KR20210137343A - 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

표시 장치의 제조 장치가 제공된다. 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치는 프레임, 프레임에 설치된 가이드부, 가이드부에 설치된 한 쌍의 클램프, 및 프레임에 대한 각 클램프의 상대적인 위치가 변경되도록 프레임을 회전시키는 회전 유닛을 포함하되, 각 클램프는 흡착부를 포함한다.

Description

표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법 {APPARATUS FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICE}
본 발명은 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
표시 장치는 멀티미디어의 발달과 함께 그 중요성이 증대되고 있다. 이에 부응하여 유기발광 표시 장치(Organic Light Emitting Display, OLED), 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display, LCD) 등과 같은 여러 종류의 표시 장치가 사용되고 있다.
일반적으로 표시 장치는 윈도우, 표시 패널 및 복수의 기능성 필름을 포함하며, 이들은 각각 인접한 구성 요소에 부착될 수 있다. 적어도 두 개의 부착 대상 중 어느 하나의 일면에는 이형 필름이 부착되어 있어 부착 공정 시 이형 필름을 먼저 제거한 후 공정이 진행되는데, 이형 필름이 제거된 부착 대상은 분진, 파편 등의 이물질에 취약할 수 있다. 부착 대상이 이물질에 노출될 경우 부착 대상들 간에 불완전한 부착이 이뤄지며, 이로써 표시 장치의 신뢰성 및 표시 품질이 저하될 수 있다. 따라서, 안정적이고 정밀한 부착이 가능한 부착 장치 및 방법이 요구된다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 안정적이고 정밀하게 기재를 부착할 수 있는 표시 장치의 제조 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 안정적이고 정밀하게 기재를 부착할 수 있는 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치는 프레임; 상기 프레임에 설치된 가이드부; 상기 가이드부에 설치된 한 쌍의 클램프; 및 상기 프레임에 대한 상기 각 클램프의 상대적인 위치가 변경되도록 상기 프레임을 회전시키는 회전 유닛을 포함하되, 상기 각 클램프는 흡착부를 포함한다.
상기 각 클램프는 상기 가이드부에 체결되는 체결부를 더 포함하되, 상기 흡착부는 상기 체결부보다 상기 프레임을 기준으로 더 멀리 배치될 수 있다.
상기 각 클램프의 단부는 상기 가이드부를 향하는 제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 포함하며, 상기 흡착부는 상기 클램프의 상기 단부의 상기 제1 면에 배치될 수 있다.
상기 흡착부는 음압이 제공되는 복수의 흡착홀을 포함할 수 있다.
상기 흡착부는 고전압이 인가되는 정전척을 포함할 수 있다.
상기 각 클램프의 이격 거리를 조절하는 위치 조절 수단을 더 포함할 수 있다.
상기 흡착부에 흡착되는 소자를 더 포함하되, 상기 소자는 배면, 상기 배면과 대향하는 상면, 및 상기 배면과 상기 상면에 수직하는 측면을 포함하고, 상기 클램프는 상기 소자의 상기 상면 및 상기 측면에 비접촉할 수 있다.
상기 소자가 가공되는 챔버; 및 상기 챔버 외부에 배치되는 서브 스테이지를 더 포함할 수 있다.
상기 클램프는 상기 흡착부와 결합되는 실린더를 더 포함하되, 상기 실린더는 상기 가이드부의 연장 방향을 따라 이동 가능하도록 구성될 수 있다.
상기 가이드부는 일 방향으로 연장된 형상을 갖고, 상기 회전 유닛은 상기 가이드부의 연장 방향에 대해 수직한 평면 상에서 상기 프레임을 회전시킬 수 있다.
에어를 분사하는 에어 블로워를 더 포함하되, 상기 에어 블로워는 상기 가이드부보다 상기 프레임을 기준으로 더 멀리 배치될 수 있다.
상기 에어 블로워는 상기 프레임에 결합되는 제1 에어 블로워 및 상기 각 클램프에 결합되는 제2 에어 블로워를 포함할 수 있다.
상기 다른 과제를 해결하기 위한 일 실시예에 다른 표시 장치의 제조 방법은 서브 스테이지 상에 제1 소자를 배치하는 단계; 이송 유닛으로 상기 제1 소자를 흡착하고 픽업하는 단계; 상기 이송 유닛을 제1 메인 스테이지 및 상기 제1 메인 스테이지와 대향하는 제2 메인 스테이지를 포함하는 챔버 내로 이송하는 단계; 상기 제1 소자를 상기 제1 메인 스테이지 상에 안착시키는 단계; 상기 서브 스테이지 상에 제2 소자를 배치하는 단계; 상기 이송 유닛으로 상기 제2 소자를 흡착하고 픽업하는 단계; 상기 이송 유닛을 상기 챔버 내로 이송하는 단계; 상기 제2 소자를 상기 제2 메인 스테이지 상에 안착시키는 단계; 및 상기 제1 소자 및 상기 제2 소자를 접합하는 단계를 포함하되, 상기 제1 소자 및 상기 제2 소자는 각각 배면, 상기 배면과 대향하는 상면, 및 상기 배면과 상기 상면에 수직하는 측면을 포함하고, 상기 이송 유닛은 상기 제1 소자의 상기 측면 및 상기 제2 소자의 상기 측면과 비접촉한다.
상기 이송 유닛은 프레임, 상기 프레임에 설치된 가이드부, 상기 가이드부에 설치된 한 쌍의 클램프 및 상기 프레임과 상기 각 클램프에 설치되며 에어를 분사하는 에어 블로워를 포함하고, 상기 각 클램프는 흡착부를 포함하되, 상기 이송 유닛으로 상기 제1 소자 및 상기 제2 소자를 흡착하고 픽업하는 단계는 상기 흡착부로 상기 제1 소자의 상기 배면 및 상기 제2 소자의 상기 배면을 흡착하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 제1 메인 스테이지는 중앙부에 위치하는 복수의 중앙 흡착홀 및 주변부에 위치하는 주변 흡착홀을 포함하되, 상기 제1 소자를 상기 제1 메인 스테이지 상에 안착시키는 단계는 상기 한 쌍의 클램프 간 이격 거리를 감소시키며, 상기 에어 블로워로 상기 제1 소자를 향해 에어를 분사하고, 상기 제1 메인 스테이지의 상기 중앙 흡착홀로 상기 제1 소자를 흡착하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 제1 메인 스테이지의 상기 중앙 흡착홀로 상기 제1 소자를 흡착하는 단계 이후에는 상기 한 쌍의 클램프 간 이격 거리를 증가시키며, 상기 에어 블로워로 상기 제1 소자를 향해 에어를 분사하고, 상기 제1 메인 스테이지의 상기 주변 흡착홀로 상기 제1 소자를 흡착하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 제1 소자를 상기 제1 메인 스테이지 상에 안착시키는 단계는 상기 제1 소자의 중앙부부터 가장자리부까지 상기 제1 메인 스테이지 상에 순차적으로 흡착되는 단계를 포함할 수 있다.
상기 이송 유닛으로 상기 제1 소자 및 상기 제2 소자를 픽업하고 흡착하는 단계에서, 상기 제1 소자 및 상기 제2 소자의 상기 측면은 외부로 노출될 수 있다.
상기 이송 유닛으로 상기 제2 소자를 픽업하는 흡착하는 단계 이후에 상기 이송 유닛이 회전하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 이송 유닛이 회전하는 단계에서 상기 이송 유닛은 180° 회전할 수 있다.
기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치에 의하면, 안정적이고 정밀하게 기재를 부착하여 표시 장치의 신뢰성 및 표시 품질을 향상시킬 수 있다.
일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 의하면, 안정적이고 정밀하게 기재를 부착하여 표시 장치의 신뢰성 및 표시 품질을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 나타낸 개략도이다.
도 2는 일 실시예에 따른 서브 스테이지를 나타낸 개략도이다.
도 3은 일 실시예에 따른 이송 유닛을 나타낸 개략도이다.
도 4는 도 3의 이송 유닛을 180°회전시킨 개략도이다.
도 5는 도 3의 이송 유닛의 저면도이다.
도 6은 일 실시예에 따른 챔버를 나타낸 개략도이다.
도 7은 일 실시예에 따른 제1 메인 스테이지의 평면도이다.
도 8은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다.
도 9 내지 도 21는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 개략도이다.
도 22은 다른 실시예에 따른 이송 유닛을 나타낸 개략도이다.
도 23는 또 다른 실시예에 따른 이송 유닛을 나타낸 개략도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.
이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 실시예들에 대해 설명한다.
도 1은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 나타낸 개략도이다. 도 2는 일 실시예에 따른 서브 스테이지를 나타낸 개략도이다. 도 3은 일 실시예에 따른 이송 유닛을 나타낸 개략도이다. 도 4는 도 3의 이송 유닛을 180°회전시킨 개략도이다. 도 5는 도 3의 이송 유닛의 저면도이다. 도 6은 일 실시예에 따른 챔버를 나타낸 개략도이다. 도 7은 일 실시예에 따른 제1 메인 스테이지의 평면도이다.
도 1 내지 도 7을 참조하면, 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치는 서브 스테이지(100), 이송 유닛(200) 및 챔버(300)를 포함할 수 있다. 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치는 제1 및 제2 소자(10, 20)를 서로 부착하는 장치일 수 있다. 구체적으로, 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치는 제1 및 제2 소자(10, 20)를 서브 스테이지(100) 상에 안착시킨 후 이송 유닛(200)으로 챔버(300)에 이송하고, 제1 소자(10)의 일면과 제2 소자(20)의 일면을 서로 부착하는 장치일 수 있다.
여기서, 제1 소자(10)의 일면 및 제2 소자(20)의 일면 중 적어도 어느 한 면에는 부착을 위한 점착층(30)이 배치될 수 있다. 이하에서는 제1 소자(10)의 일면 상에 점착층(30)이 배치되는 것으로 설명하였으나, 이에 제한되지 않고 제2 소자(20)의 일면 상에 배치될 수도 있다. 점착층(30)은 아크릴계 점착제, 실리콘계 점착체, 무산(acid-free) 타입의 히드록실(hydroxyl) 함유 점착제 등의 점착제 중 적어도 어느 하나일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
점착층(30)은 제1 및 제2 소자(10, 20) 둘 중 어느 하나가 자체적으로 접착성을 가질 경우 생략될 수 있다. 예를 들어, 점착층(30)은 제1 및 제2 소자(10, 20) 둘 중 어느 하나가 광학용 투명 접착 필름(OCA, Optically Clear Adhesive) 등일 경우 생략될 수 있다.
예시적인 실시예에서, 제1 및 제2 소자(10, 20)는 표시 장치를 이루는 윈도우, 표시 패널, 편광판, 터치 부재, 보호 필름 및 광학용 투명 접착 필름(OCA, Optically Clear Adhesive) 등의 기능성 필름 중 어느 하나일 수 있으나, 이에 제한되지 않고 다른 플렉서블(Flexible)한 기재일 수 있다. 제1 소자(10) 및 제2 소자(20)는 동일한 이송 유닛(200)을 이용하여 이송될 수 있으나, 이에 제한되지 않고 상이한 이송 유닛(200)을 이용하여 이송될 수도 있다.
이하, 도 1 내지 도 7을 참조한 설명에서 제1 소자(10)가 제1 메인 스테이지(320)로 이송되고 제2 소자(20)가 제2 메인 스테이지(330)로 이송되는 것으로 설명하였으나, 반대로 제1 소자(10)가 제2 메인 스테이지(330)로 이송되고 제2 소자(20)가 제1 메인 스테이지(320)로 이송될 수도 있다. 또한, 서브 스테이지(100) 상에 제1 소자(10)가 적재되고, 이송 유닛(200)에 의해 제1 소자(10)가 제1 메인 스테이지(320)로 이송되는 경우에 대해 설명하였으나, 해당 내용은 제2 소자(20)가 제2 메인 스테이지(330)로 이송되는 경우에 대해서도 동일하게 적용될 수 있다.
일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치에 포함되는 서브 스테이지(100) 상에는 챔버(300)로 이송되는 제1 소자(10)가 적재될 수 있다. 서브 스테이지(100)는 평판 형상을 가질 수 있다. 서브 스테이지(100)는 제조, 검사 등의 공정을 수행하고자 하는 대상을 지지할 수 있다. 서브 스테이지(100)는 후술할 챔버(300)의 외부에 배치될 수 있다.
서브 스테이지(100) 상에 배치된 제1 소자(10)는 제1 상면(10a), 제1 배면(10b) 및 제1 상면(10a)과 제1 배면(10b)에 수직하는 제1 측면(10c)을 포함할 수 있다. 제1 상면(10a)은 점착층(30)과 접하는 면이고, 제1 배면(10b)은 제1 상면(10a)과 대향하는 면으로서 서브 스테이지(100)와 접하는 면일 수 있다. 제1 소자(10) 상에는 점착층(30)이 배치될 수 있으나, 이에 제한되지 않고 점착층(30)은 생략될 수 있다.
서브 스테이지(100)는 제1 소자(10)보다 작은 폭을 가질 수 있다. 예를 들어, 도 2에 도시된 바와 같이, 서브 스테이지(100)의 폭을 제1 폭(W1)이라고 하고, 제1 소자(10)의 폭을 제2 폭(W2)이라고 할 때, 제1 폭(W1)은 제2 폭(W2)보다 작을 수 있다. 따라서, 제1 소자(10)는 서브 스테이지(100)와 부분적으로 중첩하며, 제1 배면(10b)은 서브 스테이지(100)와 부분적으로 접촉할 수 있다.
서브 스테이지(100) 상의 제1 소자(10)는 이송 유닛(200)에 의해 픽업될 수 있다. 제1 소자(10)는 양 단부가 서브 스테이지(100)의 양 단부보다 외측에 위치함으로써, 이송 유닛(200)에 의해 용이하게 픽업될 수 있다. 구체적으로, 서브 스테이지(100)와 비접촉하여 노출되는 제1 배면(10b)을 이송 유닛(200)으로 지지하여 제1 소자(10)를 용이하게 픽업할 수 있다. 이 때, 제1 소자(10)의 제1 측면(10c)은 이송 유닛(200)에 의해 파지되지 않을 수 있다. 즉, 제1 소자(10)의 제1 측면(10c)은 이송 유닛(200)과 접촉하지 않고 외부로 노출될 수 있다. 따라서, 제1 소자(10)가 이송 유닛(200)에 의해 픽업될 때, 제1 소자(10)의 외형은 변형되지 않고 유지될 수 있다.
이송 유닛(200)은 서브 스테이지(100) 상에 위치하는 제1 소자(10)를 픽업하여 다른 곳으로 이송할 수 있다. 예를 들어, 이송 유닛(200)은 서브 스테이지(100) 상에 위치하는 제1 소자(10)를 후술할 챔버(300)의 내부로 이송할 수 있다.
이송 유닛(200)은 프레임(210), 가이드부(220), 클램프(230), 에어 블로워(240) 및 회전 유닛(250)을 포함할 수 있다.
프레임(210)은 이송 유닛(200)의 전체적인 외형을 구성하며, 가이드부(220), 클램프(230), 에어 블로워(240), 회전 유닛(250) 및 클램프 구동부(260) 등이 결합될 수 있다. 프레임(210)은 평판 형상을 갖는 수평 프레임(211) 및 수평 프레임(211)의 양단부로부터 절곡되어 연장하는 수직 프레임(212)을 포함할 수 있다. 이송 유닛(200)으로 서브 스테이지(100) 상에 배치된 제1 소자(10)를 픽업하는 과정에서 수평 프레임(211)은 서브 스테이지(100)와 실질적으로 평행하도록 유지될 수 있다.
가이드부(220)는 프레임(210)에 설치될 수 있다. 구체적으로, 가이드부(220)는 프레임(210)의 수직 프레임(212)에 설치될 수 있다. 가이드부(220)는 후술하는 클램프(230)를 가이드할 수 있다. 즉, 클램프(230)는 가이드부(220)에 설치되며 가이드부(220)를 따라 이동할 수 있다. 가이드부(220)는 일 방향을 따라 연장될 수 있다. 가이드부(220)는 수평 프레임(211)과 이격되어 배치될 수 있다. 가이드부(220)는 평면도상 수평 프레임(211)을 이등분하도록 수직 프레임(212)의 중앙에 결합될 수 있다.
가이드부(220)의 외주면에는 나사산이 형성될 수 있다. 가이드부(220)는 가이드부(220)를 연장 방향으로 이등분하는 가상의 선인 가이드부 이등분선(HL)을 기준으로 일측에 배치되는 제1 가이드부(220a) 및 타측에 배치되는 제2 가이드부(220b)를 포함할 수 있다. 가이드부 이등분선(HL)을 기준으로 제1 가이드부(220a)의 외주면에 형성된 나사산 및 제2 가이드부(220b)의 외주면에 형성된 나사산은 상호 대칭 구조를 가질 수 있다. 후술하겠지만, 제1 가이드부(220a) 및 제2 가이드부(220b)의 외주면에 형성된 나사산이 대칭 구조이므로 가이드부(220) 회전 시 클램프(230)는 서로 반대 방향으로 이동할 수 있다.
가이드부(220)에는 상호 대향하여 배치되는 한 쌍의 클램프(230)가 체결될 수 있다. 클램프(230)는 가이드부(220)에 체결되며 가이드부(220)와 수직하는 평판 형상을 갖는 체결부(231), 체결부(231)의 하측 단부로부터 외측 및 하측으로 연장하는 연결부(232) 및 연결부(232)의 외측 단부로부터 내측으로 연장하는 안착부(233)를 포함할 수 있다.
클램프(230)의 체결부(231)는 가이드부(220)에 체결되는 체결홀(미도시)을 포함할 수 있다. 체결홀의 내주면에는 가이드부(220)의 외주면에 형성된 나사산에 대응하는 나사골이 형성될 수 있다. 상호 대향하는 클램프(230)의 체결부(231)의 내면 간의 간격은 클램프 이격 거리(d)로 정의될 수 있다. 상술한 바와 같이, 클램프 이격 거리(d)는 가이드부(220)의 회전에 의해 조절될 수 있다. 예를 들어, 클램프 이격 거리(d)는 가이드부(220)가 일 방향으로 회전하면 증가하고, 타 방향으로 회전하면 감소할 수 있다. 후술하겠지만, 클램프(230)의 체결부(231)의 하면에는 에어 블로워(240b)가 배치될 수 있다.
클램프(230)의 연결부(232)는 체결부(231) 및 안착부(233)를 연결할 수 있다. 예시적인 실시예에서 연결부(232)의 형상은 외측 및 하측으로 연장할 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
안착부(233)는 가이드부(220)를 향하는 제1 면(233a) 및 제1 면(233a)에 대향하는 제2 면(233b)을 포함할 수 있다. 이송 유닛(200)에 제1 소자(10)가 적재되면, 안착부(233)의 제1 면(233a)에는 제1 소자(10)의 양 단부가 안착될 수 있다. 안착부(233)의 제1 면(233a)은 제1 소자(10)의 제1 배면(10b)과 부분적으로 접할 수 있다.
안착부(233)는 이송 흡착부(234)를 포함할 수 있다. 이송 흡착부(234)는 프레임(210)을 기준으로 체결부(231)보다 더 멀리 배치될 수 있다. 이송 흡착부(234)는 안착부(233)의 제1 면(233a)에 배치될 수 있다. 이송 흡착부(234)는 안착부(233)의 제1 면(233a)과 부분적으로 접하는 제1 소자(10)의 제1 배면(10b)을 흡착하여, 이송 유닛(200)에 제1 소자(10)를 고정할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 이송 흡착부(234)는 진공 유닛(미도시)과 연결되어 음압이 제공되는 흡착홀을 포함할 수 있다. 안착부(233)는 이송 흡착부(234)에 제공되는 음압을 통해 제1 소자(10)를 안정적으로 고정할 수 있다. 제1 소자(10)의 제1 상면(10a) 및 제1 측면(10c)은 클램프(230)와 비접촉할 수 있다.
수평 프레임(211) 및 클램프(230)의 체결부(231)의 하부에는 에어 블로워(240)가 배치될 수 있다. 에어 블로워(240)는 이송 유닛(200)의 외부의 에어 공급 장치(미도시)와 연결되며 에어를 분사할 수 있다. 에어 블로워(240)가 분사하는 에어는 안착부(233)에 의해 지지되는 제1 소자(10)를 에어 분사 방향으로 휘도록 할 수 있다. 에어 블로워(240)가 분사하는 에어는 공기 또는 질소 가스일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
에어 블로워(240)는 프레임(210)을 기준으로 가이드부(220)보다 더 멀리 배치될 수 있다. 에어 블로워(240)는 수평 프레임(211)에 결합된 제1 에어 블로워(240a) 및 클램프(230)의 체결부(231) 하부에 결합되어 클램프(230)의 이동에 따라 함께 이동 가능하도록 구성되는 제2 에어 블로워(240b)를 포함할 수 있다. 제1 에어 블로워(240a)는 샤프트(242)에 의해 수평 프레임(211)에 결합될 수 있다. 제2 에어 블로워(240b)는 클램프(230)의 하부에 직접 결합될 수 있으나, 이에 제한되지 않고 상술한 샤프트(242)와 같은 연결 부재(미도시)를 통해 결합될 수도 있다.
각 에어 블로워(240a, 240b)는 에어 토출구(241a, 241b)를 포함할 수 있다. 즉, 제1 에어 블로워(240a)는 제1 에어 토출구(241a)를 포함하고, 제2 에어 블로워(240b)는 제2 에어 토출구(241b)를 포함할 수 있다. 각 에어 블로워(240a, 240b)로부터 분사되는 에어의 압력은 동일할 수 있으나, 이에 제한되지 않고 각 에어 블로워(240a, 240b) 별로 상이한 압력으로 에어가 분사될 수도 있다.
이송 유닛(200)의 프레임(210)의 일 측면에는 회전 유닛(250)이 배치될 수 있다. 예시적인 실시예에서, 회전 유닛(250)은 회전축을 포함하며, 외부 모터(미도시)와 연결되어 이송 유닛(200)이 회전 가능하게 할 수 있다. 이송 유닛(200)은 회전 유닛(250)에 의해 회전할 수 있다. 회전 유닛(250)은 프레임(210)에 대한 각 클램프(230)의 상대적인 위치가 변경되도록 프레임(210)을 회전시킬 수 있다. 구체적으로, 회전 유닛(250)은 가이드부(220)의 연장 방향에 대해 수직한 평면 상에서 프레임(210)을 회전시킬 수 있다. 도 4와 같이 이송 유닛(200)은 회전 유닛(250)에 의해 제1 소자(10)가 적재된 상태로 180°회전하여 프레임(210)이 하측에 배치되고, 제1 소자(10)가 상측에 배치될 수 있다. 이러한 경우에도, 제1 소자(10)는 이송 흡착부(234)에 제공되는 음압에 의해 이송 유닛(200)에 안정적으로 고정될 수 있다.
수평 프레임(211)의 상부에는 클램프 구동부(260)가 배치될 수 있다. 클램프 구동부(260)는 상술한 가이드부(220)를 회전시켜 클램프(230)를 이동시킬 수 있다. 클램프 구동부(260)는 클램프 이격 거리(d)를 조절하는 위치 조절 수단일 수 있다. 클램프 구동부(260)에 의해 가이드부(220)가 회전하면 한 쌍의 클램프(230)는 서로 반대 방향으로 이동할 수 있다. 예를 들어, 가이드부(220)가 일 방향으로 회전하면 클램프(230)는 클램프 이격 거리(d)가 증가하는 쪽으로 각각 이동하고, 가이드부(220)가 타 방향으로 회전하면 클램프(230)는 클램프 이격 거리(d)가 감소하는 쪽으로 각각 이동할 수 있다.
이송 유닛(200)에 의해 제1 소자(10)는 챔버(300)로 이동할 수 있다. 챔버(300)는 제1 소자(10) 및 제2 소자(20)가 가공되는 공간을 제공할 수 있다. 예를 들어, 챔버(300)는 제1 소자(10) 및 제2 소자(20)가 상호 부착되는 공정이 수행되는 공간을 제공할 수 있다. 챔버(300)는 챔버 커버(310), 제1 메인 스테이지(320), 제2 메인 스테이지(330), 진공 모듈(340) 및 스테이지 실린더(350)를 포함할 수 있다.
챔버 커버(310)는 제1 메인 스테이지(320) 및 제2 메인 스테이지(330)가 수용되는 챔버(300)의 내부 공간을 제공할 수 있다. 챔버 커버(310)는 하부에 배치되는 제1 챔버 커버(310a) 및 상부에 배치되는 제2 챔버 커버(310b)를 포함할 수 있다. 제1 챔버 커버(310a) 및 제2 챔버 커버(310b)는 서로 이격되어 위치하거나, 상호 체결될 수 있다. 제1 챔버 커버(310a) 및 제2 챔버 커버(310b)가 서로 이격되어 위치하는 경우, 제1 챔버 커버(310a) 및 제2 챔버 커버(310b)의 사이 공간으로 제1 및 제2 소자(10, 20)가 출납될 수 있다. 제1 챔버 커버(310a) 및 제2 챔버 커버(310b)가 상호 체결되는 경우, 챔버(300)의 내부 공간은 외부로부터 밀폐될 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니며 챔버 커버(310)는 도어(미도시)를 포함하여 개폐되는 구조를 가질 수도 있다.
챔버(300)의 내부 공간에는 제1 메인 스테이지(320) 및 제2 메인 스테이지(330)가 배치될 수 있다. 제1 및 제2 메인 스테이지(320, 330) 각각은 챔버(300) 내에서 공정을 수행하고자 하는 대상을 지지하고 고정할 수 있다. 예를 들어, 제1 메인 스테이지(320)는 부착 공정을 위한 제1 소자(10)를 지지 및 고정하고, 제2 메인 스테이지(330)는 제1 소자(10)와 부착되는 제2 소자(20)를 지지 및 고정할 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않고, 반대로 제2 메인 스테이지(330)가 제1 소자(10)를 지지 및 고정하고, 제1 메인 스테이지(320)가 제1 소자(10)와 부착되는 제2 소자(20)를 지지 및 고정할 수도 있다.
제1 메인 스테이지(320)는 평판 형상을 가질 수 있으나, 이에 제한되지 않고 볼록하거나 오목한 형상을 가질 수도 있다. 제1 메인 스테이지(320)는 제1 메인 스테이지(320)의 상면에 제1 소자(10)를 고정시킬 수 있다. 제1 메인 스테이지(320)는 제1 소자(10)를 진공 흡착하기 위한 복수의 제1 흡착홀(321)을 포함할 수 있다. 복수의 제1 흡착홀(321)은 진공 펌프와 같은 진공 유닛과 연결되며, 제1 소자(10)는 진공 유닛과 연결된 복수의 제1 흡착홀(321)을 통해 제1 메인 스테이지(320)의 상면에 진공 흡착될 수 있다. 제1 메인 스테이지(320)는 상하 이동할 수 있다.
제2 메인 스테이지(330)는 제1 메인 스테이지(320)와 대향하여 배치될 수 있다. 제2 메인 스테이지(330)는 제1 메인 스테이지(320)와 동일한 평판 형상을 가질 수 있으나, 이에 제한되지 않고 볼록하거나 오목한 형상을 가질 수도 있다. 제2 메인 스테이지(330)는 제1 메인 스테이지(320)와 대향하는 제2 메인 스테이지의 하면에 제2 소자(20)를 고정시킬 수 있다. 제2 메인 스테이지(330)는 제2 소자(20)를 진공 흡착하기 위한 복수의 제2 흡착홀(331)을 가질 수 있다. 복수의 제2 흡착홀(331)은 진공 펌프와 같은 진공 유닛과 연결되며, 제2 소자(20)는 진공 유닛과 연결된 복수의 제2 흡착홀(331)을 통해 제2 메인 스테이지(330) 하면에 진공 흡착될 수 있다. 일 실시예에 따른 메인 스테이지(320, 330)는 진공 흡착 방식을 이용하여 제1 소자(10) 및 제2 소자(20)를 고정하는 것으로 설명하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 점착척 또는 정전척 등 다양한 방식을 통해 제1 소자(10) 또는 제2 소자(20)를 고정할 수도 있다.
제1 메인 스테이지(320)는 중앙부(P1) 및 중앙부(P1)와 가장자리 사이의 주변부(P2)를 포함할 수 있다. 중앙부(P1)는 제1 메인 스테이지(320)의 중앙을 일 방향으로 가로지르는 라인 형태의 영역으로 정의될 수 있고, 주변부(P2)는 중앙부(P1)를 제외한 나머지 영역으로, 중앙부(P1)를 사이에 두고 이격된 두 개의 영역으로 정의될 수 있다.
제1 메인 스테이지(320) 상에는 복수의 제1 흡착홀(321)이 배치될 수 있다. 도 7에는 복수의 제1 흡착홀(321)은 종방향 및 횡방향으로 서로 나란하게 배치되는 것으로 도시되어 있으나, 이에 제한되는 것은 아니며, 복수의 제1 흡착홀(321)은 인접한 제1 흡착홀(321)과 종방향 또는 횡방향으로 어긋나게 배치될 수 있고, 또한, 지그재그 형태로 배치될 수도 있다. 복수의 제1 흡착홀(321)은 중앙부(P1) 영역에 위치하는 복수의 제1 중앙 흡착홀(321a) 및 주변부(P2) 영역에 위치하는 복수의 제1 주변 흡착홀(321b)을 포함할 수 있다.
제1 소자(10)가 제1 메인 스테이지(320)에 안착되는 과정에서, 두 개의 클램프(230)가 서로 가까워지는 방향으로 이동하고 제1 소자(10)는 휘어진 상태로 제1 소자(10)의 중앙부부터 제1 메인 스테이지(320)의 상면과 접촉할 수 있다. 특히, 제1 소자(10)의 중앙부는 제1 메인 스테이지(320)의 중앙부(P1)에 위치하는 복수의 제1 중앙 흡착홀(321a)에 접촉할 수 있다. 이때, 복수의 제1 중앙 흡착홀(321a)에 연결된 진공 유닛이 동작하여, 제1 소자(10)의 중앙부는 제1 메인 스테이지(320)에 진공 흡착될 수 있다.
이어서, 두 개의 클램프(230)가 서로 멀어지는 방향으로 이동하고, 복수의 제1 주변 흡착홀(321b)에 연결된 진공 유닛이 동작하여, 제1 소자(10)의 중앙부로부터 제1 소자(10)의 가장자리부까지 제1 메인 스테이지(320) 상에 순차적으로 진공 흡착될 수 있다. 이에 따라, 제1 메인 스테이지(320)와 제1 소자(10) 사이에 기포가 생기는 것을 방지할 수 있고, 제1 메인 스테이지(320)와 제1 소자(10) 간의 밀착성을 향상시킬 수 있다.
제2 메인 스테이지(330)는 제1 메인 스테이지(320)와 동일한 구조를 가지며, 제2 소자(20)가 제2 메인 스테이지(330)에 안착되는 과정은 상술한 제1 소자(10)가 제1 메인 스테이지(320)에 안착되는 과정과 동일할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
또한 도시되지 않았으나, 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치는 제1 메인 스테이지(320) 상에 배치되어 부착 공정 중 제1 소자(10) 및 제2 소자(20)을 가압하기 위한 가압 패드, 탄성 시트 등을 더 포함할 수 있다.
제2 메인 스테이지(330)는 스테이지 실린더(350)에 의해 수직 방향으로 이동할 수 있다. 스테이지 실린더(350)는 제2 챔버 커버(310b) 상부에 배치될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 예시적인 실시예에서, 제1 메인 스테이지(320) 상에 제1 소자(10)가 배치되고, 제2 메인 스테이지(330) 상에 제2 소자(20)가 배치된 후, 스테이지 실린더(350)를 이용하여 제2 메인 스테이지(330)를 제1 메인 스테이지(320) 측으로 하강시켜 제1 소자(10) 및 제2 소자(20)를 상호 부착시킬 수 있다. 이 때, 제1 소자(10) 및 제2 소자(20) 사이에는 점착층(30)이 개재될 수 있으나, 상술한 바와 같이 경우에 따라 생략될 수도 있다.
제1 소자(10) 및 제2 소자(20)의 부착 공정이 이뤄지기 위하여 챔버 커버(310)의 내부 공간은 진공 상태로 유지될 필요가 있다. 여기서 진공 상태는 완전한 진공 상태를 의미하는 것이 아니고, 부착 공정이 안정적으로 이뤄질 정도의 저압 상태를 의미할 수 있다. 챔버 커버(310) 내부 공간의 진공 상태는 챔버 커버(310)의 외부에 배치된 진공 모듈(340)에 의해 형성될 수 있다. 진공 모듈(340)은 챔버 커버(310)의 내부 공간이 외부로부터 밀폐된 다음에 작동될 수 있다. 상술한 바와 같이, 챔버 커버(310) 내부 공간의 외부로부터의 밀폐는 제1 챔버 커버(310a) 및 제2 챔버 커버(310b)가 상호 체결되어 형성될 수 있다.
일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치에 의하면, 이송 유닛(200)을 이용하여 제1 소자(10) 및 제2 소자(20)를 서브 스테이지(100)에서 챔버(300)로 안정적으로 이송할 수 있다. 챔버(300) 내부로 이송된 제1 소자(10) 및 제2 소자(20)는 정밀하게 상호 부착될 수 있다. 따라서, 상호 부착된 제1 소자(10) 및 제2 소자(20)를 포함하는 표시 장치의 신뢰성 및 표시 품질을 향상시킬 수 있다.
도 8은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다. 도 9 내지 도 21는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 개략도이다.
도 8을 참조하면, 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 서브 스테이지 상에 제1 소자를 배치하는 단계(S11), 제1 소자로부터 이형 필름을 제거하는 단계(S21), 이송 유닛의 이송 흡착부로 제1 소자의 배면을 흡착하여 제1 소자를 픽업하고, 챔버 내로 이송하는 단계(S31), 제1 소자의 배면을 제1 메인 스테이지 상에 안착시키는 단계(S41), 서브 스테이지 상에 제2 소자를 배치하는 단계(S51), 이송 유닛의 이송 흡착부로 제2 소자의 배면을 흡착하여 제2 소자를 픽업하고, 챔버 내로 이송하는 단계(S61), 제2 소자의 배면을 제2 메인 스테이지 상에 안착시키는 단계(S71) 및 제1 소자 및 제2 소자를 접합하는 단계(S81)를 포함할 수 있다.
도 8 및 도 9를 참조하면, 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 서브 스테이지(100) 상에 제1 소자(10)를 배치하는 단계(S11)를 포함할 수 있다. 제1 소자(10) 상에는 점착층(30)이 배치될 수 있다. 이에 대한 설명은 도 1 내지 도 7을 참조하여 상술하였는 바, 생략하기로 한다. 점착층(30) 상에는 이형 필름(40)이 배치될 수 있다. 이형 필름(40)은 제1 소자(10)가 부착 공정에 투입되기 전까지 분진, 파편, 수분 및 기타 오염물로부터 제1 소자(10)를 보호할 수 있다. 일반적으로 이형 필름(40)은 제1 소자(10)의 점착층(30) 상에 배치되고, 사용 직전에 분리될 수 있다. 예를 들어, 이형 필름(40)은 폴리에틸렌 필름, 폴리프로필렌 필름, 에틸렌 비닐 아세테이트 공중합체 필름, 폴리염화비닐 필름, 폴리비닐리덴 클로라이드 필름, 폴리스티렌 필름, 폴리카보네이트 필름, 폴리아미드 필름, 폴리에틸렌 테레프탈레이트 필름, 폴리비닐알코올 필름, 폴리우레탄 필름, 폴리테트라플루오로에틸렌 필름 및 아크릴 필름 등의 일종 또는 이종 이상의 혼합 또는 적층 필름을 사용할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 또한, 이형 필름(40)은 알키드계, 실리콘계, 불소계, 불포화 에스테르계, 폴리올레핀계 또는 왁스계, 실리콘 분말 등에 의해 이형 처리된 것일 수도 있다.
서브 스테이지(100) 상에 제1 소자(10)를 배치하는 단계(S11) 이후에는 제1 소자(10)로부터 이형 필름(40)을 제거하는 단계(S21)가 수행될 수 있다. 이형 필름(40)은 박리용 테이프를 이용하여 제1 소자(10)로부터 제거될 수 있다. 또한, 이형 필름(40)은 박리용 롤러, 그리퍼(gripper) 또는 흡착기 등을 포함하는 박리 유닛(미도시)을 이용하여 제1 소자(10)로부터 제거될 수 있다. 또는, 이형 필름(40)은 수작업으로 제1 소자(10)로부터 제거될 수 있다.
제1 소자(10)로부터 이형 필름(40)을 제거하기 전에, 이형 필름(40)이 부착된 제1 소자(10)를 세정하는 공정이 수행될 수 있다. 이형 필름(40)이 부착된 제1 소자(10)를 세정한 후에 이형 필름(40)을 제거하는 경우, 제1 소자(10)로부터 이형 필름(40)을 박리하는 동안 분진, 파편 등의 이물질이 발생하는 것을 최소화할 수 있다. 또한, 제1 소자(10)로부터 이형 필름(40)을 제거한 후에, 플라즈마 공정이 수행될 수 있다. 이형 필름(40)이 박리된 제1 소자(10)에 플라즈마 공정을 수행하는 경우, 노출된 점착층(30)의 점착성을 향상시킬 수 있다.
도 8, 도 10 내지 도 12를 참조하면, 제1 소자(10)로부터 이형 필름(40)을 제거하는 단계(S21) 이후에는 이송 유닛의 이송 흡착부로 제1 소자의 배면을 흡착하여 제1 소자를 픽업하고, 챔버 내로 이송하는 단계(S31)가 수행될 수 있다.
이송 유닛(200)의 프레임(210)은 수직 방향으로 이동할 수 있고, 두 개의 클램프(230)는 가이드부(220)를 따라 서로 대향하는 방향으로 이동할 수 있다. 상술한 바와 같이, 서브 스테이지(100)가 제1 소자(10)보다 작은 폭을 갖고, 제1 소자(10)의 양 단부가 서브 스테이지(100)의 양 단부보다 외측에 위치함으로써, 서브 스테이지(100) 상의 제1 소자(10)는 이송 유닛(200)에 의해 용이하게 픽업될 수 있다.
이송 유닛(200)으로 제1 소자(10)를 픽업할 때, 이송 유닛(200)의 클램프(230)는 제1 소자(10)의 제1 배면(10b)과만 접촉하고, 제1 상면(10a) 및 제1 측면(10c)과는 접촉하지 않을 수 있다. 따라서, 제1 소자(10)의 제1 상면(10a) 및 제1 측면(10c)은 클램프(230)와 비접촉하고, 외부로 노출될 수 있다.
이형 필름(40)이 제거된 제1 소자(10) 상에 배치된 점착층(30)은 외부로 노출될 수 있다. 외부로 노출된 점착층(30)이 이송 유닛(200)과 접촉하면 점착층(30)이 오염되어 후속되는 부착 공정에서 불완전한 부착이 이뤄질 수 있다. 따라서, 이를 방지하기 위하여 제1 소자(10) 이송 시 클램프(230)는 제1 소자(10)의 제1 배면(10b)과만 직접 접촉하고, 점착층(30)의 노출된 면과는 접촉하지 않을 수 있다.
제1 소자(10)를 픽업한 이송 유닛(200)은 제1 챔버 커버(310a)와 제2 챔버 커버(310b)의 사이 공간을 통해 챔버(300) 내부로 진입할 수 있다. 챔버(300) 내부로 이송된 제1 소자(10)는 제1 메인 스테이지(320)에 안착될 수 있다.
도 8, 도 13 및 도 14를 참조하면, 이송 유닛의 이송 흡착부로 제1 소자의 배면을 흡착하여 제1 소자를 픽업하고, 챔버 내로 이송하는 단계(S31) 이후에는 제1 소자의 배면을 제1 메인 스테이지 상에 안착시키는 단계(S41)가 수행될 수 있다.
제1 소자(10)의 제1 배면(10b)을 제1 메인 스테이지(320) 상에 안착시키는 단계(S41)는 클램프 이격 거리(d)를 감소시키며, 에어 블로워(240)로 제1 소자(10)를 향해 에어를 분사하고, 제1 소자(10)의 중앙부를 제1 중앙 흡착홀(321a)로 흡착하여 제1 메인 스테이지(320)에 안착시키는 단계 및 이송 흡착부(234)에 제공되는 음압을 제거하고, 클램프 이격 거리(d)을 증가시키며, 에어 블로워(240)로 제1 소자(10)를 향해 에어를 분사하고, 제1 소자(10)의 주변부를 제1 주변 흡착홀(321b)로 흡착하여 제1 메인 스테이지(320)에 안착시키는 단계를 포함할 수 있다.
구체적으로, 이송 유닛(200)이 제1 메인 스테이지(320)의 상부에 위치하면, 클램프 구동부(260)가 작동하여 한 쌍의 클램프(230)는 서로 가까워지는 방향으로 이동하여 클램프 이격 거리(d)는 감소할 수 있다. 이와 동시에, 에어 블로워(240)를 이용하여 제1 소자(10)를 향해 에어를 분사할 수 있다. 제1 소자(10)는 제1 메인 스테이지(320) 방향으로 휘어져 제1 소자(10)의 중앙부는 제1 메인 스테이지(320) 상에 안착될 수 있다. 제1 메인 스테이지(320) 상에 안착한 제1 소자(10)의 중앙부는 제1 중앙 흡착홀(321a)에 의해 제공되는 음압에 의해 흡착될 수 있다.
제1 소자(10)의 중앙부가 제1 중앙 흡착홀(321a)에 의해 흡착되면, 클램프 구동부(260)가 작동하여 한 쌍의 클램프(230)는 서로 멀어지는 방향으로 이동하여 클램프 이격 거리(d)는 증가할 수 있다. 이와 동시에, 이송 흡착부(234)에 제공되는 음압은 제거되고, 에어 블로워(240)를 이용하여 제1 소자(10)를 향해 에어를 분사할 수 있다. 이로써, 제1 소자(10)는 중앙부로부터 가장자리까지 제1 메인 스테이지(320)의 제1 주변 흡착홀(321b)에 의해 순차적으로 흡착될 수 있다.
도 8, 도 15 내지 도 19를 참조하면, 제1 소자의 배면을 제1 메인 스테이지 상에 안착시키는 단계(S41) 이후에는 서브 스테이지 상에 제2 소자를 배치하는 단계(S51), 이송 유닛의 이송 흡착부로 제2 소자의 배면을 흡착하여 제2 소자를 픽업하고, 챔버 내로 이송하는 단계(S61) 및 제2 소자의 배면을 제2 메인 스테이지 상에 안착시키는 단계(S71)가 순차적으로 수행될 수 있다.
제2 소자(20)은 제1 소자(10)와 동일한 공정을 통해 제2 메인 스테이지(330)에 안착될 수도 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 제2 소자(20)는 제1 소자(10)와 동일한 이송 유닛(200)을 이용하여 챔버(300) 내로 이송될 수 있으나, 이에 제한되지 않고 다른 이송 유닛(200)에 의해 이송될 수도 있다.
일 실시예에서, 제1 소자(10)는 제1 메인 스테이지(320)의 상면에 배치되고 제2 소자(20)은 제2 메인 스테이지(330)의 하면에 배치되는 것으로 설명하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 소자(10)는 제2 메인 스테이지(330)의 하면에 배치되고 제2 소자(20)은 제1 메인 스테이지(320)의 상면에 배치될 수도 있다.
도 8, 도 20 및 도 21을 참조하면, 제2 소자의 배면을 제2 메인 스테이지 상에 안착시키는 단계(S71) 이후에는 제1 소자 및 제2 소자를 접합하는 단계(S81)가 수행될 수 있다.
제1 챔버 커버(310a)와 제2 챔버 커버(310b)의 사이 공간을 통해 이송 유닛(200)이 챔버(300) 밖으로 이동하고, 제1 챔버 커버(310a) 및 제2 챔버 커버(310b)는 서로 근접하여 상호 체결될 수 있다.
제1 및 제2 챔버 커버(310a, 310b)가 상호 체결되어 챔버(300)의 내부 공간이 밀폐되면, 진공 모듈(340)이 작동하여 챔버(300) 내부 공간에 진공 분위기를 형성할 수 있다. 챔버(300) 내부 공간에 부착 공정을 위한 충분한 진공 분위기가 형성되면, 제1 소자(10) 및 제2 소자(20)를 상호 접합하는 부착 공정이 진행될 수 있다.
제1 및 제2 메인 스테이지(210, 220) 중 적어도 어느 하나가 상하 이동하여 제1 소자(10)와 제2 소자(20)가 서로 접촉할 수 있다. 제1 소자(10) 및 제2 소자(20)에 압력을 가하여 제1 소자(10)와 제2 소자(20)을 부착할 수 있다. 이 때, 제1 소자(10) 및 제2 소자(20) 사이에는 점착층(30)이 개재될 수 있으나, 이에 제한되지 않고, 상술한 바와 같이 제1 소자(10) 및 제2 소자(20) 둘 중 어느 한 구성이 자체적으로 점착 물질을 포함할 경우 점착층(30)은 생략될 수 있다.
도시되지 않았으나, 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치는 제1 소자(10) 및 제2 소자(20)을 가압하기 위한 가압 패드, 탄성 시트 등을 더 포함할 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 소자(10)는 다양한 방법으로 제2 소자(20)에 부착될 수 있다.
일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 의하면, 제1 소자(10) 및 제2 소자(20)를 서브 스테이지(100)로부터 챔버(300) 내의 제1 메인 스테이지(320) 및 제2 메인 스테이지(330)로 안정적으로 이송하여 제1 소자(10) 및 제2 소자(20)는 정밀하게 상호 부착될 수 있다. 따라서, 상호 부착된 제1 소자(10) 및 제2 소자(20)를 포함하는 표시 장치의 신뢰성 및 표시 품질을 향상시킬 수 있다.
이하, 표시 장치의 제조 장치에 대한 다른 실시예에 대해 설명한다. 이하의 실시예에서, 이미 설명한 실시예와 동일한 구성에 대해서는 설명을 생략하거나 간략화하고, 차이점을 위주로 설명하기로 한다.
다른 사항에 대하여는 도 1 내지 도 7을 참조하여 상술한 바와 동일 또는 유사하므로 이에 대한 추가적인 상세한 설명은 생략한다.
도 22은 다른 실시예에 따른 이송 유닛을 나타낸 개략도이다.
도 22을 참조하면, 본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치에 포함되는 이송 유닛(200_1)은 이송 정전척(234_1)을 포함할 수 있다. 도 3에 도시된 일 실시예에 따른 이송 유닛(200)은 제1 소자(10)를 고정 및 지지하는 수단으로서 음압이 제공되는 이송 흡착부(234)을 이용하였으나, 이를 대신하여 본 실시예에 따른 이송 유닛(200_1)은 이송 정전척(234_1)을 이용할 수 있다.
이송 정전척(234_1)은 세라믹으로 형성된 본체와 그 내부에 매립된 전극을 포함할 수 있다. 이송 정전척(234_1)은 내부 전극에 외부 전원으로부터 고전압이 인가됨으로써, 이송 정전척(234_1)의 상면에 제1 소자(10)가 부착되도록 할 수 있다.
본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치에 의하면, 이송 유닛(200_1)을 이용하여 제1 소자(10) 및 제2 소자(20)를 서브 스테이지(100)로부터 챔버(300)로 안정적으로 이송할 수 있다. 챔버(300) 내부로 이송된 제1 소자(10) 및 제2 소자(20)는 정밀하게 상호 부착될 수 있다. 따라서, 상호 부착된 제1 소자(10) 및 제2 소자(20)를 포함하는 표시 장치의 신뢰성 및 표시 품질을 향상시킬 수 있다.
도 23는 또 다른 실시예에 따른 이송 유닛을 나타낸 개략도이다.
도 23를 참조하면, 본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치에 포함되는 이송 유닛(200_2)은 이송 실린더(235_2)를 더 포함할 수 있다. 상세하게는, 본 실시예에 따른 이송 유닛(200_2)에 포함된 클램프(230_2) 중 적어도 어느 하나는 이송 실린더(235_2)를 포함할 수 있다. 이송 실린더(235_2)는 클램프(230_2)의 이송 흡착부(233_2)에 확장된 수평 이동 범위를 제공할 수 있다. 이송 실린더(235_2)는 가이드부(220)의 연장 방향을 따라 이동 가능하도록 구성될 수 있다. 이송 실린더(235_2)는 연결부(232_2)의 하부에 배치되며, 이송 실린더(235_2)의 하부에는 이송 흡착부(233_2)가 배치될 수 있다. 이송 흡착부(233_2)는 이송 실린더(235_2)에 결합되어 이송 실린더(235_2)의 수평 이동에 따라 함께 이동할 수 있다. 따라서, 한 쌍의 클램프(230_2)가 서로 반대 방향으로 함께 이동하더라도, 본 실시예에 따른 이송 유닛(200_2)은 이송 실린더(235_2)를 통해 이송 흡착부(233_2)에 확장된 이동 범위를 제공함으로써 비대칭 형상의 소자(10, 20)를 안정적으로 픽업 및 이송할 수 있다.
본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치에 의하면, 이송 유닛(200_2)을 이용하여 제1 소자(10) 및 제2 소자(20)를 서브 스테이지(100)로부터 챔버(300)로 안정적으로 이송할 수 있다. 챔버(300) 내부로 이송된 제1 소자(10) 및 제2 소자(20)는 정밀하게 상호 부착될 수 있다. 따라서, 상호 부착된 제1 소자(10) 및 제2 소자(20)를 포함하는 표시 장치의 신뢰성 및 표시 품질을 향상시킬 수 있다.
이상에서 본 발명의 실시예를 중심으로 본 발명을 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 본 발명의 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
10: 제1 소자 20: 제2 소자
30: 점착층 40: 이형 필름
100: 서브 스테이지
200: 이송 유닛
210: 프레임 220: 가이드부
230: 클램프 240: 에어 블로워
250: 회전 유닛 260: 클램프 구동부
300: 챔버
310: 챔버 커버 320: 제1 메인 스테이지
330: 제2 메인 스테이지 340: 진공 모듈

Claims (20)

  1. 프레임;
    상기 프레임에 설치된 가이드부;
    상기 가이드부에 설치된 한 쌍의 클램프; 및
    상기 프레임에 대한 상기 각 클램프의 상대적인 위치가 변경되도록 상기 프레임을 회전시키는 회전 유닛을 포함하되,
    상기 각 클램프는 흡착부를 포함하는 표시 장치의 제조 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 각 클램프는 상기 가이드부에 체결되는 체결부를 더 포함하되, 상기 흡착부는 상기 체결부보다 상기 프레임을 기준으로 더 멀리 배치되는 표시 장치의 제조 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 각 클램프의 단부는 상기 가이드부를 향하는 제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 포함하며, 상기 흡착부는 상기 클램프의 상기 단부의 상기 제1 면에 배치되는 표시 장치의 제조 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 흡착부는 음압이 제공되는 복수의 흡착홀을 포함하는 표시 장치의 제조 장치.
  5. 제3 항에 있어서,
    상기 흡착부는 고전압이 인가되는 정전척을 포함하는 표시 장치의 제조 장치.
  6. 제3 항에 있어서,
    상기 각 클램프의 이격 거리를 조절하는 위치 조절 수단을 더 포함하는 표시 장치의 제조 장치.
  7. 제3 항에 있어서,
    상기 흡착부에 흡착되는 소자를 더 포함하되,
    상기 소자는 배면, 상기 배면과 대향하는 상면, 및 상기 배면과 상기 상면에 수직하는 측면을 포함하고,
    상기 클램프는 상기 소자의 상기 상면 및 상기 측면에 비접촉하는 표시 장치의 제조 장치.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 소자가 가공되는 챔버; 및
    상기 챔버 외부에 배치되는 서브 스테이지를 더 포함하는 표시 장치의 제조 장치.
  9. 제3 항에 있어서,
    상기 클램프는 상기 흡착부와 결합되는 실린더를 더 포함하되,
    상기 실린더는 상기 가이드부의 연장 방향을 따라 이동 가능하도록 구성되는 표시 장치의 제조 장치.
  10. 제2 항에 있어서,
    상기 가이드부는 일 방향으로 연장된 형상을 갖고, 상기 회전 유닛은 상기 가이드부의 연장 방향에 대해 수직한 평면 상에서 상기 프레임을 회전시키는 표시 장치의 제조 장치.
  11. 제1 항에 있어서,
    에어를 분사하는 에어 블로워를 더 포함하되,
    상기 에어 블로워는 상기 가이드부보다 상기 프레임을 기준으로 더 멀리 배치되는 표시 장치의 제조 장치.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 에어 블로워는 상기 프레임에 결합되는 제1 에어 블로워 및 상기 각 클램프에 결합되는 제2 에어 블로워를 포함하는 표시 장치의 제조 장치.
  13. 서브 스테이지 상에 제1 소자를 배치하는 단계;
    이송 유닛으로 상기 제1 소자를 흡착하고 픽업하는 단계;
    상기 이송 유닛을 제1 메인 스테이지 및 상기 제1 메인 스테이지와 대향하는 제2 메인 스테이지를 포함하는 챔버 내로 이송하는 단계;
    상기 제1 소자를 상기 제1 메인 스테이지 상에 안착시키는 단계;
    상기 서브 스테이지 상에 제2 소자를 배치하는 단계;
    상기 이송 유닛으로 상기 제2 소자를 흡착하고 픽업하는 단계;
    상기 이송 유닛을 상기 챔버 내로 이송하는 단계;
    상기 제2 소자를 상기 제2 메인 스테이지 상에 안착시키는 단계; 및
    상기 제1 소자 및 상기 제2 소자를 접합하는 단계를 포함하되,
    상기 제1 소자 및 상기 제2 소자는 각각 배면, 상기 배면과 대향하는 상면, 및 상기 배면과 상기 상면에 수직하는 측면을 포함하고,
    상기 이송 유닛은 상기 제1 소자의 상기 측면 및 상기 제2 소자의 상기 측면과 비접촉하는 표시 장치의 제조 방법.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 이송 유닛은 프레임, 상기 프레임에 설치된 가이드부, 상기 가이드부에 설치된 한 쌍의 클램프 및 상기 프레임과 상기 각 클램프에 설치되며 에어를 분사하는 에어 블로워를 포함하고,
    상기 각 클램프는 흡착부를 포함하되,
    상기 이송 유닛으로 상기 제1 소자 및 상기 제2 소자를 흡착하고 픽업하는 단계는 상기 흡착부로 상기 제1 소자의 상기 배면 및 상기 제2 소자의 상기 배면을 흡착하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  15. 제14 항에 있어서,
    상기 제1 메인 스테이지는 중앙부에 위치하는 복수의 중앙 흡착홀 및 주변부에 위치하는 주변 흡착홀을 포함하되,
    상기 제1 소자를 상기 제1 메인 스테이지 상에 안착시키는 단계는 상기 한 쌍의 클램프 간 이격 거리를 감소시키며, 상기 에어 블로워로 상기 제1 소자를 향해 에어를 분사하고, 상기 제1 메인 스테이지의 상기 중앙 흡착홀로 상기 제1 소자를 흡착하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  16. 제15 항에 있어서,
    상기 제1 메인 스테이지의 상기 중앙 흡착홀로 상기 제1 소자를 흡착하는 단계 이후에는 상기 한 쌍의 클램프 간 이격 거리를 증가시키며, 상기 에어 블로워로 상기 제1 소자를 향해 에어를 분사하고, 상기 제1 메인 스테이지의 상기 주변 흡착홀로 상기 제1 소자를 흡착하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  17. 제15 항에 있어서,
    상기 제1 소자를 상기 제1 메인 스테이지 상에 안착시키는 단계는 상기 제1 소자의 중앙부부터 가장자리부까지 상기 제1 메인 스테이지 상에 순차적으로 흡착되는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  18. 제14 항에 있어서,
    상기 이송 유닛으로 상기 제1 소자 및 상기 제2 소자를 픽업하고 흡착하는 단계에서,
    상기 제1 소자 및 상기 제2 소자의 상기 측면은 외부로 노출되는 표시 장치의 제조 방법.
  19. 제13 항에 있어서,
    상기 이송 유닛으로 상기 제2 소자를 픽업하는 흡착하는 단계 이후에 상기 이송 유닛이 회전하는 단계를 더 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  20. 제19 항에 있어서,
    상기 이송 유닛이 회전하는 단계에서 상기 이송 유닛은 180° 회전하는 표시 장치의 제조 방법.
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