TWI828973B - 晶體振子之激振電極的設計方法，晶體振子之製造方法，晶體振盪器之製造方法及晶體振子之激振電極的製造方法 - Google Patents

晶體振子之激振電極的設計方法，晶體振子之製造方法，晶體振盪器之製造方法及晶體振子之激振電極的製造方法 Download PDF

Info

Publication number
TWI828973B
TWI828973B TW110108543A TW110108543A TWI828973B TW I828973 B TWI828973 B TW I828973B TW 110108543 A TW110108543 A TW 110108543A TW 110108543 A TW110108543 A TW 110108543A TW I828973 B TWI828973 B TW I828973B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
electrode
area
crystal
crystal oscillator
metal film
Prior art date
Application number
TW110108543A
Other languages
English (en)
Chinese (zh)
Other versions
TW202137698A (zh
Inventor
高橋昇
小林了
岡本幸
Original Assignee
日商麥克西斯０１有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日商麥克西斯０１有限公司 filed Critical 日商麥克西斯０１有限公司
Publication of TW202137698A publication Critical patent/TW202137698A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI828973B publication Critical patent/TWI828973B/zh

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/13—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/05—Holders or supports
    • H03H9/10—Mounting in enclosures
    • H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
    • H03H9/1014—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device
    • H03H9/1021—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device the BAW device being of the cantilever type
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03B—GENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
    • H03B5/00—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input
    • H03B5/30—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/05—Holders or supports
    • H03H9/0538—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements
    • H03H9/0547—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements consisting of a vertical arrangement
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/13—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials
    • H03H9/131—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials consisting of a multilayered structure
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
    • H03H9/176—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator consisting of ceramic material
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
    • H03H9/19—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator consisting of quartz

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
TW110108543A 2020-03-18 2021-03-10 晶體振子之激振電極的設計方法，晶體振子之製造方法，晶體振盪器之製造方法及晶體振子之激振電極的製造方法 TWI828973B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020-047607 2020-03-18
JP2020047607A JP7311152B2 (ja) 2020-03-18 2020-03-18 水晶振動子の電極構造、水晶振動子、水晶発振器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW202137698A TW202137698A (zh) 2021-10-01
TWI828973B true TWI828973B (zh) 2024-01-11

Family

ID=77771144

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW110108543A TWI828973B (zh) 2020-03-18 2021-03-10 晶體振子之激振電極的設計方法，晶體振子之製造方法，晶體振盪器之製造方法及晶體振子之激振電極的製造方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US12512814B2 (https=)
JP (1) JP7311152B2 (https=)
CN (1) CN115136494A (https=)
TW (1) TWI828973B (https=)
WO (1) WO2021186839A1 (https=)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2024214335A1 (ja) * 2023-04-14 2024-10-17 株式会社村田製作所 圧電振動素子

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003273682A (ja) * 2002-03-15 2003-09-26 Seiko Epson Corp 圧電振動片の周波数調整方法、圧電振動片および圧電デバイス
JP2005027089A (ja) * 2003-07-03 2005-01-27 Seiko Epson Corp 圧電デバイスのリーク検出方法
TW201240338A (en) * 2011-03-23 2012-10-01 Nihon Dempa Kogyo Co Crystal device
JP2013255052A (ja) * 2012-06-06 2013-12-19 Seiko Epson Corp 振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、移動体および振動素子の製造方法
US9590588B2 (en) * 2015-03-12 2017-03-07 Sii Crystal Technology Inc. Piezoelectric vibrating piece and piezoelectric vibrator
US20170302249A1 (en) * 2016-04-13 2017-10-19 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. Crystal resonator
US20180241371A1 (en) * 2017-02-21 2018-08-23 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. Piezoelectric device

Family Cites Families (51)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3640497B2 (ja) * 1997-03-05 2005-04-20 パイオニア株式会社 収差補正装置及び情報記録媒体再生装置
JP3731348B2 (ja) * 1998-06-09 2006-01-05 松下電器産業株式会社 圧電振動子
JP3775965B2 (ja) * 2000-02-07 2006-05-17 パイオニア株式会社 光学式情報再生装置
KR100754158B1 (ko) * 2000-12-08 2007-09-03 삼성전자주식회사 구면수차 검출 및/또는 보정 가능한 광픽업장치
US20030048041A1 (en) * 2001-09-07 2003-03-13 Hiroyuki Kita Piezoelectric thin-film element and a manufacturing method thereof
JP2005159717A (ja) 2003-11-26 2005-06-16 Toyo Commun Equip Co Ltd 圧電振動子とその製造方法
JP4459685B2 (ja) * 2004-03-31 2010-04-28 富士通株式会社 液晶表示装置
JP2005318477A (ja) 2004-04-30 2005-11-10 Seiko Epson Corp 圧電振動片、その電極形成方法、及び圧電デバイス
US7764329B2 (en) * 2005-12-02 2010-07-27 Au Optronics Corp. MVA LCD device and pixel circuit thereof
JP2009110556A (ja) * 2006-02-14 2009-05-21 Panasonic Corp 光学ヘッドおよび光情報処理装置
JP4665849B2 (ja) 2006-06-23 2011-04-06 株式会社大真空 圧電振動デバイスの製造方法
TWI364734B (en) * 2006-06-30 2012-05-21 Chimei Innolux Corp Liquid crystal display panel, driving method and liquid crystal displayer
JP4687985B2 (ja) 2006-08-10 2011-05-25 株式会社大真空 圧電振動デバイスの周波数調整方法
KR101404544B1 (ko) * 2007-08-07 2014-06-10 삼성디스플레이 주식회사 액정 표시 장치
TWI339304B (en) * 2007-10-16 2011-03-21 Au Optronics Corp Pixel structure, driving method thereof and pixel array structure
US20120057118A1 (en) * 2009-05-28 2012-03-08 Katsuhiko Morishita Liquid crystal display device
JP5589167B2 (ja) * 2010-11-19 2014-09-17 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片および圧電振動子
CN102684636B (zh) * 2011-03-09 2015-12-16 精工爱普生株式会社 振动元件、振子、振荡器以及电子设备
JP5708089B2 (ja) * 2011-03-18 2015-04-30 セイコーエプソン株式会社 圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器及び電子デバイス
CN102957394B (zh) * 2011-08-18 2016-12-21 精工爱普生株式会社 振动元件、振子、电子装置、电子设备、移动体及振动元件的制造方法
US8970316B2 (en) * 2011-08-19 2015-03-03 Seiko Epson Corporation Resonating element, resonator, electronic device, electronic apparatus, and mobile object
JP5943186B2 (ja) * 2012-03-19 2016-06-29 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、電子デバイス、および電子機器
JP5943187B2 (ja) * 2012-03-21 2016-06-29 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、電子デバイス、および電子機器
CN103843249B (zh) * 2012-04-04 2016-01-20 株式会社村田制作所 水晶振动装置
JP6083144B2 (ja) 2012-07-27 2017-02-22 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、移動体及び振動片の製造方法
JP2015019240A (ja) * 2013-07-11 2015-01-29 日本電波工業株式会社 圧電振動片、圧電振動片の製造方法、圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法
JP2016019225A (ja) 2014-07-10 2016-02-01 富士通株式会社 水晶振動子
JP6390836B2 (ja) * 2014-07-31 2018-09-19 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体
KR20160032600A (ko) * 2014-09-16 2016-03-24 삼성전기주식회사 압전 진동편, 그 제조방법 및 압전 진동자
JP6500915B2 (ja) * 2015-01-29 2019-04-17 株式会社大真空 水晶振動板、及び水晶振動デバイス
JP2016140023A (ja) * 2015-01-29 2016-08-04 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体
CN107408935B (zh) * 2015-03-03 2018-11-09 株式会社村田制作所 晶体振子
JP6591194B2 (ja) * 2015-05-15 2019-10-16 株式会社ジャパンディスプレイ 液晶表示装置
CN107636963B (zh) * 2015-06-12 2020-07-28 株式会社村田制作所 石英片以及石英振子
WO2016199918A1 (ja) * 2015-06-12 2016-12-15 株式会社村田製作所 水晶片及び水晶振動子
CN107636962B (zh) * 2015-06-12 2020-07-31 株式会社村田制作所 石英片以及石英振子
WO2017006941A1 (ja) * 2015-07-09 2017-01-12 株式会社村田製作所 水晶振動片及び水晶振動子
CN107852147B (zh) * 2015-09-01 2021-02-05 株式会社村田制作所 水晶片以及水晶振子
CN108028638B (zh) * 2015-09-25 2021-01-05 株式会社村田制作所 水晶片以及水晶振子
CN108028639B (zh) * 2015-09-28 2021-01-08 株式会社村田制作所 晶体片以及晶体振子
WO2017057167A1 (ja) * 2015-09-30 2017-04-06 株式会社村田製作所 水晶片及び水晶振動子
CN108141194B (zh) * 2015-10-02 2021-07-06 株式会社村田制作所 晶体片以及晶体振子
JP6579344B2 (ja) * 2016-01-21 2019-09-25 株式会社村田製作所 水晶振動子及びその製造方法
JP6666166B2 (ja) 2016-02-26 2020-03-13 京セラ株式会社 水晶素子および水晶デバイス
CN109690940B (zh) * 2016-09-08 2023-03-14 株式会社村田制作所 水晶振子及其制造方法
JP6807046B2 (ja) 2016-09-08 2021-01-06 株式会社村田製作所 水晶振動素子及びその製造方法並びに水晶振動子及びその製造方法
JP6910134B2 (ja) * 2016-11-30 2021-07-28 京セラ株式会社 圧電振動素子及び圧電振動デバイス
JP6791766B2 (ja) 2017-01-17 2020-11-25 日本電波工業株式会社 圧電振動片及び圧電デバイス
WO2018212150A1 (ja) * 2017-05-15 2018-11-22 株式会社村田製作所 水晶振動素子及び水晶振動子並びにそれらの製造方法
JP6970391B2 (ja) * 2017-09-22 2021-11-24 株式会社村田製作所 圧電振動素子の製造方法及び圧電振動子の製造方法
JP7259940B2 (ja) * 2019-03-28 2023-04-18 株式会社村田製作所 圧電振動子とその製造方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003273682A (ja) * 2002-03-15 2003-09-26 Seiko Epson Corp 圧電振動片の周波数調整方法、圧電振動片および圧電デバイス
JP2005027089A (ja) * 2003-07-03 2005-01-27 Seiko Epson Corp 圧電デバイスのリーク検出方法
TW201240338A (en) * 2011-03-23 2012-10-01 Nihon Dempa Kogyo Co Crystal device
JP2013255052A (ja) * 2012-06-06 2013-12-19 Seiko Epson Corp 振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、移動体および振動素子の製造方法
US20190067549A1 (en) * 2012-06-06 2019-02-28 Seiko Epson Corporation Resonator element, resonator, electronic device, electronic apparatus, mobile body and method of manufacturing resonator element
US9590588B2 (en) * 2015-03-12 2017-03-07 Sii Crystal Technology Inc. Piezoelectric vibrating piece and piezoelectric vibrator
US20170302249A1 (en) * 2016-04-13 2017-10-19 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. Crystal resonator
US20180241371A1 (en) * 2017-02-21 2018-08-23 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. Piezoelectric device

Also Published As

Publication number Publication date
JP7311152B2 (ja) 2023-07-19
CN115136494A (zh) 2022-09-30
US20230130678A1 (en) 2023-04-27
TW202137698A (zh) 2021-10-01
JP2021150761A (ja) 2021-09-27
WO2021186839A1 (ja) 2021-09-23
US12512814B2 (en) 2025-12-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20130193807A1 (en) Quartz crystal vibrating piece and quartz crystal device
US7915791B2 (en) Quartz crystal device accomodating crystal blanks of multiple shapes and sizes
CN109804562B (zh) 压电振动器件
CN107636962A (zh) 石英片以及石英振子
TWI828973B (zh) 晶體振子之激振電極的設計方法，晶體振子之製造方法，晶體振盪器之製造方法及晶體振子之激振電極的製造方法
JP4558433B2 (ja) 水晶振動子
CN109891745B (zh) 音叉型振子及音叉型振子的制造方法
JP4196641B2 (ja) 超薄板圧電デバイスとその製造方法
JP6295835B2 (ja) 圧電振動片および当該圧電振動片を用いた圧電デバイス
CN101478297B (zh) 用于表面安装的石英晶体器件
EP4311108A1 (en) Quartz resonator and method for producing same
JP2002141765A (ja) 圧電基板、圧電振動子及びそれを搭載した圧電デバイス
JP5495080B2 (ja) 振動デバイスの周波数調整方法、並びに振動デバイス、および電子デバイス
JP7725962B2 (ja) 水晶振動板および水晶振動デバイス
TWI885427B (zh) 晶體振動片及晶體振動裝置
JP7725963B2 (ja) 水晶振動板および水晶振動デバイス
JP2014192729A (ja) 圧電振動素子および圧電振動デバイス
JP7423231B2 (ja) 圧電振動片の製造方法、圧電振動片および圧電振動子
JP2006129383A (ja) 圧電振動片及びこの圧電振動片を備えた圧電振動デバイス
JP2017157934A (ja) 音叉型圧電振動片および当該音叉型圧電振動片を用いた圧電デバイス
JP2018152668A (ja) 圧電振動片および圧電振動子
JP2018037896A (ja) 音叉型圧電振動片および当該音叉型圧電振動片を用いた音叉型圧電振動子
JP2023003011A (ja) 振動素子、振動子および電子デバイス
JP2022154545A (ja) 圧電振動板および圧電振動デバイス
JPH04115707A (ja) 超薄板圧電共振子の電極リード構造