CN1119977A

CN1119977A - 研磨设备

Info

Publication number: CN1119977A
Application number: CN95109335A
Authority: CN
Inventors: 水谷重光
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Corp
Priority date: 1994-10-07
Filing date: 1995-08-11
Publication date: 1996-04-10
Anticipated expiration: 2015-08-11
Also published as: KR960013574A; KR0182854B1; JPH08108359A; EP0705663B1; DE69515779T2; EP0705663A1; DE69515779D1; CN1074968C; US5584752A

Abstract

一对支臂54与固定轴52的两端可转动地连接。支轴56横穿该对支臂54的前端与固定轴52平行地延伸。设有研磨带28的研磨辊58以及将其夹在中间的导向辊60装在该支轴56上。研磨辊58和导向辊60的中心轴线处于偏心状态。这样，当导向辊60接触滤色片12时，在研磨辊58和滤色片12之间出现间隙，从而可以根据间隙磨去突起。

Description

研磨设备

本发明涉及一种通过使用研磨件除去待研磨工件上的表面凸起的研磨设备。

在下文中叫做“LCD”的液晶显示器包括一个例如设置在液晶表面侧的偏振膜。偏振膜发亮或变暗取决于透过液晶的光是否透过偏振膜。这种LCD包括含有镶嵌设置的、诸如绿、蓝和红等颜色的微小过滤部件的滤色片。该滤色片设置在液晶和偏振膜之间。透过偏振膜的光经过过滤才能显示彩色图象。

当凸起或外部物质附着在滤色片的表面上，并且由于所述凸起或外部物质而在偏振膜和滤色片之间产生间隙时，偏振膜就不能挡住不必要的光线。因此，就不可能清楚地显示图象和生动的彩色图象。为此，应避免使彩色LCD的滤色片在其表面上带有微小的凸起或外来物质。

通常认为，在彩色LCD的滤色片上，其表面凸起的容许范围应不大于大约4μm。必需从滤色片的表面上除去大于上述范围的凸起或外来物质。在这一去除过程中，由于滤色片的表面很软，因此要特别小心，以便不施加不必要的外力，这样就要进行很精确的操作。

上述用以自动研磨滤色片表面的设备包括一种设备，在这种设备上，使用激光测长机或类似装置检测滤色片表面，再通过计算得出凸起的位置和高度，然后使用研磨件，根据计算结果研磨所述凸起，使其不大于预定尺寸。

但是这种自动研磨设备特别精密，结构复杂，而且极其昂贵。由于这个原因，研磨滤色片表面的操作是用传统的方法实施的。也就是说，通常采用的一种方法是，操作者用肉眼检查在滤色片的表面上是否有大的凸起或外来物质，当发现大的凸起或外来物质时，就要用诸如带有研磨颗粒的研磨带那样的研磨件一点一点地用手将它们磨去。因此需要特别小心。

本发明的目的是提供一种设备，在这种设备上研磨诸如滤色片那样的待研磨工件，从而简单、确实地除去凸起等等。

本发明的另一个目的是提供一种结构相对简单的研磨设备。

根据本发明的主要实施例的一种研磨设备，包括一个研磨台和一个研磨单元，所述研磨单元可以接近放在研磨台上的待研磨工件表面，并从其上离开，它通过沿着待研磨工件表面的方向作相对运动而研磨待研磨工件，其中，研磨单元包括：

一个与研磨台的上表面大致平行设置的固定轴；

至少一个可转动地设置在固定轴上的支臂；

一个支承在支臂上、与固定轴大致平行的支轴；

一个可转动地由支轴支承的研磨辊，该研磨辊具有可设置研磨件的周面；以及

一对可转动地由支轴支承的导向辊，研磨辊夹在该对导向辊之间；以及

支轴在研磨辊和导向辊的轴线不同轴的状态下支承研磨辊和导向辊。

在根据本发明的研磨设备上，通过使支臂绕固定轴转动而使研磨辊能够连同导向辊一起接近待研磨工件的表面。当固定在支臂上的支轴转动时，偏心设置的导向辊和研磨辊上下作相对运动，从而使导向辊能够从研磨辊伸出一个想要的量。

这样，在导向辊与待研磨工件的表面接触的状态下，在研磨辊的周面和待研磨工件的表面之间产生想要的间隙。可以根据所述间隙的大小研磨待研磨工件的表面。由于支臂可转动地相对于固定轴设置，所以研磨辊和所述一对导向辊能够响应待研磨工件的表面倾斜而作上下运动。

本发明的一个实施例还包括一个支承装置，该装置用来在导向辊和研磨辊从待研磨工件的表面分离的位置上支承所述支臂，并通过解除支承而使支臂绕固定轴转动，从而使研磨辊同所述一对导向辊一起接近待研磨工件的表面。

在这方面，当支承装置处于非支承状态时，支臂围绕固定轴转动，因此研磨辊可以和所述一对导向辊一起接近待研磨工件的表面。

本发明的另一个实施例在于，根据主要实施例所述的研磨设备，其中，在支轴的两端设置有一对支臂，固定轴和支轴插入设置在支臂两端的轴承并由该轴承支承。

这样，支轴就能相对于研磨台的表面倾斜，因此使导向辊能够响应待研磨工件表面的倾斜而上下运动。

本发明的又一个实施例在于，根据上述实施例的研磨设备，其中，在支臂和支轴之间使用自位轴承。

在该实施例中，支轴可以通过自位轴承摆动，因此很容易使一对导向辊响应待研磨工件表面的倾斜而上下运动。用这种方式，研磨辊能够和导向辊一起响应待研磨工件表面的倾斜而上下运动。这样，即使待研磨工件的表面是倾斜的，也可以在适当的状态下进行研磨。

图1是示出根据本发明一个实施例的研磨设备的透视图。

图2是研磨单元的磨头附近重要零件的透视图。

图3是沿设备的宽度方向所见的示意性侧视图。

图4是设置在磨头上的摇臂的示意性透视图。

图5是沿图4的剖切线5-5所取的示意性剖视图。

图6是从该设备的后侧所看到的磨头摇臂的示意图。

图7是示出该研磨设备的一个实例的示意性透视图，该实例包含有附加的功能以实施平稳的研磨操作。

下面将参照附图说明根据本发明的一个实施例的自动研磨设备。

如图1所示，自动研磨设备10包括一块研磨台16、一个操作面板18，和一个支架20，上述零件均设置在底座14的上表面上。支架20直立在底座14的一端，其前端弯曲，在研磨台16的上方延伸。带有磨头22的研磨单元24装在前端上。未示出的水平移动装置可以使研磨台16沿设备的纵向(箭头Y的方向)和设备的宽度方向(箭头X的方向)自由移动。在箭头Y的方向上，装有操作面板18的一侧是自动研磨装置10的前侧。在下面将要说明的每张附图中，箭头Z表示设备的垂直方向。

该自动研磨设备用来研磨滤色片12的表面，所述滤色片12作为待研磨工件放置在研磨台16的预定位置上。在研磨台16上形成有一个未示出的抽气槽，因此可以通过加在该抽气槽上的负压吸住并固定滤色片12。在研磨台16的内部设有一个未示出的照明光源。从该光源发出的光透过滤色片12，并照亮滤色片12的研磨区域。

装在支架20前端的研磨单元24包含有一个底板26，在该底板上设有带辊30。作为研磨件的研磨带28卷绕在带辊30上。从带辊30拉出的研磨带28的中部贴附并卷绕在在下文中将加以说明的磨头22的研磨辊58上，该带28的前端部卷绕在卷绕辊32上。卷绕辊32和带辊30分别与一个未示出的卷带装置相连。从带辊30送来的研磨带28用来研磨滤色片12的表面，然后，该研磨带28卷绕在卷绕辊32上。

研磨带28的厚度约为30μm(±约6μm)。每一卷的厚度都有差别。但是，只要在同一卷上的厚度恒定，并具有极细的混合研磨颗粒，这就成了。设计本实施例，使其通过使用研磨带28，从滤色片12的表面除去不小于大约3-4μm的突起或外来物质。所述不小于大约3-4μm的突起或外来物质事先可用肉眼或通过其它方法在滤色片12上发现。将发现上述突起或外来物质的地方标记为有缺陷处，然后将滤色片12放在研磨台16的预定位置上以便完成研磨操作。在自动研磨设备10上，在操作面板18上实施开关操作，以便使研磨台16沿X-Y方向运动，并使滤色片12上的有缺陷处能与磨头22相对。

图2示出研磨单元24的磨头22附近的部分。研磨单元24的底板26的中部有一个开口34。在开口34的内侧装有一块辅助板36。在辅助板36上沿垂直方向平行地分别装有一对导向杆38和一个驱动轴40，所述驱动轴40位于该对导向杆38之间，其上形成有进给螺纹，并可转动地被支承。其上端与一个升降电动机42相连。

在磨头22的磨头座44上装有滑块46和滑块48，其中，滑块46可滑动地穿过所述一对导向杆38，滑块48则与驱动轴40接合，磨头座44通过滑块46和48可垂直移动地与底板26相连。在这种结构中，当开动电动机42来驱动驱动轴40而使其转动时，滑块48沿垂直方向做相关运动，以便升高或降低磨头座44。

在磨头22的磨头座44上设置有摇臂50。图3至图6示出磨头22和设置在磨头22上的摇臂50。

如图3至图6所示，在磨头座44上为摇臂50设置有一个固定轴52，该固定轴52与研磨台16的上表面平行地伸出。一对支臂54的第一端可转动地装在固定轴52上。支轴56与固定轴52大致平行地并可转动地穿过该对支臂54的第二端。

研磨辊58和将研磨辊58夹在当中的一对导向辊60可转动地装在支轴56上。研磨辊58和导向辊60的外径大致相同。从带辊30拉出的研磨带28的中部(见图1)贴附并卷绕在研磨辊58上。如图6所示，研磨辊58中央部分的宽度比研磨带28的窄，

如图5所示，在支轴56的中部形成有与其两端的公共轴线不同轴的偏心部56A。在偏心部56A上装有研磨辊58，而在偏心部56A的两侧则分别设置有导向辊60。也就是说，研磨辊58相对于所述对导向辊60偏心地安装。

在一个支臂上设置有一个可转动杆62。

如图3和图4所示，从支臂54外伸的支轴56的前端被强力地插入可转动杆62的一端并与其连接。这样，支轴56和可转动杆62就整体地绕作为中心的轴线AX转动。支轴56通过将在可转动杆62的一端形成的开口64扩大而强力地插入通孔66。可以用螺栓或类似物将开口64的上部和下部一起拧紧而使开口64变窄。

可转动杆62沿着支臂54延伸。在与支轴56相对的一端附近加工出大致与支轴56同轴的圆弧形长孔68。在支臂54上与长孔68相应的地方加工出未示的螺孔。

因此，可以将插入长孔68的元宝螺钉70拧入设置在支臂54上的未示螺孔，而使可转动杆62固定在该支臂54上。这样就可将支轴56固定而不使其转动。

在摇臂50上，可以使支轴56连同可转动杆62一起绕轴线AX转动，从而改变导向辊60的外周端从研磨辊58的伸出量。也就是说，设置在支轴56的偏心部56A上的研磨辊58随着支轴56的转动而偏心地转动，这样就可以根据转动位置而改变研磨辊58的外周端和导向辊60的外周端之间的偏差量(高度差)。

因此，如图6所示，当导向辊60压靠在研磨台16上的滤色片12的表面上时，就可以控制研磨辊58的周面和滤色片12的表面之间的间隙。通过将可转动杆62保持并固定在支臂54上，可以恒定地保持该间隙。在本实施例中，当导向辊60压靠在研磨台16上的滤色片12的表面上时，将在研磨辊58的周面和滤色片12的表面之间的间隙高度(即研磨辊58的外周端和导向辊60的外周端之间的偏差量)设定为研磨带的厚度(约为30μm)与滤色片12表面上突起高度的容许范围(约为3-4μm)之和。可以通过控制偏差量来确定不磨去的容许突起。

如图3所示，在可转动杆62的一端设置一个指针72，所述一端与支轴56附近的另一端相对。在支臂54的侧面上设有标尺74，所述标尺与指针72相对。事先将该设备加工成通过将可转动杆60转过一个标尺单位而使研磨辊58和导向辊60之间的偏差量改变1μm。

在所述一对支臂54上与支轴56靠近的端部装有一对托架76，它们的第一端大致向上延伸。螺旋弹簧78的第一端固定在每个托架76的向上伸的前端上。螺旋弹簧78的第二端固定在从磨头座44突出设置的销80上。该螺旋弹簧78使摇臂50沿一个方向(向上)绕轴52转动，以便使研磨辊58和导向辊60与研磨台16分离。比起由于导向辊60等的重量所引起的使摇臂50向研磨台16转动的转动力来说，螺旋弹簧78的作用力稍弱。

如此，当导向辊60压靠在滤色片12的表面上时，螺旋弹簧78的作用力将摇臂50向上抬。只有很轻的重量(例如约100克)作用在滤色片12的表面上。因此，可以使滤色片12的表面免于受到损害，所述损害可以由局部作用在滤色片12表面上的过大重量造成。

在位于磨头座44一侧的托架76上可转动地装有小滚轮82。该小滚轮82的外周从托架76向下突出。在磨头座44上设置有一个偏心凸轮84，作为摇臂50的升降装置。该偏心凸轮84的圆周表面压靠着从托架76向下突出的小滚轮82的圆周表面，借助于电动机86的驱动力沿箭头C的方向偏心地转动。这样，就使托架76同压靠在偏心凸轮84上的小滚轮82一起作上下运动，从而使摇臂50绕着作为轴线的固定轴52沿箭头A和B的方向转动。

可以通过摇臂50绕固定轴52沿箭头B方向的转动而使研磨辊58同导向辊60一起向上收回，或者可以通过摇臂50沿箭头A方向的转动而使导向辊60同研磨辊58一起向下运动，从而压靠在研磨台16上的滤色片12的表面上。

这就是说，在研磨单元24上，开动升降电动机42使磨头22向下运动，然后开动电动机86，使摇臂50转动，从而使导向辊60连同研磨辊58能够一起压靠在研磨台16上的滤色片12上。这样，通过使用贴附并卷绕在研磨辊58上的研磨带28就能研磨滤色片12的表面。

如图5所示，在固定轴52和支臂54之间，以及在支轴56和支臂54之间设置有自位轴承88。即使在偏离状态下，只要不超出预定的范围，这些自位轴承88也能可转动地支承被支承的轴的轴线。

这样，在摇臂50上，支轴56的两端都可以分别作上下运动。因此，当例如由于滤色片12的厚度不均匀而使所述一对导向辊的接触位置产生高度差时，支轴56可以相对于研磨台16的表面倾斜，从而使每个导向辊60响应高度差而抬高或降低。在支轴56和导向辊60、研磨辊58之间分别为所述研磨辊和导向辊设置数对角面接触滚珠轴承89(每一个辊上设置两个)，从而不会使转动轴线产生摆动。

如图3和图4所示，通过切去导向辊60外周部的一部分而在导向辊60上形成平坦部90。当导向辊60离开滤色片12的表面时，由于形成平坦部90的缘故，而使导向辊60处于这样一种平衡状态，以致平坦部90总是在上侧，与平坦部90分处于中心轴线两侧并与该平坦部90相对的外周部则总是在下侧。这样，即使该对导向辊60的轴线略有偏移，也使导向辊60能够在其外周部的恒定位置(在与平坦部90相对的一侧)上接触滤色片12的表面。因此，导向辊60和研磨辊58之间的基本偏差量就不会改变。

该自动研磨设备10允许在导向辊60压靠滤色片12表面的状态下进行研磨，这样，研磨台16在沿设备最近一侧上的箭头Y的方向移动一个恒定的量，而研磨带28则沿着相反方向相对运动。因此，导向辊60压靠在滤色片12的表面上并转动。当接着将摇臂50抬起时，导向辊60转动并返回，从而使平坦部90位于上侧。

下面将说明本发明的操作。

在使用该自动研磨设备10的时候，将带辊30装在研磨单元24的底板26上，从带辊30拉出的研磨带28贴附并卷绕在设置在磨头22上的摇臂50的研磨辊58上。接着将待研磨的滤色片12放置并保持在研磨台16上的预定位置上。使滤色片12的待研磨区域与磨头22相对，然后实施研磨操作。

这时，考虑到研磨带28的厚度和滤色片12的精加工状态，使用可转动杆62来控制研磨辊58和导向辊60之间的偏差量。在这种情况下，使研磨辊58相对于导向辊60偏心地设置，而将标尺74设置在摇臂50的支臂54上。这样，可以很容易地根据研磨带28的厚度和所需的精加工状态控制偏差量。

在自动研磨设备10上，当通过在操作面板18上实施开关操作而开始研磨操作时，开动升降电动机42，以便使磨头22下降到距研磨台16表面的预定高度处而停止。接着，开动电动机86，使偏心凸轮84转动，使导向辊60连同绕有研磨带28的研磨辊58一起下降，并且使导向辊60能够压靠在滤色片12的表面上。这样，根据在滤色片12的表面上突起高度的容许范围，在绕在研磨辊58上的研磨带和滤色片12之间形成间隙。

上述已经下降的摇臂，其前端由螺旋弹簧78向上抬，使导向辊60作用在滤色片12表面上的载荷很小。因此，不会由于导向辊60所施加的载荷而使滤色片12受到损坏。

在这种状态下，再移动研磨台16，以使滤色片12与研磨辊58相对移动。从带辊30拉出研磨带28，同时，卷绕辊32卷绕研磨带28。这样，研磨带28以预定的相对速度相对于滤色片12的表面移动。在研磨带28相对于滤色片12的表面作相对运动、且在滤色片12的表面上存在高度不小于容许范围(例如4μm或更大)的突起时，研磨带28将这些突起磨去。

在完成上述的一次研磨之后，开动电动机86而使摇臂50向上转动。导向辊60随即从滤色片12的表面上分离，并进行下一次研磨。在这种情况下，当导向辊60从滤色片12的表面上分离时，这些导向辊60转动，使平坦部90位于上侧。这样就使导向辊60的相同部分(与平坦部相对一侧的部分)能够压靠在滤色片12的表面上，从而可以恒定地保持其相对于研磨辊58的偏差量。

另一种可供选择的方案是，在完成一次研磨操作之后，研磨台16和研磨带28可以沿与第一次研磨操作的方向相反的方向移动，以便在一部分研磨带28卷绕在卷绕辊32上后，在不抬起摇臂50的情况下进行往复研磨。

设有研磨辊58和导向辊60的摇臂50不受沿导向辊60从研磨台16的表面分离的方向(箭头B所示的方向)转动的限制。因此，如果滤色片12的厚度变化，并从而使滤色片12的表面距研磨台16的表面的高度变化，研磨辊58就会和导向辊60一起，随着这种变化不受限制地上下运动。这样，就可以恒定地保持研磨辊58和滤色片12的表面之间的间隙。

另一方面，当滤色片12的厚度沿着与研磨方向垂直的方向变化时，如果使摇臂50的支轴56与研磨台16的表面保持平行，就会将一个导向辊抬起。这样，就会改变研磨辊58和滤色片12的表面之间的间隙高度。如果发生这种情况，就不可能在容许的限度之内研磨滤色片12的表面。

相反，在使用本发明的自动研磨设备10上，在固定轴52和支臂54之间，以及在支轴56和支臂54之间分别装有自位轴承88，从而使支轴56的两端可以相互独立地上下运动。这样，当一个导向辊60与另一个导向辊60的向上运动相应，开始作向上运动时，支轴56响应滤色片12表面高度的变化而倾斜。因此，前一个导向辊60不从滤色片12上抬起，从而能够避免改变滤色片12的表面和研磨辊58的表面(即研磨带28的表面)之间的间隙。

用这种方式，摇臂50可以随着滤色片12的表面高度变化而变化，所述一对导向辊60也能分别随着滤色片12的表面高度变化而变化。因此，彩色过滤器12的表面始终可以在允许范围内研磨。

在本实施例中，自位轴承88分别设置在固定轴52和支臂54之间以及支轴56和支臂54之间。但是，通过至少在支臂54和支轴56之间设置自位轴承88，可以使摇臂50自如地摆动。虽然支轴56由一对支臂54支承，但是也可以采用一种悬臂式的摇臂，该摇臂只使用一个支臂54来支承支轴56。

即使在这种结构中，研磨辊58和导向辊60这样安装在支轴56上，即，使得研磨辊58和导向辊60的转动轴线不会摆动。通过这样做，研磨辊58就可以用来均匀地研磨滤色片12的表面。

另一种可供选择的方案是，不使用自位轴承88，而是使用普通的滚珠轴承。通常，液晶显示装置所用的滤色片12的平面度很高，这样，当把它放在研磨台16上时，其倾斜是很微小的。因此，即使摇臂50使用普通的滚珠轴承，并使支轴56能够在滚珠轴承的轴线摆动范围内摆动，所述一对导向辊60也能随着滤色片12表面的倾斜而分别上下运动。在这方面，当然必需避免在支轴56和以下零件：研磨辊58以及导向辊60，之间的摆动。

如上所述，在使用本实施例的自动研磨设备10上，即使由于诸如滤色片12那样的待研磨工件表面高度变化而产生倾斜时，也可以随着倾斜均匀地进行研磨操作，并因而能够完成极高精度的研磨操作。

本实施例并不限制使用了本发明的研磨设备10的结构。例如，在本实施例中，装有研磨带28的磨头22能够接近研磨台16；但是，可以使研磨台16移动。此外，当用研磨带28研磨滤色片12的表面时，研磨台16沿着与研磨带28的行走方向相反的方向移动；但是，可以移动磨头22，而不移动研磨台16。

研磨辊58的直径与导向辊60基本相同；但是，它们的外径尺寸也可以不同。

此外，在使用本实施例的自动研磨设备10上可以附加各种功能。例如，如图7所示，可以在磨头22上设置一个诸如摄相机100那样的影象获取装置，用以拍摄与磨头22相对的研磨台16的表面；并且可以在研磨台16的上方设置一个诸如阴极射线管(CRT)那样的监视器102。待研磨的滤色片12的表面因此放大并显示在该监视器102上，这样就可以很容易地观测到(例如)被研磨的滤色片12的表面精细轮廓。

此外，在自动研磨设备10的周围可以盖有防尘罩104，也可以在设备的后侧设置一个与未示出的空气压缩机相连的吹气口106。在研磨操作之前，可以用从吹气口106吹在滤色片12表面上的空气除去沉积在滤色片12表面上的灰尘等。也可以从滤色片12的表面除去由表面研磨产生的细微的粉尘。在这方面，可以在吹气口106的对面设置一个吸尘器，以便吸走由滤色片12的表面除掉的粉尘等。通过增加这一特性，研磨操作就变得更加容易，也能对具有很高精度的滤色片12平稳地进行研磨操作。

根据上述本发明的研磨设备并不局限于用在滤色片12上，它可以适用于一些研磨设备，这些设备需要具备平面加工精度，以便研磨例如作为待研磨工件的电子线路和高频线路的衬底表面。

Claims

1.一种研磨设备，包括一个研磨台和一个研磨单元，所述研磨单元可以接近放在研磨台上的待研磨工件表面，并从其上离开，它通过沿着待研磨工件表面的方向作相对运动而研磨待研磨工件，其特征在于，研磨单元包括：

一个与研磨台的上表面大致平行设置的固定轴；

至少一个可转动地设置在固定轴上的支臂；

一个支承在支臂上、与固定轴大致平行的支轴；

2.根据权利要求1所述的研磨设备，还包括一个调节止挡，该止挡可以使支轴绕其轴线转动，并以预定的回转位置将支轴固定在支臂上，从而调节当导向辊接触待研磨工件时在研磨辊和待研磨工件之间的分开距离。

3.根据权利要求2所述的研磨设备，其中，止挡设有一个指示分开距离的标记。

4.根据权利要求1至3中的任何一个权利要求所述的研磨设备，还包括一个支承装置，该装置用来在导向辊和研磨辊从待研磨件的表面分离的位置上支承所述支臂，并通过解除支承而使支臂绕固定轴转动，从而使研磨辊同所述一对导向辊一起接近待研磨工件的表面。

5.根据权利要求4所述的研磨设备，其中，支承装置包括：

一个直接地、或通过一个连接部件与支臂相连的推动装置；以及

一个用以使支臂或连接部件摆动并使支臂沿着朝向研磨台表面、或从该表面分离的方向运动的移动单元。

6.根据权利要求1至5中任何一个权利要求所述的研磨设备，其中，在支轴的两端设置有一对支臂，固定轴和支轴插入设置在支臂两端的轴承内并由该轴承支承。

7.根据权利要求6所述的研磨设备，其中，在支臂和支轴之间使用自位轴承。

8.根据权利要求7所述的研磨设备，其中，在固定轴和支轴之间也使用自位轴承。

9.根据权利要求1至8中任何权利要求所述的研磨设备，还包括一个用以拍摄待研磨工件上与研磨件相对部分的影象获取装置，以及显示该部分影象的显示器。

10.根据权利要求1至9中任何权利要求所述的研磨设备，该设备盖有一个防尘罩，还至少包括一个吹气口和一个吸尘器。