извесτный φοτορезисτ с οднοслοйнοй οснοвοй из ποлимеρнο- гο ниτρила аκρилοвοϊ κислοτы, τοлщинοй 9 мκм οбладаеτ κοροблением дο 6 мм. Пρимеρ 16 Суχοй πленοчный φοτορезисτ πο сοсτаву и τοлщине слοев не οτличаеτся οτ οπисаннοгο в πρимеρе 15, нο προ- мел<уτοчный слοй изгοτοвлен из диацеτаτа целлюлοзы.
Пροцесс исπыτания и сΕθйсτва φοτορезисτа не οτли- чаюτся οτ οπисанныχ в πρимеρе 15. Пшмеρ 17
Суχοй πленοчный φοτορезисτ сοдеρжиτ πленοчную οс- ΗΟΕУ, сοсτοящую из ποлиπиροмеллиτимиднοй ποдлοжκи τοл- щинοй 30 шм и προмежуτοчнοгο ποлимеρнοгο слοя τοлщинοй 8 мκм из ποлиэτиленτеρеφτалаτа. Ηа ποвеρχнοсτь προмежу- τοчнοгο слοя нанесен свеτοчувсτвиτельный слοй τοлщинοй 10 мκм сοсτава из πρимеρа 12. Εсπыτание φοτορезисτа ве- дуτ аналοгичнο πρимеρу 12. Μшимальнο ΕθсπροизΕθдимая линш - 25 мκм.
Κοροбление οснοвы не πρеΕышаеτ 2,5 мм. ИзΕесτный - суχοй πленοчный φοτορезисτ с οднοслοйнοй οснοвοй из πο- лиπиροмеллиτимиднοгο слοя τοлщинοй 38 мκм сποсοбен κ вοсπροизведению линий с минимальнοй шиρинοй 70 жм.
ИзΕесτный φюτορезисτ с οднοслοйнοи ΟСΗΟΕΟЙ ИЗ ΠΟ- лиэτиленτеρеφτалаτа τοлщинοй 8 мκм οбладаеτ κοροблением дο 6 мм.
Пρимеρ 18
Суχοй πленοчный φοτορезисτ сοдеρжиτ 'ΟСΗΟΕУ, сοс- - 19 - τοящую из ποлиэτиленτеρеφτалаτнοй ποдлοжκи τοлщинοй 40 мκм и нанесеннοгο на нее προмежуτοчнοгο ποлимеρнοгο слοя τοлщинοй 6 мκм сοсτава (Ε Γ . ) : меτшщеллшοза сο сτеπенью замещения 1 ,5 100 5 наτρиевая сοль дибуτилнаφτалинсульφο- κислοτы - 0,5 кρасиτель Ροдамин & Θ (60 - 0,1
Пοвеρχ προмежуτοчнοгο слοя нанесен сΕеτοчувсτви- τельный слοй τοгο же сοсτава, чτο в πρи-меρе I , τοлщи- Ю нοй 15 мκм.
Κсπыτание προΕθдаτ аналοгичнο οπисаннοму в πρиме- ρе I. Μшимальнο вοсπροизвοдимая лшия 30 мκм. Κοροб- ление ΟСΗΟΕЫ не πρевышаеτ 1,5 мм.
ИзΕесτный суχοй πленοчный φοτορезисτ с οднοслοй- 15 нοй οснοвοй .из ποлиэτиленτеρеφτалаτа τοлщ шοй 46 шм сποсοбен κ Εοсπροизведению лший с минимальнοй шиρшοй 90 мκм.
Κзвесτный φοτορезисτ с οднοслοйнοй ΟСΗΟΕΟЙ ИЗ ме- τилцеллюлοзы Εышеуκазаннοгο сοсτава τοлщинοй 6 мκм οб- 0 ладаеτ малοй προчнοсτью, чτο πρеπяτсτΕуеτ егο исποльзο- Εанию.
Пρимеρ 19
Суχοй ιшенοчный φοτορезисτ πο сοсτаву и τοлщине слοеΕ не οτличаеτся οτ οπисаннοгο в πρимеρе 15, нο προ- 5 мезуτοчный слοй изгοτοвлен из τρиацеτаτа целлюлοзы.
Пροцесс исπыτания и свοйсτва φοτορезисτа не οτли- чаюτся οτ οπисанныχ в πρимеρе 15. Ηροмыдшенная πρигленимοсτь
Пρпменение πρедлагаемοгο πленοчнοгο φοτορезисτа 30 ποзΕθляеτ ποлучиτь ρазρешающую сποсοбнοсτь дοсτаτοчную ддя ποлучения ΠΌΟΕΟДΗИΚΟΒ πечаτныχ сχем шиρшοй 5-50мκм, чτο не з^даеτся сделаτь πρи исποльзοΕанιш извесτныχ су- χиχ πленοчныχ φοτορезисτοв. Пρи эτοм πρедлагаешй суχοй πленοчный φοτορезисτ οбладаеτ дοсτаτοчнοй усτοπчивοсτью 35 κ κοροблению ΟСΗΟΕЫ И деφορмации сΕеτοчувсτΕиτельнοгο слοя πρи изгοτοвлении и πρименении. Бысοκая ρазρешаю-. щая сποсοбнοсτь ποзьοляеτ ИСΠΟЛЬЗΟΕЭΤЬ πρедπагаемый φс-
Figure imgf000022_0001
- 20 - τορезисτ не τοльκο для изгοτοвленжя πечаτныχ πлаτ , нο и дρугиχ изделий с бοлее слοжным ρисунκοм, в τοм числе гибρидныχ шτегρальныχ сχем.
Пρименение πρедлагаемοгο суχοгο ιшенοчнοгο φοτορе- зисτа даеτ нοзмοзнοсτь дальнейшей мιшροмιшиаτюρизации изделий πечаτнοгο мοнτажа.

Claims

Figure imgf000023_0001
- 21 - ΦΟΡΜУΙΑ ИЗΟБΡΕΤΕΗИЯ I. Суχοй πленοчный φοτορезисτ, πρедсτаΕлящий сο- бοй гибκую слοисτуιο сисτему, сοдеρжащую τΕеρдую ποли- меρную ποдлοжκу τοлщшοй 15-100 шм, свеτοчувсτΕиτелъ- 5 ный слοй τοлщшοй 4-20 мκм, сοдеρжащий,πο меньшей меρе^ οднο сΕеτοчувсτΕиτельнοе сοединение, сποсοбнοе κ οбρа- зοванию сΕθбοдныχ ρадиκалοв πρи ΕΟЗДЗЙСΤΕИИ ульτρаφиο- леτοвοгο излучения, πο меньшей меρе^ οднο ненасыщеннοе сοедшение, сοдеρжащее Ε мοлеκуле эτиленοποдοбные
10 Цζ С=СС СΕЯЗИ, а τаκже πο меньшей меρе οдин ποлимеρ, ЯΕЛЯЩИЙСЯ πленκοοбρазующш κοмποненτοм свеτοчуΕсτви- τельнοгο слοя, и защиτную ποлимеρную πленκу τοлщинοй 5-50 мκм, наχοдящуюся ποвеρχ свеτοчувсτΕиτелънοгο слοя, χаρаκτеρизующийся τем, чτο межлу τΕеρдοй ποлимеρнοй ποд-
15 лοжκοй и свеτοчувсτΕиτельным слοем ρасποлοжен προмежуτοч- ный ποлимеρный слοй, προπусκающий ульτρаφиοлеτοΕοе излу- чение Ε οбласτи 300-400 нм, τοлщинοй 3-15 мκм, сοсτοящий из ποлимеρнοгο сπиρτа или ποлимеρнοгο слοжнοгο эφиρа, или ποлиамида или галοген-οοдеρжащегο ποлимеρа, или πο-
20 лиаκρилοниτρила, или иχ смесей, πρи эτοм все чеτыρе уκа- занные слοя связаны между сοбοй силами адгезии, πρичем сила адгезии защиτнοй ποлимеρнοй πленκи κ сьеτοчувсτΕИ- τельнοму слοю меньше κοгезиοннοй προчнοсτи свеτοчувсτΕИ- τельнοгο слοя, πρи эτοм сила адгезии τвеρдοй ποдимеρнοй
25 ποдлοжκи κ προмежугοчнοму ποлимеρнοму слοю меньше силы адгезии προмеучуτσчнοгο ποлимеρнοгο слοя κ свеτοчувсτви- τельнοму слοю и адгезиοнная προчнοсτь сцеπления κаждοгο из уκазанныχ τρеχ слοев меньше κοгезиοннοй προчнοсτи κаждοгο из эτиχ слοев.
30 2. Суχοй πленοчный φοτορезисτ πο π.Ι, χаρаκτеρизую- щийся τем, чτο Ε κачесτΕе ποлимеρнοгο сπиρτа егο προме- жуτοчный ποлимеρный слοй сοдеρжиτ вοдορасτΕορимую меτил- целлκжοзу или ΠΟЛИΕИΗИЛΟΕЫЙ сπиρτ.
3. Суχοй πленοчный φοτορезисτ πο π.Ι, χаρаκτеρизую-
35 щийся τем, чτο в κачесτΕе ποлимеρнοгο слο'- οгο эφиρа егο προмежуτοчный ποлпмеρный слοй сοдеρжиτ τρиацеτаτ целлю- лοзы или ποлиэτиленτеρеφτалаτ.
ΟΜΡΙ - 22 -
4. Суχοй πленοчный φοτορезисτ πο π. Ι , χаρаκτеρизую- щийся τем, чτο в κачесτве ποлиамида егο προмежуτοчный ποлимеρный слοй сοдеρжиτ ποлигеκсамеτиленадиπамид или желаτину.
5. Суχοй ιшенοчный φοτορезисτ πο π.Ι , χаρаκτеρизую- щшся τем, чτο в κачесτве галοгенеοдеρжащегο ποлимеρа егο προмежуτοчный ποлимеρный слοи сοдеρжиτ сοποлимеρ τеτρаφτορэτилена или τρиφτορχлορэτнлена с φτορисτым ви- нилиденοм.
6. Суχοй πленοчный φοτορезисτ πο π. Ι , χаρаκτеρизую- щиися τем, чτο Ε κачесτве ποлиаκρилοниτρила егο προмежу- τοчный ποлимеρный слοй сοдеρжиτ ποлимеρныи ниτρил аκρи- лοвοй κислοτы.
7. Суχοй πленοчный φοτορезисτ πο π. Ι , χаρаκτеρизуιο- щийся τем, чτο προмежуτοчный ποлимеρный слοй сοдеρжиτ τаκже κρасиτели в κοличесτве 0,01-1,0 οτ. εеса προмежу- τοчнοгο ποлимеρнοгο слοя.
8. Суχοй πленοчный φοτορезисτ πο π.7 , χаρаκτеρизую- щийся τем, чτο в κачесτве κρасиτеля егο προмежуτοчный ποлимеρный слοй сοдеρжиτ ροдамш ΘΘ (&)-
9. Суχοй πленοчный φοτορезисτ πο π.Ι , χаρаκτеρизую- щийся τем, чτο προмежуτοчный ποлимеρный слοй сοдеρжиτ τаκже πласτиφиκаτορы в κοличесτве 5-Ι5/σ οτ веса, προмежу- τοчнοгο ποлимеρнοгο слοя.
10. Суχοй πленοчный слοτορезисτ πο π.9 , χаρаκτеρизую- щийся τем, чτο в κачесτве лласτиφиκаτορа οн сοдеρжиτ οκсиэτилиροванный дοдецилφенοл.
11. Суχοй πленοчный φοτορезисτ πο π. Ι , χаρаκτеρизую- щийся τем, чτο егο προмежуτοчный ποлимеρный слοй сοдеρжиτ τаκже ποΕеρχнοсτнο-аκτивные нещесτΕа Ε κοличесτве С ,Ι-05 οτ Εеса προглежуτοчнοгο ποлимеρнοгο слοя.
12. Суχοй πленοчный φοτορезисτ πο π. ΙΙ , χаρаκτеρизую щийся τем, чτο Ε κачесτве ποвеρχнοсτнο-аκτиΕнοгο вещесτва οн сοдеρжиτ наτρиеΕую сοль дκбуτилнаφτалинсульφοκиелοτы.
_οмн_
PCT/SU1979/000131 1978-12-25 1979-12-14 Dry film photoresist WO1980001321A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE792953429T DE2953429T1 (de) 1978-12-25 1979-12-14 Dry film photoresist

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU2695701 1978-12-25
SU2695701 1978-12-25
FR8015410A FR2486671A1 (fr) 1978-12-25 1980-07-10 Photoresists secs a couches minces

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO1980001321A1 true WO1980001321A1 (en) 1980-06-26

Family

ID=26221887

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/SU1979/000131 WO1980001321A1 (en) 1978-12-25 1979-12-14 Dry film photoresist

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4318975A (ru)
JP (1) JPS55501072A (ru)
DE (1) DE2953429T1 (ru)
FR (1) FR2486671A1 (ru)
GB (1) GB2047909B (ru)
WO (1) WO1980001321A1 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2486671A1 (fr) * 1978-12-25 1982-01-15 Kuznetsov Vladimir Photoresists secs a couches minces
US8092980B2 (en) 2007-01-31 2012-01-10 Hitachi Chemical Company, Ltd. Photosensitive element

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58196971A (ja) * 1982-05-13 1983-11-16 Asahi Chem Ind Co Ltd サンドブラスト用マスクの製造方法
US5213945A (en) * 1988-02-26 1993-05-25 Morton International, Inc. Dry film photoresist for forming a conformable mask and method of application to a printed circuit board or the like
US4992354A (en) * 1988-02-26 1991-02-12 Morton International, Inc. Dry film photoresist for forming a conformable mask and method of application to a printed circuit board or the like
US5077175A (en) * 1988-08-30 1991-12-31 E. I. Du Pont De Nemours And Company Plasticized polyvinyl alcohol release layer for a flexographic printing plate
JP2847720B2 (ja) * 1988-09-20 1999-01-20 東レ株式会社 フォトレジストフィルム
DE4030622B4 (de) * 1989-09-28 2005-11-17 Fuji Photo Film Co., Ltd., Minami-Ashigara Bildempfangsblatt
JPH0580503A (ja) * 1991-06-25 1993-04-02 Fuji Photo Film Co Ltd 感光性転写材料及び画像形成方法
US5442517A (en) * 1993-05-28 1995-08-15 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Cellulose triacetate, thin film dielectric capacitor
US5955244A (en) * 1996-08-20 1999-09-21 Quantum Corporation Method for forming photoresist features having reentrant profiles using a basic agent
US6143387A (en) * 1997-07-28 2000-11-07 Kubler; Virginia L. UV shield
DE69808587T2 (de) * 1997-11-27 2003-07-10 Agfa Gevaert Nv Strahlungsempfindliches Material mit einem mehrschichtigen Trägermaterial
KR100599219B1 (ko) 1999-06-24 2006-07-12 히다치 가세고교 가부시끼가이샤 감광성 엘리먼트, 감광성 엘리먼트롤, 이것을 사용한레지스트패턴의 제조법, 레지스트패턴, 레지스트패턴적층기판, 배선패턴의 제조법 및 배선패턴
ATE268015T1 (de) * 2000-03-29 2004-06-15 Univ Kanagawa Durch licht und wärme aushärtbare harzzusammensetzung, aus dieser hergestellte lichtempfindliche trockenfolie und verfahren zur bildung eines musters damit
DE10260235B4 (de) * 2002-12-20 2010-10-28 Infineon Technologies Ag Verfahren zum Strukturieren einer Resistschicht und Negativ-Resistschicht
US20060257785A1 (en) * 2005-05-13 2006-11-16 Johnson Donald W Method of forming a photoresist element
US20090186293A1 (en) * 2008-01-23 2009-07-23 Bryan Thomas Fannin Dry film protoresist for a micro-fluid ejection head and method therefor
JP5573961B2 (ja) 2010-12-16 2014-08-20 日立化成株式会社 感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法
CN102799070B (zh) * 2012-08-27 2014-03-05 珠海市能动科技光学产业有限公司 双层涂布的负性光致抗蚀干膜
JP6225053B2 (ja) * 2014-03-20 2017-11-01 富士フイルム株式会社 感光性積層体、転写材料、パターン化された感光性積層体及びその製造方法、タッチパネル、並びに画像表示装置
DE102014222535B3 (de) 2014-11-05 2016-03-17 Leibniz-Institut Für Festkörper- Und Werkstoffforschung Dresden E.V. Verfahren zur Herstellung eines ultrakompakten Mikrokondensators und damit hergestellter Kondensator

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3661576A (en) * 1970-02-09 1972-05-09 Brady Co W H Photopolymerizable compositions and articles
GB1361298A (en) * 1971-02-04 1974-07-24 Dynachem Corp Photopolymerizable compositions and their use
US3873319A (en) * 1974-01-31 1975-03-25 Minnesota Mining & Mfg Dry-film negative photoresist having amidized styrene-maleic anhydride binder material
GB1549952A (en) * 1976-08-10 1979-08-08 Kuznetsov V Dry film photosensitive resist

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1285876B (de) * 1964-06-16 1968-12-19 Du Pont Fotopolymerisierbares Aufzeichnungsmaterial
DE2106574A1 (de) * 1970-03-03 1971-09-23 Shpley Co Inc Lichtempfindliches Laminat
US3754920A (en) * 1971-04-30 1973-08-28 Du Pont Photopolymerizable elements of low optical density containing thickeners with discrete orderly orientation
DE2123702B2 (de) * 1971-05-13 1979-11-08 Hoechst Ag, 6000 Frankfurt Verfahren zur Herstellung eines Reliefbildes
CA1051707A (en) * 1973-10-25 1979-04-03 Michael Gulla Photoresist film with non-photosensitive resist layer
GB1521766A (en) * 1974-11-13 1978-08-16 Minnesota Mining & Mfg Image transfer element
US4247619A (en) * 1979-12-20 1981-01-27 E. I. Du Pont De Nemours And Company Negative-working multilayer photosensitive tonable element
DE2658422C2 (de) * 1976-12-23 1986-05-22 Hoechst Ag, 6230 Frankfurt Verfahren zur Herstellung eines Negativ-Trockenresistfilms
US4262080A (en) * 1978-10-31 1981-04-14 Nasa Method for applying photographic resist to otherwise incompatible substrates
WO1980001321A1 (en) * 1978-12-25 1980-06-26 N Smirnova Dry film photoresist

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3661576A (en) * 1970-02-09 1972-05-09 Brady Co W H Photopolymerizable compositions and articles
GB1361298A (en) * 1971-02-04 1974-07-24 Dynachem Corp Photopolymerizable compositions and their use
US3873319A (en) * 1974-01-31 1975-03-25 Minnesota Mining & Mfg Dry-film negative photoresist having amidized styrene-maleic anhydride binder material
GB1549952A (en) * 1976-08-10 1979-08-08 Kuznetsov V Dry film photosensitive resist

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2486671A1 (fr) * 1978-12-25 1982-01-15 Kuznetsov Vladimir Photoresists secs a couches minces
US8092980B2 (en) 2007-01-31 2012-01-10 Hitachi Chemical Company, Ltd. Photosensitive element

Also Published As

Publication number Publication date
FR2486671A1 (fr) 1982-01-15
DE2953429T1 (de) 1980-12-18
JPS55501072A (ru) 1980-12-04
GB2047909A (en) 1980-12-03
GB2047909B (en) 1982-10-06
US4318975A (en) 1982-03-09
DE2953429C2 (ru) 1989-02-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO1980001321A1 (en) Dry film photoresist
CA1093738A (en) Photographic elements coated with protective overcoats
US4356224A (en) Wrapping material for photographic light-sensitive material
JPS5825985A (ja) 変更防止書類
DE2852789A1 (de) Verfahren zur ausbildung eines bildes
DE2852788A1 (de) Verfahren zur ausbildung eines bildes
US3085051A (en) Novel developer and process for the use thereof in electrolytic image reproduction
CA1075521A (en) Photographic element with layer containing carbon black and water soluble salt of heavy metal
DE1422942A1 (de) Reproduktionsverfahren und Vorrichtung zu seiner Durchfuehrung
US3060022A (en) Image transfer process
JP5238370B2 (ja) ディスプレイ用前面板および前面板用の積層フィルムの製造方法
JP4092736B2 (ja) 帯電防止組成物、該帯電防止組成物が塗布された帯電防止層を有するプラスチックフィルム及びハロゲン化銀写真感光材料
EP0227293A2 (en) Method for laminating
JPS58106549A (ja) 電子写真感光体
JPH03505263A (ja) 写真要素
US3313625A (en) Novel photographic products and processes
US3806346A (en) Diffusion transfer film units and their manufacture
Birenheide BB emulsion series: current standings and future developments
JPS6080846A (ja) ハロゲン化銀写真感光材料
CN105900179A (zh) 导电性胶带
US1972314A (en) Process for the production of sensitized films
US3667368A (en) Gel roller for use in photographic processing
JPH08211555A (ja) 帯電防止層を有するハロゲン化銀写真感光材料
US3184311A (en) Furcellaran as an antistatic agent for photographic film
US3615489A (en) Stabilization of photographic prints with thiocyanate

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Designated state(s): DE GB JP US

RET De translation (de og part 6b)

Ref country code: DE

Ref document number: 2953429

Date of ref document: 19801218

Format of ref document f/p: P