TWI460362B - 於直線運動導螺與螺帽組件中用來自動對準螺帽與螺桿之浮動套環夾持裝置 - Google Patents

Description

於直線運動導螺與螺帽組件中用來自動對準螺帽與螺桿之浮動套環夾持裝置

本發明係關於自動對準直線運動設備，尤關於用於自動對準之具有導螺桿與螺帽組件的浮動套環夾持裝置。

電漿處理的進步促使了半導體產業的成長。基板處理期間，腔室的狀態可能需要嚴密操控，以產生製造半導體裝置的處理環境。在一精密直線運動處理系統中，操控可藉由改變處理腔室的結構而發生。

舉例而言，試想在一情況中，基板在精密直線運動處理系統的處理腔室中接受處理。基板被置放在下電極(如靜電夾頭)的頂部。依不同之處方，下電極可垂直移動，藉此相對於上電極調整基板，而上電極通常位於下電極之上方。

為了協助下電極的垂直調整，一直線運動設備可附接至下電極。直線運動設備可包括一導螺桿。為了使導螺桿旋轉，馬達可經由一軸連接至導螺桿。電動導螺桿配置可經由一對夾具附接至處理腔室的外壁，夾具可經由一對螺絲固定在處理腔室壁上。

直線運動設備亦可包括螺帽配置。螺絲配置可包括一環繞導螺桿之螺紋螺帽，以形成導螺桿與螺紋螺帽之間的同心關係。螺帽配置可附接至支撐板，而支撐板經由螺帽支座固定於螺紋螺帽。據此，導螺桿旋轉時，螺帽配置在垂直方向移動，藉此致使支撐板在同方向移動。因支撐板附接至下電極，下電極藉由操控直線運動設備而接受調整。換言之，電動導螺桿使螺帽配置在垂直方向移動，藉此轉換為下電極的垂直調整。

為了最大化直線運動設備的壽命，導螺桿與螺紋螺帽的同心度需受到維持。然而，維持同心度具有挑戰性，尤其是在直線運動設備可能已被不正常地組裝的情況下。在一範例中，精密直線運動處理系統組裝時，導螺桿可能已經以些微偏離同心度的方式設置。即使直線運動設備已正常組裝，導螺桿偏擺可能會發生。如在此所述，導螺桿偏擺係指一導螺桿因製造上的缺陷或正常製造公差而呈非直線。不論直線運動設備是否已不正常地組裝或導螺桿可能已偏擺，導螺桿的旋轉可能會導致螺紋螺帽將負載施加至導螺桿的一側，因而造成導螺桿及/或螺紋螺帽的過多摩擦及/或早期磨損。

針對此失準問題，一先前技術方案包括採用一組餘隙開槽(clearance slots)，以接納可用來裝設任一硬體(如導螺桿或螺紋螺帽)的扣件。在一範例中，夾具可將導螺桿裝設至處理腔室壁。夾具可經由一對螺絲固定於處理腔室壁，該對螺絲可插入一對位於夾具上的餘隙開槽中。各餘隙開槽可具有拉長型態，藉此使組裝者將導螺桿在X方向對準。然而，藉使用餘隙開槽來執行對準時，簡單的組裝程序會變成一耗時且更為複雜的組裝程序。因此，更複雜的組裝程序便需要技術高超的組裝者來完成。此外，不必要的側面負載(即，抵著導螺桿側面的磨削)可能仍會發生，因為餘隙開槽並非應付導螺桿的偏擺。

另一先前技術方案包括採用一浮動螺帽，該浮動螺帽係在其安裝孔中有間隙的螺紋螺帽。在一範例中，直線運動設備可包括由裝設有間隙之孔的螺紋螺帽所環繞的導螺桿。換言之，在安裝螺絲與螺紋螺帽之安裝孔之間可具有間隔。據此，有了該間隔，可因應因不正常組裝及/或導螺桿偏擺所造成的失準，藉此減少不必要的側面負載。然而，浮動螺帽配置可能造成螺紋螺帽在順時針及/或逆時針方向的移位。因此，螺紋螺帽的移位會導致位置精確度的損失，因而轉換成無法準確地操控處理腔室的結構來蝕刻基板。

從前述中可瞭解到，導因於不必要側面負載的早期磨損會需要替換至少部分的直線運動設備，如導螺桿與螺紋螺帽。受磨損的零件進行替換時，處理工具實質上就無法用來處理基板。依替換磨損零件之時間的不同，廠商將受到早期磨損所造成的相當經濟損失。

本發明之實施例係關於自動對準直線運動設備。該設備包括一導螺桿。該設備亦包括一用以環繞導螺桿的螺帽配置，其中螺帽配置包括至少一螺帽、螺帽支座及一浮動套環。一肩螺絲插入穿過螺帽支座的螺帽支座開槽及螺帽的螺帽開槽，其至少部分停留在浮動套環內。螺帽支座開槽之一尺寸係大於穿過肩螺絲之橫剖面面積的尺寸，使肩螺絲在螺帽支座開槽內移動，以在導螺桿旋轉時調整螺帽配置，而維持螺帽配置與導螺桿之間的同心關係。

上述發明內容僅為與在此接露之本發明眾多實施例中之一者相關，不應限制申請專利範圍所述的本發明範圍。本發明之上述及其他特徵將於下文配合後續圖式加以詳述。

本發明茲參照隨附圖式中所示之數個實施例而進行詳述。為了對本發明能更完善瞭解，在下述中將描述眾多特定細節。但本技術領域中具有通常知識者能瞭解到，本發明並非需要所有或部分特定細節才能實施。在其他情況下，熟知的製程步驟及/或結構將不再詳述，以避免不必要地混淆本發明。

以下將描述各實施例，包括方法與技術。吾人當瞭解到，本發明亦涵蓋包括電腦可讀媒體的物品，該電腦可讀媒體儲存有執行本發明技術之實施例的電腦可讀指令。該等電腦可讀媒體可包括如半導體、磁性、光磁性、光學性或其他形式之用以儲存電腦可讀碼的電腦可讀媒體。再者，本發明亦涵蓋用於實施本發明實施例的設備。該等設備可包括專用及/或可程式化電路，以執行與本發明實施例相關之作業。該等設備之範例包括適當程式化下之一般用途電腦及/或專用運算裝置，且可包括適用於各種與本發明實施例相關之作業的電腦/運算裝置及專用/可程式化電路的組合。

根據本發明之實施例，一自動對準直線運動設備提供了螺帽依導螺桿結構自動對準之機構。為了協助自我對準，螺帽可經由一對肩螺絲接附至螺帽支座與浮動套環。在一範例中，因已在螺帽支座中切割形成之螺帽支座開槽的形狀之故，螺帽可在一X方向滑動。在一實施例中，該對螺帽支座開槽可具有X方向的拉長形狀，藉此使插入的肩螺絲在X方向移動。因肩螺絲亦被插入於螺帽中切割形成的開槽中，肩螺絲的滑動亦可轉換為螺帽在X方向下的自我對準。

在另一實施例中，螺帽經由肩螺絲與一對對向的凸起部連接至浮動套環，該對凸起部係為位於浮動套環上的凸起定位部。在一實施例中，凸起部被向上插入於螺帽凸緣中已切割形成的一對螺帽凸緣開槽中。在一實施例中，螺帽凸緣開槽具有Y方向的拉長形狀，藉此使螺帽在Y方向滑動。

藉由修改後的螺帽配置，肩螺絲及/或凸起部限制了螺帽的旋轉，同時容許螺帽在X/Y方向自我對準的自由度。在一範例中，電動導螺桿以X方向向右偏。當電動導螺桿旋轉時，螺帽能藉由亦在X方向滑動而進行自我對準，以因應導螺桿的偏位，藉此維持螺帽與導螺桿之間的同心度，並實質上將不必要的側面負載最小化。因此，通常與不必要側面負載有關的早期磨損可以大幅減少。

本發明之特徵與優點可由參照圖式及下述說明而更加瞭解。

圖1表示本發明之一實施例中，一自動對準直線運動設備的展開圖。圖1之另一展開視圖係圖4。如前述，一精準直線運動處理系統可包括一可在基板處理期間進行調整的移動式下電極(未繪示)，藉此使操作者控制下電極的高度。為了協助調整，下電極經由一支撐板110附接至一自動對準直線運動設備100。在一實施例中，自動對準直線運動設備100可包括圍繞導螺桿102之修改後的螺帽配置。如同先前技術般，導螺桿102可附接至一馬達(未繪示)，藉此使導螺桿102在馬達啟動時能旋轉。

該修改螺帽配置可包括一螺帽支座104、一螺帽106及一浮動套環108。螺帽支座104係支撐板110的延伸部，並將螺帽106(可具有螺紋)連接至支撐板110。為了結合該二個元件，一對肩螺絲(112及114)可被插入至一對對向之螺帽支座開槽(116a及116b)與 一對對向之螺帽開槽(118a及118b)中。

在一實施例中，各肩螺絲(112及114)可包括一螺絲頭122、一肩部124及一螺紋部126。在一實施例中，肩部124可具有至少等於螺帽支座104之厚度及螺帽凸緣128之厚度的長度，而該螺帽凸緣為螺帽106之較寬部分。當肩螺絲插入開槽時，螺紋部126可延伸超過螺帽凸緣128。在一實施例中，藉由將螺紋部126插入浮動套環108的套環螺紋孔120a中，肩螺絲112可固定於修改螺帽配置中。如在此所述，浮動套環係直接設置於螺帽凸緣128下方並環繞螺帽106之螺帽本體130而牢固地配合的環狀配置。

在習知技術中，導致早期磨損之不必要的側面負載可能會在下列則一或二者皆是的情況下發生：1)導螺桿與螺帽之同心度未成立；2)導螺桿與螺帽之同心度因失準及/或導螺桿偏擺而未能維持。在本發明之一實施態樣中，本發明人發現，若修改螺帽配置自動地在X/Y方向對準以因應導螺桿的結構，同心度可加以維持。圖2、3將用來說明如何透過修改螺帽配置而達到自動對準。

圖2表示本發明之一實施例中，具有一對插入肩螺絲之自動對準直線運動設備的切開圖。圖2的展開視圖係圖5。肩螺絲112及114已被插入至修改螺帽配置中。在一實施例中，肩螺絲112已被插入至螺帽支座開槽116a、螺帽開槽118a(未繪示)及套環螺紋孔120a(未繪示)中，藉此將螺帽支座104、螺帽106及浮動套環108結合成單一修改螺帽配置。

在一實施例中，該對螺帽支座開槽(116a及116b)可具有比該對肩螺絲(112及114)更大之直徑。換言之，當肩螺絲112插入至螺帽支座開槽116a中時，可能有一些微間隔存在於肩部124與螺帽支座開槽116a壁面之間。在一實施例中，該對螺帽支座開槽(116a及116b)之各者具有X方向202的拉長形狀，藉此使插入之肩螺絲在肩螺絲112扣緊時在X方向移動。

在一實施例中，肩螺絲的肩部可穿過所對應之該對對向螺帽開槽。在一範例中，當肩部124緊貼地抵接浮動套環108的頂部表面時，插入的肩螺絲112緊固地固定到浮動套環108。因插入的 肩螺絲112能夠在X方向滑動，因此浮動套環108亦可承傳該特色而能夠在相同方向自動對準。據此，因螺帽106相對於浮動套環108在X方向經由該對對向凸起部(302及304)及螺帽106中對應之開槽306a及306b受限，浮動套環108及螺帽106一起亦可在X方向自動對準。

圖3表示本發明之一實施例中，具有一對凸起部之自動對準直線運動設備的切開圖。圖3之展開視圖係圖6。在一實施例中，浮動套環108可包括一對對向的凸起部(302及304)。該對凸起部302及304可位於浮動套環108的頂部，各凸起部可位於該對對向套環螺紋孔(圖1之120a及120b)之間。

在一實施例中，該對對向的凸起部(302及304)可向上插入至一對對向的螺帽凸緣開槽(306a及306b)中，該對螺帽凸緣開槽可以是螺帽凸緣128中的凹槽。在一實施例中，該對對向螺帽凸緣開槽(306a及306b)可些微大於該對對向凸起部(302及304)。在一範例中，當凸起部302插入螺帽凸緣開槽306a中時，在凸起部與開槽之間會具有些微間隔，藉此使螺帽106相對於凸起部302自動對準。在一實施例中，該對螺帽凸緣開槽(306a及306b)可具有Y方向308的拉長形狀，藉此容許螺帽106在Y方向相對於浮動套環108進行調整。

在一實施例中，若螺帽106的修改不能或不被容許形成容許該對凸起部升起進入該對拉長開槽中並在Y方向移動的該對長形之開槽(即該對螺帽凸緣開槽)，一額外接合環(adapter ring)便可設置於螺帽凸緣128與浮動套環108之間。接合環可具有一對對向之長形之開槽，以協助凸起部在Y方向移動的引導。

從圖2、3可瞭解到，該修改螺帽配置能夠使螺帽在X/Y方向自動地自我對準，而肩螺絲及凸起部防止螺帽的旋轉，藉此限制螺帽與螺帽支座之間的旋轉，而確保在因應X/Y方向之自我對準能力時，位置精確度的損失不會發生。換言之，螺帽能夠進行相對於導螺桿結構的自我對準，藉此使螺帽及導螺桿維持同心關係。在一範例中，螺帽能夠因應因不正常組裝或製造公差所造成 螺帽對導螺桿不同心的導螺桿失準，而又能維持直線運動設備良好的位置精確度。舉例而言，電動導螺桿轉動時，修改螺帽配置可以在X或Y方向之任一方向滑動，以因應導螺桿的位置。同樣地，修改螺帽配置在X/Y方向進行自我對準的能力亦可因應因導螺桿偏擺所造成的不必要側面負載。

如從本發明一或更多個實施例中可瞭解到，自動對準直線運動設備提供了一配置，用以在實質上消除了導螺桿之不必要側面負載的同時，垂直調整下電極。據此，藉由實質上消除不必要側面負載，導螺桿與螺帽的早期磨損亦可相對防止。藉由一修改螺帽配置，導螺桿與螺帽之間的同心度可不需複雜組裝程序而便能維持。因該配置僅需相當便宜的零件，維持同心度不需昂貴成本。因此，自動對準直線運動設備提供了符合成本效益的方案，藉以將肇因同心度失準的經濟損失最小化。

本發明已藉由數個較佳實施例描述，但本發明亦包含落入本發明範圍之修改、轉換及等效手段。即使在此提供了各種範例，該等範例欲作為例示性，而非限制本發明。

此外，發明名稱與發明內容係作為便利性目的，而不應在此用於權利範圍的解讀。再者，摘要為高度簡潔之形式，在此亦為便利性目的，而不應用於解讀或限制整體發明。整體發明係由隨附之申請專利範圍中表示。若在本文中使用有「組」字眼，其欲代表數學領域中通常理解之意思，即涵蓋零、一或更多個成員。吾人當瞭解到，許多替代性的方法亦可實施本發明的方法及設備。因此，應將隨附申請專利範圍解釋為包括所有此等落入本發明之真正精神與範圍的修改、轉換及等效手段。

100．．．自動對準直線運動設備

102．．．導螺桿

104．．．螺帽支座

106．．．螺帽

108．．．浮動套環

110．．．支撐板

112．．．肩螺絲

114．．．肩螺絲

116a．．．螺帽支座開槽

116b．．．螺帽支座開槽

118a．．．螺帽開槽

118b．．．螺帽開槽

120a．．．套環螺紋孔

120b．．．套環螺紋孔

122．．．螺絲頭

124．．．肩部

126．．．螺紋部

128．．．螺帽凸緣

130．．．螺帽本體

202．．．X方向

302．．．凸起部

304．．．凸起部

306a．．．螺帽凸緣開槽

306b．．．螺帽凸緣開槽

308．．．Y方向

本發明以隨附圖式中的圖樣作為例示說明，而非為限制。圖中相同的元件符號代表相同的元件。其中：圖1根據本發明之實施例，表示自動對準直線運動設備的展開圖。

圖2根據本發明之實施例，表示具有一對插入肩螺絲之自動對準直線運動設備的切開圖。

圖3根據本發明之實施例，表示具有一對凸起部之自動對準直線運動設備的切開圖。

圖4根據本發明之實施例，表示自動對準直線運動設備的展開圖(圖1的另一視圖)。

圖5根據本發明之實施例，表示具有一對插入肩螺絲之自動對準直線運動設備的切開圖(圖2的另一視圖)。

圖6根據本發明之實施例，表示表示具有一對凸起部之自動對準直線運動設備的切開圖(圖3的另一視圖)。

100．．．自動對準直線運動設備

102．．．導螺桿

104．．．螺帽支座

106．．．螺帽

108．．．浮動套環

110．．．支撐板

112．．．肩螺絲

114．．．肩螺絲

116a．．．螺帽支座開槽

116b．．．螺帽支座開槽

118a．．．螺帽開槽

118b．．．螺帽開槽

120a．．．套環螺紋孔

120b．．．套環螺紋孔

122．．．螺絲頭

124．．．肩部

126．．．螺紋部

128．．．螺帽凸緣

130．．．螺帽本體

Claims (20)

1. 一種自動對準直線運動設備，包含：一導螺桿，用以旋轉，其中當該導螺桿旋轉時在一方向上偏移；及一螺帽配置，環繞該導螺桿，其中該螺帽配置包括一螺帽、一螺帽支座及一浮動套環；一肩螺絲插入穿過該螺帽支座的一螺帽支座開槽及該螺帽的一螺帽開槽中，其至少部分停留在該浮動套環內；該螺帽支座開槽的一尺寸大於穿過該肩螺絲之一橫剖面面積的一尺寸，使該肩螺絲能在該螺帽支座開槽內且在該導螺桿所偏移之該方向上移動，以在該導螺桿旋轉時調整該螺帽配置，而維持該螺帽配置與該導螺桿之間的一同心關係。
2. 如申請專利範圍第1項之自動對準直線運動設備，其中：該導螺桿耦合至一馬達；且該馬達使該導螺桿在該馬達放動時旋轉。
3. 如申請專利範圍第1項之自動對準直線運動設備，其中該螺帽為一螺紋螺帽。
4. 如申請專利範圍第1項之自動對準直線運動設備，更包括一支撐板，其中：該螺帽支座為該支撐板的一部分；該支撐板耦合至一處理系統之一處理腔室的一下電極；且該支撐板於基板處理期間協助該下電極的垂直調整。
5. 如申請專利範圍第1項之自動對準直線運動設備，其中：該螺帽包括一螺帽本體及一螺帽凸緣；且該螺帽凸緣位於該螺帽本體之上方，且該螺帽凸緣之直徑大於該螺帽本體之直徑。
6. 如申請專利範圍第5項之自動對準直線運動設備，其中該浮動套環環繞該螺帽本體，並設置於該螺帽凸緣之一側上。
7. 如申請專利範圍第6項之自動對準直線運動設備，其中：該浮動套環包括位於面朝螺帽凸緣位置的一對凸起定位部；該對凸起定位部之各凸起定位部插入至設置於該螺帽凸緣內的一螺帽凸緣開槽中；且該螺帽凸緣開槽的一尺寸大於該等凸起定位部之一橫剖面面積的一尺寸，使該等凸起定位部在該螺帽凸緣開槽內移動，以在該導螺桿旋轉時調整該螺帽配置，而維持該螺帽配置與該導螺桿之間的該同心關係。
8. 如申請專利範圍第6項之自動對準直線運動設備，其中：該螺帽配置包括一接合環，該接合環設置於該螺帽凸緣與該浮動套環之間；位於該浮動套環上之一面朝螺帽凸緣位置的一對凸起定位部插入至設置於該接合環內的一對接合環開槽中；且該對接合環開槽之各接合環開槽的一尺寸係大於該對凸起定位部之各凸起定位部之一橫剖面面積的一尺寸，使該等凸起定位部可在該接合環開槽內移動，以在該導螺桿旋轉時調整該螺帽配置，而維持該螺帽配置與該導螺桿之間的該同心關係。
9. 一種具有用以執行基板處理之處理腔室的處理系統，包含：一導螺桿；一螺帽配置，環繞該導螺桿，其中該螺帽配置包括至少一螺帽、一螺帽支座及一浮動套環；其中一肩螺絲插入穿過該螺帽支座的一螺帽支座開槽及該螺帽的一螺帽開槽中， 其至少部分停留在該浮動套環內；其中，該螺帽支座開槽的一尺寸係大於穿過該肩螺絲之一橫剖面面積的一尺寸，使該肩螺絲在該螺帽支座開槽內移動，以在該導螺桿旋轉時調整該螺帽配置，而維持該螺帽配置與該導螺桿之間的一同心關係；及一支撐板，附接至該螺帽支座，其中該支撐板耦合至該處理腔室之一下電極，且其中該支撐板用以在基板處理期間至少協助該下電極的垂直調整。
10. 如申請專利範圍第9項之具有用以執行基板處理之處理腔室的處理系統，其中：該導螺桿耦合至一馬達；且該馬達使該導螺桿在該馬達啟動時旋轉。
11. 如申請專利範圍第9項之具有用以執行基板處理之處理腔室的處理系統，其中該螺帽為一螺紋螺帽。
12. 如申請專利範圍第9項之具有用以執行基板處理之處理腔室的處理系統，其中：該螺帽包括一螺帽本體及一螺帽凸緣；且該螺帽凸緣位於該螺帽本體之上方，且該螺帽凸緣之直徑大於該螺帽本體之直徑。
13. 如申請專利範圍第12項之具有用以執行基板處理之處理腔室的處理系統，其中該浮動套環環繞該螺帽本體，並設置於該螺帽凸緣之下方。
14. 如申請專利範圍第13項之具有用以執行基板處理之處理腔室的處理系統，其中：該浮動套環包括位於面朝螺帽凸緣位置的一對凸起定位 部；該對凸起定位部之各凸起定位部插入至設置於該螺帽凸緣內的一螺帽凸緣開槽中；且該螺帽凸緣開槽的一尺寸係大於該等凸起定位部之一橫剖面面積的尺寸，使該等凸起定位部在該螺帽凸緣開槽內移動，以在該導螺桿旋轉時調整該螺帽配置，而維持該螺帽配置與該導螺桿之間的該同心關係。
15. 如申請專利範圍第12項之具有用以執行基板處理之處理腔室的處理系統，其中：該螺帽配置包括一接合環，該接合環設置於該螺帽凸緣與該浮動套環之間；位於該浮動套環上之一面朝螺帽凸緣位置的一對凸起定位部插入至設置於該接合環內的一對接合環開槽中；且該對接合環開槽之各接合環開槽的一尺寸係大於該對凸起定位部之各凸起定位部之一橫剖面面積的尺寸，使該等凸起定位部在該接合環開槽內移動，以在該導螺桿旋轉時調整該螺帽配置，而維持該螺帽配置與該導螺桿之間的該同心關係。
16. 一種處理系統之製造方法，該處理系統具有用以執行基板處理的處理腔室，該製造方法包含：設置一導螺桿；設置一螺帽配置，該螺帽配置環繞該導螺桿，其中該螺帽配置係藉由至少下列步驟而產生：設置一螺帽，設置一螺帽支座，設置一浮動套環，及設置一肩螺絲，其中該肩螺絲插入穿過該螺帽支座的一螺帽支座開槽及該螺帽的一螺帽開槽，其至少部分停留在該浮動 套環內，該螺帽支座開槽具有一大於該肩螺絲之一橫剖面的尺寸，使該肩螺絲在該螺帽支座開槽內移動，以在導螺桿旋轉時調整該螺帽配置，而維持該螺帽配置與該導螺桿之間的一同心關係；將該螺帽配置附接至一支撐板；及將該支撐板耦合至該處理腔室的一下電極，其中該支撐板用以在基板處理期間至少協助該下電極的垂直調整。
17. 如申請專利範圍第16項之處理系統之製造方法，其中：該螺帽包括一螺帽本體及一螺帽凸緣；且該螺帽凸緣位於該螺帽本體之上方，且該螺帽凸緣的直徑大於該螺帽本體之直徑。
18. 如申請專利範圍第17項之處理系統之製造方法，更包括將位於一面朝螺帽凸緣位置的一對凸起定位部插入至設置於該螺帽凸緣內的一對螺帽凸緣開槽中，其中該對螺帽凸緣開槽之各螺帽凸緣開槽具有一尺寸，該尺寸大於該對凸起定位部之各凸起定位部之一橫剖面面積的尺寸，使該等凸起定位部在該螺帽凸緣內移動，以在該導螺桿旋轉時調整該螺帽配置，而維持該螺帽配置與該導螺桿之間的該同心關係。
19. 如申請專利範圍第17項之處理系統之製造方法，更包括將一接合環設置於該螺帽凸緣與該浮動套環之間，其中：位於該浮動套環上之一面朝螺帽凸緣位置的一對凸起定位部插入至設置於該接合環內的一對接合環開槽中；且該對接合環開槽之各接合環開槽具有一尺寸，該尺寸大於該對凸起定位部之各凸起定位部之一橫剖面面積的尺寸，使該等凸起定位部在該接合環開槽內移動，以在該導螺桿旋轉時調整該螺帽配置，而維持該螺帽配置與該導螺桿之間的該同心關係。
20. 如申請專利範圍第16項之處理系統之製造方法，更包括將一馬達耦合至該導螺桿，使該導螺桿可在該馬達啟動時旋轉。