JP2004199036A - 基板の貼り合わせ装置及び液晶ディスプレイパネル - Google Patents

Abstract

【課題】 この発明は２枚の基板を精度よく位置合わせして貼り合わせることができるようにした基板の貼り合わせ装置を提供することにある。
【解決手段】 ２枚の基板のどちらか一方にシール剤が枠状に塗布されていて、これらの基板を上記シール剤によって貼り合わせる貼り合わせ装置において、第１の基板１３を保持する保持面を有する第１の保持テーブル５と、第１の保持テーブルに対向して配設され第２の基板を保持する保持面を有する第２の保持テーブル１１と、第１の保持テーブルと第２の保持テーブルとの少なくとも一方の保持面の基板を保持する部分に設けられた非粘着性の弾性材７と、第１の保持テーブルと第２の保持テーブルとを上下方向に相対的に駆動してこれら保持テーブルの保持面に保持された一対の基板をシール剤により貼り合わせる第１、第２の駆動手段６，１２とを具備する。
【選択図】 図１

Description

この発明は２枚の基板をシール剤によって貼り合わせる貼り合わせ装置及びこの貼り合わせ装置によって製造される液晶ディスプレイパネルに関する。

液晶ディスプレイパネルに代表されるフラットディスプレイパネルなどの製造工程では、２枚の基板を所定の間隔で対向させ、これら基板間に流体としての液晶を封入して接着剤としてのシール剤によって貼り合わせる、貼り合わせ作業が行なわれる。

上記貼り合わせ作業は、２枚の基板のどちらかに上記シール剤を枠状に塗布し、その基板或いは他方の基板の上記シール剤の枠内に対応する部分に所定量の上記液晶を複数の粒状にして滴下供給する。

つぎに、上記２枚の基板をチャンバ内の上部保持テーブルと下部保持テーブルとの保持面に保持し、２枚の基板を接近させ、下側の基板を水平方向において互いに直交するＸ、Ｙ方向及びＸ、Ｙ方向に対して垂直な軸線を回転中心とするθ方向に駆動させることで、これらの基板の位置合わせを行う。その後、上側の基板を下降させて所定の加圧力を加えることで、これら基板を上記シール剤によって貼り合わせるようにしている。

２枚の基板に加圧力を加えて貼り合わせる場合、上部保持テーブルと下部保持テーブルとの基板を保持した保持面の平行度が高精度に保たれていないと、シール剤が均一に押し潰されずに基板にうねりが生じ、これら２枚の基板を高精度に貼り合わせることができなくなるということがある。

基板を保持する保持面の平行度が保たれていても、基板自体の厚さにばらつきがあることがある。そのような場合にも基板に加わる加圧力にばらつきが生じ、シール剤が均一に押し潰されないということがある。

とくに、最近では基板が大型化する傾向にあり、そのような場合には基板の大型化にともない保持テーブルの保持面も大型化する。そのため、貼り合わせ時に基板を均一な加圧力で加圧するためには、大型化した保持テーブルの大きな保持面の平面度をμｍ単位の精度で機械加工しなければならないが、そのような加工が極めて困難であるということもある。

そこで、従来は特許文献１に示されるように基板を保持する保持面を軟質塩化ビニルシート、シリコンゴム、ゴム板などの軟質な弾性材で形成するということが行われている。

上記保持面を軟質な弾性材で形成することで、貼り合わせ時に保持テーブルに凹凸があったり、基板の厚さにばらつきがあっても、それらを上記弾性材が弾性変形して吸収するため、シール剤を均一に押し潰して２枚の基板を貼り合わせることができるというものである。
実開平５−３６４２６号公報

しかしながら、保持面を単に軟質な弾性材で形成しただけでは、貼り合わせ時に基板に加圧力を加えると、その基板が保持面を形成する弾性材の表面の粘着力によって吸着されてしまうということがある。

そのため、貼り合わせ後に基板を上記保持面上から搬出するために上昇させる際、この保持面を形成する弾性材の粘着力によって基板が大きくあるいは局部的に撓み、貼り合された基板に位置ずれが生じるということがある。

この発明は、基板を保持する保持面を弾性材で形成しても、その弾性材によって２枚の基板の貼り合わせ精度が低下することが防止できるようにした基板の貼り合わせ装置及びこの貼り合わせ装置によって貼り合わされたディスプレイパネルを提供することにある。

この発明は、２枚の基板のどちらか一方にシール剤が枠状に塗布されていて、これらの基板を上記シール剤によって貼り合わせる貼り合わせ装置において、
一方の基板を保持する保持面を有する第１の保持テーブルと、
この第１の保持テーブルに対向して配設され他方の基板を保持する保持面を有する第２の保持テーブルと、
上記第１の保持テーブルと第２の保持テーブルとの少なくとも一方の保持面の上記基板を保持する部分に設けられた非粘着性の弾性材と、
上記第１の保持テーブルと第２の保持テーブルとを上下方向に相対的に駆動してこれら保持テーブルの保持面に保持された一対の基板を上記シール剤により貼り合わせる駆動手段と
を具備したことを特徴とする基板の貼り合わせ装置にある。

上記弾性材は、複数の弾性片に分割されていることが好ましい。

上記弾性材は、硬度ショアＡ４０〜９０であることが好ましい。

上記弾性材は、複数の弾性片に分割されているとともに硬度ショアＡ４０〜９０であることが好ましい。

この発明は、２枚の基板のどちらか一方にシール剤が枠状に塗布されていて、これらの基板を上記シール剤によって貼り合わせる貼り合わせ装置において、
一方の基板を保持する保持面を有する第１の保持テーブルと、
この第１の保持テーブルに対向して配設され他方の基板を保持する保持面を有する第２の保持テーブルと、
上記第１の保持テーブルと第２の保持テーブルとの少なくとも一方の保持面の上記基板を保持する部分に複数の弾性片に分割して設けられた弾性材と、
上記第１の保持テーブルと第２の保持テーブルとを上下方向に相対的に駆動してこれら保持テーブルの保持面に保持された一対の基板を上記シール剤により貼り合わせる駆動手段と
を具備したことを特徴とする基板の貼り合わせ装置にある。

上記保持テーブルに設けられる複数の上記弾性片のうち少なくとも一部の弾性片には第１の連通孔が形成され、この第１の連通孔には減圧手段が接続されていて、この減圧手段によって上記貫通孔に発生する吸引力で上記基板が上記弾性片上に吸着保持されることが好ましい。

複数の上記弾性片は、上記保持テーブルに着脱自在に設けられ、上記保持テーブルには、上記第１の連通孔が形成された弾性片が取り付けられる箇所にそれぞれ開口する第２の連通孔が形成されてなり、
上記第１の連通孔は、上記第１の連通孔が形成された弾性片が上記保持テーブルに取り付けられた状態において上記第２の連通孔を介して上記減圧手段に接続され、
上記第２の連通孔は、上記保持テーブルにおける当該第２の連通孔が開口する上記箇所に上記第１の連通孔が形成されていない上記弾性片を取り付けることで閉塞されることが好ましい。

上記弾性材は、硬度ショアＡ４０〜９０であることが好ましい。

この発明は、２枚の基板のどちらか一方にシール剤が枠状に塗布されていて、これらの基板を上記シール剤によって貼り合わせる貼り合わせ装置において、
一方の基板を保持する保持面を有する第１の保持テーブルと、
この第１の保持テーブルに対向して配設され他方の基板を保持する保持面を有する第２の保持テーブルと、
上記第１の保持テーブルと第２の保持テーブルとの少なくとも一方の保持面の上記基板を保持する部分に設けられた硬度ショアＡ４０〜９０の弾性材と、
上記第１の保持テーブルと第２の保持テーブルとを上下方向に相対的に駆動してこれら保持テーブルの保持面に保持された一対の基板を上記シール剤により貼り合わせる駆動手段と
を具備したことを特徴とする基板の貼り合わせ装置にある。

２枚の基板のどちらか一方にシール剤が枠状に塗布されていて、これらの基板が上記シール剤によって貼り合される液晶ディスプレイパネルにおいて、
一方の基板を保持する保持面を有する第１の保持テーブルと、
この第１の保持テーブルに対向して配設され他方の基板を保持する保持面を有する第２の保持テーブルと、
上記第１の保持テーブルと第２の保持テーブルとの少なくとも一方の保持面の上記基板を保持する部分に設けられた非粘着性の弾性材と、
上記第１の保持テーブルと第２の保持テーブルとを上下方向に相対的に駆動してこれら保持テーブルの保持面に保持された一対の基板を上記シール剤により貼り合わせる駆動手段と
によって構成された貼り合わせ装置を用いて上記２枚の基板が貼り合わされたことを特徴とする液晶ディスプレイパネルにある。

この発明によれば、基板を保持する保持面を弾性材で形成しても、その弾性材によって２枚の基板の貼り合わせ精度が低下するのを防止することができる。

以下、図面を参照しながらこの発明の一実施の形態を説明する。

図１はこの発明の第１の実施の形態に係る基板の貼り合わせ装置を示す。この貼り合わせ装置はチャンバ１を備えている。このチャンバ１内は減圧ポンプ２によって所定の圧力、たとえば１Ｐａ程度に減圧されるようになっている。チャンバ１の一側にはシャッタ３によって気密に閉塞される出し入れ口４が形成されている。

上記チャンバ１内には第１の保持テーブル５が設けられている。この第１の保持テーブル５は第１の駆動源６によって水平方向において互いに直交するＸ、Ｙ方向、及びＸ、Ｙ方向がなす面に対して直交する軸線を回転中心とするθ方向に駆動されるようになっている。

上記第１の保持テーブル５の上面は保持面５ａとなっていて、この保持面５ａにはシート状の弾性材７が設けられている。弾性材７としてはたとえばフッ素系のゴムなどが用いられている。

上記弾性材７は第１の保持テーブル５の上面全体にわたる大きさに形成されていて、一方の面は上記第１の保持テーブル５の保持面５ａに接着固定され、少なくとも他方の面は荷電粒子を照射して表面処理することで非粘着性に改質されている。つまり、弾性材７に荷電粒子を照射して表面の化学結合の状態を変えることで、その表面に後述する如く液晶ディスプレイパネルを形成するためのガラス製の基板を載置しても、この基板に対して粘着力が生じることがない表面性状の非粘着面に改質される。

なお、弾性材７は他方の面だけでなく、一方の面にも荷電粒子を照射し、両方の面を非粘着面に改質してもよい。弾性材７の両方の面を非粘着面とすれば、この弾性材７を第１の保持テーブル５の保持面５ａに接着するとき、接着する面を選択しなくて済むばかりか、接着する面を誤ることがない。
上記弾性材７の硬さは、ゴムの配合などを変えることで任意に設定することが可能であり、この実施の形態では硬度ショアＡ４０〜９０の範囲のものが用いられている。

上記チャンバ１内には、上記第１の保持テーブル５の上方に第２の保持テーブル１１が配置される。この第２の保持テーブル１１は第２の駆動源１２によって上記第１の保持テーブル５に対して接離する上下方向である、Ｚ方向に駆動されるようになっている。上記第２の保持テーブル１１には静電気力を発生する電極１０が設けられ、この電極１０に図示しない直流電源によって直流電圧を印加することで、上記第２の保持テーブル１１の保持面１１ａに基板を静電気力によって吸着保持できるようになっている。

なお、第１の保持テーブル５をＺ方向に駆動可能とし、第２の保持テーブル１１をＸ、Ｙ及びθ方向に駆動可能としてもよく、或いはどちらか一方の保持テーブルをＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に駆動可能としても差し支えない。

上記第１の保持テーブル５に設けられた弾性材７には、上記出し入れ口４から液晶ディスプレイパネルを構成する一対のガラス製の基板の一方である、第１の基板１３が供給載置される。第１の基板１３の上面にはシール剤１４が矩形枠状に塗布されているとともに、その枠内には液晶１５が液滴状に供給されている。

上記第２の保持テーブル１１の保持面１１ａには他方の基板である、第２の基板１６が供給され、その保持面１１ａに発生する静電気力によって吸着保持される。そして、上記第１の基板１３と第２の基板１６は水平方向に位置合わせされてから、上記シール剤１４によって貼り合される。

つぎに上記構成の貼り合わせ装置によって第１の基板１３と第２の基板１６とを貼り合わせる際の作用について説明する。第１の保持テーブル５の保持面５ａに設けられた弾性材７上に第１の基板１３を供給載置するとともに、第２の保持テーブル１１の保持面１１ａに第２の基板１６を供給して静電気力によって吸着保持したならば、出し入れ口４を閉じて減圧ポンプ２を作動させ、チャンバ１内を減圧する。

チャンバ１内が減圧されたならば、第２の保持テーブル１１を下降させ、この第２の保持テーブル１１に保持された第２の基板１６を、第１の保持テーブル５の弾性材７の保持面５ａに載置された第１の基板１３に接近させる。その状態で、これら基板１３，１６に形成された図示しない位置合わせマークを同じく図示しない撮像カメラによって撮像し、これら位置合わせマークが一致するよう第１の基板１３をＸ、Ｙ方向に駆動させて位置合わせするアライメント動作を行う。

アライメント動作の後、マークのずれを確認し、そのずれ量が許容範囲を超えていたら、再度アライメント動作を行う。位置合わせ後、第２の基板１６を下降させて第１、第２の基板１３，１６に所定の加圧力を加えることで、これら基板１３，１６を貼り合わせる。

貼り合わせが終了したならば、第２の保持テーブル１１の静電気力を除去してこの第２の保持テーブル１１を上昇させるとともに、貼り合された一対の基板１３，１６を第１の保持テーブル５の弾性材７の上面から図示しないリフトピン等で持ち上げ、その後、チャンバ１内から搬出する。

上記弾性材７は、少なくとも第１の基板１３が供給載置される上面が非粘着性に改質されている。そのため、第１の基板１３に第２の基板１６を貼り合わせる際、これら基板１３，１６が第２の保持テーブル１１によって加圧されても、第１の基板１３が上記弾性材７の上面に吸着されるのが防止される。

それによって、貼り合された第１、第２の基板１３，１６を第１の保持テーブル５から搬出するとき、これら基板１３，１６を上記弾性材７によって変形させることなく上記弾性材７の上面から剥離上昇させることができるから、貼り合わされた基板１３，１６間に位置ずれが生じて位置合わせ精度が低下するのを防止できる。

上記弾性材７は硬度ショアＡ４０〜９０に設定されている。弾性材７の硬さが硬度ショアＡ４０〜９０の範囲であると、上述したアライメント動作において、その範囲外の硬さの弾性材を用いて一対の基板１３，１６を位置決めして貼り合わせた場合に比べて基板１３，１６を精度よく位置決めして貼り合わせることが実験によって確認された。

下記［表１］は硬度ショアＡ３０〜１００の６種類の弾性材を用いて一対の基板を位置合わせして貼り合わせる場合、基板が弾性材上ですべることによって基板の位置合わせに及ぼす影響と、弾性材が弾性変形して基板の位置合わせに及ぼす影響とを実験によって確認した結果を示す。

この［表１］において、○印は基板の位置合わせ精度が得られたことを示し、△印はアライメント動作を複数回繰り返して行うことで位置合わせ精度が得られることを示す。×印はアライメント動作を複数回繰り返して行っても、位置合わせ精度が得られないことを示している。

上記［表１］に示す各硬度ショアの弾性材を用いて基板を位置合わせする際、基板のすべりの発生が位置合わせ精度に及ぼす影響は、ショア硬度Ａ７０以下では基板が弾性材上ですべるという現象はほとんど見られず、ショア硬度Ａ９０では多少すべるものの、アライメントを複数回繰り返すことで、所定の精度に位置決めすることができた。ショア硬度Ａ１００では弾性材上での基板のすべりが大きくなり過ぎ、アライメント動作を複数回繰り返しても、所定の位置合わせ精度が得られなかった。

一方、弾性材の弾性変形が位置合わせに及ぼす影響は、ショア硬度Ａ６０以上では位置合わせ時の弾性変形量が位置合わせ精度を低下させることがなく、ショア硬度Ａ４０では位置合わせ精度を低下させる弾性変形が生じるものの、アライメント動作を複数回繰り返すことで、所定の精度が得られた。弾性材のショア硬度Ａ３０では位置合わせ時の変形量が大きくなり過ぎ、アライメント動作を複数回繰り返しても所定の位置合わせ精度を得ることができなかった。

以上のことから、第１の保持テーブル５の保持面５ａに設けられる弾性材７の硬さを、ショア硬度Ａ４０〜９０とすることで、第１の基板１３を保持する第１の保持テーブル５に弾性材７を用いても、位置合わせ精度の低下を招くことなく、第１の基板１３に第２の基板１６を貼り合わせることができる。

図２（ａ）〜（ｃ）はこの発明の第２の実施の形態を示す。この実施の形態は第１の保持テーブル５に設けられる弾性材を複数に分割するようにした。図２（ａ）では弾性材７を第１の保持テーブル５の約半分の大きさの２つの弾性片７ａに分割し、これら弾性片７ａを所定の隙間２１を介して上記第１の保持テーブル５に取着するするようにした。

図２（ｂ）は弾性材７を４つの弾性片７ｂに分割し、これら弾性片７ｂを所定の隙間２１を介して設けるようにしたものであり、図２（ｃ）は弾性材７を８つの弾性片７ｃに分割し、これら分割片７ｃを所定の隙間２１を介して設けるようにした。

このように、弾性材７をそれぞれ複数の弾性片７ａ，７ｂ，７ｃに分割すれば、複数の弾性片のうちの１つが弾性変形しても、その弾性変形が他の弾性片に伝播するのを防止できる。そのため、弾性材７の局部的な弾性変形が第１、第２の基板１３，１６の位置合わせ精度に大きく影響を及ぼすのを防止することができる。また、１つの弾性片が大きく弾性変形しても、基板１３は他の弾性片によって確実に保持されるから、基板１３が弾性片に対して滑るのを防止することができる。

弾性材７を複数の分割片７ａ〜７ｃに分割し、これらの分割片７ａ〜７ｃ間に隙間２１を設けることで、第１の保持テーブル５上に落下した塵埃の一部はその隙間２１に入りこむ。そのため、弾性材７と、この弾性材７上に載置される第１の基板１３との間に塵埃が介在する確率を低くすることができるから、そのことによっても貼り合わせ精度を向上させることができる。

また、弾性材７を複数の弾性片７ａ，７ｂ，７ｃに分割することで、第１の保持ステージ５の上面全体にわたる大きさの一枚の弾性材７を用いた場合に比べ、第１の基板１３との間の接触面積を縮小することができるので、弾性片７ａ，７ｂ，７ｃの粘着力によって第１の基板１３が吸着される力を減少させることができる。その結果、貼り合わされた基板１３，１６を第１の保持ステージ１３から搬出するときに、これら基板１３，１６に生じる撓みを抑制することができ、撓みによって基板１３，１６間の位置合わせ精度が低下するのを防止できる。

なお、この第２の実施の形態において、各弾性片７ａ〜７ｃの少なくとも第１の基板１３を保持する面を、荷電粒子の照射によって非粘着面に改質してもよい。さらに、弾性材７の各弾性片７ａ〜７ｃを硬度ショアＡ４０〜９０の硬さとしてもよく、さらに複数に分割された各弾性片７ａ〜７ｃを非粘着面とするとともに硬度ショアＡ４０〜９０の硬さとしてもよい。そのようにすれば、第１の実施の形態と同様の作用効果を得ることもできる。また、弾性材を複数の弾性片に分割したが、その数は限定されず、複数であればよい。

さらに、弾性片の形状は四角形状に限定されず、円形状などの他の形状であっても差し支えない。また、弾性材を複数に分割するということは、この発明では弾性材に所定の深さで溝を形成し、この溝によって弾性材を所定の深さで分割することも含むものであり、そのような構成であっても、複数の分割片に分割する場合とほぼ同じ作用効果を得ることができる。

図３乃至図６はこの発明の第３の実施の形態であって、この実施の形態は第１の実施の形態の第１の保持テーブル５の変形例を示す。すなわち、第１の保持テーブル５の中央部分には、厚さ方向中途部にチャンバ３１が形成されている。このチャンバ３１は、第１の保持テーブル５の第１の基板１３が供給される面に開放する矩形状の第１の凹部３２を形成し、この第１の凹部３２の開口部分を閉塞板３３で閉塞することで、第１の保持テーブル５の厚さ方向中途部に形成されている。

上記第１の凹部３２は、内周面の高さ方向中途部に段部３４が形成されていて、上記閉塞板３３は周縁部を上記段部３４に係合させて上記凹部３２に気密に嵌合固定されている。

上記第１の保持テーブル５の、上記閉塞板３３の一側面を含む面には平面視において円形状をなした複数の第２の凹部３７が千鳥格子状に開口形成されている。これらの第２の凹部３７にはそれぞれ円柱状の台座３８が設けられている。この台座３８は一方の端面におねじ３９が設けられ、他方の端面には弾性材としての円盤状の弾性片７ｄが接着固定されている。すなわち、この実施の形態では、台座３８の他方の端面が弾性材としての弾性片７ｄが設けられる保持面５ａとなっていて、この保持面５ａに弾性片７ｄを介して第１の基板１３が後述するように保持されるようになっている。

上記弾性片７ｄは、第１、第２の実施の形態と同様、第１の基板１３を保持する面、すなわち上端面が非粘着性であること、及び硬度ショアＡ４０〜９０であることの条件のうち、少なくとも一方の条件を備えている材料を用いることができる。

上記第２の凹部３７はその底部にねじ孔４１が形成されている。上記台座３８はおねじ３９を上記ねじ孔４１に締め付けあるいは緩めることで上記第２の凹部３７に着脱可能に設けられている。そして、台座３８に設けられた弾性片７ｄは、おねじ３９をねじ孔４１に締め付けて台座３８を第２の凹部３７に固定した状態で、上端面が水平面をなし、図４に示すように第２の凹部３７の開口面からわずかに上方へ突出している。

この実施の形態では、上記閉塞板３３には７つの第２の凹部３７が形成されている。これら７つの第２の凹部３７のねじ孔４１はそれぞれ上記閉塞板３３の厚さ方向に貫通し、第２の連通孔を形成する。そして、閉塞板３３の長手方向両端部に位置する２つを除く他の５つの第２の凹部３７に取り付けられる台座３８には、図５と図６に示すようにおねじ３９の端面から弾性片７ｄが設けられた端面である、保持面５ａを貫通して弾性片７ｄの上端面に開口する第１の連通孔４３が形成されている。それによって、上記チャンバ３１は、上記ねじ孔４１を介して上記弾性片７ｄの第１の連通孔４３に連通している。

また、閉塞板３３の長手方向両端部に位置する２つの第２の凹部３７には、第１の連通孔４３が形成されていない弾性片７ｄが接着固定された台座３８が取り付けられる。これにより、これら２つの第２の凹部３７に形成された第２の連通孔としてのねじ孔４１は、台座３８によって閉塞される。

つまり、閉塞板３３に形成された７つの第２の凹部３７に設けられたねじ孔４１は、弾性片７ｄの上端面に開口する第１の連通孔４３が形成された台座３８が取り付けられたとき、第１の連通孔４３とチャンバ３１とを連通させ、第１の連通孔４３が形成されていない弾性片７ｄを接着固定した台座３８が取り付けられることで閉塞される。
それぞれの台座３８に設けられた弾性片７ｄの上端面には、図６に示すように溝４４が格子状に形成されている。

ここで、図６は、第１の連通孔４３が形成された弾性片７ｄを示しているが、第１の連通孔４３が形成されていない他の弾性片７ｄについても、溝４４が同様に形成されている。また、これらの溝４４は、弾性片７ｄの縁を突き抜けないように形成されている。すなわち、弾性片７ｄの縁の手前で止まっているので、弾性片７ｄ上に第１の基板１３を密着させたときには、溝４４はチャンバ1内と連通することなく、閉塞された状態となる。

なお、この実施の形態では、全ての弾性片７ｄに溝４４を形成したが、選択された弾性片７ｄにのみ溝４４を形成しても差し支えない。

上記第１の保持テーブル５には、上記チャンバ３１に一端が連通し、他端が上記第２の凹部３７と反対側の面に開口した接続孔４５が形成されている。この接続孔４５の他端には減圧手段としての減圧ポンプ４６が不図示の開閉弁を備えた配管４７を介して接続されている。

このような構成によれば、上記開閉弁を開動作させると、減圧ポンプ４６の吸引力が閉塞板３３に設けられた７つの台座３８のうち、５つの台座３８の弾性片７ｄの第１の連通孔４３に作用する。したがって、第１の保持テーブル５に第１の基板１３が供給されるとき、第1の連通孔４３に吸引力を作用させておけば、この第１の基板１３は第１の連通孔４３に作用する吸引力によって弾性片７ｄ上に吸着保持されるから、第１の基板１３を第１の保持テーブル５に供給載置する際に、この第１の基板１３がずれ動くのを防止することができる。

第1の連通孔４３への吸引力は、第1の基板１３を第1の保持テーブル５に供給載置する際に作用させていればよい。したがって、上記開閉弁は、第1の基板１３が第１の保持テーブル５上に当接するタイミングで開動作させ、第1の保持テーブル５への載置が完了するタイミングで閉動作させればよいが、第１の基板１３に第２の基板１６を貼り合わせ、これら基板をチャンバ１から搬出する直前まで閉動作を継続しても差し支えない。

また、弾性片７ｄに溝４４を形成することによって、溝４４を形成しない場合に比べ、弾性片７ｄと第１の基板１３との接触面積を小さくすることができるので、貼り合された第１、第２の基板１３，１６を第１の保持テーブル５から容易に取外すことができ、これら基板が撓むことが防止できる。
したがって、貼り合された第１、第２の基板１３，１５間に位置ずれが生じるのをより確実に防止することができる。

この発明は上記各実施の形態に限定されず、たとえば弾性材は第１の保持テーブルだけでなく、第２の保持テーブルに設けたり、或いは第２の保持テーブルのみに設けるようにしても差し支えない。

また、第１の基板と第２の基板とを減圧された雰囲気下で貼り合わせるようにしたが、大気圧下で貼り合わせる場合であっても、この発明を適用することは可能である。その場合、第１の基板と第２の基板とを貼り合わせてから、これら基板の隙間に液晶を注入すればよい。

また、第１の基板にシール剤と液晶を設けるようにしたが、シール剤と液晶はどちらの基板に設けてもよく、さらに一方の基板にシール剤、他方の基板に液晶を設けるようにしてもよい。

この発明の第１の実施の形態の貼り合わせ装置の概略的構成図。 （ａ）〜（ｃ）はこの発明の第２の実施の形態を示す第１の保持テーブルの平面図。 この発明の第３の実施の形態を示す第１の保持テーブルの平面図。 図３のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図。 弾性片が設けられる台座の側面図。 図５に示す台座の平面図。

符号の説明

５…第１の保持テーブル、６…第１の駆動源（駆動手段）、７…弾性材、７ａ〜７ｄ…弾性片、１１…第２の保持テーブル、１２…第２の駆動源（駆動手段）、１３…第１の基板、１４…シール剤、１６…第２の基板。

Claims (10)

1. ２枚の基板のどちらか一方にシール剤が枠状に塗布されていて、これらの基板を上記シール剤によって貼り合わせる貼り合わせ装置において、
   一方の基板を保持する保持面を有する第１の保持テーブルと、
   この第１の保持テーブルに対向して配設され他方の基板を保持する保持面を有する第２の保持テーブルと、
   上記第１の保持テーブルと第２の保持テーブルとの少なくとも一方の保持面の上記基板を保持する部分に設けられた非粘着性の弾性材と、
   上記第１の保持テーブルと第２の保持テーブルとを上下方向に相対的に駆動してこれら保持テーブルの保持面に保持された一対の基板を上記シール剤により貼り合わせる駆動手段と
   を具備したことを特徴とする基板の貼り合わせ装置。
2. 上記弾性材は、複数の弾性片に分割されていることを特徴とする請求項１記載の基板の貼り合わせ装置。
3. 上記弾性材は、硬度ショアＡ４０〜９０であることを特徴とする請求項１記載の基板の貼り合わせ装置。
4. 上記弾性材は、複数の弾性片に分割されているとともに硬度ショアＡ４０〜９０であることを特徴とする請求項１記載の基板の貼り合わせ装置。
5. ２枚の基板のどちらか一方にシール剤が枠状に塗布されていて、これらの基板を上記シール剤によって貼り合わせる貼り合わせ装置において、
   一方の基板を保持する保持面を有する第１の保持テーブルと、
   この第１の保持テーブルに対向して配設され他方の基板を保持する保持面を有する第２の保持テーブルと、
   上記第１の保持テーブルと第２の保持テーブルとの少なくとも一方の保持面の上記基板を保持する部分に複数の弾性片に分割して設けられた弾性材と、
   上記第１の保持テーブルと第２の保持テーブルとを上下方向に相対的に駆動してこれら保持テーブルの保持面に保持された一対の基板を上記シール剤により貼り合わせる駆動手段と
   を具備したことを特徴とする基板の貼り合わせ装置。
6. 上記保持テーブルに設けられる複数の上記弾性片のうち少なくとも一部の弾性片には第１の連通孔が形成され、この第１の連通孔には減圧手段が接続されていて、この減圧手段によって上記第１の連通孔に発生する吸引力で上記基板が上記弾性片上に吸着保持されることを特徴とする請求項５記載の基板の貼り合わせ装置。
7. 複数の上記弾性片は、上記保持テーブルに着脱自在に設けられ、上記保持テーブルには、上記第１の連通孔が形成された弾性片が取り付けられる箇所にそれぞれ開口する第２の連通孔が形成されてなり、
   上記第１の連通孔は、上記第１の連通孔が形成された弾性片が上記保持テーブルに取り付けられた状態において上記第２の連通孔を介して上記減圧手段に接続され、
   上記第２の連通孔は、上記保持テーブルにおける当該第２の連通孔が開口する上記箇所に上記第１の連通孔が形成されていない上記弾性片を取り付けることで閉塞されることを特徴とする請求項６記載の基板の貼り合わせ装置。
8. 上記弾性材は、硬度ショアＡ４０〜９０であることを特徴とする請求項５記載の基板の貼り合わせ装置。
9. ２枚の基板のどちらか一方にシール剤が枠状に塗布されていて、これらの基板を上記シール剤によって貼り合わせる貼り合わせ装置において、
   一方の基板を保持する保持面を有する第１の保持テーブルと、
   この第１の保持テーブルに対向して配設され他方の基板を保持する保持面を有する第２の保持テーブルと、
   上記第１の保持テーブルと第２の保持テーブルとの少なくとも一方の保持面の上記基板を保持する部分に設けられた硬度ショアＡ４０〜９０の弾性材と、
   上記第１の保持テーブルと第２の保持テーブルとを上下方向に相対的に駆動してこれら保持テーブルの保持面に保持された一対の基板を上記シール剤により貼り合わせる駆動手段と
   を具備したことを特徴とする基板の貼り合わせ装置。
10. ２枚の基板のどちらか一方にシール剤が枠状に塗布されていて、これらの基板が上記シール剤によって貼り合される液晶ディスプレイパネルにおいて、
    一方の基板を保持する保持面を有する第１の保持テーブルと、
    この第１の保持テーブルに対向して配設され他方の基板を保持する保持面を有する第２の保持テーブルと、
    上記第１の保持テーブルと第２の保持テーブルとの少なくとも一方の保持面の上記基板を保持する部分に設けられた非粘着性の弾性材と、
    上記第１の保持テーブルと第２の保持テーブルとを上下方向に相対的に駆動してこれら保持テーブルの保持面に保持された一対の基板を上記シール剤により貼り合わせる駆動手段と
    によって構成された貼り合わせ装置を用いて上記２枚の基板が貼り合わされたことを特徴とする液晶ディスプレイパネル。

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