JPH07108450A

JPH07108450A - 研磨装置

Info

Publication number: JPH07108450A
Application number: JP3591994A
Authority: JP
Inventors: Shigemitsu Mizutani; 重光水谷
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 1993-08-20
Filing date: 1994-03-07
Publication date: 1995-04-25

Abstract

(57)【要約】【目的】被研磨部材の表面を研磨部材によって正確に
研磨する。【構成】研磨装置の研磨ヘッド２２には、ヘッドベー
ス３８の下端部にベアリング７２に軸支されたシャフト
７６が配置されている。このシャフトは、シャフト本体
７６Ａと縮径部７６Ｃ同軸に形成され、縮径部７６Ｂ、
７６Ｄが同軸に形成され、かつ縮径部７６Ｂに対して縮
径部７６Ｂ、７６Ｃが偏心している。それぞれの縮径部
にガイドローラ８０、研磨ローラ７８、ガイドローラ８
２が配置され、研磨ローラには、研磨台１６に載置した
カラーフィルタ１２の表面を研磨する研磨テープ２８が
巻き掛けられている。ガイドローラは、シャフトを回動
させて研磨ローラとの間の段差量Ｆを調節することによ
り、ガイドローラをカラーフィルタに当接させたときの
研磨テープとカラーフィルタの間の間隔を変えて一定に
保つことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、被研磨部材の表面を研
磨して突出物等を除去する研磨装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】電気信号に変換された画像を表示するた
めのディスプレイ装置として、液晶ディスプレイ（Liqu
id Crystal Display、以下「ＬＣＤ」と言う）が普及し
ている。ＬＣＤは、例えば液晶の表面側に偏光膜を設け
て、液晶を透過した光が偏光膜を透過するか否かによっ
て偏光膜状に明暗を形成するようになっている。

【０００３】このＬＣＤには、例えば、緑、青、赤の微
小な各色成分をモザイク状に配置したカラーフィルタを
液晶と偏光膜との間に配置し、偏光膜を透過する光に各
色の成分を持たせるようにして、カラー画像を表示する
ようにしたものがある。

【０００４】ところで、カラーフィルタの表面に突起物
や異物等が付着し、偏光膜とカラーフィルタの間にこの
突出物や異物等によって隙間が生じてしまった場合、偏
光膜によて不要な光を遮ることができなくなってしま
い、明瞭な画像を表示することができなくなってしま
う。このため、カラーＬＣＤに用いられるカラーフィル
タには、表面に微小な突出物や異物が存在しないように
しなければならない。

【０００５】一般にカラーＬＣＤに用いられるカラーフ
ィルタの表面の突出物の許容範囲は約４μｍ以下とされ
ており、これより大きい突出物や異物をカラーフィルタ
の表面から除去する必要がある。このとき、カラーフィ
ルタの表面が軟らかいため、不要に外力を加えないよう
に細心の注意を払う必要があり、正確かつ確実に作業を
行う必要がある。

【０００６】このようなカラーフィルタの表面を自動的
に研磨する装置としては、レーザ測長器等によってカラ
ーフィルタの表面を測定し、突出物の位置及び高さを演
算した後、その演算結果に基づいて自動的に突出物が所
定の大きさ以下となるように研磨部材によって研磨する
ようにしたものがある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな自動化された研磨装置は、精密で構造が複雑であり
非常に高価なものとなっている。このため、カラーフィ
ルタの表面を研磨する作業は、従来通り作業員が目視に
よってカラーフィルタの表面に大きな突出物や異物が無
いかを検査し、大きな突出物や異物があったときには、
研磨粒子を添加した研磨テープ等の研磨部材を用いて手
作業で少しづつ研磨して除去する方法が一般に用いられ
ており、細心の注意を必要とする作業となっている。

【０００８】本発明は上記事実を考慮してなされたもの
であり、カラーフィルタ等の被研磨部材の表面を研磨し
て突出物等を正確にかつ簡単に除去することのできる研
磨装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
研磨装置は、研磨台の所定の位置に載置した被研磨部材
の表面に対して研磨部材を相対移動させながら被研磨部
材の表面を研磨する研磨装置であって、外周部の少なく
とも前記研磨台側の面に前記研磨部材が配置され第１の
回転軸を中心に回転可能とされかつ研磨台に対して接離
する方向に相対移動可能とされた研磨ローラと、前記第
１の回転軸に対し偏心して設けられた第２の回転軸を中
心に回転自在に設けられたガイドローラと、前記第１の
回転軸及び前記第２の回転軸の一方を他方を中心に回転
させて所定位置で保持する回転保持手段と、を有するこ
とを特徴とする研磨装置。

【００１０】本発明の請求項２に係る研磨装置は、請求
項１の研磨装置であって、前記ガイドローラは、重心が
前記第２の回転軸から離れた位置に存在していることを
特徴とする。

【００１１】本発明の請求項３に係る研磨装置は、請求
項１の研磨装置であって、前記ガイドローラと前記研磨
台とを接離する方向へ相対移動させる移動手段と、前記
ガイドローラ及び前記研磨台の何れか一方と共にに移動
する第１の移動部材と、前記ガイドローラと前記研磨台
との相対移動時に前記第１の移動部材に当接して第１の
移動部材と共に移動し且つガイドローラと研磨台との相
対移動が停止したときに第１の移動部材から離間して移
動する第２の移動部材と、前記第２の移動部材が前記第
１の移動部材から移動したことを検出する検出手段と、
を有することを特徴とする。

【００１２】本発明の請求項４に係る研磨装置は、請求
項１の研磨装置であって、前記被研磨部材の研磨台側の
面に光を照射する照射手段を備えたことを特徴とする。

【００１３】本発明の請求項５に係る研磨装置は、請求
項１の研磨装置であって、前記被研磨部材を載置する研
磨台の表面に負圧供給手段から供給される負圧によって
被研磨部材を吸着して保持する吸着保持手段を備えたこ
とを特徴とする。

【００１４】本発明の請求項６に係る研磨装置は、請求
項１の研磨装置であって、前記被研磨部材を載置する研
磨台の表面の前記研磨ローラに対向する位置近傍に被研
磨部材の取出し用の溝を形成していることを特徴とす
る。

【００１５】本発明の請求項７に係る研磨装置は、請求
項６の研磨装置であって、前記溝として前記研磨ローラ
に対向する位置を挟むか又は互いに直交し、前記研磨ロ
ーラと対向する位置の近傍で交差することを特徴とす
る。

【００１６】本発明の請求項８に係る研磨装置は、請求
項１の研磨装置であって、前記研磨部材と前記被研磨部
材を一方向へ相対移動させて第１の研磨を行なった後、
前記被研磨部材と前記研磨部材の相対移動方向と直交す
る方向へ前記研磨部材に対して前記被研磨部材を所定位
置まで相対移動させて、前記一方向と反対方向へ前記研
磨部材に対して前記被研磨部材を相対移動させて第２の
研磨を行なうことを特徴とする。

【００１７】

【作用】本発明の請求項１に記載の研磨装置では、研磨
部材を配置した研磨ローラにガイドローラを設けて、ガ
イドローラを被研磨部材の表面に接触させた状態で、研
磨部材と被研磨部材を相対移動させて被研磨部材の表面
を研磨する。

【００１８】研磨ローラが設けられた第１の回転軸に対
してガイドローラを設けた第２の回転軸を偏心して設け
ており、回転保持手段によって研磨ローラとガイドロー
ラの間に所定の段差を容易に形成することができ、これ
によって、研磨部材と被研磨部材の間隔を一定に保持す
ることができ、被研磨部材の表面を一定の状態となるよ
うに研磨することができる。

【００１９】本発明では、研磨ローラとガイドローラと
を偏心して配置できればよく、第１の回転軸と第２の回
転軸は一体に連結されていてもよく、また、互いに回転
可能に連結されたものであってもよい。さらに、研磨部
材と被研磨部材の間の相対移動は、研磨ローラを回転さ
せながら研磨台を移動させるようにしてもよい。

【００２０】本発明の請求項２に記載の研磨装置では、
ガイドローラの重心を第２の回転軸から離しており、ガ
イドローラが被研磨部材の表面から離れることによっ
て、ガイドローラの所定の状態に回転させることができ
る。これによって、ガイドローラの一定の位置を被研磨
部材の表面に接触させて、被研磨部材の研磨を行うこと
ができ、ガイドローラと研磨ローラの間の段差の変化を
無くして精度の高い研磨作業を行うことができる。

【００２１】本発明の請求項３に記載の研磨装置では、
移動手段によって研磨ローラ、ガイドローラと共に第１
の移動部材を被研磨部材に接近させて、ガイドローラを
被研磨部材に接触させる。このとき、第２の移動部材は
第１の移動部材と当接して移動し、ガイドローラが被研
磨部材に接触してガイドローラと共に第１の移動部材の
移動が停止すると、第２の移動部材が第１の移動部材か
ら離れて移動する。この第２の移動部材が第１の移動部
材から離れたことを検出手段によって検出している。

【００２２】これによって、ガイドローラが被研磨部材
に接触し研磨ローラに設けた研磨部材によって被研磨部
材を研磨可能な状態となったことを間接的にかつ容易に
検出することができる。

【００２３】本発明の請求項４に記載の研磨装置では、
照射手段によって研磨台に光を照射するようにしてい
る。この照射手段によって研磨ローラに対向する研磨台
の表面に光を照射するようにすれば、研磨台上に被研磨
部材を載置するときに、研磨する部分を研磨部材に容易
にかつ確実に対向させることができる。

【００２４】この照射手段は、例えばカラーフィルタ等
の透光性の部材を研磨するときに、研磨台から照射した
光が被研磨部材を透過して、研磨作業を行う部分を容易
に確認することができるようにしてもよく、これによっ
て、研磨が終了した後の研磨部分の検査が容易である。

【００２５】本発明の請求項５に記載の研磨装置では、
負圧供給手段によって被研磨部材を研磨台に吸着保持し
ている。これによって、研磨台上に被研磨部材を確実に
保持して研磨ローラを相対移動させて研磨部材によって
研磨するときに、被研磨部材がずれるのを防止すること
ができ、被研磨部材を正確に研磨することができる。

【００２６】なお、吸着保持手段によって被研磨部材を
吸着保持するときには、研磨部材と接触する位置の近傍
の狭い領域であることがより好ましい。

【００２７】本発明の請求項６に記載の研磨装置では、
研磨台に被研磨部材の取出し用の溝を形成しており、例
えば、この溝に指先を挿入して被研磨部材の周縁の一部
を持ち上げるようにして、被研磨部材を研磨台上を滑ら
してしまって傷めることなく簡単に取り出すことができ
る。

【００２８】本発明の請求項７に記載の研磨装置では、
研磨ローラと対向する位置の近傍で交差するように溝を
形成している。これによって、被研磨部材の大きさにか
かわらず、また、被研磨部材の研磨する位置にかかわら
ず、容易に研磨の終了した被研磨部材を研磨台上から取
り出すことができるようにしている。

【００２９】本発明の請求項８に記載の研磨装置では、
第１の研磨と第２の研磨を研磨部材の同一の領域で反対
方向へ相対移動させながら行なう。また、第１の研磨と
第２の研磨では、相対移動方向と直交する方向に被研磨
部材を相対移動させて、第１の研磨で被研磨部材の突起
物に接触した部分が第２の研磨のときに接触しないよう
にしている。

【００３０】第１の研磨と第２の研磨で往復させること
により、より確実に研磨を行なうことができ、第１の研
磨と第２の研磨の間で被研磨部材を相対移動させること
により、研磨部材の一定の領域を有効に利用して研磨を
行なうことができる。

【００３１】

【実施例】

〔実施例１〕図１には、本実施例に適用した研磨装置１
０を示している。まず、研磨装置１０の概略を説明す
る。

【００３２】研磨装置１０は、基台１４の上面に研磨台
１６、操作パネル１８及びアーム２０が配設されてい
る。アーム２０は中間部が屈曲されて先端部が研磨台１
６の上方に位置されており、このアーム２０の先端部に
は、研磨台１６の上方の所定の位置に対向された研磨ヘ
ッド２２を備えた研磨ユニット２４が設けられている。
また、研磨装置１０には、基台１４が下部の複数の脚２
６によって支持されると共に、この脚２６によって基台
１４及び研磨台１６の上面が水平となるように調節可能
となっている。なお、以下に説明する各図には、矢印Ｘ
方向として装置左右方向、矢印Ｙ方向として装置前後方
向、矢印Ｚ方向として装置の上下方向をそれぞれ示して
おり、図１には、装置の前面側（操作面側）を紙面手前
側に示している。

【００３３】研磨ユニット２４には、研磨部材である研
磨テープ２８をロール状に巻き取ったテープロール３０
が配設されており、テープロール３０から引き出された
研磨テープ２８の中間部が後述する研磨ヘッド２２の研
磨ローラ７８に巻掛けられ、先端部が巻取ロール３２に
巻付けられている。巻取ロール３２及びテープロール３
０の間には、図示しないテープ巻取手段が設けられてお
り、研磨テープ２８をテープロール３０から一定量づつ
引出しながら、巻取ロール３２へ巻き取る構成となって
いる。なお、研磨テープ２８は、肉厚が約３０μｍ（±
約６μｍ）であり、それぞれのロールによって肉厚は異
なるが、同一のロールでは一定の肉厚で仕上げられてお
り、微細な研磨粒子が調合されている。

【００３４】本実施例に適用した研磨装置１０では、こ
の研磨テープ２８によってカラーフィルタ１２の表面か
ら約３〜４μｍ以上の突出物や異物を除去するようにし
ており、予め目視等によってカラーフィルタ１２の表面
に約３〜４μｍ以上の突出物や異物を検査して、これら
が確認された箇所を不良箇所１２Ａとして目印した後
に、研磨台１６の所定位置に載置して研磨作業が行われ
る。

【００３５】また、図４にも示されるように、カラーフ
ィルタ１２を載置する研磨台１６には、研磨ヘッド２２
に巻掛けた研磨テープ２８に対向する位置に透光部材９
８が埋め込まれており、照射手段として研磨台１６の内
部に配置した光源９８Ａ（図４に示す）から照射した光
を透過するようになっている。この透光部材９８上にカ
ラーフィルタ１２の不良箇所１２Ａを配置させて、カラ
ーフィルタ１２を研磨するときに不良箇所１２Ａが明確
に判別できるようにしている。

【００３６】また、研磨台１６は基台１４との間に設け
られた図示しない移動手段によって、基台１４上を移動
可能（図１の矢印Ｘ方向及びＹ方向）となっており、研
磨テープ２８によってカラーフィルタ１２の所定の位置
（不良箇所１２Ａ）を研磨するときに、研磨テープ２８
の走行方向と反対方向（本実施例では矢印Ｙ方向手前
側）へ所定量移動して、研磨テープ２８によってカラー
フィルタ１２の所定範囲（研磨テープ２８の幅寸法と研
磨台１６の移動量による範囲）を研磨するようにしてい
る。

【００３７】ここで、研磨ユニット２４に配置した研磨
ヘッド２２について、図１乃至図７を用いて詳細に説明
する。

【００３８】図１に示されるように、研磨ユニット２４
は、アーム２０に連結されて支持されたベース板３４が
その表面を装置上下方向及び前後方向に沿うように配置
されている。このベース板３４には、前記したテープロ
ール３０、巻取ロール３２及びテープロール３０と巻取
ロール３２との間の研磨テープ２８の中間部が巻き掛け
られる複数のローラが取付けられている。これらの複数
のローラは、研磨テープ２８が巻取ロール３２に巻取ら
れるときに研磨テープ２８に一定の張力を付与するよう
に、例えば外形寸法を少しづつ変えられているか、研磨
テープ２８に張力を付与する方向へ付勢されている。

【００３９】なお、テープロール３０と巻取ロール３２
の間には、一体で覆う図示しないカバーが取付けられる
ようになっており、このカバーによって、空気中の塵等
が研磨テープ２８に付着するのを防止すると共に、カラ
ーフィルタ１２の表面から除去され研磨テープ２８の表
面に付着した異物等が後に飛散するのを防止するように
している。

【００４０】図２乃至図５に示されるように、研磨ユニ
ット２４のベース板３４の中央部には、下部に切欠３４
Ａが形成されており、この切欠３４Ａの奥側（アーム２
０側）には、ベースプレート３６がベース板３４と平行
となるようにスペーサ３５を介して取付けられている。
また、ベースプレート３６に対向して、切欠３４Ａ内に
研磨ヘッド２２を構成するヘッドベース３８がベースプ
レート３６に対して平行に上下移動可能に配設されてい
る。

【００４１】図２乃至図４に示されるように、ベースプ
レート３６の中央部には、上下に一対のブラケット４
０、４２が配設されている。この一対のブラケット４
０、４２内にはベアリング４４が配設されており、これ
らのブラケット４０、４２には、シャフト４６が挿通さ
れている。上方のブラケット４０は、シャフト４６の中
間部を軸支し、下方のブラケット４２はシャフト４６の
下端部を軸支すると共に、シャフト４６の下方移動を阻
止して保持している。

【００４２】このシャフト４６のブラケット４０から上
方に突出した先端部は、ベース板３４に取付けられたモ
ータボックス４８の図示しない駆動軸に連結されてい
る。このモータボックス４８は、内部の図示しないモー
タの回転を減速してシャフト４６へ伝達して、シャフト
４６を回転駆動するようになっている。

【００４３】このシャフト４６のブラケット４０、４２
の間の外周部には、移動手段を構成する雄ねじが螺刻さ
れた送りネジ部５０が形成されている。この送りネジ部
５０には、第２の移動部材としての送りナット５２が螺
合されている。

【００４４】この送りネジ部５０の中間部は、ヘッドベ
ース３８に取付けられた第１の移動部材としての一対の
ブラケット５４、５６へ挿通され、送りナット５２がブ
ラケット５４、５６の間に位置するように配置されてい
る。この送りナット５２は、下側のブラケット５６との
間に配設された圧縮コイルばね５８の付勢力によって上
側のブラケット５４へ当接されている。また、送りナッ
ト５２は、その外周部がヘッドベース３８の表面に接近
して配置されており、送りネジ部５０回りの回転が阻止
されている（図示省略）。

【００４５】このため、モータボックス４８の作動によ
りシャフト４６の回転に伴って、送りナット５２の送り
ネジ部５０に対する螺合位置が移動する。この送りナッ
ト５２の移動に伴って、送りナット５２に当接している
ブラケット５４と共にヘッドベース３８が上下移動する
ようになっている。ここで、送りナット５２が下方へ移
動しているときにヘッドベース３８の下方移動が停止す
ると、送りナット５２は圧縮コイルばね５８の付勢力に
抗してブラケット５４から離間して下方移動するように
なっている。

【００４６】図７に示されるように、ヘッドベース３８
には、ブラケット５４と送りネジ５２の当接部分を挟む
ように、検出手段として投光部６０と受光部６２とが配
設されている。この投光部６０は、発光ダイオード等に
よって受光部６２へ向けて所定の光線を照射するように
なっており、受光部６２は、受光素子によって投光部６
０からの光線を検出するようになっている。

【００４７】通常、ブラケット５４と送りナット５２が
当接しているために、投光部６０から照射した光線は、
ブラケット５４と送りネジ５２によって遮られている。
ここで、モータボックス４８の作動中に前記した如く、
送りネジ５２がブラケット５４から離間して、ブラケッ
ト５４と送りネジ５２との間に僅かに隙間が生じると、
投光部６０から発した光線がこの僅かな隙間を通過して
受光部６２へ達して検出される。これによって、研磨装
置１０では、ヘッドベース３８の下方移動が停止したこ
とを検知するようになっている。研磨装置１０では、ヘ
ッドベース３８の下方移動が停止したことを検出する
と、瞬時にモータボックス４８内のモータの駆動を停止
して、送りネジ５２の下方移動を停止させるようになっ
ている。

【００４８】一方、図２及び図３に示すように、シャフ
ト４６の両側には、ガイドシャフト６４がシャフト４６
と平行に配設されている。これらのガイドシャフト６４
は、上端部及び下端部がそれぞれブラケット６６に支持
されており、中間部は、ヘッドベース３８に取付けられ
たブラケット６８に摺動可能に挿通されている。また、
ブラケット６８と下側のブラケット６８との間には、圧
縮コイルスプリング７０が配設され、ヘッドベース３８
をブラケット６８と下側のブラケット６８との間で圧縮
コイルばね７０を介してベースプレート３６に支持する
ようになっている。

【００４９】すなわち、研磨ヘッド２２は、２本の圧縮
コイルばね７０を介してベースプレート３６に支持さ
れ、前記した送りネジ５２と一対のブラケット５４、５
６の間には、殆ど研磨ヘッド２２の荷重が作用していな
い状態となっており、この状態で送りネジ部５０の回転
駆動によって送りナット５２と共に上下移動する。

【００５０】図２乃至図４に示されるように、ヘッドベ
ース３８の下端部には、ベアリング７２（図４に示す）
を収容したベアリングケース７４が取付けられており、
このベアリング７２には、ベースプレート３６と反対側
の面に突設したシャフト７６が軸支されている。このシ
ャフト７６には、研磨ローラ７８と研磨ローラ７８を挟
んで一対のガイドローラ８０、８２が配設されている。
なお、本実施例では、一例としてガイドローラ８０、８
２を研磨ローラ７８と略同径としている。

【００５１】シャフト７６は、ベアリング７２に軸支さ
れたシャフト本体７６Ａから、ベアリング７２と反対側
に向けて順に外形寸法が縮径された縮径部７６Ｂ、７６
Ｃ、７６Ｄが形成されており、それぞれの縮径部７６
Ｂ、７６Ｃ、７６Ｄには、ガイドローラ８０、研磨ロー
ラ７８、ガイドローラ８２がベアリング８０Ａ、７８
Ａ、８２Ａを介して回転自在に取付けられている。

【００５２】図６に示されるように、シャフト７６は、
シャフト本体７６Ａと研磨ローラ７８が配設されている
中間の縮径部７６Ｃが同軸的に形成され、一対のガイド
ローラ８０、８２が配設されている縮径部７６Ｂ、７６
Ｄの軸心がシャフト本体７６Ａ、縮径部７６Ｃの軸心よ
りずれて形成されている。すなわち、シャフト７６の縮
径部７６Ｃが本発明の第１の回転軸に相当し、縮径部７
６Ｂ、７６Ｃが第２の回転軸に相当する構成となってお
り、研磨ローラ７８に対して一対のガイドローラ８０、
８２が同一に偏心して取付けられている。

【００５３】図２及び図３に示されるように、シャフト
７６には、回転保持手段として回動レバー８４が取付け
られている。この回動レバー８４のシャフト７６への取
付けは、回動レバー８４のの一端部にシャフト本体７６
Ａの外形寸法より僅かに大きい内径の貫通孔８４Ａを穿
設すると共に、回動レバー８４の一端部先端から貫通孔
８４Ａに達する切欠８４Ｂを形成し、シャフト本体７６
Ａを貫通孔８４Ａ内へ挿入して、切欠８４Ｂをかしめる
等により貫通孔８４Ａの内径を狭めて、シャフト本体７
６Ａを挟持させて連結している。

【００５４】このように、シャフト７６は、シャフト本
体７６Ａの外形寸法を大きくし、縮径部７６Ｂ、７６
Ｃ、７６Ｄと順に縮径しているため、シャフト７６をベ
アリング７２に取付けた状態でも、回動レバー８４、ガ
イドローラ８０、研磨ローラ７８、ガイドローラ８０を
順に挿入して容易に取付け可能となっている。

【００５５】この回動レバー８４はヘッドベース３８の
表面に沿ってシャフト７６と共に回動するように配設さ
れており、このシャフト７６の回転に伴ってガイドロー
ラ８０、８２の偏心した軸心位置が回動するようになっ
ている。

【００５６】回動レバー８４には、シャフト本体７６Ａ
と反対側の端部にシャフト本体７６Ａの軸心を中心にし
た円弧に沿って長孔８６が配設されている。また、ヘッ
ドベース３８には、シャフト本体７６Ａの軸心を中心に
した円弧状に所定間隔で複数のネジ孔８８が穿設されて
いる。回動レバー８４は、蝶ネジ９０を長孔８６に挿入
して複数のネジ孔８８の何れかに螺合することによっ
て、所定範囲の任意の位置へ回動させてシャフト７６を
固定することができるようになっている。これによっ
て、ガイドローラ８０、８２のシャフト本体７６Ａの軸
心に対して偏心した軸心の位置を調節して固定可能とな
っている。

【００５７】図６に示されるように、回動レバー８４に
よってシャフト７６を回動させることによって、研磨ロ
ーラ７８が配置された縮径部７６Ｃの軸心に対してガイ
ドローラ８０、８２が配置された縮径部７６Ｂ、７６Ｄ
の軸心が一体で相対回転するため、ガイドローラ８０、
８２が研磨ローラ７８に対して同時に上下移動可能とな
っている。これによって、ガイドローラ８０、８２の下
端（図６に示す紙面下側の先端）と研磨ローラ７８の下
端との間に所定の段差量Ｆを形成することができる。こ
の段差量Ｆを研磨テープ２８の肉厚（約３０μｍ程度）
とカラーフィルタ１２の表面上の突出部の許容範囲（約
３〜４μｍ）の和に設定している。

【００５８】研磨ローラ７８とガイドローラ８０、８２
の間に所定の段差量Ｆを設けることにより、研磨ヘッド
２２を下降させてガイドローラ８０、８２がカラーフィ
ルタ１２の表面に当接させたときに、研磨ローラ７８に
巻き掛けられた研磨テープ２８とカラーフィルタ１２の
表面の隙間を一定の許容範囲に保つことができるように
なっている。なお、この段差量Ｆは、回動レバー８４の
回動中心とガイドローラ８０、８２の軸心のずれによっ
て予め設定可能であるため、ベースプレート３８の複数
のネジ孔８８近傍に回転レバー８４の位置に対する段差
量Ｆの目安となる目盛りを印すようにしてもよい。

【００５９】図２及び図３に示されるように、ガイドロ
ーラ８０、８２の外周部には、所定の範囲で溝状に切欠
９２が形成されている。これらの切欠９２には、ヘッド
ベース３８の中央上部に取付けられたストッパー９４か
ら突設された爪部９４Ａが入り込んでおり、この爪部９
４Ａによってガイドローラ８０、８２の回動範囲が規制
されている。また、ガイドローラ８０、８２の内部に
は、重り９６が配設されている（図３に一方のみ図
示）。この重り９６はガイドローラ８０、８２のカラー
フィルタ１２に接触したときの回転を妨げることのない
適度な回転モーメントをガイドローラ８０、８２に付与
するものである。

【００６０】ガイドローラ８０、８２は、研磨台１６の
移動に伴って回動した後、研磨ヘッド２２が上昇し研磨
台１６から離間したときに、この重り９６によって回動
してストッパー９４に制限された所定位置に戻るように
なっている。

【００６１】次に本実施例の作用を説明する。研磨装置
１０では、カラーフィルタの研磨作業に先立って、研磨
ユニット２４に研磨テープ２８を装着する。このとき、
研磨テープ２８の肉厚とカラーフィルタ１２の仕上がり
を考慮して、回動レバー８４により、研磨ローラ７８と
ガイドローラ８０、８２の間の段差量Ｆを調節する。研
磨テープ２８は同一のロールでは、肉厚が略一定となっ
ているが、ロールが異なった場合には、肉厚が大きくこ
となる（例えば最大差約１２μｍ程度）。このため、新
たな研磨テープ２８のロールを研磨ユニット２４に装着
するときには、研磨テープ２８の肉厚に合わせて研磨ロ
ーラ７８とガイドローラ８０、８２の間の段差量Ｆを調
整する必要がある。このとき、研磨ローラ７８の回転軸
（縮径部７６Ｃ）に対して偏心して配置したガイドロー
ラ８０、８２の回転軸（縮径部７６Ｂ、７６Ｄ）を回転
させることによって、容易にかつ正確に段差量Ｆを調節
することができる。

【００６２】このようにして研磨テープ２８を装着して
研磨装置１０に、予め目視等によって検査して、大きな
突出物が確認されたカラーフィルタ１２の不良箇所１２
Ａを、研磨台１６の光源９８Ａを点灯させて透光部材９
８上に配置する。この透光部材９８の上方に研磨ヘッド
２２が位置した状態となるため、カラーフィルタ１２の
不良箇所１２Ａの研磨台１６への位置決めが極めて容易
となっている。

【００６３】この後、操作パネル１８のスイッチ操作に
よって研磨作業を開始する。研磨作業が開始されると、
モータボックス４８の内部のモータが駆動して、シャフ
ト４６と共に送りネジ部５０を回転させて、送りナット
５２を下方へ移動させて研磨ヘッド２２を降下させる。
このとき、研磨ヘッド２２の荷重は、圧縮コイルばね７
０を介してガイドシャフト６４のブラケット６６に作用
しており、送りネジ５２とブラケット５４、５６の間に
は、圧縮コイルばね５８の付勢力のみが作用した状態と
なっているため、送りナット５２は円滑に移動する。

【００６４】研磨ヘッド２２が下方移動して、ガイドロ
ーラ８０、８２が研磨台１６に載置したカラーフィルタ
１２に接触すると、研磨ヘッド２２の下方移動が停止す
る。このとき、送りネジ部５０が回転駆動しているため
に、送りナット５２は下方移動し、圧縮コイルばね５８
の付勢力に抗して上方のブラケット５４から離間する。
この送りネジ５２とブラケット５４の離間に伴って、ブ
ラケット５４の近傍に配置した投光部６０から照射され
た光線が、送りナット５２とブラケット５４の間の僅か
な隙間を通過して受光部６２に達する。

【００６５】このようにして受光部６２が投光部６０か
らの光線を検出すると、瞬時にモータボックス４８の駆
動が停止し、送りナット５２の下方移動を停止させる。
このとき、送りナット５２とブラケット５６の間に作用
する圧縮コイルばね５８の付勢力によってガイドローラ
８０、８２がカラーフィルタ１２を押圧するが、この力
は極めて小さい（本実施例では一例として１００ｇ以
下）ため、カラーフィルタ１２を傷めることがない。ま
た、ガイドローラ８０、８２がカラーフィルタ１２の表
面に当接し、研磨ローラ７８との間に形成した段差量Ｆ
によって、研磨ローラ７８に巻き掛けられている研磨テ
ープ２８の表面とカラーフィルタ１２の表面との間に一
定の間隔が保持される（本実施例では約３〜４μｍ程
度）。

【００６６】なお、検出手段の構成は光電式の投光部６
０と受光部６２に限らず、例えば、ブラケット５４と送
りナット５２の間に一対の電極を配置したものなど種々
の構成を適用することができる。また、送りナット５２
に微小な貫通孔を設けて、投光部６０から照射して貫通
孔を通過した光を受光部６２で受光するようにし、送り
ナット５２が研磨ヘッド２２に対して相対移動して貫通
孔の位置がずれて受光部６２への光が遮られたときに、
研磨ヘッド２２が研磨台１６上の所定の位置に達したこ
とを検知するようにしてもよく、種々の適用が可能であ
る。

【００６７】研磨装置１０では、研磨ヘッド２２の下方
移動が停止すると、研磨テープ２８に所定の張力を付与
した状態で、研磨テープ２８をテープロール３０から引
出しながら巻取ローラ３２に所定量（本実施例では約１
０〜１５ｍｍ程度) 巻き取り、研磨テープ２８をカラー
フィルタ１２の表面を走行させる。これと共に、研磨装
置１０では、研磨台１６を研磨テープ２８の走行方向と
は反対方向へ移動させる。これによって、研磨テープ２
８がカラーフィルタ１２の表面の所定領域を走行して、
カラーフィルタ１２の表面の大きな突出物等を所定の大
きさまで研磨する。このとき、研磨台１６の移動に伴っ
てカラーフィルタ１２に接触しているガイドローラ８
０、８２が回転し、カラーフィルタ１２の表面を傷める
ことがない。

【００６８】研磨テープ２８のカラーフィルタ１２の表
面の走行及び研磨台１６の移動が終了すると、モータボ
ックス４８が駆動して、研磨ヘッド２２を所定の高さま
で上昇させて停止させる。この研磨ヘッド２２の上昇に
伴って、ガイドローラ８０、８２は、カラーフィルタ１
２の表面から離間すると、重り９６によって回転して、
ストッパー９４によって制限された所定の位置に戻る。
これによって、ガイドローラ８０、８２は、カラーフィ
ルタ１２の研磨を開始するときに同一の位置が接触し、
ガイドローラ８０、８２の回転によって研磨ローラ７８
との間の段差量Ｆが変化するのを防止することができ、
同一の精度で繰り返し正確な研磨作業を行うことができ
る。

【００６９】このように、本実施例に適用た研磨装置１
０は、研磨テープ２８の肉厚が異なっても調整が容易で
あり、また、同様に研磨量も簡単に調整することができ
る。研磨装置１０の研磨精度に大きく影響する研磨ロー
ラ７８、ガイドローラ８０、８２及びシャフト７６はそ
れぞれ、高い精度の加工品を容易に得ることができると
共に、それぞれをベアリング８０Ａ、８０Ｂ、８０Ｃ及
びベアリング７２によって連結しているため、極めて高
い回転精度を容易に得ることができ、精度の高い研磨装
置１０を提供することができる。

【００７０】さらに、カラーフィルタ１２を研磨すると
きに、カラーフィルタ１２に作用する荷重を小さいして
いるため、カラーフィルタ１２の表面を傷めることがな
い。

【００７１】なお、本実施例は、本発明が適用される研
磨装置１０の構成を限定するものではない。例えば、本
実施例では、研磨テープ２８を装填した研磨ヘッド２２
を研磨台１６へ接近させるようにしたが、研磨台１６を
移動させる構成であってもよく、また、研磨テープ２８
によってカーラフィルタ１２の表面を研磨するときに研
磨台１６を研磨テープ２８の走行方向と反対方向へ移動
させたが、研磨台１６を移動させずに、研磨ヘッド２２
を移動させるものであってもよい。

【００７２】また、本実施例では、研磨ローラ７８に対
して、この研磨ローラ７８を挟むように対で配置したガ
イドローラ８０、８２をシャフト７６によって偏心させ
たが、ガイドローラ８０、８２は、少なくとも一方を備
えたものであってもよく、また、別々に回転自在に配置
した回転軸を偏心させたものでもよい。

【００７３】さらに、ガイドローラ８０、８２の偏心量
を変えれば、ガイドローラ８０、８２を研磨ローラ７８
より大きくするこも可能であり、これによって、より精
度の高い研磨装置を得ることも可能である。

【００７４】また、本発明の研磨装置は、カラーフィル
タ１２に限らず、平面の加工精度を必要とする、電子回
路や高周波回路の基板等を被研磨部材としてこれらの表
面を研磨する研磨装置に適用することが可能である。〔実施例２〕次に実施例１に用いた研磨装置１０の細部
の構成を実施例２として、図８乃至図１０を参照しなが
ら説明する。なお、この実施例２の基本的な構成は実施
例１と同様であり、実施例１と同一の部品には同一の符
号を付与してその説明を省略している。

【００７５】図８に示されるように、実施例２で用いる
研磨装置１０の研磨ヘッド２２には、ヘッドベース３８
にストッパー９４を設けておらず、ガイドローラ８０、
８２の周縁部に切欠９２を形成していないものを用いて
いる。このため、研磨ヘッド２２が上昇してガイドロー
ラ８０、８２がカラーフィルタ１２の表面から離間する
と、ガイドローラ８０、８２は、内部の重り９６（図８
では図示省略）側が常に研磨台１６側となるように回動
するようになっている。

【００７６】図８及び図９に示されるように、透光部材
９８は、研磨台１６に形成された丸穴にガラス等の光源
９８Ａから照射された光を透過する部材によって形成さ
れており、研磨台１６の表面と均一になるように配置さ
れている。なお、透光部材９８の大きさは、研磨ローラ
７８の走行範囲を大きく越えないようにしたものが好ま
しく、また、この透光部材９８の平面形状は丸に限ら
ず、矩形形状等の他の形状であっても勿論良い。

【００７７】また、研磨台１６の表面には、透光部材９
８の周囲の所定の範囲を略矩形形状に囲うように複数の
溝１００が形成されている。図９に示されるように、こ
れらの溝１００のそれぞれの底部には、負圧供給手段１
０２に接続された配管１０４が分岐して開口している。
この負圧供給手段１０２は、例えば真空ポンプ等によっ
て発生させた負圧をそれぞれの溝１００へ供給するよう
になっている。このため、研磨台１６の表面にカラーフ
ィルタ１２を配置すると、このカラーフィルタ１２が、
負圧供給手段１０２から溝１００に供給される負圧によ
って吸引された研磨台１６の表面に密着保持される。

【００７８】なお、これらの溝１００は、カラーフィル
タ１２を吸着したときに、カラーフィルタ１２を大きな
吸引力によって傷めてしまうのを防止するため、透光部
材９８の周囲の狭い面積であることが好ましく、溝幅も
狭いことが好ましい。なお、吸着保持手段としては、溝
１００に限らず、研磨台１６の表面に透光部材９８の周
囲に沿って吸着孔を設けるようにしてもよい。

【００７９】図８及び図９に示されるように、研磨台１
６の表面には、溝１００の近傍で交差するように切欠溝
１０６、１０８が形成されている。それぞれの切欠溝１
０６、１０８は、互いに交差する位置から研磨台１６の
周端に達している（図示省略）。これらの切欠溝１０
６、１０８は、互いが直交するように形成されており、
研磨台１６上に載置されるカラーフィルタ１２が切欠溝
１０６、１０８の少なくとも何れ一方に掛け渡されるよ
うになっている。

【００８０】すなわち、切欠溝１０６、１０８は、透光
部材９８に近い位置を通過しており、この透光部材９８
上の研磨ローラ７８が対向する位置と切欠溝１０６、１
０８の間隔をカラーフィルタ１２の外径寸法に対して極
めて小さくなるようにしている（例えば研磨装置１０で
研磨する最小サイズのカラーフィルタ１２の半分以下の
寸法）。このため、カラーフィルタ１２の不良箇所１２
Ａが何れの位置にあっても、カラーフィルタ１２の一部
が切欠溝１０６、１０８の少なくとも一方を跨ぐように
配置することができる。

【００８１】この切欠溝１０６、１０８は、例えば幅寸
法Ｗが約１５mm、深さ寸法Ｄが約３mm程度（何れも図８
参照）となっており、研磨装置１０を操作するオペレー
タの指先を挿入可能な大きさとなっている。このため、
溝１００に供給した負圧によってカラーフィルタ１２が
研磨台１６に密着していても、溝１００に供給している
負圧を解除した後、この切欠溝１０６、１０８からカラ
ーフィルタ１２の周縁下方に指先を挿入して、研磨台１
６に密着しているカラーフィルタ１２を傷めることな
く、かつ容易に研磨台１６上から取り出すことができ
る。なお、切欠溝１０６、１０８の幅寸法Ｗ及び深さ寸
法Ｄは、上記数値に限定するものではなく、オペレータ
の指先をカラーフィルタ１２の周縁下方へ挿入して、カ
ラーフィルタ１２を持ち上げ可能な大きさであればよ
い。また、切欠溝１０６、１０８を互いに直交するよう
に形成しており、このような形状が最も好ましいが、、
これに限らず、例えば、互いに透光部材９８の周縁近傍
を通過して、透光部材９８側が少なくとも鋭角となるよ
うに交差するようにしてもよく、また、互いに透光部材
９８の近傍を略平行に通過して研磨台１６の周縁部まで
形成したものでもよく、少なくとも一方の切欠溝１０６
又は１０８を形成したものであっても適用が可能であ
る。

【００８２】一方、図９に示されるように、この実施例
２では、研磨台１６上の透光部材９８の略中心部にカラ
ーフィルタ１２の不良箇所１２Ａを配置して、溝１００
に供給する負圧によって吸着保持すると、最初に研磨ロ
ーラ７８の幅方向の中心より一端側にカラーフィルタ１
２の不良箇所１２Ａが対向するように研磨台１６が移動
するようになっている。この位置から研磨ヘッド２２
（図９では図示省略）を下降させて、研磨ローラ７８を
カラーフィルタ１２の表面に接近配置して、第１回目の
研磨作業を行なう（図９に一点鎖線で囲う領域の研
磨）。

【００８３】次に、研磨ヘッド２２を一端上昇させて、
研磨ローラ７８の幅方向の一端側と反対側にカラーフィ
ルタ１２の不良箇所１２Ａが対向するように、研磨ロー
ラ７８の研磨時の移動方向と直交する方向に研磨台１６
を僅かに移動させる。この後、研磨ヘッド２２を下降さ
せて、今度は第１回目と反対方向に沿って研磨ローラ７
８をカラーフィルタ１２に対して相対移動させ（本実施
例では研磨台１６を移動させている）、第２回目の研磨
作業を行なう（図９に二点鎖線で囲う領域の研磨）。

【００８４】この研磨作業について図９、図１０（Ａ）
乃至図１０（Ｃ）を参照しながら詳細に説明する。

【００８５】図１０（Ａ）には、ガラス基板１２０の一
方の面にフィルタ層１２２、オーバーシュート層１２４
が形成され、オーバーシュート層１２４内に異物１２６
が混入してオーバーシュート層１０４が突起して不良箇
所１２Ａが生じているカラーフィルタ１２を示してい
る。図９に示すように、このカラーフィルタ１２の不良
箇所１２Ａを透光部材９８の所定の位置に配置して、第
１回の研磨作業を行なう。この第１回目の研磨作業のと
きには、研磨ローラ７８の幅方向の一端部側、すなわ
ち、研磨テープ２８の幅方向の一端部側にカラーフィル
タ１２の不良箇所１２Ａが対向するようになっている。

【００８６】この状態で研磨テープ２８を矢印Ａ方向
（図９及び図１０（Ｂ）参照）へ相対移動させて第１回
目の研磨作業を行なうと、図１０（Ｂ）に示されるよう
に、カラーフィルタ１２の不良箇所１２Ａは、研磨ロー
ラ７８に巻掛けた研磨テープ２８とガイドローラ８０、
８２の段差量Ｆよりカラーフィルタ１２から突出する部
分をカラーフィルタ１２の表面から研磨除去する。これ
によって、オーバーシュート層１２４の突出部分と共
に、オーバーシュート層１２４内の異物１２６が除去さ
れる。このとき、異物１２６を覆っていたオーバーシュ
ート層１２４の研磨ローラの相対移動方向下流側に研磨
残部１２４Ａとして突出部分が残ってしまう。

【００８７】次に研磨装置１０では、研磨台１６を研磨
時の研磨テープ２８の相対移動方向と直交する方向（図
９に示す矢印Ｂ方向）へ僅かに移動させる。これによっ
て、研磨ローラ７８の幅方向の他端部側をカラーフィル
タ１２の不良箇所１２Ａに対向させる。

【００８８】この後、研磨ヘッド２２を下降させて、第
２回目の研磨作業を行なう。第２回目の研磨作業では、
第１回目で相対移動させた研磨ローラ７８を戻す方向に
研磨台１６を移動させると共に、研磨ローラ７８に巻掛
けている研磨テープと第１回目とは逆方向へ走行させ、
図９及び図１０（Ｃ）に示す矢印Ｃ方向に沿ってカラー
フィルタ１２の研磨を行なう。

【００８９】これによって、図１０（Ｃ）に示されるよ
うに、カラーフィルタ１２の表面から第１回目の研磨作
業によって残っていたオーバーシュート層１２４の研磨
残部１２４Ａを研磨して除去することができる。このよ
うに、逆方向に研磨テープ２８を走行させながら往復す
るように研磨作業を行なえば、カラーフィルタ１２の表
面に研磨残部１２４Ａを残すことなく均一に除去するこ
とができる。

【００９０】また、第１回目の研磨作業と第２回目の研
磨作業で、研磨テープ２８の長さ方向の同一部分を用い
ているが、第１回目の研磨作業ではカラーフィルタ１２
の不良箇所１２Ａと接触してい新しい研磨テープ２８と
同様の幅方向の他端部側を用いているため、研磨性能が
低下することはなく、また、研磨テープ２８を有効に利
用することが可能となる。なお、次に研磨作業を行なう
ときは、研磨テープ２８の使用済部分を空送りしてから
行なえばよい。

【００９１】これによって、研磨装置１０では、研磨テ
ープ２８を有効に利用し、かつ、カラーフィルタ１２の
表面から不良箇所１２Ａの突起物や付着物を確実に除去
することができる。また、研磨テープ２８を相対移動さ
せてカラーフィルタ１２を研磨するときに、カラーフィ
ルタ１２の被研磨部分を吸着して保持しているため、研
磨テープ２８が接触したときにカラーフィルタ１２がず
れてしまうことがなく正確な研磨が可能となる。さら
に、研磨の終了したカラーフィルタ１２は切欠溝１０
６、１０８から指先を挿入して容易に取り出すことがで
きる。

【００９２】

【発明の効果】以上説明した如く本発明の研磨装置で
は、第１の回転軸と第２の回転軸とを偏心して設け、研
磨ローラとガイドローラを配置したため、研磨ローラと
ガイドローラの間の段差の調整が容易であると共に、被
研磨部材の表面を一定の状態に研磨することができる。
また、照射手段から照射された光を目印にして容易に被
研磨部材を研磨台の所定の位置に配置することができる
ため、被研磨部材の研磨作業を極めて容易にかつ確実に
行うことができる。

【００９３】これに加えて、本発明では、被研磨部材を
研磨台上の所定の位置に確実に保持して研磨を行なうこ
とができ、さらに、研磨の終了した被研磨部材を容易に
研磨台上から取り出すことができる優れた効果を有す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施例に適用した研磨装置を示す斜視図で
る。

【図２】研磨ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であ
る。

【図３】研磨ヘッドの概略側面図である。

【図４】図３の４−４線に沿った研磨ヘッドの要部断面
図である。

【図５】図３の５−５線に沿った研磨ヘッドの要部断面
図である。

【図６】研磨ヘッドの装置前面側から見た要部拡大図で
ある。

【図７】ヘッドベースをベースプレート側から見た要部
側面図である。

【図８】研磨台の研磨ローラと対向する位置の近傍を示
す概略斜視図である。

【図９】研磨台の要部平面図である。

【図１０】（Ａ）乃至（Ｃ）はそれぞれ研磨台を矢印Ｙ
方向に沿った要部概略断面図であり、（Ａ）はカラーフ
ィルタの研磨作業前を示し、（Ｂ）は第１回目の研磨後
を示し、（Ｃ）は第２回目の研磨後を示している。

【符号の説明】

１０研磨装置１２カラーフィルタ（被研磨部材）１６研磨台２２研磨ヘッド２８研磨テープ（研磨部材）５０送りネジ部（移動手段）５２送りナット（移動手段、第２の移動部材）５４ブラケット（第１の移動部材）６０投光部（検出手段）６２受光部（検出手段）７６シャフト７６Ｂ、７６Ｄ縮径部（第２の回転軸）７６Ｃ縮径部（第１の回転軸）７８研磨ローラ８０、８２ガイドローラ８４回動レバー（回転保持手段）９６重り９８Ａ光源（照射手段）１００溝（吸着保持手段）１０２負圧供給手段１０６、１０８切欠溝

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】研磨台の所定の位置に載置した被研磨部
材の表面に対して研磨部材を相対移動させながら被研磨
部材の表面を研磨する研磨装置であって、外周部の少なくとも前記研磨台側の面に前記研磨部材が
配置され第１の回転軸を中心に回転可能とされかつ研摩
台に対して接離する方向に相対移動可能とされた研磨ロ
ーラと、前記第１の回転軸に対し偏心して設けられた第２の回転
軸を中心に回転自在に設けられたガイドローラと、前記第１の回転軸及び前記第２の回転軸の一方を他方を
中心に回転させて所定位置で保持する回転保持手段と、を有することを特徴とする研磨装置。
【請求項２】前記ガイドローラは、重心が前記第２の
回転軸から離れた位置に存在していることを特徴とする
請求項１の研磨装置。
【請求項３】前記ガイドローラと前記研磨台とを接離
する方向へ相対移動させる移動手段と、前記ガイドローラ及び前記研磨台の何れか一方と共にに
移動する第１の移動部材と、前記ガイドローラと前記研磨台との相対移動時に前記第
１の移動部材に当接して第１の移動部材と共に移動し且
つガイドローラと研磨台との相対移動が停止したときに
第１の移動部材から離間して移動する第２の移動部材
と、前記第２の移動部材が前記第１の移動部材から移動した
ことを検出する検出手段と、を有することを特徴とする請求項１の研磨装置。
【請求項４】前記被研磨部材の研磨台側の面に光を照
射する照射手段を備えたことを特徴とする請求項１の研
磨装置。
【請求項５】前記被研磨部材を載置する研磨台の表面
に負圧供給手段から供給される負圧によって被研磨部材
を吸着して保持する吸着保持手段を備えたことを特徴と
する請求項１の研磨装置。
【請求項６】前記被研磨部材を載置する研磨台の表面
の前記研磨ローラに対向する位置近傍に被研磨部材の取
出し用の溝を形成していることを特徴とする請求項１の
研磨装置。
【請求項７】前記溝として前記研磨ローラに対向する
位置を挟むか又は互いに直交し、前記研磨ローラと対向
する位置の近傍で交差することを特徴とする請求項６の
研磨装置。
【請求項８】前記研磨部材と前記被研磨部材を一方向
へ相対移動させて第１の研磨を行なった後、前記被研磨
部材と前記研磨部材の相対移動方向と直交する方向へ前
記研磨部材に対して前記被研磨部材を所定位置まで相対
移動させて、前記一方向と反対方向へ前記研磨部材に対
して前記被研磨部材を相対移動させて第２の研磨を行な
うことを特徴とする請求項１の研磨装置。