JPH08108359A - 研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 被研磨部材の表面を精度良く円滑に研磨す
る。 【構成】 研磨ヘッド２２には、ヘッドベース４４にス
イングアーム５０が設けられている。スイングアーム５
０は、ヘッドベースから突設された固定シャフト５２に
一対の支持アーム５４が回転自在に取付けられ、支持ア
ームの先端に支持シャフト５６が掛け渡されている。こ
の支持シャフトには、研磨ローラ５８、ガイドローラ６
０が取付けられている。研磨ローラは偏心部５６Ａに配
置されておりガイドローラに対して偏心されている。ま
た、固定シャフトと支持アームの間及び支持シャフトと
支持アームの間には、自動調芯軸受け８８が設けられて
いる。このため、一対のガイドローラは、それぞれカラ
ーフィルタの表面の傾斜に応じて上下して研磨ローラと
カラーフィルタの表面との間隙を一定に保持するように
なっている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、被研磨部材の表面の突
出物を研磨部材によって除去する研磨装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶ディスプレイ（Liquid Crystal Dis
play、以下「ＬＣＤ」と言う）では、例えば液晶の表面
側に偏光膜を設けて、液晶を透過した光が偏光膜を透過
するか否かによって偏光膜状に明暗を形成して、画像を
表示するようになっている。このようなＬＣＤには、例
えば、緑、青、赤の微小な各色成分をモザイク状に配置
したカラーフィルタを液晶と偏光膜との間に配置し、偏
光膜を透過する光に各色の成分を持たせるようにして、
カラー画像を表示するようにしたものがある。

【０００３】ところで、カラーフィルタの表面に突起物
や異物等が付着し、偏光膜とカラーフィルタの間にこの
突出物や異物等によって隙間が生じてしまった場合、偏
光膜によて不要な光を遮ることができず、画像を明瞭に
表示することは勿論、鮮明なカラー画像の表示も不可能
となってしまう。このため、カラーＬＣＤに用いられる
カラーフィルタには、表面に微小な突出物や異物が存在
しないようにしなければならない。

【０００４】一般にカラーＬＣＤに用いられるカラーフ
ィルタの表面の突出物の許容範囲は約４μｍ以下とされ
ており、これより大きい突出物や異物をカラーフィルタ
の表面から除去する必要がある。このとき、カラーフィ
ルタの表面が軟らかいため、不要に外力を加えないよう
に細心の注意を払う必要があり、正確かつ確実に作業を
行う必要がある。

【０００５】このようなカラーフィルタの表面を自動的
に研磨する装置としては、レーザ測長器等によってカラ
ーフィルタの表面を測定し、突出物の位置及び高さを演
算した後、その演算結果に基づいて自動的に突出物が所
定の大きさ以下となるように研磨部材によって研磨する
ようにしたものがある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな自動化された研磨装置は、精密で構造が複雑であり
非常に高価なものとなっている。このため、カラーフィ
ルタの表面を研磨する作業は、従来通り作業員が目視に
よってカラーフィルタの表面に大きな突出物や異物が無
いかを検査し、大きな突出物や異物があったときには、
研磨粒子を添加した研磨テープ等の研磨部材を用いて手
作業で少しづつ研磨して除去する方法が一般に用いられ
ており、細心の注意を必要とする作業となっている。

【０００７】本発明は上記事実を考慮してなされたもの
であり、カラーフィルタ等の被研磨部材の表面を研磨し
て突出物等を正確にかつ簡単に除去することのできる研
磨装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
研磨装置は、研磨台上の所定の位置に載置した被研磨部
材の表面に対して周面に研磨部材が配置された研磨ロー
ラを相対移動させて、被研磨部材の表面を研磨する研磨
装置であって、前記研磨台の上面に略平行に突設された
固定シャフトと、前記固定シャフトに回動自在に設けら
れた支持アームと、前記研磨ローラを挟んで回転自在に
配置された一対のガイドローラと、前記支持アームに前
記固定シャフトと略平行にかつ回転可能に設けられ前記
研磨ローラを前記一対のガイドローラに対して偏心させ
て支持する支持シャフトと、を有することを特徴とす
る。

【０００９】請求項２に係る研磨装置は、請求項１の研
磨装置であって、前記支持アームを前記ガイドローラ及
び前記研磨ローラを前記被研磨部材の表面と離間した位
置に支持し、非支持状態とすることにより、前記支持ア
ームを前記固定シャフト回りに回動させて一対のガイド
ローラと共に研磨ローラを前記被研磨部材の表面へ接近
させる支持手段をさらに含んでいる。

【００１０】請求項３に係る研磨装置は、請求項１又は
請求項２の研磨装置であって、前記支持アームが前記支
持シャフトの両端部に対向して一対設けられ、前記支持
アームの両端部にそれぞれ設けられた軸受けに前記固定
シャフト及び前記支持シャフトが挿入されて支持されて
いることを特徴とする。

【００１１】請求項４に係る研磨装置は、請求項３の研
磨装置であって、前記軸受けとして前記支持アームと前
記支持シャフトの間に自動調芯軸受けを用いていること
を特徴とする。

【００１２】

【作用】本発明の請求項１に記載の研磨装置は、支持ア
ームを固定シャフト回りに回転させることにより、ガイ
ドローラと共に研磨ローラを被研磨部材の表面へ接近さ
せることができる。また、支持シャフトを回転させるこ
とにより、偏心して設けられているガイドローラと研磨
ローラの軸心が相対的に上下動し、ガイドローラを所望
の量だけ研磨ローラから突出させることができる。

【００１３】これによって、ガイドローラが被研磨部材
の表面に接触した状態で、研磨ローラの周面と被研磨部
材の表面との間に所望の間隙を生じさせ、この間隙に応
じて被研磨部材の表面を研磨することができる。また、
支持アームが固定シャフトに対して回転自在に配置され
ているために、一対の研磨ローラとガイドローラは被研
磨部材の表面の傾斜に沿って上下移動することができ
る。

【００１４】請求項２に記載の研磨装置では、支持手段
が非支持状態となることにより、支持アームが固定シャ
フト回りに回転して、一対のガイドローラと共に研磨ロ
ーラを被研磨部材の表面に接近させることができる。

【００１５】請求項３に記載の研磨装置では、一対の支
持アームの間に支持シャフトが掛け渡されている。支持
アームが、支持シャフトの両端を別々に支持することに
より、支持シャフトが研磨台の表面に対して傾斜可能と
なり、被研磨部材の表面の傾斜に応じてガイドローラを
上下させることができる。

【００１６】また、請求項４に記載の研磨装置では、支
持アームと支持シャフトの間に自動調芯軸受けを設けて
支持シャフトを揺動可能とし、被研磨部材の表面の傾斜
に応じた一対のガイドローラの上下移動を極めて容易に
している。

【００１７】このように、一対のガイドローラと共に研
磨ローラを被研磨部材の表面の傾斜に応じて上下移動さ
せることにより、被研磨部材の表面が傾斜しても、所望
の状態で研磨することができる。

【００１８】

【実施例】図面を参照しながら本実施例に適用した自動
研磨装置１０について説明する。

【００１９】図１に示されるように、自動研磨装置１０
は、基台１４の上面に研磨台１６、操作パネル１８及び
アーム２０が配設されている。このアーム２０は、基台
１４の一端部から立設されて、先端部が屈曲されて研磨
台１６の上方に延設されていおり、先端部には、研磨ヘ
ッド２２を備えた研磨ユニット２４が取付けられてい
る。また、研磨台１６は、図示しない水平移動手段によ
って、装置前後方向（矢印Ｙ方向）及び装置幅方向（矢
印Ｘ方向）へ自在に移動可能となっている。なお、自動
研磨装置１０では矢印Ｙ方向の操作パネル１８側が前面
側となっている。また、以下に説明する各図には、矢印
Ｚが装置の上下方向を示している。

【００２０】自動研磨装置１０では、この研磨台１６の
所定の位置に被研磨部材として載置されるカラーフィル
タ１２の表面を研磨するようになっている。なお、研磨
台１６の表面には、図示しない吸着溝が形成されてお
り、この吸着溝に供給される負圧によってカラーフィル
タ１２吸着して保持するようになっている。また、研磨
台１６の内部には、照明用の図示しない光源が設けられ
ており、この光源から照射された光が、カラーフィルタ
１２を透過して、カラーフィルタ１２の研磨領域を照明
するようになっている。

【００２１】アーム２０の先端部に取付けられた研磨ユ
ニット２４は、ベース板２６に研磨部材である研磨テー
プ２８をロール状に巻き取ったテープロール３０が配設
されており、テープロール３０から引き出された研磨テ
ープ２８の中間部が後述する研磨ヘッド２２の研磨ロー
ラ５８に巻掛けられ、先端部が巻取ロール３２に巻付け
られている。巻取ロール３２及びテープロール３０のそ
れぞれは、図示しないテープ巻取手段に連結されてお
り、テープロール３０から送り出した研磨テープ２８に
よってカラーフィルタ１２の表面を研磨した後に、巻取
ロール３２へ巻き取るようになっている。

【００２２】なお、研磨テープ２８は、肉厚が約３０μ
ｍ（±約６μｍ）であり、それぞれのロールによって肉
厚は異なるが、同一のロールでは一定の肉厚で仕上げら
れており、微細な研磨粒子が調合されている。本実施例
では、この研磨テープ２８によってカラーフィルタ１２
の表面から約３〜４μｍ以上の突出物や異物を除去する
ようにしており、予め目視等によってカラーフィルタ１
２の表面に約３〜４μｍ以上の突出物や異物を検査し
て、これらが確認された箇所を不良箇所を目印した後
に、研摩台１６の所定位置に載置して研磨作業を行う。
自動研磨装置１０では、操作パネル１８のスイッチ操作
によって研磨台１６をＸ−Ｙ方向へ移動させて、カラー
フィルタ１２の不良箇所を研磨ヘッド２２に対向させる
ようになっている。

【００２３】図２には、研磨ユニット２４への研磨ヘッ
ド２２近傍が示されている。研磨ユニット２４のベース
板２６には、中央部に切欠３４が形成されており、この
切欠３４の奥側に補助板３６が取付けられている。この
補助板３６には、一対のガイドロッド３８と、一対のガ
イドロッド３８の間にドライブシャフト４０がそれぞれ
上下方向に沿って平行に取付けられている。ドライブシ
ャフト４０は、送りネジが刻設されて回転可能に支持さ
れ、上端部は、昇降モータ４２に連結されている。

【００２４】一方、研磨ヘッド２２のヘッドベース４４
には、一対のガイドロッド３８に摺動可能に挿通された
スライドブロック４６及びドライブシャフト４０に螺合
された移動ブロック４８が取付けられ、これらのスライ
ドブロック４６及び移動ブロック４８によってベース板
２６に上下移動可能に連結されている。ここで、昇降モ
ータ４２の駆動によってドライブシャフト４０が回転駆
動すると、移動ブロック４８が上下方向へ相対移動し
て、ヘッドベース４４を上昇及び下降させるようになっ
ている。

【００２５】研磨ヘッド２２のヘッドベース４４には、
スイングアーム５０が配設されている。図３乃至図６に
は、研磨ヘッド２２及び研磨ヘッド２２に設けたスイン
グアーム５０が示されている。

【００２６】図３乃至図６に示されるように、スイング
アーム５０には、ヘッドベース４４から研磨台１６の上
面に平行に固定シャフト５２が突設されており、この固
定シャフト５２には、一対の支持アーム５４の一端部が
回転自在に取付けらてている。また、一対の支持アーム
５４の他端部には、支持アーム５４と略平行に支持シャ
フト５６が回転可能に掛け渡されている。

【００２７】この支持シャフト５６には、研磨ローラ５
８と、この研磨ローラ５８を挟んで一対のガイドローラ
６０が回転自在に取付けられている。研磨ローラ５８と
ガイドローラ６０は、外径寸法が略同径とされており、
研磨ローラ５８には、テープロール３０から引き出され
た研磨テープ２８の中間部が巻き掛けられている。な
お、図６に示されるように、研磨ローラ５８は、中央部
が研磨テープ２８の幅寸法より細幅とされている。

【００２８】図５に示されるように、支持シャフト５６
の中間部には、両端部に対して偏心した偏心部５６Ａが
形成されており、この偏心部５６Ａに研磨ローラ５８が
取付けられ、偏心部５６Ａの両側にガイドローラ６０が
それぞれ配設されている。すなわち、研磨ローラ５８
は、一対のガイドローラ６０に対して偏心して取付けら
れている。

【００２９】また、一方の支持アームには、回動レバー
６２が配設されている。図３及び図４に示されるよう
に、この回動レバー６２の一端部には、支持アーム５４
から突出する支持シャフト５６の先端部が圧入されて連
結されており、これによって、支持シャフト５６と回動
レバー６２が一体回転するようになっている。なお、支
持シャフト５６は、回動レバー６２の一端部に形成され
た切欠６４を拡幅して、貫通孔６６内へ圧入されるよう
になっており、切欠６４をネジ等によって狭めて締めつ
けるようにしてもよい。

【００３０】この回動レバー６２は支持アーム５４に沿
って延設されており、支持シャフト５６と反対側の端部
には、支持シャフト５６と略同軸の円弧状に長孔６８が
穿設され、支持アーム５４には、長孔６８に対向する図
示しないネジ孔が穿設されている。

【００３１】このため、長孔６８に挿入した蝶ネジ７０
を支持アームに設けた図示しないネジ孔へ螺合すること
により、回動レバー６２を支持アーム５４へ取付けるこ
とができ、これによって、支持シャフト５６を回転しな
いように固定することができるようになっている。

【００３２】スイングアーム５０では、この回動レバー
６２と共に支持シャフト５６を回動させることにより、
研磨ローラ５８からのガイドローラ６０の外周端の突出
量を変えることができるようになっている。すなわち、
支持シャフト５６の偏心部５６Ａに配置した研磨ローラ
５８が支持シャフト５６の回動によって偏心して回転
し、所定の位置での研磨ローラ５８の外周端とガイドロ
ーラ６０の外周端との間の段差量を変化させることがで
きるようになっている。

【００３３】これによって、図６に示されるように、ガ
イドローラ６０を研磨台１６上のカラーフィルタ１２の
表面に当接させたときに、研磨ローラ５８の周面とカラ
ーフィルタ１２の表面の間の間隙を調節することがで
き、回動レバー６２を支持アーム５４へ固定することに
より、この間隙を一定に保持できるようになっている。
なお、本実施例では、ガイドローラ６０をカラーフィル
タ１２表面に当接させたときの研磨ローラ５８の周面と
カラーフィルタ１２の表面との間隙、すなわち、ガイド
ローラ６０の周端と研磨ローラ５８の周端との段差量を
研磨テープ２８の肉厚（約３０μｍ程度）とカラーフィ
ルタ１２の表面上の突出部の許容範囲（約３〜４μｍ）
の和に設定し、段差量を調節することにより、突出部の
許容範囲を調節することができるようになっている。

【００３４】なお、図３に示されるように、回動レバー
６２の支持シャフト５６と反対側の先端には、指針７２
が設けられ、支持アーム５４の側面には、この指針７２
に対向する目盛り７４が表示されており、回動レバー６
２を１目盛り分回動させることにより、研磨ローラ５８
とガイドローラ６０との段差量が１μｍだけ変化するよ
うに予め設定している。

【００３５】一対の支持アーム５４の支持シャフト５６
側の先端には、一端部が略上方へ延設された一対のブラ
ケット７６が取付けられている。それぞれのブラケット
７６の上方へ延設された先端部には、コイルバネ７８の
一端が係止されている。このコイルバネ７８の他端は、
ヘッドベース４４から突設されたピン８０に係止されて
いる。これらのコイルバネ７８は、研磨ローラ５８及び
ガイドローラ６０が研磨台１６から離間する方向（上
方）へスイングアーム５０を回動させるように付勢して
いる。なお、コイルバネ７８の付勢力は、ガイドローラ
６０等の重量によってスイングアーム５０が研磨台１６
へ向けて回動しようとする回転力よりも僅かに弱くして
ある。

【００３６】このため、スイングアーム５０は、ガイド
ローラ６０をカラーフィルタ１２の表面に当接させると
きに、コイルバネ５８の付勢力によって上方へ付勢さ
れ、例えば１００ｇ程度の軽い重量のみがカラーフィル
タ１２の表面に作用するように、必要以上の重量をカラ
ーフィルタ１２の表面に部分的に作用させてしまい、カ
ラーフィルタ１２の表面を傷めてしまうのを防止するこ
とができるようになっている。

【００３７】一方、ヘッドベース４４側のブラケット７
６には、小ローラ８２が回転可能に取付けられていい
る。この小ローラ８２の外周部は、ブラケット７６から
下方へ突出している。また、ヘッドベース４４には、ス
イングアーム５０の昇降手段として偏心カム８４が突設
されており、この偏心カム８４の周面が、ブラケット７
６の下方に突設した小ローラ８２の周面に当接してい
る。この偏心カム８４は、モータ８６の駆動力によって
矢印Ｃ方向へ偏心しながら回転する。これによって、こ
の偏心カム８４に当接している小ローラ８２と共にブラ
ケット７６が上下移動して、スイングアーム５０が固定
シャフト５２を軸に矢印Ａ方向及び矢印Ｂ方向へ回動す
るようになっている。

【００３８】スイングアーム５０は、固定シャフト５２
を軸に矢印Ｂ方向へ回動することにより、ガイドローラ
６０と共に研磨ローラ５８を上方へ退避させ、矢印Ａ方
向へ回動することにより、研磨ローラ５８と共にガイド
ローラ６０を下方へ移動させて、研磨台１６上のカラー
フィルタ１２の表面に当接させることができるようにな
っている。

【００３９】すなわち、研磨ユニット２４では、昇降モ
ータ４２の駆動によって研磨ヘッド２２を下方へ移動さ
せた後、モータ８６を駆動して、スイングアーム５０を
回動させ、研磨ローラ５８と共にガイドローラ６０を研
磨台１６上のカラーフィルタ１２へ当接させて、研磨ロ
ーラ５８に巻掛けた研磨テープ２８によってカラーフィ
ルタ１２の表面を研磨可能とするようにしている。

【００４０】ところで、図５に示されるように、固定シ
ャフト５２と支持アーム５４との間、及び支持シャフト
５６と支持アーム５４との間には、それぞれ軸受けとし
て自動調芯軸受け８８を設けている。この自動調芯軸受
け８８は、支持しているシャフトの軸心を所定の範囲で
あれば振らした状態でも回転自在に支持できるようにな
っている。

【００４１】このため、スイングアーム５０では、支持
シャフト５６の両端部がそれぞれ別々に上下移動可能と
なっている。したがって、カラーフィルタ１２の肉厚の
ムラ等によって一対のガイドローラ６０の接触位置に高
低さが生じているときには、この高低差に応じてそれぞ
れのガイドローラ６０を上下させるように支持シャフト
５６を研磨台１６の表面に対して傾斜させることができ
るようになっている。なお、ガイドローラ６０及び研磨
ローラ５８には、支持シャフト５８との間に、それぞれ
アンギュラコンタクト８９を対（２個づつ）で配置し
て、回転軸の振れが生じないようにしている。

【００４２】一方、図３及び図４に示されるように、ガ
イドローラ６０には、外周部の一部が切り取られた平坦
部９０が形成されている。このガイドローラ６０は、平
坦部９０を形成することにより、ガイドローラ６０をカ
ラーフィルタ１２の表面から離間させたときに、この平
坦部９０が常に上方側となり、軸心を挟んで平坦部９０
と反対側の外周部が常に下方となるようにバランスが取
られている。これによって、一対のガイドローラ６０の
間の軸心に僅かでもズレが生じていても、ガイドローラ
６０の外周部の一定位置（平坦部９０と反対側）をカラ
ーフィルタ１２の表面に接触させるようにして、実質的
な研磨ローラとの段差量が変化しないようにしている。

【００４３】自動研磨装置１０では、ガイドローラ６０
をカラーフィルタ１２の表面に当接させた状態で、研磨
台１６を矢印Ｙ方向に沿って装置手前側で一定量だけ移
動させながら研磨テープ２８をさらに反対方向へ相対移
動させて、研磨を行うようになっている。これによっ
て、ガイドローラ６０はカラーフィルタ１２の表面に当
接して回動し、この後、スイングアーム５０を上昇させ
ることにより、平坦部９０が上方側となるようにガイド
ローラ６０が戻り回転する。

【００４４】次に本実施例の作用を説明する。自動研摩
装置１０では、研磨ユニット２４のベース板２６にテー
プロール３０を装着し、このテープロール３０から引き
出した研磨テープ２８を研磨ヘッド２２に設けたスイン
グアーム５０の研磨ローラ５８に巻掛ける。この後、研
磨台１６の所定の位置に研磨を行うカラーフィルタ１２
を載置させて保持し、カラーフィルタ１２の研磨を行う
べき領域を研磨ヘッド２２に対向させてから研磨作業を
行う。

【００４５】このとき、研摩テープ２８の肉厚とカラー
フィルタ１２の仕上がりを考慮して、回動レバー６２に
より、研摩ローラ５８とガイドローラ６０の間の段差量
を調節する。このとき、ガイドローラ６０に対して研磨
ローラ５８を偏心して配置し、スイングアーム５０の支
持アーム５４に目盛り７４を設けているため、段差量の
調節を研磨テープ２８の肉厚と所望の仕上がりに合わせ
て容易に行うことができる。

【００４６】自動研磨装置１０では、操作パネル１８の
スイッチ操作によって研磨作業の開始が入力されると、
昇降モータ４２を駆動して、研磨ヘッド２２を研磨台１
６の表面に対して所定の高さまで下降させて停止する
と、次に、モータ８６を駆動して偏心カム８４を回転さ
せ、研磨テープ２８が巻き掛けられた研磨ローラ５８と
共にガイドローラ６０を下降させて、ガイドローラ６０
をカラーフィルタ１２の表面に当接させる。これによっ
て、研磨ローラ５８に巻き掛けられた研磨テープとカラ
ーフィルタ１２の間には、カラーフィルタ１２の表面の
突起物の許容範囲に応じた間隙が設けられている。

【００４７】また、このように下降したスイングアーム
５０は、先端部がコイルバネ７８によって上方へ向けて
付勢されているため、カラーフィルタ１２の表面がガイ
ドローラ６０を介して受ける荷重が小さくなっている。
このため、カラーフィルタ１２をガイドローラ６０から
与える荷重によって損傷させてしまうことがない。

【００４８】この状態で、次に研磨台１６移動させて、
カラーフィルタ１２を研磨ローラ５８に対して相対移動
させると共に、テープロール３０からの研磨テープ２８
の引出しと巻取ロール３２での研磨テープ２８の巻取が
行われ、研磨テープ２８がカラーフィルタ１２の表面に
対して所定の相対速度で移動する。この研磨テープ２８
のカラーフィルタ１２の表面に対する相対移動時にカラ
ーフィルタ１２の表面に許容範囲以上（例えば４μｍ以
上）の突起物があると、この突起物が研磨テープ２８に
よって擦り取られる。

【００４９】このようにして、１回の研磨が終了した
後、モータ８６を駆動して、スイングアーム５０を上方
へ向けて回動させて、ガイドローラ６０をカラーフィル
タ１２の表面から、一旦、離間させて、次の研磨作業を
行う。このとき、ガイドローラ６０がカラーフィルタ１
２の表面から離間すると、平坦部９０が上方側となるよ
うに回動する。このため、常にガイドローラ６０の同一
の部分（平坦部９０と反対側）をカラーフィルタ１２の
表面に当接させることができ、研磨ローラ５８との間の
段差量を一定に保つことができる。

【００５０】なお、１回の研磨作業が終了したときに、
スイングアーム５０を上昇させずに、研磨テープ２８を
一定量巻取ロール３２へ巻き取って、最初の研磨作業と
は逆方向に研磨台１６と研磨テープ２８を移動させて往
復研磨を行うようにしてもよい。

【００５１】ところで、研磨テープ５８とガイドローラ
６０が設けられたスイングアーム５０は、ガイドローラ
６０を研磨台１６の表面から離間させる方向（矢印Ｂ方
向）への回転は制限されていないため、カラーフィルタ
１２の厚みが変化して、研磨台１６の表面からのカラー
フィルタ１２の表面の高さが変化しても、この変化に自
在に追従してガイドローラ６０と共に研磨ローラ５８を
上下動させることができ、研磨ローラ５８とカラーフィ
ルタ１２の表面の間の間隙を一定に保つことができる。

【００５２】一方、研磨方向と直交する方向に沿ってカ
ラーフィルタ１２の厚みが変化している場合、スイング
アーム５０の支持シャフト５６が研磨台１６の表面に対
して平行に保持されていると、一方のガイドが浮き上が
ってしまい、研磨ローラ５８とカラーフィルタ１２の表
面の間の間隙が変化してしまう。このように事態に至る
と、カラーフィルタ１２の表面に対して所望の許容範囲
内での研磨が不可能となってしまう。

【００５３】これに対して、本発明を適用した自動研磨
装置１０では、固定シャフト５２と支持アーム５４の間
及び支持シャフト５６と支持アーム５４の間のそれぞれ
に自動調芯軸受け８８を配置して、支持シャフト５６の
両端をそれぞれ別々に上下移動可能としている。これに
よって、一方のガイドローラ６０の上方移動に伴って他
方のガイドローラ６０が上方移動しようとしたときに、
支持シャフト５６がカラーフィルタ１２の表面高さの変
化に応じて傾斜するため、他方のガイドローラ６０がカ
ラーフィルタ１２の表面から浮き上がってしまうことが
なく、カラーフィルタ１２の表面と研磨ローラ５８の周
面（研磨テープ２８の表面）との間の間隙が変化してし
まうのを防止することができる。

【００５４】このように、スイングアーム５０をカラー
フィルタ１２の表面の高さの変化に追従可能とすると共
に、一対のガイドローラ６０をそれぞれカラーフィルタ
１２の表面高さの変化に追従させることができるように
することにより、常にカラーフィルタ１２の表面を一定
の許容範囲で研磨することができる。

【００５５】なお、本実施例では、固定シャフト５２と
支持アーム５４の間及び支持シャフト５６と支持アーム
５４の間のそれぞれに自動調芯軸受け８８を設けたが、
少なくとも支持アーム５４と支持シャフト５６の間に自
動調芯軸受け８８を設けることによりスイングアーム５
０を容易に揺動させることができる。また、一対の支持
アーム５４によって支持シャフト５６を保持している
が、一方の支持アーム５４のみで支持シャフト５６を支
持する片持ちのスイングアームとするようにしてもよ
い。

【００５６】このような場合においても、支持シャフト
５６に研磨ローラ５８及びガイドローラ６０の回転軸が
振れないように取付けることにより、研磨ローラ５８と
カラーフィルタ１２の表面を均一に研磨することができ
る。

【００５７】また、自動調芯軸受け８８を用いずに、一
般的なローラ軸受け（ローラベアリング）を用いたもの
であってもよい。一般に、液晶表示装置に用いられるカ
ラーフィルタ１２は平面性が高いため、研磨台１６に載
置したときの傾斜は僅かである。このため、スイングア
ーム５０に一般的なローラ軸受けを用い、このローラ軸
受けの軸の振れ範囲内で支持シャフト５６を揺動できる
ようにしたものであっても、カラーフィルタ１２の表面
の傾斜に追従させて一対のガイドローラ６０をそれぞれ
上下移動させることができる。このとき、研磨ローラ５
８及びガイドローラ６０と支持シャフト５６との間に振
れが生じないようにすることが必要であることは勿論で
ある。

【００５８】このように、本実施例に適用た自動研磨装
置１０では、カラーフィルタ１２等の被研磨部材の表面
の高さの変化による傾斜が生じていても、この傾斜に追
従して均一に研磨作業を行うことができ、極めて高い精
度の研磨作業を行うことができる。

【００５９】なお、本実施例は、本発明が適用される研
摩装置１０の構成を限定するものではない。例えば、本
実施例では、研摩テープ２８を装填した研摩ヘッド２２
を研摩台１６へ接近させるようにしたが、研摩台１６を
移動させる構成であってもよく、また、研摩テープ２８
によってカーラフィルタ１２の表面を研摩するときに研
摩台１６を研摩テープ２８の走行方向と反対方向へ移動
させたが、研摩台１６を移動させずに、研摩ヘッド２２
を移動させるものであってもよい。

【００６０】また、本実施例では、研磨ローラ５８とガ
イドローラ６０を略同径としたが、それぞれの外径寸法
が異なるものであってもよい。

【００６１】また、本実施例に適用した自動研磨装置１
０には、種々の機能を付加することができる。例えば、
図７に示されるように、研磨ヘッド２２に研磨ヘッド２
２が対向する研磨台１６上を撮影するためのカメラ１０
０等の撮像装置を設け、また、研磨台１６の上方に、Ｃ
ＲＴ等のモニタ１０２を設けるようにすることができ
る。これによって、研磨するカラーフィルタ１２の表面
を拡大して、モニタ１０２へ写し出すようにすれば、研
磨状態等のカラーフィルタ１２の表面の微細な形状を容
易に確認することができる。

【００６２】また、自動研磨装置１０の周囲を防塵カバ
ー１０４で覆うと共に、装置奥側に図示しない送風器か
らの吹き出し口１０６を設けるようにすることもでき
る。この吹き出し口１０６からのカラーフィルタ１２の
表面への送風によって、研磨作業に先立ってカラーフィ
ルタ１２の表面に付着している塵等を排除することがで
きると共に、表面研磨によって生じた微細な塵をカラー
フィルタ１２の表面から排出することも可能となる。こ
のとき、吹き出し口１０６に対向して吸引器を設けて、
カラーフィルタ１２の表面から排除した塵等を吸引する
ようにしてもよい。このような構成を付加することによ
り、より一層、研磨作業が容易となり、カラーフィルタ
１２の精度の良い円滑な研磨作業をおこなうことができ
る。

【００６３】このような、本発明の研磨装置は、カラー
フィルタ１２に限らず、平面の加工精度を必要とする、
電子回路や高周波回路の基板等を被研摩部材としてこれ
らの表面を研摩する研摩装置に適用することが可能であ
る。

【００６４】

【発明の効果】以上説明した如く、本発明の研磨装置
は、一対のガイドローラによって研磨ローラと被研磨部
材の表面との間の間隙を一定に保持しているために、均
一に被研磨部材の表面を研磨することができる。また、
ガイドローラがそれぞれ被研磨部材の表面高さに追従し
て上下移動できるため、被研磨部材の表面に傾斜等によ
る高低差が生じていても、研磨ローラとの間隙を一定に
保持して、均一な研磨を行うことができる優れた効果を
優する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施例に適用した研磨装置を示す斜視図で
る。

【図２】研磨ユニットへの研磨ヘッドの取付けを示す研
磨ユニットの要部斜視図である。

【図３】研磨ヘッドの装置幅方向から見た概略側面図で
ある。

【図４】研磨ヘッドに設けたスイングアームの概略斜視
図である。

【図５】図４の５−５線に沿った概略断面図である。

【図６】装置奥側から見た研磨ヘッドのスイングアーム
を概略図である。

【図７】円滑な研磨作業を行うための機能を付加して研
磨装置の一例を示す概略斜視図である。

【符号の説明】

１０ 自動研磨装置 １２ カラーフィルタ（被研磨部材） ２２ 研磨ヘッド ５０ スイングアーム ５２ 固定シャフト ５４ 支持アーム ５６ 支持シャフト ５６Ａ 偏心部 ５８ 研磨ローラ ６０ ガイドローラ ８４ 偏心カム（支持手段） ８８ 自動調芯軸受け

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 研磨台上の所定の位置に載置した被研磨
   部材の表面に対して周面に研磨部材が配置された研磨ロ
   ーラを相対移動させて、被研磨部材の表面を研磨する研
   磨装置であって、前記研磨台の上面に略平行に突設され
   た固定シャフトと、前記固定シャフトに回動自在に設け
   られた支持アームと、前記研磨ローラを挟んで回転自在
   に配置された一対のガイドローラと、前記支持アームに
   前記固定シャフトと略平行にかつ回転可能に設けられ前
   記研磨ローラを前記一対のガイドローラに対して偏心さ
   せて支持する支持シャフトと、を有することを特徴とす
   る研磨装置。
2. 【請求項２】 前記支持アームを前記ガイドローラ及び
   前記研磨ローラを前記被研磨部材の表面と離間した位置
   に支持し、非支持状態とすることにより、前記支持アー
   ムを前記固定シャフト回りに回動させて一対のガイドロ
   ーラと共に研磨ローラを前記被研磨部材の表面へ接近さ
   せる支持手段をさらに含む請求項１の研磨装置。
3. 【請求項３】 前記支持アームが前記支持シャフトの両
   端部に対向して一対設けられ、前記支持アームの両端部
   にそれぞれ設けられた軸受けに前記固定シャフト及び前
   記支持シャフトが挿入されて支持されていることを特徴
   とする請求項１又は請求項２の研磨装置。
4. 【請求項４】 前記軸受けとして前記支持アームと前記
   支持シャフトの間に自動調芯軸受けを用いていることを
   特徴とする請求項３の研磨装置。