UA77459C2 - Thin-film capacitor and a method for producing the capacitor - Google Patents

Thin-film capacitor and a method for producing the capacitor Download PDF

Info

Publication number
UA77459C2
UA77459C2 UA20040604241A UA20040604241A UA77459C2 UA 77459 C2 UA77459 C2 UA 77459C2 UA 20040604241 A UA20040604241 A UA 20040604241A UA 20040604241 A UA20040604241 A UA 20040604241A UA 77459 C2 UA77459 C2 UA 77459C2
Authority
UA
Ukraine
Prior art keywords
polymer
polymers
thin
pentoxide
film
Prior art date
Application number
UA20040604241A
Other languages
English (en)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Publication of UA77459C2 publication Critical patent/UA77459C2/uk

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M10/00—Secondary cells; Manufacture thereof
    • H01M10/36—Accumulators not provided for in groups H01M10/05-H01M10/34
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G9/00—Electrolytic capacitors, rectifiers, detectors, switching devices, light-sensitive or temperature-sensitive devices; Processes of their manufacture
    • H01G9/15—Solid electrolytic capacitors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G11/00—Hybrid capacitors, i.e. capacitors having different positive and negative electrodes; Electric double-layer [EDL] capacitors; Processes for the manufacture thereof or of parts thereof
    • H01G11/22—Electrodes
    • H01G11/30—Electrodes characterised by their material
    • H01G11/48—Conductive polymers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002—Details
    • H01G4/018—Dielectrics
    • H01G4/06—Solid dielectrics
    • H01G4/08—Inorganic dielectrics
    • H01G4/10—Metal-oxide dielectrics
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M4/00—Electrodes
    • H01M4/02—Electrodes composed of, or comprising, active material
    • H01M4/06—Electrodes for primary cells
    • H01M4/08—Processes of manufacture
    • H01M4/10—Processes of manufacture of pressed electrodes with central core, i.e. dollies
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M4/00—Electrodes
    • H01M4/02—Electrodes composed of, or comprising, active material
    • H01M4/14—Electrodes for lead-acid accumulators
    • H01M4/16—Processes of manufacture
    • H01M4/20—Processes of manufacture of pasted electrodes
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00—Printed circuits
    • H05K1/16—Printed circuits incorporating printed electric components, e.g. printed resistors, capacitors or inductors
    • H05K1/162—Printed circuits incorporating printed electric components, e.g. printed resistors, capacitors or inductors incorporating printed capacitors
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/01—Dielectrics
    • H05K2201/0137—Materials
    • H05K2201/0179—Thin film deposited insulating layer, e.g. inorganic layer for printed capacitor
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/03—Conductive materials
    • H05K2201/032—Materials
    • H05K2201/0329—Intrinsically conductive polymer [ICP]; Semiconductive polymer
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/09—Shape and layout
    • H05K2201/09209—Shape and layout details of conductors
    • H05K2201/09654—Shape and layout details of conductors covering at least two types of conductors provided for in H05K2201/09218 - H05K2201/095
    • H05K2201/09763—Printed component having superposed conductors, but integrated in one circuit layer
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/10—Energy storage using batteries
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/13—Energy storage using capacitors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)

Description

Опис винаходу
Цей винахід відноситься до тонких плівок у стопках, які використовуються у конденсаторах. 2 Добре відоме застосування конденсаторів в електронних схемах. Друковані плати мають обмеження на застосування круглих конденсаторів, або порошкових/електролітичних конденсаторів, які виступають над чи під платою. Бажано мати плоский конденсатор, який міг би бути приєднаний безпосередньо до плати або інтегрований у плату, маючи при цьому адекватні електричні параметри і стабільність. Такий конденсатор є метою цього винаходу.
Було виявлено, що ця мета може бути досягнута, якщо конденсатор буде виготовлений із поперемінно розміщених шарів п'ятиокису танталу або п'ятиокису ніобію і електропровідної полімерної плівки, наприклад, на основі політіофенових полімерів Вауїгопе (виробництво Н.С. 5(агсК Іпс.). Переважно, можуть бути використані багато типів полімерних провідних плівок.
Цей винахід відноситься до тонкоплівкових конденсаторів, які мають (а) підкладку, (б) першу полімерну 12 плівку, яка складається з електропровідного полімеру і розміщена на підкладці, (в) шар п'ятиокису, обраного з групи, яка складається з п'ятиокису танталу, п'ятиокису ніобію і їхньої суміші, розміщений на поверхні першої полімерної плівки, (г) другу полімерну плівку, яка складається з електропровідного полімеру, розміщену на поверхні шару п'ятиокису.
Згадані та інші характеристики, аспекти і переваги дійсного винаходу будуть краще зрозумілі з наступного опису і формули винаходу, де:
Фіг.1 схематично демонструє конденсатор, виконаний відповідно до цього винаходу;
Фіг.2 представляє фотографію такого конденсатора;
Фіг.З схематично демонструє послідовні і паралельні з'єднання електропровідної полі(3,4-етилендиокситіофен)ової плівки (ВауїгопФ)) окисної матриці з З шарами. с
Цей винахід відноситься до тонкоплівкових конденсаторів, які мають (а) підкладку, (б) першу полімерну Ге) плівку, виготовлену із електропровідного полімеру, розміщену на підкладці, (в) шар п'ятиокису, який вибраний із групи, яка складається з п'ятиокису танталу, п'ятиокису ніобію і їхньої суміші, (г) другу полімерну плівку, виготовлену із електропровідного полімеру, розміщену на поверхні шару п'ятиокису.
Можна використовувати будь-яку підкладку, яка при використанні відповідно до цього винаходу, дає о можливість отримати тонкоплівковий конденсатор, який можна використовувати за прямим призначенням. ою
Звичайно, підкладку виготовляють з не електропровідних матеріалів, які можуть бути обрані з таких матеріалів як вінілові полімери, олефінові полімери або поліефірні полімери. Товщина підкладки, зазвичай, становить як З мінімум близько 0,01їмм. Товщина підкладки може варіюватися у великому діапазоні в залежності від ча застосування. В одному застосуванні підкладки діапазон товщини лежить від приблизно О0,01мм до приблизно 4ММм. і -
Полімерна плівка може містити будь-який електропровідний полімер, який при використанні відповідно до цього винаходу, надасть можливість одержати тонкоплівковий конденсатор, який можна використовувати за прямим призначенням. Приклади таких провідних полімерів включають полімери на основі поліаніліну, « поліпіпролу, поліетилендиоксиду, політіофену і їхніх сумішей або сополімерів. Ці полімери добре відомі З 50 фахівцям. с Особливо переважними провідними полімерами є полімери лінії Вауїгоп? виробництва Н.С. 5іагокК Іпс.,
Із» переважно провідний полі(3,4-етилендіокситіофен), як описано в (05, 5035926), включеному сюди у повному обсязі у якості посилання. Такі полімери переважно синтезуються змішуванням відповідних мономерів з
Ее(ПІ)л-толуолсульфонатом в органічному розчиннику, такому як ізопропанол або етанол.
При полімеризації випадає осад солі заліза, який видаляють промиванням водою. Провідний полімер може і бути також отриманий з водного розчину в присутності полі(стиролсульфонової кислоти), яка виконує роль -І стабілізатора колоїду. Звичайно такі електропровідні полімери демонструють високу електропровідність, високу прозорість у тонких плівках, високу стабільність і простоту в обробці. Область застосування цих полімерів е включає, не обмежуючись цим, антистатичні покриття пластиків, антистатичні покриття скла, електростатичні сл 20 покриття пластиків, електродів конденсаторів (танталових і алюмінієвих), покриття друкованих плат і полімерних дисплеїв на світлодіодах. с Одним з таких кращих політіофенових полімерів, "Вауйоп Р", є водна полімерна дисперсія з гарною адгезією. При необхідності, адгезивні властивості можуть бути покращенні шляхом додаванням зв'язуючого агента. Такі водні дисперсії легко наносяться на пластикові і скляні поверхні, наприклад, за допомогою 25 друкування або напилювання, і, маючи в основі воду, є нешкідливими для навколишнього середовища.
ГФ) Для нанесення на поверхню електропровідний полімер звичайно використовують разом із придатним зв'язуючим агентом. Прикладами придатних зв'язуючих агентів є, не обмежуючись цим, полівінілацетат, о полікарбонат, полівінілбутират, поліакрилати, поліметакрилати, полістирол, поліакрилонітрил, полівінілхлорид, полібутадієн, поліїзопрен, поліефіри (полімери простих чи складних ефірів), силікони, пірол/ацекрилатні, 60 вінілацетат/акрилатні, етилен/вінілацетатні сополімери, полівінілові спирти.
Товщина електропровідної полімерної плівки звичайно має як мінімум 5Онм і переважно варіюється від приблизно 10Онм до приблизно 1Омкм, в залежності від її застосування.
Одне з втілень цього винаходу відноситься до тонкоплівкових конденсаторів, які мають (а) підкладку, (б) перший полімерний провідний шар, розміщений на поверхні підкладки і (в) множину поперемінно розміщених бо шарів п'ятиокису і полімерних провідних шарів, починаючи з першого полімерного шару, де загальне число шарів п'ятиокису складає п, а загальне число полімерних провідних шарів складає пя1, де п переважно означає величину від 1 до 30. В іншому втіленні може бути від 2 до 20 шарів кожного з компонентів (зазвичай шарів електропровідної плівки на один більше, ніж окисних шарів). Для кожного фактичного конденсатора в такій стопці може бути здійснене послідовне або паралельне підключення. Переважно вся стопка плівок розміщена на непровідній підкладці, такий як вінілова, олефінова або поліефірна плівка.
В одному втіленні кожна з провідних плівок має товщину приблизно 1мкм мікрон і наноситься шляхом друку, напилювання або іншими вологими способами, використовуючи рідкі або попередні розчинники. В іншому застосуванні кожна окисна плівка Та чи МОБ має товщину близько їмкм і наноситься за допомогою реакції 7/0 фізичного осадження з газової фази (ОГФ) або хімічними способами, використовуючи рідкі чи газоподібні попередні розчинники. Альтернативним способом, Та і Ме можуть бути нанесені і окислені іп зйш (на місці).
Виготовлені в такий спосіб конденсатори, у порівнянні з відомими Та»ОБ/Си/Та»ОБ5/Си... стопками, мають ту перевагу, що вони менше псуються під впливом атмосферної вологості. Крім того, невеликі стопки (2-4 кожного, окісного і полімерного, шарів) можуть бути прозорими.
На Фіг.1 схематично показане виконання конденсатора Мо10, виконаного в межах цього винаходу.
Полімерна підкладка 12 (наприклад, плівка МуїЇагтм) покрита шаром товщиною в їімкм політіофенового провідника 14, у свою чергу покритого плівкою п'ятиокису танталу 16 товщиною 1ООнм, а потім знову шаром провідника 18 товщиною один мікрон. На шарах 14 і 18 були розміщені срібні контактні пластинки 20. Таким чином був виготовлений конденсатор. Його тестували при напрузі 5В і він показав ємність близько З5Онф на 20. 1сМ? окісної плівки.
Фіг.2 ілюструє такий конденсатор з номерами шарів, які відповідають номерам на Фіг.1. Для масштабу зазначена довжина ї1см і 1 дюйма (2,54см). Коло провідних шарів 14 має приблизно 6,9в8см (2,75 дюйми) у діаметрі.
В одному втіленні конденсатор може бути виготовлений з 1-30 окисних шарів, які чергуються провідними с шарами. При необхідності плівка підкладки 12 може мати силіконове покриття і може бути вилучена після о виготовлення конденсатора. Подібні переносні покриття можуть бути застосовані для приєднання конденсатора до нового субстрату. В іншому застосуванні, конденсатор може бути виготовлений з більш ніж 30 окисних шарів.
Фіг.З схематично показує конденсатори Мо10А и Мої10В з послідовним і паралельним підключенням електропровідного шару (Вауїгоп) - окисної матриці з трьома шарами оксиду 16, 26 і 3б і чотирма провідними /Ф» плівками 14, 18, 24 і 28, з товщиною кожного шару близько 1мкм.
Тонкоплівковий конденсатор цього винаходу звичайно виготовляють шляхом: ю () нанесення полімерної плівки, виготовленої з електропровідного полімеру і розміщеної на підкладці; Й (її нанесення шару п'ятиокису, п'ятиокису танталу, або п'ятиокису ніобію, або їхньої суміші на полімерний провідний шар, і - (ії) нанесення другого електропровідного полімеру на шар п'ятиокису. ї-
Етапи цього процесу можуть бути повторені в залежності від бажаного числа шарів компонентів.
Коли використовують водяні розчини полімерів на основі політіофену, розчин напилюють на підкладку будь-яким придатним способом, таким як друк, накатування, нанесення при обертанні або зануренні. Після « нанесення розчину необхідне провести сушіння для видалення носія-розчинника (розчинників). Іноді до розчину Вауїйгоп Р корисно додати розчинники і/або зв'язуючий агент, що в ряді випадків збільшує адгезію плівки до - с підкладки. а Якщо бажано провести полімеризацію іп зйш і одержати полімерну провідну плівку прямо на попередньому "» шарі, мономер і окислювач змішують в одному розчині. Цей розчин необхідно напилити на підкладку, що може бути виконано будь-яким відомим вологим способом (таким як друк, накатування, нанесення при обертанні або зануренні). Після нанесення розчину необхідно провести сушіння для видалення носія-розчинника (розчинників). -і Отриману полімерну плівку потім промивають для видалення будь-яких солей, що формуються в процесі - полімеризації.
Способи нанесення ультратонких, але щільних високо-діелектричних окисних плівок включають, не
Її обмежуючи цим: сл 50 (а) фізичне осадження з газової фази (ОГФ), наприклад реактивне розбризкування або лазерний чи ЕВ зсап нагрів мішені з Та або МЬ з утворенням оксиду у виді осаду; іЧе) (б) розбризкування окисної мішені для переносу оксиду на плівку підкладки (чи на поверхню раніше утвореного електропровідного шару); (в) нанесення плівки Та або МЬ будь-яким відомим шляхом з наступним анодуванням (електролітичним чи хімічним). У цьому випадку плівка буде частково окислена, а неокислена частина стане частиною сусіднього електропровідного шару.
ІФ) Хоча цей винахід більш детально був описаний з посиланням на деякі переважні втілення, можливі і інші іме) варіанти. Тому суть та об'єм доданої формули винаходу не повинен обмежуватися приведеним тут описом варіантів.

Claims (17)

Формула винаходу
1. Тонкоплівковий конденсатор, який має: 65 (а) підкладку, (б) першу полімерну плівку, виготовлену з електропровідного полімеру, розміщену на підкладці,
(в) шар п'ятиокису, який складається із групи п'ятиокису танталу, п'ятиокису ніобію і їх сумішей, і який розміщений на першій полімерній плівці, (г) другу полімерну плівку, виготовлену з електропровідного полімеру, розміщену на поверхні шару п'ятиокису.
2. Тонкоплівковий конденсатор за п. 71, який відрізняється тим, що підкладка вибрана з групи, яка складається із вінілових полімерів, олефінових полімерів, поліефірів і їхніх сумішей.
З. Тонкоплівковий конденсатор за п. 1, який відрізняється тим, що перша полімерна плівка і друга полімерна плівка вибрані з групи, яка складається із поліанілінових полімерів, полімерів лігносульфонової кислоти, 7/0 поліпіролових полімерів, полімерів на основі тіофену і їхніх сумішей.
4. Тонкоплівковий конденсатор за п. 1, який відрізняється тим, що перша полімерна плівка має товщину в діапазоні від приблизно 100 нанометрів до приблизно 10 мікрометрів.
5. Тонкоплівковий конденсатор за п. 1, який відрізняється тим, що шар п'ятиокису має товщину в діапазоні від приблизно 10 до приблизно 100 нанометрів.
6. Тонкоплівковий конденсатор за п. 1, який відрізняється тим, що підкладка має товщину як мінімум близько 0,01 мм.
7. Тонкоплівковий конденсатор за п. 1, який відрізняється тим, що перша полімерна плівка або друга полімерна плівка вибрані з групи, яка складається із полімерів на основі політіофену, полімерів на основі поліаніліну, полімерів на основі поліпіролу, полімерів на основі поліетиленоксиду і їхніх сумішей або співполімерів.
8. Тонкоплівковий конденсатор, який має: (а) підкладку, (б) перший полімерний провідний шар, розміщений на поверхні підкладки і (в) множину поперемінно розміщених шарів п'ятиокису і полімерних провідних шарів, де загальне число шарів п'ятиокису дорівнює п, а загальне число полімерних провідних шарів, починаючи від першого полімерного шару, дорівнює п-1. сч
9. Тонкоплівковий конденсатор за п. 8, який відрізняється тим, що п лежить у діапазоні від 1 до 30.
10. Тонкоплівковий конденсатор за п. 8, який відрізняється тим, що конденсатор має послідовне підключення. (8)
11. Тонкоплівковий конденсатор за п. 8, який відрізняється тим, що конденсатор має паралельне підключення.
12. Тонкоплівковий конденсатор за п. 8, який відрізняється тим, що підкладка є неелектропровідною Ге! зо підкладкою, вибрана з групи, яка складається із вінілових полімерів, олефінових полімерів, поліефірних полімерів і їхніх сумішей. о
13. Тонкоплівковий конденсатор за п. 8, який відрізняється тим, що підкладка вибрана з групи, яка «г складається із вінілових полімерів, олефінових полімерів, поліефірів і їхніх сумішей.
14. Тонкоплівковий конденсатор за п. 8, який відрізняється тим, що як мінімум одна полімерна плівка в. вибрана з групи, яка складається із полімерів на основі поліаніліну, полімерів на основі поліпіролу, ї- полімерів на основі поліетилендиоксиду, полімерів на основі політіофену, їхніх сумішей або їх співполімерів.
15. Спосіб одержання тонкоплівкового конденсатора, що включає такі дії: (а) нанесення першого електропровідного полімеру на підкладку, (б) нанесення шару п'ятиокису, п'ятиокису танталу або п'ятиокису ніобію, або їхньої суміші на полімерний « провідний шар і в с (в) нанесення другого електропровідного полімеру на шар п'ятиокису, тим самим формуючи тонкоплівковий конденсатор. ;»
16. Спосіб за п. 15, який відрізняється тим, що використовують множину поперемінно розміщених шарів п'ятиокису і полімерних електропровідних шарів, де загальне число шарів п'ятиокису дорівнює п, а загальне число полімерних провідних шарів, починаючи від першого полімерного шару, дорівнює п. -І
17. Спосіб за п. 15, який відрізняється тим, що як матеріал для першої і другої полімерних плівок використовують полімер, вибраний з групи, яка складається із полімерів на основі поліаніліну, полімерів на Ш- основі поліпіролу, полімерів на основі поліетиленоксиду, полімерів на основі політіофену, їхніх сумішей або їх співполімерів. с 50 іЧе) Ф) іме) 60 б5
UA20040604241A 2001-11-03 2002-01-11 Thin-film capacitor and a method for producing the capacitor UA77459C2 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US33771901P 2001-11-03 2001-11-03
PCT/US2002/035261 WO2003041096A1 (en) 2001-11-03 2002-11-01 Thin film capacitor using conductive polymers

Publications (1)

Publication Number Publication Date
UA77459C2 true UA77459C2 (en) 2006-12-15

Family

ID=23321725

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
UA20040604241A UA77459C2 (en) 2001-11-03 2002-01-11 Thin-film capacitor and a method for producing the capacitor

Country Status (17)

Country Link
US (2) US6731495B2 (uk)
EP (1) EP1444710B1 (uk)
JP (1) JP4328909B2 (uk)
KR (1) KR100974771B1 (uk)
CN (1) CN100449661C (uk)
AT (1) ATE446583T1 (uk)
BR (1) BR0213858A (uk)
CA (1) CA2465269A1 (uk)
DE (1) DE60234114D1 (uk)
IL (2) IL161634A0 (uk)
MX (1) MXPA04004147A (uk)
NZ (1) NZ532671A (uk)
PL (1) PL369208A1 (uk)
RU (1) RU2318263C2 (uk)
UA (1) UA77459C2 (uk)
WO (1) WO2003041096A1 (uk)
ZA (1) ZA200403225B (uk)

Families Citing this family (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
UA77459C2 (en) 2001-11-03 2006-12-15 Thin-film capacitor and a method for producing the capacitor
US7079377B2 (en) * 2002-09-30 2006-07-18 Joachim Hossick Schott Capacitor and method for producing a capacitor
US7256982B2 (en) * 2003-05-30 2007-08-14 Philip Michael Lessner Electrolytic capacitor
GB0323733D0 (en) * 2003-10-10 2003-11-12 Univ Heriot Watt Conductive polymer
ES2329898T3 (es) 2003-10-17 2009-12-02 H.C. Starck Gmbh Condensadores electroliticos con capa externa de polimero.
JP2005268672A (ja) * 2004-03-22 2005-09-29 Mitsubishi Electric Corp 基板
JP2007194592A (ja) * 2005-12-20 2007-08-02 Tdk Corp 誘電体素子とその製造方法
US7612727B2 (en) * 2005-12-29 2009-11-03 Exatec, Llc Antenna for plastic window panel
EP2024980A2 (en) * 2006-03-31 2009-02-18 H.C. Starck GmbH Solid electrolytic capacitors
JP2008181091A (ja) * 2006-12-26 2008-08-07 Nitto Denko Corp 光学積層体およびそれを用いた液晶パネル
US8141556B2 (en) * 2007-04-27 2012-03-27 Medtronic, Inc. Metallization with tailorable coefficient of thermal expansion
US8461681B2 (en) 2007-04-27 2013-06-11 Medtronic, Inc. Layered structure for corrosion resistant interconnect contacts
CA2702324C (en) * 2007-10-10 2017-04-11 Kovio, Inc. High reliability surveillance and/or identification tag/devices and methods of making and using the same
US8357858B2 (en) * 2008-11-12 2013-01-22 Simon Fraser University Electrically conductive, thermosetting elastomeric material and uses therefor
CN103000379B (zh) * 2012-10-18 2016-04-20 中国科学院化学研究所 一种提高全固态电储能器件充电效率的方法
US9753551B2 (en) 2013-03-15 2017-09-05 Stacey Gottlieb Fingernail system for use with capacitive touchscreens
RU2540934C1 (ru) * 2013-10-15 2015-02-10 Открытое акционерное общество "Обнинское научно-производственное предприятие "Технология" Датчик для контроля процесса пропитки наполнителя полимерным связующим
US10340082B2 (en) 2015-05-12 2019-07-02 Capacitor Sciences Incorporated Capacitor and method of production thereof
US20170301477A1 (en) 2016-04-04 2017-10-19 Capacitor Sciences Incorporated Electro-polarizable compound and capacitor
AU2015259291A1 (en) 2014-05-12 2016-11-24 Capacitor Sciences Incorporated Energy storage device and method of production thereof
US10347423B2 (en) 2014-05-12 2019-07-09 Capacitor Sciences Incorporated Solid multilayer structure as semiproduct for meta-capacitor
US10319523B2 (en) 2014-05-12 2019-06-11 Capacitor Sciences Incorporated Yanli dielectric materials and capacitor thereof
CN107592939B (zh) * 2014-11-04 2020-05-05 电容器科学股份公司 储能器件及其生产方法
US10037850B2 (en) * 2014-12-18 2018-07-31 3M Innovative Properties Company Multilayer film capacitor
US9932358B2 (en) 2015-05-21 2018-04-03 Capacitor Science Incorporated Energy storage molecular material, crystal dielectric layer and capacitor
US9941051B2 (en) 2015-06-26 2018-04-10 Capactor Sciences Incorporated Coiled capacitor
US10026553B2 (en) 2015-10-21 2018-07-17 Capacitor Sciences Incorporated Organic compound, crystal dielectric layer and capacitor
US10305295B2 (en) 2016-02-12 2019-05-28 Capacitor Sciences Incorporated Energy storage cell, capacitive energy storage module, and capacitive energy storage system
US10636575B2 (en) 2016-02-12 2020-04-28 Capacitor Sciences Incorporated Furuta and para-Furuta polymer formulations and capacitors
US10566138B2 (en) 2016-04-04 2020-02-18 Capacitor Sciences Incorporated Hein electro-polarizable compound and capacitor thereof
US10153087B2 (en) 2016-04-04 2018-12-11 Capacitor Sciences Incorporated Electro-polarizable compound and capacitor
US9978517B2 (en) 2016-04-04 2018-05-22 Capacitor Sciences Incorporated Electro-polarizable compound and capacitor
US10395841B2 (en) 2016-12-02 2019-08-27 Capacitor Sciences Incorporated Multilayered electrode and film energy storage device
US10163575B1 (en) 2017-11-07 2018-12-25 Capacitor Sciences Incorporated Non-linear capacitor and energy storage device comprising thereof
JP7216111B2 (ja) 2018-04-13 2023-01-31 キョーセラ・エイブイエックス・コンポーネンツ・コーポレーション 順次蒸着された内側導電性ポリマー膜を含む固体電解キャパシタ
WO2019199484A1 (en) 2018-04-13 2019-10-17 Avx Corporation Solid electrolytic capacitor containing a vapor-deposited barrier film
WO2019199485A1 (en) 2018-04-13 2019-10-17 Avx Corporation Solid electrolytic capacitor containing an adhesive film
CN113168966B (zh) 2018-11-29 2024-01-16 京瓷Avx元器件公司 含有顺序气相沉积的电介质膜的固体电解电容器
CN110845728B (zh) * 2019-11-07 2020-12-29 江南大学 一种导电高分子/五氧化二铌异质结的制备方法及其应用
US12002631B2 (en) 2021-10-20 2024-06-04 KYOCERA AVX Components Corporation Electrodeposited dielectric for a solid electrolytic capacitor

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4870855A (uk) * 1971-12-29 1973-09-26
LU67391A1 (de) * 1972-09-27 1973-06-18 Siemens Ag Elektrischer kondensator
RU2076396C1 (ru) * 1987-07-09 1997-03-27 Государственное научно-производственное предприятие "Исток" Способ изготовления интегрального прибора свч
SU1581097A1 (ru) * 1987-12-22 1996-07-20 Б.И. Селезнев Способ изготовления тонкопленочного конденсатора
US5126921A (en) * 1990-07-06 1992-06-30 Akira Fujishima Electronic component and a method for manufacturing the same
JPH0547588A (ja) 1991-08-21 1993-02-26 Rubikon Denshi Kk 薄膜コンデンサ及びその製造方法
JPH05114532A (ja) * 1991-10-23 1993-05-07 Yoshiyasu Sasa 積層コンデンサ
JPH09283389A (ja) * 1996-04-10 1997-10-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd コンデンサおよびその製造方法
US5978207A (en) * 1996-10-30 1999-11-02 The Research Foundation Of The State University Of New York Thin film capacitor
CA2289239C (en) * 1998-11-23 2010-07-20 Micro Coating Technologies Formation of thin film capacitors
EP1014399B1 (en) * 1998-12-22 2006-05-17 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Flexible thin film capacitor and method for producing the same
WO2001082315A1 (en) * 2000-04-20 2001-11-01 Parelec, Inc. Compositions and method for printing resistors, capacitors and inductors
EP1170797A3 (en) * 2000-07-04 2005-05-25 Alps Electric Co., Ltd. Thin-film capacitor element and electronic circuit board on which thin-film capacitor element is formed
JP3624822B2 (ja) 2000-11-22 2005-03-02 株式会社日立製作所 半導体装置およびその製造方法
JP2002252143A (ja) * 2000-12-21 2002-09-06 Alps Electric Co Ltd 温度補償用薄膜コンデンサ及び電子機器
UA77459C2 (en) 2001-11-03 2006-12-15 Thin-film capacitor and a method for producing the capacitor

Also Published As

Publication number Publication date
US20030103319A1 (en) 2003-06-05
KR20040064697A (ko) 2004-07-19
CA2465269A1 (en) 2003-05-15
CN100449661C (zh) 2009-01-07
US6912113B2 (en) 2005-06-28
ZA200403225B (en) 2005-04-29
CN1578993A (zh) 2005-02-09
JP2005509283A (ja) 2005-04-07
PL369208A1 (en) 2005-04-18
BR0213858A (pt) 2004-08-31
RU2318263C2 (ru) 2008-02-27
IL161634A (en) 2010-11-30
JP4328909B2 (ja) 2009-09-09
NZ532671A (en) 2006-02-24
EP1444710A1 (en) 2004-08-11
MXPA04004147A (es) 2004-09-06
IL161634A0 (en) 2004-09-27
EP1444710B1 (en) 2009-10-21
KR100974771B1 (ko) 2010-08-06
DE60234114D1 (de) 2009-12-03
ATE446583T1 (de) 2009-11-15
US20040173873A1 (en) 2004-09-09
RU2004116913A (ru) 2005-10-27
WO2003041096A1 (en) 2003-05-15
US6731495B2 (en) 2004-05-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
UA77459C2 (en) Thin-film capacitor and a method for producing the capacitor
CN103154132B (zh) 具有改进的电性能参数且包含pedot/pss和稳定剂的层组合物
Kim et al. The preparation and characteristics of conductive poly (3, 4-ethylenedioxythiophene) thin film by vapor-phase polymerization
CN87108059A (zh) 高导电性聚合体组成物及其制造方法
JP2004532298A (ja) 新規のポリチオフェン分散液
EP1003179B1 (en) A method for preparing a conductive polythiophene layer at low temperature
WO2006075551A1 (ja) 固体電解コンデンサおよびその製造方法
WO2019211510A1 (en) Method for producing a polymer film
JP4491098B2 (ja) 低温で導電性ポリチオフェン層を形成するための方法
CN101952901B (zh) 制备基于聚噻吩及其衍生物呈现增加传导性的涂层之方法
EP1402319B1 (en) Material having a conductive pattern; and a material and method for making a conductive pattern
EP0923083A1 (en) Polyaniline solutions with bicyclic terpene solvent
HK1072659A (en) Thin film capacitor using conductive polymers
AU2002340360A1 (en) Thin film capacitor using conductive polymers
JPS62140410A (ja) 金属化プラスチツクフイルムコンデンサ
JPS63269415A (ja) 透明複合導電体の製造方法
NZ541932A (en) Thin film capacitor using conductive polymers
JPH02290008A (ja) 金属化プラスチックフィルムコンデンサ
JPS63102309A (ja) 固体電解コンデンサの製造法
Miller et al. Polymer multi-layer processing of thin film materials
JPS613742A (ja) 導電性高分子シ−ト及びその製造方法
KR101595649B1 (ko) 전도성 고분자 조성물 및 이로부터 제조된 전도성 필름
JPS62134918A (ja) 有機積層フイルムコンデンサ
JP2001143975A (ja) コンデンサおよびその製造方法
JP2005500650A (ja) 導電性パターンの形成のための材料及び方法