JP2021150761A - 水晶振動子の電極構造、水晶振動子、水晶発振器 - Google Patents
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Abstract
Description
先ず、本発明にかかる水晶振動子と本構造の実施の形態について説明する。
●水晶振動子の電極構造●
次いで、本発明にかかる水晶発振器の実施の形態について説明する。以下に説明する実施の形態において、先に説明した実施の形態と共通する部材の説明は、省略する。
以上説明した各実施の形態によれば、本構造は、第1励振電極211と第2励振電極221それぞれが、上層になるに連れて面積が小さくなる2層構造を有する。そのため、本構造は、主振動の振動エネルギーを水晶片10の中央領域に集中させて、同振動エネルギーを中央領域に閉じ込める。その結果、水晶片10のCI値は、低減される。このように、本構造と、本構造を有する水晶振動子1と水晶発振器100とは、精密な水晶片10の加工を要することなくCI値を低減できる。
なお、本発明における水晶片は主振動として厚み滑り振動で励振すればよく、本発明における水晶片のカットは、ATカットに限定されない。すなわち、例えば、本発明における水晶片のカットは、BTカット、SCカット、ITカットでもよい。
10 水晶片
11 第1主面
12 第2主面
21 第1主面電極
211 第1励振電極
211a 第1電極部
211b 第2電極部
22 第2主面電極
221 第2励振電極
221a 第1電極部
221b 第2電極部
100 水晶発振器
Claims (17)
- 水晶片の主面上の少なくとも中央に配置される励振電極、
を有してなり、
前記励振電極は、前記水晶片の厚み滑り振動の振動エネルギーを前記水晶片の中央領域に集中させる構造を有する、
ことを特徴とする水晶振動子の電極構造。 - 前記励振電極は、
電極外縁部と、
平面視において前記電極外縁部よりも内側の領域である電極中央部と、
を含み、
前記電極中央部は、前記電極外縁部よりも厚い、
請求項1記載の水晶振動子の電極構造。 - 前記励振電極は、
前記主面上に配置され、面積が順次小さくなるように積層される複数の電極部により構成される、
請求項2記載の水晶振動子の電極構造。 - 複数の前記電極部は、
前記主面上に配置され、前記主面の面積よりも小さい面積を有する第1電極部と、
前記第1電極部上に積層して配置され、前記第1電極部よりも小さい面積を有する第2電極部と、
を含み、
前記電極外縁部は、前記第1電極部で構成され、
前記電極中央部は、前記第1電極部と前記第2電極部とで構成される、
請求項3記載の水晶振動子の電極構造。 - 複数の前記電極部それぞれの端面と、前記主面に平行な仮想平面と、の間の角度は、30°−90°である、
請求項3または4記載の水晶振動子の電極構造。 - 前記第1電極部と前記第2電極部それぞれは、Au,Ag,Cu,Al,W,Ni,またはMgのうち、少なくとも1種の金属を含む金属膜により構成される、
請求項4記載の水晶振動子の電極構造。 - 前記第2電極部を構成する前記金属膜は、前記第1電極部を構成する前記金属膜と同じである、
請求項6記載の水晶振動子の電極構造。 - 前記第1電極部は、
前記水晶片と前記金属膜との間に配置され、Cr,NiまたはWのうち、少なくとも1種の金属を含む下地金属膜、
を含む、
請求項6記載の水晶振動子の電極構造。 - 前記電極中央部は、前記電極外縁部を構成する金属よりも大きい質量を有する金属を含む、
請求項2記載の水晶振動子の電極構造。 - 水晶片と、
前記水晶片の主面上の少なくとも中央に配置される励振電極と、
を有してなり、
前記励振電極は、請求項1乃至9のいずれかに記載の電極構造を備える、
ことを特徴とする水晶振動子。 - 前記水晶片は、厚み滑り振動を主振動として励振する、
請求項10記載の水晶振動子。 - 前記水晶片は、
第1主面と、
前記第1主面と反対側の面である第2主面と、
を備え、
前記励振電極は、
前記第1主面上に配置される第1励振電極と、
前記第2主面上に配置される第2励振電極と、
を含み、
前記第1励振電極は、前記水晶片を挟んで、前記第2励振電極と対称な構造を有する、
請求項10記載の水晶振動子。 - 前記水晶片は、
第1主面と、
前記第1主面と反対側の面である第2主面と、
を備え、
前記励振電極は、
前記第1主面上に配置される第1励振電極と、
前記第2主面上に配置される第2励振電極と、
を含み、
前記第1励振電極は、前記水晶片を挟んで、前記第2励振電極と非対称な構造を有する、
請求項10記載の水晶振動子。 - 前記水晶片は、平面視において、長辺が2mm以下の略矩形状である、
請求項10記載の水晶振動子。 - 前記水晶片は、基本波モード、3次オーバトーンモード、または5次オーバトーンモード、のいずれかの振動モードで励振する、
請求項11記載の水晶振動子。 - 前記水晶片は、平板型、ベベル型、メサ型、逆メサ型、コンベックス型またはプラノコンベックス型のうち、いずれかの構造を有する、
請求項11記載の水晶振動子。 - 水晶振動子と、
前記水晶振動子の振動周波数を制御する回路と、
を有してなり、
前記水晶振動子は、請求項10記載の水晶振動子である、
ことを特徴とする水晶発振器。
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