TWI833167B - 基板處理裝置 - Google Patents

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朴芝鎬
孔雲
宋智勳
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南韓商杰宜斯科技有限公司
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Abstract

本發明的基板處理裝置包含：驅動馬達部；傾斜單元，此傾斜單元以可旋轉的方式連接於驅動馬達部；升降單元，此升降單元安裝於傾斜單元；夾持單元，此夾持單元夾持密封圈部，且連接於升降單元以便借助於升降單元而升降。

Description

基板處理裝置
本發明涉及一種基板處理裝置，更詳細地，涉及一種能夠補償密封圈部與卡盤臺之間的結合偏差以防止因結合部位毀損和衝擊而產生異物的基板處理裝置。
一般而言，在半導體製程中執行蝕刻並清洗晶片的製程等，在蝕刻或清洗晶片的製程中將使用卡盤臺。
其中，在清洗晶片時於卡盤臺的上部安放晶片，且在旋轉工作臺的邊緣區域結合有環狀的密封圈，並且向安放在旋轉工作臺上的晶片供應處理液。
在卡盤臺的邊緣側上部安裝有複數個固定銷，在密封圈的下部形成有固定槽以使固定銷對應地插入，在將密封圈結合於卡盤臺的上部時，固定銷垂直插入於固定槽。
然而，以往將密封圈結合於卡盤臺時採用真空吸附方式，而不存在固定銷和固定槽，其將使得大量的安裝錯誤的發生。
本發明的先前技術記載於韓國公開專利公報第10-2016-0122067號(2016年10月21日公開，發明名稱：晶片處理裝置及用於晶片處理裝置的密封圈)。
本發明正是為了改善如上所述的問題而研發的，本發明目的是提供一種能夠補償密封圈部與卡盤臺之間的結合偏差以防止因結合部位毀損和衝擊而產生異物的基板處理裝置。
根據本發明的基板處理裝置包含：驅動馬達部；傾斜單元，傾斜單元以可旋轉的方式連接於驅動馬達部；升降單元，升降單元安裝於傾斜單元；以及，夾持單元，夾持單元夾持密封圈部，且連接於升降單元以便借助於升降單元而升降。
基板處理裝置進一步包含位置校正單元，位置校正單元以可遊動的方式安裝於升降單元和夾持單元，以便當夾持單元將密封圈部結合於卡盤臺時校正夾持單元的結合偏差。
升降單元可以包含：升降驅動部，升降驅動部安裝於傾斜單元；以及，升降構件，升降構件連接於升降驅動部和夾持單元，以便借助於升降驅動部而升降，並安裝有位置校正單元以使夾持單元遊動。
夾持單元可以包含：芯構件，芯構件配置於升降構件的下側；起浮板，起浮板結合於芯構件的下側，並連接於位置校正單元；複數個凸輪連桿 部，複數個凸輪連桿部呈輻射狀連接於芯構件；連桿驅動部，連桿驅動部連接於凸輪連桿部和起浮板，以使凸輪連桿部移動；以及，鎖定部，鎖定部分別安裝於凸輪連桿部，且當凸輪連桿部移動時鎖定及解鎖密封圈部。
芯構件可以在連桿驅動部驅動時，與複數個凸輪連桿部一同旋轉。
凸輪連桿部可以包含：凸輪桿部，凸輪桿部呈輻射狀連接於芯構件；以及，凸輪部，凸輪部連接於凸輪桿部，且形成有長孔部以便鎖定部移動。
長孔部可以相對於凸輪部的旋轉半徑傾斜地形成。
鎖定部可以包含：滑動部，滑動部以可移動的方式結合於長孔部；鎖定引導部，鎖定引導部結合於滑動部，以便當滑動部移動時進行直線移動；以及，鎖定銷部，鎖定銷部安裝於鎖定引導部，以便當鎖定引導部移動時鎖定及解除密封圈部。
鎖定引導部可以包含：引導軸部，引導軸部連接於滑動部，且以可移動的方式安裝於起浮板的引導孔部；引導構件，引導構件連接於引導軸部，且安裝有鎖定銷部；以及，複數個導輥部，複數個導輥部以支撐引導構件兩側的方式安裝。
位置校正單元可以包含：推力部，推力部連接於升降構件與起浮板，以便當密封圈部鎖定時起浮板依照結合偏差相應地遊動；以及，彈性構件，彈性構件安裝於芯構件，且對起浮板施加彈力，以便當密封圈部解鎖時起浮板回歸原位。
推力部可以包含：推力軸部，推力軸部連結於升降構件，且以隔開方式安裝於起浮板的校正孔部；以及，軸承部，軸承部以與推力軸部外側面隔開的方式插入於推力軸部。
基板處理裝置可以進一步包含對接部，對接部以可移動的方式安裝於卡盤臺的一側，以便當密封環部結合固定於卡盤臺時防止傾斜單元翹起。
對接部可以包含：對接驅動部，對接驅動部安裝於對接框架部；以及，對接加壓部，對接加壓部借助於對接驅動部而移動，以便約束傾斜單元。
根據本發明，夾持單元借助於位置校正單元而以可遊動的方式安裝於升降單元，因而當夾持單元在具有細微錯位的狀態下將密封圈部結合於卡盤臺時，允許位置校正單元校正夾持單元的結合偏差。因此，藉由防止由於密封圈部與卡盤臺的卡盤銷部之間的結合偏差而被磨損，從而可以防止在卡盤銷部和密封圈部產生異物。
另外，根據本發明，傾斜單元以可旋轉的方式安裝於驅動馬達部，因而當發生驅動馬達部故障或停電等時，驅動馬達部依然保持當前狀態。因此，可以在故障或停電時防止傾斜單元和夾持單元落下而碰撞卡盤臺。
20:密封圈部
24:固定孔部
100:基板處理裝置
101:卡盤臺
102:主軸部
103:卡盤銷部
110:驅動馬達部
112:旋轉軸部
120:傾斜單元
122:傾斜臂部
124:延伸臂部
125:被加壓部
130:升降單元
131:升降驅動部
132:升降液壓缸部
133:升降桿部
135:升降構件
136:升降板部
137:結合槽部
138:腿部
140:夾持單元
141:芯構件
143:起浮板
144:校正孔部
145:支撐部
146:引導孔部
151:凸輪連桿部
152:凸輪桿部
153:凸輪部
154:長孔部
155:連桿驅動部
155a:連桿液壓缸部
155b:連接桿部
156:鎖定部
157:滑動部
158:鎖定引導部
158a:引導軸部
158b:引導構件
158c:導輥部
159:鎖定銷部
160:位置校正單元
161:推力部
162:推力軸部
163:連結孔部
164:凸緣部
165:推力螺栓部
166:軸承部
168:彈性構件
168a:彈性主體部
168b:彈性環部
170:對接部
171:對接框架部
173:對接驅動部
175:對接加壓部
S1,S2:長度
H1:偏差
G1:移動距離
第1圖為根據本發明一實施例的基板處理裝置的側視圖。
第2圖為根據本發明一實施例的基板處理裝置旋轉到卡盤臺上側的狀態的側視圖。
第3圖為在根據本發明一實施例的基板處理裝置中，隨著升降單元使夾持單元下降，卡盤臺的卡盤銷部插入於密封圈部的固定孔部的狀態的側視圖。
第4圖為根據本發明一實施例的基板處理裝置的俯視圖。
第5圖為在根據本發明一實施例的基板處理裝置中夾持單元、位置校正單元和凸輪連桿部的立體圖。
第6圖為在根據本發明一實施例的基板處理裝置中夾持單元、位置校正單元和凸輪連桿部的俯視圖。
第7圖為在根據本發明一實施例的基板處理裝置中起浮板和鎖定部的後視圖。
第8圖為在根據本發明一實施例的基板處理裝置中鎖定部的放大圖。
第9圖為在根據本發明一實施例的基板處理裝置中，當鎖定部約束密封圈部時，起浮板依照結合偏差相應地向一側移動的狀態的剖面圖。
第10圖為在根據本發明一實施例的基板處理裝置中，當鎖定部約束密封圈部時，位置校正單元的推力部依照結合偏差相應地向一側移動的狀態的放大圖。
第11圖為在根據本發明一實施例的基板處理裝置中，當鎖定部解除密封圈部時，起浮板回歸原位的狀態的剖面圖。
第12圖為在根據本發明一實施例的基板處理裝置中，當鎖定部解除密封圈部時，位置校正單元的推力部回歸原位的狀態的放大圖。
在下文中，參照圖式說明根據本發明的基板處理裝置一實施例。在說明基板處理裝置的過程中，圖式中所繪示的線的厚度或構成要素的大小等，為了說明的清楚和方便而可以誇張地繪示出。另外，在下文中所使用的術語作為考慮到本發明中的功能而定義的術語，其會因使用者、應用者的意圖或慣例而不同。因此，對這種術語的定義應以本說明書上下文內容為基礎來定義。
第1圖為根據本發明一實施例的基板處理裝置的側視圖，第2圖為根據本發明一實施例的基板處理裝置旋轉到卡盤臺上側的狀態的側視圖，第3圖為在根據本發明一實施例的基板處理裝置中，隨著升降單元使夾持單元下降，卡盤臺的卡盤銷部插入於密封圈部的固定孔部的狀態的側視圖，第4圖為根據本發明一個實施例的基板處理裝置的俯視圖。
參照第1圖至第4圖，根據本發明一實施例的基板處理裝置100包含驅動馬達部110、傾斜單元120、升降單元130和夾持單元140。
在基板處理裝置100的下側安裝有卡盤臺101。卡盤臺101以可借助於卡盤驅動部(未繪示出)而旋轉的方式安裝。可以應用皮帶驅動方式、齒輪驅動方式等的馬達，以作為卡盤驅動部。
卡盤臺101以借助於主軸部102而旋轉的方式安裝於主軸部102的上側。在卡盤臺101上安放諸如環形框架晶片的基板(未繪示出)。在卡盤臺101的外周部凸出安裝有複數個卡盤銷部103，以便固定密封圈部20。
基板處理裝置100夾持密封圈部20並結合於卡盤臺101。在密封圈部20的外周部下側形成有複數個固定孔部24，以便當密封圈部20安放於卡盤臺101時插入於複數個卡盤銷部103。另外，在密封圈部20的外周部外側面形成有複數個約束槽部(未繪示出)，以便被夾持單元140夾持。複數個約束槽部與夾持 單元140的鎖定銷部159相向形成。密封圈部20對安放在卡盤臺101上的基板外周進行密封，以防止在處理基板時藥液滲入至基板外周和密封圈部20的內部。
驅動馬達部110配置於卡盤臺101的一側。驅動馬達部110安裝於底座部(未繪示出)的上側。可以應用能夠準確控制旋轉角度的步進馬達，以作為驅動馬達部110。
傾斜單元120以可旋轉的方式連接於驅動馬達部110的旋轉軸部112。在傾斜單元120中，以連接於驅動馬達部110的旋轉軸部112的方式形成有傾斜臂部122。傾斜臂部122在傾斜單元120形成有至少兩個以上。傾斜單元120在待機狀態下保持向上側豎立的狀態。在將密封圈部20結合於卡盤臺101的外周部時，驅動馬達部110使傾斜單元120向卡盤臺101上側水平旋轉。在傾斜單元120安裝有設置模組(未示出)，此設置模組能夠設置夾持單元140的水平方向初始位置，以使夾持單元140可以水平位於密封圈部20結合位置。
傾斜單元120的外側以合成樹脂材質形成。因此，可以防止傾斜單元120與諸如藥液的化學物質引起化學反應而被腐蝕或毀損。另外，傾斜單元120具有耐化學性，因而可以使用多樣種類的藥液，而無需根據藥液種類重新製作傾斜單元120。
升降單元130安裝於傾斜單元120。並且，升降單元130安裝於傾斜單元120的中心部。升降單元130的升降桿部133以穿過傾斜單元120中心部並移動的方式安裝。在傾斜單元120安裝有複數個升降引導部(未繪示出)，以便引導升降單元130的升降。
夾持單元140夾持密封圈部20，連接於升降單元130以便借助於升降單元130而升降。在基板安放於卡盤臺101之前，夾持單元140處於以夾持密封圈部20的狀態垂直配置的待機狀態。
基板安放於卡盤臺101後，隨著驅動馬達部110的驅動，傾斜單元120和夾持單元140水平旋轉。傾斜單元120和夾持單元140的旋轉完成後，隨著升降單元130的驅動，夾持單元140移動到傾斜單元120的下側。此時，傾斜單元120不與升降單元130一同下降而是依然保持水平狀態。
隨著夾持單元140的下降，密封圈部20安放於卡盤臺101。直至密封圈部20完全卡緊於卡盤臺101的卡緊模組時為止，夾持單元140保持借助於升降單元130而下降的狀態，以便繼續保持使密封圈部20結合於卡盤臺101的狀態。
在卡盤臺101中完成密封圈部20的結合後，隨著升降單元130的驅動，夾持單元140向上側移動，接觸傾斜單元120下側或稍稍隔開。夾持單元140完全移動到上側後，隨著驅動馬達部110的驅動，傾斜單元120和夾持單元140以垂直或幾乎垂直地豎立的待機狀態旋轉。
如上所述，傾斜單元120和夾持單元140借助於驅動馬達部110而旋轉，因而可以精密控制驅動馬達部110的旋轉角度，精密設置夾持單元140的高度(水平面)和密封圈結合位置。另外，夾持單元140和傾斜單元120初始設置於密封圈部20的結合位置。因此，可以顯著縮短設置夾持單元140的夾持位置的時間。
傾斜單元120以可旋轉的方式安裝於驅動馬達部110，因而當發生驅動馬達部110故障或停電等時，驅動馬達部110依然保持當前狀態。因此，可以在故障或停電時防止傾斜單元120和夾持單元140落下而碰撞卡盤臺101。
另外，驅動馬達部110使傾斜單元120和夾持單元140傾斜旋轉，因而可以減少驅動要素的安裝個數。因此，可以減少基板處理裝置100的製造費用。
基板處理裝置100進一步包含位置校正單元160，位置校正單元160以可遊動(起浮)的方式安裝於升降單元130和夾持單元140，以便在夾持單元140將密封圈部20結合於卡盤臺101時，校正夾持單元140的結合偏差。結合偏差意指當夾持單元140結合密封圈部20時，夾持單元140的鎖定銷部159與密封圈部20的約束槽部之間錯位的偏差。
夾持單元140借助於升降單元130而下降，在將密封圈部20結合於卡盤臺101時，密封圈部20的固定孔部24與卡盤臺101的卡盤銷部103稍稍錯位，因而會發生結合偏差。此時，位置校正單元160允許夾持單元140在結合偏差範圍內沿水平方向遊動。
夾持單元140借助於位置校正單元160而以可遊動的方式安裝於升降單元130，因而當夾持單元140在細微具有錯位狀態下將密封圈部20結合於卡盤臺101時，允許位置校正單元160校正夾持單元140的結合偏差。因此，藉由防止因密封圈部20與卡盤臺101的卡盤銷部103之間的結合偏差導致的磨損，可以防止在卡盤銷部103和密封圈部20產生異物。另外，可以防止異物進入在夾持單元140和密封圈部20的下部處理的基板，因而可以最大限度地減少基板汙染或不良的發生。
升降單元130包含升降驅動部131和升降構件135。
升降驅動部131安裝於傾斜單元120。升降驅動部131包含升降液壓缸部132和以可升降的方式安裝於升降液壓缸部132的升降桿部133。升降構件 135固定在升降桿部133的下側。如果流體流入升降液壓缸部132，則升降桿部133向下側移動，如果流體從升降液壓缸部132排出，則升降桿部133向上側移動。
升降構件135連接於升降驅動部131和夾持單元140以便借助於升降驅動部131而升降，並安裝有位置校正單元160以便夾持單元140遊動。升降構件135包含：升降板部136，升降板部136從夾持單元140隔開安裝；以及，複數個腿部138，複數個腿部138在升降板部136的外周部向下側凸出延伸。在升降板部136的中心部形成有結合槽部137，以使升降驅動部131的升降桿部133結合。複數個腿部138在四邊形板形態的升降板部136的邊角部形成。且複數個腿部138接觸夾持單元140。位置校正單元160的一部分安裝於腿部138。由於位置校正單元160的一部分安裝於腿部138，因而夾持單元140可以借助於位置校正構件而依照結合偏差相應地遊動及起浮。升降構件135借助於升降驅動部131而上下移動，但當夾持單元140遊動及起浮時，仍保持其固定於升降驅動部131的狀態。
夾持單元140包含芯構件141、起浮板143、複數個凸輪連桿部151、連桿驅動部155和鎖定部156。
芯構件141配置於升降構件135的下側。芯構件141與升降構件135的下側面部隔開，配置於升降構件135的中心部。在芯構件141的外周部，呈輻射狀凸出形成有複數個芯肋(未繪示出)。芯構件141沿起浮板143的圓周方向以可旋轉既定角度的方式安裝。
第5圖為在根據本發明一實施例的基板處理裝置中夾持單元、位置校正單元和凸輪連桿部的立體圖，第6圖為在根據本發明一實施例的基板處理裝置中夾持單元、位置校正單元和凸輪連桿部的俯視圖，第7圖為在根據本發明 一實施例的基板處理裝置中起浮板和鎖定部的後視圖，第8圖為在根據本發明一實施例的基板處理裝置中鎖定部的放大圖。
參照第5圖至第8圖，起浮板143結合於芯構件141的下側，並連接於位置校正單元160。起浮板143以與卡盤臺101相向的方式以圓板形態形成。起浮板143以接觸升降構件135的腿部138的方式安裝。在起浮板143的外周部貫通形成有引導孔部146，以便在凸輪連桿部151旋轉時，鎖定部156沿起浮板143的半徑方向進行直線運動。
複數個凸輪連桿部151呈輻射狀連接於芯構件141。凸輪連桿部151分別連接於芯構件141的芯肋。凸輪連桿部151藉由複數個連結螺栓(未繪示出)固定於芯肋。凸輪連桿部151以直線形板形態形成。
連桿驅動部155連接於凸輪連桿部151和起浮板143以使凸輪連桿部151移動。連桿驅動部155的一側固定於起浮板143，連桿驅動部155的另一側連接於一個凸輪連桿部151。連桿驅動部155包含連桿液壓缸部155a和連接桿部155b，連接桿部155b以可移動的方式安裝於連桿液壓缸部155a。隨著流體流入連桿液壓缸部155a，連接桿部155b從連桿液壓缸部155a伸出，隨著流體從連桿液壓缸部155a排出，連接桿部155b進入連桿液壓缸部155a。
鎖定部156分別安裝於凸輪連桿部151，當凸輪連桿部151移動時，鎖定及解鎖密封圈部20。鎖定部156將複數個凸輪連桿部151中的每一個連接於起浮板143的外周部。
芯構件141在連桿驅動部155驅動時，與複數個凸輪連桿部151一同旋轉。也就是說，隨著連桿驅動部155的驅動，連接於連桿驅動部155的一個凸輪連桿部151以起浮板143的中心部為中心旋轉預定角度。隨著一個凸輪連桿 部151轉換預定角度，芯構件141沿起浮板143的圓周方向旋轉，因而複數個凸輪連桿部151同時沿圓周方向旋轉預定角度。隨著複數個凸輪連桿部151的旋轉，複數個鎖定部156同時鎖定及解鎖密封圈部20以夾持密封圈部20。此時，起浮板143以推力部161為中介連接於升降構件135，因而起浮板143不旋轉。
凸輪連桿部151包含：凸輪桿部152，凸輪桿部152呈輻射狀連接於芯構件141；以及，凸輪部153，凸輪部153連接於凸輪桿部152，並形成有長孔部154以便鎖定部156進行移動。此時，凸輪部153以板狀形成，長孔部154相對於凸輪部153的旋轉半徑傾斜地形成。連桿驅動部155的連接桿部155b連接於凸輪桿部152。隨著連桿驅動部155的驅動，凸輪桿部152和凸輪部153旋轉預定角度。隨著凸輪部153的旋轉，鎖定部156在沿長孔部154移動的同時沿起浮板143的半徑方向進行直線運動，因而借助於鎖定部156的直線運動，可以鎖定及解鎖密封圈部20。
鎖定部156包含：滑動部157，滑動部157以可移動的方式結合於長孔部154；鎖定引導部158，鎖定引導部158連接於滑動部157，以便當滑動部157移動時進行直線移動；以及，鎖定銷部159，鎖定銷部159安裝於鎖定引導部158，以便當鎖定引導部158移動時鎖定及解鎖密封圈部20。滑動部157是滾動接觸長孔部154的滑動輥。鎖定引導部158以可直線移動的方式安裝於在起浮板143外周部形成的引導孔部146。鎖定銷部159從鎖定引導部158的內側凸出延伸。鎖定銷部159的端部以圓錐形等多樣形態形成，以便插入於密封圈部20的約束槽部。
鎖定引導部158包含：引導軸部158a，引導軸部158a連接於滑動部157，以可移動的方式安裝於起浮板143的引導孔部146；引導構件158b，引導構 件158b連接於引導軸部158a，供鎖定銷部159安裝；以及，複數個導輥部158c，複數個導輥部158c以支撐引導構件158b兩側的方式安裝。引導軸部158a與滑動部157軸結合，引導構件158b以矩形板形態形成，導輥部158c在引導構件158b的兩側配置2個以上。在導輥部158c的外周部形成有插入槽部(未繪示出)，以便引導構件158b的側面部插入。隨著連桿驅動部155使凸輪連桿部151移動，滑動部157和引導軸部158a沿半徑方向進行直線運動，隨著引導軸部158a的移動，引導構件158b沿引導孔部146進行運動。此時，導輥部158c在引導構件158b移動時旋轉並支撐引導構件158b。
鎖定部156的長孔部154在起浮板143的圓周方向上傾斜地形成，滑動部157插入於長孔部154，引導軸部158a插入於直線形的引導孔部146。因此，隨著凸輪連桿部151向一側旋轉，滑動部157和引導軸部158a移動到長孔部154的一端部側後，引導構件158b移動到起浮板143的中心部側，因而鎖定銷部159插入於密封圈部20的約束槽部以鎖定(夾持)密封圈部20。另外，隨著凸輪連桿部151向另一側旋轉，滑動部157和引導軸部158a移動到長孔部154的另一端部側後，引導構件158b移動到起浮板143的外側，因而鎖定銷部159從密封圈部20的約束槽部分離以解鎖(解除)密封圈部20。
第9圖為在根據本發明一實施例的基板處理裝置中，當鎖定部約束密封圈部時，起浮板依照結合偏差相應地向一側移動的狀態的剖面圖，第10圖為在根據本發明一實施例的基板處理裝置中，當鎖定部約束密封圈部時，位置校正單元的推力部依照結合偏差相應地向一側移動的狀態的放大圖，第11圖為在根據本發明一實施例的基板處理裝置中，當鎖定部解除密封圈部時，起浮板回歸原位的狀態的剖面圖，第12圖為在根據本發明一實施例的基板處理裝置 中，當鎖定部解除密封圈部時，位置校正單元的推力部回歸原位的狀態的放大圖。
參照第9圖至第12圖，位置校正單元160包含推力部161和彈性構件168。
推力部161連接於升降構件135和起浮板143，以便當密封圈部20鎖定時，使起浮板143依照結合偏差相應地遊動。推力部161以連接於起浮板143的方式在升降構件135的外周部安裝有複數個。推力部161借助於拉伸力來支撐起浮板143。
彈性構件168安裝於芯構件141，其向起浮板143施加彈力，以便當密封圈部20解鎖時起浮板143回歸原位。彈性構件168在芯構件141的外周部形成複數個，以便對起浮板143彈性加壓。
因此，在夾持單元140或密封圈部20具有細微錯位的狀態下，當密封圈部20的固定孔部24插入於卡盤臺101的卡盤銷部103時，推力部161允許起浮板143和芯構件141依照結合偏差相應地遊動。因此，可以防止密封圈部20因與卡盤銷部103之間的結合偏差而被磨損，從而可以防止在密封圈部20和卡盤銷部103產生異物。另外，可以防止異物流入在夾持單元140和密封圈部20的下部進行處理的基板，因而可以最大限度減少基板汙染或不良的發生。
推力部161包含：推力軸部162，推力軸部162連結於升降構件135，且以隔開方式安裝於起浮板143的校正孔部144；以及，軸承部166，軸承部166以與推力軸部162的外側面隔開的方式插入於推力軸部162。
在推力軸部162上形成有連結孔部163，以便推力螺栓部165插入。在推力軸部162上形成有凸緣部164，以便支撐軸承部166。推力軸部162的 外徑形成得小於軸承部166的內徑。軸承部166插入於推力軸部162並支撐起浮板143。當起浮板143在推力軸部162遊動時，軸承部166在起浮板143遊動(起浮)時，在推力軸部162的凸緣部164依照結合偏差相應地移動。因此，即使推力軸部162固定於升降構件135，由於推力軸部162在軸承部166內部遊動，可以消除密封圈部20的約束槽部與卡盤臺101的卡盤銷之間的結合偏差。
彈性構件168可以是沿起浮板143的平面方向施加拉伸力的拉伸彈簧。彈性構件168包含：彈性主體部168a，彈性主體部168a固定於芯構件141的芯肋之間；以及，彈性環部168b，彈性環部168b從彈性主體部168a延伸。彈性環部168b對從起浮板143向上側凸出的支撐部145施加彈性(拉伸力)。因此，彈性構件168沿起浮板143的平面方向施加拉伸力，因而即使起浮板143重量增加，起浮板143也可以順利回歸原位。
當在密封圈部20的約束槽部與卡盤臺101的卡盤銷之間不發生結合偏差時，即使密封圈部20隨著起浮板143的下降而結合於卡盤銷部103，起浮板143與升降構件135的垂直方向中心部也保持一致。
相反地，當在密封圈部20的約束槽部與卡盤臺101的卡盤銷之間發生結合偏差時，在密封圈部20隨著起浮板143的下降而結合於卡盤銷部103時，起浮板143沿水平方向依照結合偏差相應地移動，因而結合偏差H1得到校正(參照第9圖和第10圖)。此時，一側的彈性構件168的長度S1依照結合偏差相應地減小，另一側的彈性構件168的長度S2依照結合偏差相應地增加(S1<S2)。在第10圖中，移動距離G1意指起浮板143依照結合偏差相應地向一側移動的距離。
另外，當在密封圈部20的約束槽部與卡盤臺101的卡盤銷之間發生結合偏差時，在鎖定部156解鎖(解除)密封圈部20時，起浮板143借助於彈性構 件168的彈力而回歸原位，因而起浮板143與升降構件135的垂直方向中心部再次保持一致。此時，一側的彈性構件168的長度S1恢復為與另一側的彈性構件168的長度S2相同(S1=S2)。
另外，複數個彈性構件168在升降構件135的外周部安裝有複數個，因而如果起浮板143向一側遊動，則一側的彈性構件168沿長度方向收縮，另一側的彈性構件168沿長度方向拉伸。
第1圖為根據本發明一實施例的基板處理裝置的側視圖，第2圖為根據本發明一實施例的基板處理裝置旋轉到卡盤臺上側的狀態的側視圖，第3圖為在根據本發明一實施例的基板處理裝置中，隨著升降單元使夾持單元下降，卡盤臺的卡盤銷部插入於密封圈部的固定孔部的狀態的側視圖。
再次參照第1圖至第3圖，基板處理裝置100進一步包含對接部170，對接部170以可移動的方式安裝於卡盤臺101的一側，以便在密封圈部20結合固定於卡盤臺101時，防止傾斜單元120翹起。對接部170安裝於對接框架部171。傾斜單元120包含從傾斜單元120延伸的延伸臂部124、以及安裝於延伸臂部124端部的被加壓部125。被加壓部125形成有由下側朝向對接部170凸出的被加壓肋。
因此，對接部170約束傾斜單元120的被加壓部125，以便防止傾斜單元120翹起，因而當夾持單元140在借助於升降單元130而下降的同時將密封圈部20結合於卡盤臺101時，可以防止密封圈部20發生位置變更。進一步地，藉由防止密封圈部20的固定孔部24和卡盤銷部103的磨損，能夠防止發生異物的產生。
對接部170包含：對接驅動部173，對接驅動部173安裝於對接框架部171；對接加壓部175，對接加壓部175借助於對接驅動部173而移動，以便約束傾斜單元120。對接驅動部173以能夠沿前後及上下方向移動的方式安裝，以便在傾斜單元120借助於升降單元130而完全下降後，將傾斜單元的被加壓部125向下側加壓。只要能夠使對接加壓部175移動並約束傾斜單元120，對接驅動部173可以應用多樣形態。
本發明以圖式中所繪示出的實施例為參考進行了說明，但這只是例示性的示例而已，所屬技術領域具有通常知識者可以理解的是，可以由此導出多樣的變形及等效的其他實施例。
因此，本發明真正的技術保護範圍應根據發明申請專利範圍確定。
20:密封圈部
24:固定孔部
100:基板處理裝置
101:卡盤臺
102:主軸部
103:卡盤銷部
110:驅動馬達部
112:旋轉軸部
120:傾斜單元
122:傾斜臂部
124:延伸臂部
125:被加壓部
130:升降單元
131:升降驅動部
132:升降液壓缸部
133:升降桿部
135:升降構件
140:夾持單元
143:起浮板
156:鎖定部
170:對接部
171:對接框架部
173:對接驅動部

Claims (12)

  1. 一種基板處理裝置，其包含：一驅動馬達部；一傾斜單元，該傾斜單元以可旋轉的方式連接於該驅動馬達部；一升降單元，該升降單元安裝於該傾斜單元；一夾持單元，該夾持單元夾持一密封圈部，且連接於該升降單元以便借助於該升降單元而升降；以及一對接部，該對接部以可移動的方式安裝於一卡盤臺的一側，以便當該密封圈部結合固定於該卡盤臺時防止該傾斜單元翹起。
  2. 如請求項1所述之基板處理裝置，其進一步包含一位置校正單元，該位置校正單元以可遊動的方式安裝於該升降單元和該夾持單元，以便當該夾持單元將該密封圈部結合於一卡盤臺時校正該夾持單元的結合偏差。
  3. 如請求項2所述之基板處理裝置，其中該升降單元包含：一升降驅動部，該升降驅動部安裝於該傾斜單元；以及一升降構件，該升降構件連接於該升降驅動部和該夾持單元，以便借助於該升降驅動部而升降，並安裝有該位置校正單元以使該夾持單元遊動。
  4. 如請求項3所述之基板處理裝置，其中該夾持單元包含：一芯構件，該芯構件配置於該升降構件的下側； 一起浮板，該起浮板結合於該芯構件的下側，並連接於該位置校正單元；複數個凸輪連桿部，該複數個凸輪連桿部呈輻射狀連接於該芯構件；一連桿驅動部，該連桿驅動部連接於該凸輪連桿部和該起浮板，以使該凸輪連桿部移動；及一鎖定部，該鎖定部分別安裝於該凸輪連桿部，當該凸輪連桿部移動時鎖定及解鎖該密封圈部。
  5. 如請求項4所述之基板處理裝置，其中該芯構件在該連桿驅動部驅動時，與該複數個凸輪連桿部一同旋轉。
  6. 如請求項4所述之基板處理裝置，其中該凸輪連桿部包含：一凸輪桿部，該凸輪桿部呈輻射狀連接於該芯構件；以及一凸輪部，該凸輪部連接於該凸輪桿部，且形成有一長孔部以便該鎖定部移動。
  7. 如請求項6所述之基板處理裝置，其中該長孔部相對於該凸輪部的旋轉半徑傾斜地形成。
  8. 如請求項6所述之基板處理裝置，其中該鎖定部包含：一滑動部，該滑動部以可移動的方式結合於該長孔部；一鎖定引導部，該鎖定引導部結合於該滑動部，以便當該滑動部移動時進行直線移動；以及一鎖定銷部，該鎖定銷部安裝於該鎖定引導部，以便當該鎖定引導部移動時鎖定及解除該密封圈部。
  9. 如請求項8所述之基板處理裝置，其中該鎖定引導部包含： 一引導軸部，該引導軸部連接於該滑動部，且以可移動的方式安裝於該起浮板的一引導孔部；一引導構件，該引導構件連接於該引導軸部，且安裝有該鎖定銷部；以及複數個導輥部，該複數個導輥部以支撐該引導構件兩側的方式安裝。
  10. 如請求項4所述之基板處理裝置，其中該位置校正單元包含：一推力部，該推力部連接於該升降構件與該起浮板，以便當該密封圈部鎖定時該起浮板依照結合偏差相應地遊動；以及一彈性構件，該彈性構件安裝於該芯構件，且對該起浮板施加彈力，以便當該密封圈部解鎖時該起浮板回歸原位。
  11. 如請求項10所述之基板處理裝置，其中該推力部包含：一推力軸部，該推力軸部連結於該升降構件，且以隔開方式安裝於該起浮板的一校正孔部；以及一軸承部，該軸承部以與該推力軸部外側面隔開的方式插入於該推力軸部。
  12. 如請求項1所述之基板處理裝置，其中該對接部包含：一對接驅動部，該對接驅動部安裝於一對接框架部；以及一對接加壓部，該對接加壓部借助於該對接驅動部而移動，以便約束該傾斜單元。
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