KR100560094B1 - 기판의 조립 방법, 기판의 조립 장치, 액상 물질의 적하방법 및 액상 물질의 적하 장치 - Google Patents

기판의 조립 방법, 기판의 조립 장치, 액상 물질의 적하방법 및 액상 물질의 적하 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 2장의 기판 사이에 액정을 거의 균일하게 분산시킬 수 있도록 한 기판의 조립 방법을 제공하는 것에 있다.
2장의 기판(3, 4) 중 어느 하나에 시일제(seal劑)(7)를, 코너부를 가지는 프레임 형상으로 도포하는 도포 공정과, 상기 2장의 기판 중 어느 하나에 액상 물질을 소정 배치 패턴으로 적하(滴下)하는 동시에, 상기 시일제에 의해 둘러싸이는 영역의 상기 배치 패턴으로부터 벗어난 주변부의 코너부에만 액상 물질을 적하하는 적하 공정과, 상기 2장의 기판을 감압 분위기 하에서 접합하는 접합 공정을 구비한다.
기판, 시일제, 코너부, 프레임 형상 배치 패턴.

Description

기판의 조립 방법, 기판의 조립 장치, 액상 물질의 적하 방법 및 액상 물질의 적하 장치 {METHOD OF ASSEMBLING SUBSTRATES, APPARATUS FOR ASSEMBLING SUBSTRATES, METHOD OF DROPPING LIQUID MATERIAL, AND APPARATUS FOR DROPPING LIQUID MATERIAL}
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 관한 조립 장치의 개략을 설명하기 위한 도면이다.
도 2 (A)는 시일제(seal劑) 도포 장치의 개략도이며, 도 2 (B)는 시일제가 도포된 기판의 평면도이다.
도 3은 액정 적하 장치의 개략도이다.
도 4는 적하 장치의 적하 노즐의 확대 단면도이다.
도 5 (A)는 접합 장치의 개략도이며, 도 5 (B)는 접합된 2장의 기판 일부를 나타내는 확대 단면도이다.
도 6은 제1 기판에 도포되는 제1 액적과 제2 액적 적하 상태의 설명도이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예를 나타내는 제1 기판에 적하되는 제1 액적과 제2 액적의 설명도이다.
도 8 (A)∼도 8 (C)는 본 발명의 제3 실시예를 나타내는 배치 패턴으로부터 벗어난 주변부 중 4 코너에 적하되는 제2 액적의 설명도이다.
도 9는 본 발명의 제4 실시예를 나타내는 제1 기판에 적하되는 제1 액적과 제2 액적의 설명도이다.
도 10은 본 발명의 제2 실시예를 나타내는 제1 액적과 제2 액적 적하 상태의 설명도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
2: 도포 장치, 3: 제1 기판, 4: 제2 기판, 11: 적하 장치, 31: 접합 장치.
본 발명은 액정 표시 패널 등과 같이 2장의 기판 사이에 액상(液狀) 물질을 끼워 넣고 이들 기판을 접합하는 기판의 조립 방법, 조립 장치, 상기 기판에 액상 물질을 적하하는 액상 물질의 적하 방법 및 적하 장치에 관한 것이다.
주지하는 바와 같이 액정 표시 패널의 제조에 있어서는, 2장의 투명한 기판을 시일제(seal劑)에 의해 ㎛ 오더의 간격으로 접합하는 동시에, 이들 기판 사이에 액상 물질인 액정(液晶)을 끼워 넣는 기판의 조립이 실행된다.
종래, 2장의 기판을 조립하는 데는 한쪽의 기판에 점탄성재(粘彈性材)로 이루어지는 시일제를 직사각형 프레임 형상으로 도포하는 공정과, 한쪽 또는 다른 쪽의 기판에 소정량의 액정을 적하하는 공정과, 상기 2장의 기판을 감압 분위기 하에서 상기 시일제에 의해 접합하는 공정이 실행된다. 이와 같은 기술은 일본국 특개평 5(1993)-281562호 공보에 나타나 있다.
감압 분위기 하에서 접합된 액정 표시 패널에는 대기압 중에서, 내압과 외압의 차압(差壓)이 가해진다. 한 쌍의 기판 사이에 액정이 균일하게 분포되어 있으면, 이 액정에 의해 기판이 대략 균일한 내압성을 나타내 기판이 휘는 것이 저지되기 때문에, 기판 사이의 갭이 불균일하게 되는 것이 방지된다.
그런데, 한쪽의 기판에 시일제를 직사각형 프레임 형상으로 도포하고, 그 시일제에 의해 둘러싸인 영역 내에 액정을 소정 배치 패턴, 예를 들면 행렬(行列) 형상으로 적하(滴下)한 후, 2장의 기판을 감압 분위기 하에서 접합하면, 상기 영역 내에서 기판 사이에 액정이 균일하게 분포되기 어렵다고 하는 일이 있다. 특히, 시일제에 의해 둘러싸인 영역의 상기 소정 배치 패턴으로부터 벗어난 주변부에는 액정이 퍼지기 어렵다고 하는 일이 있고, 또한 주변부 중 4개의 코너부는 더한층 액정이 퍼지기 어렵다고 하는 일이 있었다.
이와 같이, 시일제에 의해 둘러싸인 영역의 소정 배치 패턴으로부터 벗어난 주변부로 퍼지는 액정이 양이 다른 부분보다 적으면, 접합된 기판을 대기 하에 되돌아가게 했을 때, 접합된 기판의 내압과 외압의 차압에 의해 기판의 시일제에 의해 둘러싸인 영역의 소정 배치 패턴으로부터 벗어난 주변부, 즉 액정의 분포량이 충분하지 못한 개소가 다른 부분보다 압축되어 휘는 정도가 커진다. 그러므로, 한 쌍의 기판 사이에서의 상기 주변부에서의 갭이 다른 부분보다 작아진다고 하는 일이 있다.
특히, 최근에는 기판이 박형화나 대형화하는 경향에 있기 때문에, 액정이 시 일제에 의해 둘러싸인 영역의 소정 배치 패턴으로부터 벗어난 주변부로 퍼지기 어렵다고 하는 일이 있는 동시에, 얇은 기판은 상기 주변부의 휨이 커지기 쉽다고 하는 일이 있다.
또한 기판의 시일제에 의해 둘러싸인 영역의 소정 배치 패턴으로부터 벗어난 주변부가 다른 부분보다 크게 압축 변형되어 휘면, 휜 개소에는 기판의 복원력이 작용한다. 이에 따라, 접합 시에 압축된 시일제에 인장력이 작용하게 되기 때문에, 그 인장력에 의해 시일제에 균열이나 파손이 생기는 일이 있다.
본 발명은 접합되는 한 쌍의 기판 사이에 액상 물질을 균일하게 분포시킬 수 있도록 한 기판의 조립 방법, 조립 장치, 액상 물질의 적하 방법 및 액상 물질의 적하 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명은 2장의 기판 중 어느 하나에 시일제를, 코너부를 가지는 프레임 형상으로 도포하는 도포 공정과,
상기 2장의 기판 중 어느 하나에 액상 물질을 액적으로서 소정 배치 패턴으로 적하하는 동시에, 상기 시일제에 의해 둘러싸이는 영역의 상기 배치 패턴으로부터 벗어난 주변부의 코너부에만 액상 물질을 적하하는 적하 공정과,
상기 2장의 기판을 감압 분위기 하에서 접합하는 접합 공정
을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판의 조립 방법에 있다.
상기 적하 공정에서는, 상기 영역의 상기 배치 패턴으로부터 벗어난 주변부의 코너부에 액적을 적하하는 동시에, 상기 코너부에 적하하는 액적의 크기를, 상 기 배치 패턴을 형성하는 액적보다 작게 하는 것이 바람직하다.
상기 적하 공정에서는, 상기 영역의 상기 배치 패턴으로부터 벗어난 주변부의 코너부에 액적을 적하하는 동시에, 상기 코너부에 적하하는 액적의 크기를, 상기 배치 패턴을 형성하는 액적보다 크게 하는 것이 바람직하다.
상기 적하 공정에서는, 상기 영역의 상기 배치 패턴으로부터 벗어난 주변부의 코너부에 액적을 복수 방울씩 적하하는 동시에, 상기 코너부에 적하하는 각 액적의 크기를, 상기 배치 패턴을 형성하는 액적보다 작게 하는 것이 바람직하다.
상기 시일제는 직사각형 프레임 형상으로 도포되는 것이 바람직하다.
본 발명은 2장의 기판 중 어느 하나에 시일제를, 코너부를 가지는 프레임 형상으로 도포하는 도포 공정과,
상기 2장의 기판 중 어느 하나의 상기 시일제에 의해 둘러싸이는 영역에 상기 액상 물질을 액적으로서 적하하는 동시에, 상기 영역 내에 상기 시일제를 따라 적하되는 액적 중, 상기 영역의 코너부에 위치하는 액적의 크기를 상기 시일제를 따라 적하되는 다른 액적보다 크게 하여 적하하는 적하 공정과,
상기 2장의 기판을 감압 분위기 하에서 접합하는 접합 공정
을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판의 조립 방법에 있다.
상기 적하 공정은 상기 시일제에 의해 둘러싸이는 영역에 상기 액적을 소정 배치 패턴으로 적하하는 공정과, 상기 영역의 상기 배치 패턴으로부터 벗어난 주변부에 상기 시일제를 따라 소정 간격으로 상기 액적을 적하하는 동시에, 상기 주변부의 4 코너부의 액적을 상기 주변부의 다른 액적보다 크게 하여 적하하는 공정을 가지는 것이 바람직하다.
상기 적하 공정에서는, 상기 시일제에 의해 둘러싸이는 영역에 상기 액적을 소정 배치 패턴으로 적하하는 동시에, 상기 배치 패턴의 코너부에 적하하는 액적을 다른 액적보다 크게 하는 것이 바람직하다.
상기 시일제는 직사각형 프레임 형상으로 도포되는 것이 바람직하다.
본 발명은 2장의 기판 중 어느 하나에 시일제를, 코너부를 가지는 프레임 형상으로 도포하는 도포 장치와,
적하 노즐을 가지며, 상기 적하 노즐로부터 상기 2장의 기판 중 어느 하나에 액상 물질을 액적으로서 적하하는 적하 장치와,
상기 2장의 기판을 감압 분위기 하에서 접합하는 접합 장치와,
상기 적하 노즐과 상기 액적이 적하되는 기판을 수평 방향으로 상대적으로 구동하는 구동 수단과,
상기 구동 수단에 의한 상기 구동과 상기 적하 노즐로부터의 액적의 적하를 제어하여 상기 2장의 기판 중 어느 하나에 상기 액적을 소정 배치 패턴으로 적하시키는 동시에, 상기 시일제에 의해 둘러싸이는 영역의 상기 배치 패턴으로부터 벗어난 주변부의 코너부에만 상기 액적을 적하시키는 제어 장치
를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판의 조립 장치에 있다.
상기 시일제는 직사각형 프레임 형상으로 도포되는 것이 바람직하다.
본 발명은 2장의 기판 중 어느 하나에 시일제를, 코너부를 가지는 프레임 형상으로 도포하는 도포 장치와,
적하 노즐을 가지며, 상기 적하 노즐로부터 상기 2장의 기판 중 어느 하나에 액상 물질을 액적으로서 적하하는 적하 장치와,
상기 2장의 기판을 감압 분위기 하에서 접합하는 접합 장치와,
상기 적하 노즐과 상기 액적이 적하되는 기판을 수평 방향으로 상대적으로 구동하는 구동 수단과,
상기 구동 수단에 의한 상기 구동과 상기 적하 노즐로부터의 액적의 적하를 제어하여 상기 2장의 기판 중 어느 하나의 상기 시일제에 의해 둘러싸이는 영역에 상기 액적을 적하시키는 동시에, 상기 영역 내에 상기 시일제를 따라 적하되는 액적 중, 상기 영역의 코너부에 위치하는 액적의 크기를 상기 시일제를 따라 적하되는 다른 액적보다 크게 하여 적하시키는 제어 장치
를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판의 조립 장치에 있다.
상기 시일제는 직사각형 프레임 형상으로 도포되는 것이 바람직하다.
본 발명은 2장의 기판 중 어느 하나에 액상 물질을 적하하는 적하 방법에 있어서,
상기 2장의 기판 중 어느 하나에 코너부를 가지는 프레임 형상으로 시일제를 도포함으로써 둘러싸이는 영역에 상기 액상 물질을 액적으로서 소정 배치 패턴으로 적하하는 공정과,
상기 영역의 상기 배치 패턴으로부터 벗어난 주변부 중의 코너부에만 상기 액적을 적하하는 공정
을 구비하는 것을 특징으로 하는 액상 물질의 적하 방법에 있다.
상기 영역의 상기 배치 패턴으로부터 벗어난 주변부의 코너부에 액적을 적하하는 동시에, 상기 코너부에 적하하는 액적의 크기를, 상기 배치 패턴을 형성하는 액적보다 작게 하는 것이 바람직하다.
상기 영역의 상기 배치 패턴으로부터 벗어난 주변부의 코너부에 액적을 적하하는 동시에, 상기 코너부에 적하하는 액적의 크기를, 상기 배치 패턴을 형성하는 액적보다 크게 하는 것이 바람직하다.
상기 영역의 상기 배치 패턴으로부터 벗어난 주변부의 코너부에 액적을 복수 방울씩 적하하는 동시에, 상기 코너부에 적하하는 액적의 크기를, 상기 배치 패턴을 형성하는 액적보다 작게 하는 것이 바람직하다.
상기 시일제는 직사각형 프레임 형상으로 도포되는 것이 바람직하다.
본 발명은 2장의 기판 중 어느 하나에 액상 물질을 적하하는 적하 방법에 있어서,
상기 2장의 기판 중 어느 하나에 코너부를 가지는 프레임 형상으로 시일제를 도포함으로써 둘러싸이는 상기 영역에 상기 액상 물질을 액적으로서 적하하는 공정과,
상기 영역 내에 상기 시일제를 따라 적하되는 액적 중, 상기 영역의 코너부에 위치하는 액적의 크기를 상기 시일제를 따라 적하되는 다른 액적보다 크게 하여 적하하는 공정
을 구비하는 것을 특징으로 하는 액상 물질의 적하 방법에 있다.
상기 영역에는, 상기 액적을 소정 배치 패턴으로 적하하는 동시에, 상기 영 역의 상기 배치 패턴으로부터 벗어난 주변부에는 상기 시일제를 따라 소정 간격으로, 또한 상기 주변부의 코너부의 액적을 상기 주변부의 다른 액적보다 크게 하여 적하하는 것이 바람직하다.
상기 영역에는, 상기 액적을 소정 배치 패턴으로 적하하는 동시에, 상기 배치 패턴의 코너부에 적하하는 액적을 다른 액적보다 크게 하는 것이 바람직하다.
상기 시일제는 직사각형 프레임 형상으로 도포되는 것이 바람직하다.
본 발명은 2장의 기판 중 어느 하나에 액상 물질을 적하하는 적하 장치에 있어서,
상기 2장의 기판 중 어느 하나에 코너부를 가지는 프레임 형상으로 시일제를 도포함으로써 둘러싸이는 영역에 상기 액상 물질을 액적으로서 적하하는 적하 노즐과,
상기 적하 노즐과 상기 액적이 적하되는 기판을 수평 방향으로 상대적으로 구동하는 구동 수단과,
상기 구동 수단에 의한 상기 구동과 상기 적하 노즐로부터의 액적의 적하를 제어하여 상기 영역에 상기 액적을 소정 배치 패턴으로 적하시키는 동시에, 상기 영역의 상기 소정 배치 패턴으로부터 벗어난 주변부의 코너부에만 상기 액적을 적하시키는 제어 장치
를 구비하는 것을 특징으로 하는 액상 물질의 적하 장치에 있다.
상기 시일제는 직사각형 프레임 형상으로 도포되는 것이 바람직하다.
본 발명은 2장의 기판 중 어느 하나에 액상 물질을 적하하는 적하 장치에 있 어서,
상기 2장의 기판 중 어느 하나에 코너부를 가지는 프레임 형상으로 시일제를 도포함으로써 둘러싸이는 영역에 상기 액상 물질을 액적으로서 적하하는 적하 노즐과,
상기 적하 노즐과 상기 액적이 적하되는 기판을 수평 방향으로 상대적으로 구동하는 구동 수단과,
상기 구동 수단에 의한 상기 구동과 상기 적하 노즐로부터의 액적의 적하를 제어하여 상기 영역에 상기 액적을 적하시키는 동시에, 상기 영역 내에 상기 시일제를 따라 적하되는 액적 중, 상기 영역의 코너부에 위치하는 액적의 크기를 상기 시일제를 따라 적하되는 다른 액적보다 크게 하여 적하시키는 제어 장치
를 구비하는 것을 특징으로 하는 액상 물질의 적하 장치에 있다.
상기 시일제는 직사각형 프레임 형상으로 도포되는 것이 바람직하다.
이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시예를 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 관한 기판 조립 장치(1)의 개략적 구성을 나타낸다. 이 조립 장치(1)는 시일제의 도포 장치(2)를 구비하고 있다. 이 도포 장치(2)에는 액정 표시 패널을 구성하는 제1 기판(3)과 제2 기판(4) 중의 한쪽, 예를 들면 제1 기판(3)이 공급된다.
상기 도포 장치(2)는 도 2 (A)에 나타내는 바와 같이, X, Y 및 Z 방향으로 구동되는 도포 노즐(5) 및 상기 제1 기판(3)이 공급 탑재되는 제1 테이블(6)을 구비하고 있다. 제1 기판(3)이 제1 노즐(6) 상에 공급되면, 상기 도포 노즐(5)이 Z 방향으로 하강하여 선단을 제1 기판(3)의 상면(내면)에 소정 간격으로 대향시킨 후, 미리 설정된 좌표에 따라 X, Y 방향으로 구동된다. 이에 따라, 도 2 (B)에 나타내는 바와 같이, 상기 제1 기판(3)에는 시일제(7)가 복수의 직사각형 프레임 형상, 이 실시예에서는 3개의 직사각형 프레임 형상으로 도포된다.
시일제(7)가 도포된 제1 기판(3)은 적하 장치(11)로 반송된다. 이 적하 장치(11)는 도 3에 나타내는 바와 같이 상기 제1 기판(3)이 탑재되는 제2 테이블(12), 이 제2 테이블(12)에 탑재된 제1 기판(3)에 액상 물질로서의 액정을 소정 패턴으로 적하 공급하는 적하 노즐(13)을 가진다.
상기 적하 노즐(13)은 상단이 개구되어 내부에 상기 액정이 수용되는 용기(14)를 가진다. 이 용기(14)의 상단 개구는 덮개체(15)에 의해 폐쇄된다. 이 덮개체(14)에는 용기(14) 내의 액정을 가압하는 기체를 공급하는 가압관(16)이 접속되어 있다. 이 가압관(16)에는 가압 기체를 용기(14) 내에 간헐적으로 공급하는 개폐 밸브(16a)가 설치되어 있다.
상기 덮개체(15)에는 조정 밸브(17)가 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. 이 조정 밸브(17)는 상기 덮개체(15)에 설치된 액츄에이터(18)에 의해 상하 방향으로 구동되도록 되어 있다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 상기 용기(14)의 하단에는 노즐구체(口體)(19)가 형성되어 있다. 이 노즐구체(19)는 상하 방향으로 구동되는 상기 조정 밸브(17)의 선단부에 형성된 밸브체(17a)에 의해 개도(開度)가 제어되도록 되어 있다. 밸브체(17a)에 의해 상기 노즐구체(19)의 개도를 제어하면, 이 노즐구체(19) 로부터 제1 기판(3)에 적하되는 액정의 액적 크기, 즉 액적량을 조정할 수 있다.
상기 제2 테이블(12)은 제1 구동원(21)에 의해 X, Y 방향으로 구동되도록 되어 있으며, 상기 용기(14)는 제2 구동원(22)에 의해 X, Y, Z 방향 중, 적어도 Z 방향으로 구동되도록 되어 있다. 즉, 제2 테이블(12)과 적하 노즐(13)은 상기 제1, 제2 구동원(21, 22)에 의해 상대적으로 수평 방향 및 상하 방향으로 구동되도록 되어 있다.
상기 제어 밸브(16a), 액츄에이터(18), 제1 구동원(21) 및 제2 구동원(22)은 제어 장치(23)에 의해 제어된다. 즉, 시일제(7)가 도포된 제1 기판(3)이 상기 제2 테이블(12) 상에 공급 탑재되면, 상기 제2 구동원(22)에 의해 상기 적하 노즐(13)이 Z 방향의 소정 높이까지 하강 방향으로 구동된다. 이와 동시에, 액츄에이터(18)에 의해 조정 밸브(17)가 제어되어, 노즐구체(19)의 개도가 설정된다.
이어서, 제2 테이블(12)이 제1 구동원(21)에 의해, 제어 장치(23)에 미리 설정된 좌표에 따라 X, Y 방향으로 구동된다. 노즐구체(19)가 소정 좌표에 위치하면, 상기 개폐 밸브(16a)가 열리고, 가압 기체가 용기(14) 내에 공급된다.
이에 따라, 상기 제1 기판(3)의 상기 시일제(7)에 의해 둘러싸인 직사각형 프레임 형상의 영역(R) 내에, 도 6에 나타내는 바와 같이 액정이 소정 크기의 복수의 제1 액적(L1)으로서 소정 배치 패턴(P)으로 적하 공급된다. 이 실시예에서는, 제1 액적(L1)은 시일제(7)에 의해 둘러싸인 직사각형 프레임 형상의 영역(R) 내에 행(行) 방향 및 열(列) 방향에 대하여 등간격 행렬 형상의 배치 패턴(P)으로 적하된다.
도 6에 나타내는 바와 같이, 상기 시일제(7)에 의해 둘러싸인 영역(R) 내에, 액정을 제1 액적(L1)으로서 소정 행렬 형상의 배치 패턴(P)으로 적하 공급하면, 이 배치 패턴(P)으로부터 벗어난 주변부 중의 4 코너부에 상기 적하 노즐(13)을 차례로 위치 결정하고, 이 4 코너부에 제2 액적(L2)을 각각 한방울씩 공급 적하한다. 그리고 전술한 소정 행렬 형상의 배치 패턴(P)은 시일제(7)에 의해 둘러싸인 직사각형 프레임 형상의 영역(R)보다 작은 닮은꼴로 되어 있다.
상기 제2 액적(L2)의 크기는 상기 제1 액적(L1)보다 작게 설정된다. 즉, 시일제(7)에 의해 둘러싸인 영역(R)의 4 코너부에 제2 액적(L2)을 적하 노즐(13)에 의해 적하할 때에는, 제1 액적(L1)을 적하할 때보다, 조절 밸브(17)에 의한 노즐구체(19)의 개도가 작아지도록, 즉 액적량이 적어지도록 제어 장치(23)에 의해 액츄에이터(18)가 구동 제어된다. 이에 따라, 후술하는 바와 같이 2장의 기판(3, 4)을 감압 분위기 하에서 접합하면, 이들 기판(3, 4) 사이에 액정을 거의 균일하게 분산시킬 수 있다.
시일제(7)가 도포되는 동시에 제1, 제2 액적(L1, L2)이 적하된 제1 기판(3)과 상기 제2 기판(4)은 접합 장치(31)에 의해 접합된다. 이 접합 장치(31)는 도 5 (A)에 나타내는 바와 같이, 감압 펌프(32)에 의해 감압되는 챔버(33)를 가지며, 이 챔버(33)의 한쪽에는 셔터(34)에 의해 개폐되는 출입구(35)가 형성되어 있다.
상기 챔버(33) 내에는 X, Y 및 θ 방향으로 구동되는 테이블(36)이 설치되며, 이 테이블(36)의 상방에는 Z 방향으로 구동되는 척(37)이 설치되어 있다. 상기 테이블(36)에는 상기 제1 기판(3)이 내면을 상방을 향해 지지되며, 상기 척(37)에는 상기 제2 기판(4)이 외면(상면)을 흡착함으로써, 내면을 하방을 향해 지지된다.
제1 기판(3)과 제2 기판(4)이 상기 접합 장치(31)의 챔버(33) 내에 공급되면, 이 챔버(33)의 출입구(35)가 셔터(34)에 의해 기밀(氣密)하게 폐쇄된 후, 감압 펌프(32)에 의해 이 챔버(33) 내를 소정 압력으로 감압한다.
이어서, 제1 기판(3)이 제2 기판(4)에 대하여 X, Y 및 θ 방향으로 위치 결정된 후, 제2 기판(4)이 하강하여 제1 기판(3)에 대하여 소정 압력으로 눌려져 접합된다. 그 후, 챔버(33) 내를 대기압으로 되돌아가게 한다. 이에 따라, 시일제(7)를 통해 접합된 2장의 기판(3, 4) 에는 내압과 외압의 차압에 의해 가압력이 작용하고, 제1 기판(3)과 제2 기판(4)은 시일제(7)를 압축하여 기판(3, 4) 사이에 배치된 도시하지 않은 스페이서에 의해 규정되는 ㎛ 오더의 기판 간격이 형성된다. 그 후, 자외선의 조사나 가열에 의해 시일제(7)가 경화되어, 도 5 (B)에 나타내는 바와 같이 이들 기판(3, 4) 사이에 제1 액적(L1)과 제2 액적(L2)으로서 적하 공급된 액정이 밀봉되게 된다.
제1 기판(3)의 시일제(7)에 의해 둘러싸인 영역(R) 내에는, 제1 액적(L1)을 행렬 형상의 배치 패턴(P)으로 적하하고, 제2 액적(L2)을 상기 배치 패턴(P)으로부터 벗어난 주변부 중의 4 코너부에 각각 한방울씩 적하하도록 했다.
시일제(7)에 의해 둘러싸인 영역(R)에 액정을 제1 액적(L1)에 의해 행렬 형상의 배치 패턴(P)으로 적하 공급하는 것만으로는, 2장의 기판(3, 4)을 접합했을 때에, 상기 영역(R)의 상기 제1 액적(L1)의 배치 패턴(P)으로부터 벗어난 주변부에는, 제1 액적(L1)의 배치 패턴(P)의 개소와 비교하여 액정이 퍼지기 어렵다. 주변부 중에서도, 특히 영역(R)의 4 코너부에는 액정이 더욱 퍼지기 어렵다고 하는 일이 있다.
그 이유의 하나로서는, 제1 액적(L1)을 행렬 형상의 배치 패턴(P)으로 적하하면, 도 6에 나타내는 바와 같이, 그 배치 패턴(P)의 최외주부에 위치하는 제1 액적(L1)으로부터 시일제(7)에 의해 둘러싸인 영역(R)의 내주측 에지까지의 거리(d1)가 인접하는 제1 액적(L1) 사이의 거리(D)의 2분의 1보다 커지는 일이 있다. 또한 배치 패턴(P)의 4 코너부에 위치하는 제1 액적(L1)으로부터 직사각형 프레임 형상인 시일제(7)의 코너(C)까지의 거리(d2) 쪽이 상기 d1보다 더욱 커진다. 즉, D/2〈d 1〈d2로 된다.
그러므로, 2장의 기판(3, 4)을 감압 분위기 하에서 접합하면, 시일제(7)에 의해 둘러싸인 영역(R) 중, 액정은 상기 배치 패턴(P)을 형성하는 제1 액적(L1)으로 부터 최대 거리에 있는 직사각형 프레임 형상인 시일제(7)의 코너(C)에 가장 도달하기 어렵다고 생각된다.
그래서, 본 발명의 하나의 실시예에서는, 시일제(7)에 의해 둘러싸인 영역(R)에 제1 액적(L1)을 소정 배치 패턴(P)으로서 행렬 형상으로 적하 공급할 뿐만 아니라, 이 배치 패턴(P)으로부터 벗어난 주변부 중의 4 코너부에 각각 제2 액적(L2)을 적하하도록 했다.
그러므로, 2장의 기판(3, 4)을 접합하면, 4 코너부에 적하 공급된 제2 액적(L2)이 시일제(7)에 의해 둘러싸인 영역(R)인 4 코너부의 코너(C)로 확실하게 흐르기 때문에, 이들 기판(3, 4) 사이에 액정을 거의 균일하게 분포시킬 수 있다.
4 코너부에 적하 공급되는 상기 제2 액적(L2)의 크기를, 행렬 형상의 배치 패턴(P)으로 적하 공급하는 상기 제1 액적(L1)보다 작게 했다. 그러므로, 2장의 기판(3, 4)을 접합했을 때, 제2 액적(L2)이 시일제(7)에 의해 둘러싸인 영역(R)의 4 코너부를 향해 기세 좋게 흐르거나, 4 코너부에서의 액정의 단위 면적당 공급량이 다른 부분보다 많아지는 것을 방지할 수 있다.
이 결과, 2장의 기판(3, 4)을 접합했을 때에, 상기 영역(R)의 4 코너부의 코너(C) 부분의 시일제(7)가 제2 액적(L2)의 압력으로 깨지는 것을 방지할 수 있기 때문에, 2장의 기판(3, 4)의 접합을 시일제(7)의 손상을 초래하지 않고 확실하게 실행하는 것이 가능해진다.
이와 같이, 2장의 기판(3, 4) 사이에 액정을 거의 균일하게 분포시킬 수 있으면, 기판(3, 4)을 접합한 후, 이들 기판(3, 4)이 내압과 외압의 차압을 받아도, 기판(3, 4)의 시일제(7)에 의해 둘러싸인 영역(R)의 패턴(P)으로부터 벗어난 주변부, 특히 4 코너부가 다른 부분보다 크게 휘는 것을 방지할 수 있다.
또한 기판(3, 4)의 휨이 방지되기 때문에, 종래와 같이 휜 기판(3, 4)을 복원함으로써 시일제(7)가 인장력을 받아 손상되는 것을 방지할 수 있다.
그리고, 제2 액적(L2)의 최적량은 제1 액적(L1)의 양, 배치 패턴(P), 전술한 거리(D, d1, d2) 등에 따라 변화되지만, 이것은 실험 등에 의해 구할 수 있다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예를 나타낸다. 이 실시예는 시일제(7)에 의해 둘러싸인 영역(R)의, 배치 패턴(P)으로부터 벗어난 주변부 중의 4 코너부에 설정되는 액적(L21)의 크기를, 배치 패턴(P)을 형성하는 액적(L1)보다 크게 했다.
즉, 영역(R)에 대하여 배치 패턴(P)을 설정하는 경우, 영역(R)의 면적에 대한 배치 패턴(P)의 면적 크기의 비율을 변경하는 일이 있다. 도 7에서는, 도 6에 나타내는 경우와 비교하여 영역(R)의 면적에 대한 배치 패턴(P)의 면적 비율을 작게 하고 있다. 이와 같이, 면적의 비율을 변경하면, 배치 패턴(P)의 4 코너부에 위치하는 제1 액적(L1)으로부터 시일제(7)의 코너(C)까지의 거리(d2)도 당연히 변화된다.
영역(R)의 면적과 배치 패턴(P)의 면적과의 크기의 차가 작은 경우에는, 거 리(d2)도 작기 때문에, 도 6에 나타내는 바와 같이 배치 패턴(P)으로부터 벗어난 주변부 중의 4 코너부에 설정되는 제2 액적(L2)의 크기를, 배치 패턴(P)을 형성하는 액적(L1)보다 작게 함으로써, 상기 코너(C)에 액정을 균일하게 분포시키는 것이 가능해진다.
그러나, 영역(R)의 면적과 배치 패턴(P)의 면적과의 차가 큰 경우에는, 상기 거리(d2)가 커진다. 따라서, 상기 거리(d2)가 소정 이상의 크기로 되었을 때에는, 도 7에 나타내는 바와 같이 배치 패턴(P)으로부터 벗어난 주변부 중의 4 코너부에 설정되는 제2 액적(L21)의 크기를, 배치 패턴(P)을 형성하는 제1 액적(L1)보다 크게 한다. 이에 따라, 상기 코너(C)까지 액정을 균일하게 분포시키는 것이 가능해진다.
그리고, 상기 거리(d2)에 따라서는, 제2 액적(L21)을 제1 액적(L1)과 대략 동일한 크기로 한 쪽이 나은 경우도 있다.
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도 8 (A)∼도 8 (C)는 본 발명의 제3 실시예를 나타낸다. 전술한 실시예에서는, 시일제(7)에 의해 둘러싸인 영역(R)의, 패턴(P)으로부터 벗어난 주변부 중의 4 코너부에 하나의 액적(L2, L21)을 설정하는 것이었지만, 본 실시예에서는 복수의 제2 액적을 설정하도록 했다.
즉, 도 8 (A)는 2개의 제2 액적(L22)을 배치 패턴(P)의 4 코너부(각부)에 위치하는 제1 액적(L1)과, 코너(C)를 잇는 직선(41)에 대하여 대칭으로 설정했다. 동 도 (B)는 도 8 (A)에 나타내는 배치인 2개의 제2 액적(L23)에 더하여 추가로 상기 직선(41) 상에 하나의 제2 액적(L23)을 설정함으로써, 합계 3개로 했다. 도 8 (C)는 상기 직선(41)을 사이에 두고 2개의 제2 액적(L24)과, 직선(41) 상에 2개의 제2 액적(L24)을 설정함으로써 합계 4개로 했다.
복수로 분할된 각각의 제2 액적(L22∼L24)은 배치 패턴(P)을 형성하는 제1 액적(L1)보다 작게 설정되어 있다. 이 실시예에서는, 제2 액적(L22)을 2개 설정한 경우에는, 액적량에 있어서, 2개의 제2 액적(L22)의 합계량이 도 6 또는 도 7에 나타낸 하나의 제2 액적(L2 또는 L21)의 양과 거의 동일하게 되도록 설정되며, 3개의 경우에는 3개의 제2 액적(L23)의 총량이 하나의 제2 액적(L2 또는 L21)의 양과 거의 동일하게 되도록 설정되어 있다. 마찬가지로, 4개의 경우에는 4개의 제2 액적(L24)의 총량이 하나의 제2 액적(L2 또는 L21)의 양과 거의 동일하게 되도록 설정되어 있다. 즉, 제2 액적(L22∼L24)의 크기의 관계는 L22〉L23〉L 24가 된다.
이와 같이, 시일제(7)에 의해 둘러싸인 영역(R)의, 패턴(P)으로부터 벗어난 주변부 중의 4 코너부에 1개당 크기가 제2 액적(L2 또는 L21)과 비교하여 수분의 1 크기로 분할된 복수의 제2 액적(L22∼L24)을 설정하도록 했다.
그러므로, 제1 기판(3)과 제2 기판(4)을 접합할 때, 제2 액적(L22∼L24)은 제2 액적(L2 또는 L21)과 비교하여 눌려 찌부러지는 정도가 작아지기 때문에, 눌려 찌부러진 하나의 제2 액적(L22∼L24)이 퍼지는 범위(면적)도 작아진다. 이에 따라, 눌려 찌부러진 제2 액적(L22∼L24)이 제1 기판(3) 상에서 퍼지는 범위가 예측되기 쉬어지기 때문에, 제2 액적(L22∼L24)이 시일제(7)를 손상하지 않고, 또한 영역(R)의 4 코너부까지 균일하게 분포되도록, 배치 패턴(P)으로부터 벗어난 주변부 중의 4 코너부에 각각 복수의 제2 액적(L22∼L24)을 설정하는 것이 가능해진다.
그리고, 본 실시예에서는, 제2 액적(L22∼L24)을 2∼4개로 분할한 경우에 대하여 설명했지만, 이 수는 한정되는 것이 아니며, 5개 이상이라도 상관없다.
또 영역(R)의 소정 패턴(P)으로부터 벗어난 주변부 중의 4 코너부 각각에 적하하는 복수의 제2 액적(L22∼L24)의 적하 위치를 상기 직선(41)에 대하여 대칭 또는 상기 직선(41) 상에 설정한 경우에 대하여 설명했지만, 이 위치에 한정되지 않고, 예를 들면 상기 직선(41)을 사이에 두고 지그재그 배치로 해도 된다.
도 9는 본 발명의 제4 실시예를 나타낸다. 이 실시예는 시일제(7)에 의해 둘러싸인 영역(R)의 배치 패턴(P)으로부터 벗어난 주변부 중의 4 코너부에는 제2 액적은 설정하지 않고, 배치 패턴(P)의 4 코너부에 위치하는 제1 액적(L11)을 이 배치 패턴(P)의 다른 제1 액적(L1)보다 크게 했다.
배치 패턴(P)의 4 코너부에 위치하는 제1 액적(L11)을 다른 제1 액적(L1)보다 크게 하면, 기판(3, 4)을 접합할 때에, 4 코너부의 액적(L11)이 시일제(7)의 코너(C)를 향해 흐르기 때문에, 코너(C)에서의 액정의 부족을 보충할 수 있어, 기판(3, 4) 사이에 액정을 균일하게 분포시키는 것이 가능해진다.
도 10은 본 발명의 제5 실시예를 나타낸다. 제1 실시예에서는, 제1 기판(3)의 시일제(7)에 의해 둘러싸인 영역(R) 내의 4 코너부에만 제2 액적(L2)을 각각 한방울씩 적하했지만, 이 실시예에서는 도 10에 나타내는 바와 같이, 상기 영역(R)의 제1 액적(L1) 배치 패턴(P)으로부터 벗어난 주변부에, 제2 액적을 주위 방향을 따라 소정 간격으로 적하한다. 여기에서, 주변부에 설정되는 제2 액적 중, 4 코너부에 위치하는 4개의 액적을 제외한 다른 액적을 L25로 하고, 상기 4개의 액적을 L26으로 한다.
제2 액적(L25, L26)의 크기는 배치 패턴(P)을 형성하는 제1 액적(L1)보다 작게, 또한 제2 액적 중 4 코너부에 위치하는 각 제2 액적(L26)은 다른 제2 액적(L25 )보다 약간 크게 설정되어 있다. 즉, 영역(R)의 배치 패턴(P)으로부터 벗어난 주변부 중의 4 코너부에 위치하는 제2 액적(L26)을 이 주변부의 다른 제2 액적(L25)보다 크게 했다.
이와 같이, 배치 패턴(P)으로부터 벗어난 주변부 중의 4 코너부를 포함하는 전장(全長)에 제2 액적(L25, L26)을 주위 방향으로 소정 간격으로 적하 공급하면, 제2 액적(L25, L26)이 시일제(7)에 의해 둘러싸인 영역(R)의 전체에 걸쳐 확실하게 흐르기 때문에, 상기 영역(R) 내 전체에 액정을 거의 균일하게 분산시킬 수 있다.
상기 영역(R)의 주변부에 설정되는 제2 액적(L25, L26)은 주변부 이외의 부분에 설정되는 제1 액적(L1)보다 작게, 또한 제2 액적 중 4 코너부에 위치하는 4개의 제2 액적(L26)은 주변부의 다른 제2 액적(L25)보다 크게 설정되어 있다.
따라서, 2장의 기판(3, 4)을 감압 분위기 하에서 접합하면, 시일제(7)에 의해 둘러싸인 영역(R)의 4 코너부를 포함하는 주변부 전체에도 액정을 단위 면적당 공급량이 거의 동일하게 되도록 분포시킬 수 있다.
특히, 영역(R)의 4 코너부에 위치하는 제2 액적(L26)은 주변부의 다른 부분에 위치하는 제2 액적(L25)보다 크다. 그러므로, 이들 제2 액적 L25와 L26 의 크기의 차에 의해 액정을 상기 영역(R)의 4 코너부에도, 다른 부분과 거의 동일량으로 분포시킬 수 있다.
또한 4 코너부를 포함하는 주변부에 위치하는 제2 액적(L25, L26)은 제1 액적(L1)보다 작기 때문에, 기판(3, 4)의 접합 시에 제2 액적(L25, L26 )이 바깥 쪽을 향해 흐르는 기세를 저감할 수 있다. 그러므로, 시일제(7)가 제2 액적(L26)의 흐름에 따라 받는 압력에 의해 깨지거나 변형되는 것을 방지할 수 있다.
그리고, 전술한 실시예에 나타낸 바와 같은 기판의 조립 작업에 있어서, 제1 기판(3)에 적하된 액정이 미경화(未硬化) 시일제에 접촉하면 시일제의 성분이 용출(溶出)되어 액정이 오염될 가능성이 있는 경우, 이하와 같이 하여 기판의 조립 작업을 실행하는 것이 있다.
즉, 감압 분위기 하에서의 기판의 접합 시점에서는, 2장의 기판(3, 4)으로 끼워진 액정이 시일제까지 도달하지 않고, 그 후 접합된 기판(3, 4)이 대기압 하에 놓였을 때에 접합된 기판(3, 4)에 내압과 외압의 차압에 의해 가해지는 가압력에 의해 기판(3, 4) 사이에서 액정이 서서히 퍼져, 시일제가 경화된 후의 타이밍으로 액정이 시일제에 도달하여 도 5 (B)의 상태가 되도록 한다.
이와 같은 경우에는 다음과 같이 하여 실행하면 된다.
도 6 내지 도 8에 나타내는 예에서는 제2 액적(L2, L21∼L24)의 크기를, 도 9에 나타내는 예에서는 제1 액적(L11)의 크기를, 도 10에 나타내는 예에서는 제2 액적(L25, L26)의 크기를, 각각 2장의 기판이 접합되어 액정이 눌려 찌부러져 퍼졌을 때에도, 액정이 시일제에 도달하지 않고 시일제에 근접하는 위치까지 영역(R) 내에서 균일하게 분포되는 적당한 크기로 설정한다.
이와 같은 액적의 크기는 배치 패턴(P)의 4 코너부에 위치하는 제1 액적(L1)으로부터 시일제의 코너(C)까지의 거리(d2)의 크기에 따라 예측하는 것이 가능하며, 예를 들면, 거리(d2)가 크면 거리(d2)가 작은 경우와 비교하여 상기 액적의 크기는 커진다.
이와 같이 함으로써, 감압 분위기 하에서의 기판의 접합 시점에서는, 영역(R) 내에서 액정을 시일제에 도달시키지 않고, 극력 시일제에 근접하는 위치까지 균일한 퍼짐으로 분포시킬 수 있다. 이에 따라, 제1 기판(3)에 적하된 액정이 미경화 시일제에 접촉하는 것을 회피할 수 있으므로, 시일제에 함유된 성분이 액정에 용출되어 액정이 오염되는 것을 방지할 수 있다. 또한 종래 기술에서 설명한 바와 같은 기판의 휨에 기인하는 시일제의 균열이나 파손을 극력 방지할 수 있다. 이에 따라, 제조되는 액정 표시 패널의 품질 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
그리고, 이 경우, 제3 실시예와 같이, 시일제로 둘러싸인 영역(R)의 4 코너부에 적하하는 제2 액적을 복수로 나누어 적하한 쪽이 제1 및 제2 실시예와 같이 1 개소에 적하하는 경우와 비교하여, 제2 액정이 2매의 기판(3, 4) 사이에서 눌려 찌부러져 확대되는 범위를 예측하기 쉽게 되어 바람직하다.
상기 각 실시예에서는, 제1 기판(3)에 시일제(7)를 도포하는 동시에, 이 제1 기판(3)에 제1, 제2 액적을 적하 공급하도록 했지만, 제1, 제2 기판(3, 4) 중 어느 한쪽에 시일제(7)를 도포하고, 다른 쪽에 액정을 적하 공급하도록 해도 된다. 즉, 시일제가 도포되어 있지 않은 다른 쪽의 기판이라도, 한쪽의 기판에 도포되는 시일제에 의해 규정되는 영역에 대응하는 범위를 설정할 수 있기 때문에, 이 다른 쪽 기판에 액정을 소정의 배치 패턴으로 적하할 수 있다.
한 쌍의 기판 사이에 형성되는 액상 물질로서는 액정에 한정되지 않고, 다른 액상 물질이라도 되며, 요는 시일제에 의해 소정 간격으로 접합되는 2장의 기판 사 이에 충전되는 액상 물질이면 된다.
하나의 적하 위치에 적하하는 하나의 액적은 적하 노즐로부터의 1회의 적하에 의해 설정되는 것이라도, 복수 회의 적하에 의해 설정되는 것이라도 된다.
시일제는 코너부를 가지는 프레임 형상으로 도포되면 되며, 이 실시예에서는 직사각형 프레임 형상으로 했지만, 다른 다각형 프레임 형상이라도 된다.
시일제의 도포 공정과 액정의 적하 공정은 어느 쪽이 먼저 실행되는 것이라도 된다.
본 발명에 의하면, 감압 분위기 하에서 접합된 기판 사이에 액상 물질을 거의 균일하게 분포시킬 수 있다.

Claims (26)

  1. 두 장의 기판 중 어느 하나에 코너부를 가진 프레임 형상으로 시일제(seal劑)를 도포하는 도포 공정;
    상기 두 장의 기판 중 어느 하나에 액상(液狀) 물질을 액적(液滴)으로서 소정의 배치 패턴으로 적하(滴下)하고, 상기 시일제로 둘러싸인 영역의 상기 배치 패턴에서 벗어난 주변부의 코너부에만 상기 영역의 면적과 상기 배치 패턴의 면적 차이에 따라 상기 소정의 배치 패턴을 형성하는 액적과 상이한 크기의 액적을 적하하는 적하 공정; 및
    상기 두 장의 기판을 감압 분위기 하에서 접합하는 접합 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판의 조립 방법.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 적하 공정에서는, 상기 영역의 상기 배치 패턴으로부터 벗어난 주변부의 코너부에 액적을 복수 방울씩 적하하는 동시에, 상기 코너부에 적하하는 각 액적의 크기를, 상기 배치 패턴을 형성하는 액적보다 작게 하는 것을 특징으로 하는 기판의 조립 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 시일제는 직사각형 프레임 형상으로 도포되는 것을 특징으로 하는 기판의 조립 방법.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 두 장의 기판 중 어느 하나에 코너부를 가지는 프레임 형상으로 시일제를 도포하는 도포 장치;
    적하 노즐을 포함하며, 상기 적하 노즐로부터 상기 두 장의 기판 중 어느 하나에 액상 물질을 액적으로서 적하하는 적하 장치;
    상기 두 장의 기판을 감압 분위기 하에서 접합하는 접합 장치;
    상기 적하 노즐과 상기 액적이 적하되는 기판을 수평 방향으로 상대적으로 구동하는 구동 수단; 및
    상기 구동 수단에 의한 구동 및 상기 적하 노즐로부터의 액적의 적하를 제어하여 상기 두 장의 기판 중 어느 하나에 상기 액적을 소정의 배치 패턴으로 적하시키고, 상기 시일제로 둘러싸인 영역의 상기 배치 패턴에서 벗어난 주변부의 코너부에만 상기 영역의 면적과 상기 배치 패턴의 면적 차이에 따라 상기 소정의 배치 패턴을 형성하는 액적과 상이한 크기의 액적을 적하시키는 제어 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판의 조립 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 시일제는 직사각형 프레임 형상으로 도포되는 것을 특징으로 하는 기판의 조립 장치.
  12. 삭제
  13. 삭제
  14. 두 장의 기판 중 어느 하나에 액상 물질을 적하하는 적하 방법에 있어서,
    상기 두 장의 기판 중 어느 하나에 코너부를 가지는 프레임 형상으로 시일제를 도포하여 둘러싸이는 영역에 상기 액상 물질을 액적으로서 소정의 배치 패턴으로 적하하는 공정; 및
    상기 영역의 상기 배치 패턴에서 벗어난 주변부의 코너부에만 상기 영역의 면적과 상기 배치 패턴의 면적 차이에 따라 상기 소정의 배치 패턴을 형성하는 액적과 상이한 크기의 액적을 적하하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 액상 물질의 적하 방법.
  15. 삭제
  16. 삭제
  17. 제14항에 있어서,
    상기 영역의 상기 배치 패턴으로부터 벗어난 주변부의 코너부에 액적을 복수 방울씩 적하하는 동시에, 상기 코너부에 적하하는 액적의 크기를, 상기 배치 패턴을 형성하는 액적보다 작게 하는 것을 특징으로 하는 액상 물질의 적하 방법.
  18. 제14항에 있어서,
    상기 시일제는 직사각형 프레임 형상으로 도포되는 것을 특징으로 하는 액상 물질의 적하 방법.
  19. 삭제
  20. 삭제
  21. 삭제
  22. 삭제
  23. 두 장의 기판 중 어느 하나에 액상 물질을 적하하는 적하 장치에 있어서,
    상기 두 장의 기판 중 어느 하나에 코너부를 가지는 프레임 형상으로 시일제를 도포하여 둘러싸이는 영역에 상기 액상 물질을 액적으로서 적하하는 적하 노즐;
    상기 적하 노즐과 상기 액적이 적하되는 기판을 수평 방향으로 상대적으로 구동하는 구동 수단; 및
    상기 구동 수단에 의한 구동 및 상기 적하 노즐로부터의 액적의 적하를 제어하여 상기 영역에 상기 액적을 소정 배치 패턴으로 적하시키고, 상기 영역의 상기 소정 배치 패턴으로부터 벗어난 주변부의 코너부에만 상기 영역의 면적과 상기 배치 패턴의 면적 차이에 따라 상기 소정의 배치 패턴을 형성하는 액적과 상이한 크기의 액적을 적하시키는 제어 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 액상 물질의 적하 장치.
  24. 제23항에 있어서,
    상기 시일제는 직사각형 프레임 형상으로 도포되는 것을 특징으로 하는 액상 물질의 적하 장치.
  25. 삭제
  26. 삭제
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