KR102212778B1 - 마스크 검사장치 - Google Patents

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KR102212778B1
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Abstract

본 발명에 따른 마스크 검사장치는, 마스크 본체가 놓일 수 있는 장착부를 갖는 테이블; 및 마스크 본체의 좌우 양측에 부착된 밴드에 텐션력을 가하여 밴드의 부착 상태를 검사하기 위한 밴드 검사유닛;을 포함하고, 상기 밴드 검사유닛은, 마스크 본체의 일측에 부착된 밴드를 마스크 본체로부터 멀어지는 방향으로 당겨 밴드에 텐션력을 가하기 위해 상기 장착부에서 멀어지거나 상기 장착부에 가까워지는 방향으로 이동할 수 있도록 상기 테이블에 설치되는 제1 가동바와, 마스크 본체의 다른 일측에 부착된 밴드를 마스크 본체로부터 멀어지는 방향으로 당겨 밴드에 텐션력을 가하기 위해 상기 장착부에서 멀어지거나 상기 장착부에 가까워지는 방향으로 이동할 수 있도록 상기 테이블에 설치되는 제2 가동바와, 상기 제1 가동바 및 상기 제2 가동바에 각각 이동력을 제공하는 구동부를 구비한다.

Description

마스크 검사장치{INSPECTION APPARATUS FOR MASK}
본 발명은 마스크 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 마스크 본체의 양측으로 밴드가 부착된 마스크에 대한 밴드 부착 상태를 검사할 수 있는 마스크 검사장치에 관한 것이다.
마스크는 병균이나 먼지 등의 흡입 및 비산을 막기 위하여 코와 입을 가리는데 사용된다. 특히, 마스크는 외부로부터의 먼지를 포함하는 미세 이물질이 입과 코를 통해 신체의 내부로 유입되는 것을 방지하여 호흡기 질병을 예방하기 위한 목적으로 대중적으로 사용되고 있다.
최근, 미세먼지의 증가 등으로 인한 호흡기 질환 환자가 증가하고, 각종 바이러스성 질환이 빈번하게 유행함에 따라 마스크의 수요도 급격하게 증가하고 있는 추세이다.
마스크는 거즈 또는 부직포 등의 섬유재질로 된 시트 형태의 마스크 본체를 만들고, 마스크 본체의 양측에 각각 밴드를 부착하여 코와 입과 턱 주변을 감싸는 형태로 제작된다.
마스크는 자동화된 마스크 제조설비를 통해 제조된다. 일반적으로, 마스크 제조설비는 마스크 본체를 만들기 위한 마스크 원단을 공급하는 원단 공급장치와, 마스크 원단을 합지 및 성형하여 마스크 본체를 만드는 마스크 성형장치와, 마스크 본체에 밴드를 부착하는 밴드 부착장치를 포함한다.
마스크의 자동화 생산에 있어서 마스크 본체에 밴드를 부착하여 마스크를 제조한 후, 마스크를 포장하기 전에 마스크의 불량 여부를 검사하는 검사 과정이 필요하다. 즉, 제조된 마스크는 포장 전에 밴드 부착 상태에 대한 검사 과정을 거치게 된다. 밴드 부착 상태 검사에서는 밴드가 마스크 본체에 견고하게 부착되어 있는지 여부를 확인하게 된다. 검사 과정에서 양품과 불량품이 선별되며, 불량품은 폐기된다.
현재, 다양한 장치를 이용하여 마스크 검사가 수행되고 있기는 하지만, 마스크 검사의 정밀도 및 효율성이 떨어지고 검사 시간이 많이 소요되는 문제점이 있어, 이를 개선할 수 있는 검사장치의 필요성이 증대되고 있다.
공개특허공보 제2018-0117338호 (2018. 10. 29.)
본 발명은 상술한 바와 같은 점을 감안하여 안출된 것으로서, 마스크 검사의 정밀도 및 효율성을 높이고, 마스크 검사 시간을 단축할 수 있는 마스크 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 목적은 상술한 것에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 목적들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 마스크 검사장치는, 마스크 본체가 놓일 수 있는 장착부를 갖는 테이블; 및 마스크 본체의 좌우 양측에 부착된 밴드에 텐션력을 가하여 밴드의 부착 상태를 검사하기 위한 밴드 검사유닛;을 포함하고, 상기 밴드 검사유닛은, 마스크 본체의 일측에 부착된 밴드를 마스크 본체로부터 멀어지는 방향으로 당겨 밴드에 텐션력을 가하기 위해 상기 장착부에서 멀어지거나 상기 장착부에 가까워지는 방향으로 이동할 수 있도록 상기 테이블에 설치되는 제1 가동바와, 마스크 본체의 다른 일측에 부착된 밴드를 마스크 본체로부터 멀어지는 방향으로 당겨 밴드에 텐션력을 가하기 위해 상기 장착부에서 멀어지거나 상기 장착부에 가까워지는 방향으로 이동할 수 있도록 상기 테이블에 설치되는 제2 가동바와, 상기 제1 가동바 및 상기 제2 가동바에 각각 이동력을 제공하는 구동부를 구비한다.
상기 밴드 검사유닛은, 상기 제1 가동바와 상기 제2 가동바 중 적어도 어느 하나의 움직임을 감지하여 감지 신호를 발생할 수 있도록 상기 테이블에 설치되는 센서를 포함할 수 있다.
상기 구동부는 상기 제1 가동바 및 상기 제2 가동바에 각각 사전 설정된 이동 거리만큼 이동할 수 있는 이동력을 제공하되, 상기 제1 가동바는 밴드가 걸린 상태에서 밴드에 의해 구속되어 그 이동 거리가 사전 설정된 검사 거리 이하로 제한되고, 상기 제2 가동바는 밴드가 걸린 상태에서 밴드에 의해 구속되어 그 이동 거리가 상기 검사 거리 이하로 제한되며, 상기 센서는 상기 제1 가동바 또는 상기 제2 가동바가 밴드를 마스크 본체에서 이탈시켜 밴드의 구속력을 풀고 상기 검사 거리를 벗어날 때 감지 신호를 발생할 수 있다.
상기 센서는 상기 검사 거리를 벗어나도록 이동한 상기 제1 가동바 또는 상기 제2 가동바가 접촉할 수 있는 위치에 설치될 수 있다.
본 발명에 따른 마스크 검사장치는, 마스크 본체의 가장자리에 접하여 상기 장착부 상에서 마스크 본체의 이동을 제한하기 위해 상기 장착부로부터 돌출되도록 설치되는 복수의 고정부재;를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 마스크 검사장치는, 양품으로 판별된 마스크가 놓일 수 있는 양품 배출부; 불량품으로 판별된 마스크를 수거하기 위한 불량품 수거부; 및 검사가 완료된 마스크를 상기 장착부에서 상기 양품 배출부 또는 상기 불량품 수거부로 운반하는 마스크 이송유닛;을 더 포함할 수 있다.
상기 테이블에는 상기 제1 가동바 및 상기 제2 가동바가 삽입되는 복수의 테이블홈이 구비되되, 상기 제1 가동바 및 상기 제2 가동바는 각각의 끝단이 상기 테이블의 상면으로부터 돌출되고, 상기 구동부는 상기 테이블의 상면보다 낮게 설치될 수 있다.
본 발명에 따른 마스크 검사장치는, 상기 테이블을 일정 각도씩 간헐 회전시키는 회전 구동기;를 더 포함하고, 상기 장착부 및 상기 밴드 검사유닛은 각각 복수 개가 상기 테이블 상에 일정한 각도 간격으로 이격 배치될 수 있다.
상기 테이블의 회전 경로 중에는 상기 밴드 검사유닛이 정지하는 복수의 작업 존이 배치되되, 상기 복수의 작업 존은 마스크가 상기 장착부에 로딩되는 로딩 존과, 검사가 완료된 마스크가 상기 장착부에서 분리되는 언로딩 존을 포함하며, 상기 밴드 검사유닛은 상기 복수의 작업 존 중에서 상기 로딩 존 및 상기 언로딩 존 이외의 다른 작업 존에서 작동하도록 제어될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명에 따른 마스크 검사장치는 마스크를 테이블 위에 올려놓고 마스크의 밴드를 마스크 본체로부터 멀어지는 방향으로 당겨 밴드에 텐션력을 가함으로써 마스크에 대한 밴드 부착 상태 검사를 자동으로 수행할 수 있다.
따라서 마스크 검사의 정밀도 및 효율성을 높이고, 마스크 검사 시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 효과는 상술한 것에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 마스크 검사장치를 나타낸 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 마스크 검사장치의 일부 구성을 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 마스크 검사장치의 일부 구성을 나타낸 측면도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 마스크 검사장치의 일부 구성을 나타낸 평면도이다.
도 5 내지 도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 마스크 검사장치에 구비되는 밴드 검사유닛의 작용을 설명하기 위한 것이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 마스크 검사장치의 작용을 설명하기 위한 것이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 검사장치를 나타낸 평면도이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 검사장치의 일부 구성을 나타낸 평면도이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 검사장치의 일부 구성을 나타낸 측면도이다.
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 검사장치의 작용을 설명하기 위한 것이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 설명함에 있어서, 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의를 위해 과장되거나 단순화되어 나타날 수 있다.
또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들은 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위하여 본 발명의 기술적 사상과 관계없는 부분의 설명은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함하는 것을 의미할 수 있다.
도면에 나타낸 것과 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 마스크 검사장치(100)는 테이블(110)과, 마스크(10)의 밴드 부착 상태를 검사하기 위해 테이블(110) 위에 설치되는 복수의 밴드 검사유닛(130)과, 검사 대상 마스크(10)를 공급하기 위한 마스크 공급부(150)와, 양품 마스크를 배출하기 위한 양품 배출부(155)와, 불량 마스크를 수거하기 위한 불량품 수거부(160)와, 마스크(10)를 운반하기 위한 마스크 이송유닛(165)과, 마스크 검사장치(100)의 전반적인 동작을 제어하는 제어부(170)를 포함한다.
본 발명의 일실시예에 따른 마스크 검사장치(100)는 마스크 본체(11)의 양측에 밴드(12)가 부착된 마스크(10)에 대한 밴드 부착 상태 검사를 수행하게 된다. 밴드 부착 상태 검사에서는 밴드 검사유닛(130)으로 밴드(12)가 마스크 본체(11)에 안정적으로 부착되어 있는지 여부를 확인하게 된다.
테이블(110)은 복수의 밴드 검사유닛(130)을 지지한다. 테이블(110)에는 복수의 테이블홈(111)과 복수의 장착부(113)가 마련된다. 테이블홈(111)은 복수의 장착부(113) 각각의 좌우 양측에 하나씩 배치된다. 복수의 장착부(113)는 테이블(110) 위에 일정한 간격으로 이격 배치된다. 장착부(113)는 하나의 마스크 본체(11)를 떠받칠 수 있는 넓이로 이루어질 수 있다. 각각의 테이블홈(111)에는 밴드 검사유닛(130)의 제1 가동바(132) 또는 제2 가동바(136)가 삽입된다. 각 테이블홈(111)의 안쪽에는 가이드부(112)가 구비된다. 가이드부(112)는 제1 가동바(132) 또는 제2 가동바(136)를 선형 이동하도록 가이드한다.
장착부(113)의 둘레로는 복수의 고정부재(120)가 배치된다. 고정부재(120)는 장착부(113)로부터 돌출되도록 테이블(110)에 설치된다. 복수의 고정부재(120)는 장착부(113)에 놓이는 마스크 본체(11)의 가장자리에 접함으로써 장착부(113) 상에서 마스크 본체(11)의 이동을 제한하고, 마스크 본체(11)를 장착부(113)에 안정적으로 위치시킨다.
고정부재(120)의 구체적인 형상이나, 개수, 배치 구조 등은 도시된 것으로 한정되지 않고 다양하게 변경될 수 있다.
복수의 밴드 검사유닛(130)은 복수의 장착부(113)에 대응하도록 테이블(110)에 설치된다. 밴드 검사유닛(130)은 마스크 본체(11)의 일측에 부착된 밴드(12)에 텐션력을 가하기 위한 제1 푸셔(131)와, 마스크 본체(11)의 다른 일측에 부착된 밴드(12)에 텐션력을 가하기 위한 제2 푸셔(135)와, 제1 푸셔(131) 및 제2 푸셔(135)에 이동력을 제공하기 위한 구동부(139)와, 제1 푸셔(131) 및 제2 푸셔(135)에 대응하여 장착부(113)로부터 각각 일정 거리 이격되어 설치되는 한 쌍의 센서(143)(144)를 포함한다. 도면을 기준으로 하나의 센서(143)는 장착부(113)로부터 우측 방향으로 일정 거리 이격되어 배치되고, 다른 하나의 센서(144)는 장착부(113)로부터 좌측 방향으로 일정 거리 이격되어 배치된다.
제1 푸셔(131)는 마스크 본체(11)의 일측에 부착된 밴드(12)에 접할 수 있도록 테이블(110)에 이동 가능하게 설치되는 제1 가동바(132)와, 제1 가동바(132)와 구동부(139)를 연결하는 제1 연결부(133)를 포함한다.
제1 가동바(132)는 도 3을 기준으로 장착부(113)의 우측에 마련되는 테이블홈(111) 속에 삽입되어 테이블홈(111)을 따라 선형 이동할 수 있다. 즉, 제1 가동바(132)는 테이블홈(111)을 따라 선형 이동함으로써 장착부(113)에서 멀어지거나 장착부(113)에 가까워질 수 있다. 제1 가동바(132)에 밴드(12)가 걸린 상태에서 제1 가동바(132)가 장착부(113)에서 멀어지는 방향으로 이동하면 밴드(12)가 마스크 본체(11)로부터 멀어지는 방향으로 당겨지게 된다. 이때, 탄성력을 갖는 밴드(12)가 늘어나면서 밴드(12)에 텐션력이 가해진다.
제1 가동바(132)는 부분적으로 테이블홈(111)에 삽입되어 테이블(110)을 두께 방향으로 관통한다. 제1 가동바(132)는 테이블(110)의 상면으로부터 고정부재(120)보다 높게 돌출된다. 제1 가동바(132)는 테이블홈(111) 속에 구비되는 가이드부(112)에 의해 선형 이동하도록 지지된다. 제1 가동바(132)는 밴드(12)에 접촉 시 밴드(12)를 손상시키지 않도록 밴드(12)와 접하는 부분이 곡면으로 이루어지는 것이 좋다. 도면에는 제1 가동바(132) 중 테이블(110)의 상면으로부터 돌출되는 부분이 원기둥 형상으로 이루어진 것으로 나타냈으나, 제1 가동바(132)의 형상은 다양하게 변경될 수 있다.
제1 연결부(133)는 제1 가동바(132)와 구동부(139)를 연결하여 구동부(139)의 이동력을 제1 가동바(132)에 전달한다. 제1 연결부(133)는 도시된 구조 이외에 구동부(139)와 제1 가동바(132)를 연결하는 다양한 다른 구조로 이루어질 수 있다.
제2 푸셔(135)는 마스크 본체(11)의 다른 일측에 부착된 밴드(12)에 접할 수 있도록 테이블(110)에 이동 가능하게 설치되는 제2 가동바(136)와, 제2 가동바(136)와 구동부(139)를 연결하는 제2 연결부(137)를 포함한다.
제2 가동바(136)는 도 3을 기준으로 장착부(113)의 좌측에 마련되는 테이블홈(111) 속에 삽입되어 테이블홈(111)을 따라 선형 이동할 수 있다. 즉, 제2 가동바(136)는 테이블홈(111)을 따라 선형 이동함으로써 장착부(113)에서 멀어지거나 장착부(113)에 가까워질 수 있다. 제2 가동바(136)에 밴드(12)가 걸린 상태에서 제2 가동바(136)가 장착부(113)에서 멀어지는 방향으로 이동하면 밴드(12)가 마스크 본체(11)로부터 멀어지는 방향으로 당겨지게 된다. 이때, 탄성력을 갖는 밴드(12)가 늘어나면서 밴드(12)에 텐션력이 가해진다.
제2 가동바(136)는 부분적으로 테이블홈(111)에 삽입되어 테이블(110)을 두께 방향으로 관통한다. 제2 가동바(136)는 제1 가동바(132)와 마찬가지로 테이블(110)의 상면으로부터 고정부재(120)보다 높게 돌출된다. 제2 가동바(136)는 테이블홈(111) 속에 구비되는 가이드부(112)에 의해 선형 이동하도록 지지된다. 제2 가동바(136)는 제1 가동바(132)와 같은 구조로 이루어질 수 있으며, 그 형상은 다양하게 변경될 수 있다.
제2 연결부(137)는 제2 가동바(136)와 구동부(139)를 연결하여 구동부(139)의 이동력을 제2 가동바(136)에 전달한다. 제2 연결부(137)는 도시된 구조 이외에 구동부(139)와 제2 가동바(136)를 연결하는 다양한 다른 구조로 이루어질 수 있다.
구동부(139)는 제1 푸셔(131) 및 제2 푸셔(135)에 동일한 이동력을 제공할 수 있도록 테이블(110)에 설치된다. 구동부(139)는 테이블(110) 위에 놓이는 마스크(10)와 간섭되지 않도록 테이블(110)의 상면보다 낮게 배치되는 것이 좋다. 구동부(139)는 제1 푸셔(131)에 이동력을 제공하기 위한 제1 액츄에이터(140)와, 제2 푸셔(135)에 이동력을 제공하기 위한 제2 액츄에이터(141)를 포함한다. 제1 액츄에이터(140)는 제1 연결부(133)와 연결되고, 제2 액츄에이터(141)는 제2 연결부(137)와 연결된다.
제1 액츄에이터(140)는 제1 가동바(132)에 이동력을 제공하여 제1 가동바(132)를 장착부(113)에 인접한 초기 위치에서 장착부(113)로부터 일정 거리 이격된 위치까지 이동시킬 수 있다. 제1 액츄에이터(140)가 제1 가동바(132)를 장착부(113)로부터 멀어지는 방향으로 가압할 때 제1 가동바(132)는 사전 설정된 이동 거리만큼 이동할 수 있다. 여기에서, 사전 설정된 이동 거리는 제1 가동바(132)가 장착부(113)에 인접한 초기 위치에서 하나의 센서(143)에 접촉하는 위치까지로 설정될 수 있다. 즉, 제1 가동바(132)는 다른 외력이 없는 경우 제1 액츄에이터(140)에 의해 센서(143)에 접촉하는 위치까지 이동할 수 있다.
제2 액츄에이터(141)는 제1 액츄에이터(140)가 제1 가동바(132)를 이동시키는 이동력과 같은 이동력을 제2 가동바(136)에 제공한다. 즉, 제2 액츄에이터(141)는 제2 가동바(136)에 이동력을 제공하여 제2 가동바(136)를 장착부(113)에 인접한 초기 위치에서 장착부(113)로부터 일정 거리 이격된 위치까지 이동시킬 수 있다. 제2 액츄에이터(141)가 제2 가동바(136)를 장착부(113)로부터 멀어지는 방향으로 가압할 때 제2 가동바(136)는 사전 설정된 이동 거리만큼 이동할 수 있다. 여기에서, 사전 설정된 이동 거리는 제2 가동바(136)가 장착부(113)에 인접한 초기 위치에서 다른 하나의 센서(144)에 접촉하는 위치까지로 설정될 수 있다. 즉, 제2 가동바(136)는 다른 외력이 없는 경우 제2 액츄에이터(141)에 의해 센서(144)에 접촉하는 위치까지 이동할 수 있다.
제1 액츄에이터(140)나 제2 액츄에이터(141)는 제1 가동바(132) 및 제2 가동바(136)를 각각 사전 설정된 이동 거리만큼 이동시키는 이동력을 제공할 수 있는 다양한 구조를 취할 수 있다. 또한, 구동부(139)는 제1 액츄에이터(140)와 제2 액츄에이터(141)를 포함하는 구조 이외에, 제1 가동바(132) 및 제2 가동바(136)를 탄력적으로 가압하는 구조 등 이동력을 제공할 수 있는 다양한 다른 구조로 변경될 수 있다.
한 쌍의 센서(143)(144)는 장착부(113)의 좌우 양측으로부터 각각 동일한 거리만큼 이격되어 제1 가동바(132) 및 제2 가동바(136)가 각각 접촉할 수 있는 위치에 설치된다. 제1 가동바(132)는 다른 외력이 가해지지 않는 경우 구동부(139)의 이동력에 의해 하나의 센서(143)에 접촉하는 위치까지 이동할 수 있다. 제2 가동바(136) 역시 다른 외력이 가해지지 않는 경우 구동부(139)의 이동력에 의해 제1 가동바(132)의 이동 거리와 같은 이동 거리만큼 이동하여 다른 하나의 센서(144)에 접촉할 수 있다.
그런데 제1 가동바(132) 및 제2 가동바(136)에 각각 밴드(12)가 걸린 상태에서 제1 가동바(132) 및 제2 가동바(136)에 이동력이 제공되는 경우, 제1 가동바(132) 및 제2 가동바(136)는 밴드(12)에 의해 그 움직임이 구속된다. 즉, 제1 가동바(132) 및 제2 가동바(136)는 밴드(12)에 의해 각각의 이동력의 반대 방향으로 반력을 받게 된다. 따라서 제1 가동바(132)와 제2 가동바(136)는 각각의 이동 거리가 사전 설정된 이동 거리보다 짧게 나타난다. 구체적으로, 도 6의 (b)에 나타낸 것과 같이, 밴드(12)가 걸린 상태에서 제1 가동바(132) 및 제2 가동바(136)의 이동 거리는 각각 사전 설정된 검사 거리(Dt) 이하로 제한된다. 여기에서, 검사 거리(Dt)는 제1 가동바(132) 및 제2 가동바(136)에 의해 밴드(12)에 사전 설정된 기준 텐션력이 가해질 때 제1 가동바(132) 및 제2 가동바(136)가 초기 위치로부터 이격될 수 있는 거리이다.
기준 텐션력은 밴드(12)의 부착 상태를 정상 또는 불량으로 구분하기 위한 적절한 크기로 설정될 수 있다. 밴드(12)에 기준 텐션력이 가해질 때 밴드(12)가 마스크 본체(11)에서 분리되거나 끊어지지 않고 마스크 본체(11)와 연결된 상태를 유지하는 경우 해당 마스크(10)는 양품으로 판별될 수 있다. 반면, 밴드(12)에 기준 텐션력이 가해질 때 밴드(12)가 마스크 본체(11)에서 분리되거나 끊어지면 해당 마스크(10)는 불량품으로 판별될 수 있다.
밴드(12)가 마스크 본체(11)에서 분리되거나 끊어지는 경우, 밴드(12)에 의한 제1 가동바(132) 및 제2 가동바(136)의 구속력이 해제된다. 이때, 제1 가동바(132) 및 제2 가동바(136)는 구동부(139)로부터 제공받는 이동력에 의해 검사 거리(Dt)를 벗어나 센서(143)(144)에 도달하게 된다. 제1 가동바(132) 및 제2 가동바(136)가 각각 센서(143)(144)에 접촉하면 센서(143)(144)가 감지 신호를 발생하고, 센서(143)(144)에서 발생하는 감지 신호는 제어부(170)로 송신된다. 제어부(170)는 센서(143)(144)로부터 감지 신호를 수신하여 해당 마스크(10)를 불량품으로 판별할 수 있다.
센서(143)(144)는 앞서 설명한 것과 같이 제1 가동바(132) 또는 제2 가동바(136)가 직접 접촉하여 감지 신호를 발생하는 구조로 한정되지 않는다. 즉, 센서(143)(144)는 제1 가동바(132) 또는 제2 가동바(136)의 움직임을 접촉식 또는 비접촉식으로 감지할 수 있는 다양한 다른 구조를 취할 수 있다.
또한, 밴드 검사유닛(130)의 구조는 다양하게 변경될 수 있다. 다른 예로, 밴드 검사유닛(130)은 제1 가동바(132) 또는 제2 가동바(136) 중 어느 하나의 움직임을 감지할 수 있는 하나의 센서를 포함할 수 있다. 또 다른 예로, 밴드 검사유닛(130)에서 제1 가동바(132) 또는 제2 가동바(136)의 움직임을 감지하는 센서가 생략될 수 있다. 이 경우, 밴드 검사유닛(130)은 밴드(12)의 텐션력을 검출하거나, 밴드(12)의 분리 또는 끊어짐을 이미지 분석 등의 다른 방식으로 검출하여 밴드 부착 상태 검사를 수행하는 구조를 취할 수 있다.
마스크 공급부(150)는 검사 대상 마스크(10)를 마스크 이송유닛(165)이 픽업할 수 있는 위치로 연속적으로 공급할 수 있다. 마스크 공급부(150)는 복수의 마스크(10)을 일정한 간격으로 피치 이송할 수 있는 컨베이어 구조 등 마스크(10)를 이송할 수 있는 다양한 구조로 이루어질 수 있다.
양품 배출부(155)는 양품으로 판별된 마스크(10)를 정해진 위치로 이송한다. 밴드 부착 상태 검사 후 양품으로 판별된 마스크(10)가 마스크 이송유닛(165)에 의해 양품 배출부(155)로 운반된다. 양품 배출부(155)는 마스크 이송유닛(165)에 의해 운반되는 마스크(10)를 연속적으로 이송할 수 있는 컨베이어 구조 등 다양한 구조로 이루어질 수 있다.
불량품 수거부(160)는 불량품으로 판별된 마스크(10)를 수거할 수 있도록 설치된다. 밴드 부착 상태 검사 후 불량품으로 판별된 마스크(10)가 마스크 이송유닛(165)에 의해 불량품 수거부(160)로 운반된다.
마스크 이송유닛(165)은 마스크 공급부(150)에 의해 공급되는 마스크(10)를 픽업하여 장착부(113) 위로 운반하고, 장착부(113)에서 검사를 마친 마스크(10)를 양품 배출부(155) 또는 불량품 수거부(160)로 운반한다. 마스크 이송유닛(165)은 마스크(10)를 흡착할 수 있는 흡착부(166)를 갖는다. 도시된 것과 같이, 마스크 이송유닛(165)은 테이블(110) 상에 배치되는 장착부(113)의 개수에 대응하는 개수의 흡착부(166)를 포함할 수 있다. 이러한 마스크 이송유닛(165)은 복수의 마스크(10)를 복수의 흡착부(166)로 픽업하여 한꺼번에 운반할 수 있다. 마스크 이송유닛(165)은 복수의 흡착부(166)를 포함하는 구조 이외에 마스크(10)를 픽업하여 운반할 수 있는 다양한 다른 구조로 변경될 수 있다. 또한, 도면에는 하나의 마스크 이송유닛(165)이 마스크(10)를 픽업하여 장착부(113) 위로 운반하고, 장착부(113)에서 검사를 마친 마스크(10)를 양품 배출부(155) 또는 불량품 수거부(160)로 운반하는 것으로 나타냈으나, 마스크 이송유닛(165)은 마스크(10)를 픽업하여 장착부(113) 위로 운반하는 이송유닛과 장착부(113)에서 검사를 마친 마스크(10)를 양품 배출부(155) 또는 불량품 수거부(160)로 운반하는 이송유닛의 복수 개가 배치될 수도 있다.
제어부(170)는 밴드 검사유닛(130)과, 마스크 공급부(150)와, 마스크 이송유닛(165) 등의 동작을 제어한다. 즉, 제어부(170)는 마스크(10)에 대한 밴드 부착 상태 검사가 연속적으로 이루어질 수 있도록 마스크 검사장치(100)의 전반적인 동작을 제어한다.
이하에서는, 본 발명의 일실시예에 따른 마스크 검사장치(100)의 작용에 대하여 설명한다.
마스크 공급부(150)가 검사 대상 마스크(10)를 마스크 이송유닛(165)이 픽업할 수 있는 위치로 공급하면 마스크 이송유닛(165)이 마스크 공급부(150)로부터 마스크(10)를 픽업한다. 마스크 이송유닛(165)은 마스크(10)를 운반하여 장착부(113) 위에 마스크 본체(11)를 올려 놓는다. 이때, 도 6의 (a) 및 도 7의 (a)에 나타낸 것과 같이, 마스크 본체(11)는 복수의 고정부재(120)에 의해 둘러싸여 장착부(113) 위에 안정적으로 놓일 수 있다. 그리고 마스크 본체(11)의 우측 가장자리에 부착되어 있는 밴드(12)는 제1 가동바(132)을 둘러싸면서 테이블(110) 위에 놓이고, 마스크 본체(11)의 좌측 가장자리에 부착되어 있는 밴드(12)는 제2 가동바(136)를 둘러싸면서 테이블(110) 위에 놓인다.
제어부(170)는 마스크 본체(11)가 장착부(113) 위에 놓인 상태에서 마스크(10)에 대한 밴드 부착 상태 검사가 이루어지도록 밴드 검사유닛(130)을 작동시킨다. 밴드 부착 상태 검사에서 밴드 검사유닛(130)의 구동부(139)가 제1 가동바(132) 및 제2 가동바(136)에 각각 사전 설정된 이동 거리만큼 이동할 수 있는 이동력을 제공한다. 이때, 제1 가동바(132) 및 제2 가동바(136)는 각각 밴드(12)가 걸린 상태로 장착부(113)에서 멀어지는 방향으로 이동하게 된다.
도 6의 (b) 및 도 7의 (b)에 나타낸 것과 같이, 마스크 본체(11)에 한 쌍의 밴드(12)가 정상적인 부착력으로 부착되어 있는 경우, 제1 가동바(132) 및 제2 가동바(136)는 밴드(12)의 텐션력에 의해 그 움직임이 구속된다. 따라서 제1 가동바(132) 및 제2 가동바(136)는 그 이동 거리가 검사 거리(Dt) 이하로 제한되어 센서(143)(144)에 도달하지 못한다. 이와 같이, 제1 가동바(132) 및 제2 가동바(136)가 밴드(12)를 마스크 본체(11)로부터 멀어지는 방향으로 당겨 밴드(12)가 마스크 본체(11)에 연결된 상태를 유지하는 경우, 제어부(170)는 해당 마스크(10)를 양품으로 판별하게 된다.
반면, 도 7의 (c)에 나타낸 것과 같이, 한 쌍의 밴드(12) 중 적어도 어느 하나가 마스크 본체(11)로부터 분리되거나 끊어지는 경우, 제1 가동바(132) 또는 제2 가동바(136)에 대한 밴드(12)의 구속력이 해제된다. 이때, 제1 가동바(132) 또는 제2 가동바(136)는 구동부(139)의 이동력에 의해 검사 거리(Dt)를 벗어나 센서(143)(144)에 도달하게 된다. 제1 가동바(132) 또는 제2 가동바(136)가 센서(143)(144)에 접촉하면 센서(143)(144)가 감지 신호를 발생하여 제어부(170)로 송신된다. 제어부(170)는 센서(143)(144)로부터 감지 신호를 수신하면 해당 마스크(10)를 불량품으로 판별하게 된다.
이와 같이, 테이블(110) 상에서 마스크(10)에 대한 밴드 부착 상태 검사가 이루어질 때 양품으로 판별된 마스크(10)의 위치 정보와 불량품으로 판별된 마스크(10)의 위치 정보가 제어부(170)에 입력된다. 그리고 검사가 완료되면, 제1 가동바(132) 및 제2 가동바(136)가 초기 위치로 복귀하고 마스크 이송유닛(165)이 작동하여 테이블(110) 위에 배치된 마스크(10)를 판별 결과에 따라 양품 배출부(155)나 불량품 수거부(160)로 운반한다.
예를 들어, 도 8에 나타낸 것과 같이, 테이블(110) 상에서 밴드 부착 상태 검사를 거친 세 개의 마스크(10) 중에서 가운데 위치하는 마스크(10)가 불량품으로 판별되고 나머지 마스크(10)가 양품으로 판별되는 경우, 마스크 이송유닛(165)은 양품인 두 개의 마스크(10)는 양품 배출부(155)로, 불량품인 하나의 마스크(10)는 불량품 수거부(160)로 운반한다. 즉, 마스크 이송유닛(165)은 도 8의 (a)에 나타낸 것과 같이 세 개의 마스크(10)를 한꺼번에 파지한 후 양품 배출부(155) 위로 이동하여 양품으로 판별된 두 개의 마스크(10)만 양품 배출부(155) 위에 올려 놓는다. 그리고 도 8의 (b)에 나타낸 것과 같이, 불량품으로 판별된 하나의 마스크(10)를 불량품 수거부(160) 위로 운반하여 불량품 수거부(160)에 떨어트린다.
상술한 것과 것이 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 마스크 검사장치(100)는 테이블(110) 상에 놓인 마스크(10)의 밴드(12)를 마스크 본체(11)로부터 멀어지는 방향으로 당겨 밴드(12)에 텐션력을 가함으로써 마스크(10)에 대한 밴드 부착 상태 검사를 자동으로 수행할 수 있다. 따라서 마스크 검사의 정밀도 및 효율성을 높이고, 마스크 검사 시간을 단축할 수 있다.
한편, 도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 검사장치를 나타낸 평면도이고, 도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 검사장치의 일부 구성을 나타낸 평면도이며, 도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 검사장치의 일부 구성을 나타낸 측면도이다.
도면에 나타낸 것과 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 검사장치(200)는 테이블(210)과, 테이블(210) 위에 설치되는 복수의 장착부(113)와, 마스크(10)의 밴드 부착 상태를 검사하기 위한 복수의 밴드 검사유닛(130)과, 검사 대상 마스크(10)를 공급하기 위한 마스크 공급부(220)와, 양품 마스크를 배출하기 위한 양품 배출부(225)와, 불량 마스크를 수거하기 위한 불량품 수거부(230)와, 마스크(10)를 운반하기 위한 마스크 이송유닛(235)과, 마스크 검사장치(200)의 전반적인 동작을 제어하는 제어부(240)를 포함한다. 밴드 검사유닛(130)의 구체적인 구조와 작용은 상술한 것과 같다.
테이블(210)은 회전 구동기(215)로부터 회전력을 제공받아 회전한다. 회전 구동기(215)는 제어부(240)에 의해 제어되어 테이블(210)을 일정 각도씩 간헐 회전시킬 수 있다. 본 실시예에서 테이블(210)은 90도씩 간헐 회전한다. 테이블(210)은 네 개의 단부를 포함하는 십자 모양으로 이루어진다. 네 개의 단부 각각에 장착부(113)와 밴드 검사유닛(130)이 설치된다. 본 실시예에서 테이블(210)의 각 단부에 장착부(113)와 밴드 검사유닛(130)이 세 개씩 배치된다.
테이블(210)의 회전 경로 중에는 복수의 작업 존이 마련된다. 복수의 작업 존은 로딩 존(Z1)과, 밴드 검사 존(Z2)과, 정렬 존(Z3)과, 언로딩 존(Z4)을 포함한다. 이들 로딩 존(Z1)과, 밴드 검사 존(Z2)과, 정렬 존(Z3)과, 언로딩 존(Z4)은 테이블(210)의 회전 방향을 따라 90도 간격씩 차례로 배치된다. 테이블(210)의 간헐 회전에 따라 테이블(210)에 배치되는 장착부(113)와 밴드 검사유닛(130)은 로딩 존(Z1)과, 밴드 검사 존(Z2)과, 정렬 존(Z3)과, 언로딩 존(Z4)에서 정지할 수 있다.
테이블(210)은 도시된 십자 모양 이외에 복수의 밴드 검사유닛(130)을 지지하고 회전할 수 있는 다양한 다른 형상으로 변경될 수 있다.
마스크 공급부(220)는 검사 대상 마스크(10)를 마스크 이송유닛(235)이 픽업할 수 있는 위치로 연속적으로 공급할 수 있다. 마스크 공급부(220)는 복수의 마스크(10)을 일정한 간격으로 피치 이송할 수 있는 컨베이어 구조 등 마스크(10)를 이송할 수 있는 다양한 구조로 이루어질 수 있다.
양품 배출부(225)는 양품으로 판별되는 마스크(10)를 정해진 위치로 이송한다. 밴드 부착 상태 검사 후 양품으로 판별된 마스크(10)가 마스크 이송유닛(235)에 의해 양품 배출부(225)로 운반된다. 양품 배출부(225)는 마스크 이송유닛(235)에 의해 운반되는 마스크(10)를 연속적으로 이송할 수 있는 컨베이어 구조 등 다양한 구조로 이루어질 수 있다.
불량품 수거부(230)는 불량품으로 판별된 마스크(10)를 수거할 수 있도록 설치된다. 밴드 부착 상태 검사 후 불량품으로 판별된 마스크(10)가 마스크 이송유닛(235)에 의해 불량품 수거부(230)로 운반되어 수거된다.
마스크 이송유닛(235)은 마스크 공급부(220)에 의해 공급되는 마스크(10)를 픽업하여 장착부(113) 위로 운반하고, 장착부(113)에서 검사를 마친 마스크(10)를 양품 배출부(225) 또는 불량품 수거부(230)로 운반한다. 마스크 이송유닛(235)은 마스크 공급부(220)에 의해 공급되는 마스크(10)를 픽업하여 장착부(113) 위로 운반하는 로딩 유닛(236)과, 테이블(210) 상에서 검사를 마친 마스크(10)를 양품 배출부(225) 또는 불량품 수거부(230)로 운반하는 언로딩 유닛(238)을 포함한다.
로딩 유닛(236)과 언로딩 유닛(238)은 마스크(10)를 흡착할 수 있는 흡착부(237)를 갖는다. 도시된 것과 같이, 로딩 유닛(236)과 언로딩 유닛(238)은 테이블(210) 상에 배치되는 장착부(113)의 개수에 대응하는 개수의 흡착부(237)를 포함할 수 있다. 이러한 로딩 유닛(236) 및 언로딩 유닛(238)은 복수의 흡착부(237)를 이용하여 복수의 마스크(10)를 한꺼번에 픽업하여 운반할 수 있다. 로딩 유닛(236)과 언로딩 유닛(238)은 복수의 흡착부(166)를 포함하는 구조 이외에 마스크(10)를 픽업하여 운반할 수 있는 다양한 다른 구조로 변경될 수 있다.
제어부(240)는 회전 구동기(215)와, 밴드 검사유닛(130)과, 마스크 공급부(220)와, 마스크 이송유닛(235) 등의 동작을 제어한다. 즉, 제어부(240)는 마스크(10)에 대한 밴드 부착 상태 검사가 연속적으로 이루어질 수 있도록 마스크 검사장치(200)의 전반적인 동작을 제어한다.
이하에서는, 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 검사장치(200)의 작용에 대하여 설명한다.
검사 작업이 시작되면, 제어부(240)는 테이블(210)을 90도씩 간헐 회전시키고, 마스크 공급부(220)를 작동시켜 검사 대상 마스크(10)를 로딩 유닛(236)이 픽업할 수 있는 위치로 이송시킨다. 마스크(10)가 픽업 위치로 이송되면 로딩 유닛(236)이 마스크(10)를 픽업하여 로딩 존(Z1)에 위치하는 장착부(113) 위로 운반한다. 이때, 도 11에 나타낸 것과 같이, 마스크 본체(11)는 복수의 고정부재(120)에 의해 둘러싸여 장착부(113) 위에 안정적으로 놓인 상태를 유지할 수 있다. 그리고 마스크 본체(11)의 우측 가장자리에 부착되어 있는 밴드(12)는 제1 가동바(132)을 둘러싸도록 테이블(210) 위에 놓이고, 마스크 본체(11)의 좌측 가장자리에 부착되어 있는 밴드(12)는 제2 가동바(136)를 둘러싸도록 테이블(210) 위에 놓인다.
테이블(210)이 간헐 회전하여 장착부(113) 위에 놓인 마스크(10)가 밴드 검사 존(Z2)에 위치하면 밴드 검사유닛(130)이 작동하여 마스크(10)에 대한 밴드 부착 상태 검사가 수행된다. 밴드 부착 상태 검사의 구체적인 방법은 상술한 것과 같다. 밴드 부착 상태 검사에서 양품으로 판별되는 마스크(10)의 위치와 불량품으로 판별된 마스크(10)의 위치는 제어부(240)에 입력될 수 있다.
밴드 검사 존(Z2)에서 밴드 부착 상태 검사가 완료되면, 제어부(240)가 회전 구동기(215)를 제어하여 테이블(210)을 90도 회전시킨다. 이때, 검사가 완료된 마스크(10)가 정렬 존(Z3)에 위치하게 된다. 정렬 존(Z3)에서는 밴드 검사유닛(130)의 제1 가동바(132) 및 제2 가동바(136)가 초기 위치로 복귀하여 정렬되는 동작이 이루어질 수 있다.
이후, 제어부(240)가 회전 구동기(215)를 제어하여 테이블(210)을 90도 회전시킴으로써 장착부(113) 위에 놓인 마스크(10)가 언로딩 존(Z4)에 도달한다. 언로딩 존(Z4)에서는 언로딩 유닛(238)이 작동하여 검사가 완료된 마스크(10)를 판별 결과에 따라 양품 배출부(225)나 불량품 수거부(230)로 운반한다.
예를 들어, 도 12에 나타낸 것과 같이, 테이블(210) 상에서 밴드 부착 상태 검사를 거친 세 개의 마스크(10) 중에서 가운데 위치하는 마스크(10)가 불량품으로 판별되고 나머지 마스크(10)가 양품으로 판별되는 경우, 언로딩 유닛(238)은 양품인 두 개의 마스크(10)는 양품 배출부(225)로, 불량품인 하나의 마스크(10)는 불량품 수거부(230)로 운반한다.
즉, 언로딩 유닛(238)은 도 12의 (a)에 나타낸 것과 같이 언로딩 존(Z4)에 위치하는 세 개의 마스크(10)를 한꺼번에 파지한다. 세 개의 마스크(10)를 파지한 언로딩 유닛(238)은 도 12의(b)에 나타낸 것과 같이, 양품 배출부(225) 위로 이동하여 양품으로 판별된 두 개의 마스크(10)만 양품 배출부(225) 위에 올려 놓는다. 계속해서, 언로딩 유닛(238)은 도 12의 (c)에 나타낸 것과 같이, 불량품으로 판별된 하나의 마스크(10)를 파지한 상태로 불량품 수거부(230) 위로 이동하여 불량품 수거부(230)에 떨어트린다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 검사장치(200)는 복수의 마스크(10)가 로딩되는 테이블(210)을 간헐 회전시키면서 마스크(10)에 대한 로딩 공정과, 밴드 부착 상태 검사 공정과, 언로딩 공정 또는 양품 및 불량품 선별 공정을 동시에 연속적으로 수행할 수 있다. 따라서 마스크(10)에 대한 검사가 정밀하고도 효율적으로 이루어질 수 있으며, 검사 시간을 보다 단축할 수 있다.
도면에는 테이블(210) 상에 네 개의 단부가 90도 간격으로 배치되고, 테이블(210)의 네 단부 각각에 복수의 장착부(113) 및 복수의 밴드 검사유닛(130)이 구비되는 것으로 나타냈으나, 테이블(210)에 구비되는 장착부(113) 및 밴드 검사유닛(130) 각각의 개수나 이격 각도는 다양하게 변경될 수 있다. 또한, 테이블(210)은 장착부(113) 및 밴드 검사유닛(130) 각각의 개수나 이격 각도에 따라 90도 이외의 다양한 다른 각도 간격으로 간헐 회전할 수 있다.
또한, 도면에는 테이블(210)이 90도씩 간헐 회전하고, 테이블(210)의 회전 경로를 따라 로딩 존(Z1)과, 밴드 검사 존(Z2)과, 정렬 존(Z3)과, 언로딩 존(Z4) 등 네 개의 작업 존이 차례로 배치되는 것으로 나타냈으나, 테이블(210)의 간헐 회전 각도는 다양하게 변경될 수 있다. 그리고 테이블(210)의 회전 경로를 따라 배치되는 작업 존의 개수나 종류도 다양하게 변경될 수 있다. 다른 예로, 밴드 부착 상태 검사는 회전 경로 상의 다양한 작업 존에서 수행될 수 있다.
또한, 도면에는 마스크(10)를 이송하기 위한 마스크 이송유닛(235)이 픽업 기능을 갖는 로딩 유닛(236)과 언로딩 유닛(238)을 포함하는 것으로 나타냈으나, 마스크 이송유닛(235)은 픽업 기능을 갖는 하나의 장치로 로딩 작업과 언로딩 작업을 수행할 수 있는 구조로 변경될 수 있다.
이상 본 발명에 대해 바람직한 예를 들어 설명하였으나 본 발명의 범위가 앞에서 설명되고 도시되는 형태로 한정되는 것은 아니다.
예를 들어, 장착부(113)는 테이블의 상면으로부터 돌출된 형태로 테이블에 마련될 수 있다.
지금까지, 본 발명을 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니며, 첨부된 청구범위의 사상 및 범위를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정이 가능함을 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 기술자들은 잘 이해할 수 있을 것이다.
100 : 마스크 검사장치 110, 210 : 테이블
111 : 테이블홈 112 : 가이드부
113 : 장착부 120 : 고정부재
130 : 밴드 검사유닛 131 : 제1 푸셔
132 : 제1 가동바 133 : 제1 연결부
135 : 제2 푸셔 136 : 제2 가동바
137 : 제2 연결부 139 : 구동부
140 : 제1 액츄에이터 141 : 제2 액츄에이터
143, 144 : 센서 150, 220 : 마스크 공급부
155, 225 : 양품 배출부 160, 230 : 불량품 수거부
165, 235 : 마스크 이송유닛 170, 240 : 제어부
215 : 회전 구동기 236 : 로딩 유닛
238 : 언로딩 유닛

Claims (9)

  1. 마스크 본체가 놓일 수 있는 장착부를 갖는 테이블; 및
    마스크 본체의 좌우 양측에 부착된 밴드에 텐션력을 가하여 밴드의 부착 상태를 검사하기 위한 밴드 검사유닛;을 포함하고,
    상기 밴드 검사유닛은,
    마스크 본체의 일측에 부착된 밴드를 마스크 본체로부터 멀어지는 방향으로 당겨 밴드에 텐션력을 가하기 위해 상기 장착부에서 멀어지거나 상기 장착부에 가까워지는 방향으로 이동할 수 있도록 상기 테이블에 설치되는 제1 가동바와,
    마스크 본체의 다른 일측에 부착된 밴드를 마스크 본체로부터 멀어지는 방향으로 당겨 밴드에 텐션력을 가하기 위해 상기 장착부에서 멀어지거나 상기 장착부에 가까워지는 방향으로 이동할 수 있도록 상기 테이블에 설치되는 제2 가동바와,
    상기 제1 가동바 및 상기 제2 가동바에 각각 이동력을 제공하는 구동부와,
    상기 제1 가동바와 상기 제2 가동바 중 적어도 어느 하나의 움직임을 감지하여 감지 신호를 발생할 수 있도록 상기 테이블에 설치되는 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 검사장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 제1 가동바 및 상기 제2 가동바에 각각 사전 설정된 이동 거리만큼 이동할 수 있는 이동력을 제공하되,
    상기 제1 가동바는 밴드가 걸린 상태에서 밴드에 의해 구속되어 그 이동 거리가 사전 설정된 검사 거리 이하로 제한되고, 상기 제2 가동바는 밴드가 걸린 상태에서 밴드에 의해 구속되어 그 이동 거리가 상기 검사 거리 이하로 제한되며,
    상기 센서는 상기 제1 가동바 또는 상기 제2 가동바가 밴드를 마스크 본체에서 이탈시켜 밴드의 구속력을 풀고 상기 검사 거리를 벗어날 때 감지 신호를 발생하는 것을 특징으로 하는 마스크 검사장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 센서는 상기 검사 거리를 벗어나도록 이동한 상기 제1 가동바 또는 상기 제2 가동바가 접촉할 수 있는 위치에 설치되는 것을 특징으로 하는 마스크 검사장치.
  5. 제1항에 있어서,
    마스크 본체의 가장자리에 접하여 상기 장착부 상에서 마스크 본체의 이동을 제한하기 위해 상기 장착부로부터 돌출되도록 설치되는 복수의 고정부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 검사장치.
  6. 제1항에 있어서,
    양품으로 판별된 마스크가 놓일 수 있는 양품 배출부;
    불량품으로 판별된 마스크를 수거하기 위한 불량품 수거부; 및
    검사가 완료된 마스크를 상기 장착부에서 상기 양품 배출부 또는 상기 불량품 수거부로 운반하는 마스크 이송유닛;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 검사장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 테이블에는 상기 제1 가동바 및 상기 제2 가동바가 삽입되는 복수의 테이블홈이 구비되되, 상기 제1 가동바 및 상기 제2 가동바는 각각의 끝단이 상기 테이블의 상면으로부터 돌출되고,
    상기 구동부는 상기 테이블의 상면보다 낮게 설치되는 것을 특징으로 하는 마스크 검사장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 테이블을 일정 각도씩 간헐 회전시키는 회전 구동기;를 더 포함하고,
    상기 장착부 및 상기 밴드 검사유닛은 각각 복수 개가 상기 테이블 상에 일정한 각도 간격으로 이격 배치되는 것을 특징으로 하는 마스크 검사장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 테이블의 회전 경로 중에는 상기 밴드 검사유닛이 정지하는 복수의 작업 존이 배치되되,
    상기 복수의 작업 존은 마스크가 상기 장착부에 로딩되는 로딩 존과, 검사가 완료된 마스크가 상기 장착부에서 분리되는 언로딩 존을 포함하며,
    상기 밴드 검사유닛은 상기 복수의 작업 존 중에서 상기 로딩 존 및 상기 언로딩 존 이외의 다른 작업 존에서 작동하도록 제어되는 것을 특징으로 하는 마스크 검사장치.
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