JP2002098641A - 大型基板検査装置 - Google Patents
大型基板検査装置Info
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- JP2002098641A JP2002098641A JP2000287619A JP2000287619A JP2002098641A JP 2002098641 A JP2002098641 A JP 2002098641A JP 2000287619 A JP2000287619 A JP 2000287619A JP 2000287619 A JP2000287619 A JP 2000287619A JP 2002098641 A JP2002098641 A JP 2002098641A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】移動部材の移動時に発生する歪みを減少し、移
動部材のスムーズな移動と正確な位置決めとを行う。 【解決手段】移動部材２２の一端側の移動部２２ａにお
ける一方の移動方向側２５と移動部材２２の他端側の移
動部２２ｂにおける他方の移動方向側２６との間に第１
のワイヤー２７を連結すると共に、移動部材２２の一端
側の移動部２２ａにおける他方の移動方向側２８と移動
部材２２の他端側の移動部２２ｂにおける一方の移動方
向側２９との間に第２のワイヤー３０を連結した。
動部材のスムーズな移動と正確な位置決めとを行う。 【解決手段】移動部材２２の一端側の移動部２２ａにお
ける一方の移動方向側２５と移動部材２２の他端側の移
動部２２ｂにおける他方の移動方向側２６との間に第１
のワイヤー２７を連結すると共に、移動部材２２の一端
側の移動部２２ａにおける他方の移動方向側２８と移動
部材２２の他端側の移動部２２ｂにおける一方の移動方
向側２９との間に第２のワイヤー３０を連結した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶、プラ
ズマ、有機ＥＬなどのフラットパネルディスプレイ（Ｆ
ＰＤ）に用いられるガラス基板等の大型基板の外観を検
査する大型基板検査装置に関する。
ズマ、有機ＥＬなどのフラットパネルディスプレイ（Ｆ
ＰＤ）に用いられるガラス基板等の大型基板の外観を検
査する大型基板検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば液晶、プラズマ、有機ＥＬなどの
フラットパネルディスプレイに用いられるガラス基板等
の大型基板は、その品質の要求から外観検査が行われ
る。この外観検査は、例えばガラス基板上に照明光を照
射し、検査員の目視によりガラス基板上のダスト・粒子
の付着や汚れ、傷、欠け等を検査するものである。
フラットパネルディスプレイに用いられるガラス基板等
の大型基板は、その品質の要求から外観検査が行われ
る。この外観検査は、例えばガラス基板上に照明光を照
射し、検査員の目視によりガラス基板上のダスト・粒子
の付着や汚れ、傷、欠け等を検査するものである。
【０００３】図３はかかる外観検査に用いる移動駆動機
構の構成図である。基台１上には、テーブル２が設けら
れている。このテーブル２上には、例えば液晶ディスプ
レイなどのフラットパネルディスプレイに用いられるガ
ラス基板３が載置される。又、基台１上には、所定間隔
をおいて互いに平行に２つのガイド支持部材４、５が設
けられている。これらガイド支持部材４、５間には、門
柱型の移動部材６が一方の方向、例えばＹ軸方向に移動
自在に設けられている。
構の構成図である。基台１上には、テーブル２が設けら
れている。このテーブル２上には、例えば液晶ディスプ
レイなどのフラットパネルディスプレイに用いられるガ
ラス基板３が載置される。又、基台１上には、所定間隔
をおいて互いに平行に２つのガイド支持部材４、５が設
けられている。これらガイド支持部材４、５間には、門
柱型の移動部材６が一方の方向、例えばＹ軸方向に移動
自在に設けられている。
【０００４】これらガイド支持部材４、５には、移動部
材６を移動するためのレール７が設けられている。又、
他方のガイド支持部材５には、モータ８の軸に連結され
た送りネジ９が設けられている。従って、移動部材６
は、送りネジ９に螺合すると共にレール７上に載ってい
る。
材６を移動するためのレール７が設けられている。又、
他方のガイド支持部材５には、モータ８の軸に連結され
た送りネジ９が設けられている。従って、移動部材６
は、送りネジ９に螺合すると共にレール７上に載ってい
る。
【０００５】又、移動部材６には、Ｘ軸方向に移動可能
な移動部材１０が設けられ、この移動部材１０にガラス
基板３の拡大像を得るための光学系１１及びその拡大画
像を撮像するための撮像装置１２が設けられている。
な移動部材１０が設けられ、この移動部材１０にガラス
基板３の拡大像を得るための光学系１１及びその拡大画
像を撮像するための撮像装置１２が設けられている。
【０００６】このような移動駆動機構であれば、モータ
８の駆動により送りネジ９が回転すると、この送りネジ
９の回転が移動部材６のＹ軸方向への移動に変換され
る。従って、移動部材６は、ガイド支持部材４、５のレ
ール７上に走行可能に載っているので、モータ８の駆動
によりＹ軸方向に移動する。
８の駆動により送りネジ９が回転すると、この送りネジ
９の回転が移動部材６のＹ軸方向への移動に変換され
る。従って、移動部材６は、ガイド支持部材４、５のレ
ール７上に走行可能に載っているので、モータ８の駆動
によりＹ軸方向に移動する。
【０００７】又、光学系１１及び撮像装置１２は、移動
部材６に沿ってＸ軸方向に移動自在であることからガラ
ス基板３上の外観検査する領域の上を走行する。
部材６に沿ってＸ軸方向に移動自在であることからガラ
ス基板３上の外観検査する領域の上を走行する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記移
動駆動機構を備えた大型基板検査装置では、他方のガイ
ド支持部材５側にモータ８及び送りネジ９を設けて駆動
しているために、移動部材６は、一方のガイド支持部材
４側が他方のガイド支持部材５側よりも遅れて移動開始
する。
動駆動機構を備えた大型基板検査装置では、他方のガイ
ド支持部材５側にモータ８及び送りネジ９を設けて駆動
しているために、移動部材６は、一方のガイド支持部材
４側が他方のガイド支持部材５側よりも遅れて移動開始
する。
【０００９】このため、移動部材６に歪みが発生し、こ
の移動部材６の移動を悪化させる。さらに、移動部材６
の停止位置が一方のガイド支持部材４側と他方のガイド
支持部材５側とでずれてしまい、Ｘ軸に対して微小角度
だけ傾向き正確に停止位置を決めることができない。
の移動部材６の移動を悪化させる。さらに、移動部材６
の停止位置が一方のガイド支持部材４側と他方のガイド
支持部材５側とでずれてしまい、Ｘ軸に対して微小角度
だけ傾向き正確に停止位置を決めることができない。
【００１０】さらに、液晶ディスプレイなどのフラット
パネルディスプレイに用いられるガラス基板３は７５０
ｍｍ×９５０ｍｍとさらに大型化が進んでおり、この大
型ガラス基板３を検査するために各ガイド支持部材４、
５の間隔を長くすると、移動部材６における歪みがより
発生し、移動部材６の移動をさらに悪化させる。
パネルディスプレイに用いられるガラス基板３は７５０
ｍｍ×９５０ｍｍとさらに大型化が進んでおり、この大
型ガラス基板３を検査するために各ガイド支持部材４、
５の間隔を長くすると、移動部材６における歪みがより
発生し、移動部材６の移動をさらに悪化させる。
【００１１】又、移動部材６が長くなるほど、同じ微小
角度の傾向きであっても、Ｘ軸方向の両端でのズレ量が
拡大し、特に液晶ガラス基板上にマトリックス状に配置
された微小パターン（ＴＦＴ）の同一行に沿って走行さ
せることができず、欠陥の座標管理ができなくなる問題
が生じている。
角度の傾向きであっても、Ｘ軸方向の両端でのズレ量が
拡大し、特に液晶ガラス基板上にマトリックス状に配置
された微小パターン（ＴＦＴ）の同一行に沿って走行さ
せることができず、欠陥の座標管理ができなくなる問題
が生じている。
【００１２】そこで本発明は、移動部材の移動時に発生
する歪みを減少し、移動部材のスムーズな移動と正確な
位置決めとができる大型基板検査装置を提供することを
目的とする。
する歪みを減少し、移動部材のスムーズな移動と正確な
位置決めとができる大型基板検査装置を提供することを
目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】請求項１記載による本発
明は、大型基板を載置する固定テーブルと、この固定テ
ーブルの両側に平行に設置された一対のガイド部と、こ
れらのガイド部上に走行可能に設置された移動部材と、
この移動部材の長手方向に水平走行し前記大型基板面を
観察する観察ユニットと、前記移動部材を前記ガイド部
に沿って移動させる駆動源と、前記移動部材の移動方向
と同一方向に牽引力が作用するように前記移動部材の一
端側と他端側及び他端側と一端側にそれぞれ対称に連結
された一対の連結部材とを具備したことを特徴とする大
型基板検査装置である。
明は、大型基板を載置する固定テーブルと、この固定テ
ーブルの両側に平行に設置された一対のガイド部と、こ
れらのガイド部上に走行可能に設置された移動部材と、
この移動部材の長手方向に水平走行し前記大型基板面を
観察する観察ユニットと、前記移動部材を前記ガイド部
に沿って移動させる駆動源と、前記移動部材の移動方向
と同一方向に牽引力が作用するように前記移動部材の一
端側と他端側及び他端側と一端側にそれぞれ対称に連結
された一対の連結部材とを具備したことを特徴とする大
型基板検査装置である。
【００１４】請求項２記載による本発明は、請求項１記
載の大型基板検査装置において、前記連結部材は、ワイ
ヤ又はベルトであることを特徴とする。
載の大型基板検査装置において、前記連結部材は、ワイ
ヤ又はベルトであることを特徴とする。
【００１５】請求項３記載による本発明は、請求項１記
載の大型基板検査装置において、前記一対の連結部材
は、前記移動部材の一端側における一方の移動方向側の
延長方向と前記移動部材の他端側における他方の移動方
向側の延長方向から架張された第１の連結部材と、前記
移動部材の他端側における他方の移動方向側の延長方向
と前記移動部材の一端側における一方の移動方向側の延
長方向から架張された第２の連結部材とからなることを
特徴とする。
載の大型基板検査装置において、前記一対の連結部材
は、前記移動部材の一端側における一方の移動方向側の
延長方向と前記移動部材の他端側における他方の移動方
向側の延長方向から架張された第１の連結部材と、前記
移動部材の他端側における他方の移動方向側の延長方向
と前記移動部材の一端側における一方の移動方向側の延
長方向から架張された第２の連結部材とからなることを
特徴とする。
【００１６】請求項４記載による本発明は、請求項３記
載の大型基板検査装置において、前記第１の連結部材
は、前記移動部材の一端側における他方の移動方向のほ
ぼ延長線上に配置された第１のプーリと、前記移動部材
の一端側における一方の移動方向のほぼ延長線上に配置
された第２のプーリと、前記移動部材の他端側における
一方の移動方向のほぼ延長線上に配置された第３のプー
リとにそれぞれ掛け回され、又前記第２の連結部材は、
前記移動部材の他端側における他方の移動方向のほぼ延
長線上に配置された第４のプーリと、前記移動部材の他
端側における一方の移動方向のほぼ延長線上に配置され
た第５のプーリと、前記架台の一端側における一方の移
動方向のほぼ延長線上に配置された第６のプーリとにそ
れぞれ掛け回されたことを特徴とする。
載の大型基板検査装置において、前記第１の連結部材
は、前記移動部材の一端側における他方の移動方向のほ
ぼ延長線上に配置された第１のプーリと、前記移動部材
の一端側における一方の移動方向のほぼ延長線上に配置
された第２のプーリと、前記移動部材の他端側における
一方の移動方向のほぼ延長線上に配置された第３のプー
リとにそれぞれ掛け回され、又前記第２の連結部材は、
前記移動部材の他端側における他方の移動方向のほぼ延
長線上に配置された第４のプーリと、前記移動部材の他
端側における一方の移動方向のほぼ延長線上に配置され
た第５のプーリと、前記架台の一端側における一方の移
動方向のほぼ延長線上に配置された第６のプーリとにそ
れぞれ掛け回されたことを特徴とする。
【００１７】請求項５記載による本発明は、請求項１記
載の大型基板検査装置において、前記移動部材は、前記
ガイド部を敷設した一対の片持梁構造の梁だしアームに
架設されたことを特徴とする。
載の大型基板検査装置において、前記移動部材は、前記
ガイド部を敷設した一対の片持梁構造の梁だしアームに
架設されたことを特徴とする。
【００１８】請求項６記載による本発明は、請求項１記
載の大型基板検査装置において、前記移動部材は、前記
固定テーブルの両側に敷設された一対のガイド部上を走
行する門型アームに構成したことを特徴とする。
載の大型基板検査装置において、前記移動部材は、前記
固定テーブルの両側に敷設された一対のガイド部上を走
行する門型アームに構成したことを特徴とする。
【００１９】請求項７記載による本発明は、請求項１記
載の大型基板検査装置において、前記駆動源は、前記移
動部材の一端側又は他端側の一方の前記ガイド部に沿っ
て設置されたボールネジと、このボールネジの一端に連
結されたモータによりなることを特徴とする。
載の大型基板検査装置において、前記駆動源は、前記移
動部材の一端側又は他端側の一方の前記ガイド部に沿っ
て設置されたボールネジと、このボールネジの一端に連
結されたモータによりなることを特徴とする。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。
いて図面を参照して説明する。
【００２１】図１は液晶ディスプレイなどのフラットパ
ネルディスプレイに用いられるガラス基板の外観検査装
置の外観図であり、図２は同外観検査装置に用いられる
移動駆動機構の構成図である。基台１上には、検査対象
となるＦＰＤ用の大型ガラス基板３を位置決め固定する
固定テーブル２が設けられている。この固定テーブル２
の両側には、所定間隔をおいて互いに平行に２つのガイ
ド支持部材４、５が設けられ、それぞれのガイド支持部
材４、５にはガイドレール２０、２１が互いに平行にＹ
軸方向にに設けられている。これらレール２０、２１
は、一対の片持梁構造のガイド支持部材４、５に敷設さ
れ、この一対のガイド支持部材４、５に移動部材２２が
架設されている。従って、移動部材２２は、各レール２
０、２１上をＹ軸方向に走行可能となっている。なお、
この移動部材２２は、一端側の移動部２２ａと、他端側
の移動部２２ｂと、これら移動部２２ａと２２ｂとを連
結する連結部２２ｃとからなっている。
ネルディスプレイに用いられるガラス基板の外観検査装
置の外観図であり、図２は同外観検査装置に用いられる
移動駆動機構の構成図である。基台１上には、検査対象
となるＦＰＤ用の大型ガラス基板３を位置決め固定する
固定テーブル２が設けられている。この固定テーブル２
の両側には、所定間隔をおいて互いに平行に２つのガイ
ド支持部材４、５が設けられ、それぞれのガイド支持部
材４、５にはガイドレール２０、２１が互いに平行にＹ
軸方向にに設けられている。これらレール２０、２１
は、一対の片持梁構造のガイド支持部材４、５に敷設さ
れ、この一対のガイド支持部材４、５に移動部材２２が
架設されている。従って、移動部材２２は、各レール２
０、２１上をＹ軸方向に走行可能となっている。なお、
この移動部材２２は、一端側の移動部２２ａと、他端側
の移動部２２ｂと、これら移動部２２ａと２２ｂとを連
結する連結部２２ｃとからなっている。
【００２２】この移動部材２２には、Ｘ軸方向に移動可
能な観察ユニット支持部１０が設けられ、この観察ユニ
ット支持部１０にガラス基板３の拡大像を得るための光
学系１１及びその拡大画像を撮像するための撮像装置１
２を組み込んだ観察ユニットが設けられている。撮像装
置１２から出力された画像信号は、図示しない画像処理
装置で処理され、図示しないモニタ上に映し出される。
検査者は、モニタを見て基板上の欠陥を目視検査する。
能な観察ユニット支持部１０が設けられ、この観察ユニ
ット支持部１０にガラス基板３の拡大像を得るための光
学系１１及びその拡大画像を撮像するための撮像装置１
２を組み込んだ観察ユニットが設けられている。撮像装
置１２から出力された画像信号は、図示しない画像処理
装置で処理され、図示しないモニタ上に映し出される。
検査者は、モニタを見て基板上の欠陥を目視検査する。
【００２３】又、一方のガイド支持部材４には、図２に
示すように移動部材２２をＹ軸方向に移動させるための
駆動源としてのモータ２３が設けられている。このモー
タ２３には、送りネジ２４が連結され、送りネジ２４と
移動部材２２とが螺合している。なお、送りネジ２４
は、Ｙ軸方向に平行、すなわち各レール２０、２１に対
して平行に設けられている。
示すように移動部材２２をＹ軸方向に移動させるための
駆動源としてのモータ２３が設けられている。このモー
タ２３には、送りネジ２４が連結され、送りネジ２４と
移動部材２２とが螺合している。なお、送りネジ２４
は、Ｙ軸方向に平行、すなわち各レール２０、２１に対
して平行に設けられている。
【００２４】前記移動部材２２の一端側の移動部２２ａ
における一方の移動方向側２５と同移動部材２２の他端
側の移動部２２ｂにおける他方の移動方向側２６との間
には、第１の連結部材としての第１のワイヤー２７が連
結されている。この第１のワイヤー２７は、移動部材２
２のＹ軸方向への移動駆動力を、上記移動部２２ａにお
ける一方の移動方向側２５と上記移動部２２ｂにおける
他方の移動方向側２６との間で伝達するためのものであ
る。
における一方の移動方向側２５と同移動部材２２の他端
側の移動部２２ｂにおける他方の移動方向側２６との間
には、第１の連結部材としての第１のワイヤー２７が連
結されている。この第１のワイヤー２７は、移動部材２
２のＹ軸方向への移動駆動力を、上記移動部２２ａにお
ける一方の移動方向側２５と上記移動部２２ｂにおける
他方の移動方向側２６との間で伝達するためのものであ
る。
【００２５】これと共に、移動部材２２の一端側の移動
部２２ａにおける他方の移動方向側２８と同移動部材２
２の他端側の移動部２２ｂにおける一方の移動方向側２
９との間には、第２の連結部材としての第２のワイヤー
３０が連結されている。この第２のワイヤー３０は、移
動部材２２のＹ軸方向への移動駆動力を、上記移動部２
２ａにおける他方の移動方向側２８と上記移動部２２ｂ
における一方の移動方向側２９との間で伝達するための
ものである。
部２２ａにおける他方の移動方向側２８と同移動部材２
２の他端側の移動部２２ｂにおける一方の移動方向側２
９との間には、第２の連結部材としての第２のワイヤー
３０が連結されている。この第２のワイヤー３０は、移
動部材２２のＹ軸方向への移動駆動力を、上記移動部２
２ａにおける他方の移動方向側２８と上記移動部２２ｂ
における一方の移動方向側２９との間で伝達するための
ものである。
【００２６】上記第１のワイヤー２７は、一方のガイド
支持部材４上に回転自在に設けられたプーリ３１と、他
方のガイド支持部材５上に回転自在に設けられた各プー
リ３２、３３とにより張られるように掛けられている。
支持部材４上に回転自在に設けられたプーリ３１と、他
方のガイド支持部材５上に回転自在に設けられた各プー
リ３２、３３とにより張られるように掛けられている。
【００２７】この第１のワイヤー２７と同様に、上記第
２のワイヤー３０は、一方のガイド支持部材４上に回転
自在に設けられた各プーリ３４、３５と、他方のガイド
支持部材５上に回転自在に設けられたプーリ３６とによ
り張られるように掛けられている。
２のワイヤー３０は、一方のガイド支持部材４上に回転
自在に設けられた各プーリ３４、３５と、他方のガイド
支持部材５上に回転自在に設けられたプーリ３６とによ
り張られるように掛けられている。
【００２８】従って、これら第１及び第２のワイヤー２
７、３０は、図１に示す外観検査装置の各ガイド支持部
材４、５及びこれらガイド支持部材４、５間に設けられ
た背面部材３７の内部に設けられるものとなっている。
なお、これら第１及び第２のワイヤー２７、３０は、背
面部材３７の内部においてクロスしている。これら第１
及び第２のワイヤー２７、３０がクロスにより互いに接
触しないように各プーリ３１、３２、３５、３６の高さ
が調整されている。
７、３０は、図１に示す外観検査装置の各ガイド支持部
材４、５及びこれらガイド支持部材４、５間に設けられ
た背面部材３７の内部に設けられるものとなっている。
なお、これら第１及び第２のワイヤー２７、３０は、背
面部材３７の内部においてクロスしている。これら第１
及び第２のワイヤー２７、３０がクロスにより互いに接
触しないように各プーリ３１、３２、３５、３６の高さ
が調整されている。
【００２９】なお、第１及び第２のワイヤー２７、３０
は、例えばＳＵＳから形成されている。
は、例えばＳＵＳから形成されている。
【００３０】次に、上記の如く構成された移動駆動機構
の作用について説明する。
の作用について説明する。
【００３１】モータ２３の駆動により送りネジ２４が回
転すると、この送りネジ２４の回転が移動部材２２のＹ
軸方向への移動に変換される。従って、移動部材２２
は、一方の移動部２２ａ側にＹ軸方向である矢印Ａ方向
又は矢印Ｂ方向への移動駆動力が加わり、各ガイド支持
部材４、５上の各レール２０、２１上を矢印Ａ方向又は
矢印Ｂ方向に移動する。
転すると、この送りネジ２４の回転が移動部材２２のＹ
軸方向への移動に変換される。従って、移動部材２２
は、一方の移動部２２ａ側にＹ軸方向である矢印Ａ方向
又は矢印Ｂ方向への移動駆動力が加わり、各ガイド支持
部材４、５上の各レール２０、２１上を矢印Ａ方向又は
矢印Ｂ方向に移動する。
【００３２】ここで、移動部材２２が矢印Ａ方向に移動
した場合、移動部材２２における一方の移動部２２ａ側
に矢印Ａ方向への移動駆動力が加わるので、この矢印Ａ
方向への移動駆動力が第２のワイヤー３０を介して一方
の移動部２２ａにおける他方の移動方向側２８から他方
の移動部２２ｂにおける一方の移動方向側２９に伝達さ
れる。これにより、一方の移動方向側２９には、矢印Ａ
方向への移動駆動力すなわち引っ張り力が加わる。
した場合、移動部材２２における一方の移動部２２ａ側
に矢印Ａ方向への移動駆動力が加わるので、この矢印Ａ
方向への移動駆動力が第２のワイヤー３０を介して一方
の移動部２２ａにおける他方の移動方向側２８から他方
の移動部２２ｂにおける一方の移動方向側２９に伝達さ
れる。これにより、一方の移動方向側２９には、矢印Ａ
方向への移動駆動力すなわち引っ張り力が加わる。
【００３３】従って、移動部材２２には、モータ２３の
駆動によって一方の移動部２２ａ側に矢印Ａ方向への移
動駆動力が加わり、これと同時に他方の移動部２２ｂに
おける一方の移動方向側２９にも矢印Ａ方向への移動駆
動力が加わる。
駆動によって一方の移動部２２ａ側に矢印Ａ方向への移
動駆動力が加わり、これと同時に他方の移動部２２ｂに
おける一方の移動方向側２９にも矢印Ａ方向への移動駆
動力が加わる。
【００３４】又、移動部材２２が矢印Ｂ方向に移動した
場合、移動部材２２における一方の移動部２２ａ側に矢
印Ｂ方向への移動駆動力が加わるので、この矢印Ｂ方向
への移動駆動力が第１のワイヤー２７を介して一方の移
動部２２ａにおける一方の移動方向側２５から他方の移
動部２２ｂにおける他方の移動方向側２６に伝達され
る。これにより、他方の移動方向側２６には、矢印Ｂ方
向への移動駆動力すなわち引っ張り力が加わる。
場合、移動部材２２における一方の移動部２２ａ側に矢
印Ｂ方向への移動駆動力が加わるので、この矢印Ｂ方向
への移動駆動力が第１のワイヤー２７を介して一方の移
動部２２ａにおける一方の移動方向側２５から他方の移
動部２２ｂにおける他方の移動方向側２６に伝達され
る。これにより、他方の移動方向側２６には、矢印Ｂ方
向への移動駆動力すなわち引っ張り力が加わる。
【００３５】従って、移動部材２２には、モータ２３の
駆動によって一方の移動部２２ａ側に矢印Ｂ方向への移
動駆動力が加わり、これと同時に他方の移動部２２ｂに
おける他方の移動方向側２６にも矢印Ｂ方向への移動駆
動力が加わる。
駆動によって一方の移動部２２ａ側に矢印Ｂ方向への移
動駆動力が加わり、これと同時に他方の移動部２２ｂに
おける他方の移動方向側２６にも矢印Ｂ方向への移動駆
動力が加わる。
【００３６】又、光学系１１及び撮像装置１２は、移動
部材６においてＸ軸方向に移動自在であることからガラ
ス基板３上の外観検査する領域の上方に移動される。
部材６においてＸ軸方向に移動自在であることからガラ
ス基板３上の外観検査する領域の上方に移動される。
【００３７】このように上記一実施の形態においては、
移動部材２２において、一端側の移動部２２ａにおける
一方の移動方向側２５と他端側の移動部２２ｂにおける
他方の移動方向側２６との間に第１のワイヤー２７を連
結すると共に、一端側の移動部２２ａにおける他方の移
動方向側２８と他端側の移動部２２ｂにおける一方の移
動方向側２９との間に第２のワイヤー３０を連結したの
で、一方のガイド支持部材４側に設けられたモータ２３
の駆動により移動部材２２を移動させても、移動部材２
２の一端側と他端側とで同時に矢印Ａ方向又は矢印Ｂ方
向に移動駆動力（引っ張り力）を加えることができ、移
動部材２２を一端側と他端側とで同時に移動させること
ができる。一方、移動部材２２を停止させるときも、移
動部材２２の一端側と他端側とで同時に停止させる駆動
力を加えることができる。従って、移動部材２２の移動
時に発生する歪みを殆どない程度に減少して、移動部材
２２のスムーズな移動と正確な位置決めとを行うことが
できる。
移動部材２２において、一端側の移動部２２ａにおける
一方の移動方向側２５と他端側の移動部２２ｂにおける
他方の移動方向側２６との間に第１のワイヤー２７を連
結すると共に、一端側の移動部２２ａにおける他方の移
動方向側２８と他端側の移動部２２ｂにおける一方の移
動方向側２９との間に第２のワイヤー３０を連結したの
で、一方のガイド支持部材４側に設けられたモータ２３
の駆動により移動部材２２を移動させても、移動部材２
２の一端側と他端側とで同時に矢印Ａ方向又は矢印Ｂ方
向に移動駆動力（引っ張り力）を加えることができ、移
動部材２２を一端側と他端側とで同時に移動させること
ができる。一方、移動部材２２を停止させるときも、移
動部材２２の一端側と他端側とで同時に停止させる駆動
力を加えることができる。従って、移動部材２２の移動
時に発生する歪みを殆どない程度に減少して、移動部材
２２のスムーズな移動と正確な位置決めとを行うことが
できる。
【００３８】又、第１及び第２のワイヤー２７、３０
は、各ガイド支持部材４、５及び背面部材３７の内部に
配置しているので、液晶ディスプレイなどのフラットパ
ネルディスプレイに用いられるガラス基板３の外観検査
のように、ガラス基板３の上方空間に光学系１１及び撮
像装置１２を移動させる必要がある場合には、非常に有
効である。その上、移動部材２２のスムーズな移動と正
確な位置決めとができることから、ガラス基板３の外観
検査の信頼性を向上できる。
は、各ガイド支持部材４、５及び背面部材３７の内部に
配置しているので、液晶ディスプレイなどのフラットパ
ネルディスプレイに用いられるガラス基板３の外観検査
のように、ガラス基板３の上方空間に光学系１１及び撮
像装置１２を移動させる必要がある場合には、非常に有
効である。その上、移動部材２２のスムーズな移動と正
確な位置決めとができることから、ガラス基板３の外観
検査の信頼性を向上できる。
【００３９】さらに、液晶ディスプレイなどのフラット
パネルディスプレイに用いられるガラス基板３などの大
型化に対応するために各ガイド支持部材４、５の間隔を
長くしても、上記同様に、移動部材２２の移動時に歪み
を殆どない程度に減少して、移動部材２２のスムーズな
移動と正確な位置決めとを行うことができる。
パネルディスプレイに用いられるガラス基板３などの大
型化に対応するために各ガイド支持部材４、５の間隔を
長くしても、上記同様に、移動部材２２の移動時に歪み
を殆どない程度に減少して、移動部材２２のスムーズな
移動と正確な位置決めとを行うことができる。
【００４０】なお、本発明は、上記一実施の形態に限定
されるものでなく次の通りに変形してもよい。
されるものでなく次の通りに変形してもよい。
【００４１】例えば、上記一実施の形態では、第１及び
第２のワイヤー２７、３０を用いているが、これらを歯
付きベルトや金属製平ベルトに代えてもよい。
第２のワイヤー２７、３０を用いているが、これらを歯
付きベルトや金属製平ベルトに代えてもよい。
【００４２】又、モータ２３及び送りネジ２４は、一方
のガイド支持部材４上に設けているが、他方のガイド支
持部材５上に設けてもよく、又は両方のガイド支持部材
４、５上にそれぞれ設けてもよい。
のガイド支持部材４上に設けているが、他方のガイド支
持部材５上に設けてもよく、又は両方のガイド支持部材
４、５上にそれぞれ設けてもよい。
【００４３】さらに、上記一実施の形態では、移動部材
を一対の片持梁構造のガイド支持部材に架設した架橋構
造としたが、基台にガイドレールを敷設し、このガイド
レール上を走行可能な門柱型（アーチ型）に移動部材を
構成することもできる。
を一対の片持梁構造のガイド支持部材に架設した架橋構
造としたが、基台にガイドレールを敷設し、このガイド
レール上を走行可能な門柱型（アーチ型）に移動部材を
構成することもできる。
【００４４】
【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、移
動部材の移動時に発生する歪みを減少し、移動部材のス
ムーズな移動と正確な位置決めとができる大型基板検査
装置を提供できる。
動部材の移動時に発生する歪みを減少し、移動部材のス
ムーズな移動と正確な位置決めとができる大型基板検査
装置を提供できる。
【図１】本発明に係わる大型基板検査装置の一実施の形
態を示す外観図。
態を示す外観図。
【図２】本発明に係わる大型基板検査装置に用いられる
移動駆動機構を示す構成図。
移動駆動機構を示す構成図。
【図３】従来における外観検査装置を示す外観図。
１：基台 ２：テーブル ３：ガラス基板 ４，５：ガイド支持部材 １０：観察ユニット支持部 １１：光学系 １２：撮像装置 ２０，２１：レール ２２：移動部材 ２２ａ：一端側の移動部 ２２ｂ：他端側の移動部 ２２ｃ：連結部 ２３：モータ ２４：送りネジ ２５：一方の移動方向側 ２６：他方の移動方向側 ２７：第１のワイヤー ２８：他方の移動方向側 ２９：一方の移動方向側 ３０：第２のワイヤー ３１，３２，３３，３４，３５，３６：プーリ ３７：背面部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０２Ｂ 21/24 Ｇ０２Ｂ 21/24
Claims (7)
- 【請求項１】 大型基板を載置する固定テーブルと、 この固定テーブルの両側に平行に設置された一対のガイ
ド部と、 これらのガイド部上に走行可能に設置された移動部材
と、 この移動部材の長手方向に水平走行し前記大型基板面を
観察する観察ユニットと、 前記移動部材を前記ガイド部に沿って移動させる駆動源
と、 前記移動部材の移動方向と同一方向に牽引力が作用する
ように前記移動部材の一端側と他端側及び他端側と一端
側にそれぞれ対称に連結された一対の連結部材と、を具
備したことを特徴とする大型基板検査装置。 - 【請求項２】 前記連結部材は、ワイヤ又はベルトであ
ることを特徴とする請求項１記載の大型基板検査装置。 - 【請求項３】 前記一対の連結部材は、前記移動部材の
一端側における一方の移動方向側の延長方向と前記移動
部材の他端側における他方の移動方向側の延長方向から
架張された第１の連結部材と、 前記移動部材の他端側における他方の移動方向側の延長
方向と前記移動部材の一端側における一方の移動方向側
の延長方向から架張された第２の連結部材と、からなる
ことを特徴とする請求項１記載の大型基板検査装置。 - 【請求項４】 前記第１の連結部材は、前記移動部材の
一端側における他方の移動方向のほぼ延長線上に配置さ
れた第１のプーリと、前記移動部材の一端側における一
方の移動方向のほぼ延長線上に配置された第２のプーリ
と、前記移動部材の他端側における一方の移動方向のほ
ぼ延長線上に配置された第３のプーリとにそれぞれ掛け
回され、 又前記第２の連結部材は、前記移動部材の他端側におけ
る他方の移動方向のほぼ延長線上に配置された第４のプ
ーリと、前記移動部材の他端側における一方の移動方向
のほぼ延長線上に配置された第５のプーリと、前記架台
の一端側における一方の移動方向のほぼ延長線上に配置
された第６のプーリとにそれぞれ掛け回されたことを特
徴とする請求項３記載の大型基板検査装置。 - 【請求項５】 前記移動部材は、前記ガイド部を敷設し
た一対の片持梁構造の梁だしアームに架設されたことを
特徴とする請求項１記載の大型基板検査装置。 - 【請求項６】 前記移動部材は、前記固定テーブルの両
側に敷設された一対のガイド部上を走行する門型アーム
に構成したことを特徴とする請求項１記載の大型基板検
査装置。 - 【請求項７】 前記駆動源は、前記移動部材の一端側又
は他端側の一方の前記ガイド部に沿って設置されたボー
ルネジと、 このボールネジの一端に連結されたモータによりなるこ
とを特徴とする請求項１記載の大型基板検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000287619A JP2002098641A (ja) | 2000-09-21 | 2000-09-21 | 大型基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000287619A JP2002098641A (ja) | 2000-09-21 | 2000-09-21 | 大型基板検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002098641A true JP2002098641A (ja) | 2002-04-05 |
Family
ID=18771338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000287619A Pending JP2002098641A (ja) | 2000-09-21 | 2000-09-21 | 大型基板検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002098641A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007322426A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | General Electric Co <Ge> | 超小型空隙検査クローラ |
| JP2008261856A (ja) * | 2007-04-11 | 2008-10-30 | Dooyang Systems Inc | 映像機器特性値測定センサー部の自動移送装置及び該移送方法 |
| CN104837040A (zh) * | 2014-02-12 | 2015-08-12 | Lg电子株式会社 | 图像显示装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01288062A (ja) * | 1988-05-13 | 1989-11-20 | Mitsubishi Electric Corp | 原稿読取装置 |
| JPH05104897A (ja) * | 1991-10-16 | 1993-04-27 | Max Co Ltd | 平行定規装置 |
| JPH1194756A (ja) * | 1997-09-24 | 1999-04-09 | Olympus Optical Co Ltd | 基板検査装置 |
-
2000
- 2000-09-21 JP JP2000287619A patent/JP2002098641A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN104837040A (zh) * | 2014-02-12 | 2015-08-12 | Lg电子株式会社 | 图像显示装置 |
| EP2908309A3 (en) * | 2014-02-12 | 2015-10-28 | LG Electronics Inc. | Image display device |
| US9640098B2 (en) | 2014-02-12 | 2017-05-02 | Lg Electronics Inc. | Image display device |
| CN104837040B (zh) * | 2014-02-12 | 2019-02-12 | Lg电子株式会社 | 图像显示装置 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091207 |
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