DE2953429T1

DE2953429T1 - Dry film photoresist

Info

Publication number: DE2953429T1
Application number: DE792953429T
Authority: DE
Inventors: N Smirnova; V Karpov; V Kuznetsov
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1978-12-25
Filing date: 1979-12-14
Publication date: 1980-12-18
Also published as: FR2486671A1; JPS55501072A; DE2953429C2; GB2047909B; GB2047909A; WO1980001321A1; US4318975A

Description

1. Vladimir Nikolaevich KUZNETSOV

2. Nadezhda Fedorovna SMIRNOVA

3. Vladimir Dmitrievich KARPOV Istra Moskovskoi oblasti, UdSSR

Trockenfilmresist

Die Erfindung bezieht sich auf polymere Materialien für gedruckte Schaltungsplatten und insbesondere auf Trockenfilmresists, die zur Herstellung von gedruckten Schaltungsplatten und anderen Erzeugnissen mit besonders kompliziert gestaltetem Leiterbild, darunter integrierten Hybridschaltungen, verwendbar sind.

Es sind bereits Trockenfilmresists bekannt, die biegsame Schichtensysteme darstellen, die einen 20 bis 25 ,um diel en fester polymeren Träger (Unterlage), im allgemeinen aus Polyethylenterephthalat, eine vorzugsweise 18 bis 100 ,um dicke, besonders unter Erhitzen klebrige lichtempfindliche Schicht und einen polymeren Schutzfilm, int allgemeinen aus Polyäthylen, aufweisen, der die lichtempfindliche Schicht vor Staub und dem Zusammenkleben des Filmresists beim Aufwickeln

530-(PM 82 3O9-X-6D-PCT-SF-Bk

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zu einer Rolle schützt. (GB-PS 1 361 298, US-PS 3 873 319)

Einer der bekannten Trockenfilmresists stellt ein biegsames Schichtensystem dar, das eine 5 bis 100 ,um dicke feste polymere Unterlage aus Polyäthylenterephthalat, eine 5 bis 1000 ,um dicke lichtempfindliche Schicht., die eine bei von UV-Strahlung zur Bildung freier Radikale befähigte lichtempfindliche Verbindung, Benzoinäthylather, eine äthylenähnliche ^C = C^ -Bindungen im Molekül enthaltende ungesättigte Verbindung (Dimethacrylat-bis(äthylenglycol)-phthalat) und ein AnlagerungsprDdukt von Methacrylsäure an ein Epoxyharz auf der Basts von 4.4'-Dioxy-2.2-diphenylpropan sowie ein als filmbildende Komponente der lichtempfindlichen Schicht dienendes Polymer (Copolymerisat von Styrol mit Fumarsäuremonoisobutylester (-50 : 50 mol-%) enthält und einen oberhalb der lichtempfindlichen Schicht liegenden, 5 bis 100 /Um dicken polymeren Schutzfilm aufweist, wobei die Haftfestigkeit des Schutzfilms an der lichtempfindlichen Schicht geringer als die Haftfestigkeit der festen polymeren Unterlage (des Polyäthylenterephthalat-Films) an der lichtempfindlichen Schicht und die Haftfestigkeit der Schichten geringer als die Kohäsionsfes.tigkeit dieser Schichten ist, wodurch es möglich wird, nacheinander den Schutzfilm und dann die feste polymere Unterlage von der lichtempfindlichen Schicht abzulösen.

Die lichtempfindliche Schicht kann ferner einen Farbstoff (Methylviolett) einen Inhibitor der radikalischen Polymerisation (Hydrochinon) und einen Weichmacher (Glycerin-1.3-dipropionat) enthalten (GB-PS 1 549 952).

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Das Auflösungsvermögen der Trockenfilmresists hängt weitgehend von der Dicke ihres transparenten polymeren Trägers (der Unterlage) ab, der bei der Belichtung die Photomaske von der lichtempfindlichen Schicht trennt. Bei Verwendung eines dünneren Trägers wird eine geringere Verzerrung des Schutzreliefbildes und eine Erhöhung des Auflösungsvermögens des Trockenfilmresists festgestellt.

Die Verwendung eines Filmträgers von weniger als ^:./. 20 ,um Dicke bei der Herstellung des bekannten Trocken- ; filmresists führt jedoch zu Schwierigkeiten beim Aufgießen der lichtempfindlichen Schicht und ihrer Trocknung infolge der geriigen Festigkeit dünner Filme und der Möglichkeit ihrer Verwerfung, besonders in der heißen Zone der Trockenkam tier von Gießmaschinen, sowie beim Aufbringen des FiLmresists auf das Plattenmaterial, was entsprechend Aasschuß zur Folge hat. So tritt beispielsweise beim Gie 3en dar lichtempfindlichen Schicht auf einen 10 ,um dicken Polyäthylenterephthalatträger eine Verwerfung des Trägers auf, die 5 mm erreicht. Die Dickenunterschiede der lichtempfindlichen Schicht können dabei 30 bis 50 % und mehr erreichen. Beim Aufbringen eines solchen Filmresists auf das Plattenmaterial mit einem Walz« nlaminator bilden sich Falten, die infolge starker verformung des Trägers die lichtempfindliche Schicht beschädigen. Deshalb weisen die bekannten Trockenfilmresists einen Träger großer Dicke (20 bis 25 ,um und mehr) auf, bei der die Verwerfung bei der Herstellung "und Verwendung der Filmresists geringer wird.

Diese Nachteile schränken den Anwendungsbereich der be-

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kannten Trockenfilmresists erheblich <äin.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, durch Wahl der Dicke des Trägers einen Trockenfilmresist zu entwickeln, der ein hohes Auflösungsvermögen (minimal reprodu sierbare Linie 5 bis 40 ,um) und eine hohe Verwerfungs festigkeit bei der Herstellung und Verwendung aufweist.

Die Aufgabe wird anspruchsgemäß gelöst. Der erfindungsgemäße Trockenfilmresist stellt ein biegsames Schichtensystem dar, das eine 15 bis 100 ,um dicke feste polymere Unterlage, eine 4 bis 20 ,um dicke lichtempfindliche Schicht, die mindestens eine unter UV-Bestrahlung zur Bildung freier Radikale befähigte lichtempfindliche Verbindung, mindestens eine äthylenähnliche /C= C\·-Bindungen im Molekül enthaltende ungesättigte Verbindung sowie mindestens ein als filmbildende Komponente der lichtempfindlichen Schicht dienendes Polymer sowie oberhalb der lichtempfindlichen Schicht einen 5 bis 50 ,um dicken polymeren Schutzfilm aufweist, wobei erfindungsgemäß zwischen der festen polymeren Unterlage und der lichtempfindlichen Schicht eine 3 bis 15 ,um dicke, für UV-Strahlung im Bereich von 300 bis 400 nm durchlässige polymere Zwischenschicht vorgesehen ist, die aas einem polymeren Alkohol, einem polymeren Ester oder "Polyamid oder einem halogenhaltigen Polymer oder Polyacrylnitril oder aus Gemischen dieser Substanzen besteht, wobei alle vier genannten Schichten miteinander durch Adhäsionskräfte verbunden sind, die Haftfestigkeit des polymeren Schutzfilms an der lichtempfindlichen Schicht geringer als die Kohäsionsfestigkelt der lichtempfindlichen Schicht ist, die Haftfestig-

keit der festen polymeren Unterlage an der polymeren Zwischenschicht geringer als die Haftfestigkeit der Zwischenschicht an der lichtempfindlichen Schicht und die Haftfestigkeit der genannten drei Schichten aneinander geringer als die Kohäsionsfestigkeit jeder dieser .Schichten ist.

Es ist zweckmäßig, daß die polymere Zwischenschicht des Trockenfilmresists als polymeren Alkohol wasserlösliche Methylcellulose oder Polyvinylalkohol enthält.

Die polymere Zwischenschicht des Trpckenfilmresists enthält als polymeren Ester zweckmäßigerweise Cellulosetriacetat oder Polyäthylenterephthalat als Polyamid zweckmäßig Polyhe-camethylenadipamid oder Gelatine, als halogenholtiges Polymer günstigerweise ein Copolymerisat von Tetraf Luoräthylen oder Trifluorchloräthylen mit Vinylidenfluorid und als Polyacrylnitrilverbindung günstigerweise Polyacrylnitril selbst.

Neben vielen anderen Varianten kann die polymere Zwischenschicht auch Farbstoffe in einer Menge von 0,01 bis 1,0 %, bezogen auf das Gewicht der polymeren Zwischenschicht, enthalten.

Als Farbstoff wird zweckmäßigarweise Rhodamin GG (G), C.I. Nr. 45160 (752), eingesetzt.

Es ist zweckmäßig, daß die polymere Zwischenschicht des Trockenfilmresists auch Weichmacher in einer Menge

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von 5 bis 15 %, bezogen auf das Gewicht der polymeren Zwischenschicht, enthält.

Als Weichmacher enthält die polymere Zwischenschicht des Trockenfilmresists zweckmäßigerweise äthoxyliertes Dodecylphenol.

Die polymere Zwischenschicht des Trockenfilmresists enthält ferner günstigerweise auch grenzflächenaktive Stoffe in einer Menge von 0,1 bis 0,5 %, bezogen auf das Gevicht der polymeren Zwischenschicht, zweckmäßigerweise: das Natriumsalz der Dibutylnaphthalinsulfonsäure.

Der erfinduncfsgenäße Trockenfilmresist ermöglicht es, ein Auf".ösungsvermögen zu erzielen, das für die Herstellung von Leitern gedruckter Schaltungen von 5 bis 50 ,um Breite ausreichend ist, wobei der Filmresist gegen Verwerfungen des Trägers und Verformung der lichtempfindlichen Schicht bei der Herstellung und Verwendung beständig ist.

Der erfindungsgemäße Trockenfilmresist wird vorzugsweise wie folgt hergestellt:

Auf die Oberfläche einer 15 bis 100 ,um dicken festen polymeren Unterlage, zB eines Films aus regenerierter Cellulose (Cellophan), Polyäthylenterephthalat, Polyamiden, Poly-m-phenylenisophthalamid (Phenylon), Polyimiden, beispielsweise Polypyromellitimid, Cellulosetriacetat oder anderen Filmmaterialien mit genügend hoher Kohäsionsfestigkeit wird durch Aufgießen eine 5 bis 20 %ige Lösung eines für UV-Strahlung im Ber-

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reich von 300 bis 400 nm durchlässigen Polymers aufgebracht, zB eines polymeren Alkohols wie beispielsweise eine Lösung von Polyvinylalkohol mit einem Gehalt an Acetatrestgruppen von 3 bis 20 mol-%, Methylcellulose mit einem Substitutionsgrad von 1,25 bis 1,6 eines halogenhaltigen Polymers, beispielsweise eines Copolymerisate von Vinylidenfluorid mit Tetrafluoräthylen, - : eines Copolymerisate von Vinylidenfluorid mit Hexafluorpropylen, eines Copolymerisats von Vinylidenfluorid mit Trifluorchloräthylen, eines Polyamids, :":': dh eines Polymers mit -NH-CO-Gruppen im Makromolekül, . —. Fotogelatine, Polyhexamethylenadipamid, Poly-t-caproamid, eines Copolyamide (50 : 50 mol-%), Polyhexamethylen(adip/ sebacin)amid, eines polymeren Esters wie beispielsweise Celluloseacetat, Polyäthylenterephthalat oder einer PoIyacrylnitrilverbindung, beispielsweise Polyacrylnitril selbst oder eines Gemisches dieser Verbindungen. Die Lösung des Polymers kann außerdem Farbstoffe, beispielsweise Rhodamin GG (G), basisches Blau ¹K' (CI. Nr. 44040) oder Methylviolett (CI. Nr. 42535) in einer Menge von 0,01 bis 1,0 ?, bezogen auf das Gewicht der polymeren Zwischenschicht, Weichmacher, beispielsweise äthoxyliertes Dodecy!phenol mib einem Molekulargewicht von 500, in einer Menge von 5 bis 15 %, bezogen auf das Gewicht des Polymers, und grenzflächenaktive Stoffe, beispielsweise das Natriumsalz der Dibutylnaphthalinsulfοsäure in einer Menge von 0,1 bis 0,5 %, bezogen auf das Gewicht des Polymers, enthalten. Die gegossene Schicht wird bei 30 bis 120 ⁰C 0,5 bis 5 min getrocknet. Dann bringt man auf die Oberfläche der getrockneten polymeren Zwischenschicht von 3 bis 15 ,um Dicke durch übergießen eine 10 bis 40 %ige Lösung auf, die mindestens eine unter der Einwirkung von UV-Strahlung zur Bildung freier

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Radikcile befähigte lichtempfindliche Verbindung, mindestens eine äthylenartige ,C = C^ -Bindungen im Molekül enthaltende ungesättigte Verbindung und mindestens ein als filmbildende Komponente der ; lichtempfindlichen Schicht dienendes Polymer (wobei das Polymer gleichzeitig die Funktion der oben genannten lichtempfindlichen Verbindung und/oder der ungesättigten Verbindung erfüllen kann), enthält. Geeignete lichtempfindliche Verbindungen sind beispielsweise aromatische Ketone, aromatische Diketone, mehrkernige Chinone wie 4.4'-Bis(diäthylamino)- : benzophenon, Pluorenon, 2-t-Butylanthrachinon, Benzoinmethylather sowie etwa Michler's Keton; geeignete ungesätti jte Verbindungen sind beispielsweise Acryläther mehrwertiger Alkohole, ungesättigte Amide, Pentaerythrittriacrylat, Triäthylenglycoldimethacrylat, Pentaerythrittetraacrylat, Trimethylolpropantriacrylat, Methacrylamid sowie etwa Acrylamid. Als filmbildende Komponente dienende Polymere der oben definierten Art eignen sich beispielsweise Polymethylmethacrylat, Copolymerisate von Styrol mit Fumarsäuremono-n-butylester, Copolymerisate von Styrol mit Maleinsäuremonoisoamylester, methacrylierte Harze auf der Basis von 2.2-Bis ( 4'-hydroxyphenyl)-propan mit einem Molekulargewicht von 600, Umsetzungsprodukte von Epoxyharzen auf der Basis von 2.2-Bis(4'-hydroxyphenyl)-propan mit Acrylsäureanhydrid (Molekulargewicht 1500), Umsetzungsprodukte von Epoxyharzen auf der Basis von 2. 2-Bis(4'-hydroxyphenyl)-propan mit p-Benzoylbenzoesäure und Acrylsäureanhydrid (Molekulargewicht 1650, Gehalt an gebundener p-Benzoy!benzoesäure 5,2 Gew.-%) sowie etwa Produkte der chemischen Anlagerung von p-Benzoyl-

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benzoesäure an Epoxyharze auf der Basis von 2.2-Bis(4'-hydroxyphenyl)-propan (Molekulargewicht 1200, Gehalt an gebundener p-Benzoy!benzoesäure 20,1 Gew.-%).

Die Lösung der lichtempfindlichen Mischung kann ferfner Farbstoffe, beispielsweise Methylviolett, Kristallviolett oder basisches Blau 'K¹ in einer Menge von 0,1 bis 5,0 %, bezogen auf das Gewicht des Polymers, Inhibitoren der radikalischen Polymerisation, beispielsweise Phenole wie Hydrochinon oder p-Methoxyphenol, Ln einer Menge von 0,01 bis 5,0 %, bezogen auf das Gewicht ;" des Polymers, sowie Weichmacher, beispielsweise Triäthylenglycoldiacetat, enthalten.

Die aufgebrachte lichtempfindliche Schicht wird gewöhnlich bei einer Temperatur von 20 bis 150 ⁰C innerhalb von 0,5 bis 5 min durch Anblasen mit Luft getrocknet .

Dann bringt man auf die 4 bis 20 /um dicke lichtempfindliche Schicht, beispielsweise mit einer mit Gummi beschichteten Walze, einen 5 bis 50 ,urn dicken polymeren Schutzfilm, beispielsweise aus Polyäthylen, Polypropylen, Polyisobutylen, Polytetrafluoräthylen und anderen filmbildenden Polymeren, auf.

Der erhaltene Trockenfilmresist stellt somit ein biegsames Vierschichtensystem dar, dessen sämtliche vier Schichten durch Adhäsionskräfte in der Weise miteinander verbunden sind, daß die Haftfestigkeit des polymeren Schutzfilms an der lichtempfindlichen Schicht geringer als die Kohä'sions? estigkeit der lichtempfindlichen Schicht ist, die Hafi festigkeit der festen

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polymeren Unterlage an der polymeren Zwischenschicht geringer als die Haftfestigkeit der polymeren Zwischenschicht an der lichtempfindlichen Schicht ist und die Haftfestigkeit der genannten drei Schichten aneinander geringer als die Kohäsionsfestigkeit jeder dieser Schichten ist.

Der erfindungsgemäße Trockenfilmresist besitzt ein hohes Auflösungsvermögen (minimal reproduzierbare Linie 5 bis 50 ,χικί) und ist durch das Vorliegen eines zweischichtigen Trägers von 27 bis 108 ,um Dicke, der aus einer festen polymeren Unterlage und einer polymeren Zwischenschicht besteht, bei der Herstellung und Verwendung bedeutend verwerfungsfester.

Der erfindungsgemäße Trockenfilmresist wird folgendermaßen verwendet:

Vor dem Aufbringen des Trockenfilmresists auf die Unterlage entfernt man den polymeren Schutzfilm auf mechanischem Wege (durch Ablösen). Dann bringt man auf eine Unterlage aus einem Metall, beispielsweise aus Kupfer, Silber, Nickel, einem Nichtmetall, beispielsweise Sitall, oder einem Halbleiter, beispielsweise aus Garmanium oder Silicium, durch Walzenlaminieren bei einer Temperatur von 100 bis 120 ⁰C oder durch Aufpressen bei einer Temperatur von 50 bis 130 °C das biegsame Schichtensystem auf, das eine 15 bis 100 ,um dicke feste polyirere Unterlage, eine 3 bis 15 ,um dicke, für UV-Strahlung im Bereich von 300 bis 400 nm durch-.ässiga polymere Zwischenschicht und eine 3 bis 40 ,um c Lcke lichtempfindliche Schicht aufweist. Dann entfernt man die biegsame polymere Unterlage von der Oberfläche

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der polymeren Zwischenschicht, etwa durch Ablösen, legt auf die Oberfläche der polymeren Zwischenschicht eine das zu kopierende Bild enthaltende Fotomaske auf, belichtet die lichtempfindliche ''■" Schicht durch die Fotomaske und die Zwischenschicht ^: · hindurch und entfernt die Fotomaske und die ιolymere Zwischenschicht von der Oberfläche der lichtempfindlichen Schicht. Die Entfernung der polymeren Zwischenschicht erfolgt durch Ablösen oder Auflösung in einem geeigneten Lösungsmittel oder wird gleichzeitig mit der Entwicklung vorgenommen, wobei sich die polymere Zwischen-' schicht im Entwickler der lichtempfindlichen Schicht auflöst.

Nach der Entfernung der polymeren Zwischenschicht entwickelt man die lichtempfindliche Schicht in einem geeigneten Entwickler, der die nichtbestrahlten Bereiche selektiv auflöst.

Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert.

Beispiel 1

Der verwendete Trockenfilmresist weist eine feste Unterlage aus einem 40 ,um dicken Polyäthylenterephthalatfilm und eine darauf aufgebrachte 8 ,um dicke Zwischenschicht von Methylcellulose mit einem Substitutionsgrad von 1,4 auf. Oberhalb der Methylcelluloseschicht ist eine 20 ,um dicke lichtempfindliche Schicht folgender Zusammensetzung aufgebracht: Polymethylmethacrylat 100 g, Pentaerythrittriacrylat 70 g, Triäthylenglycol-

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dimethacrylat 15 g, 4.4'-Bis(diäthylamino)-benzophenon 5 g, Fluorenon 5 g, Farbstoff Methylviolett 0,25 g, Hydrochinon 0,02 g.

Die Filmresistrolle wird dann in einen Walzenlaminator eingebracht, der mit einer Baugruppe zur mechanischen Abtrennung und Abwicklung des 20 Aim dicken Polyäthylenschutzfilms versehen ist. Der Filmresist wird bei einer Temperatur der Heizelemente von 115 C und einer Geschwindigkeit von 1 m/min auf die vorbereitete Oberfläche einer Kupferfolie aufgebracht. Dann löst man von der erhaltenen Probe die polymere Unterlage des Filmresists, dh den Polyäthylenterephthalatfilm, ab. Dabei bleibt: die aus Methylcellulose bestehende Zwischenschicht auf der Oberfläche der lichtempfindlichen Schicht zurück. Vor der Belichtung legt man die Fotomaske auf die Methylcelluloseschicht auf.

Zur Be]ichtung wird eine 1 kW-Quecksilberhochdrucklampe verwendet. Die Belichtungszeit beträgt 40 s. Nach der Belichtung wird die Methylcellulose von der Oberfläche der lichtempfindlichen Schicht mit Wasser abgespült, worauf die lichtempfindliche Schicht auf einer St-.rahlanlage innerhalb von 60 s entwickelt wird. Das erhaltene Schutzrelief stellt eine gute Reproduktion des Bilds der Fotomaske dar. Die minimal reproduzierbare Linienbreite der Fotomaske beträgt 30 ,um.

Die große Dicke des Trägers (48 ,um für beide Schichten, die feste polymere Unterlage und die Zwischenschicht) begünstigt das Aufgießen und die Trocknung der lichtempfind].ichen Schicht und das Laminieren des Filmresists auf dje Unterlage, verhindert die Ver-

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werfung des Trägers und die Verformung der lichtempfindlichen Schicht. Dabei ist die Verwerfung des Trägers nicht größer als 1,.'3 mm.

Bekannte Trockenfilmresists mit einem einschich- :^-, tigen Polyäthylenterephthalatträger gleicher Dicke (48 ,um) weisen ein bedeutend geringeres Auflösungsvermögen auf, da die minimal reproduzierbare Linien- ■"'-breite unter gleichen Prüfbedingungen bei diesen bekannten Trockenfilmresi:3ts 150 ,um beträgt. Bei Ver- : : wendung des bekannten .Fi.lmresists, der einen 8 ,um ."'" dicken einschichtigen Träger aus Methylcellulose aufweist, erreicht die Verwerfung 6 mm und führt zu einer Beschädigung der lichtempfindlichen.Schicht durch Bildung von Falten auf dem Filmresist.

Beispiel 2

Der verwendete Troukenfilmresist weist einen Filmträger auf, der aus einer 100 .um dicken Unterlage auf der Basis von Cellulosetriacetat und einer 3 ,um dicken Zwischenschicht auf der Basis von Polyvinylalkohol mit einem Gehalt an Acetatrestgruppen von 10 mol-% besteht. Auf der Oberfläche der Polyvinylalkoholschicht ist eine 10 ,um dicke lichtempfindliche Schicht folgender Zusammensetzung aufgebracht: Copolymerisat von Styrol mit Fumarsäuremono-n-butylester (50 mol-%) 100 g, Pentaerythrittriacrylat 40 g, Pentaerythrittetraacrylat 20 g, Trimethylolpropantriacrylat 10 g, Methacrylamid K) g, 2-t-Butylanthrachinon 12 g, Farbstoff Methylviolei:t 0,2 g, p-Methoxyphanol 0,01 g.

Vor den Aufbringen des Filmresists löst man den

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Polyäthylenschutzfilm von 40 ,um Dicke ab und bringt den Trockenfilmr.esist mit einer Laminierpresse bei einer Temperatur von 80 ⁰C im Vakuum bei einem Restdruck von 667 Pa (5 Torr) auf die Oberfläche einer Kupferunteilage auf. Dann löst man von der erhaltenen Probe den jolymeren Film auf der Basis von Cellulosetriacetat ab und belichtet wie in Beispiel 1.

Die Belichtungszeit beträgt 54 s.. Die. Entwicklung der lichtempfindlLchei Schicht wird mit 1 %iger wässeriger Natriumcarbonat Lösung durchgeführt. Die PoIyvinylalkoholschicht auf der Oberfläche der lichtempfindlichen Schicht löst sich bei. der Entwicklung auf.

Die minimal reproduzierbare Linie beträgt 20 ,um. Die Verwerfung des Trägers ist nicht größer als 1 mm. Der bekannte Trockenfilmresist, der einen einschichtigen Träger aus Cellulosetriacetat gleicher Dicke (103 ,um) enthält, weist ein geringeres Auflösungsvermögen auf und reproduziert unter analogen Prüfbedingungen Linien mit einer minimalen Breite von 250 ,um.

Die Ht rstellung des bekannten Filmresists mit einem einschichtigen Träger aus Polyvinylalkohol von 3 ,um Dicke ist infolge der erheblichen.Verwerfung des Trägers und dessen niedriger Festigkeit unmöglich, die das Aufgießen der lichtempfindlichen Schicht verhindert.

Beispiel 3

Der verwendete Trockenfilmresist weist einen Film-

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träger auf, der aus einer 25 ,um dicken Polyäthylenterephthalatunterlage und einer 7 ,um dicken polymeren Zwischenschicht auf der Basis eines Copolymerisate von Vinylidenfluorid mit Hexafluorpropylen besteht. Auf ;··'" der Oberfläche der polymeren Zwischenschicht des Trä- ;·. gers ist eine 7 ,um dicke lichtempfindliche Schicht der in Beispiel 2 beschriebenen Zusammensetzung aufge- '■ bracht. Der Filmresist wird bei einer Temperatur von "'-' 100 ⁰C wie in Beispiel 2 auf eine Kupferunterlage aufgebracht. Die Polyäthylenterephthalatunterlage wird vor: ; der Belichtung abgelöst. Die Belichtungszeit beträgt 45.3·.-· Nach der Belichtung entfernt man auf mechanischem Wege (durch Ablösen) auch die an der Oberfläche der lichtempfindlichen Schicht befindliche polymere Zwischenschicht. Die Entwicklung erfolgt wie in Beispiel 2. Die minimal reproduzierbare Linienbreite beträgt 10 ,um. Die Verwerfung des Trägers ist nicht größer als 2 mm. Der bekannte Trockenfilmresist, der einen 32 ,um dick« einschichtigen Polyäthylenterephthalattrager enthält, kann nur Liniei
reproduzieren.

Der bekannte Trockenfilmresist, der einen 32 ,um dicken

ei kann nur Linien mit einer minimalen Breite von 120 ,um

Der bekannte Trockenfilmresist mit einem 7 ,um dicken einschichtigen Träger aus einem Copolymerisat von Vinylidenfluorid mit Hexafluorpropylen weist infolge der Verstreckung des Trägers bei der Fortbewegung eine Verwerfung von bis zu 10 mm auf, die die praktische Verwendung des Filmresists verhindert.

Beispiel 4

Der verwendete Trockenfilmresist weist einen Film-

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tu. \J> sjf χ«*

träger auf, der aus einer 70 ,um dicken festen polymeren Unterlage auf der Basis von Cellulosetriacetat und einer 10 ,um dicken polymeren Zwischenschicht aus Fotogelatine besteht. Auf der Oberfläche der polymeren Zwischenschicht ist eine 20 ,um dicke lichtempfindliche Schicht der in Beispiel 2 angegebenen Zusammensetzung aufgebracht. Der Filmresist wird wie in Beispiel 2 verwendet. Die Gelatineschicht an der Oberfläche der lichtempfindlichen Schicht löst sich bei der Entwicklung auf. Die Entwicklung erfolgt wie in Beispiel 2. Die minimal reproduzierbare Linienbreite beträgt 30 /um. Die Verwerfung des Trägers ist nicht größer als 1,5 mm.

Der bekannte Trockenfilmresist, der einen 80 ,um dicken einschichtigen Träger aus Cellulosetriacetat enthält, reproduziert Linien mit einer minimalen Breite von 200 ,um. Der bekannte Trockenfilmresist mit einem 10 ,um dicken einschichtigen Träger aus Gelatine besitzt eine geringe mechanische Festigkeit und zeigt eine Verwerfung von bis zu 10 mm, was seine praktische Verwendung verhindert.

Beispiel 5

Der verwendete Trockenfilmresist weist einen Filmträger auf, der aus einem 40 ,um dicken Film aus regenerierter Cel.'ulose (Cellophan) und einer 15 ,um dicken polymeren Zwischenschicht aus einem Film auf der Basis von Polyvinylalkohol mit einem Gehalt an Acetatrestgruppen von 3 mol-% besteht, der als Zusatz äthoxyliertes Dodecy!phenol mit einem Molekulargewicht von 500 in

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einer Menge von 10 %, bezogen auf das Gewicht der Schicht, und als Farbstoff Rhodamin GG (G) in einer Menge von 0,75 %, bezogen auf das Gewicht der Schicht, enthält. Auf der Oberfläche der gefärbten Zwischenschicht ist eine 15 ,um dicke lichtempfindliche Schicht der in Beispiel 2 angegebenen Zusammensetzung aufgebracht. Die Verwendung des Filmresists geschieht wie in Beispiel 2. Die Polyvinylalkoholschicht löst sich bei der Entwicklung auf. Die Entwicklung erfolgt wie in Beispiel 2. Die minimal reproduzierbare Linienbreite beträgt 40 ,um. Die Verwerfung des Trägers ist nicht größer als 2 mm.

Der bekamte Trockenfilmresist, der einen 55 ,um dicken einschichtigen Träger aus Cellophan enthält, besitzt ein geringeres Auflösungsvermögen und reproduziert Linien mit einer minimalen Breite von 150 ,um. Der bekannte Filmresist mit einem 15 ,um dicken einschichtigen Träger aus Polyvinylalkohol der gleichen Zusammensetzung besitzt nur ungenügende mechanische Festigkeit und zeigt eine Verwerfung des Trägers von bis zu 8 mm.

Beispiel· 6

Der verwendete Trockenfilmresist enthält einen Filmträger, der aus einer 30 ,um dicken Unterlage aus Poly-m-phenylenisophthalamid und einer 5 ,um dicken polymeren Zwischenschicht aus einem Copolymerisat von Vinylidenfluorid mit Tetrafluoräthylen besteht, Auf der Oberfläche der Zwischenschicht ist eine 10 ,um dicke lichtempfindliche Schicht der in Beispiel 2 be-

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schriebenen Zusammensetzung aufgebracht. Die an der Oberfläche der lichtempfindlichen Schicht befindliche Zwischenschicht wird vor der Entwicklung auf mechanischem Wege entfernt (abgelöst). Die Entwicklung ei folgt wie in Beispiel 2. Die minimal reproduzierbare Linienbxeite beträgt 20 ,um. Die Verwerfung des Trägers ist nicht größer als 2 mm.

Der bekannte Trockenfilmresist, der einen 35 ,um dicken einschichtigen Träger aus Poly-m-phenylenisophthalamid enthält, reproduziert nur Linien mit einer minimalen Breite von 120 ,um. Der bekannte Trockenfilmresist mit einem 5 _/Um dicken einschichtigen Träger aus einem Copolymerisat von Vinylidenfluorid mit Tetrafluoräthylen besitzt nur geringe mechanische Festigkeit und zeigt eine Verwerfung von bis zu 10 mm, was seine praktische Verwendung /erhirdert.

Beispiel 7

Der verwendete Trockenfilmresist umfaßt die gleichen Schichten wie der in Beispiel 6 beschriebene Filmresist, wob3i jecoch statt des Copolymerisats von Vinylidenfluorid mit Tetrafluoräthylen ein Copolymerisat von Vinylidenfluorid mit Trifluorchloräthylen verwendet wird. Die Prüfung des Filmresists erfolgt wie in Beispiel 6. Die Kennwerte des Filirresist sind demgegenüber nicht verändert und entsprechen denen des Trockenfilmresists von Beispiel 6.

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Beispiel 8

Der verwendete Trockenfilmresist weist einen Filmträger auf, dar aus einer 15 ,um dicken Polyäthylen- \· terephthalatunterlage und einer 12 ,um dicken polymeren;· Zwischenschicht aus Polyhexamethylenadipamid besteht. Auf der Oberfläche der Zwischenschicht ist eine 10 ,um dicke lichtempfindliche Schicht der *in Beispiel 2 angegebenen Zusammensetzung aufgebracht. Die Polyhexamethylenadipamid-Zwischenschicht, die sich auf der lichtempfindlichen Schicht befindet, wird vor der Entw cklung auf mechanischem Wege entfernt (abgelöst). Die Entwicklung erfolgt wie in Beispiel 2. Dia minimal reproduzierbare Linienbreite beträgt 30 ,um. Die Verwerfung des Trägers entspricht 2,5 mm.

Der bekannte Filmresist, der einen 27 ,um dicken einschichtigen Träger aus Polyäthylenterephthalat enthält, reproduziert Linien mit einer minimalen Breite von 75 ,um. Der bekannte Filnresist mit einem 12 ,um dicken Träger aus Polyhexamethylenadipamid zeigt eine Verwerfung von bis zu 8 mm, -die zur Bildung von Falten auf der lichtempfindlichen Schicht führt.

Beispiel 9

Der verwendete Trockenfilmresist weist die gleichen Schichten wie der in Beispiel 8 beschriebene Filmresist auf, wobei jedoch statt des Polyhexamethylenadipamids Poly- ε-caproamid verwendet wird. Die Kennwerte des Trockenfilmresist sind demgegenüber nicht verändert und sind gleich denen des in Beispiel 8 beschriebenen Filmresists.

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Beispiel 10

Der verwendete Trockenfilmresist enthält einen Filmträger, der aus einer 30 ,um dicken Polypyromellitimidunterlage und einer 10 ,um dicken polymeren Zwischenschicht aus .Polyhexamethylen (adip/sebacin) amid (50 : 50 moL-%) besteht. Auf der Oberfläche der Zwischenschicht ist eine 15 ,um dicke lichtempfindliche Schic it der in Beispiel 2 angegebenen Zusammensetzung aufgebracht. Die auf der Oberfläche der lichtempfindlichon Schicht befindliche Zwischenschicht wird vor der Entwicklung auf mechanischem Wege entfernt (abgelöst) . Die Entwicklung erfolgt wie in Beispiel 2. Die minimal reproduzierbare Linienbreite beträgt 40 ,um. Die Verwerfung des Trägers ist nicht größer als 2 mm. Der bekannte Trockenfilmresist mit einem einschichtigen Träger aus einem 40 ,um dicken Polypyromellitimidfilm vermag Linien mit einer minimalen Breite von 150 ,um zu reproduzieren. Der bekannte Filmresist mit 10 ,um dickem einschichtigem Träger aus Polyhexamethylen(adip/ sebacin)amid besitzt nur ungenügende mechanische Festigkeit und zeigt eine Verwerfung bis zu 8 mm, die seine Verwendung verhindert.

Beispiel 11

Der verwendete Trockenfilmresist enthält einen Filmträger, der aus einer 30 ,um dicken Polyäthylenterephthalatunterlage and einer 4 ,um dicken polymeren Zwischenschicht aus einem Copolymerisat von Vinylidenfluorid mit Tetrafluoräthylen besteht. Auf der Oberfläche der Zwischenschicht ist eine 4 ,um dicke lichtempfindliche Schicht folgender Zusammensetzung aufgebracht:

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Copolymerisat von Styrol mit Malein-

säuremonoisoamylester 100

Pentaerythrittetraacrylat 20

methacryliertes Harz auf der Basis von 2.2-Bis ( 4-oxyphenyl)-propan (Molekulargewicht 600, Gehalt an Epoxyrestgruppen 0,28 Gew.-%, Säurezahl 3,7 mg KOH/g)

20

Acrylamid 10

Benzoinmethyläther 5

Farbstoff basisches Blau 'K' 0,35

Die Prüfung des Trockenfilmresists erfolgt wie in Beispiel 2.

Die auf der lichtempfindlich«m Schicht befindliche Zwischenschicht wird vor der Entwicklung auf mechanischem Wege entfernt (abgelöst). Als Entwickler verwendet man eine 1 %ige wässerige Natriumcarbonatlösung.

Die minimal reproduzierbare Linienbreite beträgt

0er bekannte Trockenfilmresist, der einen 34 -um dicken einschichtigen Träger aus Polyäthylenterephthalat enthält, reproduziert Linien mit einer minimalen Breite von 90 ,um. Der bekannte Trockenfilmresist mit einem ,um dicken einschichtigen Träger aus einem Copolymerisat von Vinylidenfluorid mit Tetrafluoräthylen besitzt geringe mechanische Festigkeit und zeigt eine Verwerfung von bis zu 8 mm, was seine Verwendung verhindert.

Beispiel 12

Es wird ein Trockenfilmresist mit der in Beispiel

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beschrieber en Zusammensetzung verwendet. Die Polyäthylenterephthalatunterlage weist eine Dicke von 100 ,um, die polymere Zwischenschicht eine Dicke von 8 ,um auf. Die lichtempfindliche Schicht enthält folgende Komponenten: Ein Umsetzuagsprodukt eines Epoxyharzes auf der Basis von 2.2-Bis(4'-oxyphenyl)-propan mit Acrylsäureanhydrid (Molekulargewicht 1500, Gehalt an Epoxyrestgruppen 0, Säurezahl 2,1 mg KOH/g, Hydroxylzahl 3,2 Gew.-%) 100 g;

Trläthylenglycoldiacetat 10 g, Michler's Keton 3 g, Fluorenon 3 g, Farbstoff basisches Blau ¹K¹ 0,25 g.

Die Dicke der lichtempfindlichen Schicht beträgt 10 ,um.

Die Prüfung des Trockenfilmresists erfolgt wie in Beispiel 2. Die Zwischenschicht wird auf mechanischem Wege entfernt.

Als Entwickler wird Methylchloroform verwendet.

Die minimal reproduzierbare Linienbreite beträgt im. D:
als 1 mm.

25 ,um. Die Verwerfung des Trägers ist nicht größer

Der bekannte Trockenfilmresist mit einem 108 ,um dicken einschichtigen Träger aus Polyäthylenterephthalat vermag Linien mit einer minimalen Breite von 250 ,um zu reproduzieren. Der bekannte Filmresist mit einem 8 ,um dicken einschichtigen Träger aus einem Copolymerisat von Vinylidenfluorid mit Tetrafluoräthylen zeigt eine Verwerfung von bis zu 6 mm, die seine Verwendung verhindert.

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Beispiel 13

Der verwendete Trockenfilmreσ ist besitzt die gleiche Zusammensetzung und die gleiche Dicke der Schichten wie der Trockenfilmresist von Beispiel 12. Die lichtempfindliche Schicht weist jedoch folgende Zusammensetzung auf:

Umsetzungsprodukt eines Epoxyharzes auf der Basis von 2.2-Bis(4'-oxyphenyl)-propan mit p-Benzoylbenzoesäure und Acrylsäureanhydrid (Molekulargewicht 1650, Gehalt an Epoxyrestgruppen 0/ Säurezahl 1,6 mg KOH/g, Hydroxylzahl 3 Gew.-%, Gehalt an gebundener p-Benzoy1-benzoesäure 5,2 Gew.-%) 100 g, Triäthylenglycoldiacetat 10 g, Farbstoff basisches Blau-V 0,25 g.

Die Prüfung des Trockenfilmresists erfolgt wi<5 in Beispiel 12. Die Kennwerte des Filmresists sind analog denen des Trockenfilmresists von Beispiel 12.

Beispiel 14

Es wird eLn Trockenfilmresist. mit gleicher Zusammensetzung und Dicke der Schichten wie in Beispiel 12 verwendet. Die lichtempfindliche Schicht weist jedoch folgende Zusammensetzung auf: Anlagerungsprodukt von p-Benzoy!benzoesäure an ein Epoxyharz auf der Basis von 2.2-Bis(4'-oxyphenyl)-propan (Molekulargewicht 12ΟΟ, Gehalt an Epoxyrestgruppen 2,8 Gew.-%, Säurezahl 0,3 mg KOH/g, Hydroxylzahl 5,3 Gew.-%, Gehalt an gebundener p-Benzoy!benzoesäure 20,1 Gew.-%) 100 g, Pem aerythrittetraacrylat 20 g.

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SLt

Die Prüfung des Filmresists erfolgt wie in Beispiel 12. Die Kennwerte des Filmresists sind demgegenüber nicht verändert.

Beispiel 15

Der ve rwendete Trockenfilmresist weist einen Filmträger auf, der aus einer 30 ,um dicken Polyäthylenterephthalatunterlage und einer 9 ,um dicken polymeren Zwischenschicht aus Polyacrylnitril besteht, die 0,01 Gew.-% Farbstoff basisches Blau ¹K¹ enthält. Auf der Oberfläche der Zwischenschicht ist eine 12 .um dicke lichtempfindliche Schicht der in Beispiel 12 beschriebenen Zusammensetzung aufgebracht.

D .e Prüfung des Filmresists erfolgt wie in Beispiel 12.

Die minimal reproduzierbare Linienbreite beträgt im.
2,5 mm.

30 ,um. Die Verwerfung des Trägers ist nicht größer als

Der bekannte Trockenfilmresist mit einem 39 ,um dicken einschichtigen Träger aus Polyäthylenterephthalat vermag Linien mit einer minimalen Breite von 70 ,um zu reproduzieren. Der bekannte Trockenfilmresist mit einem 9 ,um dicken einschichtigen Träger aus Polyacrylnitril zeigt eine Verwerfung von bis zu 6 mm.

Eeispit'.l 16

Es wird ein Trockenfilmresist mit gleicher Zu-

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sammensetzung und Dicke der Schichten wie in Beispiel 15 verwendet, dessen Zwischenschicht jedoch aus Cellulosediacetat besteht.

Die Prüfung des Filmresists wurde wie in Beispiel Ϊ5 vorgenommen. Es wurden gleiche Eigenschaften wie bei dem Trockenfilmresist von Beispiel 15 festgestellt.

Beispiel 17

Der verwendete Trockenfilmresist enthält einen Filmträger, der aus einer 30 ,um dicken Polypyromellltimidunterlage und einer 8 ,um dicken polymeren Zwischenschicht aus Polyäthylenterephthalctt besteht. Auf der Oberfläche der Zwischenschicht ist eint 10 ,um dicke lichtempfindliche Schicht der in Beispiel 12 angegebenen Zusammensetzung aufgebracht. Die Prüfung des Filmresists erfolgt wie in Beispiel 12. Die minimal reproduzierbare Linienbreite beträgt 25 ,um. Die Verwerfung ist nicht größer als 2,5 mm.

Der bekannte Trockenfilmresist mit einem einschichtigen Träger aus einer 38 ,um dicken Polypyromellitimidschicht vermag Linien mit einer minimalen Breite von 70 ,um zu reproduzieren.

Der bekannte Filmresist mit einem 8 ,um dicken einschichtigen Träger aus Polyäthylenterephthalat zeigt eine Verwerfung von bis zu 6 mm.

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Beispiel 18

Der verwendete Trockenfilmresist weist einen Träger auf, der aus einer 40 ,um dicken Polyäthylenterephthalatunterlage und einer darauf aufgebrachten 6 ,um dicken polymeren Zwischenschicht folgender Zusammensetzung besteht:

Methylcellulose mit einem Substitutionsgrad von 1,5 100

Natriumdibutylnaphthalinsulfonat 0,5

Farbstoff Rhodamin GG (G) 0,1

Auf der Oberfläche der Zwischenschicht ist eine 15 ,um dicke lichtempfindliche Schicht der in Beispiel 1 angegebenen Zusammensetzung aufgebracht.

Die Prüfung des Trockenfilmresists erfolgt wie in Beispiel 1. Die minimal reproduzierbare Linienbreite beträgt 30 ,um. Die Verwerfung des Trägers ist nicht größer als 1,5 mm.

Der bekannte Trockenfilmresist mit einem 46 ,um dicken einschichtigen Träger aus Polyäthylenterephthalat vermag Linien ι
zieren.

Linien mit einer minimalen Breite von 90 ,um zu reprodu-

Der bekannte Filmresist mit einem 6 ,um dicken einschichtigen Träger aus Methylcellulose der oben genannten Zusammensetzung besitzt geringe Festigkeit, was seine praktische Verwendung verhindert.

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Beispiel 19

Es wird ein Trockenfilmresist: mit gleicher Zusammensetzung und gleicher Dicke der Schichten wie in Bei- :. spiel 15 verwendet, dessen Zwischenschicht jedoch aus : Cellulosetriacetat besteht.

Die Prüfung des FiLmresists wird wie in Beispiel 15. vorgenommen. Es werden gleiche Eigenschaften wie beim Trockenfilmresist von Beispiel 15 festgestellt.

Bei der Anwendung des erfindungsgemäßen Trockenfilm-· resists läßt sich ein Auflösungsvermögen erreichen, das für die Herstellung von 5 bis 50 /Um breiten Leiterbahnen in gedruckten Schaltungon ausreichend ist, was bei Anwendung bekannter Trockenfiliaresists nicht erreicht werden kann. Dabei besitzt der erfindungsgenu ße Trockenfilmresist ausreichen* !Beständigkeit gegen die Verwerfung des Trägers und die Verformung der lichtempfindlichen Schicht bei der Herstellung und Ve rwendung. Das hohe Auflösungsvermögen gestc ttet es, d«;n ei findungsgemäßen Trockenfilmresist nicht nur zur Herstellung von gedruckten Schaltungsplatien, sondert auch zur Herstellung anderer Erzeugnisse mit komplizierter gestaltetem Bild, darunter auch integrierten Hybridschaltungen, zu verwenden.

Die Anwendung des erfindungsgemäßen Trockenfilmresists ermöglicht eine weitere Mikrominiaturisierung gedruckter Schaltungen.

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Ί,Ο

Der erfindungsgemäße Trockenfilmresist besteht zusammengefaßt aus einem zweischichtigen Träger, der eine 15 bis 100 .um dicke feste Unterlage und eine 3 bis 15 ,um dicke, für UV-Strahlung im Bereich von 300 bis 400 nm durchlässige polymere Zwischenschicht enthält, einer 4 bis 20 /Um dicken lichtempfindlichen Schicht unc einem 5 bis 50 ,um dicken polymeren Schutzfilm. Alle vier genannten Schichten sind durch Adhäsionskräfte miteinander verbunden, wobei die Haftfestigkeit des polymeren Schutzfilms an der lichtempfindlichen Schicht geringer als die Kohäsionsfestigkeit der lichtempfindlichen Schicht, die Haftfestigkeit der festen polymeren Unterlage an der polymeren Zwischenschicht geringer als die Haftfestigkeit der polymeren Zwischenschicht an der lichtempfindlichen Schicht und die Haftfestigkeit der genannten drei Schichten aneinander geringer ist als die Kohäsionsfestigkeit jeder dieser Schichten.

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Claims

Ansprüche

1. Trockenfilmresist aus einem biegsamen Schichtensystem, aus einer 15 bis 100 ,um dicken festen polymeren Unterlage, einer 4 bis 20 ,um dicken lichtempfindlichen Schicht, die mindestens eine unter UV-Strahlung zur Bildung freier Radikale befähigte lichtempfindliche Verbindung, mindestens eine äthylenische ^C = C -Bindungen im Molekül enthaltende ungesättigte Verbindung sowie mindestens ein als filmbildende Komponente der lichtempfindlichen Schicht dienendes Polymer enthält, und einem auf der lichtempfindlichen Schicht vorgesehenen, 5 bis 50 ,um dicken polymeren Schutzfilm,

dadurch gekennzeichnet,

daß zwischen der festen polymeren Unterlage und der lichtempfindlichen Schicht eine 3 bis 15 ,um dicke, für UV-Strahlung im Bereich von 300 bis 400 mm durchlässige polymere Zwischenschicht vorgesehen ist, die aus einem polymeren Alkohol, einem polymeren Ester, einem Polyamid, einem halogenhaltigen Polymer, Polyacrylnitril oder Gemischen dieser Verbindungen besteht, wobei sämtliche vier Schichten durch Adhäsionskräfte miteinander verbunden sind und die Haftfestigkeit des polymeren Schutzfilms an der lichtempfindlichen Schicht geringer ist als die Kohäsionsfestigkeit der lichtempfindlichen Schicht, die Haftfestigkeit der

530-(PM 82 3O9-X-61J-PCT-SF-Bk

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festen polymeren Unterlage an der polymeren Zwischenschicht geringer ist als die Haftfestigkeit der polymeren Zwischenschicht an der lichtempfindlichen Schicht und die Haftfestigkeit der genannten drei Schichten aneinander geringer ist als die Kohäsionsfestigkeit jeder dieser Schichten.

2. Trockenfilmresist nac ι Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die polymere Zwischenschicht als polymeren Alkohol wasserlösliche Methylcellulose oder Polyvinylalkohol enthält.

3. Trockenfilmresist nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die polymere Zwischenschicht als polymeren Ester Cellulosetriacetat oder Polyathylenterephthalat enthält.

4. Trockenfilmresist nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die polymere Zwischenschicht als Polyamid Polyhexamethylenadipamid oder Gelatine enthält.

5. Trockenfilmresist nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die polymere Zwischenschicht als halogenhaltiges Polymer ein Copolymerisat von Tetrafluoräthylen oder Trifluorchloräthylen mit Vinylidenfluorid enthält.

6. Trockenfilmresist nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die polymere Zwischenschicht Polyacrylnitril enthält.

7. Trockenfilmresist nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die polymere Zwischenschicht

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ferner Farbstoffe in einer Menge von 0,01 bis 1,0 %, bezogen auf das Gewicht der polymeren Zwischenschicht, enthält.

8. Trockenfilmresist nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die polymere Zwischenschicht als Farbstoff Rhodamin GG (G) enthält.

9. Trockenfilmresist nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die polymere Zwischenschicht ferner Weichmacher in einer Menge von 5 bis 15 %, bezogen auf das Gewicht der polymeren Zwischenschicht, enthält.

10. Trockenfilmresist nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die polymere Zwischenschicht als Weichmacher äthoxyliertes Dodecylphenol enthält.

11. Trockenfilmresist nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die polymere Zwischenschicht ferner grenzflächenaktive Stoffe in einer Menge von 0,1 bis 0,5 %, bezogen auf das Gewicht der polymeren Zwischenschicht, enthält.

12. Trockenfilmresist nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die polymere Zwischenschicht als grenzflächenaktiven Stoff Natrium-dibutylnaphthalinsulfonat enthält.

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