KR101934234B1 - 광학 장비용 와이드 엑스와이 스테이지 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 엑스와이 스테이지에 관한 것으로서, 상세하게는 엑스축 이동 플레이트와 와이축 이동 플레이트의 이동 길이를 상대적으로 늘려 피사체의 검사 영역을 확대하고, 가이드 레일의 얼라인을 유지시키고, 롤 베어링이 가이드 레일이 면접된 상태를 유지함으로써 이동시 진동이 발생되는 것을 방지하여 검사의 정확성을 높이도록 하는 광학 장비용 와이드 엑스와이 스테이지에 관한 것이다.

Description

광학 장비용 와이드 엑스와이 스테이지{WIDE XY STAGE FOR OPTICAL EQUIPMENT}
본 발명은 엑스와이 스테이지에 관한 것으로서, 상세하게는 엑스축 이동 플레이트와 와이축 이동 플레이트의 이동 길이를 상대적으로 늘려 피사체의 검사 영역을 확대하고, 가이드 레일의 얼라인을 유지시키고, 롤 베어링이 가이드 레일이 면접된 상태를 유지함으로써 이동시 진동이 발생되는 것을 방지하여 검사의 정확성을 높이도록 하는 광학 장비용 와이드 엑스와이 스테이지에 관한 것이다.
일반적으로, 피사체를 확대하여 관찰하는 현미경은 각 분야에서 활용되고 있으며, 그 가운데 반도체공정에서는 웨이퍼 표면에 형성된 미세한 패턴을 관찰하기 위하여 다양한 종류의 현미경이 활용된다.
특히, 반도체공정은 높은 정밀도가 요구되는 공정으로서, 한 번의 실수로 웨이퍼는 완전히 못쓰게 되는 경우가 많기 때문에 문제가 생기자마자 스펙을 벗어나는 웨이퍼나 낮은 수율의 웨이퍼는 즉시 골라내야 한다.
그러므로 웨이퍼가 공정 스텝을 지날 때 여러 가지의 테스트와 평가를 받아야 한다.
일반적으로 상기 테스트 중에서 웨이퍼의 오염이나 가공불량의 검사는 웨이퍼의 높은 수율과 오염조절에 필수적이다.
이러한 웨이퍼의 오염도나 가공불량상태는 육안이나 현미경을 통해 작업자가 확인하고, 필요한 조치를 취할 수 있는 것이다.
한편, 제조라인에서 가장 일반적으로 쓰이는 간단한 검사방법으로서 웨이퍼를 육안으로 검사하는 웨이퍼 육안검사방법이 있다.
상기 웨이퍼 육안검사는, 먼지입자가 평행 백색광 또는 단색의 짧은 단파장의 빛에서 특정한 각도일 때 밝게 빛나는 성질을 이용하여 아주 작은 조각의 오염물을 확인할 수 있다.
상기 육안검사로 확인할 수 없는 웨이퍼의 오염은 금속현미경이나 전자현미경을 통하여 더욱 정확하게 확인할 수 있다.
이러한 종래의 반도체 웨이퍼 검사는, 작업자가 카세트에 적재된 웨이퍼를 수동식 진공 튀져(Vacuum Tweezer)로 진공흡착한 후 카세트에서 꺼내 클린룸의 천장에 설치된 형광등 불빛이나 일반적인 스탠드 조명에 비추어 육안으로 확인하는 방법이 있다.
또한, 대한민국 등록특허 제10-0288510호에 개시된 바와 같은 엑스와이 스테이지를 이용하여 도 1에 도시된 바와 같이 웨이퍼를 안착시키고, 웨이퍼의 반사각을 조절할 수 있도록 각도조절장치가 설치된 오토로더(5)에서 육안검사를 실시한 후에 불량이 의심되는 웨이퍼가 발견되면 오토로더(5)가 웨이퍼를 자동 전달하고, 상기 웨이퍼(1)를 인계받아 접안렌즈(4)와 대물렌즈(3)를 이용하여 육안으로 조사하지 못하는 정보까지 관찰이 가능한 현미경(2)으로 웨이퍼(1)를 정밀검사하게 된다.
이때 상기 엑스와이 스테이지(40)는, 현미경(2)의 하방에 설치되어 웨이퍼(1)를 오토로더(5)로부터 인계받아 진공흡착하고, 상기 현미경(2)이 웨이퍼의 표면을 모두 검사할 수 있도록 웨이퍼(1)를 전후좌우 즉, 엑스축 및 와이축으로 움직이게 된다.
여기서 엑스와이 스테이지(40)는, 작업자가 최초 엑스와이 스테이지(40)에 설치된 조이스틱(43)을 파지하여 누름대(72)를 가압하면, 엑스축 및 와이축으로 무부하운동이 가능하고, 작업자가 상기 조이스틱(43)에 설치된 누름대(72)를 원상태로 방치하게 되면, 상기 엑스와이스테이지의 움직임이 상기 이중조절노브(54)에 구속되어 이중조절노브(54)의 회전으로 상기 엑스와이 스테이지(40)가 정밀이송되는 것이 가능한 구성이다.
이러한 엑스와이 스테이지(40)는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 웨이퍼를 이동시키면서 웨이퍼의 특정위치를 관찰할 수 있도록 웨이퍼(1)를 엑스축 및 와이축으로 수평이동시키는 엑스와이 스테이지(40)로서, 상면에 상기 웨이퍼(1)를 고정하는 웨이퍼홀더(41)가 설치되고, 엑스축방향으로 이동하는 것이 가능한 엑스축이동판(42)과, 상기 엑스축이동판(42)을 탑재하고, 상기 엑스축이동판(42)이 엑스축방향으로 이동되도록 상기 엑스축이동판(42)을 안내하며, 와이축방향으로 이동하는 것이 가능한 와이축이동판(44)과, 상기 와이축이동판(44)을 탑재하고, 상기 와이축이동판(44)이 와이축방향으로 이동되도록 상기 와이축이동판(44)을 안내하며, 일측이 현미경의 하단에 고정되는 고정판(46)과, 상기 엑스축이동판(42)을 엑스축방향으로 이동시키도록 엑스축방향으로 설치되는 엑스축벨트(62)를 구비하여 이루어지는 엑스축구동장치 및 상기 고정판(46)에 설치되고, 상기 와이축이동판(44)을 와이축방향으로 이동시키도록 와이축방향으로 설치되는 와이축벨트(65)를 구비하여 이루어지는 와이축구동장치를 포함하여 이루어진다.
여기서, 상기 와이축이동판(44)은, 상기 엑스축이동판(42)의 좌우면에 접촉하여 엑스축이동판(42)의 엑스축이동을 안내하는 2개의 접촉판 형상으로 형성되고, 상기 2개의 접촉판의 밑면은 상기 엑스축이동판의 밑면을 가로지르는 와이축이동판연결막대(45)로 연결되는 구성이다.
이때 상기 엑스축이동판(42)과 상기 와이축이동판(44) 사이의 접촉면에 평판형 베어링(51)이 설치되어 마찰에 따른 부하를 줄일 수 있도록 한다.
또한, 상기 고정판(46)은, 상기 와이축이동판(44)의 밑면을 연결하는 와이축이동판연결막대(45)와 맞물림 결합하여 상기 와이축이동판(44)의 와이축방향으로의 미끄럼운동을 안내하는 역할을 한다.
역시, 상기 고정판(46)과 와이축이동판(44) 사이에 마찰을 줄이기 위한 베어링(도시하지 않음)이 설치되는 것도 가능하다.
한편, 상기 엑스축구동장치는, 상기 와이축이동판연결막대(45)에 회전자유로 지지되는 엑스축종동풀리(60)와, 상기 와이축이동판연결막대(45)에 상기 엑스축종동풀리(60)와 엑스축방향으로 일정거리 이격되어 회전지지되고, 상기 엑스축종동풀리(60)에 구동력을 전달하는 엑스축구동풀리(61)와, 상기 엑스축종동풀리(60)와 상기 엑스축구동풀리(61) 사이에서 연동이 가능하도록 엑스축방향으로 설치되고, 일측이 상기 엑스축이동판(42)에 고정된 벨트파지부(70)에 의해 선택적으로 파지되는 엑스축벨트(62) 및 상기 와이축이동판연결막대(45)에 회전자유로 설치되고, 상기 엑스축구동풀리(61)와 연결되어 상기 엑스축구동풀리(61)를 회전시킴으로써 상기 엑스축이동판(42)을 엑스축방향으로 이동시키는 엑스축이동조절노브(53)를 구비하는 구성이다.
따라서, 상기 엑스축이동조절노브(53)를 회전시키면, 상기 엑스축구동풀리(61)가 회전하게 되고, 상기 엑스축벨트(62)는, 상기 엑스축종동풀리(60)와 엑스축구동풀리(61) 사이에서 연동하게 되어 상기 엑스축벨트(62)를 파지하고 있는 벨트파지부(70)와 함께 상기 엑스축이동판(42)을 엑스축방향으로 이동시키게 된다.
여기서, 만약 벨트파지부(70)가 상기 엑스축벨트(62)를 파지하지 않을 경우에는 작업자가 상기 엑스축이동조절노브(53)를 회전시키더라도 상기 엑스축이동판(42)은 이동되지 않는다.
또한, 상기 와이축구동장치는, 상기 고정판(46)에 와이축방향으로 서로 일정 거리 이격되어 회전자유로 회전지지되는 2개의 와이축종동풀리(63)와, 상기 2개의 와이축종동풀리(63) 사이에 연동이 가능하도록 와이축방향으로 설치되고, 일측이 상기 고정판(46)에 고정된 벨트파지부(73)에 의해 선택적으로 파지되는 와이축벨트(65)와, 상기 와이축이동판연결막대(45)에 회전자유로 설치되고, 상기 와이축벨트(65)의 일측면을 따라 내접하여 상기 벨트파지부(73)에 의해 상기 와이축벨트(65)가 고정되면 상기 와이축벨트(65)의 일측면을 따라 회전하면서 상기 와이축이동판(44)과 함께 와이축방향으로 위치가 이동되는 와이축구동풀리(64) 및 상기 와이축구동풀리(64)와 연결되어 상기 와이축구동풀리(64)를 회전시키는 와이축이동조절노브(52)를 구비하는 구성이다.
따라서, 상기 와이축이동조절노브(52)를 회전시키면, 상기 와이축벨트(65)에 내접하는 상기 와이축구동풀리(64)가 회전하게 되지만 상기 엑스축벨트(62)와는 달리, 상기 와이축벨트(65)는, 상기 와이축벨트(65)를 파지하고 있는 벨트파지부(73)에 의해 고정되는 구성이므로 상기 와이축구동풀리(64)는 상기 와이축벨트(65)에 내접운동을 하게 되어 상기 와이축구동풀리(64)가 고정된 상기 와이축이동판(44)과 함께 와이축방향으로 이동하게 된다.
여기서, 만약 벨트파지부(73)가 상기 와이축벨트(65)를 파지하지 않는 경우에는 작업자가 상기 와이축이동조절노브(52)를 회전시키더라도 상기 와이축이동판(44)은 이동되지 않는다.
그러나, 이러한 종래의 엑스와이 스테이지는 와이축이동판이 고정판 상에서 이동하는 데, 와이축이동판의 이동시 무게 중심을 벗어나지 않도록 이동판의 이동 거리가 전체 1/2길이로 제한되어 있기 때문에 피사체의 이동 거리가 한정되어 있어 크기가 큰 피사체의 검사를 수행하지 못하는 문제점이 있다.
또한, 이러한 종래의 엑스와이 스테이지는 고정판 자체가 벨트와 풀리에 의해 엑스축방향으로 이동하기 때문에 이동시 진동이 발생하여 피사체의 고정이 틀어지거나 위치가 벗어나서 검사의 정확성이 떨어지는 문제점이 있다.
대한민국 등록특허 제10-0288510호
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 엑스축 이동 플레이트와 와이축 이동 플레이트의 이동 길이를 상대적으로 늘려 피사체의 검사 영역을 확대하고, 가이드 레일의 얼라인을 유지시키고, 롤 베어링이 가이드 레일이 면접된 상태를 유지함으로써 이동시 진동이 발생되는 것을 방지하여 검사의 정확성을 높이도록 하는 광학 장비용 와이드 엑스와이 스테이지를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은,
광학 장비가 고정되는 홀더가 구비되고, 상부에 엑스축방향으로 상호 이격된 한 쌍의 제 1가이드 레일이 구비되는 테이블과; 상기 테이블의 상부에서 상기 제 1가이드 레일을 따라 자체 길이의 2/3 이상 이동되도록 저면에서 상기 제 1가이드 레일의 중앙부에 위치하면서 상기 제 1가이드 레일과 면접되는 제 1롤 베어링 부재가 구비되고, 상면 양측 중앙부에서 한 쌍의 제 2롤 베어링 부재가 구비되는 엑스축 이동 플레이트와; 상면에 상기 엑스축 이동 플레이트의 제 2롤베어링 부재와 면접되어 자체 길이의 2/3 이상 이동되도록 제 2가이드 레일이 구비되고, 중앙부에 회전홀이 형성되는 와이축 이동 플레이트와; 상기 제 1, 2롤 베어링 부재의 롤 베어링과 상기 제 1, 2가이드 레일이 동일한 마찰력을 유지하도록 상기 제 1, 2롤 베어링 부재를 가압시키는 가압 부재; 및 상기 엑스축 이동 플레이트 어느 하나의 모서리에 수직으로 설치되고, 상기 엑스축 이동 플레이트 다른 하나의 모서리 저면에 설치된 제 1풀리와, 상기 엑스축 이동 플레이트의 또 다른 하나의 모서리 상면에 설치된 제 2풀리와 각각 벨트로 연결되고, 상기 벨트가 상기 테이블 일측에 설치된 제 1벨트 브라켓 및 상기 와이축 이동 플레이트 일측에 설치된 제 2벨트 브라켓과 고정되어 상기 벨트를 회전시켜 상기 엑스축 이동 플레이트 또는 와이축 이동 플레이트를 각각 이동시키는 이중 이동조절 노브를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기에서, 상기 광학 장비용 와이드 엑스와이 스테이지는 원판 형태로 상기 와이축 이동 플레이트의 회전홀에 삽입되어 회전되는 회전 플레이트를 더 포함한다.
여기에서 또한, 상기 제 1, 2가이드 레일은 봉 형태로 형성되어 레일 브라켓에 의해 양단이 고정되고, 상기 레일 브라켓의 양단 끝단에 각각 스토퍼가 구비된다.
여기에서 또, 상기 제 1, 2가이드 레일은 열이나 자체 하중에 의해 얼라인이 틀어지는 것을 방지하도록 일부분이 절개 형성되고, 상기 레일 브라켓에 등간격으로 돌출 형성된 고정 돌기에 삽입되어 고정된다.
여기에서 또, 상기 제 1, 2롤 베어링 부재는 복수의 상기 롤 베어링이 내부에 일렬로 설치되어 상기 제 1, 2가이드 레일과 각각 접촉되도록 일측면이 개방된"L"형태로 형성되고, 수직면 중앙부에 결합홀이 형성되는 롤 베어링 브라켓과; 상기 롤 베어링 내측 수직면에 상기 롤 베어링이 접촉되어 정렬시키도록 내측 수직면에 설치되는 보조 가이드 레일로 이루어진다.
여기에서 또, 상기 가압 부재는 상기 제 1롤 베어링 부재 및 제 2롤 베어링 부재에 한 쌍이 대각선으로 설치되고, 상기 롤 베어링 브라켓의 결합홀에 각각 결합되는 가압 로드와; 중앙부를 기준으로 양측이 서로 다른 방향으로 나사산이 형성되어 상기 가압 로드 사이에 결합되고, 회전에 의해 상기 가압 로드를 가압시켜 상기 롤 베어링 브라켓을 가압하는 가압 커플러로 이루어진다.
여기에서 또, 상기 와이축 이동 플레이트는 상기 엑스축 이동 플레이트와 와이축 이동 플레이트를 원하는 위치로 이동 속도를 증가시키면서 이동시키도록 일단이 외측으로 수평하게 연장 형성되어 퀵 노브 플레이트가 구비되고, 상기 퀵 노브 플레이트 저면에 수직으로 퀵 노브가 설치된다.
상기와 같이 구성되는 본 발명인 광학 장비용 와이드 엑스와이 스테이지에 따르면, 엑스축 이동 플레이트와 와이축 이동 플레이트의 이동 길이를 상대적으로 늘려 피사체의 검사 영역을 확대하고, 가이드 레일의 얼라인을 유지시키고, 롤 베어링이 가이드 레일이 면접된 상태를 유지함으로써 이동시 진동이 발생되는 것을 방지하여 검사의 정확성을 높일 수 있다.
도 1 내지 도 3은 종래의 엑스와이 스테이지의 구성을 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 광학 장비용 와이드 엑스와이 스테이지의 구성을 정면도이다.
도 5는 도 4의 부분 확대도이다.
도 6은 도 4의 평면도이다.
도 7 및 도 8은 본 발명에 따른 광학 장비용 와이드 엑스와이 스테이지중 가이드 레일과, 롤 베어링 부재 및 가압 부재의 구성을 나타낸 평면도이다.
도 9 및 도 10은 도 7 및 도 8의 측면도이다.
도 11 내지 도 14은 본 발명에 따른 광학 장비용 와이드 엑스와이 스테이지의 동작을 설명하기 위한 동작 설명도이다.
이하, 본 발명에 따른 광학 장비용 와이드 엑스와이 스테이지의 구성을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
하기에서 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 4는 본 발명에 따른 광학 장비용 와이드 엑스와이 스테이지의 구성을 정면도이고, 도 5는 도 4의 부분 확대도이며, 도 6은 도 4의 평면도이고, 도 7 및 도 8은 본 발명에 따른 광학 장비용 와이드 엑스와이 스테이지중 가이드 레일과, 롤 베어링 부재 및 가압 부재의 구성을 나타낸 평면도이며, 도 9 및 도 10은 도 7 및 도 8의 측면도이다.
도 4 내지 도 10을 참조하면, 본 발명에 따른 광학 장비용 와이드 엑스와이 스테이지(100)는 테이블(110)과, 엑스축 이동 플레이트(120)와, 와이축 이동 플레이트(130)와, 가압 부재(140) 및 이중 이동조절 노브(150)로 구성된다.
먼저, 테이블(110)은 저면에 다리(111)가 구비되고, 일측 상면에 현미경과 같은 광학 장비(미도시)가 고정되는 홀더(113)가 구비되고, 상부에 엑스축방향으로 상호 이격된 한 쌍의 제 1가이드 레일(GR1)이 구비된다.
그리고, 엑스축 이동 플레이트(120)는 테이블(110)의 상부에서 제 1가이드 레일(GR1)을 따라 자체 길이의 2/3 이상 이동되도록 저면에서 제 1가이드 레일(GR1)의 중앙부에 위치하면서 제 1가이드 레일(GR1)과 면접되는 제 1롤 베어링 부재(R1)가 구비되고, 상면에서 와이축 방향으로 중앙부에 상호 이격된 한 쌍의 제 2롤 베어링 부재(R2)가 구비된다.
또한, 와이축 이동 플레이트(130)는 상면에 엑스축 이동 플레이트(120)의 제 2롤베어링 부재(R2)와 면접되어 자체 길이의 2/3 이상 이동되도록 제 2가이드 레일(GR2)이 구비되고, 중앙부에 회전홀(131)이 형성된다. 이때, 와이축 이동 플레이트(130)는 엑스축 이동 플레이트(120)와 와이축 이동 플레이트(130)를 원하는 위치로 이동 속도를 증가시키면서 이동시키도록 일단이 외측으로 수평하게 연장 형성되어 퀵 노브 플레이트(133)가 구비되고, 퀵 노브 플레이트(133) 저면에 수직으로 퀵 노브(135)가 설치된다.
이어서, 제 1, 2가이드 레일(GR1, GR2)은 봉 형태로 형성되어 레일 브라켓(RK)에 의해 양단이 고정되고, 레일 브라켓(RK)의 양단 끝단에 각각 스토퍼(ST)가 구비된다. 이때, 제 1, 2가이드 레일(GR1, GR2)은 열이나 자체 하중에 의해 얼라인이 틀어지는 것을 방지하도록 일부분이 절개 형성되고, 레일 브라켓(RK)에 등간격으로 돌출 형성된 고정 돌기(P)에 삽입되어 고정된다. 이때, 제 1, 2가이드 레일(GR1, GR2)과 고정 돌기(P)는 열변형을 최소화시키도록 열처리되는 것이 바람직하다.
계속해서, 제 1, 2롤 베어링 부재(RB1, RB2)는 복수의 롤 베어링(RB)이 내부에 일렬로 설치되어 제 1, 2가이드 레일(GR1, GR2)과 각각 접촉되도록 일측면이 개방된"L"형태로 형성되고, 수직면 중앙부에 결합홀(H)이 형성되는 롤 베어링 브라켓(RBK)과, 롤 베어링(RB) 내측 수직면에 롤 베어링(RB)이 접촉되어 정렬되도록 내측 수직면에 설치되는 보조 가이드 레일(GR3)로 이루어진다. 이때, 보조 가이드 레일(GR3)은 열변형을 최소화시키도록 열처리되는 것이 바람직하다.
그리고, 가압 부재(140)는 제 1롤 베어링 부재(R1) 및 제 2롤 베어링 부재(R2)에 한 쌍이 대각선으로 설치되고, 롤 베어링 브라켓(RBK)의 결합홀(H)에 각각 결합되는 가압 로드(141)와, 중앙부를 기준으로 양측이 서로 다른 방향으로 나사산이 형성되어 가압 로드(141) 사이에 결합되고, 회전에 의해 가압 로드(141)를 가압시켜 롤 베어링 브라켓(RBK)을 가압하는 가압 커플러(143)로 이루어진다. 이때, 각각의 가압 로드(141)의 양단에는 회전 및 고정이 이루어지도록 너트(N)가 설치되는 것이 바람직하다.
이어서, 이중 이동조절 노브(150)는 하부의 노브와 중앙부의 노브가 각각 회전되는 통상의 구조로서 엑스축 이동 플레이트(120) 어느 하나의 모서리에 수직으로 설치되고, 엑스축 이동 플레이트(120) 다른 하나의 모서리 저면에 설치된 제 1풀리(PY1)와, 엑스축 이동 플레이트(120)의 또 다른 하나의 모서리 상면에 설치된 제 2풀리(PY2)와 각각 벨트(BT)로 연결되고, 벨트(BT)가 테이블(110) 일측에 설치된 제 1벨트 브라켓(BTK1) 및 와이축 이동 플레이트(130) 일측에 설치된 제 2벨트 브라켓(BTK2)과 고정되어 벨트(BT)를 회전시켜 엑스축 이동 플레이트(120) 또는 와이축 이동 플레이트(130)를 각각 이동시킨다.
한편, 광학 장비용 와이드 엑스와이 스테이지(100)는 원판 형태로 와이축 이동 플레이트(130)의 회전홀(131)에 삽입되어 회전되는 회전 플레이트(160)가 더 구비된다. 이때, 회전 플레이트(160)는 다양한 크기의 피사체(A)를 고정시키도록 홀더(161)가 슬라이딩되는 구조이다.
이하, 본 발명에 따른 광학 장비용 와이드 엑스와이 스테이지의 동작을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 11 내지 도 14은 본 발명에 따른 광학 장비용 와이드 엑스와이 스테이지의 동작을 설명하기 위한 동작 설명도이다.
먼저, 와이축 이동 플레이트(130)에 피사체(A)를 안착시키거나 회전 플레이트(160)를 와이축 이동 플레이트(130)에 결합한 후 회전 플레이트(160)에 피사체(A)를 고정시킨다.
이러한 상태에서 검사자가 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이 이중 이동조절 노브(150)의 하부의 노브를 일방향 또는 타방향으로 회전시키면, 이중 이동조절 노브(150)와 제 1풀리(PY1)를 여결하는 벨트(BT)가 회전되고, 벨트(BT)의 회전에 의해 제 1벨트 브라켓(BTK1)이 이동되어 엑스축 이동 플레이트(120)가 엑스축(즉, 전후방향)으로 수평 이동된다.
엑스축 이동 플레이트(120)가 수평 이동되면, 제 1롤 베어링 부재(RB1)의 복수의 롤 베어링(RB)이 제 1가이드 레일(GR1)을 따라 이동된다. 이때, 검사자가 엑스축 이동 플레이트(120)의 이동 폭이 클 경우 이중 이동조절 노브(150)의 노브를 회전시키지 않고, 퀵 노브(135)를 잡고 전후진시키면 빠르게 전후진이 이루어진다.
그리고, 엑스축 이동 플레이트(120)는 제 1롤 베어링 부재(RB1)가 엑스축 이동 플레이트(120)의 중앙부에 고정되어 있기 때문에 엑스축 이동 플레이트(120)의 이동할 수 있는 거리가 제 1가이드 레일(GR1)의 중앙부에서 제 1가이드 레일(GR1)의 끝단인 스토퍼(ST)까지 이동할 수 있기 때문에 엑스축 이동 플레이트(120)의 전체 길이의 2/3 이상이 이동되어 피사체(A)의 검사 영역을 넓힐 수 있다.
한편, 엑스축 이동 플레이트(120)의 수평 이동시 한 쌍의 제 1롤 베어링 부재(R1)는 가압 부재(140)의 가압 로드(141)에 의해 가압된 상태를 유지하여 제 1가이드 레일(GR1)과 동일한 마찰력을 유지하고 있고, 제 1가이드 레일(GR1)도 일부분이 절개 형성된 상태로 고정 돌기(P)에 의해 고정되어 있기 때문에 얼라인이 유지되고 있어 이동시 진동이 발생하거나 유격에 의해 흔들리는 것이 방지된다.
반대로 검사자가 도 13 및 도 14에 도시된 바와 같이 이중 이동조절 노브(150)의 중앙부의 노브를 일방향 또는 타방향으로 회전시키면, 이중 이동조절 노브(150)와 제 2풀리(PY2)를 여결하는 벨트(BT)가 회전되고, 벨트(BT)의 회전에 의해 제 2벨트 브라켓(BTK2)이 이동되어 와이축 이동 플레이트(130)가 와이축(즉, 좌우방향)으로 수평 이동된다.
와이축 이동 플레이트(130)가 수평 이동되면, 제 2롤 베어링 부재(RB2)의 복수의 롤 베어링(RB)이 제 2가이드 레일(GR2)을 따라 이동된다. 이때, 검사자가 와이축 이동 플레이트(120)의 이동 폭이 클 경우 이중 이동조절 노브(150)의 노브를 회전시키지 않고, 퀵 노브(135)를 잡고 좌우로 빠르게 이동시킬 수 있다.
그리고, 와이축 이동 플레이트(130)는 제 2롤 베어링 부재(RB2)가 와이축 이동 플레이트(130)의 중앙부에 고정되어 있기 때문에 와이축 이동 플레이트(130)의 이동할 수 있는 거리가 제 2가이드 레일(GR2)의 중앙부에서 제 2가이드 레일(GR2)의 끝단인 스토퍼(ST)까지 이동할 수 있기 때문에 와이축 이동 플레이트(130)의 전체 길이의 2/3 이상이 이동되어 피사체(A)의 검사 영역을 넓힐 수 있다.
한편, 와이축 이동 플레이트(130)의 수평 좌우 이동시 한 쌍의 제 2롤 베어링 부재(R2)는 가압 부재(140)의 가압 로드(141)에 의해 가압된 상태를 유지하여 제 2가이드 레일(GR2)과 동일한 마찰력을 유지하고 있고, 제 2가이드 레일(GR2)도 일부분이 절개 형성된 상태로 고정 돌기(P)에 의해 고정되어 있기 때문에 얼라인이 유지되고 있어 이동시 진동이 발생하거나 유격에 의해 흔들리는 것이 방지된다.
본 발명은 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있으며 상기 발명의 상세한 설명에서는 그에 따른 특별한 실시 예에 대해서만 기술하였다. 하지만 본 발명은 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
110 : 테이블 120 : 엑스축 이동 플레이트
130 : 와이축 이동 플레이트 140 : 가압 부재
150 : 이중 이동조절 노브 160 : 회전 플레이트

Claims (7)

  1. 광학 장비가 고정되는 홀더가 구비되고, 상부에 엑스축방향으로 상호 이격된 한 쌍의 제 1가이드 레일이 구비되는 테이블과;
    상기 테이블의 상부에서 상기 제 1가이드 레일을 따라 자체 길이의 2/3 이상 이동되도록 저면에서 상기 제 1가이드 레일의 중앙부에 위치하면서 상기 제 1가이드 레일과 면접되는 제 1롤 베어링 부재가 구비되고, 상면 양측 중앙부에서 한 쌍의 제 2롤 베어링 부재가 구비되는 엑스축 이동 플레이트와;
    상면에 상기 엑스축 이동 플레이트의 제 2롤베어링 부재와 면접되어 자체 길이의 2/3 이상 이동되도록 제 2가이드 레일이 구비되고, 중앙부에 회전홀이 형성되는 와이축 이동 플레이트와;
    상기 제 1, 2롤 베어링 부재의 롤 베어링과 상기 제 1, 2가이드 레일이 동일한 마찰력을 유지하도록 상기 제 1, 2롤 베어링 부재를 가압시키는 가압 부재; 및
    상기 엑스축 이동 플레이트 어느 하나의 모서리에 수직으로 설치되고, 상기 엑스축 이동 플레이트 다른 하나의 모서리 저면에 설치된 제 1풀리와, 상기 엑스축 이동 플레이트의 또 다른 하나의 모서리 상면에 설치된 제 2풀리와 각각 벨트로 연결되고, 상기 벨트가 상기 테이블 일측에 설치된 제 1벨트 브라켓 및 상기 와이축 이동 플레이트 일측에 설치된 제 2벨트 브라켓과 고정되어 상기 벨트를 회전시켜 상기 엑스축 이동 플레이트 또는 와이축 이동 플레이트를 각각 이동시키는 이중 이동조절 노브를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 장비용 와이드 엑스와이 스테이지.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 광학 장비용 와이드 엑스와이 스테이지는,
    원판 형태로 상기 와이축 이동 플레이트의 회전홀에 삽입되어 회전되는 회전 플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 장비용 와이드 엑스와이 스테이지.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1, 2가이드 레일은,
    봉 형태로 형성되어 레일 브라켓에 의해 양단이 고정되고, 상기 레일 브라켓의 양단 끝단에 각각 스토퍼가 구비되는 것을 특징으로 하는 광학 장비용 와이드 엑스와이 스테이지.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1, 2가이드 레일은,
    열이나 자체 하중에 의해 얼라인이 틀어지는 것을 방지하도록 일부분이 절개 형성되고, 상기 레일 브라켓에 등간격으로 돌출 형성된 고정 돌기에 삽입되어 고정되는 것을 특징으로 하는 광학 장비용 와이드 엑스와이 스테이지.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1, 2롤 베어링 부재는,
    복수의 상기 롤 베어링이 내부에 일렬로 설치되어 상기 제 1, 2가이드 레일과 각각 접촉되도록 일측면이 개방된"L"형태로 형성되고, 수직면 중앙부에 결합홀이 형성되는 롤 베어링 브라켓과;
    상기 롤 베어링 내측 수직면에 상기 롤 베어링이 접촉되어 정렬시키도록 내측 수직면에 설치되는 보조 가이드 레일로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학 장비용 와이드 엑스와이 스테이지.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 가압 부재는,
    상기 제 1롤 베어링 부재 및 제 2롤 베어링 부재에 한 쌍이 대각선으로 설치되고, 상기 롤 베어링 브라켓의 결합홀에 각각 결합되는 가압 로드와;
    중앙부를 기준으로 양측이 서로 다른 방향으로 나사산이 형성되어 상기 가압 로드 사이에 결합되고, 회전에 의해 상기 가압 로드를 가압시켜 상기 롤 베어링 브라켓을 가압하는 가압 커플러로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학 장비용 와이드 엑스와이 스테이지.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 와이축 이동 플레이트는,
    상기 엑스축 이동 플레이트와 와이축 이동 플레이트를 원하는 위치로 이동 속도를 증가시키면서 이동시키도록 일단이 외측으로 수평하게 연장 형성되어 퀵 노브 플레이트가 구비되고, 상기 퀵 노브 플레이트 저면에 수직으로 퀵 노브가 설치되는 것을 특징으로 하는 광학 장비용 와이드 엑스와이 스테이지.
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