JPH07167635A - 被研磨部材の表面検出装置及び接触子製造方法及び自動検査研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 カラーフィルタ等の被研磨部材の表面を研磨
して突出物等を正確にかつ簡単に検出する。 【構成】 フィラー１５８は、その肩部１５８Ａが円弧
溝１５４に支持された状態で舌部１５８Ｂが矩形孔１５
６に挿入され、通常状態では、肩部１５８Ａの屈曲部上
面が水平状態とされるように、バランスがとられてい
る。天井ベース１３４には、光電センサ１６０が取付け
られ、通常状態では受光状態、フィラー１５８の配置位
置に４μｍ以上の突起部がくると、フィラー１５８は円
弧溝１５４の支持面を中心に回転され、非受光状態とな
る。光電センサ１６０を表す番号と、前記モータに取付
けられたパルスエンコーダからのパルス値から、突起部
の位置を特定することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、被研磨部材の表面に付
着又は形成された突起部を検出する被研磨部材の表面検
出装置、表面検出装置に適用される接触子製造方法及び
被研磨部材の表面を検出することによって、突起部の有
無及びその位置を判別し、この判別された突起部を研磨
部材によって研磨するための自動検査研磨装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】電気信号に変換された画像を表示するた
めのディスプレイ装置として、液晶ディスプレイ（Liqu
id Crystal Display、以下「ＬＣＤ」と言う）が普及し
ている。ＬＣＤは、例えば液晶の表面側に偏光膜を設け
て、液晶を透過した光が偏光膜を透過するか否かによっ
て偏光膜状に明暗を形成するようになっている。

【０００３】このＬＣＤには、例えば、緑、青、赤の微
小な各色成分をモザイク状に配置したカラーフィルタを
液晶と偏光膜との間に配置し、偏光膜を透過する光に各
色の成分を持たせるようにして、カラー画像を表示する
ようにしたものがある。

【０００４】ところで、カラーフィルタの表面に突起物
や異物等が付着し、偏光膜とカラーフィルタの間にこの
突出物や異物等によって隙間が生じてしまった場合、偏
光膜によて不要な光を遮ることができなくなってしま
い、明瞭な画像を表示することができなくなってしま
う。このため、カラーＬＣＤに用いられるカラーフィル
タには、表面に微小な突出物や異物が存在しないように
しなければならない。

【０００５】一般にカラーＬＣＤに用いられるカラーフ
ィルタの表面の突出物の許容範囲は約４μｍ以下とされ
ており、これより大きい突出物や異物をカラーフィルタ
の表面から除去する必要がある。このとき、カラーフィ
ルタの表面が軟らかいため、不要に外力を加えないよう
に細心の注意を払う必要があり、正確かつ確実に作業を
行う必要がある。

【０００６】このようなカラーフィルタの表面に付着し
た突起部や異物等を自動的に研磨する装置としては、レ
ーザ測長器等によってカラーフィルタの表面を測定し、
規定以上の突起量の突出物及びその位置を演算したり、
ＣＣＤイメージセンサによって撮影し、この撮影された
画像情報を演算処理することによって規定外突起部の検
出とその位置を求め、その演算結果に基づいて自動的に
突出物が所定の大きさ以下となるように研磨部材によっ
て研磨するようにしたものがある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな自動化された研磨装置は、精密で構造が複雑であり
非常に高価なものとなっている。このため、カラーフィ
ルタの表面を研磨する作業は、従来通り作業員が目視に
よってカラーフィルタの表面に大きな突出物や異物が無
いかを検査し、大きな突出物や異物があったときには、
研磨粒子を添加した研磨テープ等の研磨部材を用いて手
作業で少しづつ研磨して除去する方法が一般に用いられ
ており、細心の注意を必要とする作業となっている。

【０００８】本発明は上記事実を考慮し、カラーフィル
タ等の被研磨部材の表面を研磨して突出物等を正確にか
つ簡単に検出することができる被研磨部材の表面検出装
置を得ることが目的である。

【０００９】また、上記目的に加え、被研磨部材の表面
を検出接触子を精度良く量産することができる接触子製
造方法を得ることが目的である。

【００１０】さらに、上記目的に加え、簡単な構成で被
研磨部材の表面の検出から研磨までを自動的に行うこと
ができる自動検査研磨装置を得ることが目的である。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、被研磨部材の表面を検出することによって、後工程
において研磨する必要のある突起部の有無及びその位置
を判別する被研磨部材の表面検出装置であって、ベース
上を移動する移動テーブルと、前記移動テーブルの上方
に配置され前記移動テーブルの移動方向と直交する方向
に延設された検査ベースと、前記検査ベースに設けられ
た貫通孔を跨ぐ肩部の下端面を中心に回転可能に支持さ
れると共に、前記肩部から延設され前記貫通孔を貫通す
る舌部の先端が前記被研磨部材の表面に対して所定の隙
間を設けて配置され、通常は釣合い状態で維持される前
記検査ベースの長手方向に沿って複数個設けられた接触
子と、前記接触子毎に設けられ、前記接触子が釣り合っ
た通常状態、及び前記移動テーブルの移動に伴って被研
磨部材が移動され前記突起部が前記接触子に接触した時
に前記肩部の下端面を中心に回転する傾斜状態で接点が
切り換わるセンサと、前記センサからの出力信号及び移
動テーブルの移動量に基づいて突起部の有無並びに位置
を判別する判別手段と、を有している。

【００１２】請求項２に記載の発明は、前記検査ベース
には前記移動ベースに支持される支持ローラが取付けら
れ、この支持ローラの最下位置と前記接触子の下端位置
との間を所定の隙間に設定することによって、前記接触
子を被研磨部材に対して所定の隙間を設けていることを
特徴としている。

【００１３】請求項３に記載の発明は、前記検査ベース
は前記ベースに対して付勢手段を介して支持されてお
り、この付勢手段の付勢力に相当する荷重が前記支持ロ
ーラから移動テーブルへ伝わる荷重を軽減していること
を特徴としている。

【００１４】請求項４に記載の発明は、前記接触子は前
記検査ベースの長手方向に沿って２列以上配列されてお
り、前記移動テーブルの移動に伴う突起部検出時に各列
間で同一箇所を検出する領域を形成していることを特徴
としている。

【００１５】請求項５に記載の発明は、前記請求項４に
記載の発明において、前記同一箇所の検出する領域を前
記突起部が通過し、２個の接触子で前記突起部を検出し
た場合には、後工程の研磨位置をこの接触子の間に位置
決めすることを特徴としている。

【００１６】請求項６に記載の発明は、前記請求項１乃
至請求項５の何れか１項記載の被研磨部材の表面検出装
置に適用される接触子製造方法であって、前記舌部の下
端部を切削加工によって削り取る際に、少なくとも１台
の表面検出装置に用いる複数の接触子を１単位として束
ねた状態で固定し、前記肩部の下端面から前記舌部の下
端面までの寸法が束ねられた接触子間で一致するように
同時に加工することを特徴としている。

【００１７】請求項７に記載の発明は、被研磨部材の表
面を検出することによって、突起部の有無及びその位置
を判別し、この判別された突起部を研磨部材によって研
磨するための自動検査研磨装置であって、ベース上を移
動する移動テーブルと、前記移動テーブルの上方に配置
され前記移動テーブルの移動方向と直交する方向に延設
された検査ベースと、前記検査ベースに設けられた貫通
孔を跨ぐ肩部の下端面を中心に回転可能に支持されると
共に、前記肩部から延設され前記貫通孔を貫通する舌部
の先端が前記被研磨部材の表面に対して所定の隙間を設
けて配置され、通常は釣合い状態で維持される前記検査
ベースの長手方向に沿って複数個設けられた接触子と、
前記接触子毎に設けられ、前記接触子が釣り合った通常
状態、及び前記移動テーブルの移動に伴って被研磨部材
が移動され前記突起部が前記接触子に接触した時に前記
肩部の下端面を中心に回転する傾斜状態で接点が切り換
わるセンサと、前記センサからの出力信号及び移動テー
ブルの移動量に基づいて突起部の有無並びに位置を判別
する判別手段と、前記突起部を研磨するための研磨ロー
ラと、この研磨ローラを被研磨部材の表面に対して所定
の隙間を設けて支持するための支持部材と、前記突起部
の研磨時に前記研磨ローラを前記被研磨部材に対して接
離する方向に移動させる昇降手段と、で構成され、前記
検査ベースに対して移動テーブルの移動方向にオフセッ
トして配設され、かつ移動テーブルと直交する方向に移
動可能に支持された研磨ユニットと、前記研磨ユニット
を前記移動テーブルと直交する方向に移動させる移動手
段と、前記判別手段で判別された位置情報に基づいて前
記移動手段を制御して研磨ユニットの移動テーブルの移
動方向と直交する方向の位置を決める位置決め手段と、
前記接触子による突起部検出時の移動テーブルの移動量
と、前記接触子の検出位置と研磨ユニットの研磨位置と
のオフセット量と、に基づいて前記昇降手段を制御して
前記研磨ユニットを下降させて研磨を実行させる制御手
段と、を有している。

【００１８】

【作用】請求項１に記載の発明によれば、移動テーブル
に被研磨部材を載置した状態で移動テーブルを移動させ
る。

【００１９】このとき、移動テーブルの上方には検査ベ
ースが配設され接触子の舌部の下端面が被研磨部材の表
面に対して所定の隙間で対向している。

【００２０】この接触子は肩部の下端面で釣り合い状態
で支持されているため、前記所定の隙間よりも大きい突
起部が接触子に接触すると、接触子は前記肩部の下端面
の支持点を中心に回転する。この回転によってセンサは
接点が切り換わり突起部の有無を検出することができ
る。また、判別手段では、センサが接触子毎に設けられ
ているため、この切り換わったセンサを特定することに
よって突起部の位置を認識することができる。

【００２１】認識された突起部の位置情報は、例えば、
表示部等に座標として表示したり、被研磨部材の図形を
表示して位置をポイントすることにより、オペレータに
突起部の位置を認識させることができる。

【００２２】請求項２に記載の発明によれば、前記接触
子と被研磨部材との隙間を一定に保持するため、検査ベ
ースに支持ローラを取付け、この支持ローラによって検
査ベースを移動テーブル上に支持する。一方、支持ロー
ラの最下部と接触子との隙間を予め所定の隙間としてお
けば、移動テーブルが若干上下動しても、これに追従し
て隙間を一定に保持することができる。

【００２３】請求項３に記載の発明によれば、支持ロー
ラによる移動テーブルへの支持を行う場合、全ての荷重
を支持ローラから移動テーブルで伝達すると、移動テー
ブルや被研磨部材を損傷させたり、移動テーブルの移動
を妨げる恐れがある。そこで、検査ベースをベースに対
して付勢手段を介して支持する。これにより、付勢手段
の付勢力分、支持ローラから移動テーブルへ伝わる荷重
を緩和することができる。

【００２４】請求項４に記載の発明によれば、接触子を
検査ベースの長手方向に沿って２列以上配列する。この
とき、列間で突起部検出領域をダブらせる。これによ
り、接触子を隙間なく配設することができ、突起部の検
出漏れを防止することができる。

【００２５】請求項５に記載の発明によれば、通常、後
工程によって実行される研磨位置は接触子の位置とされ
ているが、２個の接触子によって突起部を検出した場合
には、この研磨位置を２個の接触子の間に位置決めす
る。これにより、２回の研磨作業を１回で終了させるこ
とができる。

【００２６】請求項６に記載の発明によれば、接触子は
精度よく仕上げる必要があるが、大量の接触子の同一寸
法で仕上げることが困難である。従って、少なくとも１
台の表面検出装置に用いる複数個の接触子を束ねた状態
で固定し、接触子の肩部の下端面から舌部の下端面まで
の寸法が束ねられた接触子間で一致するように同時加工
する。これにより、少なくとも、１台の装置に用いる接
触子は精度良く仕上げられることになり、接触子間で隙
間がばらつくことを防止することができる。

【００２７】請求項７に記載の発明によれば、判別手段
で判別された突起部の位置情報に基づいて、まず、位置
決め手段によって移動手段を制御して研磨ユニットの移
動テーブルの直交する方向の位置を決める。次に、前記
接触子による突起部検出時の移動テーブルの移動量と、
前記接触子の検出位置と研磨ユニットの研磨位置とのオ
フセット量と、に基づいて前記昇降手段を制御して前記
研磨ユニットを下降させて研磨を実行する。

【００２８】このように、被研磨部材に付着した突起部
を検出する構成と、被研磨部材の突起部を研磨する構成
とを並設し、同一の移動テーブルを用いて被研磨部材を
移動させることによって、被研磨部材の突起部の検出か
ら研磨までの工程を自動化することができ、作業効率を
大幅に改善することができる。

【００２９】

【実施例】

（第１実施例）図１には、本実施例に係るカラーフィル
タの表面検出装置１００が示されている。

【００３０】ベース１０２の図１の左右方向両端部には
縦壁部１０４がそれぞれ取付けられ、全体として略コ字
型に形成されている。ベース１０２上には移動テーブル
１０６が支持ローラ１０８を介して支持されている。

【００３１】支持ローラ１０８は一対の略Ｌ字型のブラ
ケット１１０に挟持されており、このブラケット１１０
の水平面部が前記移動テーブル１０６の下面に固着され
ている。移動テーブル１０６の図１の紙面手前側から奥
側にかけて３個の円孔１１２Ａ乃至Ｃが貫通されてい
る。

【００３２】この３個の円孔１１２Ａ乃至の内、中央の
円孔１１２Ｂの内周面には雌ねじが形成されており、雄
ねじが形成された駆動シャフト１１４が螺合している。
一方、両側の円孔１１２Ａ及びＣにはガイドシャフト１
１６が挿通されている。

【００３３】駆動シャフト１１４はモータ１１８（図４
参照）の回転軸に連結されている。このモータ１１８
は、図４に示す制御装置１２０に接続されたスタートス
イッチ１２２の操作によって出力される制御装置１２０
からの信号に応じて正転、逆転するようになっており、
モータ１１８の駆動力によって駆動シャフト１１４が回
転すると、前記雌ねじとの螺合位置が徐々に移動され、
これに伴って移動テーブル１０６がガイドシャフト１１
６の軸線方向に沿って移動される構成である。このと
き、移動テーブル１０６は、支持ローラ１０８によって
ベース１０２に支持され、かつガイドシャフト１１６に
よって案内されるため、ベース１０２面に対して平行状
態を維持しながら移動される。

【００３４】移動テーブル１０６の上面には被検査部材
であるカラーフィルタ１２４を載置するための載置台１
２６取付けられている。この載置台１２６の所定の位置
にカラーフィルタ１２４を載置し、前記モータ１１８を
駆動させることによって、カラーフィルタ１２４を移動
させることができる。

【００３５】また、図４に示される如く、このモータ１
１８には、パルスエンコーダ１２８が取付けられてお
り、移動テーブル１０６の移動量、すなわちカラーフィ
ルタ１２４の移動量をパルス値で認識できるようになっ
ている。

【００３６】このカラーフィルタ１２４の移動軌跡に対
応して移動テーブル１０６上には検査装置ユニット１３
０が配設されている。検査装置ユニット１３０には、一
対の側板１３２が前記縦壁部１０４に沿って立設されて
おり、これらの側板１３２間に天井ベース１３４が掛け
渡され、ビス１３６によって固定されている。

【００３７】図２に示される如く、側板１３２の内側面
間には、軸１４０が掛け渡され、それぞれ２個の支持ロ
ーラ１３８が軸支されている。この支持ローラ１３８
は、軸１４０の軸線方向に移動可能とされており、前記
載置台１２６上のカラーフィルタ１２４のサイズに合わ
せて移動され、カラーフィルタ１２４の周端上に載置さ
れるようになっている。なお、軸１４０の軸線方向中央
部は円筒状の支持部１７０Ａに挿入されている。この支
持部１７０Ａはブラケット１７０の一部を構成してい
る。ブラケット１７０は、前記支持部１７０Ａを先端に
形成するアーム部１７０Ｂと、このアーム部１７０Ｂの
基部を支持するベース板１７０Ｃとで構成されており、
ベース板１７０Ｃが前記天井ベース１３４の側面に固定
されている。これにより、軸１４０は撓みが防止され、
支持ローラ１３８が何れの位置にあっても軸線が常に直
線的に保持される。

【００３８】また、側板１３２の外側面には略Ｌ字型の
ブラケット１４２が取付けられている。このブラケット
１４２に対応して、前記縦壁部１０４にも略Ｌ字型のブ
ラケット１４４が取付けられ、それぞれの水平面同士が
対向している。

【００３９】この対向されたブラケット１４２、１４４
の水平面には、それぞれ同軸的に円孔が設けられてい
る。ここで、縦壁部１０４側のブラケット１４４の円孔
の下側から頭付ピン１４６が挿通され、その先端が前記
側板側１３２側のブラケット１４２の円孔に挿入されて
いる。これにより、検査装置ユニット１３０と縦壁部１
０４との相対位置が決められ、移動テーブル１０６がガ
イドシャフト１１６に沿って移動しても、検査装置ユニ
ット１３０は移動されず、支持ローラ１３８のみが回転
することになる。

【００４０】頭付ピン１４６の中間部、すなわち、ブラ
ケット１４２、１４４間には圧縮コイルばね１４８が取
付けられている。この圧縮コイルばね１４８は、検査装
置ユニット１３０の荷重を受け、支持ローラ１３８から
載置台１２６へ加わる荷重を緩和する役目を有してい
る。

【００４１】図２に示される如く、検査装置ユニット１
３０の天井ベース１３４からは、その四隅からシャフト
１５０が垂下されており、その下端部に検査ベース１５
２が取付けられている。この検査ベース１５２は前記天
井ベース１３４に対して平行状態が保たれている。

【００４２】図３にも示される如く、検査ベース１５２
には、長手方向に沿って２本の円弧溝１５４が形成され
ている。この円孔溝１５４上には、それぞれ７個の矩形
孔１５６の等間隔で設けられ、下面まで貫通されてい
る。これらの矩形孔１５６は、前記２本の円弧溝１５４
間で検査ベース１５２の長手方向にオフセットされた状
態となっている。このオフセット量については後述す
る。

【００４３】それぞれの矩形孔１５６にはカラーフィル
タ１２４に表面に付着又は形成された突起部１２４Ａ
（図３参照）を検出するための接触子（以下、フィラー
という）１５８が挿通されている。

【００４４】図５に示される如く、フィラー１５８は、
薄肉の金属製で略Ｔ字型に型抜きされ、かつその上部が
略直角に屈曲された形状となっている。このフィラー１
５８の肉厚寸法は、約 0.1〜0.2mm であり、ステンレス
又はチタン製とされている。

【００４５】このフィラー１５８は、その肩部１５８Ａ
が円弧溝１５４に支持された状態で舌部１５８Ｂが矩形
孔１５６に挿入され、その下端部が検査ベース１５２の
下面から突出されるようになっている。ここで、肩部１
５８Ａが円弧溝１５４に支持された通常状態では、肩部
１５８Ａの屈曲部上面が水平状態とされるように、バラ
ンスがとられている。

【００４６】ここで、肩部１５８Ａから舌部１５８Ｂの
先端までの寸法Ａは、精度良く決められており、前記載
置台１２６に載置されたカラーフィルタ１２４の平滑面
に対して４μｍの隙間が形成されるようになっている。

【００４７】また、舌部１５８Ｂの幅寸法Ｗは１０mmと
され、１本の円弧溝１５４上に１９mmピッチで配置され
るようになっている。ここで、矩形孔１５６は、２本の
円弧溝１５４間でのオフセット量が 9.5mmとされてお
り、この結果、図１から見た状態で、フィラー１５８は
0.5mmずつオーバラップした状態で配列されるようにな
っている。

【００４８】前記天井ベース１３４には、このフィラー
１５８の肩部１５８Ａの屈曲上面に対向してそれぞれ反
射型の光電センサ１６０が取付けられている。これらの
光電センサ１６０は制御装置１２０に接続されている。

【００４９】フィラー１５８の肩部１５８Ａの屈曲上面
は、鏡面仕上げが施されており、前記通常状態では、光
電センサ１６０の投光部１６０Ａ（図３参照）から出力
される光線を反射させて、受光部１６０Ｂ（図３参照）
へ案内することができるようになっている。すなわち、
通常状態、カラーフィルタ１２４の表面が平滑の場合に
は各光電センサ１６０は受光状態（例えば、通電状態）
となる（図３（Ａ）参照）。ここで、移動テーブル１０
６の移動に伴って、フィラー１５８の配置位置に４μｍ
以上の突起部１２４Ａがくると、この突起部１２４Ａに
よってフィラー１５８は円弧溝１５４の支持面を中心に
回転されることになる（図３（Ｂ）参照）。これによ
り、投光部１６０Ａからの光が受光部１６０Ｂへは至ら
ず、光電センサ１６０は非受光状態（例えば、非通電状
態）となる。制御装置１２０では、この非通電状態とな
った光電センサ１６０を表す番号と、前記モータ１１８
に取付けられたパルスエンコーダ１２８からのパルス値
から、突起部１２４Ａの位置を特定することができるよ
うになっている。

【００５０】本実施例では、この特定された突起部１２
４Ａの位置を制御装置１２０に接続された表示部１６２
へカラーフィルタ１２４の予め定められた所定の角を原
点とした座標（ｘ，ｙ）値で表示するようになってい
る。

【００５１】なお、上記フィラー１５８は２列で、かつ
それぞれ 0.5mmずつオーバラップさせているため、この
オーバラップ部に突起部１２４Ａがきたときには同時に
２個のフィラー１５８が回動して、２個の光電センサ１
６０が非通電となる場合がある。この場合は、２個のフ
ィラー１５８の中間位置を座標として示すようになって
いる。

【００５２】以下に本実施例の作用を図６のフローチャ
ートに従い説明する。まず、ステップ２００において、
変数Ｉを０にリセットし、かつ各部を初期位置に移動さ
せる。すなわち、移動テーブル１０６の初期位置へ戻す
と共に、この上の所定の位置にカラーフィルタ１２４を
載置し、パルスエンコーダ１２８のカウントをリセット
する。

【００５３】次のステップ２０２ではスタートスイッチ
１２２が操作されたか否かが判断され、肯定判定される
とステップ２０４へ移行してモータ１１８の駆動を開始
する。

【００５４】このモータ１１８の駆動によって、駆動シ
ャフト１１４が回転され、移動テーブル１０６はガイド
シャフト１１６に沿って移動する。このとき、支持ロー
ラ１０８によって移動テーブル１０６はベース１０２に
支持されているため、このベース１０２と平行状態を保
ちながら移動される。

【００５５】移動テーブル１０６が移動すると、載置台
１２６上のカラーフィルタ１２４は、順次フィラー１５
８の配置位置へと移動されるが、通常の平滑面であれ
ば、隙間（約４μｍ）があるため、フィラー１５８は移
動しない（図３（Ａ）参照）。このため、光電センサ１
６０の投光部１６０Ａからの光は肩部１５８Ａの鏡面仕
上げされた屈曲水平面で反射され、受光部１６０Ｂへと
至り、光電センサ１６０は通電状態となる。

【００５６】ここで、突起部１２４Ａがフィラー１５８
と接触すると（図３（Ｂ）参照）、フィラー１５８は肩
部１５８Ａの円弧溝１５４への支持部を中心に回転さ
れ、この結果、光電センサ１６０の投光部１６０Ａから
の光が受光部１６０Ｂへ至らず、光電センサ１６０が非
通電状態となる（ステップ２０６）。これにより、突起
部１２４Ａを認識し、ステップ２０８でＩをインクリメ
ントした後、ステップ２１０では、非通電となった光電
センサ１６０の番号と、その時のパルスエンコーダ１２
８からのパルス値に基づいて突起部１２４Ａの位置情報
をメモリし（Ｍ_I）、ステップ２１２へ移行する。

【００５７】なお、ステップ２０６で突起部１２４Ａを
検出しないときにもステップ２１２へ移行し、ステップ
２１２で移動テーブル１０６が終端へ至っていない場合
には、上記ステップ２０６、２１２（突起部１２４Ａの
未検出時）又はステップ２０６、２０８、２１０、２１
２（突起部１２４Ａの検出時）を繰り返す。

【００５８】ステップ２１２において、移動テーブル１
０６が終端まできたと判断されると、ステップ２１２か
らステップ２１４へ移行して、モータ１１８の駆動を停
止させ、次いでステップ２１６で各部の原位置への移動
を指示して、ステップ２１８へ移行する。

【００５９】ステップ２１８では、メモリ内に記憶され
た位置情報に基づいて座標換算を行い、ステップ２２０
へ移行してこの換算され座標値を表示部１６２へ表示
し、処理を終了する。

【００６０】なお、突起部１２４Ａがフィラー１５８の
オーバラップ部に位置するときには、２つのフィラー１
５８が回転されて、２つの光電センサ１６０が非通電と
なるが、この場合には両者の間の座標を表示すればよ
い。

【００６１】このように、簡単な構造で、オペレータが
目視しなくても、カラーフィルタ１２４上の突起部１２
４Ａ（４μｍ以上の研磨すべき突起部）を容易に検出す
ることができるため、後工程における研磨作業を容易に
行うことができる。

【００６２】なお、本実施例では、突起部１２４Ａの位
置を座標換算して表示したが、プリンタによって該座標
をプリントアウトしてもよいし、図形（カラーフィルタ
の形状）表示して、その突起部検出位置にマークを付す
ようにしてもよい。

【００６３】以上、カラーフィルタの表面検出装置１０
０の構成及び作用を説明したが、この表面検出装置１０
０に適用されるフィラー１５８が精度よく作製されなけ
れば、精度良く突起部１２４Ａの検出はできない。そこ
で、このフィラー１５８の製造方法の一例を図７及び図
８に従い説明する。

【００６４】まず、薄肉の金属を用いて、略Ｔ字型に型
抜きを行った後、前記肩部１５８Ａを上部を折り曲げる
前に、舌部１５８Ｂの中央部に円孔１６４を設ける。

【００６５】次に、少なくとも１つの表面検出装置１０
０に適用するフィラー１５８の数（本実施例では１４
個）の倍数を束ね、治具１６６の移動ベース１６８から
突出されたシャフト１７０へ挿通する。

【００６６】このとき、移動ベース１６８には、前記シ
ャフト１７０を挟んで矩形状のブロック１７２が形成さ
れているため、フィラー１５８の肩部１５８Ａから舌部
１５８Ｂへ至る端面がこのブロック１７２の側面に当接
し、位置決めがなされる。

【００６７】この状態で、スペーサ１７４をシャフト１
７０に挿通し、ナット１７６を用いてシャフト１７０の
先端部に設けられた雄ねじに螺合させ、締めつけること
により、フィラー１５８の治具１６６への固定が完了す
る。

【００６８】この状態では、フィラー１５８の舌部１５
８Ｂの下端面はそれぞれ型抜き時のばり等で仕上げ状態
が悪い。

【００６９】ここで、移動ベース１６８は、固定ベース
１７８から突出された雄ねじシャフト１８０に螺合され
ており、ハンドル１８２の操作によって上下移動できる
ようになっている。

【００７０】このため、舌部１５８Ｂの突出長さ（寸法
Ａ）を一定するため、ハンドル１８２を操作して、移動
ベース１６８を下降させる。ここで、図８の一点鎖線か
らはみ出した部分（図８の網かけ表示部）は、研磨ロー
ラ１８４と干渉する部分であり、研磨ローラ１８４を高
速回転しながら、左右方向へ移動させることによって研
磨されていく。舌部１５８Ｂの突出長さとなるため、徐
々に下降させていくことにより、複数枚のフィラー１５
８が同時に加工され、寸法Ａを同一寸法で仕上げること
ができる。

【００７１】その後、治具１６６から取外し、１枚毎に
肩部１５８Ａの上部を９０°折り曲げ加工することによ
り、精度良くフィラー１５８を作製することができる。

【００７２】（第２実施例）以下に本発明の第２実施例
について説明する。

【００７３】この第２実施例では、第１実施例で説明し
た表面検出装置１００を単独で使用するのではなく、後
述する自動検査・研磨装置１０として、研磨ユニット２
４と共に適用したものである。

【００７４】従って、表面検出装置１００の構成は上記
第１実施例と同様の構成となっているため、同一の符号
を付してその詳細な構成の説明は省略する。

【００７５】図９には、第２実施例に係る自動検査・研
磨装置１０が示されている。なお、以下に説明する各図
において、矢印Ｘ方向として装置左右方向、矢印Ｙ方向
として装置前後方向、矢印Ｚ方向として装置の上下方向
をそれぞれ示す。

【００７６】自動検査・研磨装置１０は、基台１４の上
面に検査・研磨台１６、操作パネル１８が配設されてい
る。また、自動検査・研磨装置１０には、基台１４が下
部の複数の脚２６によって支持されると共に、この脚２
６によって基台１４及び検査・研磨台１６の上面が水平
となるように調節可能となっている。

【００７７】基台１４上には、互いに平行は一対のレー
ル溝１４Ａが形成されており、前記検査・研磨台１６は
このレール溝１４Ａに嵌合されている。ここで、図１６
に示される如く、制御装置２５０に接続されたモータ２
５２の駆動力により検査・研磨台１６はレール溝１４Ａ
に沿って移動されるようになっている（図９の矢印Ｘ方
向）。なお、このモータ２５２は、前記第１実施例で説
明した移動テーブル１０６を駆動させるモータ１１８に
相当し、パルスエンコーダ２５４（第１実施例のパルス
エンコーダ１２８に相当）が取付けられている。

【００７８】操作パネル１８が配設された側の短辺方向
両端部には、略コ字型に形成された支持スタンド２５６
がそれぞれ配設されており、２本のシャフト２５８、２
６０が掛け渡されている。この２本のシャフト２５８、
２６０の中間部には、検査・研磨台１６の上方の所定の
位置に対向された研磨ヘッド２２を備えた研磨ユニット
２４が取付けられている。研磨ユニット２４はケーシン
グ２４Ａによって被覆されており、前記２本のシャフト
２５８、２６０はこのケーシング２４Ａを貫通してい
る。ここで、一方のシャフト２５８には雄ねじが形成さ
れており、研磨ユニット２４のケーシング２４Ａに形成
された雌ねじと螺合されている（以下、この雄ねじが形
成されたシャフト２５８を駆動シャフト２５８、他方の
シャフト２６０をガイドシャフト２６０という。）。

【００７９】一方の支持スタンド２５６の上方には駆動
ユニット２６２が取付られており、モータ２６４（図１
６参照）が内蔵されている。モータ２６４の回転軸は前
記駆動シャフト２５８に連結されており、モータ２６４
の駆動力で駆動シャフト２５８が回転することにより、
研磨ユニット２４はガイドシャフト２６０に案内され、
このガイドシャフト２６０の軸線方向に移動できるよう
になっている。

【００８０】図１６に示される如く、モータ２６４は制
御装置２５０に接続されており、この制御装置２５０か
らの信号に応じて正逆方向に回転するようになってい
る。

【００８１】また、モータ２６４にはパルスエンコーダ
２６６が取付けられ、制御装置２５０では、モータ２６
４の駆動に伴う研磨ユニット２４の移動量（位置）をパ
ルス値に応じて認識できるようになっている。

【００８２】図９に示される如く、基台１４の手前側に
は検査・研磨台１６を挟むように一対の支柱２６８が立
設されている。この支柱２６８は、前記第１実施例で説
明した縦壁部１０４に相当する。この支柱２６８間に表
面検査ユニット１００が掛け渡されている。表面検査ユ
ニット１００の支持ローラ１３８は、検査・研磨台１６
に支持されている。すなわち、この検査・研磨台１６
が、第１実施例で説明した移動テーブル１０６（載置台
１２６）に相当する。

【００８３】表面検査ユニット１００に取付けられた光
電センサ１６０の各信号線は制御装置２５０に接続され
ており、突起部１２４Ａの位置情報を制御装置２５０へ
供給するようになっている。すなわち、検査・研磨台１
６の所定の位置（図９の一点鎖線参照）にカラーフィル
タ１２４が載置され、検査・研磨台１６を図９の二点鎖
線の位置から実線位置方向へ移動させることによって、
カラーフィルタ１２４上に付着した突起部１２４Ａの有
無を検査でき、かつこの検査・研磨台１６をさらに移動
させる（実線位置よりも奥側へ移動させる）ことによ
り、カラーフィルタ１２４を研磨ユニット２４の配設位
置まで移動させることができるようになっている。

【００８４】制御装置２５０では、前記表面検査ユニッ
ト１００によって検出された突起部１２４Ａの位置情報
を研磨ユニット２４へ伝達し、検査・研磨台１６の移動
（Ｘ方向）と研磨ユニット２４の移動（Ｙ方向）とによ
って後述する研磨ローラ７８を突起部１２４Ａの付着位
置へ移動させるようにしている。

【００８５】以下に研磨ユニット２４の詳細な構成を説
明する。研磨ユニット２４には、研磨部材である研磨テ
ープ２８をロール状に巻き取ったテープロール３０が配
設されており、テープロール３０から引き出された研磨
テープ２８の中間部が後述する研磨ヘッド２２の研磨ロ
ーラ７８に巻掛けられ、先端部が巻取ロール３２に巻付
けられている。巻取ロール３２及びテープロール３０の
間には、図示しないテープ巻取手段が設けられており、
研磨テープ２８をテープロール３０から一定量づつ引出
しながら、巻取ロール３２へ巻き取る構成となってい
る。なお、研磨テープ２８は、肉厚が約３０μｍ（±約
６μｍ）であり、それぞれのロールによって肉厚は異な
るが、同一のロールでは一定の肉厚で仕上げられてお
り、微細な研磨粒子が調合されている。

【００８６】本実施例に適用した研磨装置１０では、こ
の研磨テープ２８によってカラーフィルタ１２４の表面
から約３〜４μｍ以上の突出物や異物を除去するように
しており、予め表面検査ユニット１００によってカラー
フィルタ１２４の表面に約３〜４μｍ以上の突出物や異
物を検査し、制御装置２５０で認識した位置情報に基づ
いて検査・研磨台１６の所定位置に移動して研磨作業が
行われる。

【００８７】また、図１２にも示されるように、カラー
フィルタ１２４を載置する検査・研磨台１６には、研磨
ヘッド２２の移動領域帯に透光部材９８が埋め込まれて
おり、照射手段として検査・研磨台１６の内部に配置し
た光源９８Ａ（図１２に示す）から照射した光を透過す
るようになっている。この透光部材９８上にカラーフィ
ルタ１２４の突起部１２４Ａを配置させて、カラーフィ
ルタ１２４を研磨するときに突起部１２４Ａが目視によ
っても明確に判別できるようにしている。

【００８８】また、検査・研磨台１６はその上部が下部
に対して図９の矢印Ｙ方向に移動可能となっており、研
磨テープ２８によってカラーフィルタ１２４の所定の位
置（突起部１２４Ａ）を研磨するときに、研磨テープ２
８の走行方向と反対方向（本実施例では矢印Ｙ方向手前
側）へ所定量移動して、研磨テープ２８によってカラー
フィルタ１２４の所定範囲（研磨テープ２８の幅寸法と
検査・研磨台１６の移動量による範囲）を研磨するよう
にしている。

【００８９】ここで、研磨ユニット２４に配置した研磨
ヘッド２２について、図９乃至図１５を用いて詳細に説
明する。

【００９０】図９に示されるように、研磨ユニット２４
の前面パネルを構成するベース板３４には、前記したテ
ープロール３０、巻取ロール３２及びテープロール３０
と巻取ロール３２との間の研磨テープ２８の中間部が巻
き掛けられる複数のローラが取付けられている。これら
の複数のローラは、研磨テープ２８が巻取ロール３２に
巻取られるときに研磨テープ２８に一定の張力を付与す
るように、例えば外形寸法を少しづつ変えられている
か、研磨テープ２８に張力を付与する方向へ付勢されて
いる。

【００９１】なお、テープロール３０と巻取ロール３２
の間には、一体で覆う図示しないカバーが取付けられる
ようになっており、このカバーによって、空気中の塵等
が研磨テープ２８に付着するのを防止すると共に、カラ
ーフィルタ１２４の表面から除去され研磨テープ２８の
表面に付着した異物等が後に飛散するのを防止するよう
にしている。

【００９２】図１０乃至図１３に示されるように、研磨
ユニット２４のベース板３４の中央部には、下部に切欠
３４Ａが形成されており、この切欠３４Ａの奥側（アー
ム２０側）には、ベースプレート３６がベース板３４と
平行となるようにスペーサ３５を介して取付けられてい
る。また、ベースプレート３６に対向して、切欠３４Ａ
内に研磨ヘッド２２を構成するヘッドベース３８がベー
スプレート３６に対して平行に上下移動可能に配設され
ている。

【００９３】図１０乃至図１２に示されるように、ベー
スプレート３６の中央部には、上下に一対のブラケット
４０、４２が配設されている。この一対のブラケット４
０、４２内にはベアリング４４が配設されており、これ
らのブラケット４０、４２には、シャフト４６が挿通さ
れている。上方のブラケット４０は、シャフト４６の中
間部を軸支し、下方のブラケット４２はシャフト４６の
下端部を軸支すると共に、シャフト４６の下方移動を阻
止して保持している。

【００９４】このシャフト４６のブラケット４０から上
方に突出した先端部は、ベース板３４に取付けられたモ
ータボックス４８の図示しない駆動軸に連結されてい
る。このモータボックス４８は、内部のモータ４８Ａ
（図１６参照）の回転を減速してシャフト４６へ伝達し
て、シャフト４６を回転駆動するようになっている。

【００９５】このシャフト４６のブラケット４０、４２
の間の外周部には、移動手段を構成する雄ねじが螺刻さ
れた送りネジ部５０が形成されている。この送りネジ部
５０には、第２の移動部材としての送りナット５２が螺
合されている。

【００９６】この送りネジ部５０の中間部は、ヘッドベ
ース３８に取付けられた第１の移動部材としての一対の
ブラケット５４、５６へ挿通され、送りナット５２がブ
ラケット５４、５６の間に位置するように配置されてい
る。この送りナット５２は、下側のブラケット５６との
間に配設された圧縮コイルばね５８の付勢力によって上
側のブラケット５４へ当接されている。また、送りナッ
ト５２は、その外周部がヘッドベース３８の表面に接近
して配置されており、送りネジ部５０回りの回転が阻止
されている（図示省略）。

【００９７】このため、モータボックス４８の作動によ
りシャフト４６の回転に伴って、送りナット５２の送り
ネジ部５０に対する螺合位置が移動する。この送りナッ
ト５２の移動に伴って、送りナット５２に当接している
ブラケット５４と共にヘッドベース３８が上下移動する
ようになっている。ここで、送りナット５２が下方へ移
動しているときにヘッドベース３８の下方移動が停止す
ると、送りナット５２は圧縮コイルばね５８の付勢力に
抗してブラケット５４から離間して下方移動するように
なっている。

【００９８】図１５に示されるように、ヘッドベース３
８には、ブラケット５４と送りネジ５２の当接部分を挟
むように、検出手段として投光部６０と受光部６２とが
配設されている。この投光部６０は、発光ダイオード等
によって受光部６２へ向けて所定の光線を照射するよう
になっており、受光部６２は、受光素子によって投光部
６０からの光線を検出するようになっている。

【００９９】通常、ブラケット５４と送りナット５２が
当接しているために、投光部６０から照射した光線は、
ブラケット５４と送りネジ５２によって遮られている。
ここで、モータボックス４８の作動中に前記した如く、
送りネジ５２がブラケット５４から離間して、ブラケッ
ト５４と送りネジ５２との間に僅かに隙間が生じると、
投光部６０から発した光線がこの僅かな隙間を通過して
受光部６２へ達して検出される。これによって、研磨装
置１０では、ヘッドベース３８の下方移動が停止したこ
とを検知するようになっている。研磨装置１０では、ヘ
ッドベース３８の下方移動が停止したことを検出する
と、瞬時にモータボックス４８内のモータ４８Ａの駆動
を停止して、送りネジ５２の下方移動を停止させるよう
になっている。

【０１００】一方、図１０及び図１１に示すように、シ
ャフト４６の両側には、ガイドシャフト６４がシャフト
４６と平行に配設されている。これらのガイドシャフト
６４は、上端部及び下端部がそれぞれブラケット６６に
支持されており、中間部は、ヘッドベース３８に取付け
られたブラケット６８に摺動可能に挿通されている。ま
た、ブラケット６８と下側のブラケット６８との間に
は、圧縮コイルスプリング７０が配設され、ヘッドベー
ス３８をブラケット６８と下側のブラケット６８との間
で圧縮コイルばね７０を介してベースプレート３６に支
持するようになっている。

【０１０１】すなわち、研磨ヘッド２２は、２本の圧縮
コイルばね７０を介してベースプレート３６に支持さ
れ、前記した送りネジ５２と一対のブラケット５４、５
６の間には、殆ど研磨ヘッド２２の荷重が作用していな
い状態となっており、この状態で送りネジ部５０の回転
駆動によって送りナット５２と共に上下移動する。

【０１０２】図１０乃至図１２に示されるように、ヘッ
ドベース３８の下端部には、ベアリング７２（図１２に
示す）を収容したベアリングケース７４が取付けられて
おり、このベアリング７２には、ベースプレート３６と
反対側の面に突設したシャフト７６が軸支されている。
このシャフト７６には、研磨ローラ７８と研磨ローラ７
８を挟んで一対のガイドローラ８０、８２が配設されて
いる。なお、本実施例では、一例としてガイドローラ８
０、８２を研磨ローラ７８と略同径としている。

【０１０３】シャフト７６は、ベアリング７２に軸支さ
れたシャフト本体７６Ａから、ベアリング７２と反対側
に向けて順に外形寸法が縮径された縮径部７６Ｂ、７６
Ｃ、７６Ｄが形成されており、それぞれの縮径部７６
Ｂ、７６Ｃ、７６Ｄには、ガイドローラ８０、研磨ロー
ラ７８、ガイドローラ８２がベアリング８０Ａ、７８
Ａ、８２Ａを介して回転自在に取付けられている。

【０１０４】図１４に示されるように、シャフト７６
は、シャフト本体７６Ａと研磨ローラ７８が配設されて
いる中間の縮径部７６Ｃが同軸的に形成され、一対のガ
イドローラ８０、８２が配設されている縮径部７６Ｂ、
７６Ｄの軸心がシャフト本体７６Ａ、縮径部７６Ｃの軸
心よりずれて形成されている。すなわち、シャフト７６
の縮径部７６Ｃが本発明の第１の回転軸に相当し、縮径
部７６Ｂ、７６Ｃが第２の回転軸に相当する構成となっ
ており、研磨ローラ７８に対して一対のガイドローラ８
０、８２が同一に偏心して取付けられている。

【０１０５】図１０及び図１１に示されるように、シャ
フト７６には、回転保持手段として回動レバー８４が取
付けられている。この回動レバー８４のシャフト７６へ
の取付けは、回動レバー８４のの一端部にシャフト本体
７６Ａの外形寸法より僅かに大きい内径の貫通孔８４Ａ
を穿設すると共に、回動レバー８４の一端部先端から貫
通孔８４Ａに達する切欠８４Ｂを形成し、シャフト本体
７６Ａを貫通孔８４Ａ内へ挿入して、切欠８４Ｂをかし
める等により貫通孔８４Ａの内径を狭めて、シャフト本
体７６Ａを挟持させて連結している。

【０１０６】このように、シャフト７６は、シャフト本
体７６Ａの外形寸法を大きくし、縮径部７６Ｂ、７６
Ｃ、７６Ｄと順に縮径しているため、シャフト７６をベ
アリング７２に取付けた状態でも、回動レバー８４、ガ
イドローラ８０、研磨ローラ７８、ガイドローラ８０を
順に挿入して容易に取付け可能となっている。

【０１０７】この回動レバー８４はヘッドベース３８の
表面に沿ってシャフト７６と共に回動するように配設さ
れており、このシャフト７６の回転に伴ってガイドロー
ラ８０、８２の偏心した軸心位置が回動するようになっ
ている。

【０１０８】回動レバー８４には、シャフト本体７６Ａ
と反対側の端部にシャフト本体７６Ａの軸心を中心にし
た円弧に沿って長孔８６が配設されている。また、ヘッ
ドベース３８には、シャフト本体７６Ａの軸心を中心に
した円弧状に所定間隔で複数のネジ孔８８が穿設されて
いる。回動レバー８４は、蝶ネジ９０を長孔８６に挿入
して複数のネジ孔８８の何れかに螺合することによっ
て、所定範囲の任意の位置へ回動させてシャフト７６を
固定することができるようになっている。これによっ
て、ガイドローラ８０、８２のシャフト本体７６Ａの軸
心に対して偏心した軸心の位置を調節して固定可能とな
っている。

【０１０９】図１４に示されるように、回動レバー８４
によってシャフト７６を回動させることによって、研磨
ローラ７８が配置された縮径部７６Ｃの軸心に対してガ
イドローラ８０、８２が配置された縮径部７６Ｂ、７６
Ｄの軸心が一体で相対回転するため、ガイドローラ８
０、８２が研磨ローラ７８に対して同時に上下移動可能
となっている。これによって、ガイドローラ８０、８２
の下端（図１４に示す紙面下側の先端）と研磨ローラ７
８の下端との間に所定の段差量Ｆを形成することができ
る。この段差量Ｆを研磨テープ２８の肉厚（約３０μｍ
程度）とカラーフィルタ１２４の表面上の突出部の許容
範囲（約３〜４μｍ）の和に設定している。

【０１１０】研磨ローラ７８とガイドローラ８０、８２
の間に所定の段差量Ｆを設けることにより、研磨ヘッド
２２を下降させてガイドローラ８０、８２がカラーフィ
ルタ１２４の表面に当接させたときに、研磨ローラ７８
に巻き掛けられた研磨テープ２８とカラーフィルタ１２
４の表面の隙間を一定の許容範囲に保つことができるよ
うになっている。なお、この段差量Ｆは、回動レバー８
４の回動中心とガイドローラ８０、８２の軸心のずれに
よって予め設定可能であるため、ベースプレート３８の
複数のネジ孔８８近傍に回転レバー８４の位置に対する
段差量Ｆの目安となる目盛りを印すようにしてもよい。

【０１１１】図１０及び図１１に示されるように、ガイ
ドローラ８０、８２の外周部には、所定の範囲で溝状に
切欠９２が形成されている。これらの切欠９２には、ヘ
ッドベース３８の中央上部に取付けられたストッパー９
４から突設された爪部９４Ａが入り込んでおり、この爪
部９４Ａによってガイドローラ８０、８２の回動範囲が
規制されている。また、ガイドローラ８０、８２の内部
には、重り９６が配設されている（図１１に一方のみ図
示）。この重り９６はガイドローラ８０、８２のカラー
フィルタ１２４に接触したときの回転を妨げることのな
い適度な回転モーメントをガイドローラ８０、８２に付
与するものである。

【０１１２】ガイドローラ８０、８２は、検査・研磨台
１６の移動に伴って回動した後、研磨ヘッド２２が上昇
し検査・研磨台１６から離間したときに、この重り９６
によって回動してストッパー９４に制限された所定位置
に戻るようになっている。

【０１１３】以下に、第２実施例の作用を図１７のフロ
ーチャートに従い説明する。検査・研磨装置１０では、
カラーフィルタの検査及び研磨作業に先立って、研磨ユ
ニット２４に研磨テープ２８を装着する。このとき、研
磨テープ２８の肉厚とカラーフィルタ１２４の仕上がり
を考慮して、回動レバー８４により、研磨ローラ７８と
ガイドローラ８０、８２の間の段差量Ｆを調節する。研
磨テープ２８は同一のロールでは、肉厚が略一定となっ
ているが、ロールが異なった場合には、肉厚が大きくこ
となる（例えば最大差約１２μｍ程度）。このため、新
たな研磨テープ２８のロールを研磨ユニット２４に装着
するときには、研磨テープ２８の肉厚に合わせて研磨ロ
ーラ７８とガイドローラ８０、８２の間の段差量Ｆを調
整する必要がある。このとき、研磨ローラ７８の回転軸
（縮径部７６Ｃ）に対して偏心して配置したガイドロー
ラ８０、８２の回転軸（縮径部７６Ｂ、７６Ｄ）を回転
させることによって、容易にかつ正確に段差量Ｆを調節
することができる。

【０１１４】上記調節の終了後、ステップ３００では、
各部の初期設定を行い、ステップ３０２へ移行して表面
検査ユニット１００による突起部１２４Ａの有無の検査
の開始を指示してステップ３０４へ移行する。なお、こ
の検査の詳細は、第１実施例と同様であるので省略する
（図６参照）。なお、この表面検査が開始されると、表
面検査ユニット１００は独立したシーケンス制御によっ
て検査を継続する。

【０１１５】検査作業が開始されて所定時間が経過する
と（検査・研磨台１６の移動方向先端が研磨ユニット２
４の位置まで移動すると）、ステップ３０４からステッ
プ３０６へ移行して、制御装置２５０からの位置情報を
読出し、ステップ３０８では、この読み出された位置情
報に基づいて、まずモータ２６４が駆動され、駆動シャ
フト２５８を回転させて研磨ヘッド２４のＸ方向の位置
を決める。次に、ステップ３１０では検査・研磨台１６
がフィラー１５８による突起部１２４Ａの検出位置と研
磨位置とのオフセット量分移動したか否かを判断し、肯
定判定された時点でステップ３１２へ移行して検査・研
磨台１６を一時的に停止させる。

【０１１６】次のステップ３１４では、モータボックス
４８の内部のモータ４８Ａが駆動して、シャフト４６と
共に送りネジ部５０を回転させて、送りナット５２を下
方へ移動させて研磨ヘッド２２を降下させる。このと
き、研磨ヘッド２２の荷重は、圧縮コイルばね７０を介
してガイドシャフト６４のブラケット６６に作用してお
り、送りネジ５２とブラケット５４、５６の間には、圧
縮コイルばね５８の付勢力のみが作用した状態となって
いるため、送りナット５２は円滑に移動する。

【０１１７】研磨ヘッド２２が下方移動して、ガイドロ
ーラ８０、８２が検査・研磨台１６に載置したカラーフ
ィルタ１２４に接触すると、研磨ヘッド２２の下方移動
が停止する。このとき、送りネジ部５０が回転駆動して
いるために、送りナット５２は下方移動し、圧縮コイル
ばね５８の付勢力に抗して上方のブラケット５４から離
間する。この送りネジ５２とブラケット５４の離間に伴
って、ブラケット５４の近傍に配置した投光部６０から
照射された光線が、送りナット５２とブラケット５４の
間の僅かな隙間を通過して受光部６２に達する。

【０１１８】このようにして受光部６２が投光部６０か
らの光線を検出すると（ステップ３１６）、瞬時にモー
タボックス４８の駆動が停止し、送りナット５２の下方
移動を停止させる（ステップ３１８）。このとき、送り
ナット５２とブラケット５６の間に作用する圧縮コイル
ばね５８の付勢力によってガイドローラ８０、８２がカ
ラーフィルタ１２４を押圧するが、この力は極めて小さ
い（本実施例では一例として１００ｇ以下）ため、カラ
ーフィルタ１２４を傷めることがない。また、ガイドロ
ーラ８０、８２がカラーフィルタ１２４の表面に当接
し、研磨ローラ７８との間に形成した段差量Ｆによっ
て、研磨ローラ７８に巻き掛けられている研磨テープ２
８の表面とカラーフィルタ１２４の表面との間に一定の
間隔が保持される（本実施例では約３〜４μｍ程度）。

【０１１９】なお、検出手段の構成は光電式の投光部６
０と受光部６２に限らず、例えば、ブラケット５４と送
りナット５２の間に一対の電極を配置したものなど種々
の構成を適用することができる。また、送りナット５２
に微小な貫通孔を設けて、投光部６０から照射して貫通
孔を通過した光を受光部６２で受光するようにし、送り
ナット５２が研磨ヘッド２２に対して相対移動して貫通
孔の位置がずれて受光部６２への光が遮られたときに、
研磨ヘッド２２が検査・研磨台１６上の所定の位置に達
したことを検知するようにしてもよく、種々の適用が可
能である。

【０１２０】研磨装置１０では、研磨ヘッド２２の下方
移動が停止すると（ステップ３１８）、研磨テープ２８
に所定の張力を付与した状態で、研磨テープ２８をテー
プロール３０から引出しながら巻取ローラ３２に所定量
（本実施例では約１０〜１５ｍｍ程度) 巻き取り、研磨
テープ２８をカラーフィルタ１２４の表面を走行させる
（ステップ３２０）。これと共に、研磨装置１０では、
検査・研磨台１６の上部を研磨テープ２８の走行方向と
は反対方向へ移動させる。これによって、研磨テープ２
８がカラーフィルタ１２４の表面の所定領域を走行し
て、カラーフィルタ１２４の表面の大きな突出物等を所
定の大きさまで研磨する。このとき、検査・研磨台１６
の移動に伴ってカラーフィルタ１２４に接触しているガ
イドローラ８０、８２が回転し、カラーフィルタ１２４
の表面を傷めることがない。

【０１２１】研磨テープ２８のカラーフィルタ１２４の
表面の走行及び検査・研磨台１６の移動が終了すると
（ステップ３２２での肯定判定）、ステップ３２４で研
磨テーム２８の走行を停止させ、次いでステップ３２６
でモータボックス４８を駆動させて、研磨ヘッド２２を
所定の高さまで上昇させて停止させる。この研磨ヘッド
２２の上昇に伴って、ガイドローラ８０、８２は、カラ
ーフィルタ１２４の表面から離間すると、重り９６によ
って回転して、ストッパー９４によって制限された所定
の位置に戻る。これによって、ガイドローラ８０、８２
は、カラーフィルタ１２４の研磨を開始するときに同一
の位置が接触し、ガイドローラ８０、８２の回転によっ
て研磨ローラ７８との間の段差量Ｆが変化するのを防止
することができ、同一の精度で次に指定された位置情報
に基づいて、繰り返し正確な研磨作業を行うことができ
る。すなわち、次のステップ３２６においてメモリ上に
位置情報が存在するか否かを判断し、肯定判定された場
合はステップ３０６へ移行して、上記工程を繰り返す。

【０１２２】また、ステップ３２６で否定判定された場
合は、検査時に検出された全ての突起部１２４Ａの研磨
作業が終了したと判断され、処理は終了する。

【０１２３】このように、第２実施例では、突起部１２
４Ａの検査（検出）から研磨作業までを自動化したた
め、オペレータが何ら手を加える必要がなく、精度よく
かつ確実に研磨作業を行うことができる。

【０１２４】また、本実施例に適用した研磨ユニット２
４は、研磨テープ２８の肉厚が異なっても調整が容易で
あり、また、同様に研磨量も簡単に調整することができ
る。研磨装置１０の研磨精度に大きく影響する研磨ロー
ラ７８、ガイドローラ８０、８２及びシャフト７６はそ
れぞれ、高い精度の加工品を容易に得ることができると
共に、それぞれをベアリング８０Ａ、８０Ｂ、８０Ｃ及
びベアリング７２によって連結しているため、極めて高
い回転精度を容易に得ることができ、精度の高い研磨装
置１０を提供することができる。

【０１２５】また、カラーフィルタ１２４を研磨すると
きに、カラーフィルタ１２４に作用する荷重を小さいし
ているため、カラーフィルタ１２４の表面を傷めること
がない。

【０１２６】なお、本実施例では、研磨ローラ７８に対
して、この研磨ローラ７８を挟むように対で配置したガ
イドローラ８０、８２をシャフト７６によって偏心させ
たが、ガイドローラ８０、８２は、少なくとも一方を備
えたものであってもよく、また、別々に回転自在に配置
した回転軸を偏心させたものでもよい。

【０１２７】さらに本発明の研磨装置は、カラーフィル
タ１２４に限らず、平面の加工精度を必要とする、電子
回路や高周波回路の基板等を被研磨部材としてこれらの
表面を研磨する研磨装置に適用することが可能である。

【０１２８】

【発明の効果】以上説明した如く本発明の被研磨部材の
表面検出装置では、カラーフィルタ等の被研磨部材の表
面を研磨して突出物等を正確にかつ簡単に検出すること
ができるという優れた効果を有する。被研磨部材の表面
検出装置を得ることが目的である。

【０１２９】また、上記効果に加え、接触子製造方法
は、被研磨部材の表面を検出接触子を精度良く量産する
ことができるという効果を有する。

【０１３０】さらに、上記効果に加え、自動検査研磨装
置は、簡単な構成で被研磨部材の表面の検出から研磨ま
でを自動的に行うことができるという優れた効果を有す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例に係る表面検査装置の正面図であ
る。

【図２】第１実施例に係る検査装置ユニットの分解斜視
図である。

【図３】第１実施例に係り、（Ａ）はフィラーの通常状
態、（Ｂ）は突起部との干渉状態を示す図１の３−３線
断面図である。

【図４】第１実施例に係る制御ブロック図である。

【図５】フィラー単体の斜視図である。

【図６】第１実施例に係る制御フローチャートである。

【図７】フィラーの製造する際に適用される治具の斜視
図である。

【図８】フィラーを製造する際に適用される治具の正面
図である。

【図９】第２実施例に係る自動検査研磨装置を示す斜視
図でる。

【図１０】第２実施例に係る研磨ヘッドの概略構成を示
す分解斜視図である。

【図１１】第２実施例に係る研磨ヘッドの概略側面図で
ある。

【図１２】図１１の１２−１２線に沿った研磨ヘッドの
要部断面図である。

【図１３】図１１の１３−１３線に沿った研磨ヘッドの
要部断面図である。

【図１４】第２実施例に係る研磨ヘッドの装置前面側か
ら見た要部拡大図である。

【図１５】第２実施例に係るヘッドベースをベースプレ
ート側から見た要部側面図である。

【図１６】第２実施例に係る制御ブロック図である。

【図１７】第２実施例に係る制御フローチャートであ
る。

【符号の説明】

１０ 自動検査研磨装置 １６ 検査・研磨台 ２２ 研磨ヘッド ２８ 研磨テープ ７６ シャフト ７６Ｂ、７６Ｄ 縮径部 ７６Ｃ 縮径部 ７８ 研磨ローラ １００ 表面検査装置 １０６ 移動テーブル １２４ カラーフィルタ １２４Ａ 突起部 １５２ 検査ベース １５８ フィラー（接触子） １６０ 光電センサ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被研磨部材の表面を検出することによっ
   て、後工程において研磨する必要のある突起部の有無及
   びその位置を判別する被研磨部材の表面検出装置であっ
   て、 ベース上を移動する移動テーブルと、 前記移動テーブルの上方に配置され前記移動テーブルの
   移動方向と直交する方向に延設された検査ベースと、 前記検査ベースに設けられた貫通孔を跨ぐ肩部の下端面
   を中心に回転可能に支持されると共に、前記肩部から延
   設され前記貫通孔を貫通する舌部の先端が前記被研磨部
   材の表面に対して所定の隙間を設けて配置され、通常は
   釣合い状態で維持される前記検査ベースの長手方向に沿
   って複数個設けられた接触子と、 前記接触子毎に設けられ、前記接触子が釣り合った通常
   状態、及び前記移動テーブルの移動に伴って被研磨部材
   が移動され前記突起部が前記接触子に接触した時に前記
   肩部の下端面を中心に回転する傾斜状態で接点が切り換
   わるセンサと、 前記センサからの出力信号及び移動テーブルの移動量に
   基づいて突起部の有無並びに位置を判別する判別手段
   と、 を有する被研磨部材の表面検出装置。
2. 【請求項２】 前記検査ベースには前記移動ベースに支
   持される支持ローラが取付けられ、この支持ローラの最
   下位置と前記接触子の下端位置との間を所定の隙間に設
   定することによって、前記接触子を被研磨部材に対して
   所定の隙間を設けていることを特徴とする請求項１記載
   の被研磨部材の表面検出装置。
3. 【請求項３】 前記検査ベースは前記ベースに対して付
   勢手段を介して支持されており、この付勢手段の付勢力
   に相当する荷重が前記支持ローラから移動テーブルへ伝
   わる荷重を軽減していることを特徴とする請求項２記載
   の被研磨部材の表面検出装置。
4. 【請求項４】 前記接触子は前記検査ベースの長手方向
   に沿って２列以上配列されており、前記移動テーブルの
   移動に伴う突起部検出時に各列間で同一箇所を検出する
   領域を形成していることを特徴とする請求項１乃至請求
   項３の何れか１項記載の被研磨部材の表面検出装置。
5. 【請求項５】 前記同一箇所の検出する領域を前記突起
   部が通過し、２個の接触子で前記突起部を検出した場合
   には、後工程の研磨位置をこの接触子の間に位置決めす
   ることを特徴とする請求項４記載の被研磨部材の表面検
   出装置。
6. 【請求項６】 前記請求項１乃至請求項５の何れか１項
   記載の被研磨部材の表面検出装置に適用される接触子製
   造方法であって、 前記舌部の下端部を切削加工によって削り取る際に、 少なくとも１台の表面検出装置に用いる複数の接触子を
   １単位として束ねた状態で固定し、 前記肩部の下端面から前記舌部の下端面までの寸法が束
   ねられた接触子間で一致するように同時に加工すること
   を特徴とした接触子製造方法。
7. 【請求項７】 被研磨部材の表面を検出することによっ
   て、突起部の有無及びその位置を判別し、この判別され
   た突起部を研磨部材によって研磨するための自動検査研
   磨装置であって、 ベース上を移動する移動テーブルと、 前記移動テーブルの上方に配置され前記移動テーブルの
   移動方向と直交する方向に延設された検査ベースと、 前記検査ベースに設けられた貫通孔を跨ぐ肩部の下端面
   を中心に回転可能に支持されると共に、前記肩部から延
   設され前記貫通孔を貫通する舌部の先端が前記被研磨部
   材の表面に対して所定の隙間を設けて配置され、通常は
   釣合い状態で維持される前記検査ベースの長手方向に沿
   って複数個設けられた接触子と、 前記接触子毎に設けられ、前記接触子が釣り合った通常
   状態、及び前記移動テーブルの移動に伴って被研磨部材
   が移動され前記突起部が前記接触子に接触した時に前記
   肩部の下端面を中心に回転する傾斜状態で接点が切り換
   わるセンサと、 前記センサからの出力信号及び移動テーブルの移動量に
   基づいて突起部の有無並びに位置を判別する判別手段
   と、 前記突起部を研磨するための研磨ローラと、この研磨ロ
   ーラを被研磨部材の表面に対して所定の隙間を設けて支
   持するための支持部材と、前記突起部の研磨時に前記研
   磨ローラを前記被研磨部材に対して接離する方向に移動
   させる昇降手段と、で構成され、前記検査ベースに対し
   て移動テーブルの移動方向にオフセットして配設され、
   かつ移動テーブルと直交する方向に移動可能に支持され
   た研磨ユニットと、 前記研磨ユニットを前記移動テーブルと直交する方向に
   移動させる移動手段と、 前記判別手段で判別された位置情報に基づいて前記移動
   手段を制御して研磨ユニットの移動テーブルの移動方向
   と直交する方向の位置を決める位置決め手段と、 前記接触子による突起部検出時の移動テーブルの移動量
   と、前記接触子の検出位置と研磨ユニットの研磨位置と
   のオフセット量と、に基づいて前記昇降手段を制御して
   前記研磨ユニットを下降させて研磨を実行させる制御手
   段と、 を有する自動検査研磨装置。