KR20150056287A - 패널용 초음파 세정장치 - Google Patents

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KR20150056287A KR1020130139107A KR20130139107A KR20150056287A KR 20150056287 A KR20150056287 A KR 20150056287A KR 1020130139107 A KR1020130139107 A KR 1020130139107A KR 20130139107 A KR20130139107 A KR 20130139107A KR 20150056287 A KR20150056287 A KR 20150056287A
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Abstract

초음파 진동장치에 대한 발명이 개시된다. 개시된 초음파 진동장치는: 공급로울러에서 이송되는 패널과 간극을 갖고, 세정수가 저장되는 챔버와, 챔버의 바닥판에 상하로 관통되어 간극으로 세정수를 공급하여 수막을 형성하는 세정수배출부와, 챔버의 내부에 설치되고, 세정수에 잠겨서 초음파 진동부를 ?해 챔버와 수막에 진동을 전달하는 진동케이스;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

패널용 초음파 세정장치{ULTRASONIC CLEANSING DEVICE FOR LCD PANNEL}
본 발명은 패널용 초음파 세정장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 패널의 상측에 초음파 세정장치를 배치하여 세정 효율을 높이고, 세정수가 저장된 챔버에 다수 형성된 세정수배출부를 통해 패널 상에 수막을 얇고 균일하게 형성하여 세정수 사용량을 줄일 수 있는 패널용 초음파 세정장치에 관한 것이다.
일반적으로, 디스플레이장치를 제조하기 위해서는 증착공정, 노광공정, 그리고 식각공정을 포함하는 공정들을 거쳐야 한다. 이때, 식각공정 등에는 공정 처리된 기판을 세정하는 세정공정이 포함된다.
세정공정은 로울러에 의해 이송되는 기판으로 자외선광을 조사하여 기판 표면에 잔류하는 유기물을 세정하는 유기물 세정공정, 유기물이 세정된 기판을 세정액으로 분사하여 기판을 습식 세정하는 습식 세정공정이 순서대로 진행된다.
이와같이, 습식 세정공정에서는 엘씨디 유리기판(LCD Glass Pannel, 이하, 패널이라 함)이 다수의 로울러에 의해 이송될 때, 패널(기판)의 표면에 세정액 공급수단으로 세정액을 공급하고, 패널의 표면에 공급된 세정수에 진동을 부여하기 위해서 패널 아래 쪽에 초음파 진동부재를 배치하여 패널의 표면으로 공급된 세정수에 초음파를 부여하여 세정효과를 높이도록 하고 있다.
그런데 기존의 초음파 세정장치는 초음파 진동부가 로울러의 하측에 배치되어 부품 관리가 어렵고, 하부에서 초음파를 조사하여 세정하므로 초음파 강도가 약하여 최적의 세정 효과를 얻을 수 없으며, 세정수를 개별 노즐로 분사하므로 대면적의 패널을 세정하는 경우, 다수의 노즐이 필요하고 세정수의 소모가 많아지는 문제점이 있다.
또한, 노즐을 통해 공급하는 과정에서 세정수가 공기와 접촉하는 면적이 커지므로, 세정수에 이물질 혼입이 증대되는 문제점이 있다. 따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.
본 발명에 한 배경기술은, 대한민국 공개특허 제2005-00057846호(발명의 명칭: 기판 세정장치 및 그 세정방법, 2005.01.14: 공개)가 제시되어 있다.
본 발명은 상기와 같은 필요성에 의해 창출된 것으로서, 패널의 상측에 초음파 세정장치를 배치하여 세정 효율을 높이고 수리 작업을 용이하게 수행할 수 있는 패널용 초음파 세정장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 세정수가 저장된 챔버에 상하로 관통된 다수 개의 세정수배출부를 통해 세정수를 공급하여 패널 상에 수막을 얇고 균일하게 형성하여 세정수 사용량을 줄일 수 있는 패널용 초음파 세정장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 노즐을 사용하는 대신 패널의 상측에 미세하게 근접하는 챔버의 세정수배출부를 통해 세정수가 패널 상측면에 직접 공급됨으로써, 세정수와 공기의 접촉면적을 최소화하여 이물질이 세정수에 혼입되는 것을 방지일 수 있는 패널용 초음파 세정장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명의 챔버의 세정수에 수용된 진동케이스 내에 초음파 진동부를 장착하므로 세정수를 통한 초음파 진동 전달 효율을 높일 수 있는 패널용 초음파 세정장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 챔버에 세정수 수위를 감지하는 수위감지센서를 구비하여 수위를 일정하게 유지하며, 챔버에 상측으로 개방 설치된 배출파이프를 구비하여 세정수에 기포가 발생하거나 세정수가 넘치는 경우 간편하게 배출할 수 있는 패널용 초음파 세정장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 초음파 진동장치는, 공급로울러에서 이송되는 패널과 간극을 갖고, 세정수가 저장되는 챔버; 상기 챔버의 바닥판에 상하로 관통되어 상기 간극으로 세정수를 공급하여 수막을 형성하는 세정수배출부; 및 상기 챔버의 내부에 설치되고, 상기 세정수에 잠겨서 초음파 진동부를 ?해 상기 세정수와 챔버를 거쳐 상기 수막에 진동을 전달하는 진동케이스;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 챔버는 상기 공급로울러의 이송방향에 대해 직교하게 배치되고, 상기 챔버와 상기 공급로울러는 세정수의 흐름을 위해 수평선에 대하여 설정 각도(θ) 기울어지게 설치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 챔버의 일측면에는 상기 챔버 내부에 세정수를 공급하기 위한 세정수공급부가 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 세정수공급부는, 세정수공급원; 상기 세정수공급원에 연결되고, 세정수를 공급하는 제1공급관; 상기 제1공급관에 연결되고, 상기 챔버에 공급하기 위한 세정수의 유량을 측정하는 유량측정부재; 및 상기 유량측정부재의 상측에서 상기 챔버로 연결되고, 상기 챔버로 세정수를 공급하는 제2공급관;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 유량측정부재에는 상기 세정수의 공급을 조절하거나 개폐하는 밸브부재가 더 포함되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 챔버에는 상기 세정수공급부의 반대면에 구비되어 세정수의 수위를 감지하는 수위감지센서가 구비되고, 상기 수위감지센서는 상기 챔버에 수평으로 연결된 센서설치관에 설치되며, 상기 쳄버에는 기포가 발생되거나 넘치는 세정수를 상측에서 유입하여 하측으로 배출하는 배출파이프가 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 세정수배출부는 상기 챔버의 바닥판에 상기 챔버의 길이방향에 설정 간격으로 다수 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 세정수배출부는 상기 챔버 바닥판에 2라인 이상으로 형성되는 경우, 라인 간에 상호 엇갈리게 배치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 진동케이스는 1개의 바닥판과 4개의 측판이 세정수에 수용되도록 상기 챔버의 크기에 비해 작게 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 챔버의 상측 둘레에는 지지플랜지부에 형성되고, 상기 진동케이스의 상측 둘레에는 상기 지지플랜지부에 접촉되는 접촉플랜지부가 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 챔버와 상기 진동케이스에는 상기 접촉플랜지부에 접촉되고, 체결부재를 통해 체결되어 덮여지는 커버부재가 구비되고, 상기 진동케이스의 상측면은 상기 커버부재의 개방 시 상기 초음파 진동부가 노출되도록 개방 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 초음파 진동부는 상기 진동케이스의 바닥판에 상기 진동케이스의 길이방향 설정 간격으로 다수 형성되고, 상기 초음파 진동부는 상기 진동케이스의 바닥판에 접착제에 의해 부착되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 커버부재의 상측에는 상기 초음파 진동부에 연결되는 다수의 전선이 내장되는 플렉시블호스가 구비되고, 상기 지지플랜지부와 상기 접촉플랜지부의 사이 및 상기 접촉플랜지부와 상기 커버부재의 가장자리 사이에는 기밀을 위한 패킹부재가 각각 구비되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 패널용 초음파 세정장치는, 패널의 상측에 초음파 세정장치를 배치하여 세정 효율을 높이고, 부품 관리 및 수리 작업을 용이하게 수행할 수 있다.
또한, 본 발명은 세정수가 저장된 챔버에 상하로 관통된 다수 개의 세정수배출부를 통해 세정수를 공급하여 패널 상에 수막을 얇고 균일하게 형성하여 세정수 사용량을 줄일 수 있다.
또한, 본 발명은 노즐을 사용하는 대신 패널의 상측에 미세하게 접촉되는 챔버의 세정수배출부를 통해 세정수가 패널 상측면에 직접 공급됨으로써, 세정수의 공기와의 접촉면적을 최소화하여 이물질이 세정수에 혼입되는 것을 방지일 수 있다.
또한, 본 발명은 챔버의 세정수에 수용된 진동케이스 내에 초음파 진동부를 장착하므로 세정수를 통한 초음파 진동 전달 효율을 높일 수 있다.
또한, 본 발명은 챔버에 세정수 수위를 감지하는 수위감지센서를 구비하여 수위를 일정하게 유지하며, 챔버 내에 상측으로 개방 설치된 배출파이프를 구비하여 세정수에 기포가 발생하거나 세정수가 넘치는 경우 간편하게 배출할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널용 초음파 세정장치의 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널용 초음파 세정장치의 조립 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널용 초음파 세정장치의 사용상태 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널용 초음파 세정장치의 평면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 챔버의 평면도 및 측면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 진동케이스의 평면도 및 측면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 수위감지센서 및 배출파이프의 확대도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 패널용 초음파 세정장치를 설명하도록 한다.
이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널용 초음파 세정장치의 분해 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널용 초음파 세정장치의 조립 사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널용 초음파 세정장치의 사용상태 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널용 초음파 세정장치의 평면도이며, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 챔버의 평면도 및 측면도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 진동케이스의 평면도 및 측면도이며, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 수위감지센서 및 배출파이프의 확대도이다.
도 1 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 패널용 초음파 세정장치(100)는, 챔버(10), 세정수배출부(30) 및 진동케이스(30)를 포함하여 이루어진다.
챔버(10)는 공급로울러(2)에서 이송되는 패널(4)과 간극(d)을 갖고, 세정수가 저장되는 구성으로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 세정장치(100)의 외형을 형성하는 구성이다.
챔버(10)는 공급로울러(2)의 이송방향에 대해 직교하게 배치된다. 공급로울러(2)는 회전축을 기준으로 설정 간격으로 다수개 배치되어 다수의 패널(4)을 세정방향으로 이송한다.
챔버(10)는 길이가 긴 육면체 형상으로 형성되고, 내부에 형성되는 수용공간부에 세정수가 저장된다. 챔버(10)는 상측면이 개방 형성된다.
챔버(10)는 장착 대상이 되는 장착구조물의 내부 또는 외부에 브라켓(미도시)등을 통하여 설치되는 것이 바람직하다.
챔버(10)는 세정수가 담겨져 사용할 때, 부식을 방지하기 위해 부식성이 강한 스테인레스 스틸(SUS)을 사용하도록 한다. 챔버(10)는 SUS 304, 316 재질을 사용하는 것이 바람직하다.
챔버(10)의 일측면에는 챔버(10) 내부에 세정수를 공급하기 위한 세정수공급부(20)가 구비될 수 있다. 세정수공급부(20)는 챔버(10)의 4개 중 어느 하나의 측판 상측부위에 설치되어 세정수를 공급한다.
챔버(12)와 공급로울러(2)는 세정수의 흐름을 위해 수평선에 대하여 설정 각도(θ) 기울어지게 설치되는 것이 바람직하다. 그 이유는 챔버(10)에 마련된 세정수배출부(30)에서 배출된 세정수가 패널(4)을 세정한 후 측면 방향으로 흘러내리기 용이하게 하기 위함이다. 여기서, 설정 각도(θ)는 3 ~ 10° 범위를 갖는 것아 바람직하다, 특히, 설정 각도(θ)는 5°정도가 가장 적절하다.
세정수공급부(20)는 세정수공급원(22)과, 세정수공급원(22)에 연결되고, 세정수를 공급하는 제1공급관(22)과, 제1공급관(24)에 연결되고, 챔버(10)에 공급하기 위한 세정수의 유량을 측정하는 유량측정부재(26)와, 유량측정부재(26)의 상측에서 챔버(10)로 연결되고, 챔버(10)로 세정수를 공급하는 제2공급관(28)를 포함한다.
제1공급솬(24)은 유량측정부재(26)의 하단부 일측면에 연결되는 것이 바람직하다.
제2공급관(28)은 유량측정부재(26)의 상단부 타측면에 제1공급관(24)의 반대방향으로 챕버(10)의 측판 일측면에 연결되는 것이 바람직하다.
유량측정부재(26)는 챔버(10)로 공급되는 세정수의 유량을 측정하는 유량계(Flow Meter)인 것이 바람직하다.
유량측정부재(26)에는 세정수의 공급을 조절하거나 개폐하는 밸브부재(29)가 더 포함될 수 있다. 밸브부재(29)는 일반적인 개폐밸브의 종류 중에 어느 하나를 선택하여 사용할 수 있다.
챔버(10)에는 세정수의 수위를 감지하는 수위감지센서(14)가 구비된다.
수위감지센서(14)는 챔버(10)에서 세정수공급부(20)의 반대측 측판 면에 구비되는 것이 바람직하다.
수위감지센서(14)는 챔버(10)에 수평으로 연결된 센서설치관(16)에 설치된다. 센서설치관(16)은 수평으로 설정 길이를 갖도록 챔버(10)의 측판에 구멍을 형성하고 센서설치관(16)을 삽입하고 용접 등으로 챔버(10)에 고정 설치하도록 한다.
쳄버(10)에는 기포가 발생되거나 넘치는 세정수를 상측에서 유입하여 하측으로 배출하기 위한 배출파이프(18)가 구비된다.
배출파이프(18)는 챔버(10)의 바닥판(12)의 4개의 모서리부 중 어느 하나의 모서리부에 하단부가 바닥판(12)의 구멍에 삽입되면서 용접 등으로 고정되면서 하측으로 연결된다.
배출파이프(18)는 후술 하는 진동케이스(40)의 지지플랜지부(44)의 저면에 닿지 않을 정도의 간격을 갖는 상태로 설치된다. 따라서, 챔버(10)에 세정수가 공급되면서 기포가 발생되거나 세정수가 넘치는 경우, 배출파이프(18)의 상단부의 유입공으로 유입되어 배출파이프(18)의 내부 통로를 거쳐 하단부를 통해 외부로 배출된다.
세정수배출부(30)는 챔버(10)의 바닥판(12)에 상하로 관통되어 간극(d)으로 세정수를 공급하여 수막(6)을 형성한다.
세정수배출부(30)는 챔버(10)의 바닥판(12)에 챔버(10)의 길이방향에서 설정 간격으로 다수 형성되는 것이 바람직하다.
세정수배출부(30)는 상하로 관통되는 구멍일 수 있다, 세정수배출부(30)는 원형 또는 다각형상의 구멍으로 형성될 수 있다,
세정수배출부(30)의 내주면과 세정수배출부(30)와 연결된 바닥판(12) 상하면의 전체 또는 일부에는 코팅층이 형성될 수 있다, 이 코팅층은 세정수배출부(30)를 형성하거나 사용하면서 발생할 수 있는 금속가루 등이 세정수와 함께 흘러 내리는 것을 방지하는 역할을 수행한다.
세정수배출부(30)는 챔버(10)의 바닥판(12)에 2라인 이상으로 형성되는 경우, 각 라인 간에 상호 엇갈리게 배치되는 것이 바람직하다. 따라서, 세정수배출부(30)는 촘촘하게 구비되어 패널(4)에 골고루 넓은 면적에 걸쳐 세정수를 공급함으로써, 세정수 공급효율을 현저하게 높일 수 있다.
진동케이스(40)는 챔버(10)의 내부에 설치되고, 세정수에 잠겨서 초음파 진동부(50)를 ?해 세정수와 챔버(10)를 거쳐 수막(6)에 진동을 전달한다.
진동케이스(40)는 1개의 바닥판(42)과 4개의 측판(43)이 세정수에 수용되도록 챔버(10)의 크기에 비해 작게 형성되는 것이 바람직하다.
그 이유는 진동케이스(10)의 내부에 구비된 초음파 진동부(50)의 진동이 진동케이스(40)의 1개의 바닥판(42)과 4개의 측판(43)을 통해 세정수(10)에 골고루 전달됨으로써, 초음파 진동을 챔버(10)와 수막(6)을 통해 패널(4)의 상면에 골고루 전달하여 세정 효율을 현저하게 증진할 수 있다.
챔버(10)의 상측 둘레에는 지지플랜지부(44)가 형성될 수 있다.
진동케이스(40)의 상측 둘레에는 지지플랜지부(44)에 접촉되는 접촉플랜지부(46)가 형성될 수 있다.
지지플랜지부(44)와 접촉플랜지부(46)에는 설정 간격으로 상호 대응되게 후술하는 체결부재(49)가 삽입되어 끼워질 수 있는 다수의 끼움공이 형성된다.
챔버(10)와 진동케이스(40)에는 접촉플랜지부(46)에 접촉되고, 체결부재(49)를 통해 체결되어 덮여지는 커버부재(48)가 구비된다.
진동케이스(40)의 상측 면은 커버부재(48)의 개방 시 초음파 진동부(50)가 노출되도록 개방 형성된다.
따라서, 초음파 진동부(50)를 교체하거나 수리하고자 하는 경우, 체결부재(49)를 풀고 커버부재(48)를 개방하기만 하면 교체 및 수리 작업을 수행하는 것이 가능하므로 본 발명에 따른 초음파 세정치(100)의 설비 관리가 간편하고 용이하게 이루어질 수 있다.
초음파 진동부(50)는 진동케이스(40)의 바닥판(42)에 진동케이스(40)의 길이방향 설정 간격으로 다수 형성된다.
초음파 진동부(50)는 진동케이스(40)의 바닥판(42)에 접착제(52)에 의해 부착될 수 있다. 이때, 접착제는 에폭시 등을 사용할 수 있다. 초음파 진동부(50)는 접착제를 이용하는 하여 부착하는 것 대신에 진동케이스(40)의 바닥판(42)의 상하면에 각각 배치되고 체결부재를 통해 결합되면서 설치될 수도 있다.
초음파 진동부(50)는 발진제어부(80)에서 발진 신호를 전달 받아 초음파 진동을 발생하는 하나 이상의 압전소자와, 압전소자의 상하면에 접촉되어 전기를 공급하는 복수 개의 단자와, 압전소자와 단자를 고정하고, 진동을 전달하기 위해 상,하측에 각각 배치되어 나사 결합되는 복수의 진동부재를 포함하여 이루어진다.
진동부재 중 하측에 배치된 진동부재는 바닥판(42)과 접착제(52)와의 접착력을 높이기 위해 상측 직경에 비해 하측 직경이 더 넓게 형성되는 것이 바람직하다.
커버부재(48)의 상측에는 초음파 진동부(50)에 연결되는 다수의 전선이 내장되는 플렉시블호스(60)가 구비될 수 있다.
플렉시블호스(60)는 세정수가 전선으로 유입되어 쇼트가 발생하는 것을 방지하도록 방수성을 갖는 재질을 사용하는 것이 바람직하다. 이때, 전선은 일단이 복수의 단자(미도시)에 각각 연결되고, 타단이 발진제어부(80)와 전기적으로 연결되어 제어신호 및 전원을 압전소자에 전달한다.
지지플랜지부(44)의 상면과 접촉플랜지부(46)의 저면 사이 및 접촉플랜지부(46)의 상면와 커버부재(48)의 가장자리 사이에는 기밀을 위한 패킹부재(70)가 각각 구비될 수 있다.
패킹부재(70)는 탄성력 및 밀착력이 풍부한 고무재 또는 합성수지재의 패킹을 사용하는 것이 바람직하다.
따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 패널용 초음파 세정장치는, 패널(4)의 상측에 초음파 세정장치(100)를 배치하여 세정 효율을 높이고, 부품 관리 및 수리 작업을 용이하게 수행할 수 있다.
또한, 본 발명은 세정수가 저장된 챔버(10)에 상하로 관통된 다수 개의 세정수배출부(30)를 통해 세정수를 공급하여 패널 상에 수막(6)을 얇고 균일하게 형성하여 세정수 사용량을 줄일 수 있다.
또한, 본 발명은 노즐을 사용하는 대신 패널(4)의 상측에 미세하게 접촉되는 챔버(10)의 세정수배출부(30)를 통해 세정수가 패널(4) 상측 면에 직접 공급됨으로써, 세정수의 공기와의 접촉면적을 최소화하여 이물질이 세정수에 혼입되는 것을 방지일 수 있다.
또한, 본 발명은 챔버(10)의 세정수에 수용된 진동케이스(40) 내에 초음파 진동부(50)를 장착하므로 세정수를 통한 초음파 진동 전달 효율을 높일 수 있다.
또한, 본 발명은 챔버(10)에 세정수 수위를 감지하는 수위감지센서(14)를 구비하여 수위를 일정하게 유지하며, 챔버(10) 내에 상측으로 개방 설치된 배출파이프(18)를 구비하여 세정수에 기포가 발생하거나 넘치는 경우 간편하게 외부로 배출할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
2 : 공급로울러 4 : 패널
10 : 챔버 12 : 바닥판
14 : 수위감지센서 16 : 센서설치관
18 : 배출파이프 20 : 세정수공급부
22 : 세정수공급원 24 : 제1공급관
26 : 유량측정부재 28 : 제2공급관
29 : 밸브부재 30 : 세정수배출부
40 : 진동케이스 40 : 진동케이스
42 : 바닥판 43 : 측판
44 : 지지플랜지부 46 : 접촉플랜지부
48 : 커버부재 49 : 체결부재
50 ; 초음파 진동부 52 : 접착제
100 : 초음파 세정장치

Claims (13)

  1. 공급로울러에서 이송되는 패널과 간극을 갖고, 세정수가 저장되는 챔버;
    상기 챔버의 바닥판에 상하로 관통되어 상기 간극으로 세정수를 공급하여 수막을 형성하는 세정수배출부; 및
    상기 챔버의 내부에 설치되고, 상기 세정수에 잠겨서 초음파 진동부를 ?해 상기 세정수와 챔버를 거쳐 상기 수막에 진동을 전달하는 진동케이스;를
    포함하는 것을 특징으로 하는 패널용 초음파 세정장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 챔버는 상기 공급로울러의 이송방향에 대해 직교하게 배치되고,
    상기 챔버와 상기 공급로울러는 세정수의 흐름을 위해 수평선에 대하여 설정 각도(θ) 기울어지게 설치되는 것을 특징으로 하는 패널용 초음파 세정장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 챔버의 일측면에는 상기 챔버 내부에 세정수를 공급하기 위한 세정수공급부가 구비되는 것을 특징으로 하는 패널용 초음파 세정장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 세정수공급부는,
    세정수공급원;
    상기 세정수공급원에 연결되고, 세정수를 공급하는 제1공급관;
    상기 제1공급관에 연결되고, 상기 챔버에 공급하기 위한 세정수의 유량을 측정하는 유량측정부재; 및
    상기 유량측정부재의 상측에서 상기 챔버로 연결되고, 상기 챔버로 세정수를 공급하는 제2공급관;를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널용 초음파 세정장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 유량측정부재에는 상기 세정수의 공급을 조절하거나 개폐하는 밸브부재가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 패널용 초음파 세정장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 챔버에는 상기 세정수공급부의 반대면에 구비되어 세정수의 수위를 감지하는 수위감지센서가 구비되고,
    상기 수위감지센서는 상기 챔버에 수평으로 연결된 센서설치관에 설치되며,
    상기 쳄버에는 기포가 발생되거나 넘치는 세정수를 상측에서 유입하여 하측으로 배출하기 위한 배출파이프가 구비되는 것을 특징으로 하는 패널용 초음파 세정장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 세정수배출부는 상기 챔버의 바닥판에 상기 챔버의 길이방향에 설정 간격으로 다수 형성되는 것을 특징으로 하는 패널용 초음파 세정장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 세정수배출부는 상기 챔버 바닥판에 2라인 이상으로 형성되는 경우, 라인 간에 상호 엇길리게 배치되는 것을 특징으로 하는 패널용 초음파 세정장치.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 진동케이스는 1개의 바닥판과 4개의 측판이 세정수에 수용되도록 상기 챔버의 크기에 비해 작게 형성되는 것을 특징으로 하는 패널용 초음파 세정장치.
  10. 제 7항 또는 제 9항에 있어서,
    상기 챔버의 상측 둘레에는 지지플랜지부에 형성되고,
    상기 진동케이스의 상측 둘레에는 상기 지지플랜지부에 접촉되는 접촉플랜지부가 형성되는 것을 특징으로 하는 패널용 초음파 세정장치.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 챔버와 상기 진동케이스에는 상기 접촉플랜지부에 접촉되고, 체결부재를 통해 체결되어 덮여지는 커버부재가 구비되고,
    상기 진동케이스의 상측면은 상기 커버부재의 개방시 상기 초음파 진동부가 노출되도록 개방 형성되는 것을 특징으로 하는 패널용 초음파 세정장치.
  12. 제 1항 또는 제11항에 있어서,
    상기 초음파 진동부는 상기 진동케이스의 바닥판에 상기 진동케이스의 길이방향 설정 간격으로 다수 형성되고,
    상기 초음파 진동부는 상기 진동케이스의 바닥판에 접착제에 의해 부착되는 것을 특징으로 하는 패널용 초음파 세정장치.
  13. 제 11항에 있어서,
    상기 커버부재의 상측에는 상기 초음파 진동부에 연결되는 다수의 전선이 내장되는 플렉시블호스가 구비되고,
    상기 지지플랜지부와 상기 접촉플랜지부의 사이 및 상기 접촉플랜지부와 상기 커버부재의 가장자리 사이에는 기밀을 위한 패킹부재가 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 패널용 초음파 세정장치.
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