JP2000266637A - 基板検査用追従装置 - Google Patents
基板検査用追従装置Info
- Publication number
- JP2000266637A JP2000266637A JP11073574A JP7357499A JP2000266637A JP 2000266637 A JP2000266637 A JP 2000266637A JP 11073574 A JP11073574 A JP 11073574A JP 7357499 A JP7357499 A JP 7357499A JP 2000266637 A JP2000266637 A JP 2000266637A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical system
- system unit
- unit
- observation optical
- illumination optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、精度の高い追従動作を実現できる
基板検査用追従装置を提供する。 【解決手段】ホルダ１上のガラス基板２を挟んで対峙さ
れる観察光学系ユニット３および透過照明光学系ユニッ
ト８のうち、観察光学系ユニット３を第１の移送装置４
のモータ４０５により駆動されるボールネジ４０３の回
転により直線移動させ、この直線移動とともにタイミン
グベルト７を介してプーリ５を回転させることで、シャ
フト１３を介して連結された第２の移送装置９のプーリ
１０に伝達し、このプーリ１０の回転によりタイミング
ベルト７を介して透過照明光学系ユニット８を直線移動
させる。
基板検査用追従装置を提供する。 【解決手段】ホルダ１上のガラス基板２を挟んで対峙さ
れる観察光学系ユニット３および透過照明光学系ユニッ
ト８のうち、観察光学系ユニット３を第１の移送装置４
のモータ４０５により駆動されるボールネジ４０３の回
転により直線移動させ、この直線移動とともにタイミン
グベルト７を介してプーリ５を回転させることで、シャ
フト１３を介して連結された第２の移送装置９のプーリ
１０に伝達し、このプーリ１０の回転によりタイミング
ベルト７を介して透過照明光学系ユニット８を直線移動
させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、フラット
パネルディスプレイ（ＦＰＤ）のガラス基板やウェハ基
板などの欠陥や寸法の測定などの検査を行なう基板検査
装置などに用いられる基板検査用追従装置に関するもの
である。
パネルディスプレイ（ＦＰＤ）のガラス基板やウェハ基
板などの欠陥や寸法の測定などの検査を行なう基板検査
装置などに用いられる基板検査用追従装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】最近、ＦＰＤのガラス基板の欠陥検査を
行なう基板検査装置などについて、効率のよい検査作業
を実現する方法が種々考えられており、一例として、特
開平１０−１１１２５３号に開示されるように、Ｙ方向
に走査されるステージに対し、上下それぞれに、且つス
テージの走査方向と直交する方向に移動可能に観察光学
系と透過照明系を設け、これら上下の観察光学系と透過
照明系は、追従しながらＸ方向に走査されるようにした
ものがある。
行なう基板検査装置などについて、効率のよい検査作業
を実現する方法が種々考えられており、一例として、特
開平１０−１１１２５３号に開示されるように、Ｙ方向
に走査されるステージに対し、上下それぞれに、且つス
テージの走査方向と直交する方向に移動可能に観察光学
系と透過照明系を設け、これら上下の観察光学系と透過
照明系は、追従しながらＸ方向に走査されるようにした
ものがある。
【０００３】このような検査装置に用いられる追従機構
として、特開平８−１８９８１３号に開示されるもの
は、テーブルの上方を水平移動可能にしたＣＣＤカメラ
とテーブルの下方から測定物を照明する光照射部を有
し、これらＣＣＤカメラと光照射部は、プーリとワイヤ
よりなる追従機構により追従可能にしており、ＣＣＤカ
メラと光照射部の位置関係を一定に保ったままで、同時
に走査することにより、操作作業の効率向上を実現でき
るようにしている。
として、特開平８−１８９８１３号に開示されるもの
は、テーブルの上方を水平移動可能にしたＣＣＤカメラ
とテーブルの下方から測定物を照明する光照射部を有
し、これらＣＣＤカメラと光照射部は、プーリとワイヤ
よりなる追従機構により追従可能にしており、ＣＣＤカ
メラと光照射部の位置関係を一定に保ったままで、同時
に走査することにより、操作作業の効率向上を実現でき
るようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このように
したものは、ＣＣＤカメラと光照射部との間をプーリと
ワイヤよりなる追従機構により連結しているため、ワイ
ヤに伸びが発生することがあり、この場合も、ワイヤの
伸びによりＣＣＤカメラと光照射部の位置関係にずれが
発生し、この場合も、精度の高い追従が難しいととも
に、ずれ調整に多大な時間と労力を必要とするという問
題があった。
したものは、ＣＣＤカメラと光照射部との間をプーリと
ワイヤよりなる追従機構により連結しているため、ワイ
ヤに伸びが発生することがあり、この場合も、ワイヤの
伸びによりＣＣＤカメラと光照射部の位置関係にずれが
発生し、この場合も、精度の高い追従が難しいととも
に、ずれ調整に多大な時間と労力を必要とするという問
題があった。
【０００５】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、精度の高い追従動作を実現できる追従装置を提供す
ることを目的とする。
で、精度の高い追従動作を実現できる追従装置を提供す
ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
観察光学系ユニットと照明光学系ユニットとを追従して
移動させる基板検査用追従装置において、前記観察光学
系ユニットと照明光学系ユニットを平行に移動するよう
に規制するガイド手段と、前記観察光学系ユニットの移
動とともに回転する第１の回転伝達手段と、前記照明光
学系ユニットの移動とともに回転する第２の回転伝達手
段と、前記第１の回転伝達手段と前記第２の回転伝達手
段との間を連結し、前記第１の回転伝達手段と前記第２
の回転伝達手段の移動を同期させる軸体と、前記観察光
学系ユニットまたは照明光学系ユニットを前記ガイド手
段に沿って移動させる駆動源とを具備したことを特徴と
している。
観察光学系ユニットと照明光学系ユニットとを追従して
移動させる基板検査用追従装置において、前記観察光学
系ユニットと照明光学系ユニットを平行に移動するよう
に規制するガイド手段と、前記観察光学系ユニットの移
動とともに回転する第１の回転伝達手段と、前記照明光
学系ユニットの移動とともに回転する第２の回転伝達手
段と、前記第１の回転伝達手段と前記第２の回転伝達手
段との間を連結し、前記第１の回転伝達手段と前記第２
の回転伝達手段の移動を同期させる軸体と、前記観察光
学系ユニットまたは照明光学系ユニットを前記ガイド手
段に沿って移動させる駆動源とを具備したことを特徴と
している。
【０００７】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、第１の回転伝達手段は、前記駆動源により
直線移動される観察光学系ユニットの移動に応じてタイ
ミングベルトを介して回転されるプーリを有し、前記第
２の回転伝達手段は、タイミングベルトを介して前記照
明光学系ユニットを直線移動させるプーリを有し、前記
軸体は、第１の回転伝達手段および第２の回転伝達手段
のそれぞれのプーリを前記軸体で連結することを特徴と
している。
明において、第１の回転伝達手段は、前記駆動源により
直線移動される観察光学系ユニットの移動に応じてタイ
ミングベルトを介して回転されるプーリを有し、前記第
２の回転伝達手段は、タイミングベルトを介して前記照
明光学系ユニットを直線移動させるプーリを有し、前記
軸体は、第１の回転伝達手段および第２の回転伝達手段
のそれぞれのプーリを前記軸体で連結することを特徴と
している。
【０００８】請求項３記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記第１の移動部材は、観察光学系ユニッ
ト、前記第２の移動部材は、透過照明光学系ユニットか
らなり、これら観察光学系ユニットおよび透過照明光学
系ユニットは、対峙して配置されることを特徴としてい
る。
明において、前記第１の移動部材は、観察光学系ユニッ
ト、前記第２の移動部材は、透過照明光学系ユニットか
らなり、これら観察光学系ユニットおよび透過照明光学
系ユニットは、対峙して配置されることを特徴としてい
る。
【０００９】この結果、本発明によれば、平行して配置
される観察光学系ユニットと照明光学系ユニットの位置
関係にずれを生じることのない精度の高い追従を実現で
きる。
される観察光学系ユニットと照明光学系ユニットの位置
関係にずれを生じることのない精度の高い追従を実現で
きる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に従い説明する。
に従い説明する。
【００１１】（第１の実施の形態）図１は、本発明の追
従装置をＦＰＤのガラス基板などの欠陥検査を行なう基
板検査装置に適用した例の形態の概略構成を示してい
る。
従装置をＦＰＤのガラス基板などの欠陥検査を行なう基
板検査装置に適用した例の形態の概略構成を示してい
る。
【００１２】図において、１はホルダで、このホルダ１
は、後述する透過照明光学系ユニット８からの照明光が
透過する中空構造になっていて、ホルダ１上には、被検
査物としてのガラス基板２を載置するようにしている。
ホルダ１は、図示しない移動テーブルに支持され、一軸
方向（図示例では、紙面と直交する方向）に直線移動可
能になっている。
は、後述する透過照明光学系ユニット８からの照明光が
透過する中空構造になっていて、ホルダ１上には、被検
査物としてのガラス基板２を載置するようにしている。
ホルダ１は、図示しない移動テーブルに支持され、一軸
方向（図示例では、紙面と直交する方向）に直線移動可
能になっている。
【００１３】このようなガラス基板２を載置したホルダ
１の上方に観察光学系ユニット３を配置している。この
観察光学系ユニット３は、図示しない対物レンズや接眼
レンズなどの顕微鏡機能を備え、対物レンズを介してガ
ラス基板２面の像を接眼レンズにより観察できるように
なっている。この場合、観察光学系ユニット３は、図示
しないＣＣＤカメラを設け、顕微鏡機能の対物レンズよ
り得られるガラス基板２の観察像を撮像してＴＶモニタ
などに表示できるようにしてもよい。
１の上方に観察光学系ユニット３を配置している。この
観察光学系ユニット３は、図示しない対物レンズや接眼
レンズなどの顕微鏡機能を備え、対物レンズを介してガ
ラス基板２面の像を接眼レンズにより観察できるように
なっている。この場合、観察光学系ユニット３は、図示
しないＣＣＤカメラを設け、顕微鏡機能の対物レンズよ
り得られるガラス基板２の観察像を撮像してＴＶモニタ
などに表示できるようにしてもよい。
【００１４】そして、このような観察光学系ユニット３
は、第１の移送装置４に支持され、ホルダ１の移動方向
と直交する方向に直線移動可能にしている。
は、第１の移送装置４に支持され、ホルダ１の移動方向
と直交する方向に直線移動可能にしている。
【００１５】第１の移送装置４は、観察光学系ユニット
３を取付けたテーブル４０１を有し、このテーブル４０
１を平行配置された一対のガイド４０２、４０２に沿っ
て直線移動可能に支持している。これら一対のガイド４
０２、４０２は、ホルダ１の移動方向と直交する方向に
沿って配置されるもので、観察光学系ユニット３を取付
けたテーブル４０１を円滑に直線移動させるようにして
いる。また、テーブル４０１には、ボールネジ４０３を
設けている。このボールネジ４０３は、一対のガイド４
０２、４０２に沿って配置されるもので、カップリング
４０４を介してモータ４０５に連結されていて、モータ
４０５の駆動力がカップリング４０４を介し伝達され回
転されると、この回転によりテーブル４０１を直線移動
させるようにしている。
３を取付けたテーブル４０１を有し、このテーブル４０
１を平行配置された一対のガイド４０２、４０２に沿っ
て直線移動可能に支持している。これら一対のガイド４
０２、４０２は、ホルダ１の移動方向と直交する方向に
沿って配置されるもので、観察光学系ユニット３を取付
けたテーブル４０１を円滑に直線移動させるようにして
いる。また、テーブル４０１には、ボールネジ４０３を
設けている。このボールネジ４０３は、一対のガイド４
０２、４０２に沿って配置されるもので、カップリング
４０４を介してモータ４０５に連結されていて、モータ
４０５の駆動力がカップリング４０４を介し伝達され回
転されると、この回転によりテーブル４０１を直線移動
させるようにしている。
【００１６】このような第１の移送装置４のテーブル４
０１の移動方向の両端部には、歯付きプーリ５と一対の
歯付きプーリ６０１、６０２を配置し、これらプーリ
５、６０１、６０２にエンドレスのタイミングベルト７
を設けている。このタイミングベルト７には、テーブル
４０１を取付け、テーブル４０１の移動とともに、タイ
ミングベルト７を移動させることにより、プーリ５、６
０１、６０２を回転させるようにしている。
０１の移動方向の両端部には、歯付きプーリ５と一対の
歯付きプーリ６０１、６０２を配置し、これらプーリ
５、６０１、６０２にエンドレスのタイミングベルト７
を設けている。このタイミングベルト７には、テーブル
４０１を取付け、テーブル４０１の移動とともに、タイ
ミングベルト７を移動させることにより、プーリ５、６
０１、６０２を回転させるようにしている。
【００１７】一方、ホルダ１の下方に観察光学系ユニッ
ト３に対峙させて透過照明光学系ユニット８を配置して
いる。この透過照明光学系ユニット８は、ホルダ１の下
方からガラス基板２に対して透過照明光を照射するもの
である。
ト３に対峙させて透過照明光学系ユニット８を配置して
いる。この透過照明光学系ユニット８は、ホルダ１の下
方からガラス基板２に対して透過照明光を照射するもの
である。
【００１８】このような透過照明光学系ユニット８は、
第２の移送装置９に支持され、ホルダ１の移動方向と直
交する方向に直線移動可能にしている。
第２の移送装置９に支持され、ホルダ１の移動方向と直
交する方向に直線移動可能にしている。
【００１９】第２の移送装置９は、透過照明光学系ユニ
ット８を取付けたテーブル９０１を有し、このテーブル
９０１を平行配置されたガイド９０２に沿って直線移動
可能に支持している。これらガイド９０２は、ホルダ１
の移動方向と直交する方向に沿って配置されるもので、
透過照明光学系ユニット８を取付けたテーブル９０１を
円滑に直線移動させるようにしている。
ット８を取付けたテーブル９０１を有し、このテーブル
９０１を平行配置されたガイド９０２に沿って直線移動
可能に支持している。これらガイド９０２は、ホルダ１
の移動方向と直交する方向に沿って配置されるもので、
透過照明光学系ユニット８を取付けたテーブル９０１を
円滑に直線移動させるようにしている。
【００２０】このような第２の移送装置９のテーブル９
０１の移動方向の両端部には、歯付きプーリ１０、１１
を配置し、これらプーリ１０、１１にエンドレスのタイ
ミングベルト１２を設けている。また、タイミングベル
ト１２には、テーブル９０１を取付け、タイミングベル
ト１２の移動とともに、テーブル９０１を直線移動させ
るようになっている。
０１の移動方向の両端部には、歯付きプーリ１０、１１
を配置し、これらプーリ１０、１１にエンドレスのタイ
ミングベルト１２を設けている。また、タイミングベル
ト１２には、テーブル９０１を取付け、タイミングベル
ト１２の移動とともに、テーブル９０１を直線移動させ
るようになっている。
【００２１】そして、第１の移送装置４のプーリ５と第
２の移送装置９のプーリ１０のそれぞれの回転軸の間を
軸体、つまりシャフト１３で連結し、第１の移送装置４
によるテーブル４０１の移動量をシャフト１３を介して
第２の移送装置９のテーブル９０１に伝達するようにな
っている。
２の移送装置９のプーリ１０のそれぞれの回転軸の間を
軸体、つまりシャフト１３で連結し、第１の移送装置４
によるテーブル４０１の移動量をシャフト１３を介して
第２の移送装置９のテーブル９０１に伝達するようにな
っている。
【００２２】次に、以上のように構成した実施の形態の
動作を説明する。
動作を説明する。
【００２３】この場合、図２に示すように、ガラス基板
２を挟んで対峙される観察光学系ユニット３および透過
照明光学系ユニット８は、それぞれの光軸Ａを一致した
状態で配置されている。
２を挟んで対峙される観察光学系ユニット３および透過
照明光学系ユニット８は、それぞれの光軸Ａを一致した
状態で配置されている。
【００２４】この状態で、ガラス基板２を載置したホル
ダ１は、図示しない移動テーブルにより紙面と直交する
方向に直線移動される。
ダ１は、図示しない移動テーブルにより紙面と直交する
方向に直線移動される。
【００２５】一方、第１の移送装置４のモータ４０５が
起動されると、その駆動力がカップリング４０４を介し
てボールネジ４０３に伝達され、ボールネジ４０３の回
転とともに、ボールネジ４０３に取付けられたテーブル
４０１が一対のガイド４０２、４０２に沿って直線移動
される。これにより、テーブル４０１の移動とともに、
観察光学系ユニット３は、ホルダ１の移動方向と直交す
る方向に直線移動される。
起動されると、その駆動力がカップリング４０４を介し
てボールネジ４０３に伝達され、ボールネジ４０３の回
転とともに、ボールネジ４０３に取付けられたテーブル
４０１が一対のガイド４０２、４０２に沿って直線移動
される。これにより、テーブル４０１の移動とともに、
観察光学系ユニット３は、ホルダ１の移動方向と直交す
る方向に直線移動される。
【００２６】また、テーブル４０１が移動を始めると、
プーリ５、６０１、６０２に設けられたエンドレスのタ
イミングベルト７が追動し、タイミングベルト７の移動
とともに、プーリ５、６０１、６０２が回転される。
プーリ５、６０１、６０２に設けられたエンドレスのタ
イミングベルト７が追動し、タイミングベルト７の移動
とともに、プーリ５、６０１、６０２が回転される。
【００２７】この場合、プーリ５の回転軸は、第２の移
送装置９のプーリ１０の回転軸にシャフト１３を介して
連結されている。これにより、プーリ５の回転は、第２
の移送装置９のプーリ１０に伝えられ、プーリ１０の回
転とともに、タイミングベルト１２を介してテーブル９
０１が直線移動され、このテーブル９０１の移動ととも
に透過照明光学系ユニット８がホルダ１の移動方向と直
交する方向に直線移動される。
送装置９のプーリ１０の回転軸にシャフト１３を介して
連結されている。これにより、プーリ５の回転は、第２
の移送装置９のプーリ１０に伝えられ、プーリ１０の回
転とともに、タイミングベルト１２を介してテーブル９
０１が直線移動され、このテーブル９０１の移動ととも
に透過照明光学系ユニット８がホルダ１の移動方向と直
交する方向に直線移動される。
【００２８】これにより、ガラス基板２を挟んで対峙さ
れる観察光学系ユニット３および透過照明光学系ユニッ
ト８は、図２に示すように、それぞれの光軸Ａを一致し
た状態を保ったままホルダ１の移動方向と直交する方向
に直線移動されることになる。
れる観察光学系ユニット３および透過照明光学系ユニッ
ト８は、図２に示すように、それぞれの光軸Ａを一致し
た状態を保ったままホルダ１の移動方向と直交する方向
に直線移動されることになる。
【００２９】従って、このようにすれば、ホルダ１上の
ガラス基板２を挟んで対峙される観察光学系ユニット３
および透過照明光学系ユニット８のうち、観察光学系ユ
ニット３を第１の移送装置４のモータ４０５により駆動
されるボールネジ４０３の回転により直線移動させ、こ
の直線移動とともにタイミングベルト７を介してプーリ
５を回転させることで、シャフト１３を介して連結され
た第２の移送装置９のプーリ１０に伝達し、このプーリ
１０の回転によりタイミングベルト７を介して透過照明
光学系ユニット８を直線移動させるようになっており、
観察光学系ユニット３と透過照明光学系ユニット８のそ
れぞれの移送装置４、９の間をシャフト１３により連結
するようにしているので、従来のようにベルトやワイヤ
を引き回すものと比べ、のびの発生が著しく小さくで
き、これにより、対峙して配置される観察光学系ユニッ
ト３と透過照明光学系ユニット８の移動部材の位置関係
にずれを生じることの無い精度の高い追従を実現でき
る。
ガラス基板２を挟んで対峙される観察光学系ユニット３
および透過照明光学系ユニット８のうち、観察光学系ユ
ニット３を第１の移送装置４のモータ４０５により駆動
されるボールネジ４０３の回転により直線移動させ、こ
の直線移動とともにタイミングベルト７を介してプーリ
５を回転させることで、シャフト１３を介して連結され
た第２の移送装置９のプーリ１０に伝達し、このプーリ
１０の回転によりタイミングベルト７を介して透過照明
光学系ユニット８を直線移動させるようになっており、
観察光学系ユニット３と透過照明光学系ユニット８のそ
れぞれの移送装置４、９の間をシャフト１３により連結
するようにしているので、従来のようにベルトやワイヤ
を引き回すものと比べ、のびの発生が著しく小さくで
き、これにより、対峙して配置される観察光学系ユニッ
ト３と透過照明光学系ユニット８の移動部材の位置関係
にずれを生じることの無い精度の高い追従を実現でき
る。
【００３０】なお、上述した実施の形態では、観察光学
系ユニットと照明光学系ユニット系をガラス基板を挟ん
で対峙させたが、観察光学系ユニットと斜照明光学ユニ
ット系を基板上に平行に配置してなる検査装置にも適用
可能である。また、タイミングベルトに代えてワイヤま
たは金属テープなどを用いることもできる。また、観察
光学系ユニット３の直線移動には、ボールネジに代えて
リニアモータを用いることもできる。
系ユニットと照明光学系ユニット系をガラス基板を挟ん
で対峙させたが、観察光学系ユニットと斜照明光学ユニ
ット系を基板上に平行に配置してなる検査装置にも適用
可能である。また、タイミングベルトに代えてワイヤま
たは金属テープなどを用いることもできる。また、観察
光学系ユニット３の直線移動には、ボールネジに代えて
リニアモータを用いることもできる。
【００３１】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、対峙
して配置される第１の移動部材と第２の移動部材の位置
関係にずれを生じることのない精度の高い追従を実現で
きる。
して配置される第１の移動部材と第２の移動部材の位置
関係にずれを生じることのない精度の高い追従を実現で
きる。
【図１】本発明の実施の形態の概略構成を示す図。
【図２】実施の形態の動作を説明するための図。
１…ホルダ ２…ガラス基板 ３…観察光学系ユニット ４…第１の移送装置 ４０１…テーブル ４０２．４０２…ガイド ４０３…ボールネジ ４０４…カップリング ４０５…モータ ５…プーリ ６０１．６０２…プーリ ７…タイミングベルト ８…透過照明光学系ユニット ９…第２の移送装置 ９０１…テーブル ９０２…ガイド １０…プーリ １１…プーリ １２…タイミングベルト １３…シャフト
Claims (3)
- 【請求項１】 観察光学系ユニットと照明光学系ユニッ
トとを追従して移動させる基板検査用追従装置におい
て、 前記観察光学系ユニットと照明光学系ユニットを平行に
移動するように規制するガイド手段と、 前記観察光学系ユニットの移動とともに回転する第１の
回転伝達手段と、 前記照明光学系ユニットの移動とともに回転する第２の
回転伝達手段と、 前記第１の回転伝達手段と前記第２の回転伝達手段との
間を連結し、前記第１の回転伝達手段と前記第２の回転
伝達手段の移動を同期させる軸体と、 前記観察光学系ユニットまたは照明光学系ユニットを前
記ガイド手段に沿って移動させる駆動源とを具備したこ
とを特徴とする基板検査用追従装置。 - 【請求項２】 第１の回転伝達手段は、前記駆動源によ
り直線移動される観察光学系ユニットの移動に応じてタ
イミングベルトを介して回転されるプーリを有し、 前記第２の回転伝達手段は、タイミングベルトを介して
前記照明光学系ユニットを直線移動させるプーリを有
し、 前記軸体は、第１の回転伝達手段および第２の回転伝達
手段のそれぞれのプーリを前記軸体で連結することを特
徴とする請求項１記載の基板検査用追従装置。 - 【請求項３】 前記第１の移動部材は、観察光学系ユニ
ット、前記第２の移動部材は、透過照明光学系ユニット
からなり、これら観察光学系ユニットおよび透過照明光
学系ユニットは、対峙して配置されることを特徴とする
請求項１記載の基板検査用追従装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11073574A JP2000266637A (ja) | 1999-03-18 | 1999-03-18 | 基板検査用追従装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11073574A JP2000266637A (ja) | 1999-03-18 | 1999-03-18 | 基板検査用追従装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000266637A true JP2000266637A (ja) | 2000-09-29 |
Family
ID=13522203
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11073574A Withdrawn JP2000266637A (ja) | 1999-03-18 | 1999-03-18 | 基板検査用追従装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000266637A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002190670A (ja) * | 2000-12-22 | 2002-07-05 | Yamaha Motor Co Ltd | 部品実装システムにおける複合装置 |
| JP2007322424A (ja) * | 2006-05-29 | 2007-12-13 | Ajuhitek Inc | 自動光学検査装置、自動光学検査システム及び自動光学検査方法 |
| KR100814062B1 (ko) | 2006-05-08 | 2008-03-14 | 한국유리공업주식회사 | 연속적으로 이동되는 투과 가능한 판재의 자동 결함 검사시스템 및 자동 결함 검사방법 |
| CN100565162C (zh) * | 2008-04-10 | 2009-12-02 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种可移动的光学仪器检测用多功能调整装置 |
| CN102923465A (zh) * | 2012-11-28 | 2013-02-13 | 中国矿业大学 | 一种同步带牵引带式输送机自动巡检系统 |
| CN103196835A (zh) * | 2013-04-10 | 2013-07-10 | 浙江大学 | 农产品内部品质检测过程中的目标跟踪装置 |
-
1999
- 1999-03-18 JP JP11073574A patent/JP2000266637A/ja not_active Withdrawn
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002190670A (ja) * | 2000-12-22 | 2002-07-05 | Yamaha Motor Co Ltd | 部品実装システムにおける複合装置 |
| JP4554811B2 (ja) * | 2000-12-22 | 2010-09-29 | ヤマハ発動機株式会社 | 部品実装システムにおける複合装置 |
| KR100814062B1 (ko) | 2006-05-08 | 2008-03-14 | 한국유리공업주식회사 | 연속적으로 이동되는 투과 가능한 판재의 자동 결함 검사시스템 및 자동 결함 검사방법 |
| JP2007322424A (ja) * | 2006-05-29 | 2007-12-13 | Ajuhitek Inc | 自動光学検査装置、自動光学検査システム及び自動光学検査方法 |
| CN100565162C (zh) * | 2008-04-10 | 2009-12-02 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种可移动的光学仪器检测用多功能调整装置 |
| CN102923465A (zh) * | 2012-11-28 | 2013-02-13 | 中国矿业大学 | 一种同步带牵引带式输送机自动巡检系统 |
| CN102923465B (zh) * | 2012-11-28 | 2014-12-10 | 中国矿业大学 | 一种同步带牵引带式输送机自动巡检系统 |
| CN103196835A (zh) * | 2013-04-10 | 2013-07-10 | 浙江大学 | 农产品内部品质检测过程中的目标跟踪装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI411773B (zh) | 外觀檢查裝置及外觀檢查方法、以及可安裝於外觀檢查裝置之周圍部檢查單元 | |
| KR100827342B1 (ko) | 좌표 검출 장치 및 피검체 검사 장치 | |
| JP5089958B2 (ja) | テープ製品の検査装置及び検査方法 | |
| JP3378795B2 (ja) | 表示装置の検査装置および検査方法 | |
| JP3537202B2 (ja) | 複数ヘッド顕微鏡装置 | |
| JP2008070237A (ja) | 基板検査装置 | |
| JP2008076218A (ja) | 外観検査装置 | |
| JP3782525B2 (ja) | 基板検査装置 | |
| JP2000266637A (ja) | 基板検査用追従装置 | |
| JP2008064666A (ja) | 外観検査装置の基板保持機構 | |
| JP2007327960A (ja) | 基板検査ユニット、それを有する基板検査装置及びそれを用いた基板検査方法 | |
| JP2000330035A (ja) | ステージ装置 | |
| KR101934234B1 (ko) | 광학 장비용 와이드 엑스와이 스테이지 | |
| KR100693715B1 (ko) | 검사장치 | |
| JP2000275594A (ja) | 基板検査装置 | |
| JP3061651B2 (ja) | 貼り合わせ装置 | |
| KR100362735B1 (ko) | 표시용 패널기판의 검사장치 | |
| JP2004288910A (ja) | 大型基板ステージ | |
| JP2000258359A (ja) | 基板検査装置 | |
| JP4803940B2 (ja) | ホルダ機構 | |
| JP4664463B2 (ja) | 基板検査装置 | |
| JP2004333663A (ja) | 表示用パネルの検査装置 | |
| JP5221402B2 (ja) | 電子部品の実装状態の検査装置及び検査方法 | |
| JP2020034767A (ja) | 標本保持装置および顕微鏡装置 | |
| JP2002098641A (ja) | 大型基板検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060606 |