KR100694690B1

KR100694690B1 - 기판의 접합 장치 및 액정 디스플레이 패널의 제조 방법

Info

Publication number: KR100694690B1
Application number: KR1020030087461A
Authority: KR
Inventors: 마스다히로카즈
Original assignee: 시바우라 메카트로닉스 가부시키가이샤
Priority date: 2002-12-04
Filing date: 2003-12-04
Publication date: 2007-03-13
Also published as: TW200420936A; US20040109124A1; JP4440599B2; JP2004199036A; KR20040048865A; TWI234026B

Abstract

2매의 기판의 어느 한 쪽에 밀봉재가 프레임 형상으로 도포되고, 이들의 기판을 상기 밀봉재에 의해 접합시키는 접합 장치에 있어서, 제1 기판(13)을 유지하는 유지면을 구비하는 제1 유지 테이블과, 제1 유지 테이블에 대향하여 설치되고 제2 기판을 유지하는 유지면을 구비하는 제2 유지 테이블과, 제1 유지 테이블과 제2 유지 테이블의 적어도 한 쪽의 유지면의 기판을 유지하는 부분에 설치된 비점착성 탄성재와, 제1 유지 테이블과 제2 유지 테이블을 상하 방향으로 상대적으로 구동하여 이들 유지 테이블의 유지면에 유지된 한 쌍의 기판을 밀봉재에 의해 접합시키는 제1 , 제2 구동원(6, 12)을 구비한다.

기판, 밀봉재, 유지면, 제1 유지 테이블, 제2 유지 테이블, 탄성재, 구동원.

Description

기판의 접합 장치 및 액정 디스플레이 패널의 제조 방법{SUBSTRATE BONDING APPARATUS AND THE MANUFACTURING METHOD OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL}

도 1은 본 발명의 제1 실시예의 접합 장치의 개략적 구성도.

도 2A 내지 도 2C는 본 발명의 제2 실시예를 나타내는 제1 유지 테이블의 평면도.

도 3은 본 발명의 제3 실시예를 나타내는 제1 유지 테이블의 평면도.

도 4는 도 3의 IV-IV선에 따르는 단면도.

도 5는 탄성편이 설치되는 시트의 측면도.

도 6은 도 5에 나타내는 시트의 평면도.

본 발명은 2매의 기판을 밀봉재에 의해 접합시키는 접합 장치 및 이 접합 장치에 의해 제조되는 액정 디스플레이 패널에 관한 것이다.

액정 디스플레이 패널로 대표되는 평판 디스플레이 패널 등의 제조 공정에서는, 2매의 기판을 소정 간격으로 대향시켜, 이들 기판 간에 유체인 액정을 봉입해 접착제인 밀봉재에 의해 접합시켜 접합 작업이 행해진다.

상기 접합 작업은 2매의 기판의 어는 쪽에 상기 밀봉재를 프레임 형상으로 도포하고, 그 기판 또는 다른 쪽의 기판의 상기 밀봉재의 프레임 내에 대응하는 부분에 소정량의 상기 액정을 복수의 입자 형상으로 하여 적하 공급한다.

다음에, 상기 2매의 기판을 챔버 내의 상부 유지 테이블과 하부 유지 테이블의 유지면으로 유지하고, 2매의 기판을 접근시키고, 아래 쪽의 기판을 수평 방향에 있어서 서로 직교하는 X, Y 방향 및 X, Y 방향에 대해서 수직인 축선을 회전 중심으로 하는 θ방향으로 구동시킴으로써, 이들의 기판의 위치 맞춤을 행한다. 그 후, 위쪽의 기판을 하강시켜 소정 압력을 가함으로써, 이들 기판을 상기 밀봉재에 의해 접합시키도록 하고 있다.

2매의 기판에 압력을 가하여 접합시킬 경우, 상부 유지 테이블과 하부 유지 테이블의 기판을 유지하는 유지면의 평행도가 고정밀도로 유지되지 않으면, 밀봉재가 균일하게 눌려지지 않아 기판에 파도 형상이 생겨 이들 2매의 기판을 고정밀도로 접합시킬 수 없게 되는 일이 있다.

기판을 유지하는 유지면의 평행도가 유지되어도, 기판 자체의 두께에 불균일성이 있는 일이 있다. 그와 같은 경우에도 기판에 가해지는 압력 불균일하게 되어밀봉재가 균일하게 눌려지지 않는 일이 있다.

특히, 최근에는 기판이 대형화하는 경향이 있고, 그와 같은 경우에는 기판의 대형화에 따라 유지 테이블의 유지면도 대형화한다. 그러므로, 접합 시에 기판을 균일한 압력으로 가압하기 위해서는, 대형화한 유지 테이블의 큰 유지면의 평면도를 μm 단위의 정밀도로 기계 가공해야 하지만, 그와 같은 가공이 지극히 곤란한 일도 있다.

그래서, 종래에는 일본국 실용공개공보 평5(1993)-36426호에 나타낸 바와 같이 기판을 유지하는 유지면을 연질 염화 비닐 시트, 실리콘 고무, 고무판 등의 연질인 탄성재로 형성하는 것이 행해지고 있다.

상기 유지면을 연질인 탄성재로 형성함으로써, 접합 시에 유지 테이블에 요철이 있거나 기판의 두께에 격차가 있어도, 그것들을 상기 탄성재가 탄성 변형해 흡수하기 때문에, 밀봉재를 균일하게 눌러 2매의 기판을 접합시킬 수 있다.

그러나, 유지면을 단순히 연질인 탄성재로 형성하는 것만으로는, 접합 시에 기판에 압력을 가하면, 그 기판이 유지면을 형성하는 탄성재의 표면의 점착력에 의해 흡착되어 버리는 경우가 있다.

그러므로, 접합 후에 기판을 상기 유지면으로부터 반출하기 위해서 상승시킬 때, 이 유지면을 형성하는 탄성재의 점착력에 의해 기판이 커지거나 또는 국부적으로 휘어, 접합된 기판에 위치 어긋남이 생기는 일이 있다.

본 발명의 목적은, 기판을 유지하는 유지면을 탄성재로 형성하여도, 그 탄성재에 의해 2매의 기판의 접합 정밀도가 저하되는 것이 방지될 수 있도록 하는 기판의 접합 장치 및 이 접합 장치에 의해 접합된 디스플레이 패널을 제공하는 것이다.

본 발명은 2매의 기판의 어느 한 쪽에 밀봉재가 프레임 형상으로 도포되고, 상기 기판을 상기 밀봉재에 의해 접합시키는 접합 장치에 있어서,

한 쪽의 기판을 유지하는 유지면을 구비하는 제1 유지 테이블과,

상기 제1 유지 테이블에 대향하여 설치되고 다른 쪽의 기판을 유지하는 유지면을 구비하는 제2 유지 테이블과,

상기 제1 유지 테이블과 제2 유지 테이블의 적어도 한 쪽의 유지면의 상기 기판을 유지하는 부분에 설치된 비점착성 탄성재와,

상기 제1 유지 테이블과 제2 유지 테이블을 상하 방향으로 상대적으로 구동하여 상기 제1 및 제2 유지 테이블의 유지면에 유지된 한 쌍의 기판을 상기 밀봉재에 의해 접합시키는 구동 수단

을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판의 접합 장치이다.

상기 제1 유지 테이블과 제2 유지 테이블의 적어도 한 쪽의 유지면의 상기 기판을 유지하는 부분에 복수의 탄성편으로 분할하여 설치한 탄성재와,

을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판의 접합 장치이다.

상기 제1 유지 테이블과 제2 유지 테이블의 적어도 한 쪽의 유지면의 상기 기판을 유지하는 부분에 설치된 경도 쇼어(Shore) A40~90의 탄성재와,

을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판의 접합 장치이다.

본 발명은 2매의 기판의 어느 한 쪽에 밀봉재가 프레임 형상으로 도포되고, 상기 기판이 상기 밀봉재에 의해 접합되는 액정 디스플레이 패널에 있어서,

상기 제l 유지 테이블에 대향하여 설치되고 다른 쪽의 기판을 유지하는 유지면을 구비하는 제2 유지 테이블과,

상기 제1 유지 테이블과 제2 유지 테이블의 적어도 한쪽의 유지면의 상기 기판을 유지하는 부분에 설치된 비점착성 탄성재와,

으로 구성된 접합 장치를 사용하여 상기 2매의 기판이 접합되는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 패널이다.

이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 일실시예를 설명한다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 관한 기판의 접합 장치를 나타낸다. 이 접합 장치는 챔버(1)를 구비하고 있다. 이 챔버(1) 내에는 감압 펌프(2)에 의해 소정 압력, 예를 들어 1Pa 정도로 감압되도록 되어 있다.

챔버(1)의 한쪽에는 셔터(3)에 의해 기밀하게 폐쇄되는 출입구(4)가 형성되어 있다.

상기 챔버(1) 내에는 제1 유지 테이블(5)이 설치되어 있다. 이 제1 유지 테이블(5)은 제1 구동원(6)에 의해 수평 방향에서 서로 직교하는 X, Y 방향, 및 X, Y 방향이 이루는 면에 대해서 직교하는 축선을 회전 중심으로 하는 θ방향으로 구동되도록 되어 있다.

상기 제1 유지 테이블(5)의 상면은 유지면(5a)으로 되어 있고, 이 유지면(5a)에는 시트 형상의 탄성재(7)이 형성되어 있다. 탄성재(7)로서는 예를 들면 불소계의 고무 등이 사용되고 있다.

상기 탄성재(7)는 제1 유지 테이블(5)의 상면 전체에 걸치는 크기로 형성되어 있고, 한쪽의 면은 상기 제1 유지 테이블(5)의 유지면(5a)에 접착 고정되고, 적어도 다른 쪽의 면은 전하 입자를 조사하여 표면 처리함으로써 비점착성으로 개질 된다. 즉, 탄성재(7)에 전하 입자를 조사하여 표면의 화학 결합 상태를 바꾸는 것 으로, 그 표면에 후술하는 바와 같이 액정 디스플레이 패널을 형성하기 위한 유리로 된 기판을 탑재해도, 이 기판에 대해서 점착력이 생기는 일이 없는 표면 성질의 비점착면으로 개질된다.

그리고, 탄성재(7)는 다른 쪽의 면 뿐만이 아니라, 한쪽의 면에도 전하 입자를 조사하고, 양쪽의 면을 비점착면으로 개질해도 된다. 탄성재(7)의 양쪽의 면을 비점착면으로 하면, 이 탄성재(7)를 제1 유지 테이블(5)의 유지면(5a)에 접착할 때, 접착하는 면을 선택하지 않아도 될 뿐아니라, 접착하는 면을 틀리게 하는 일이 없다.

상기 탄성재(7)의 경도는, 고무의 배합 등을 바꾸는 것으로 임의로 설정하는 것이 가능하고, 이 실시예에서는 경도 쇼어(Shore) A40~90의 범위의 것이 사용되고 있다.

상기 챔버(1) 내에는, 상기 제1 유지 테이블(5)의 윗쪽에 제2 유지 테이블(11)이 배치된다. 이 제2 유지 테이블(l1)은 제2 구동원(12)에 의해 상기 제1 유지 테이블(5)에 대해서 접촉 및 이탈하는 상하 방향인 Z 방향으로 구동되도록 되어 있다. 상기 제2 유지 테이블(11)에는 정전기력을 발생하는 전극(10)이 설치되고, 이 전극(10)에 도시하지 않은 직류 전원에 의해 직류 전압을 인가함으로써, 상기 제2 유지 테이블(11)의 유지면(11a)에 기판을 정전기력에 의해 흡착 유지 가능하도록 되어 있다.

그리고, 제l 유지 테이블(5)을 Z 방향으로 구동 가능하게 하고, 제2 유지 테이블(11)을 X, Y 및 θ방향으로 구동 가능하게 해도 되고, 또는 어느 한쪽의 유지 테이블을 X, Y, Z 및 θ방향으로 구동 가능하게 해도 지장없다.

상기 제1 유지 테이블(5)에 설치된 탄성재(7)에는, 상기 출입구(4)로부터 액정 디스플레이 패널을 구성하는 한쌍의 유리로 된 기판의 한쪽인 제1 기판(13)이 공급 및 탑재 된다. 제1 기판(13)의 상면에는 밀봉재(14)가 사각형 프레임 형상으로 도포되어 있는 동시에, 그 프레임 내에는 액정(15)이 액적 형상으로 공급되고 있다.

상기 제2 유지 테이블(11)의 유지면(11a)에는 다른 쪽의 기판인 제2 기판(16)이 공급되고, 그 유지면(11a)에 발생하는 정전기력에 의해 흡착 유지된다. 그리고, 상기 제1 기판(13)과 제2 기판(16)은 수평 방향으로 위치 맞춤되고 나서, 상기 밀봉재(14)에 의해 접착된다.

다음에 상기 구성의 접합 장치에 의해 제1 기판(13)과 제2 기판(16)을 접합시킬 때의 작용에 대하여 설명한다. 제1 유지 테이블(5)의 유지면(5a)에 설치된 탄성재(7) 상에 제1 기판(13)을 공급 및 탑재하는 동시에, 제2 유지 테이블(11)의 유지면(11a)에 제2 기판(16)을 공급하여 정전기력에 의해 흡착 유지하면, 출입구(4)를 폐쇄하여 감압 펌프(2)를 작동시켜, 챔버(1) 내를 감압한다.

챔버(1) 내가 감압되면, 제2 유지 테이블(11)을 하강시켜, 이 제2 유지 테이블(11)에 유지된 제2 기판(16)을 제1 유지 테이블(5)의 탄성재(7)의 유지면(5a)에 탑재된 제1 기판(13)에 접근시킨다. 그 상태로, 이들 기판(13, 16)에 형성된 도시하지 않은 위치 맞춤 마크를 역시 도시하지 않은 촬상 카메라에 의해 촬상하고, 이들 위치 맞춤 마크가 일치하도록 제1 기판(13)을 X, Y 방향으로 구동시켜 위치 맞 춤하는 얼라인먼트 동작을 행한다.

얼라인먼트 동작의 뒤, 마크의 어긋남을 확인하고, 그 어긋남 양이 허용 범위를 넘고 있으면, 재차 얼라인먼트 동작을 행한다. 위치 맞춤 후, 제2 기판(16)을 하강시켜 제1, 제2 기판(13, 16)에 소정 압력을 가함으로써, 이들 기판(13, 16)을 접합시킨다.

접합이 종료되면, 제2 유지 테이블(11)의 정전기력을 제거하여 이 제2 유지 테이블(11)을 상승시키는 동시에, 접합된 한쌍의 기판(13, 16)을 제1 유지 테이블(5)의 탄성재(7)의 상면으로부터 도시하지 않은 리프트 핀 등으로 들어 올리고, 그 후, 챔버(1) 내로부터 반출한다.

상기 탄성재(7)는 적어도 제1 기판(13)이 공급 탑재되는 상면이 비점착성으로 개질 되어 있다. 그러므로, 제1 기판(13)에 제2 기판(16)을 접합시킬 때, 이들 기판(13, 16)이 제2 유지 테이블(11)에 의해 가압되어도, 제1 기판(13)이 상기 탄성재(7)의 상면에 흡착되는 것이 방지된다.

그에 따라, 접합된 제1, 제2 기판(13, 16)을 제1 유지 테이블(5)로부터 반출 할 때, 이들 기판(13, 16)을 상기 탄성재(7)에 의해 변형시키는 일 없이 상기 탄성재(7)의 상면으로부터 박리시켜 상승시킬 수가 있기 때문에, 접합된 기판(13, 16)간에 위치 어긋남이 생겨 위치 맞춤 정밀도가 저하되는 것을 방지할 수 있다.

상기 탄성재(7)는 경도 쇼어 A40~90으로 설정되어 있다. 탄성재(7)의 경도가 경도 쇼어 A40~90의 범위에 있으면, 전술한 얼라인먼트 동작에 있어서, 그 범위 외의 경도의 탄성재를 사용하여 한쌍의 기판(13, 16)을 위치 결정하여 접합시키는 경 우에 비해 기판(13, 16)을 정밀도 높게 위치 결정하여 접합시키는 것이 실험에 의해 확인되었다.

아래의 [표 1]은 경도 쇼어 A30~100의 6종류의 탄성재를 사용하여 한쌍의 기판을 위치 맞춤하여 접합시키는 경우, 기판이 탄성재 상에서 미끄러지는 것에 의해 기판의 위치 맞춤에 미치는 영향과, 탄성재가 탄성 변형하여 기판의 위치 맞춤에 미치는 영향을 실험에 의해 확인한 결과를 나타낸다.

표 1

쇼어 A	30	40	60	70	90	100
미끄러짐 발생에 의한 영향	○	○	○	○	△	×
탄성변형에 의한 영향	×	△	○	○	○	○

이 [표 1]에 있어서, 0의 표시는 기판의 위치 맞춤 정밀도가 얻어진 것을 나타내고, △의 표시는 얼라인먼트 동작을 복수회 반복하여 행함으로써 위치 맞춤 정밀도가 얻어진 것을 나타낸다. ×표는 얼라인먼트 동작을 복수회 반복하여 행하여도 위치 맞춤 정밀도를 얻을 수 없는 것을 가리키고 있다.

상기 [표 1]에 나타내는 각각의 경도 쇼어의 탄성재를 사용하여 기판을 위치 맞춤 할 때, 기판의 미끄럼의 발생이 위치 맞춤 정밀도에 미치는 영향은, 쇼어 경도 A70 이하에서는 기판이 탄성재 상에서 미끄러지는 현상은 거의 보이지 않고, 쇼어 경도 A90에서는 다소 미끄러지지만, 얼라인먼트를 복수회 반복함으로써, 소정 정밀도로 위치 결정할 수 있었다. 쇼어 경도 A100에서는 탄성재 상에서의 기판의 미끄럼이 너무 커져 얼라인먼트 동작을 복수회 반복하여도, 소정의 위치 맞춤 정밀도를 얻을 수 없었다.

한편, 탄성재의 탄성 변형이 위치 맞춤에 미치는 영향은, 쇼어 경도 A60 이상에서는 위치 맞춤 시의 탄성 변형량이 위치 맞춤 정밀도를 저하시키지 않고, 쇼어 경도 A40에서는 위치 맞춤 정밀도를 저하시키는 탄성 변형이 생기지만, 얼라인먼트 동작을 복수회 반복함으로써, 소정 정밀도를 얻을 수 있었다. 탄성재의 쇼어 경도 A30에서는 위치 맞춤 시의 변형량이 너무 커져 얼라인먼트 동작을 복수회 반복하여도 소정의 위치 맞춤 정밀도를 얻을 수 없었다.

이상으로부터, 제1 유지 테이블(5)의 유지면(5a)에 설치되는 탄성재(7)의 경도를 쇼어 경도 A40~90으로 함으로써, 제1 기판(13)을 유지하는 제1 유지 테이블(5)에 탄성재(7)을 사용해도, 위치 맞춤 정밀도의 저하를 초래하지 않고, 제1 기판(13)에 제2 기판(16)을 접합시킬 수 있다.

도 2A 내지 도 2C는 본 발명의 제2 실시예를 나타낸다. 이 실시예는 제1 유지 테이블(5)에 설치되는 탄성재를 복수로 분할하도록 했다. 도 2A에서는 탄성재(7)을 제1 유지 테이블(5)의 약 반의 크기의 2개의 탄성편(7a)으로 분할하고, 이들 탄성편(7a)을 소정 간격(21)을 통하여 상기 제1 유지 테이블(5)에 부착하도록 했다.

도 2B는 탄성재(7)를 4개의 탄성편(7b)으로 분할하고, 이들 탄성편(7b)을 소정 간격(21)을 통하여 설치하도록 한 것이며, 도 2C는 탄성재(7)를 8개의 탄성편(7c)으로 분할하고, 이들 분할편인 탄성편(7c)을 소정 간격(21)을 통하여 설 치하도록 했다.

이와 같이, 탄성재(7)를 각각 복수의 탄성편(7a, 7b, 7c)으로 분할하면, 복수의 탄성편 중 하나가 탄성 변형해도, 그 탄성 변형이 다른 탄성편에 전파하는 것을 방지할 수 있다. 그러므로, 탄성재(7)의 국부적인 탄성 변형이 제1, 제2 기판(13, 16)의 위치 맞춤 정밀도에 크게 영향을 미치는 것을 방지할 수 있다. 또, 1개의 탄성편이 크게 탄성 변형해도, 기판(13)은 다른 탄성편에 의해 확실하게 유지되므로, 기판(13)이 탄성편에 대해서 미끄러지는 것을 방지할 수 있다.

탄성재(7)를 복수의 분할편(7a~7c)으로 분할하고, 이들의 분할편(7a~7c) 간에 간격(21)을 둠으로써, 제1 유지 테이블(5) 상에 낙하한 먼지의 일부는 그 간격(21)에 들어간다. 그러므로, 탄성재(7)와 이 탄성재(7) 상에 탑재되는 제1 기판(13) 사이에 먼지가 개재할 확률을 낮게 할 수 있기 때문에, 그것에 의해서도 접합 정밀도를 향상시킬 수가 있다.

또, 탄성재(7)를 복수의 탄성편(7a, 7b, 7c)으로 분할함으로써, 제1 유지 테이블(5)의 상면 전체에 걸치는 크기의 1매의 탄성재(7)를 사용한 경우에 비해, 제1 기판(13)과의 사이의 접촉 면적을 축소할 수 있으므로, 탄성편(7a, 7b, 7c)의 점착력에 의해 제1 기판(13)이 흡착되는 힘을 감소시킬 수 있다. 그 결과, 접합된 기판(13, 16)을 제1 유지 테이블(5)로부터 반출할 때에, 이들 기판(13, 16)에 생기는 휨을 억제할 수 있고, 휨에 의해 기판(13, 16) 간의 위치 맞춤 정밀도가 저하되는 것을 방지할 수 있다.

그리고, 이 제2 실시예에 있어서, 각 탄성편(7a~7c)의 적어도 제1 기판(13) 을 유지하는 면을, 전하 입자의 조사에 의해 비점착면으로 개질시켜도 된다. 또한, 탄성재(7)의 각 탄성편(7a~7c)을 경도 쇼어 A40~90의 경도로 해도 되고, 또한 복수로 분할된 각 탄성편(7a~7c)을 비점착면으로 하는 동시에 경도 쇼어 A40~90의 경도로 해도 된다. 그와 같이 하면, 제1 실시예와 마찬가지의 작용 효과를 얻을 수도 있다. 또, 탄성재를 복수의 탄성편으로 분할했지만, 그 수는 한정되지 않고, 복수이면 된다.

또한, 탄성편의 형상은 4각형 모양에 한정되지 않고, 원형 형상 등의 다른 형상이라도 관계없다. 또, 탄성재를 복수로 분할한다고 하는 것은, 본 발명에서는 탄성재에 소정 깊이로 홈을 형성하고, 이 홈에 의해 탄성재를 소정 깊이로 분할하는 것도 포함하는 것이며, 그와 같은 구성이라도, 복수의 분할편으로 분할하는 경우와 거의 동일한 작용 효과를 얻을 수 있다.

도 3 내지 도 6은 본 발명의 제3의 실시예이며, 이 실시예는 제1 실시예의 제1 유지 테이블(5)의 변형예를 나타낸다. 즉, 제1 유지 테이블(5)의 중앙부분에는, 두께 방향 중간 부분에 챔버(31)가 형성되어 있다. 이 챔버(31)는 제1 유지 테이블(5)의 제1 기판(13)이 공급되는 면으로 개방되는 직사각형의 제1 오목부(32)를 형성하고, 이 제1 오목부(32)의 개구 부분을 폐쇄판(33)으로 폐쇄함으로써, 제1 유지 테이블(5)의 두께 방향 중간 부분에 형성되어 있다.

상기 제1 오목부(32)는 내주면의 높이 방향 중간 부분에 계단부(34)가 형성되어 있고, 상기 폐쇄판(33)은 그 둘레를 상기 계단부(34)에 걸어맞추어 상기 오목부(32)에 기밀하게 결합 고정되어 있다.

상기 제1 유지 테이블(5)의, 상기 폐쇄판(33)의 한 측면을 포함하는 면에는 평면에서 볼 때 원형 형상을 이룬 복수의 제2 오목부(37)가 지그재그 격자형으로 형성되어 있다. 이들의 제2 오목부(37)에는 각각 원주형의 시트(38)가 형성되어 있다. 이 시트(38)는 한쪽의 단부면에 수나사(39)가 형성되고, 다른 쪽의 단부면에는 탄성재로서의 원반형의 탄성편(7d)이 접착 고정되어 있다. 즉, 이 실시예에서는, 시트(38)의 다른 쪽의 단부면이 탄성재로서의 탄성편(7d)이 설치되는 유지면(5a)으로 되어 있고, 이 유지면(5a)에 탄성편(7d)을 통하여 제1 기판(13)이 후술하는 바와 같이 유지되도록 되어 있다.

상기 탄성편(7d)은 제1, 제2 실시예와 마찬가지로, 제1 기판(13)을 유지하는 면 즉 상단면이 비점착성인 것, 및 경도 쇼어 A40~90인 것의 조건 중 적어도 한쪽의 조건을 구비하고 있는 재료를 사용할 수 있다.

상기 제2 오목부(37)는 그 저부에 나사구멍(41)이 형성되어 있다. 상기 시트(38)는 수나사(39)를 상기 나사구멍(41)에 체결하거나 또는 느슨하게 함으로써 상기 제2 오목부(37)에 장착 및 분리 가능하게 형성되어 있다. 그리고, 시트(38)에 설치된 탄성편(7d)은 수나사(39)를 나사구멍(41)에 체결하여 시트(38)를 제2 오목부(37)에 고정한 상태에서 상단면이 수평면을 이루고, 도 4에 나타낸 바와 같이 제2 오목부(37)의 개구면으로부터 조금 위쪽으로 돌출하고 있다.

이 실시예에서는, 상기 폐쇄판(33)에는 7개의 제2 오목부(37)가 형성되어 있다. 이들 7개의 제2 오목부(37)의 나사구멍(41)은 각각 상기 폐쇄판(33)의 두께 방향으로 관통하여 제2 연통 구멍을 형성한다. 그리고, 폐쇄판(33)의 길이 방향 양단 부에 위치하는 2개를 제외한 다른 5개의 제2 오목부(37)에 장착되는 시트(38)에는, 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이 수나사(39)의 단면으로부터 탄성편(7d)이 설치된 단면인 유지면(5a)을 관통하여 탄성편(7d)의 상단면으로 개방된 제1 연통 구멍(43)이 형성되어 있다. 그에 따라, 상기 챔버(31)는 상기 나사구멍(41)을 통하여 상기 탄성편(7d)의 제1 연통 구멍(43)으로 연통하고 있다.

또, 폐쇄판(33)의 길이 방향 양단부에 위치하는 2개의 제2 오목부(37)에는, 제1 연통 구멍(43)이 형성되어 있지 않은 탄성편(7d)가 접착 고정된 시트(38)가 부착된다. 이로써, 이들 2개의 제2 오목부(37)에 형성된 제2 연통 구멍으로서의 나사구멍(41)은 시트(38)에 의해 폐쇄된다.

즉, 폐쇄판(33)에 형성된 7개의 제2 오목부(37)에 설치된 나사구멍(41)은, 탄성편(7d)의 상단면으로 개방된 제1 연통 구멍(43)이 형성된 시트(38)가 부착되었을 때, 제1 연통 구멍(43)과 챔버(31)를 연통시켜, 제1 연통 구멍(43)이 형성되어 있지 않은 탄성편(7d)을 접착 고정한 시트(38)가 부착됨으로써 폐쇄된다.

각각의 시트(38)에 설치된 탄성편(7d)의 상단면에는, 도 6에 나타낸 바와 같이 홈(44)이 격자형으로 형성되어 있다.

여기서, 도 6은, 제1 연통 구멍(43)이 형성된 탄성편(7d)을 나타내고 있지만, 제1 연통 구멍(43)이 형성되지 않은 다른 탄성편(7d)에 대하여도, 홈(44)이 마찬가지로 형성되어 있다. 또, 이들의 홈(44)은, 탄성편(7d)의 에지를 관통하지 않게 형성되어 있다. 즉, 탄성편(7d)의 에지의 앞에서 멈추므로, 탄성편(7d) 상에 제1 기판(13)을 밀착시켰을 때에는, 홈(44)은 챔버(1) 내부와 연통하지 않고, 폐쇄 된 상태로 된다.

그리고, 이 실시예에서는, 모든 탄성편(7d)에 홈(44)을 형성했지만, 선택된 탄성편(7d)에만 홈(44)을 형성해도 관계없다.

상기 제1 유지 테이블(5)에는, 상기 챔버(31)로 일단이 연통하고 타단이 상기 제2 오목부(37)와 반대측의 면으로 개방된 접속구멍(45)이 형성되어 있다. 이 접속구멍(45)의 다른 단부에는 감압 수단으로서의 감압 펌프(46)가 도시하지 않은 개폐 밸브를 구비한 배관(47)을 통하여 접속되어 있다.

이와 같은 구성에 의하면, 상기 개폐 밸브를 개방시키면, 감압 펌프(46)의 흡인력이 폐쇄판(33)에 설치된 7개의 시트(38) 중 5개의 시트(38)의 탄성편(7d)의 제1 연통 구멍(43)에 작용한다. 따라서, 제1 유지 테이블(5)에 제1 기판(13)이 공급될 때, 제1 연통 구멍(43)에 흡인력을 작용시키면, 이 제1 기판(13)은 제1 연통 구멍(43)에 작용하는 흡인력에 의해 탄성편(7d) 상에 흡착 유지 되므로, 제1 기판(13)을 제1 유지 테이블(5)에 공급 탑재할 때에, 이 제1 기판(13)이 어긋나 이동하는 것을 방지할 수 있다.

제1 연통 구멍(43)에의 흡인력은, 제1 기판(13)을 제1 유지 테이블(5)에 공급 탑재할 때에 작용시키면 된다. 따라서, 상기 개폐 밸브는 제1 기판(13)이 제1 유지 테이블(5) 상에 맞닿는 타이밍에서 개방되고, 제1 유지 테이블(5)에의 탑재가 완료되는 타이밍에서 폐쇄되면 되지만, 제1 기판(13)에 제2 기판(16)을 접합시켜, 이들 기판을 챔버(1)로부터 반출하기 직전까지 개방동작을 계속해도 관계없다.

또, 탄성편(7d)에 홈(44)을 형성하는 것에 의해, 홈(44)을 형성하지 않는 경 우에 비해, 탄성편(7d)과 제1 기판(13)과의 접촉 면적을 작게 할 수 있으므로, 접합된 제1, 제2 기판(13, 16)을 제1 유지 테이블(5)로부터 용이하게 떼어낼 수 있어, 이들 기판이 휘는 것을 방지할 수 있다.

따라서, 접합된 제1, 제2 기판(13, 15) 간에 위치 어긋남이 생기는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있다.

본 발명은 상기 각 실시예에 한정되지 않고, 예를 들어 탄성재는 제1 유지 테이블 뿐만이 아니고 제2 유지 테이블에 설치하거나, 또는 제2 유지 테이블에만 설치하도록 해도 된다.

또, 제1 기판과 제2 기판을 감압된 분위기 하에서 접합시키도록 했지만, 대기압 하에서 접합시키는 경우에도 본 발명을 적용하는 것은 가능하다. 그 경우, 제1 기판과 제2 기판을 접합시키고 나서, 이들 기판의 간격에 액정을 주입하면 된다.

또, 제1 기판에 밀봉재와 액정을 설치하도록 했지만, 밀봉재와 액정은 어느 쪽의 기판에 설치하여도 되고, 또한 한쪽의 기판에 밀봉재, 다른 쪽의 기판에 액정을 설치하도록 해도 된다.

본 발명에 의하면, 기판을 유지하는 유지면을 탄성재로 형성하여도, 그 탄성재에 의해 2매의 기판의 접합 정밀도가 저하되는 것이 방지될 수 있다.

접합된 기판을 유지 테이블로부터 용이하게 떼어낼 수 있어, 이들 기판이 휘는 것을 방지할 수 있다.

따라서, 접합된 기판 간에 위치 어긋남이 생기는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있다.

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2매의 기판의 어느 한 쪽에 밀봉재가 프레임 형상으로 도포되고, 상기 기판을 상기 밀봉재에 의해 접합시키는 접합 장치에 있어서,

한 쪽의 기판을 유지하는 유지면을 구비하는 제1 유지 테이블과,

상기 제1 유지 테이블에 대향하여 설치되고 다른 쪽의 기판을 유지하는 유지면을 구비하는 제2 유지 테이블과,

상기 제1 유지 테이블과 제2 유지 테이블의 적어도 한 쪽의 유지면의 상기 기판을 유지하는 부분에 복수의 탄성편으로 분할하여 설치한 탄성재와,

상기 제1 유지 테이블과 제2 유지 테이블을 상하 방향으로 상대적으로 구동하여 상기 제1 및 제2 유지 테이블의 유지면에 유지된 한 쌍의 기판을 상기 밀봉재에 의해 접합시키는 구동 수단

을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판의 접합 장치.
제5항에 있어서,

상기 유지 테이블에 설치되는 상기 복수의 탄성편 중 적어도 일부의 탄성편에는 제1 연통 구멍이 형성되고,

상기 제1 연통 구멍에 접속되고, 상기 제1 연통 구멍에 발생하는 흡인력으로 상기 기판을 상기 탄성편 상에 흡착 유지시키는 감압 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 접합 장치.
제6항에 있어서,

상기 복수의 탄성편은 상기 유지 테이블에 장착 및 분리 가능하게 설치되고, 상기 유지 테이블에는 상기 제1 연통 구멍이 형성된 탄성편이 부착된 위치로 각각 개방되는 제2 연통 구멍이 형성되고,

상기 제1 연통 구멍은 상기 제1 연통 구멍이 형성된 탄성편이 상기 유지 테이블에 부착된 상태에서 상기 제2 연통 구멍을 통하여 상기 감압 수단에 접속되고,

상기 제2 연통 구멍은 상기 유지 테이블에 있는 상기 제2 연통 구멍이 개방되는 상기 위치에 상기 제1 연통 구멍이 형성되지 않은 상기 탄성편을 부착하여 폐쇄되는 것

을 특징으로 하는 기판의 접합 장치.
제5항에 있어서,

상기 탄성재는 경도 쇼어 A40~90인 것을 특징으로 하는 기판의 접합 장치.
제5항에 있어서,

상기 탄성재는 복수의 탄성편으로 분할되는 것을 특징으로 하는 기판의 접합 장치.
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