TWI787653B - 傾擺控制裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明涉及一種傾擺控制裝置，包括：傾擺單元，以第一旋轉中心為基準以能夠轉動的方式配置於前方的安裝位置和後方的等待位置；升降單元，結合於所述傾擺單元的下部，在所述傾擺單元朝向所述安裝位置轉動定位時，所述升降單元能夠朝向所述安裝位置和所述升降單元的下部的組裝位置升降；以及保持單元，能夠以鎖定或解鎖操作的方式結合於所述升降單元，並且所述保持單元的位於所述升降單元的下部的鎖定部件以第二旋轉中心為基準在徑向方向上以能夠聯動的方式配置。

Description

傾擺控制裝置
本發明涉及一種傾擺(tilting)控制裝置，更為詳細地，涉及不發生結合誤差(歪斜等)，且能夠減少因結合部位的損傷和衝擊所產生的顆粒(Particle)的一種傾擺控制裝置。
通常，在半導體製程中，對晶圓(wafer)執行蝕刻和清洗製程等，在蝕刻或清洗晶圓的製程中使用卡盤工作臺(Chuck Table)。在對晶圓進行清洗的卡盤工作臺的上部安放有晶圓，並在旋轉台的邊緣區域結合有環形的密封環，並向安放於旋轉台的晶圓供應處理液。卡盤工作臺的邊緣側的上部安裝有複數個固定銷，密封環的下部形成有固定槽，以使得固定銷對應插入，卡盤工作臺的上部結合密封環時，使得固定銷垂直地插入固定槽。但是，在現有的卡盤工作臺上結合密封環時，由於是真空吸附式，不存在固定銷和固定槽，從而發生過大量的安裝錯誤。
作為本發明相關的現有技術文獻，有韓國公開專利第10-2016-0122067號(2016年10月21日)，所述現有技術文獻公開了一種晶圓處理裝置及用於晶圓處理裝置的密封環。
本發明的目的在於提供一種與密封環不發生結合誤差(歪斜等)的傾擺控制裝置。
此外，本發明的目的在於提供一種即使在密封環和工作臺之間發生結合誤差，也能夠實現機械偏差補償的傾擺控制裝置。
根據本發明的傾擺控制裝置包括：包括：傾擺單元，以能夠將第一旋轉中心作為基準轉動的方式配置於前方的安裝位置和後方的等待位置；升降單元，結合於所述傾擺單元的下部，在所述傾擺單元朝向所述安裝位置轉動定位時，所述升降單元能夠朝向所述安裝位置和所述安裝位置的下部的組裝位置升降；以及保持單元，能夠以鎖定或解鎖操作的方式結合於所述升降單元，並且所述保持單元的位於所述升降單元的下部的鎖定部件以第二旋轉中心為基準在徑向方向上以能夠聯動的方式配置。
在進行鎖定操作時，所述保持單元在使密封環位於所述升降單元的下部的狀態下使得所述鎖定部件朝向鎖定位置移動，從而對所述密封環的側面進行加壓支承，並且在進行解鎖操作時，所述保持單元使得所述鎖定部件朝向解鎖位置移動，從而與所述密封環分離而定位。
所述傾擺單元包括：支承台，固定結合於設置面；轉動架，所述轉動架的後端以能夠將所述支承台的第一旋轉中心作為基準朝向所述安裝位置和所述等待位置轉動的方式結合，所述升降單元以能夠升降的方式結合於所述轉動架的下部有；第一轉動驅動部，設置於所述支承台，使得所述轉動架朝向所述安裝位置和所述等待位置轉動。
所述升降單元包括：上部升降架，配置於所述轉動架的下部，所述上部升降架的向上部凸出的導樑以能夠升降的方式貫通結合於形成於所述轉動架的升降孔；升降驅動部，垂直地結合於所述轉動架，並且朝向所述升降驅動部的下部出入的連桿結合於所述上部升降架；以及下部升降架，結合於所述上部升降架的下部，並且所述下部升降架設置為所述鎖定部件能夠沿著所述下部升降架的下部邊緣移動。
所述轉動架的下部可以包括旋轉軸，所述旋轉軸以固定方式貫通結合於所述上部升降架和所述下部升降架，從而形成第二旋轉中心。在此，在所述下部升降架的內部還可以包括：軸插入槽，供所述旋轉軸的下端垂直插入；以及環形的軸承，結合於所述軸插入槽的內部，將所述旋轉軸的下端支承為能夠水平旋轉。此外，所述軸承的內周面可以具有比所述旋轉軸的直徑更大的直徑，以便所述下部升降架能夠按照設定距離向側方移動。此外，所述升降單元還包括位置調節單元，在所述升降單元朝向所述組裝位置下降而定位的過程中，當密封環發生組裝位置偏差時，所述位置調節單元使得所述下部升降架向側方移動，從而補償偏差，並且在所述升降單元朝向所述安裝位置上升時，使得所述下部升降架恢復至原來的位置。
所述位置調節單元包括：設置槽，形成於所述下部升降架的內部；彈性部件，插入於所述設置槽的內部，從而在上下方向上作用壓縮彈力；球形的球部件，被所述彈性部件的上端彈性支承為能夠升降；位置調節槽，凹陷形成於所述上部升降架的下表面，所述球部件的上端與所述位置調節槽的內部彈性接觸，並且隨著朝向所述位置調節槽的上端的最小直徑部去直徑逐漸變小。
所述保持單元包括：凸輪盤，被配置為能夠在所述上部升降架和所述下部升降架之間以第二旋轉中心為基準向鎖定方向或解鎖方向轉動，並且所述凸輪盤在徑向方向上下貫通形成有導孔；以及第二轉動驅動部，設置於所述下部升降架，使得所述凸輪盤向鎖定位置或解鎖位置轉動。
此外，所述鎖定部件包括：導向軸，所述導向軸的上端以能夠滑動的方式插入於所述導孔，並且所述導向軸的下端通過貫通孔向所述下部升降架的下部暴露，所述貫通孔形成於所述下部升降架的邊緣；鎖定銷，以連接於所述導向軸的下端的狀態從所述下部升降架的下部向鎖 定位置或解鎖位置移動；以及導輥，以能夠水平旋轉的方式結合於所述下部升降架的下表面，在與所述鎖定銷的移動方向成直角的方向上進行支承。
此外，本發明包括：包括：第一流路，以連接流體供應部的方式形成於所述下部升降架的內部；第二流路，以朝向上部貫通的方式形成於密封環的內部；以及複數個噴射孔，從所述第二流路的下部延伸並朝向下部貫通。從所述流體供應部所供應的用於去除藥液的流體在通過所述第一流路和所述第二流路後可以通過所述噴射孔向下噴射，並且在所述密封環安裝於所述升降架時，所述第一流路和所述第二流路可以構成為相互連接。
本發明在密封環安裝時，在凸輪盤(cam plate)旋轉的同時，使得複數個鎖定銷同時驅動至與密封環的結合位置，因此可以降低密封環的結合誤差(歪斜等)。
此外，本發明在使得安裝完成的密封環與基板處理裝置的固定銷結合時，補償通過位置調節單元組裝時所產生的偏差，從而能夠精密地排列密封環的固定槽和卡盤工作臺的固定銷。
此外，本發明因為補償密封環的固定槽與卡盤工作臺的固定銷間的偏差，所以即使密封環和工作臺之間發生結合誤差，也能夠實現機械偏差補償。
10:卡盤工作臺
11:固定銷
20:密封環
21:固定槽
100:傾擺單元
110:支承台
120:轉動架
121:升降孔
122:旋轉軸
130:第一轉動驅動部
200:升降單元
210:上部升降架
211:導樑
220:升降驅動部
230:下部升降架
231:軸插入槽
232:軸承
233:貫通孔
300:保持單元
310:凸輪盤
311:導孔
320:第二轉動驅動部
330:鎖定部件
331:導向軸
332:鎖定銷
332a:加壓端
332b:導向凸起
333:導輥
333a:導向槽
400:位置調節單元
410:設置槽
420:彈性部件
430:球部件
440:位置調節槽
441:最小直徑部
510:流體供應部
520:第一流路
530:第二流路
540:噴射孔
C1:第一旋轉中心
C2:第二旋轉中心
G:間隔
G1:偏差
L:流體
圖1是表示根據本發明的一個實施例的傾擺控制裝置的主視圖。
圖2是表示根據本發明的一個實施例的傾擺控制裝置的側視圖。
圖3是表示根據本發明的一個實施例的傾擺控制裝置的俯視圖。
圖4是表示根據本發明的一個實施例的傾擺控制裝置的仰視圖。
圖5是詳細表示根據本發明的一個實施例的傾擺控制裝置的升降單元和保持單元的俯視圖。
圖6是詳細表示根據本發明的一個實施例的傾擺控制裝置的升降單元和保持單元的仰視圖。
圖7是詳細表示根據本發明的一個實施例的傾擺控制裝置的鎖定部件的仰視圖。
圖8是表示根據本發明的一個實施例的傾擺控制裝置的位置調節單元的圖。
圖9是表示根據本發明的一個實施例的傾擺控制裝置的位置調節單元的球部件從安裝槽的最小直徑部至側方向下移動的狀態的圖。
圖10是表示在根據本發明的一個實施例的傾擺控制裝置中，從流體供應部通過第一流路和第二流路供應用於去除藥液的流體，並通過噴射孔噴射用於去除藥液的流體的狀態。
以下，參照附圖，對本發明的實施例進行詳細說明。本發明的優點及特點、以及實現它們的方法參照實施例而更加明確，所述實施例將結合附圖在下文詳細敘述。但是，本發明並非限定於以下所公開的實施例，而能夠以互不相同的多種形態實現，本實施例的提供只是為了使得本發明的公開更加完整，為了使得本發明所屬技術領域內具有通常知識者，完整瞭解發明的範圍，本發明僅根據申請專利範圍的限定來定義。此外，在對本發明進行說明的過程中，如果相關的習知技術等被判定為有可能模糊本發明的主旨，此時將省略與其相關的詳細說明。
圖1是表示根據本發明的一個實施例的傾擺控制裝置的主視圖，圖2是表示根據本發明的一個實施例的傾擺控制裝置的側視圖，圖3是表示根據本發明的一個實施例的傾擺控制裝置的俯視圖。此外，圖4是表示根據本發明的一個實施例的傾擺控制裝置的仰視圖，圖5是詳細表示根據 本發明的一個實施例的傾擺控制裝置的升降單元和保持單元的俯視圖，圖6是詳細表示根據本發明的一個實施例的傾擺控制裝置的升降單元和保持單元的仰視圖。此外，圖7是詳細表示根據本發明的一個實施例的傾擺控制裝置的鎖定部件的仰視圖，圖8是表示根據本發明的一個實施例的傾擺控制裝置的位置調節單元的圖，圖9是表示根據本發明的一個實施例的傾擺控制裝置的位置調節單元的球部件從安裝槽的最小直徑部至側方向下移動的狀態的圖。此外，圖10是表示在根據本發明的一個實施例的傾擺控制裝置中，從流體供應部通過第一流路和第二流路供應用於去除藥液的流體，並通過噴射孔噴射用於去除藥液的流體的狀態。
根據本發明的一個實施例的傾擺控制裝置為了使得環形的密封環20結合於卡盤工作臺10的上部，在卡盤工作臺10的邊緣側的上端垂直地安裝有複數個固定銷11，密封環20的邊緣側的下端形成有複數個固定槽21，以便與卡盤工作臺10的上部結合時供固定銷11對應插入。
如圖1至圖10所示，根據本發明的一個實施例的傾擺控制裝置包括傾擺單元100、升降單元200、保持單元(holding unit)300。
傾擺單元100使得升降單元200和保持單元300水平地定位在前方的安裝位置，或者轉動至後方的等待位置。如圖1至圖4所示，傾擺單元100包括支承台110、轉動架120、第一轉動驅動部130。
支承台110的下端通過緊固部件能夠固定於設置面，支承台110的上端能夠以能夠轉動的方式結合有轉動架120。
轉動架120的後端以支承台110的第一旋轉中心C1為基準可以朝向前方的安裝位置和後方的等待位置以能夠轉動的方式結合。在本實施例中，以第一旋轉中心C1為水平旋轉中心為例進行說明。其中，轉動架120朝向前方的安裝位置轉動時能夠水平地設置，並且朝向後方的等待位置轉動時能夠垂直地設置。當然，轉動架120朝向後方的等待位置轉 動時，能夠傾斜設置於前方或後方，或者能夠水平設置於後方。作為一個實施例，轉動架120上下貫通形成有複數個升降孔121，以便供後述的升降單元200的導樑(guide beam)211對應插入。
轉動架120的下部固定結合有後述的上部升降架210，並且在轉動架120的下部垂直凸出有形成第二旋轉中心C2的旋轉軸122。在本實施例中，以第二旋轉中心C2為垂直旋轉中心為例進行說明。
旋轉軸122的下端可以通過後述的上部升降架210以固定方式貫通結合於下部升降架230。
第一轉動驅動部130設置於支承台110，使得轉動架120朝向安裝位置和等待位置轉動，第一轉動驅動部130可以使用利用從外部供應的流體的壓力的驅動件。其中，第一轉動驅動部130的一端能夠以在前後方向能夠轉動的方式連接於支承台110，在朝向相反的另一端出入的連桿(rod)能夠以在前後方向能夠轉動的方式連接於轉動架120。
升降單元200作為可升降地結合於傾擺單元100的下部的結構，在傾擺單元100朝向安裝位置轉動定位時，升降單元200能夠朝向安裝位置和下部的組裝位置升降。更為詳細地，升降單元200可包括上部升降架210、升降驅動部220、以及下部升降架230。
上部升降架210配置於轉動架120的下部，所述上部升降架210的向上部凸出的導樑211以能夠升降的方式貫通結合於升降孔121。其中，上部升降架210的上端能夠結合於轉動架120的下端，在上部升降架210上能夠上下貫通形成有中空，以便結合有旋轉軸122。
升降驅動部220為了使得上部升降架210升降，可以使用利用從外部供應的流體的壓力的驅動件。升降驅動部220能夠垂直結合於轉動架120，朝向升降驅動部220的下端出入的連桿通過轉動架120的下端能夠結合於上部升降架210。
下部升降架230結合於上部升降架210的下部，下部升降架230的邊緣能夠以形成圓周的方式具有環形。下部升降架230的內部能夠以固定寬度形成有軸插入槽231，以便供旋轉軸122的下端垂直插入。
軸插入槽231能夠向上部貫通，以便能夠供旋轉軸122的下端插入，並且軸插入槽231能夠形成於下部升降架230的中心位置。軸插入槽231的內部可以結合有環形的軸承232，軸承232旋轉軸122的下端支承為能夠水平旋轉。作為一個實施例，軸承232的內周面具有比旋轉軸122的直徑更大的直徑，以便下部升降架230能夠按照設定距離向側方移動。此時，軸承232的中空和旋轉軸122之間能夠形成有固定移動的間距G，以便能夠使得軸承232與下部升降架230向側方移動。
軸承232的中空和旋轉軸122之間所形成的間距G是用於執行後述的位置調節單元400的偏差補償功能的空間。
此外，在下部升降架230的邊緣上下貫通形成有貫通孔233。貫通孔233能夠供後述的導向軸331垂直貫通。貫通孔233可以具有長孔形狀，所述長孔形狀在後述的凸輪盤310的第二旋轉中心C2方向上具有長度，以便使得後述的導向軸331能夠向鎖定或解鎖方向移動。
保持單元300為了保持密封環20，能夠以鎖定(Locking)或解鎖(Unlocking)操作的方式結合於升降單元200。在進行鎖定操作時，這樣的保持單元300使密封環20位於升降單元200的下部的狀態下對密封環20的側面進行加壓支承，並且在進行解鎖操作時，解除對密封環20的加壓。
在本實施例中，保持單元300以可以與升降單元200一起升降的方式結合，包括凸輪盤310、第二轉動驅動部320、鎖定部件330。
凸輪盤310被配置為在上部升降架210和下部升降架230之間以第二旋轉中心C2為基準，能夠向鎖定或解鎖方向轉動。凸輪盤310在徑向方向上下貫通形成有導孔311，導孔311能夠沿著半徑方向等間距形成。 導孔311具有長孔形狀，所述長孔形狀具有沿著凸輪盤310的第二旋轉中心C2和半徑方向傾斜的長度。凸輪盤310能夠以第二旋轉中心C2為中心在徑向方向上凸出有複數個延伸部，並可以在延伸部的延伸末端形成有導孔311。這樣的導孔311作為供後述的導向軸331的上端垂直插入的空間，能夠與前述的下部升降架230的貫通孔233位於相同的線上。
第二轉動驅動部320設置於下部升降架230，使得凸輪盤310向鎖定位置或解鎖位置轉動。其中，第二轉動驅動部320可以使用利用從外部供應的流體的壓力的驅動件，並且第二轉動驅動部320的數量可以使用複數個。此外，第二轉動驅動部320能夠在凸輪盤310的轉動方向上水平設置，基於通過一端出入的連桿，使得凸輪盤310能夠朝向鎖定方向或解鎖方向轉動。此時，第二轉動驅動部320的一端能夠以水平轉動的方式連接於下部升降架230，朝向相反的另一端出入的連桿能夠連接於凸輪盤310。與此不同，第二轉動驅動部320的一端能夠以水平轉動的方式連接於凸輪盤310，朝向相反的另一端出入的連桿也可連接於下部升降架230。
鎖定部件330為了使得密封環20鎖定或解鎖，包括導向軸331、鎖定銷332、導輥333。
導向軸331的上端垂直插入導孔311，導向軸331的下端通過貫通孔233向下部延伸，從而向下部升降架230的下部垂直暴露。導向軸331的上端沿著導孔311的長度方向傾斜滑動的同時，能夠沿著貫通孔233的長度方向移動。此時，導向軸331在向鎖定方向或解鎖方向移動的過程中，通過貫通孔233的寬度方向導向，因此導向軸331可以不晃動而移動。換句話說，導向軸331位於貫通孔233的長度方向側一端時，後述的鎖定銷332移動至鎖定位置，導向軸331位於貫通孔233的相反另一端時，後述的鎖定銷332能夠移動至解鎖位置。在凸輪盤向鎖定方向轉動時，如此的導向軸331掛接定位於導孔311的長度方向側兩端中凸輪盤 310的第二旋轉中心C2方向。相反地，在凸輪盤310向解鎖方向上轉動時，導向軸331掛接定位於導孔311的長度方向側兩端中的凸輪盤310的半徑方向。
鎖定銷332以連接於導向軸331的下端的狀態，可以從下部升降架230的下部向鎖定位置或解鎖位置移動。在此，鎖定銷332能夠沿著凸輪盤310的第二旋轉中心C2方向具有長度，並且鎖定銷332的長度方向側一端可以凸出形成有加壓端332a。
在使密封環20安裝於下部升降架230的下部的情形下，加壓端332a是水平緊貼或凹凸對應插入密封環20的側面的部分。其中，加壓端332a可以具有朝向凸輪盤310的第二轉動中心C2方向去直徑逐漸變小的圓錐形狀。例如，通過導向軸331使得鎖定銷332向鎖定方向或解鎖方向移動，所述導向軸331通過前述的凸輪盤310的轉動沿著導孔311的長度方向進行移動。此時，在鎖定銷332向鎖定方向移動時，使得加壓端332a的凸出末端緊貼或凹凸對應插入於密封環20的側面，因此密封環20能夠水平安裝於下部升降架230的下部。
導輥333以能夠水平旋轉的方式結合於下部升降架230的下表面，在與鎖定銷332的移動方向成直角的方向上進行支承。其中，前述的鎖定銷332在凸輪盤310的第二旋轉中心C2方向上可以具有長度，導輥333能夠分別配置於鎖定銷332的寬度方向兩側。導輥333沿著鎖定銷332的長度方向能夠配置為複數個，此時，導輥333能夠進行支承，以使得鎖定銷332在寬度方向上不移動。
此外，如圖7所示，在鎖定銷332的寬度方向上能夠沿著長度方向連續形成有第一導向凸起332b或第一導向槽。與此同時，如圖7所示，導輥333的側面能夠形成有導向凸起或導向槽333a，以便與導向凸起332b或導向槽凹凸結合。換句話說，鎖定銷332的寬度方向與導輥333的側 面凹凸對應結合，因此能夠提升鎖定銷332的寬度方向與導輥333的嚙合結合力(提升接觸面積)。
另外，前述的升降單元200可以進一步包括位置調節單元400，在升降單元200朝向組裝位置下降而定位的過程中，當密封環20發生組裝位置的偏差G1時，所述位置調節單元400使得下部升降架230向側方移動，從而補償該偏差G1。相反地，在升降單元200朝向安裝位置上升時，位置調節單元400能夠使得下部升降架230恢復至原來的位置。為此，位置調節單元400可以區分為設置槽410、彈性部件420、球部件430、位置調節槽440等。
設置槽410形成於下部升降架230的內部，可以形成於與上部升降架210的下端接觸的結合部位。
彈性部件420垂直插入設置槽410的內部，從而在上下方向上作用壓縮彈力，彈性部件420可以具有螺旋彈簧形態。
球部件430具有球形並且處於設置槽410的內部的狀態，球部件430的下端被彈性部件420的上端彈性支承為能夠升降。在此，彈性部件420的上端能夠結合有用於支承球部件430的下端的支承部件，球部件430的側面還可以結合有用於限制球部件430的移動距離的掛接部件。
位置調節槽440凹陷形成於上部升降架210的下表面，位置調節槽440能夠位於設置槽410的上部。其中，位置調節槽440可以具有朝向上部去直徑逐漸變小的形態，此時，位置調節槽440的上端形成有具有最小的直徑的最小直徑部441。球部件430的上端以緊貼位置調節槽440的內部的狀態掛接而定位，球部件430的上端以緊貼位置調節槽440的最小直徑部441的狀態掛接而定位。
如圖9所示，在升降單元200朝向安裝位置上升時，球部件430通過彈性部件420的壓縮彈力掛接定位於最小直徑部441。此狀態下，球部件430與設置槽410朝向側方掛接定位，因此下部升降架230在側方上不移動。
在升降單元200朝向組裝位置下降設置的過程中，在密封環20發生組裝位置偏差時，球部件430以朝向最小直徑部441的側方傾斜的方式向下移動。此時，球部件430通過向側方作用的力使得彈性部件420向下方壓縮並且能夠向側方移動，因此能夠補償密封環20的組裝位置偏差。換句話說，在下部升降架230的下部所安裝的密封環20與卡盤工作臺10的上部結合的過程中，密封環20的固定槽21與卡盤工作臺10的固定銷11以歪斜的狀態結合時，可以對此進行補償。由此，能夠使得密封環20的固定槽21和卡盤工作臺10的固定銷11以歪斜的狀態結合時可能產生的衝擊最小化，由此，能夠使得固定銷11和固定槽21的結合部位的損傷最小化。
另外，前述的下部升降架230的內部能夠上下貫通形成有第一流路520，所述第一流路520上端連接有流體供應部510。與此同時，在前述的密封環20的內部可以形成有上下貫通的第二流路530以及複數個噴射孔540，所述複數個噴射孔540從第二流路530的下部延伸並朝向下部貫通。例如，在下部升降架230的下部安裝密封環20的情況下，第一流路520的開放下部與第二流路530的開放上部相互連接。此後，從流體供應部510供應的用於去除藥液的流體L通過第一流路520與第二流路530後，能夠通過噴射孔540向下噴射。此時，通過用於去除藥液的流體L能夠清洗存在於密封環20的內周面的藥液殘餘物，所述用於去除藥液的流體L通過噴射孔540向下噴射。這樣的第一流路520和第二流路530及噴射孔540的位置、數量、寬度等根據需要能夠多樣使用。
結果，根據本發明的一個實施例的傾擺控制裝置因為在密封環20安裝時，與凸輪盤310旋轉的同時，使得複數個鎖定銷332同時驅動至與密封環20的結合位置，所以不會發生密封環20的結合誤差(歪斜等)。
此外，根據本發明的一個實施例的傾擺控制裝置在使得安裝完成的密封環20與卡盤工作臺10的固定銷11結合時，通過位置調節單元400補償 組裝時所產生的偏差，從而能夠精密地排列密封環20的固定槽21和卡盤工作臺10的固定銷11，密封環20的固定槽21和卡盤工作臺10的固定銷11之間的偏差得到補償，因此能夠減少結合部位的損傷與衝擊所產生的顆粒(Particle)。
目前為止，雖然對根據本發明的傾擺控制裝置相關的具體實施例進行了說明，但是在不脫離本發明的範圍的限度內，能夠進行各種實施變形，這是不說自明的。因此，不能局限於本發明的範圍內所說明的實施例，應根據後述的申請專利範圍以及該申請專利範圍均等的範圍來定義。換句話說，應理解前述的實施例並非全面示例也並非限定性的，本發明的範圍應理解為，不通過詳細的說明，而是通過後述的申請專利範圍來表現，從該申請專利範圍的意義、範圍、以及其等價概念推導出的全部變更或變形的形態包含於本發明的範圍內。
100:傾擺單元
110:支承台
120:轉動架
121:升降孔
130:第一轉動驅動部
200:升降單元
210:上部升降架
211:導樑
220:升降驅動部
230:下部升降架
300:保持單元
310:凸輪盤
320:第二轉動驅動部
332:鎖定銷
C2:第二旋轉中心

Claims (13)

  1. 一種傾擺控制裝置，其中，包括：一傾擺單元，以能夠將一第一旋轉中心作為基準轉動的方式配置於前方的一安裝位置和後方的一等待位置；一升降單元，結合於該傾擺單元的下部，在該傾擺單元朝向該安裝位置轉動定位時，該升降單元能夠朝向該安裝位置和該安裝位置的下部的一組裝位置升降；以及一保持單元，能夠以鎖定或解鎖操作的方式結合於該升降單元，並且該保持單元的位於該升降單元的下部的一鎖定部件以一第二旋轉中心為基準在徑向方向上以能夠聯動的方式配置。
  2. 根據請求項1所述的傾擺控制裝置，其中，在進行鎖定操作時，該保持單元在使一密封環位於該升降單元的下部的狀態下使得該鎖定部件朝向一鎖定位置移動，從而對該密封環的側面進行加壓支承，並且在進行解鎖操作時，該保持單元使得該鎖定部件朝向一解鎖位置移動，從而與該密封環分離而定位。
  3. 根據請求項1所述的傾擺控制裝置，其中，該傾擺單元包括：一支承台，固定結合於一設置面；一轉動架，該轉動架的後端以能夠將該支承台的該第一旋轉中心作為基準朝向該安裝位置和該等待位置轉動的方式結合，該升降單元以能夠升降的方式結合於該轉動架的下部；以及一第一轉動驅動部，設置於該支承台，使得該轉動架朝向該安裝位置和該等待位置轉動。
  4. 根據請求項3所述的傾擺控制裝置，其中，該升降單元包括： 一上部升降架，配置於該轉動架的下部，該上部升降架的向上部凸出的一導樑以能夠升降的方式貫通結合於形成於該轉動架的一升降孔；一升降驅動部，垂直地結合於該轉動架，並且朝向該升降驅動部的下部出入的一連桿結合於該上部升降架；以及一下部升降架，結合於該上部升降架的下部，並且該下部升降架設置為該鎖定部件能夠沿著該下部升降架的下部邊緣移動。
  5. 根據請求項4所述的傾擺控制裝置，其中，該轉動架的下部包括一旋轉軸，該旋轉軸以固定方式貫通結合於該上部升降架和該下部升降架，從而形成該第二旋轉中心。
  6. 根據請求項5所述的傾擺控制裝置，其中，在該下部升降架的內部還包括：一軸插入槽，供該旋轉軸的下端垂直插入；以及環形的一軸承，結合於該軸插入槽的內部，將該旋轉軸的下端支承為能夠水平旋轉。
  7. 根據請求項6所述的傾擺控制裝置，其中，該軸承的內周面具有比該旋轉軸的直徑更大的直徑，以便該下部升降架能夠按照設定距離向側方移動。
  8. 根據請求項7所述的傾擺控制裝置，其中，該升降單元還包括一位置調節單元，在該升降單元朝向該組裝位置下降而定位的過程中，當一密封環發生該組裝位置偏差時，該位置調節單元使得該下部升降架向側方移動，從而補償偏差，並且在該升降單元朝向該安裝位置上升時，使得該下部升降架恢復至原來的位置。
  9. 根據請求項8所述的傾擺控制裝置，其中，該位置調節單元包 括：一設置槽，形成於該下部升降架的內部；一彈性部件，插入於該設置槽的內部，從而在上下方向上作用壓縮彈力；球形的一球部件，被該彈性部件的上端彈性支承為能夠升降；以及一位置調節槽，凹陷形成於該上部升降架的下表面，該球部件的上端與該位置調節槽的內部彈性接觸，並且隨著朝向該位置調節槽的上端的最小直徑部去直徑逐漸變小。
  10. 根據請求項4所述的傾擺控制裝置，其中，該保持單元包括：一凸輪盤，被配置為能夠在該上部升降架和該下部升降架之間以該第二旋轉中心為基準向一鎖定方向或一解鎖方向轉動，並且該凸輪盤在徑向方向上下貫通形成有一導孔；以及一第二轉動驅動部，設置於該下部升降架，使得該凸輪盤向一鎖定位置或一解鎖位置轉動。
  11. 根據請求項10所述的傾擺控制裝置，其中，該鎖定部件包括：一導向軸，該導向軸的上端以能夠滑動的方式插入於該導孔，並且該導向軸的下端通過一貫通孔向該下部升降架的下部暴露，該貫通孔形成於該下部升降架的邊緣；一鎖定銷，以連接於該導向軸的下端的狀態從該下部升降架的下部向該鎖定位置或該解鎖位置移動；以及一導輥，以能夠水平旋轉的方式結合於該下部升降架的下表面，在與該鎖定銷的移動方向成直角的方向上進行支承。
  12. 根據請求項4所述的傾擺控制裝置，其中，包括： 一第一流路，以連接一流體供應部的方式形成於該下部升降架的內部；一第二流路，以朝向上部貫通的方式形成於一密封環的內部；以及複數個噴射孔，從該第二流路的下部延伸並朝向下部貫通。
  13. 根據請求項12所述的傾擺控制裝置，其中，從該流體供應部所供應的用於去除藥液的流體在通過該第一流路和該第二流路後通過該噴射孔向下噴射，並且在該密封環安裝於該下部升降架時，該第一流路和該第二流路構成為相互連接。
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