TWI797708B - 晶片電子零件檢查用之具備滾子電極接觸件的裝置 - Google Patents

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Abstract

提供一種將堆積在設置於晶片電子零件檢查分類裝置之滾子電極端子的滾子電極之表面的非導電性污染物，不傷害搬運圓盤的表面，且有效率去除的系統。 於滾子電極端子，組合成將研磨材粉末層形成於其中一方的表面之柔軟的帶，以滾子電極與晶片電子零件的電極所接觸的部位不同的部位，其研磨材粉末層表面可以與滾子電極持續地接觸。

Description

晶片電子零件檢查用之具備滾子電極接觸件的裝置
本發明是有關於具備晶片電子零件檢查用之滾子電極接觸件的裝置。更詳細來說，有關於用於連續且高速地檢查分類以同一規格來大量生產的晶片電容器(亦稱為晶片電容器)所代表的晶片電子零件的電特性所採用的晶片電子零件檢查分類裝置，且利用滾子電極接觸件作為晶片電子零件的電特性檢查用的接觸件之類型的晶片電子零件檢查分類裝置。
隨著行動電話、智慧型手機、液晶電視、電子遊戲機等的小型電子機器的生產量的增加，組合於如此般小型電子機器的微小晶片電子零件的生產量顯著增加。晶片電子零件，大多是由從陶瓷基材形成的柱狀的本體部、以及分別設置於相對向的兩端面之電極部所成的二電極端子構成的電子零件。就如此般的構成的晶片電子零件的代表例而言，可以列舉晶片電容器(亦稱為晶片電容器)。
近年，因為對應於組合有晶片電子零件的電子機器的進一步小型化以及組合於電子機器的晶片電子零件數量增加，所以晶片電子零件變得非常小。例如，有關於晶片電容器，已使用極小尺寸(例如，被稱為1608之1.6mm×0.8mm×0.8mm的尺寸；被稱為1005之1.0mm× 0.5mm×0.5mm的尺寸；並且，被稱為0402晶片之0.4mm× 0.2mm×0.2m的尺寸)，如此般微小晶片電子零件，藉由大量生產，一次的生產單位以數萬至數十萬個這類單位來生產。
在組合有晶片電子零件的電子機器的組裝時，為防止起因於組合的晶片電子零件的缺陷而導致電子機器成為不良品，所以一般針對組合的晶片電子零件的全數，進行其電特性檢查。例如，有關於組合於電子機器的晶片電容器，一般在組合於電子機器前針對其全數，實施靜電電容及泄漏電流等的電特性檢查。
大量的晶片電子零件的電特性檢查必須連續且高速地進行，作為用於自動地進行該檢查的裝置，近年來，將用於多數的晶片電子零件的收容(暫時收容)的通孔被同心圓狀地複數列形成於圓盤表面的晶片電子零件搬運圓盤(有被簡稱為「搬運圓盤」或「轉子」的情形)可間歇旋轉地裝設，且用於晶片電子零件的電特性檢查和分類的自動化裝置(換言之，即晶片電子零件檢查分類裝置)已經一般地受到利用。
自以往就利用的晶片電子零件檢查分類裝置的代表性構成例子，在專利文獻1及專利文獻2被記載且圖示。
如可以從上述各專利文獻的記載和圖示理解般，一般可以稱為晶片電子零件檢查分類裝置，具備：搬運圓盤，形成用於保持且收容晶片電子零件(意味著用於檢查的暫時收容)的多數通孔；搬運圓盤支撐台(亦稱為基準台或基板)，為了使此搬運圓盤間歇地旋轉而在垂直或傾斜的狀態軸支；晶片電子零件供給裝置，配置於搬運圓盤支撐台的周圍的沿著搬運圓盤的旋轉路徑之位置，且將晶片電子零件供給於搬運圓盤的表面上而使其收容保持於搬運圓盤的通孔用；排氣裝置，設置於搬運圓盤支撐台的背後，且將裝置內部的空氣予以吸引和排氣，使晶片電子零件收容保持於搬運圓盤；電特性測量裝置，用於測量收容保持於搬運圓盤的通孔的晶片電子零件的電特性，並具備一對的上側電極端子(檢查用上側接觸件)和下側電極端子(檢查用下側接觸件)；晶片電子零件分類裝置，連結於電特性測量裝置；以及晶片電子零件回收裝置，用於將已測量電特性的晶片電子零件從搬運圓盤取出且回收。
在晶片電子零件檢查分類裝置的使用時，在此裝置內將搬運圓盤裝設於垂直或傾斜的狀態配置的搬運圓盤支撐台的前面側或上面側，一邊使其搬運圓盤間歇地旋轉，一邊使搬運圓盤支撐台的背後的排氣裝置作動而將晶片電子零件吸引來收容保持於搬運圓盤的通孔內，接下來，使搬運圓盤，旋轉移動在設置於沿著其旋轉路徑的位置的電特性檢查部，在其電特性檢查部中，於保持於搬運圓盤的晶片電子零件的各電極，使電特性測量裝置的上側電極端子和下側電極端子接觸，施加既定電壓的電能，進行檢查(測量)其晶片電子零件的電特性的作業。而且，藉由電性連接於上述各電極端子的晶片電子零件分類裝置，進行晶片電子零件的檢查(測量)和分類。
例如，在進行晶片電容器的靜電電容的測量的情況下，藉電特性檢查部，從設置於晶片電子零件檢查分類裝置的電特性測量裝置經由一對的電極端子(檢查用接觸件)施加具有既定頻率的檢查用電壓於晶片電容器。而且，藉由此檢查用電壓的施加來檢測在晶片電容器產生之電流的電流值，並根據此電流值和施加的檢查用電壓的電壓值，進行檢查對象的晶片電容器之靜電電容的檢查。
當收容保持於搬運圓盤的晶片電子零件的檢查(電特性的測量)結束時，根據其檢查結果，進行使晶片電子零件排出成從搬運圓盤的通孔分類收容於既定容器的作業。因此，在通常的晶片電子零件檢查分類裝置，進一步附設用於進行檢查後的晶片電子零件的篩選(或分類)的晶片電子零件分類部。
在專利文獻3，記載了利用將專利文獻1所記載的晶片電子零件檢查分類裝置予以改良的裝置之晶片電子零件的電特性的連續性檢查方法。在此專利文獻3的圖1，表示二電極端子類型的晶片電子零件的基本構成的例子，而且在圖4的(a)、(b)，分別圖示晶片電子零件搬運圓盤的前側表面和搬運圓盤支撐台的剖面。此外，在此專利文獻3的圖4表示的例子，是三列之通孔的列被同心圓狀地形成於表面的晶片電子零件搬運圓盤，但現在成為主流是同心圓狀之六列或八列的通孔的列被形成於表面的晶片電子零件搬運圓盤。 而且，在專利文獻3的圖7、圖8、以及圖9，分別圖示晶片電子零件收容保持於搬運圓盤的通孔後，測量電特性，且最後被排出回收的一連的操作。
然而，就在晶片電子零件檢查分類裝置的電特性測量裝置設置的一對電極端子(檢查用接觸件)內的上側接觸件而言，以前是使用如專利文獻2的圖7及圖8所示般之細長板狀的接觸件(桿接觸件)，但近年滾子電極類型的接觸件(滾子電極端子)逐漸成為一般所採用。有關於此滾子電極端子，在專利文獻4及專利文獻5有詳細的記載和圖示，但任一的滾子電極端子，構成皆包含：滾子電極；以及滾子支撐工具，使其滾子電極與晶片電子零件的電極面接觸，在該狀態將滾子電極可旋轉地支撐。
在專利文獻4，記載並圖示以收容於殼體的上側滾子電極端子和具有平坦頂面的棒狀之下側電極端子的組合，進行晶片電子零件的檢查的系統。而且，在專利文獻4的[0049]～[0054]，記載：從晶片電子零件的電極面剝離之金屬氧化物等的非導電性污染物，堆積於上側滾子電極端子的滾子電極表面的情形，以及可以藉由使上側滾子電極端子沿著間歇地旋轉之搬運圓盤的上側表面來移動且接觸，進行其非導電性污染物的去除的事項。
在專利文獻5，揭示作為滾子電極端子，設置於板簧狀支撐體前端的滾子電極端子和棒狀的下側電極端子的組合。而且，揭示了污染物堆積於此下側電極端子的頂面的事項，以及藉由配合於收容晶片電極零件的搬運圓盤的旋轉而重覆下側電極端子的上昇和下降，且使下側電極端子的頂面和搬運圓盤的下側表面互相摩擦，可以將堆積於下側電極的頂面的污染物去除。 [先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本特開2001-26318號公報 專利文獻2：日本特許第3426246號公報(對應於WO97／018046公報的日本申請的特許公報) 專利文獻3：日本特開2015-213121號公報 專利文獻4：日本特開2018-56483號公報 專利文獻5：美國專利公開2006／0028224　A1
[發明所欲解決之問題]
在專利文獻4，有如上述般，將堆積於上側滾子電極端子的滾子電極表面的非導電性污染物，利用旋轉的搬運圓盤的上側表面和滾子電極的物理性接觸來去除之系統的記載，而且在專利文獻5，有利用旋轉的搬運圓盤的下側表面和下側棒狀電極的頂面之物理性接觸，以去除下側棒狀電極之頂面的污染物質之系統的記載。然而，因為電極表面和搬運圓盤的表面進行物理性接觸所致之電極表面的污染物的去除系統，令人擔憂會損傷由樹脂材料所製成之搬運圓盤的表面，所以未必算得上是可以令人滿意的方法。
特別是，晶片電子零件近年來，如前述般，為了具有極小尺寸而小型化，可說是極小尺寸的零件成為主流。依據本發明之發明者的檢討，在用於進行如此般的極小的晶片電子零件的檢查分類的晶片電子零件檢查分類裝置中，必然地，有必要將在通孔的縱向(長邊方向)垂直地收容保持晶片電子零件並進行搬運的搬運圓盤的厚度，稍微小(薄)於晶片電子零件的縱向的長度。 所以，在如此般極薄的圓盤的搬運圓盤中，較理想為儘可能地避免容易引起其物理性強度降低的表面刮傷產生。
本發明的課題是提供：一種將堆積在設置於晶片電子零件檢查分類裝置之上側滾子電極端子的滾子表面的非導電性污染物，不傷害搬運圓盤的表面，且有效率去除的系統。 [解決問題之技術手段]
本發明的發明者，以找出將堆積於晶片電子零件檢查分類裝置的上側滾子電極端子的滾子表面的非導電性污染物，不損傷搬運圓盤的表面地去除的方法為目地而進行研究的結果，發現了藉由準備好將研磨材粉末層形成於其中一方表面之柔軟的帶(或薄片)，換言之即研磨帶(或研磨薄片)後，將此研磨帶，與處於旋轉狀態之非導電性污染物堆積的滾子表面，在滾子電極和晶片電子零件的電極所接觸的部位不同的部位，以可將其研磨材粉末層表面與滾子電極繼續地接觸的方式，組合於上側滾子電極端子，藉此可以不妨礙電特性的測量所必須的滾子電極和晶片電子零件的電極面的接觸，且不會給搬運圓盤的表面帶來損傷，將堆積於滾子電極表面的非導電性污染物有效地去除的事項，進而完成本發明。
所以，本發明是一種晶片電子零件檢查分類裝置，具備：晶片電子零件搬運圓盤；搬運圓盤支撐台，可將收容保持晶片電子零件的搬運圓盤間歇旋轉地，在垂直或傾斜的狀態進行軸支；排氣裝置，設置於搬運圓盤支撐台的背後；晶片電子零件供給裝置，分別設置於搬運圓盤支撐台周圍的沿著搬運圓盤之旋轉路徑的位置，用於將晶片電子零件供給於搬運圓盤的表面而收容保持於該通孔；電特性測量裝置，具備上側電極端子形成為滾子電極端子的電極端子組，該上側電極端子用於測量被收容保持於搬運圓盤的通孔之晶片電子零件的電特性；以及晶片電子零件回收裝置，用於將已測量電特性的晶片電子零件取出並回收，其特徵為：於上述滾子電極端子，組合成：使研磨材粉末層形成於其中一方的表面之柔軟的帶或薄片，在和以滾子電極與晶片電子零件的電極所接觸的部位不同的部位，其研磨材粉末層表面可以與滾子電極持續地接觸。
本發明的晶片電子零件檢查分類裝置的上側滾子電極端子，較佳為構成包含：滾子電極；以及滾子電極支撐具，使滾子電極與晶片電子零件的電極面接觸，且在該狀態將滾子電極可旋轉地支撐。就其滾子電極支撐具的具體的構成而言，可以列舉下述的構成。 可以列舉：(1)專利文獻4所記載且圖示的構成，換言之構成具有：滾子旋轉軸保持手段，將滾子電極可旋轉保持；以及殼體，收容該滾子旋轉軸保持手段，並具備可以將保持於滾子旋轉軸保持手段的滾子電極緊壓於晶片電子零件之電極面的彈性手段(例如，螺旋彈簧)，以及 (2)專利文獻5所記載且圖示的構成，換言之，該構成具有：滾子旋轉軸保持手段，將滾子電極可旋轉支撐；以及彈性手段(例如，平板彈簧)，連接於該滾子旋轉軸保持手段，且可以將保持於滾子旋轉軸保持手段的滾子電極緊壓於晶片電子零件之電極面。
另外，就將在本發明使用的研磨材粉末層形成於其中一方的表面之柔軟的(換言之，可撓性的)帶或薄片所使用的研磨材粉末而言，可以列舉形成為微粒子粉末的金剛石粉末、氧化鋁粉末、碳化矽粉末等的剛性材料粉末。而且，柔軟的帶或薄片，較理想為以聚酯帶(或薄片)為代表的合成樹脂製帶或薄片。研磨材粉末層，較理想為在成為基材的帶或薄片的表面平滑地塗布形成的層。將如此般的研磨材粉末層形成於其中一方的表面之柔軟的帶或薄片，例如，市售之商品名為3M拋光膜或3M金剛石拋光膜。 [發明效果]
在本發明的晶片電子零件檢查分類裝置中，藉由其運轉，可以將堆積於其上側滾子電極端子的滾子電極面的污染物，特別藉由是與晶片電子零件的電極面的接觸而附著於滾子電極面的錫氧化物等的非導電性氧化物，不損傷晶片電子零件搬運圓盤的表面且持續地去除。
首先，針對自以往即使用的一般晶片電子零件檢查分類裝置和晶片電子零件搬運圓盤的構成，參照隨附圖面的圖1至圖10來進行簡單說明。
圖1是表示成為檢查對象的晶片電子零件的代表例亦即晶片電容器的標準構造的圖，且晶片電容器1包含由電介質所成的電容器本體1a以及相對向於其兩端來設置的一對的電極1b、1b。
圖2是表示將支撐搬運圓盤之旋轉的搬運圓盤支撐台垂直配置的晶片電子零件檢查分類裝置的構成例的前視圖。在圖2所示的晶片電子零件檢查分類裝置10，搬運圓盤11在其背面安裝於搬運圓盤支撐台。
圖3是表示搬運圓盤11的前視圖，在此搬運圓盤11，使晶片電子零件暫時地收容的複數個通孔(晶片電子零件收容保持孔)呈同心圓狀地排列配置所形成。
在搬運圓盤11的周圍，如同在圖2及圖4所見般，晶片電子零件的供給收容部101(具備晶片電子零件供給箱44)，配置晶片電子零件電特性的測量裝置的電特性測量部102，以及晶片電子零件的分類回收部103，沿著搬運圓盤11的旋轉路徑設置。
圖5是晶片電子零件供給部11的前視圖，且晶片電子零件供給箱44，以及設置於背面的晶片電子零件供給棚架33也一併表示。(b)是(a)的側面剖面圖，且一併表示與搬運圓盤11的位置關係。
檢查(測量)對象的晶片電子零件，短時間貯留於晶片電子零件供給箱44，且依序送入形成為圓弧狀的晶片電子零件供給棚架33，之後，藉由設置於搬運圓盤支撐台的背後之排氣裝置的排氣作用(吸引作用)，被收容於處在間歇地旋轉下的搬運圓盤11的通孔。
於圖6，表示搬運圓盤支撐台45和搬運圓盤11的位置關係。搬運圓盤11裝設於旋轉件41，進行間歇旋轉，該旋轉件41設置於搬運圓盤支撐台45的中央。
於圖7，示意性表示供給於晶片電子零件供給裝置的晶片電子零件，沿著晶片電子零件供給棚架33的表面移動，且當到達靠近搬運圓盤11的通孔位置時，藉由搬運圓盤支撐台45背後之排氣裝置的作用來收容於搬運圓盤11的通孔的情況。
收容晶片電子零件的搬運圓盤11持續旋轉，接下來在檢查部(電特性測量位置)102暫時地停止。在檢查部102中，如圖8所示般，因為將各個的晶片電子零件19(19a、19b、・)之每個的兩端電極(22a、22b)，電性連接於檢查器，所以在靠近搬運圓盤11的通孔11a的兩開口部的位置，配置分別成對構成的電極端子13a、12a。這些的電極端子之中，下側的電極端子12a，通常是固定電極端子，且藉由配設於其周圍的電氣上絕緣性的筒體51，固定於搬運圓盤支撐台45。另一方面，上側的電極端子13a是可動電極端子，在圖8中，表示可動電極端子是棒狀的電極端子。
在檢查部102，針對以在搬運圓盤11的半徑方向排成一列的方式收容配置的6個晶片電子零件19a、19b、・的每一個，檢查電特性，呈現既定電特性的晶片電子零件被進行分類。
已檢查電特性的晶片電子零件，接下來藉由搬運圓盤11的旋轉移動，被送往圖2和圖4所示的晶片電子零件的分類部103，根據檢查結果進行選定的晶片電子零件的分類(篩選)。
於圖9，將在晶片電子零件的分類部之晶片電子零件的分類步驟作為示意圖表示。在分類部中，加壓氣體噴出孔45b形成於搬運圓盤支撐台45，且此加壓氣體噴出孔45b連接於加壓氣體生成裝置63。加壓氣體一般藉由空氣加壓來製作。
藉由搬運圓盤的旋轉移動而送往分類部的電特性檢查完畢的晶片電子零件19a、19b、・，在對應於搬運圓盤支撐台45的加壓氣體噴出孔45b的位置停止。而且，根據從控制器15發送的控制訊號，如圖9所示般，加壓氣體經由加壓氣體噴出孔45b供給於搬運圓盤11的通孔11a，藉由其加壓氣體的供給而吹起通孔11a內的晶片電子零件19a且排出，通過晶片電子零件排出管62的內部而收容於晶片電子零件回收盒。
接著，針對本發明的晶片電子零件檢查分類裝置的上側滾子電極端子的構成進行說明。
圖10的(a)是對應於前面作為先前技術說明的圖8的圖，且表示晶片電子零件檢查分類裝置的整列配置的上側滾子電極端子71。(b)是一個上側滾子電極端子71的側面剖面圖，而且(c)是(b)的上側輥電極端子之滾子電極部分71的擴大圖(剖面圖)。
如同在圖10的側面剖面圖(b)和擴大圖(c)所見般，上側滾子電極端子71，包含：滾子電極72；以及滾子電極支撐具73，使滾子電極72與晶片電子零件的電極面接觸，且在該狀態將滾子電極72可旋轉地支撐。上側滾子電極端子71的構成具有：滾子旋轉軸保持手段74，將滾子電極72可旋轉保持；以及殼體76，收容該滾子旋轉軸保持手段74，並具備可以將保持於滾子旋轉軸保持手段74的滾子電極72緊壓於晶片電子零件之電極面的彈性手段(例如，螺旋彈簧)75。
圖11是對應於圖10的(c)的擴大圖的剖面圖，且在圖11中，表示本發明的特徵構造的研磨帶77，組合於滾子電極支撐具73的狀態。有關於研磨帶77的詳細，在本說明書已經說明。
圖12的(a)是將於圖11作為剖面圖表示的研磨帶77予以裝設之滾子電極支撐具73的背面圖(從內側觀看的圖面)。構成滾子電極支撐具73的各零件(包含研磨帶77)，而且有關於那些零件的組裝方法，藉由圖12的(b)得以明瞭。
將組合於滾子電極支撐具73前的研磨帶77的俯視圖展示於圖13的(a)。此研磨帶77，通常藉由從塗布形成研磨材層的研磨材薄片切下來製造。而且，切割成圖13的形狀的研磨帶77，在組合於滾子電極支撐具73前，預先折彎成如圖12的(b)所圖示的形狀，並且組合於滾子電極支撐具73。有關於研磨帶77的材料及構成，在本說明書已經說明。 在(b)，表示在並列的複數的上側滾子電極端子的研磨中有效的複數的研磨帶被一體化的態樣。
另外，雖在圖11和圖12，表示以研磨帶77，在滾子電極72的上側接觸的方式，組合於滾子電極支撐具73的構成，但研磨帶77也可以如在近邊下側接觸於滾子電極72般組合。將此構成例，表示於圖14的(a)和(b)。 另外，雖未特別圖示，但研磨帶77，也可以朝垂直方向(或傾斜)裝設於滾子電極支撐具73的前方側，以使在滾子電極72即將與晶片電子零件的電極接觸前進行接觸。
在本說明書中，雖將晶片電子零件檢查分類裝置的構成的說明，以及將本發明的作用效果以晶片電子零件搬運圓盤朝垂直方向配置而作動的晶片電子零件檢查分類裝置為例來進行說明，但本發明的晶片電子零件檢查分類裝置，當然也可以是在晶片電子零件搬運圓盤傾斜於基台的狀態被軸支且裝設的裝置。
1,19a,19b:晶片電子零件(晶片電容器) 1a:電容器本體 1b:電極部 10:晶片電子零件檢查分類裝置 11:晶片電子零件搬運圓盤(搬運圓盤) 11a:通孔 12a,13a:電極端子 15:控制器 33:晶片電子零件供給棚架 41:旋轉件 44:晶片電子零件供給箱 45:搬運圓盤支撐台 45b:加壓氣體噴出孔 51:筒體 62:晶片電子零件排出管 63:加壓氣體生成裝置 71:滾子電極端子 72:滾子電極 73:滾子電極支撐具 74:滾子旋轉軸保持手段 75:螺旋彈簧 76:殼體 77:研磨帶 101:供給收容部 102:電特性測量部 102:檢查部 103:分類回收部
圖1至圖10是將有關於本發明的先前技術進行說明的圖。而且，圖11至圖14是表示設置於本發明的晶片電子零件檢查分類裝置的滾子電極之表面的非導電性污染物(堆積物)之去除手段的構成例的圖。 [圖1]是表示標準的雙端子(雙電極端子)類型的晶片電子零件之構成的立體圖。 [圖2]是表示將支撐搬運圓盤之旋轉的搬運圓盤支撐台垂直配置之一般晶片電子零件檢查分類裝置的全體構成概要的前視圖。 [圖3]是表示搬運圓盤的前面之標準構造的俯視圖。 [圖4]是表示沿著搬運圓盤的旋轉路徑配置的晶片電子零件供給部、電特性測量部，以及晶片電子零件回收部的位置關係的概略圖。 [圖5](a)是圖1和圖4所示的晶片電子零件供給部的前視圖，且設置於背面的晶片電子零件供給棚架也一併表示。(b)是(a)的側面剖面圖，且一併表示與搬運圓盤的位置關係。 [圖6]是表示搬運圓盤支撐台和裝設於其前面之搬運圓盤的位置關係的剖面圖。 [圖7]是示意性表示供給於晶片電子零件供給裝置的晶片電子零件，藉由搬運圓盤支撐台的背後之排氣裝置的作用來收容於搬運圓盤的通孔之情況的圖。 [圖8]是表示將收容於搬運圓盤的通孔的晶片電子零件的電特性以檢查部檢查之步驟的圖。在此圖中，表示上側接觸件(電極端子)和下側接觸件(電極端子)，皆為自以前即利用的棒狀接觸件的構造。 [圖9]是表示使結束電特性之測量的晶片電子零件從搬運圓盤的通孔排出，且回收的步驟的剖面圖。 [圖10](a)是對應於上述圖8的圖，且表示晶片電子零件檢查分類裝置的整列配置的上側滾子電極端子。(b)是上側滾子電極端子的側面剖面圖，而且(c)是(b)的上側滾子電極端子之滾子電極部分的擴大圖(剖面圖)。 [圖11]是裝設非導電性污染物(堆積物)的去除手段(研磨帶)的上側滾子電極端子的剖面圖，且表示本發明的晶片電子零件檢查分類裝置之上側滾子電極端子的構成例。 [圖12]是(a)是裝設有於圖11作為剖面圖表示的研磨帶的上側滾子電極端子的背面圖，而且(b)是表示構成上側滾子電極端子的各零件和研磨帶，且將那些的組裝方法進行說明的構成圖。 [圖13](a)是表示圖11和圖12所示的非導電性污染物之去除所採用的研磨帶之形狀例(俯視圖)的圖。(b)是表示於並列的複數的上側滾子電極端子的研磨中，有效的複數研磨帶一體化所形成之態樣的圖。 [圖14](a)是表示研磨帶的別的裝設位置，(b)是表示構成其上側滾子電極端子的各零件和研磨帶的組裝。
72:滾子電極
73:滾子電極支撐具
74:滾子旋轉軸保持手段
77:研磨帶

Claims (5)

  1. 一種晶片電子零件檢查分類裝置，具備：晶片電子零件搬運圓盤；搬運圓盤支撐台，可將收容保持晶片電子零件的搬運圓盤間歇旋轉地，在垂直或傾斜的狀態進行軸支；排氣裝置，設置於搬運圓盤支撐台的背後；晶片電子零件供給裝置，分別設置於搬運圓盤支撐台周圍的沿著搬運圓盤之旋轉路徑的位置，用於將晶片電子零件供給於搬運圓盤的表面而收容保持於該通孔；電特性測量裝置，具備上側電極端子形成為滾子電極端子的電極端子組，該上側電極端子用於測量被收容保持於搬運圓盤的通孔之晶片電子零件的電特性；以及晶片電子零件回收裝置，用於將已測量電特性的晶片電子零件取出並回收，其特徵為：於上述滾子電極端子，組合成：使研磨材粉末層形成於其中一方的表面之柔軟的帶或薄片，在和以滾子電極與晶片電子零件的電極所接觸的部位不同的部位，其研磨材粉末層表面可以與滾子電極持續地接觸。
  2. 如請求項1的晶片電子零件檢查分類裝置，其中，作為上述滾子電極端子之上側滾子電極端子的構成包含：滾子電極；以及滾子電極支撐具，使滾子電極與晶片 電子零件的電極面接觸，且在該狀態將滾子電極可旋轉地支撐。
  3. 如請求項1的晶片電子零件檢查分類裝置，其中，作為上述滾子電極端子之上側滾子電極端子的構成具有：滾子旋轉軸保持手段，將滾子電極可旋轉保持；以及殼體，收容該滾子旋轉軸保持手段，並具備可以將保持於滾子旋轉軸保持手段的滾子電極緊壓於晶片電子零件之電極面的彈性手段。
  4. 如請求項1的晶片電子零件檢查分類裝置，其中，作為上述滾子電極端子之上側滾子電極端子的構成具有：滾子旋轉軸保持手段，將滾子電極可旋轉支撐；以及彈性手段，連接於該滾子旋轉軸保持手段，且可以將保持於滾子旋轉軸保持手段的滾子電極緊壓於晶片電子零件之電極面。
  5. 如請求項1的晶片電子零件檢查分類裝置，其中，研磨材粉末層的研磨材粉末，是選自形成為微粒子粉末的金剛石粉末、氧化鋁粉末、及碳化矽粉末之剛性材料的微粒子粉末。
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