KR102430431B1 - 반도체 패키지 처리장치 및 반도체 패키지 처리방법 - Google Patents

반도체 패키지 처리장치 및 반도체 패키지 처리방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 스퍼터링 공정이 완료된 반도체 패키지에 대하여 브러쉬 또는 에어 블로워를 사용하여 스퍼터링 버를 제거한 후에도 제거된 스퍼터링 버가 공기 중에 부유하여 반도체 패키지의 범프면에 잔류하는 미세버(burr)를 효율적으로 제거한 후 반도체 패키지를 반출하는 반도체 패키지 처리장치 및 반도체 패키지 처리방법에 관한 것이다.

Description

반도체 패키지 처리장치 및 반도체 패키지 처리방법{Semiconductor Package Processing Apparatus And Semiconductor Package Processing Method Using The Same}
본 발명은 반도체 패키지 처리장치 및 반도체 패키지 처리방법에 관한 것이다. 보다 상세하게, 본 발명은 스퍼터링 공정이 완료된 반도체 패키지의 스퍼터링 버(burr) 제거 공정이 수행된 후에 제거된 스퍼터링 버가 공기중에 부유하다 반도체 패키지의 범프면에 잔류하게 되는 미세버(burr)를 효율적으로 제거하기 위한 반도체 패키지 처리장치 및 반도체 패키지 처리방법에 관한 것이다.
본 발명은 반도체 패키지 처리장치 및 반도체 패키지 처리방법에 관한 것이다. 전자제품에 사용되는 반도체 패키지는 인체에 미치는 전자파 차단 또는 인접한 전자 부품 간에 발생되는 전기전자적인 간섭을 최소화하기 위하여, 개별 반도체 패키지의 스퍼터링 공정이 수행되고 있다.
스퍼터링 공정은 반도체 패키지의 솔더볼 등의 단자가 구비된 하면을 제외한 상면과 측면(예를 들면 4측면)에 수행되어야 한다. 따라서, 반도체 패키지가 밀집되어 수용되는 트레이에 거치된 상태로 스퍼터링 공정을 수행하지 않고, 반도체 패키지 하면의 솔더볼 등의 단자가 도피가능한 복수 개의 도피홈이 형성되고, 반도체 패키지의 측면의 스퍼터링 공정이 용이하도록 프레임에 반도체 패키지를 각각 이격시켜 부착하여 반도체 패키지 간의 이격거리를 확보한 상태로 수행될 수 있다.
반도체 패키지의 스퍼터링 공정 중 반도체 패키지 하면의 스퍼터링은 방지되어야 하므로 반도체 패키지를 프레임 상에 균일하게 부착한 후에 스퍼터링 공정이 수행될 수 있다. 스퍼터링 공정은 개별 반도체 패키지의 표면에 금속을 고온으로 가열하여 증발시킨 후 표면 증착시키는 것으로, 스퍼터링 공정 후에 프레임으로부터 반도체 패키지를 분리하고자 할 때 스퍼터링이 완료된 반도체 패키지의 바닥면과 측면이 만나는 모서리 주변에 스퍼터링 증착재료에 의한 버가 잔류하게 된다.
스퍼터링 버는 일반적인 이물질과 달리 접착력이 강해 일반 세척 작업을 통해서는 쉽게 제거되지 않으며, 공개특허 2017-43997호에 개시된 바와 같이 여러 단계의 버 제거장치를 통해 스퍼터링 버를 제거할 수있다.
그러나, 여러 단계의 버 제거장치를 통해 스퍼터링 버를 제거함에도 불구하고, 스퍼터링 버를 제거하는 과정에서 제거된 버가 공기 중에 부유하여 범프가 형성된 반도체 패키지의 하면에 달라붙게 되거나 일부 제거되지 않은 스퍼터링 버가 반도체 패키지에 잔류하게 된다. 스퍼터링 자재의 특성상 범프와 범프 사이의 간격은 80㎛ 내외의 크기로 매우 미세하기 때문에 범프 사이에 플라잉 버(flying burr;미세버)가 잔존할 경우 이를 제거하기가 쉽지않았다.
플라잉 버를 제거하기 위해 기존과 같은 에어블로어와 브러쉬 등을 사용한다 할지라도, 여전히 버가 공기 중에 부유하게 되어 똑같은 문제가 반복될 수 밖에 없을 뿐만 아니라, 플라잉 버를 제거하지 못하는 경우에 반도체 자재에 단락, 쇼트 등의 성능 저하 등의 악영향을 준다.
또한 스퍼터링이 완료된 반도체 패키지를 분류한 후 각각 픽커에 의해 트레이 등에 적재한 상태로 반출되는데 반도체 패키지의 하면에 달라붙어 있던 버가 트레이에 떨어지게 되면 트레이에 적재될 다른 반도체 패키지에 버가 전이되는 문제를 갖는다.
본 발명은 스퍼터링 공정이 완료된 반도체 패키지에 대하여 브러쉬나 에어 블로워를 사용하여 스퍼터링 버(burr) 제거 공정이 수행된 후에도, 스퍼터링 버 제거 과정에서 제거된 버가 공기중에 부유하는 과정에서 반도체 패키지의 범프면에 달라붙거나 잔류하는 미세버(burr)를 효율적으로 제거할 수 있는 반도체 패키지 처리장치 및 반도체 패키지 처리방법을 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 복수 개의 개별 반도체 패키지의 하면이 프레임에 부착된 상태로 상기 반도체 패키지의 상면과 측면에 스퍼터링 공정이 수행된 반도체 패키지를 프레임으로부터 분리하기 위해 상기 반도체 패키지가 부착된 프레임을 반도체 패키지 분리부로 공급하고, 상기 반도체 패키지가 분리된 빈 프레임을 회수하는 프레임 공급회수부; 상기 반도체 패키지 분리부에서 상기 프레임으로부터 분리된 반도체 패키지를 픽업하고, X축 방향 및 Y축 방항으로 이송 가능하게 구비되는 디테칭 픽커; 상기 디테칭 픽커에 의해 픽업된 반도체 패키지가 적재되며, Y축 방향으로 이송 가능하게 구비되는 제1시트블럭; 상기 제1시트블럭에 적재된 반도체 패키지를 픽업하여 X축 방향으로 이송 가능하게 구비되는 클리닝 픽커; 상기 클리닝 픽커에 픽업된 상태에서 반도체 패키지의 스퍼터링 버를 제거하기 위하여 상기 반도체 패키지와 접촉하면서 버를 제거하는 복수개의 버제거유닛을 구비하는 반도체 패키지 버 제거부; 상기 클리닝 픽커에 픽업된, 스퍼터링 버가 제거된 반도체 패키지가 적재되며, Y축 방향으로 이송 가능하게 구비되는 제2시트블럭; 상기 제2시트블럭에 적재된 반도체 패키지를 픽업하고, X축 방향 및 Y축 방항으로 이송 가능하게 구비되는 언로딩 픽커; 상기 언로딩 픽커에 픽업된 상기 반도체 패키지의 하면을 접착성 테이프의 접착면과 접착시켜 상기 반도체 패키지에 잔류하는 미세버를 제거하는 미세버 제거부; 상기 언로딩 픽커에 픽업된 상태에서 미세버가 제거된 반도체 패키지의 하면 및 측면을 검사하는 비전 검사부; 및 상기 비전 검사부의 검사 결과에 따라 상기 언로딩 픽커에 픽업된 반도체 패키지가 반도체 패키지 반출용 트레이에 적재되는 반도체 패키지 적재부;를 포함하는 반도체 패키지 처리장치를 제공할 수 있다.
또한, 상기 미세버 제거부는 접착성 테이프가 공급되는 공급롤러; 상기 공급롤러로부터 공급되는 상기 접착성 테이프의 접착면이 상부를 향하도록 미세버 부착 테이블로 안내하는 보조롤러; 및 상기 미세버 부착 테이블에서 사용된 상기 접착성 테이프가 회수되는 회수롤러를 포함하고, 상기 공급롤러, 보조롤러 및 회수롤러에 의하여 상기 접착성 테이프는 상기 미세버 부착 테이블의 상부에 연속적으로 공급되도록 제공되며, 상기 접착성 테이프가 기설정된 시간 또는 미세버 제거 횟수에 따라 새로운 접착면이 상기 미세버 부착 테이블의 상부에 위치되도록 상기 공급롤러, 보조롤러 및 회수롤러가 상기 접착성 테이프의 공급 방향으로 회전할 수 있다.
그리고, 상기 미세버 제거부는 상기 언로딩 픽커에 픽업된 반도체 패키지의 하면과 상기 접착성 테이프가 접착된 상태에서 상기 접착성 테이프가 공급방향으로 미세 구동되도록 상기 공급롤러, 보조롤러 및 회수롤러가 상기 접착성 테이프의 공급 방향으로 회전할 수 있다.
여기서, 상기 미세버 부착 테이블은 상기 접착성 테이프를 흡착 지지하는 제1부착영역과 제2부착영역을 포함하며, 상기 제1부착영역은 상기 미세버 부착 테이블의 하부에 구비되는 이젝터핀이 상기 미세버 부착 테이블 측으로 돌출되기 위한 복수개의 이젝터홀과 상기 이젝터홀 주변에서 상기 접착성 테이프를 흡착하기 위한 복수개의 진공홀이 형성되고, 상기 제2부착영역은 진공이 인가되어 상기 접착성 테이프를 흡착할 수 있도록 다공성 재질로 구비될 수 있다.
이 경우, 상기 반도체 패키지가 상기 언로딩 픽커에 픽업된 상태에서, 상기 반도체 패키지의 하면이 상기 미세버 부착 테이블 상부에 구비되는 접착성 테이프의 접착면과 접촉되도록 상기 언로딩 픽커의 픽업유닛이 하강하고, 상기 이젝터핀은 상기 이젝터홀과 동일한 개수로 구비되되, 상기 제1부착영역의 상부에서 상기 하강하는 언로딩 픽커의 픽업유닛과 대응되는 위치에 구비된 이젝터핀이 상승하여 상기 이젝터핀이 상기 픽업유닛에 흡착된 반도체 패키지의 하면을 타격할 수 있다.
또한, 상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 반도체 패키지의 하면이 프레임에 부착된 상태로 상기 반도체 패키지의 상면과 측면에 스퍼터링 공정이 수행된 반도체 패키지가 부착된 프레임을 공급하는 단계; 상기 프레임으로부터 상기 반도체 패키지를 분리하는 단계; 상기 분리된 반도체 패키지를 디테칭 픽커로 픽업하여 제1시트블럭에 적재하는 단계; 제1시트블럭에 적재된 반도체 패키지를 클리닝 픽커로 픽업하여 스퍼터링 버제거부의 상단에서 상기 반도체 패키지와 접촉하면서 스퍼터링 버를 제거하는 단계; 상기 클리닝 픽커에 의해 상기 스퍼터링 버가 제거된 반도체 패키지를 제2시트블럭에 적재하는 단계; 상기 제2시트블럭에 적재된 반도체 패키지를 언로딩 픽커로 픽업하여 접착성 테이프가 제공되는 미세버 제거부로 이동하는 단계; 상기 반도체 패키지가 상기 언로딩 픽커에 픽업된 상태에서, 상기 반도체 패키지의 하면과 상기 접착성 테이프의 접착면이 접착되도록 상기 언로딩 픽커의 픽업유닛이 하강하여 미세버를 제거하는 단계; 상기 미세버가 제거된 반도체 패키지의 하면 및 측면을 비전 검사하는 단계; 및 상기 비전 검사 결과에 따라 상기 언로딩 픽커에 픽업된 상기 반도체 패키지를 트레이에 적재하는 단계를 포함하는 반도체 패키지 처리방법을 제공할 수 있다.
그리고, 상기 미세버를 제거하는 단계는, 상기 언로딩 픽커에 상기 반도체 패키지가 픽업된 상태에서 상기 언로딩 픽커의 픽업유닛이 상기 미세버 제거부로 하강하여 상기 미세버 제거부 상의 상기 접착성 테이프의 접착면에 접착되고, 상기 픽업유닛이 상승하면서 상기 접착성 테이프로부터 상기 반도체 패키지가 분리되면서 미세버를 제거하거나, 상기 언로딩 픽커에 상기 반도체 패키지가 픽업된 상태에서 상기 언로딩 픽커의 픽업유닛이 상기 미세버 제거부로 하강하여 상기 미세버 제거부 상의 상기 접착성 테이프의 접착면에 접착되고, 상기 언로딩 픽커의 픽업유닛을 상승시킬 때 상기 미세버 제거부의 하부에 구비된 이젝터핀이 상승하면서 상기 반도체 패키지의 하면을 타격하여 상기 접착성 테이프로부터 상기 반도체 패키지가 분리되면서 미세버를 제거하는 것을 선택적으로 수행할 수 있다.
여기서, 상기 미세버를 제거하는 단계는, 상기 미세버 제거부에서 상기 언로딩 픽커에 픽업된 상기 반도체 패키지의 하면과 상기 접착성 테이프가 접착된 상태에서 상기 접착성 테이프의 공급 방향으로 미세 구동시켜, 상기 반도체 패키지의 하면과 상기 접착성 테이프의 접착면 사이에 수직방향 이외의 방향으로 압력이 가해지도록 할 수 있다.
이 경우, 상기 미세버를 제거하는 단계는, 상기 미세버 제거부에서 상기 언로딩 픽커에 픽업된 상기 반도체 패키지의 하면과 상기 접착성 테이프가 접착된 상태에서 상기 언로딩 픽커를 X축 방향으로 미세 구동시켜 상기 반도체 패키지의 하면과 상기 접착성 테이프의 접착면 사이에 수직방향 이외의 방향이 압력이 가해지도록 할 수 있다.
이 경우, 상기 미세버를 제거하는 단계에서 상기 접착성 테이프가 기설정된 시간 또는 미세버 제거 횟수에 도달하면, 새로운 접착면이 상기 미세버 제거부의 상부에 위치되도록 상기 접착성 테이프를 상기 미세버 제거부의 상부에 연속 공급하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 반도체 패키지 처리장치 및 반도체 패키지 처리방법에 의하면, 스퍼터링 공정이 완료된 반도체 패키지에 대하여 브러쉬, 에어 블로워 등을 사용한 스퍼터링 버(burr) 제거 과정에서 반도체 패키지로부터 분리된 스퍼터링 버가 공기 중에 부유하면서, 반도체 패키지의 표면에 달라붙는 미세버(flying burr)를 완벽하게 제거할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 반도체 패키지 처리장치 및 반도체 패키지 처리방법에 의하면, 반도체 패키지의 범프면에 잔류하는 미세버, 플라잉버, 스퍼터링 잔여물, 이물질 등을 제거함으로써 반도체 패키지의 단락, 쇼트, 성능 저하 등의 불량을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 반도체 패키지 처리장치 및 반도체 패키지 처리방법에 의하면, 미세버를 제거하기 위한 접착성 테이프를 롤러 구동방식으로 제공하여 접착성 테이프가 연속적으로 공급되어 사용한 접착성 테이프는 회수하고 새로운 접착성 테이프를 제공할 수 있어 미세버 제거작업의 연속성을 확보하여 반도체 패키지 처리작업의 효율성을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 반도체 패키지 처리장치 및 반도체 패키지 처리방법에 의하면, 미세버 제거부에 이젝터 또는 흡착성 포러스 패드를 구비하는 부착영역을 구비하여 반도체 패키지의 종류 또는 크기 등을 고려하여 작업자가 적절하게 미세버 제거작업 방식을 선택 사용하거나 필요에 따라 함께 사용함으로써 더욱 완벽하고 효율적인 버 제거가 가능해진다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 패키지 처리장치의 하나의 실시예의 평면도를 도시한다.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 패키지 처리장치의 미세버 제거부의 사시도를 도시한다.
도 3은 본 발명에 따른 반도체 패키지 처리장치의 미세버 제거부의 측면도를 도시한다.
도 4는 본 발명에 따른 반도체 패키지 처리장치의 미세버 제거부의 평면도를 도시한다.
도 5는 본 발명에 따른 반도체 패키지 처리장치의 미세버 제거부의 미세버 제거유닛에서 미세버가 제거되는 과정을 도시한다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명된 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록, 그리고 당업자에게 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조 번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 패키지 처리장치(1)의 하나의 실시예의 평면도를 도시한다.
본 발명에 따른 반도체 패키지 처리장치(1)는 복수 개의 개별 반도체 패키지의 하면이 프레임에 부착된 상태로 반도체 패키지의 상면과 측면에 스퍼터링 공정이 수행된 반도체 패키지를 프레임으로부터 분리하기 위해 반도체 패키지가 부착된 프레임을 반도체 패키지 분리부로 공급하고, 반도체 패키지가 분리된 빈 프레임을 회수하는 프레임 공급회수부(100); 반도체 패키지 분리부에서 프레임으로부터 분리된 반도체 패키지를 픽업하고, X축 방향 및 Y축 방향으로 이송 가능하게 구비되는 디테칭 픽커(230); 상기 디테칭 픽커에 의해 픽업된 반도체 패키지가 적재되며, Y축 방향으로 이송 가능하게 구비되는 제1시트블럭; 상기 제1시트블럭에 적재된 반도체 패키지를 픽업하여 X축 방향으로 이송 가능하게 구비되는 클리닝 픽커(370); 상기 클리닝 픽커에 픽업된 상태에서 반도체 패키지의 스퍼터링 버를 제거하기 위하여 반도체 패키지와 접촉하면서 버를 제거하는 복수개의 버 제거유닛을 구비하는 스퍼터링 버제거부; 상기 클리닝 픽커에 픽업된 스퍼터링 버가 제거된 반도체 패키지가 적재되며, Y축 방향으로 이송 가능하게 구비되는 제2시트블럭; 상기 제2시트블럭에 적재된 반도체 패키지를 픽업하고, X축 방향 및 Y축 방향으로 이송 가능하게 구비되는 언로딩 픽커(250); 상기 언로딩 픽커에 픽업된 반도체 패키지의 하면을 접착성 테이프(tp)의 접착면과 접착시켜 반도체 패키지에 잔류하는 미세버를 제거하는 미세버 제거부(600); 상기 언로딩 픽커에 픽업된 상태에서 미세버가 제거된 반도체 패키지의 하면 및 측면을 검사하는 비전 검사부; 및, 상기 비전 검사부의 검사 결과에 따라 언로딩 픽커에 픽업된 반도체 패키지가 반도체 패키지 반출용 트레이에 적재되는 반도체 패키지 적재부(400)를 포함할 수 있다.
본 발명은 스퍼터링 공정이 완료된 반도체 패키지에 대하여 브러쉬 또는 에어 블로워를 사용한 버(burr) 제거 공정이 수행된 후에도 반도체 패키지에 잔류하는 미세버(burr)를 효율적으로 제거한 후 반도체 패키지를 반출하는 반도체 패키지 처리장치(1)에 관한 것이다.
반도체 패키지는 단자가 구비된 하면을 제외한 상면 및 측면만 노출된 상태로, 링 형태의 프레임의 중심부에 구비된 고정필름에 하면이 부착된 상태로 스퍼터링 공정이 수행될 수 있다. 이때 고정필름에는 각각의 반도체 패키지의 하면에 형성된 범프를 수용하기 위한 복수개의 관통홀이 형성될 수 있으며, 범프는 관통홀에 삽입된 상태로 하면의 에지가 고정필름에 부착될 수 있다.
도 1에 도시된 반도체 패키지 처리장치(1)는 프레임 공급회수부(100)에서 반도체 패키지 픽업대상 프레임을 그립퍼(100g)에 의하여 인출하여 프레임 픽커(120)로 프레임을 픽업한 후 반도체 패키지 분리부(200)로 이송한다. 상기 프레임 픽커(120)에는 이송되는 프레임의 촬상 검사를 위한 제1 비전유닛(vu1)이 구비될 수 있다. 여기서, 프레임 공급 회수부는 스퍼터링 공정이 수행된 반도체 패키지를 프레임으로부터 분리하기 위해 반도체 패키지 분리부로 공급하는 제1프레임픽커와 반도체 패키지가 분리된 빈 프레임을 회수하는 제2프레임픽커를 포함할 수 있다.
상기 반도체 패키지 분리부(200)는 스퍼터링 증착된 반도체 패키지가 부착된 프레임이 거치될 수 있는 테이블(tf)이 구비될 수 있다.
상기 테이블(tf)에 거치된 프레임의 고정필름에 부착된 반도체 패키지는 이젝터(e)와 디테칭 픽커(230)에 의하여 고정필름으로부터 분리되어 픽업될 수 있다.
스퍼터링 처리된 반도체 패키지들이 부착된 고정필름을 구비하는 프레임이 테이블에 거치된 상태에서 테이블(tf) 하부에 구비된 이젝터(e)에 의해 고정필름으로부터 반도체 패키지를 분리할 수 있고, 분리된 반도체 패키지는 상기 디테칭 픽커(230)에 의해 픽업되어 제1 시트블럭(510)에 적재될 수 있다.
그리고, 도 1에 도시된 실시예에서, 상기 테이블(tf)과 디테칭 픽커(230)는 Y축 이송이 가능하고, 상기 이젝터(e)는 X축 이송이 가능하도록 구성되어, 테이블과 디테칭 픽커, 이젝터의 상대 이동에 의해 디테칭 픽커가 반도체 패키지를 픽업할 수 있다.
또한, 반도체 패키지를 픽업하기 위한 디테칭 픽커(230)는 복수 개의 픽업유닛(231)이 Y축 방향으로 일렬로 구비되며 각각 독립적으로 반도체 패키지를 흡착 또는 흡착 해제할 수 있다.
따라서, 상기 이젝터(e) 및 상기 디테칭 픽커(230)에 의해 원형 링 프레임의 임의의 위치에 위치한 반도체 패키지를 디테칭 픽커(230)가 픽업할 수 있다.
상기 반도체 패키지 분리부(200)에서 테이블의 고정필름으로부터 이젝터(e) 및 디테칭 픽커(230)에 의하여 분리된 반도체 패키지에는 스퍼터링이 완료된 반도체 패키지의 바닥면과 측면이 만나는 모서리 주변에 스퍼터링 증착재료에 의한 스퍼터링 버(burr)가 잔류하게 된다. 스퍼터링 버는 접착력이 강해 일반적인 세척 작업을 통해서는 쉽게 제거되지 않으므로, 본 발명에 따른 반도체 패키지 처리장치(1)는 반도체 패키지에 잔류하는 버를 제거하기 위해 반도체 패키지와 접촉하면서 스퍼터링 버를 제거하는 복수개의 버제거유닛을 구비하는 스퍼터링 버제거부(300)가 구비될 수 있다. 도 1에 도시된 본 발명에 따른 반도체 패키지 처리장치(1)를 구성하는 반도체 패키지 버제거부(300)는 버제거유닛을 이용하여 단계적으로 버제거 작업을 수행할 수 있다.
상기 반도체 패키지 분리부(200)의 이젝터(e)는 고정필름에 부착된 반도체 패키지의 하면을 순차적으로 가격하여 디테칭 픽커(230)에 구비된 복수 개의 픽업유닛이 고정필름으로부터 분리된 반도체 패키지를 픽업할 수 있다. 상기 반도체 패키지에 잔류하는 버는 버제거부(300)에서 제거될 수 있다. 반도체 패키지 버제거부(300)는 X축 방향으로 이송이 가능한 별도의 클리닝 픽커(370)와 복수 개의 버제거유닛을 포함할 수 있다.
도 1에 도시된 상기 클리닝 픽커(370)는 상기 반도체 패키지 버제거부(300)에서 반도체 패키지를 픽업한 상태로 각각의 버제거유닛 상부를 X축 방향으로 이송하며 버 제거를 가능하게 구성된다. 상기 반도체 패키지 버제거부(300)는 복수 개의 버제거유닛이 X축 방향으로 나란히 배치되므로, X축 방향으로 이송되는 클리닝 픽커에 Y축 방향으로 픽업된 반도체 패키지들을 한번에 클리닝 할 수 있다.
상기 반도체 패키지 버제거부(300)를 구성하는 복수 개의 버제거유닛은 복수 개의 버제거유닛이 나란히 배치되고, 상기 복수 개의 버제거유닛은 각각 브러쉬 유닛으로 구성될 수 있으므로, 상기 클리닝 픽커(370)로 반도체 패키지를 픽업하여 버제거유닛을 통과하며 브러쉬 마찰 또는 풍압에 의하여 반도체 패키지에 잔류하는 버를 제거할 수 있다.
상기 반도체 패키지 분리부(200)에서 디테칭 픽커(230)에 의하여 픽업된 반도체 패키지들은 상기 반도체 패키지 버제거부(300)의 클리닝 픽커(370)에 픽업되기 위하여 상기 반도체 패키지 버제거부(300)로 이송되어야 한다.
이를 위하여, 도 1에 도시된 본 발명에 따른 반도체 패키지 처리장치(1)는 반도체 패키지 분리부(200)에서 디테칭 픽커(230)에 의하여 픽업된 반도체 패키지를 상기 반도체 패키지 버제거부(300)로 이송하는 제1 시트블럭(510)과 버가 제거된 반도체 패키지들이 적재되어 이송되는 제2 시트블럭(530)을 구비한다.
상기 제1 시트블럭(510)에 의하여 상기 반도체 패키지 버제거부(300)로 이송된 반도체 패키지들은 반도체 패키지 버제거부(300)에 구비된 X축 이송이 가능한 클리닝 픽커(370)에 의하여 픽업되어 X축 방향으로 이송되며 클리닝 작업을 수행할 수 있다.
구체적으로, 상기 반도체 패키지 버제거부(300)는 상기 반도체 패키지 분리부(200)에서 분리된 반도체 패키지가 클리닝 픽커(370)로 픽업되어 이송되는 과정에서 상기 반도체 패키지에 잔류하는 버를 마찰 또는 공압으로 제거하기 위한 적어도 하나의 버제거유닛을 포함할 수 있다.
도 1에 도시된 실시예는 3종류의 버제거유닛(310, 330, 350)이 구비되는 예를 도시한다.
도 1에 도시된 상기 반도체 패키지 버제거부(300)를 구성하는 버제거유닛은 수직 회전축을 갖는 하나 이상의 로터리 브러쉬를 포함하는 제1 버제거유닛(310); 수평 회전축을 갖는 롤 브러쉬를 구비하는 제2 버제거유닛(330); 및 상기 제1 버제거유닛(310) 및 상기 제2 버제거유닛(350)과 평행하게 배치되며, 상기 반도체 패키지의 측면 방향 또는 하면 방향 또는 대각선 방향으로 상기 반도체 패키지에 압축 공기를 분사하여 반도체 패키지에 잔류하는 버를 제거하는 에어 블로워 및 흡입유로를 구비하는 제3 버제거유닛(350) 등으로 구성될 수 있으며, 도 1에 도시된 실시예에서 상기 반도체 패키지 버제거부(300)는 제1 내지 제3 버제거유닛 모두를 구비하는 것으로 도시되었으나, 그 구성은 변경이 가능하다.
상기 반도체 패키지 버제거부(300)를 구성하는 각각의 버제거유닛은 Y축 방향으로 나란히 길게 배치되어 X축으로 이송되는 클리닝 픽커(370)에 Y축 방향으로 일렬로 픽업된 반도체 패키지들의 버제거 공정을 단계적으로 수행하여 버가 제거될 수 있다.
상기 클리닝 픽커(370)에 픽업되어 버제거 공정이 완료된 패키지는 제2 시트블럭(530)에 놓인 상태로 언로딩 픽커(250)의 이송경로로 이송되어 언로딩 픽커(250)에 의해 패키지 적재부(400)에 적재될 수 있다.
상기 디테칭 픽커(230) 및 상기 클리닝 픽커(370)는 각각 Y축 방향으로 이송 가능하고, 상기 디테칭 픽커(230) 및 상기 클리닝 픽커(370)는 각각 복수 개의 픽업유닛(231, 251, 371)이 대응되는 간격으로 Y축 방향으로 구비되며, 상기 제1,2 시트블럭(510, 530)에는 각각의 상기 픽업유닛의 간격에 대응하여 적재홈(511, 531)이 구비된다.
따라서, 상기 디테칭 픽커(230)에 의하여 픽업된 반도체 패키지들은 한번에 제1 시트블럭(510)에 적재된 후 이송되어 한번에 클리닝 픽커(370)에 의하여 픽업되어 클리닝 작업이 수행될 수 있다.
상기 제1 시트블럭(510)에 거치되어 이송되는 반도체 패키지의 상면인 몰드면 검사를 위한 제5 비전유닛(vu5)을 더 구비할 수 있다.
도 1에 도시된 실시예에서, 상기 반도체 패키지 버제거부(300)는 제1 버제거유닛(310) 내지 제3 버제거유닛(350)이 구비되고, 상기 클리닝 픽커(370)에 의하여 픽업된 상태에서 상기 제1 버제거유닛(310) 내지 제3 버제거유닛(350)에서 순차적으로 버제거 작업이 수행되어 클리닝 작업이 완료된 후 상기 클리닝 픽커(370), 상기 제2 시트블럭(530) 및 상기 언로딩 픽커(250)에 의하여 역순으로 이송되어 상기 반도체 패키지 버제거부(300)에서 버가 제거된 반도체 패키지가 상기 언로딩 픽커(250)에 의하여 픽업되어 반도체 패키지 반출용 트레이에 적재되는 반도체 패키지 적재부(400)를 통해 반출되기 전에 미세버 제거부(600)에서 브러쉬 또는 풍압 등에 의하여 제거되지 않은 미세버를 제거하는 미세버 제거작업이 수행될 수 있다.
스퍼터링 공정이 완료된 반도체 패키지에 잔류하는 크기가 큰 버의 경우에는 상기 반도체 패키지 버제거부(300)에서 브러쉬 또는 에어 블로워 등에 의하여 제거될 수 있으나, 크기가 작은 버 등의 경우에는 스퍼터링 공정 후 남아있는 접착제 성분 등의 영향으로 반도체 패키지의 전극이 구비되는 하면 등에 잔류할 수 있으므로, 미세버가 제거되지 않은 상태에서 기판에 솔더링되면 완제품 불량 등의 원인이 될 수 있으므로 이런 미세한 크기의 버를 제거하는 작업이 수행되는 것이 바람직하다.
도 1에 도시된 바와 같이, 상기 미세버 제거부(600)는 언로딩 픽커(250)에 의하여 픽업된 반도체 패키지를 반도체 패키지 적재부(400)를 통해 반출하기 전에 미세버 제거부(600)에서 점착성 접착 테이프를 사용하여 미세버를 제거할 수 있다.
상기 미세버 제거부(600)의 상세한 구성 및 미세버 제거 과정은 도 2 이하를 참조하여 설명한다.
본 발명의 미세버 제거부는 접착성 테이프가 공급되는 공급롤러; 공급롤러로부터 공급되는 테이프의 접착면이 상부로 향하도록 미세버 부착 테이프로 안내하는 보조롤러 및 미세버 부착 테이블에서 사용된 접착성 테이프가 회수되는 회수롤러를 포함한다. 공급롤러, 보조롤러 및 회수롤러에 의해 접착성 테이프의 접착면이 상부를 향하도록 미세버 부착 테이블의 상부에 연속적으로 공급되도록 제공된다.
또한, 접착성 테이프가 기설정된 시간이나 미세버 제거 횟수에 따라 새로운 접착면이 미세버 부착 테이블의 상부에 위치되도록 공급롤러, 보조롤러, 회수롤러가 테이프의 공급 방향으로 회전되는 것이 바람직하다.
상기 언로딩 픽커(250)에 의하여 픽업되어 상기 미세버 제거부(600)에서 미세버가 제거된 반도체 패키지는 미세버 잔류 여부 또는 반도체 패키지의 불량 여부 등의 비전 검사가 수행된 후 반도체 패키지 적재부(400)를 통해 반출될 수 있다.
이를 위하여, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 미세버 제거부(600)에서 미세버가 제거된 반도체 패키지의 하면을 검사하기 위한 제3 비전유닛(vu3)과 미세버가 제거된 반도체 패키지의 측면 검사를 위한 제2 비전유닛(vu2)이 더 구비될 수 있다.
그리고, 언로딩 픽커에 의해 반도체 비전 검사가 수행된 반도체 패키지가 비전 검사 결과에 따라 반도체 패키지 트레이(tr)에 분류 적재되고, 상기 반도체 패키지 적재부(400)는 트레이 픽커(410)를 구비하여 만적된 반출용 트레이(tr)를 반출하고, 새로운 빈 반출용 트레이(tr)를 상기 언로딩 픽커(250)의 적재 위치로 공급할 수 있다.
또한, 비전유닛의 검사결과 반도체 패키지가 불량으로 판단된 경우 반출용 트레이가 아닌 별도의 반출함(430)에 수거될 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 반도체 패키지 처리장치(1)를 구성하는 반도체 미세버 제거부(600)에 대하여 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 패키지 처리장치의 미세버 제거부의 사시도를 도시하며, 도 3은 본 발명에 따른 반도체 패키지 처리장치의 미세버 제거부의 측면도를 도시하며, 도 4는 본 발명에 따른 반도체 패키지 처리장치의 미세버 제거부의 평면도를 도시한다.
도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 미세버 제거부(600)는 반도체 패키지(sp)의 범프(단자)가 구비된 하면이 테이프의 접착면과 접촉되어 미세버가 부착되어 제거될 수 있으며, 점착성의 접착성 테이프(tp)는 롤러 구동 방식에 의해 연속적으로 제공될 수 있도록 구비된다.
상기 점착성의 접착성 테이프(tp)는 일면에 접착성 물질이 구비되어 반도체칩의 하면에 부착 후 분리되는 과정에서 제거된 스퍼터링 버가 공기중에 부유하다가 반도체 패키지의 하면에 달라붙은 미세버를 테이프에 부착시켜 제거할 수 있다. 물론, 스퍼터링 버 이외에도 장비 내에 부유하는 이물질이 반도체 패키지의 범프면에 달라붙는 경우에도 마찬가지로 테이프에 부착시켜 제거될 수 있다.
이와 같은 접착성 테이프는 미세버 제거작업이 반복되면 그 접착성능이 저하되므로, 미세버 제거 횟수 또는 기설정된 시간이 지나면 새로운 접착면이 미세버 부착 테이블의 상부에 위치되도록 공급롤러, 보조롤러 및 회수롤러가 테이프의 공급방향으로 회전하여 새로운 접착성 테이프를 공급하고, 사용된 테이프를 회수할 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 미세버 제거부(600)는 접착성 테이프가 공급되는 공급롤러(r1)와 상기 공급롤러로부터 공급되는 테이프의 접착면이 상부를 향하도록 미세버 부착테이블로 안내하는 보조롤러와, 미세버 부착 테이블에서 사용된 접착성 테이프가 회수되는 회수롤러(r2)를 구비할 수 있다.
상기 공급롤러(r1)에서 공급되는 접착성 테이프(tp)는 복수 개의 롤러(620, 630, 640, 650, 680, 690)에 의하여 이송, 지지 및 방향 변경되어 미세버 제거작업이 수행되는 후술하는 미세버 부착 테이블(670) 상부로 테이프의 접착면이 상부를 향하도록 공급될 수 있다. 이때 각각의 롤러에는 접착성 테이프의 접착성능을 저하시키지 않도록 특수 코팅 처리가 될 수 있다.
그리고, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 공급롤러(r1)에는 권취된 접착성 테이프의 양을 감지하기 위한 감지센서(612) 및 센서 가이드(611)를 포함할 수 있다. 센서 가이드는 공급롤러 테이프에 받쳐져 지지되고 있으며, 테이프의 양에 따라 센서 가이드가 회동되어 감지센서에 검출됨으로써, 공급롤러(r1)에 권취된 접착성 테이프(tp)가 소진되었음을 판단할 수 있다.
즉, 상기 감지센서(612)는 상기 센서 가이드(611)가 접착성 테이프의 공급에 따라 공급롤러에 권취된 접착성 테이프(tp)의 외경이 감소함에 따라 회전하여 접촉하면 이를 감지하여 공급롤러(r1)에 권취되었던 접착성 테이프(tp)가 모두 소진되었음을 식별할 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 반도체 패키지 처리장치에 의하면, 미세버를 제거하기 위한 접착성 테이프를 롤러 구동방식으로 제공하여 접착성 테이프가 연속적으로 공급되어 미세버 제거작업의 연속성을 제공하여 반도체 패키지 처리작업의 효율성을 향상시킬 수 있고, 접착성 테이프(tp)의 공급 시기를 자동으로 판단할 수 있다.
상기 롤러 중 적어도 하나의 롤러를 구성하는 롤러부재(641)는 실린더 구동장치(646) 방식으로 지지력이 제공되는 가압 롤러(640) 형태로 제공될 수 있다.
복수 개의 롤러(620, 630, 640, 650, 680, 690) 중 하나의 롤러(650)는 접착성 테이프를 구동하기 위한 구동모터(660)와 연결된 벨트(662, 도 4 참조)에 의하여 구동될 수 있다.
상기 공급롤러(r1)는 미세버 제거작업에 사용되지 않은 오염되지 않은 접착성 테이프(tp)가 권취된 상태로 공급롤러(r1)와 회수롤러(r2), 보조롤러가 테이프 공급방향으로 회전함에 따라 접착성 테이프(tp)가 풀려 공급되며, 회수롤러(r2)는 미세버 제거작업에 사용된 오염된 접착성 테이프(tp)를 권취하여 회수할 수 있다.
그리고, 상기 언로딩 픽커(250)는 상기 반도체 패키지의 상면을 픽업하고 전극이 구비된 하면이 하방을 향하는 상태로 상기 미세버 제거부(600)로 이송되고, 상기 미세버 제거부(600)를 구성하는 상기 접착성 테이프(tp)의 접착면이 상방향을 향하도록 구동된다.
도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 상기 미세버 제거부(600)는 미세버 부착 테이블(670)이 구비될 수 있다. 상기 미세버 부착 테이블(670)은 언로딩 픽커(250)에 픽업된 반도체 패키지가 접착성 테이프(tp)에 부착되어 미세버 제거작업이 수행되는 구성이며, 상기 공급롤러(r1)에서 공급된 접착성 테이프(tp)는 상기 미세버 부착 테이블(670) 상부를 경유하여 상기 회수롤러(r2)로 회수될 수 있다.
따라서, 상기 미세버 제거부(600)를 구성하는 상기 접착성 테이프(tp)의 접착면이 상방향을 향하도록 배치된 상태에서 상기 언로딩 픽커(250)가 픽업된 반도채 패키지의 하면을 상기 접착성 테이프(tp)가 개재된 상태에서 미세버 부착 테이블(670) 방향으로 접촉시킨 후 분리시키면 반도체 패키지의 전극이 구비된 하면에 잔류하는 미세버가 효과적으로 제거될 수 있다.
그리고, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 미세버 제거부(600)를 구성하는 상기 미세버 부착 테이블(670)은 복수 개의 부착영역이 평행하게 구비될 수 있다.
구체적으로, 도 2 내지 도 4에 도시된 실시예에서, 상기 미세버 제거부(600)를 구성하는 상기 미세버 부착 테이블(670)은 접착성 테이프를 흡착 지지하는 제1 부착영역(676)과 제2부착영역(671)을 구비할 수 있다.
각각의 부착영역은 접착성 테이프를 진공 흡착하여 테이프를 팽팽하게 지지하되, 상기 접착성 테이프(tp)에 반도체 패키지의 하면이 접촉된 상태에서 효과적으로 미세버가 제거되도록 하기 위하여 서로 다른 보조수단을 구비한다.
예를 들어, 상기 제1 부착영역(676)은 미세버 부착테이블의 하부에 구비되는 이젝터핀이 미세버 부착 테이블 측으로 돌출되기 위한 복수개의 이젝터홀과 이젝터홀 주변에서 접착성 테이프를 흡착하기 위한 복수개의 진공홀이 형성된다. 즉, 접착성 테이프(tp)의 접착면인 상면에 부착되는 반도체 패키지의 하면 방향으로 돌출되는 복수 개의 이젝터(676e)를 구비할 수 있다.
보다 자세하게는, 반도체 패키지가 언로딩 픽커에 픽업된 상태에서 반도체 패키지의 하면이 부착테이블 상부에 구비되는 접착면과 접촉되도록 언로딩픽커의 픽업유닛이 하강된 상태에서 도 4에 도시된 제1 부착영역(676)은 그 길이방향으로 8개의 이젝터(676e)가 구비되어 반도체 패키지의 하면 방향으로 이젝터핀이 돌출되어 접착성 테이프(tp)를 개재한 상태로 언로딩픽커의 픽업유닛에 흡착된 반도체 패키지의 하면을 타격할 수 있다. 이로 인해 테이프의 접착면에 접착된 반도체 패키지를 접착면으로부터 잘 분리될 수 있도록 이젝팅을 도울 수 있다.
복수 개의 상기 이젝터(676e) 주변에는 이젝팅시 접착성 테이프의 전체적인 들뜸을 방지하기 한 석션홀(676s)이 구비될 수 있다.
도 4에 도시된 예에서, 8개의 이젝터(676e)의 이젝터핀이 동시에 돌출되도록 구성될 수도 있고, 픽커의 구조에 따라 8개보다 적은 개수, 예를 들면 4개씩 번갈아 이젝팅될 수도 있지만, 바람직하게는 제1부착영역의 상부에서 하강하는 언로딩픽커의 픽업유닛과 대응되는 위치에 구비된 이젝터핀이 상승하여 이젝터핀이 픽업유닛에 흡착된 반도체 패키지의 하면을 타격할 수 있도록 구비된다.
그리고, 도 4에 도시된 제2부착영역(671)은 접착성 테이프(tp)의 하면을 흡착할 수 있는 다공성 재질의 포러스 패드로 구성될 수 있다.
제2부착영역(671)은 진공이 인가되어 접착성 테이프를 흡착할 수 있는 다공성 재질로 구성되어, 접착성 테이프(tp)의 하면을 흡착하여 접착성 테이프(tp)가 상기 미세버 부착 테이블(670) 상에서 들뜨지 않도록 테이프를 지지하는 역할을 수행하여, 미세버 제거작업이 정밀하고 안정적으로 수행될 수 있도록 할 수 있다.
도 5는 본 발명에 따른 반도체 패키지 처리장치의 미세버 제거부(600)의 미세버 부착 테이블(670)의 제2부착영역(671)에서 미세버가 제거되는 과정을 도시한다.
구체적으로, 도 5(a)에 도시된 바와 같이, 상기 포러스 패드 상면에 접착성 테이프(tp)의 하면이 흡착되어 지지된 상태에서, 도 5(b)에 도시된 바와 같이, 미세버 제거대상 반도체 패키지(sp)가 픽업된 언로딩 픽커(250)를 하강시켜 반도체 패키지(sp)의 하면과 접착성 테이프(tp)의 접착면인 상면을 접촉시킨 후 다시 도 5(c)에 도시된 바와 같이 상기 언로딩 픽커(250)를 픽업하여 반도체 패키지(sp)의 하면과 버제거 테이프(tp)를 분리하면 반도체 패키지의 하면 등에 잔류하던 미세한 크기의 미세버(mb)가 제거될 수 있다.
즉, 도 5(a)의 확대도에 도시된 바와 같이, 반도체 패키지의 하면에는 전극, 예를 들면 볼전극 사이에 상기 반도체 패키지 버제거부(300) 등에서 브러쉬 또는 에어 블로워 등으로 버제거 작업 후에도 잔류하는 미세버(mb)가 도 5(c)에 도시된 바와 같이 접착성 테이프(tp)에 의하여 부착 제거된 상태가 됨을 확인할 수 있다.
그리고, 도 5(b)에 도시된 미세버 제거과정에서 상기 접착성 테이프(tp)는 정지된 상태에서, 상기 언로딩 픽커(250)를 수직방향으로 하강시켜 미세버를 버제거 테이프(tp)에 부착시켜 제거할 수 있다.
반도체 패키지의 하면과 버제거 테이프(tp)를 부착시키는 과정은 어느 정도의 압력이 가해져야 미세버 제거를 위한 부착상태가 완성된다.
그러나, 접착성 테이프(tp)가 정지된 상태에서 언로딩 픽커(250)의 승강 구동에 의하여 반도체 패키지의 하면과 접착성 테이프(tp)의 접착면을 부착시키는 과정은 수직방향 압력만 가해지므로, 반도체 패키지 하면에 잔류하는 미세버에 가해지는 압력의 방향을 다각화하여 미세버 제거 성능을 향상시키기 위하여 다음과 같이 버제거 작업을 수행할 수도 있다.
구체적으로, 상기 포러스 패드가 구비되는 제2부착영역(671)에 반도체 패키지가 접착성 테이프(tp)에 부착된 상태에서 상기 접착성 테이프(tp)를 상기 버제거 테이프(tp)의 공급방향으로 미세 구동되도록 공급롤러, 보조롤러, 회수롤러를 테이프의 공급방향으로 회전시켜, 상기 반도체 패키지의 하면과 버제거 테이프(tp)의 접착면 사이에 수직방향 이외의 방향으로 압력이 가해지도록 할 수 있다.
또한, 상기 포러스 패드가 구비되는 제2부착영역(671)에 반도체 패키지가 접착성 테이프(tp)에 부착된 상태에서 접착성 테이프(tp)를 구동하지 않고, 상기 언로딩 픽커(250)에 픽업된 반도체 패키지의 하면과 버제거 테이프가 접착된 상태에서 언로딩 픽커를 X축 방향으로 미세 구동시켜 상기 반도체 패키지의 하면과 버제거 테이프(tp)의 접착면 사이에 수직방향 이외의 방향의 압력이 가해지도록 구성하는 방법도 가능하다.
이와 같은 방법으로, 반도체 패키지 하면에 잔류하는 미세버를 수평방향으로도 부착력이 인가되도록 하여 미세버 제거효율을 더욱 향상시킬 수 있다.
앞서 본 발명의 반도체 패키지 처리장치에 대해 설명하였으나, 본 발명의 반도체 패키지 처리방법은 다음과 같이 수행될 수 있다.
먼저, 반도체 패키지의 하면이 프레임에 부착된 상태로 반도체 패키지의 상면과 측면에 스퍼터링 공정이 수행된 반도체 패키지를 공급한다. 그후 프레임으로부터 반도체 패키지를 분리하며, 분리된 반도체 패키지를 디테칭 픽커(230)로 픽업하여 제1시트블럭(511)에 적재한다. 제1시트블럭에 적재된 반도체 패키지를 클리닝 픽커(370)로 픽업하여 스퍼터링 버제거부(300)의 상단에서 반도체패키지와 접촉하면서 스퍼터링 버를 제거한다. 클리닝 픽커에 의해 스퍼터링 버가 제거된 반도체 패키지를 제2시트블럭(531)에 적재하고, 제2시트블럭에 적재된 반도체 패키지를 언로딩 픽커(250)로 픽업하여 접착성 테이프가 제공되는 미세버 제거부(600)로 이동한다. 반도체 패키지가 언로딩 픽커에 픽업된 상태에서 반도체 패키지의 하면과 테이프의 접착면이 접착되도록, 언로딩 픽커의 픽업유닛이 하강하여 미세버를 제거한다. 미세버가 제거된 반도체 패키지의 하면 및 측면을 비전 검사하고, 비전 검사 결과에 따라 언로딩 픽커에 픽업된 반도체 패키지를 트레이에 적재한다.
이때 미세버를 제거하는 단계는 제1부착영역(676) 또는 제2부착영역(671)에 따라 2가지 방법으로 미세버를 제거할 수 있다.
제1부착영역에서는 언로딩 픽커에 반도체 패키지가 픽업된 상태에서 언로딩픽커의 픽업유닛이 미세버 제거부로 하강하여 상기 반도체 패키지가 미세버 제거부 상의 테이프 접착면에 접착되고, 언로딩 픽커의 픽업유닛을 상승시킬 때 미세버 제거부의 하부에 구비된 이젝터핀이 상승하면서 반도체 패키지의 하면을 타격하여 테이프로부터 반도체 패키지가 분리되면서 미세버를 제거할 수 있다.
또한 제 2부착영역에서는 언로딩 픽커에 반도체 패키지가 픽업된 상태에서 언로딩 픽커의 픽업유닛이 미세버 제거부로 하강하여 미세버 제거부 상의 테이프 접착면에 접착되고, 픽업유닛이 상승하면서 테이프로부터 반도체 패키지가 분리되면서 미세버를 제거할 수 있다.
미세버 제거시에는 미세버 제거부에서 언로딩 픽커에 픽업된 반도체 패키지의 하면과 테이프가 접착된 상태에서 접착성 테이프를 공급방향으로 미세 구동시켜 반도체 패키지의 하면과 접착성 테이프의 접착면 사이에 수직방향 이외의 방향으로 압력이 가해지도록 함으로써 버제거 효율을 향상시킬 수 있다.
이때 테이프 접착면 사이에 수직방향 이외의 압력이 가해질 수 있도록, 테이프를 공급방향으로 미세 구동시킬 수도 있으나, 언로딩픽커에 픽업된 반도체 패키지의 하면과 테이프가 접착된 상태에서 언로딩 픽커를 X축 방향으로 미세 구동시킬 수도 있다.
본 발명은 미세버를 테이프에 접착시켜서 제거하는 것이 중요하기 때문에 테이프의 접착력이 버제거에 큰 영향을 미친다. 특히 미세버 제거 작업을 어러 번 수행하는 경우 테이프의 접착력이 약해질 수 있으므로, 기설정된 미세버 제거 횟수에 도달하거나, 또는 기설정된 시간 간격마다 새로운 접착면이 부착영역에 위치할 수 있도록 접착성 테이프를 미세버 부착테이블의 상부에 위치하도록 공급롤러, 회수롤러, 보조롤러를 테이프의 공급방향으로 회전시켜 새로운 테이프의 접착면을 사용할 수 있도록 연속적으로 공급할 수 있다.
본 명세서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 당업자는 이하에서 서술하는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경 실시할 수 있을 것이다. 그러므로 변형된 실시가 기본적으로 본 발명의 특허청구범위의 구성요소를 포함한다면 모두 본 발명의 기술적 범주에 포함된다고 보아야 한다.
1 : 반도체 패키지 처리장치
100: 반도체 패키지 공급회수부
200: 반도체 패키지 분리부:
300 : 반도체 패키지 버 제거부
400: 반도체 패키지 적재부
600 : 미세버 제거부

Claims (10)

  1. 복수 개의 개별 반도체 패키지의 하면이 프레임에 부착된 상태로 상기 반도체 패키지의 상면과 측면에 스퍼터링 공정이 수행된 반도체 패키지를 프레임으로부터 분리하기 위해 상기 반도체 패키지가 부착된 프레임을 반도체 패키지 분리부로 공급하고, 상기 반도체 패키지가 분리된 빈 프레임을 회수하는 프레임 공급회수부;
    상기 반도체 패키지 분리부에서 상기 프레임으로부터 분리된 반도체 패키지를 픽업하고, X축 방향 및 Y축 방항으로 이송 가능하게 구비되는 디테칭 픽커;
    상기 디테칭 픽커에 의해 픽업된 반도체 패키지가 적재되며, Y축 방향으로 이송 가능하게 구비되는 제1시트블럭;
    상기 제1시트블럭에 적재된 반도체 패키지를 픽업하여 X축 방향으로 이송 가능하게 구비되는 클리닝 픽커;
    상기 클리닝 픽커에 픽업된 상태에서 반도체 패키지의 스퍼터링 버를 제거하기 위하여 상기 반도체 패키지와 접촉하면서 버를 제거하는 복수개의 버제거유닛을 구비하는 반도체 패키지 버 제거부;
    상기 클리닝 픽커에 픽업된, 스퍼터링 버가 제거된 반도체 패키지가 적재되며, Y축 방향으로 이송 가능하게 구비되는 제2시트블럭;
    상기 제2시트블럭에 적재된 반도체 패키지를 픽업하고, X축 방향 및 Y축 방항으로 이송 가능하게 구비되는 언로딩 픽커;
    상기 언로딩 픽커에 픽업된 상기 반도체 패키지의 하면을 접착성 테이프의 접착면과 접착시켜 상기 반도체 패키지에 잔류하는 미세버를 제거하는 미세버 제거부;
    상기 언로딩 픽커에 픽업된 상태에서 미세버가 제거된 반도체 패키지의 하면 및 측면을 검사하는 비전 검사부; 및
    상기 비전 검사부의 검사 결과에 따라 상기 언로딩 픽커에 픽업된 반도체 패키지가 반도체 패키지 반출용 트레이에 적재되는 반도체 패키지 적재부;를 포함하는 반도체 패키지 처리장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 미세버 제거부는
    접착성 테이프가 공급되는 공급롤러;
    상기 공급롤러로부터 공급되는 상기 접착성 테이프의 접착면이 상부를 향하도록 미세버 부착 테이블로 안내하는 보조롤러; 및
    상기 미세버 부착 테이블에서 사용된 상기 접착성 테이프가 회수되는 회수롤러를 포함하고,
    상기 공급롤러, 보조롤러 및 회수롤러에 의하여 상기 접착성 테이프는 상기 미세버 부착 테이블의 상부에 연속적으로 공급되도록 제공되며,
    상기 접착성 테이프가 기설정된 시간 또는 미세버 제거 횟수에 따라 새로운 접착면이 상기 미세버 부착 테이블의 상부에 위치되도록 상기 공급롤러, 보조롤러 및 회수롤러가 상기 접착성 테이프의 공급 방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 처리 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 미세버 제거부는 상기 언로딩 픽커에 픽업된 반도체 패키지의 하면과 상기 접착성 테이프가 접착된 상태에서 상기 접착성 테이프가 공급방향으로 미세 구동되도록 상기 공급롤러, 보조롤러 및 회수롤러가 상기 접착성 테이프의 공급 방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 처리장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 미세버 부착 테이블은 상기 접착성 테이프를 흡착 지지하는 제1부착영역과 제2부착영역을 포함하며,
    상기 제1부착영역은 상기 미세버 부착 테이블의 하부에 구비되는 이젝터핀이 상기 미세버 부착 테이블 측으로 돌출되기 위한 복수개의 이젝터홀과 상기 이젝터홀 주변에서 상기 접착성 테이프를 흡착하기 위한 복수개의 진공홀이 형성되고,
    상기 제2부착영역은 진공이 인가되어 상기 접착성 테이프를 흡착할 수 있도록 다공성 재질로 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 처리장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 반도체 패키지가 상기 언로딩 픽커에 픽업된 상태에서, 상기 반도체 패키지의 하면이 상기 미세버 부착 테이블 상부에 구비되는 접착성 테이프의 접착면과 접촉되도록 상기 언로딩 픽커의 픽업유닛이 하강하고,
    상기 이젝터핀은 상기 이젝터홀과 동일한 개수로 구비되되,
    상기 제1부착영역의 상부에서 상기 하강하는 언로딩 픽커의 픽업유닛과 대응되는 위치에 구비된 이젝터핀이 상승하여 상기 이젝터핀이 상기 픽업유닛에 흡착된 반도체 패키지의 하면을 타격하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 처리장치.
  6. 반도체 패키지의 하면이 프레임에 부착된 상태로 상기 반도체 패키지의 상면과 측면에 스퍼터링 공정이 수행된 반도체 패키지가 부착된 프레임을 공급하는 단계;
    상기 프레임으로부터 상기 반도체 패키지를 분리하는 단계;
    상기 분리된 반도체 패키지를 디테칭 픽커로 픽업하여 제1시트블럭에 적재하는 단계;
    제1시트블럭에 적재된 반도체 패키지를 클리닝 픽커로 픽업하여 스퍼터링 버제거부의 상단에서 상기 반도체 패키지와 접촉하면서 스퍼터링 버를 제거하는 단계;
    상기 클리닝 픽커에 의해 상기 스퍼터링 버가 제거된 반도체 패키지를 제2시트블럭에 적재하는 단계;
    상기 제2시트블럭에 적재된 반도체 패키지를 언로딩 픽커로 픽업하여 접착성 테이프가 제공되는 미세버 제거부로 이동하는 단계;
    상기 반도체 패키지가 상기 언로딩 픽커에 픽업된 상태에서, 상기 반도체 패키지의 하면과 상기 접착성 테이프의 접착면이 접착되도록 상기 언로딩 픽커의 픽업유닛이 하강하여 미세버를 제거하는 단계;
    상기 미세버가 제거된 반도체 패키지의 하면 및 측면을 비전 검사하는 단계; 및
    상기 비전 검사 결과에 따라 상기 언로딩 픽커에 픽업된 상기 반도체 패키지를 트레이에 적재하는 단계를 포함하는 반도체 패키지 처리방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 미세버를 제거하는 단계는,
    상기 언로딩 픽커에 상기 반도체 패키지가 픽업된 상태에서 상기 언로딩 픽커의 픽업유닛이 상기 미세버 제거부로 하강하여 상기 미세버 제거부 상의 상기 접착성 테이프의 접착면에 접착되고, 상기 픽업유닛이 상승하면서 상기 접착성 테이프로부터 상기 반도체 패키지가 분리되면서 미세버를 제거하거나,
    상기 언로딩 픽커에 상기 반도체 패키지가 픽업된 상태에서 상기 언로딩 픽커의 픽업유닛이 상기 미세버 제거부로 하강하여 상기 미세버 제거부 상의 상기 접착성 테이프의 접착면에 접착되고, 상기 언로딩 픽커의 픽업유닛을 상승시킬 때 상기 미세버 제거부의 하부에 구비된 이젝터핀이 상승하면서 상기 반도체 패키지의 하면을 타격하여 상기 접착성 테이프로부터 상기 반도체 패키지가 분리되면서 미세버를 제거하는 것을 선택적으로 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 처리방법.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 미세버를 제거하는 단계는, 상기 미세버 제거부에서 상기 언로딩 픽커에 픽업된 상기 반도체 패키지의 하면과 상기 접착성 테이프가 접착된 상태에서 상기 접착성 테이프의 공급 방향으로 미세 구동시켜, 상기 반도체 패키지의 하면과 상기 접착성 테이프의 접착면 사이에 수직방향 이외의 방향으로 압력이 가해지도록 하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 처리방법.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 미세버를 제거하는 단계는, 상기 미세버 제거부에서 상기 언로딩 픽커에 픽업된 상기 반도체 패키지의 하면과 상기 접착성 테이프가 접착된 상태에서 상기 언로딩 픽커를 X축 방향으로 미세 구동시켜 상기 반도체 패키지의 하면과 상기 접착성 테이프의 접착면 사이에 수직방향 이외의 방향이 압력이 가해지도록 하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 처리방법.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 미세버를 제거하는 단계에서 상기 접착성 테이프가 기설정된 시간 또는 미세버 제거 횟수에 도달하면, 새로운 접착면이 상기 미세버 제거부의 상부에 위치되도록 상기 접착성 테이프를 상기 미세버 제거부의 상부에 연속 공급하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 처리방법.
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