TWI739326B - 露點溫度調節用除濕裝置及其使用方法 - Google Patents
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Abstract
本發明的課題為提供一種能夠將空氣的露點溫度穩定地調節至任意的設定值之露點溫度調節用除濕裝置。
為了解決上述課題,提供一種依據露點溫度的設定值和空氣的質量,來控制供給風扇、除濕轉子、吹出風量調節風門、排氣風扇及排氣風量調節風門的運轉動作之露點溫度調節用除濕裝置。藉此,能夠供給在±5℃的範圍內調節到-20℃以下的任意的露點溫度之乾燥空氣。
Description
本發明係有關一種露點溫度調節用除濕裝置,其用於減少製造處理怕濕材料之精密機器或精密零件之作業區域中之空氣中的水份(降低露點溫度)。
本申請案係主張基於2019年3月29日申請之日本專利申請第2019-069460號的優先權。該日本申請案的全部內容係藉由參閱而援用於本說明書中。
在超精密作業中,對於乾燥室等被區隔之操作室供給被調節溫濕度之調節空氣。例如,專利文獻1中記載有一種用以調節溫濕度之溫濕度調節裝置,其特徵為,具備:乾式除濕器,係用來抽吸處理空氣,並對其進行除濕而製成乾燥空氣;溫濕度調節機構,係用來調節被除濕後之空氣的溫度;及送風機,係用來將已調節溫濕度之空氣送出,且將該等機器容納在一個殼體內。
[專利文獻1] 日本特開平11-006636號公報
在基於與精密機器等有關之電氣和電子相關之技術之產業領域中,在製造鋰離子電池、有機EL顯示裝置、偏光膜及半導體等之作業區域中要求非常低濕度之管理。而且,該作業區域中之露點溫度愈低愈好,在以往的除濕裝置中,僅以降低空氣中的濕度為目的。
例如,在鋰離子電池的製造中,作為原料之鋰化合物會吸附空氣中的水份,從而使所製造之鋰離子電池的性能降低。因此,為了降低鋰離子電池的製造區域內之空氣的濕度,露點溫度需要設為-30℃以下。
又,用於有機EL顯示裝置的有機EL元件之有機發光材料等有機物質和電極非常怕水份,其性能和物質特性將會顯著降低。因此,要求嚴格管理有機EL顯示裝置的製造區域內之空氣的濕度。
在如以往的除濕裝置那樣僅以降低空氣中的濕度為目的之控制中,趨向於依賴前述除濕裝置的性能來進行除濕,因此在-20℃以下的低露點下,無法穩定地維持在任意的露點溫度。
因此,本發明的課題為提供一種露點溫度調節用除濕裝置,其能夠進行必要且充分的除濕,並且能夠穩定地將空氣的露點溫度調節到任意的設定值。
即使材料原料相同,在被除濕後之環境下製造之產品的產品品質還是具有性能差。究其原因,乃著眼於生產線中的氣相環境中之差異。例如,發現了在鋰離子電池的製造中,需要將作業區域內的露點溫度設為-30℃以下,而當露點溫度設為-80℃和-30℃時,所製造出來之鋰離子電池將會產生性能差。
因此,從二次電池等的品質管理的觀點考量,本發明人等針對於能夠將作業區域的空氣穩定地調節成與二次電池或其材料等對應之適當的露點溫度之除濕裝置進行了深入研究。其結果,得到如下的創見,亦即在露點溫度調節用除濕裝置中,藉由調節選自用以向作為該除濕裝置的功能部之裝置內部供給空氣之供給風扇、除濕轉子、吹出風量調節風門、用以排出空氣的排氣風扇、排氣風量調節風門及再生加熱器中之至少一種運轉動作,能夠穩定地將空氣的露點溫度調節到任意的設定值,從而完成了本發明。
亦即,本發明為以下所述的露點溫度調節用除濕裝置。
用以解決上述課題的本發明的露點溫度調節用除濕裝置,係將空氣的露點溫度調節到-20℃以下之露點溫度調節用除濕裝置,其特徵為,係具備:調節部,係藉由調節選自用以向該露點溫度調節用除濕裝置供給空氣的供給風扇的轉速、除濕轉子的旋轉速度、吹出風量調節風門的開度、用以排出空氣的排氣風扇的轉速及排氣風量調節風門的開度中之至少一種運轉動作來調節露點溫度。
依據該露點溫度調節用除濕裝置,係藉由調節供給風扇的轉速、吹出風量調節風門的開度,來增減每單位體積的空氣的被除濕之處理頻率。又,藉由調節除濕轉子的旋轉速度、排氣風扇的轉速及排氣風量調節風門的開度,來增減除濕轉子的除濕處理效率。
亦即,依據該露點溫度調節用除濕裝置,係藉由調節部來調節供給風扇的轉速、除濕轉子的旋轉速度、吹出風量調節風門的開度、排氣風扇的轉速及排氣風量調節風門的開度中的至少一種運轉動作,因此能夠調節對於處理空氣之除濕強度。因此,該露點溫度調節用除濕裝置能夠調節供給至作業區域之已處理後的空氣的露點溫度。藉此,能夠達成可將作業區域內的露點溫度穩定地維持在任意的設定值之效果。
用以解決上述課題的本發明的露點溫度調節用除濕裝置的特徵為,將露點溫度在對於設定值±5℃的範圍內進行調節。
依據該露點溫度調節用除濕裝置,能夠更穩定地維持供給至作業區域之已處理後的空氣的露點溫度,因此能夠提供嚴格管理在特定的露點溫度範圍內之製造區域。
用以解決上述課題的本發明的露點溫度調節用除濕裝置的特徵為,調節部係控制運轉動作之控制部。
依據該露點溫度調節用除濕裝置,能夠更準確地控制供給風扇的轉速、除濕轉子的旋轉速度、吹出風量調節風門的開度、排氣風扇的轉速及排氣風量調節風門的開度中的至少一種運轉動作,因此能夠穩定地提供被管控在特定的露點溫度範圍內之製造區域。
用以解決上述課題的本發明的露點溫度調節用除濕裝置的使用方法,係將空氣的露點溫度調節到-20℃以下之露點溫度調節用除濕裝置的使用方法,其特徵為,調節用以向該露點溫度調節用除濕裝置供給空氣的供給風扇的轉速、除濕轉子的旋轉速度、吹出風量調節風門的開度、排氣風扇的轉速及排氣風量調節風門的開度中的至少一種運轉動作。
依據該露點溫度調節用除濕裝置的使用方法,係藉由調節供給風扇的轉速、吹出風量調節風門的開度,來增減每單位體積的空氣的被除濕之處理頻率。又,藉由調節除濕轉子的旋轉速度、排氣風扇的轉速及排氣風量調節風門的開度,來增減除濕轉子的除濕處理效率。
亦即,依據該露點溫度調節用除濕裝置的使用方法,係調節供給風扇的轉速、除濕轉子的旋轉速度、吹出風量調節風門的開度、排氣風扇的轉速及排氣風量調節風門的開度中的至少一種運轉動作,因此能夠調節對於處理空氣之除濕強度。因此,該露點溫度調節用除濕裝置的使用方法,能夠調節供給至作業區域之已處理後的空氣的露點溫度。藉此,能夠達成可將作業區域內的露點溫度穩定地維持在任意的設定值之效果。
依據本發明,能夠提供一種可將空氣的露點溫度穩定地調節至任意的設定值之露點溫度調節用除濕裝置。
以下,參閱圖式對本發明之露點溫度調節用除濕裝置的實施方式詳細進行說明。
另外,關於實施方式中所記載之露點溫度調節用除濕裝置,僅為用於對本發明之露點溫度調節用除濕裝置進行說明而舉出之例子,並不限定於此。
[第1實施方式]
在製造二次電池等之作業區域中,使用去除空氣中的濕度之除濕裝置。作為產業用的除濕裝置,廣泛使用乾燥劑式除濕裝置。乾燥劑式除濕裝置的基本原理,係當使處理空氣通過承載著除濕劑之結構體時,藉由前述除濕劑吸附空氣中的水份來提供乾燥之空氣。
本發明的第1實施方式中之露點溫度調節用除濕裝置,作為除濕裝置,係具備乾燥劑式除濕裝置。如圖1所示,乾燥劑式除濕裝置,係具有承載著除濕劑之圓形的除濕轉子7,該除濕轉子7被分隔為處理區8、預冷區9及再生區10。在處理區8中,係藉由除濕劑吸附來去除待處理之空氣中的水份。在再生區10中,係藉由使用從預冷區9循環過來並被再生加熱器14加熱之空氣對吸附在除濕轉子7上之水份進行脫水,從而將除濕轉子7的水份吸附能力予以再生。除濕轉子7,係藉由旋轉,而在處理區8和再生區10中反覆進行水份的吸附和脫水。藉此,能夠持續地去除處理空氣中的水份。
乾燥劑式除濕裝置,係藉由利用上述吸附原理之連續之運轉動作,不必依賴處理空氣的溫度,而即使在低溫的空氣中亦能夠有效率地進行除濕,因此能夠實現非常低的露點溫度。
另外,在本發明的露天溫度調節用除濕裝置中,作為除濕裝置,除了利用轉子使除濕劑旋轉以外,亦可以利用其他方式的除濕裝置。作為其他方式的除濕裝置,例如,可舉出將除濕劑予以固定之方式等。
圖2係表示本發明的第1實施方式中之露點溫度調節用除濕裝置的結構和空氣流之概略說明圖。另外,圖2中的實線箭頭表示經由裝置部和配管之空氣流。又,圖2中的單點鏈線的直線表示可控制地連接在一起者。
如圖2所示,露點溫度調節用除濕裝置1,係具備作為調節露點溫度之功能部之供給風扇2(第1功能部)、除濕轉子7(第2功能部)、吹出風量調節風門17(第3功能部)、排氣風扇18(第4功能部)及排氣風量調節風門19(第5功能部)。
又,露點溫度調節用除濕裝置1,係具有:除濕劑、除濕轉子7之類的除濕部;調節部,係對調節該除濕部的除濕性能之第1~5功能部進行調節;及控制部,係控制該調節部。另外,調節部亦可以是手動進行調節者。
關於露點溫度調節用除濕裝置1所執行之露點溫度的控制,例如,若是能夠將露點溫度降低至-80℃為止的露點溫度調節用除濕裝置的話,則在-80℃左右到-20℃以下的大範圍的露點溫度範圍內,皆能夠穩定地維持設定值。作為對於設定值之露點溫度的精度誤差的下限值,-10℃以上為佳,-5℃以上更好,-2.5℃以上為特佳。另一方面,作為對於設定值之露點溫度的精度誤差的上限值,10℃以下為佳,5℃以下更好,2.5℃以下為特佳。
以下,對各功能部進行說明。
(第1功能部)
露點溫度調節用除濕裝置1,係具備用以吸入外部空氣及處理空氣的第1功能部亦即供給風扇2,在作為露點溫度調節用除濕裝置1中之外部空氣及處理空氣的吸入部之風門3與供給風扇2之間,設置有冷卻線圈4。又,在冷卻線圈4的前後,設置有溫度感測器5和溫度感測器6。
關於藉由供給風扇2的作用,而從風門3吸入之外部空氣及處理空氣,係藉由溫度感測器5來測量溫度,且藉由冷卻線圈4進行冷卻。藉此,空氣中的水份將會結露,而外部空氣及處理空氣就被除濕。
關於藉由冷卻線圈4來除濕之空氣,係藉由溫度感測器6來測量溫度,並藉由供給風扇2來輸送至除濕轉子7。根據利用前述溫度感測器5和溫度感測器6所測量之值,能夠確認冷卻線圈4的除濕能力。
另外,亦可以利用任意的空氣過濾器來處理從風門3吸入之空氣。藉此,能夠去除外部空氣及處理空氣中所含之塵埃。作為空氣過濾器,例如,可舉出粗塵用過濾器、超高性能過濾器(ULPA過濾器)及化學過濾器等。
接著,對於作為第1功能部之供給風扇2之在該露點溫度調節用除濕裝置1的除濕能力中之功能進行說明。
當使作為第1功能部之供給風扇2的轉速增加時,導入到該露點溫度調節用除濕裝置1之外部空氣或處理空氣的量將會增加。此時,若供給至作業區域之已處理後的空氣量或排出之再生空氣量、除濕轉子7的旋轉速度等條件為恆定的話,則每單位體積的空氣之受到除濕轉子7所執行的除濕處理的頻率將會增加,而供給至作業區域之已處理後的空氣量也會增加。藉此,作業區域內的露點溫度將會緩慢地降低。
相反地,當使作為第1功能部之供給風扇2的轉速降低時,導入到該露點溫度調節用除濕裝置1之外部空氣或處理空氣的量將會降低。此時,若供給至作業區域之已處理後的空氣量或排出之再生空氣量、除濕轉子7的旋轉速度等條件為恆定的話,則每單位體積的空氣之受到除濕轉子7所執行的除濕處理的頻率將會降低,而供給至作業區域之已處理後的空氣量將會降低。因此,當供給風扇2的轉速減少時,處理頻率將會降低而供給至作業區域之已處理後的空氣量將會減少,因此作業區域的露點溫度將會緩慢地上升。
但是,當導入到露點溫度調節用除濕裝置1之空氣的量超過除濕轉子7的除濕能力時,即使已處理後的空氣量增加亦無法降低作業區域內的露點溫度。
藉由根據該供給風扇2的功能來調節供給風扇2的轉速,能夠控制露點溫度調節用除濕裝置1的除濕能力,並能夠調節供給至作業區域之已處理後的空氣的露點溫度和供給量。藉此,能夠使作業區域內的露點溫度穩定地維持在目標值。
(第2功能部)
作為第2功能部之除濕轉子7,為配置有除濕劑之結構體,並且被分隔為處理區8和預冷區9、再生區10。除濕轉子7,係以藉由齒輪馬達11所控制之速度來進行旋轉。
另外,代表性的除濕轉子7的結構,雖然是蜂窩狀,但只要是能夠有效率地吸附空氣中的水份,而且能夠去除水份之結構體即可。
又,除濕劑只要能夠吸附暨去除水份即可。例如,可舉出矽膠或沸石之類的吸濕特性高的除濕劑。
在除濕轉子7的處理區8的後段,設置有用以配給經由供給路13供給至作業區域之已處理後的空氣的吹出風量調節風門17。
在除濕轉子7的預冷區9至再生區10之間,設置有再生加熱器14。又,在再生區10的前後,設置有溫度感測器15和溫度感測器16。
在除濕轉子7的處理區8中,吸附從供給風扇2輸送過來之空氣的水份而予以進行除濕。根據利用溫度感測器6測量之溫度,如有必要,藉由控制加熱器12將被除濕後之空氣加熱至預定的溫度為止。
另外,亦可以將被輸送至除濕轉子7的處理區8並且被除濕後之乾燥空氣,利用任意的空氣過濾器進行處理。藉此,能夠去除從除濕轉子7脫落之除濕劑,並且能夠供給被淨化後之空氣。
被輸送至除濕轉子7的預冷區9之空氣,係被再生加熱器14加熱,並且作為除濕轉子7的再生空氣被輸送至再生區10。藉此,利用再生加熱器14加熱後之空氣使吸附在除濕轉子7的處理區8中之水份脫離而釋放濕氣,藉此,除濕轉子7的水份吸附能力得以再生。藉由溫度感測器15和溫度感測器16測量通過該再生區前後的空氣的溫度,來管理再生效率。
接著,對於作為第2功能部之除濕轉子7之在該露點溫度調節用除濕裝置1的除濕能力中之功能進行說明。
當使作為第2功能部之除濕轉子7的旋轉速度增加時,再生區10中之水份吸附能力的再生將會降低。此時,若供給至該除濕轉子7之空氣量或空氣的質量等條件為恆定的話,則對於空氣之除濕效率將會降低,供給至作業區域之已處理後的空氣的露點溫度將會上升。相反地,當除濕轉子7的旋轉速度減小時,對於空氣之除濕效率將會上升,供給至作業區域之已處理後的空氣的露點溫度將會降低。
藉由根據該除濕轉子7的功能,來調節除濕轉子7的旋轉速度,能夠控制露點溫度調節用除濕裝置1的除濕能力,並且能夠調節供給至作業區域之已處理後的空氣的露點溫度。藉此,能夠使作業區域內的露點溫度穩定地維持在目標值。
(第3功能部)
露點溫度調節用除濕裝置1,係在供給路13的終點,具備用以排出已除濕處理後的空氣的第3功能部亦即吹出風量調節風門17。
流過在除濕轉子7的處理區8之已被除濕處理後之供給路13之空氣,係經由作為第3功能部之吹出風量調節風門17,作為已處理後的空氣供給至作業區域。作為作業區域,例如,可舉出乾燥室等,但並不限定於此。進而,該作業區域可以是人員進行作業等之空間,亦可以是僅有機械等的無人空間。
接著,對於作為第3功能部之吹出風量調節風門17之在該露點溫度調節用除濕裝置1的除濕能力中之功能進行說明。
當使作為第3功能部之吹出風量調節風門17的開度增加時,供給至作業區域之已處理後的空氣量將會增加。此時,若導入空氣量或除濕轉子7的旋轉速度等條件為恆定的話,則供給至作業區域之已處理後的空氣量將會增加,因此作業區域內的露點溫度將會降低。相反地,當吹出風量調節風門17的開度減少時,供給至作業區域之已處理後的空氣量將會減少,因此作業區域的露點溫度將會上升。
藉由根據該吹出風量調節風門17的功能來調節吹出風量調節風門17的開度,能夠控制露點溫度調節用除濕裝置1的除濕能力,並能夠調節供給至作業區域之已處理後的空氣的露點溫度和供給量。藉此,能夠使作業區域內的露點溫度穩定地維持在目標值。
(第4功能部)
露點溫度調節用除濕裝置1,係具備用以在除濕轉子7的再生區10的出口形成再生空氣流的第4功能部亦即排氣風扇18。
從除濕轉子7的預冷區9通過再生區10之空氣流,是藉由排氣風扇18的作用而形成的。
接著,對於作為第4功能部之排氣風扇18之在該露點溫度調節用除濕裝置1的除濕能力中之功能進行說明。
當使作為第4功能部之排氣風扇18的轉速增加時,流入除濕轉子7的再生區10之再生空氣量將會增加,因此除濕轉子7的再生能力將會提高。因此,若導入到該露點溫度調節用除濕裝置1之空氣量或供給至作業區域之已處理後的空氣量、除濕轉子7的旋轉速度等條件為恆定的話,則對於除濕轉子7的空氣之除濕效率將會提高,供給至作業區域之已處理後的空氣的露點溫度將會急劇地降低。相反地,當排氣風扇18的轉速減小時,除濕轉子7的再生能力將會降低,因此供給至作業區域之已處理空氣的露點溫度將會急劇地上升。
藉由根據該排氣風扇18的功能來調節排氣風扇18的轉速,能夠控制露點溫度調節用除濕裝置1的除濕能力,並且能夠調節供給至作業區域之已處理後的空氣的露點溫度和供給量。藉此,能夠使作業區域內的露點溫度穩定地維持在目標值。
(第5功能部)
露點溫度調節用除濕裝置1,係具備用以排出從排氣風扇18輸送過來之再生空氣的第5功能部亦即排氣風量調節風門19。
從排氣風扇18輸送過來之再生空氣,係經由作為第5功能部之排氣風量調節風門19而被排出至露點溫度調節用除濕裝置1的外部。
接著,對作為第5功能部之排氣風量調節風門19之在該露點溫度調節用除濕裝置1的除濕能力中之功能進行說明。
當使作為第5功能部之排氣風量調節風門19的開度增加時,流入除濕轉子7的再生區10之再生空氣量將會增加,因此除濕轉子7的再生能力將會提高。因此,若導入到該露點溫度調節用除濕裝置1之空氣量或供給至作業區域之已處理後的空氣量、除濕轉子7的旋轉速度等條件為恆定的話,則對於除濕轉子7的空氣之除濕效率將會提高,供給至作業區域之已處理空氣的露點溫度將會急劇地降低。相反地,當排氣風量調節風門19的開度減小時,供給至作業區域之已處理空氣的露點溫度將會上升。
藉由根據該排氣風量調節風門19的功能來調節排氣風量調節風門19的開度,能夠控制露點溫度調節用除濕裝置1的除濕能力,並且能夠調節供給至作業區域之已處理後的空氣的露點溫度和供給量。藉此,能夠使作業區域內的露點溫度穩定地維持在目標值。
針對於該等第1~第5功能部的特徵所執行之供給至作業區域之已處理後的空氣的露點溫度的調節進行說明。
藉由供給風扇2的運轉動作,而被導入到露點溫度調節用除濕裝置1之空氣,係被除濕轉子7除濕之後,作為從露點溫度調節用除濕裝置1供給至作業區域之已處理後的空氣,從吹出風量調節風門17排出。藉由吹出風量調節風門17的運轉動作,被除濕轉子7除濕後之空氣的一部分再次被除濕轉子7進行除濕處理。又,藉由排氣風扇18和排氣風量調節風門19的運轉動作,除濕轉子7的水份吸附能力得以再生。
因此,藉由控制第1~第5功能部的運轉動作,能夠調節露點溫度調節用除濕裝置1的除濕能力。
(試驗例)
露點溫度調節用除濕裝置1,係具有如上所述的結構。分析了各結構對於該露點溫度調節用除濕裝置1的除濕功能之貢獻率。另外,貢獻率係指:當僅變動該功能部的控制參數時,對露點溫度的變動量的大小進行評價之結果。關於控制參數的變動,係對於作為該功能部的裝置的最大輸出時和最小輸出時的變動進行了評價。其結果,明確地顯示出作為第1功能部之供給風扇2的轉速、作為第2功能部之除濕轉子7的旋轉速度、作為第3功能部之吹出風量調節風門17的開度、作為第4功能部之排氣風扇18的轉速、作為第5功能部之排氣風量調節風門19的開度的運轉動作係對於露點溫度調節用除濕裝置1的除濕功能產生較大影響。具體而言,藉由在供給風扇2的轉速為30~60轉/分鐘、排氣風扇18的轉速為10~60轉/分鐘、除濕轉子7的旋轉速度為15~60轉/小時、吹出風量調節風門17的開度為50~100%、排氣風量調節風門19的開度為30~100%的範圍內控制運轉動作,能夠有效地調節露點溫度調節用除濕裝置1的除濕功能,並且能夠穩定地維持在任意的露點溫度。具體而言,在-20℃以下的露點溫度下,能夠在對於任意的露點溫度的設定值±5℃的範圍內進行調節。又,在-30℃以下的露點溫度下,亦能夠在對於任意的露點溫度的設定值±5℃的範圍內進行調節。
另外,關於包括再生加熱器14之其他部位的運轉動作,對於露點溫度調節用除濕裝置1的除濕功能產生之影響較小,或者不產生影響。又,對於除濕功能產生之影響較小的部位的運轉動作,亦可以用於微調露點溫度調節用除濕裝置1的除濕功能。
關於對於除濕功能之貢獻率,“作為第4功能部之排氣風扇18的轉速”、“作為第2功能部之除濕轉子7的旋轉速度”、“作為第5功能部之排氣風量調節風門19的開度”比較大,“作為第3功能部之吹出風量調節風門17的開度”、“作為第1功能部之供給風扇2的轉速”比較小。藉由調節各功能部中的至少一種,來控制露點溫度。此時,可以調節複數種功能部來控制露點溫度,尤其是,藉由調節貢獻率比較大的“作為第4功能部之排氣風扇18的轉速”、“作為第2功能部之除濕轉子7的旋轉速度”、“作為第5功能部之排氣風量調節風門19的開度”的其中一種以上來控制露點溫度為佳。又,將作為貢獻率比較大的功能部之“作為第4功能部之排氣風扇18的轉速”、“作為第2功能部之除濕轉子7的旋轉速度”、“作為第5功能部之排氣風量調節風門19的開度”的其中一種以上和作為貢獻率比較小的功能部之“作為第3功能部之吹出風量調節風門17的開度”、“作為第1功能部之供給風扇2的轉速”的其中一種以上進行組合來控制露點溫度為佳。
如上所述,在露點溫度調節用除濕裝置1中,係藉由因應露點溫度的設定值來使供給風扇的轉速、排氣風扇的轉速、除濕轉子的旋轉速度、吹出風量調節風門的開度、排氣風量調節風門的開度最佳化,而能夠穩定地供給目標露點溫度的空氣。
本發明的第1實施方式的露點溫度調節用除濕裝置1,係具有控制部20。控制部20係與用來檢測供給至作業區域之已處理後的空氣的濕度之濕度感測器21、供給風扇2的調節部22、除濕轉子7的調節部23、吹出風量調節風門17的調節部24、排氣風扇18的調節部25、排氣風量調節風門19的調節部26連繫在一起。該等連繫可以藉由配線等直接連接,亦可以經由無線等通信技術來做間接性的連繫。
另外,在圖2中,濕度感測器21,雖然是設置於露點溫度調節用除濕裝置1的外部,但只要能夠測量被控制加熱器12加熱後之空氣的濕度的話,也可以設置於裝置內部的供給路13中的任意的位置。又,濕度感測器21亦可以因應需要而替換為露點溫度感測器。
控制部20,係根據檢測供給至作業區域之已處理後的空氣的濕度之濕度感測器21的測量結果,來判斷對於露點溫度的設定值之露點溫度調節用除濕裝置1的除濕效率,並且內建有用來控制供給風扇2、除濕轉子7、吹出風量調節風門17、排氣風扇18、排氣風量調節風門19的運轉動作之控制程式。
該控制程式係包含從實測值算出供給風扇2、除濕轉子7、吹出風量調節風門17、排氣風扇18、排氣風量調節風門19之對於任意的露點溫度的設定值之貢獻率,並且可將各運轉動作最佳化之運動控制算法。該運動控制算法,例如能夠根據與露點溫度調節用除濕裝置1有關之事先的性能試驗來進行設計。
控制部20,係根據利用濕度感測器21所檢測之供給至作業區域之已處理後的空氣的濕度和所設定之露點溫度,來運算出供給風扇2的轉速、除濕轉子7的旋轉速度、吹出風量調節風門17的開度、排氣風扇18的轉速及排氣風量調節風門19的開度。根據其運算結果,以可成為設定露點溫度±5℃之方式,來對於供給風扇2的調節部22、除濕轉子7的調節部23、吹出風量調節風門17的調節部24、排氣風扇18的調節部25、排氣風量調節風門19的調節部26進行指示:供給風扇2、除濕轉子7、吹出風量調節風門17、排氣風扇18、排氣風量調節風門19的最佳的運轉動作。
例如,在供給風扇2的轉速為30~60轉/分鐘、除濕轉子7的旋轉速度為15~60轉/小時、吹出風量調節風門17的開度為50~100%、排氣風扇18的轉速為10~60轉/分鐘及排氣風量調節風門19的開度為30~100%的範圍內進行控制運轉動作。
另外,關於供給風扇2、除濕轉子7、吹出風量調節風門17、排氣風扇18、排氣風量調節風門19的運轉動作的控制範圍,只要為能夠因應露點溫度調節用除濕裝置1的性能來達成所設定之露點溫度的話即可,並不限定於上述的這些範圍。
又,露點溫度調節用除濕裝置1,亦可以設置用來測量所吸入之外部空氣或處理空氣的濕度之濕度感測器27,並且與控制部20直接或間接性地連接。濕度感測器27將所吸入之空氣的濕度的資訊發送至控制部20。控制部20係因應所吸入之空氣的濕度,以能夠迅速地調節露點溫度之方式,運算出供給風扇2、除濕轉子7、吹出風量調節風門17、排氣風扇18、排氣風量調節風門19的運轉動作,並且向各調節部發送指示。藉此,可以謀求提升露點溫度調節用除濕裝置1的露點溫度的調節功能。
另外,在圖2中,濕度感測器27雖然是設置於露點溫度調節用除濕裝置1的外部,但只要能夠測量所吸入之處理空氣的質量的話,亦可以設置於從裝置內部的風門3至冷卻線圈4為止的任意的位置。又,濕度感測器27亦可以因應需要而替換為溫濕度感測器。
如上所述,本發明的露點溫度調節用除濕裝置,係能夠藉由具有控制程式之控制部,因應露點溫度的設定值和所排出之空氣的濕度,來控制供給風扇、除濕轉子、吹出風量調節風門、排氣風扇、排氣風量調節風門的運轉動作,並且可調節露點溫度。又,前述控制程式亦可以具有執行按每個時間區段所設定之各種露點溫度等的定時器功能。該等運轉控制可以作為控制程式藉由控制部全部都自動執行,亦可以包含作業員的手動操作。另外,基於減少作業員的勞力之觀點考量,設置成利用控制程式來執行之自動控制為更佳。
[產業上之可利用性]
本發明的露點溫度調節用除濕裝置,係能夠用於將作業區域的濕度穩定地調節在作為目標之任意的露點溫度。具體而言,在乾燥室內,能夠用於維持作為目標之濕度條件。
又,本發明的露點溫度調節用除濕裝置,可藉由利用控制程式所執行之自動控制,能夠減少作業員的勞力。進而,可藉由最佳化之控制程式,能夠減少無謂的耗電。
1:露點溫度調節用除濕裝置
2:供給風扇
3:風門
4:冷卻線圈
5:溫度感測器
6:溫度感測器
7:除濕轉子
8:處理區
9:預冷區
10:再生區
11:齒輪馬達
12:控制加熱器
13:供給路
14:再生加熱器
15:溫度感測器
16:溫度感測器
17:吹出風量調節風門
18:排氣風扇
19:排氣風量調節風門
20:控制部
21:濕度感測器
22:供給風扇2的調節部
23:除濕轉子7的調節部
24:吹出風量調節風門17的調節部
25:排氣風扇18的調節部
26:排氣風量調節風門19的調節部
27:濕度感測器
[圖1] 係表示除濕轉子的結構之概略說明圖。
[圖2] 係表示本發明的露點溫度調節用除濕裝置的結構和空氣流之概略說明圖。
1:露點溫度調節用除濕裝置
2:供給風扇
3:風門
4:冷卻線圈
5:溫度感測器
6:溫度感測器
7:除濕轉子
8:處理區
9:預冷區
10:再生區
11:齒輪馬達
12:控制加熱器
13:供給路
14:再生加熱器
15:溫度感測器
16:溫度感測器
17:吹出風量調節風門
18:排氣風扇
19:排氣風量調節風門
20:控制部
21:濕度感測器
22:供給風扇2的調節部
23:除濕轉子7的調節部
24:吹出風量調節風門17的調節部
25:排氣風扇18的調節部
26:排氣風量調節風門19的調節部
27:濕度感測器
Claims (6)
- 一種露點溫度調節用除濕裝置,係用來將空氣的露點溫度調節到-20℃以下,其特徵為,係具備:調節部,係藉由調節選自用以向前述露點溫度調節用除濕裝置導入空氣的前述露點溫度調節用除濕裝置內部的供給風扇的轉速、除濕轉子的旋轉速度、吹出風量調節風門的開度、用以排出空氣的排氣風扇的轉速、排氣風量調節風門的開度、再生加熱器的溫度中之至少一種運轉動作來調節露點溫度,前述調節部是因應對於除濕功能之貢獻率來調節露點溫度。
- 如請求項1所述之露點溫度調節用除濕裝置,其中,前述調節部,具有:將對於除濕功能之貢獻率較大的排氣風扇的轉速、除濕轉子的旋轉速度、排氣風量調節風門的開度之中的至少一種予以調節,藉此調節露點溫度的控制;將對於除濕功能之貢獻率較大的排氣風扇的轉速、除濕轉子的旋轉速度、排氣風量調節風門的開度之任一種以上,與對於除濕功能之貢獻率較小的吹出風量調節風門的開度、供給風扇的轉速、再生加熱器的溫度之一種以上予以組合,藉此調節露點溫度的控制。
- 如請求項1或請求項2所述之露點溫度調節用除濕裝置,其中,對於除濕功能之貢獻率較小的吹出 風量調節風門的開度、供給風扇的轉速控制、再生加熱器的溫度,是使用於除濕功能的微調。
- 如請求項1所述之露點溫度調節用除濕裝置,其中,將露點溫度在對於設定值±5℃的範圍內進行調節。
- 如請求項1或請求項2所述之露點溫度調節用除濕裝置,其中,前述調節部係用來控制前述運轉動作之控制部。
- 一種露點溫度調節用除濕裝置的使用方法,該露點溫度調節用除濕裝置係用來將空氣的露點溫度調節到-20℃以下,其特徵為,調節選自用以向前述露點溫度調節用除濕裝置導入空氣的前述露點溫度調節用除濕裝置內部的供給風扇的轉速、除濕轉子的旋轉速度、吹出風量調節風門的開度、用以排出空氣的排氣風扇的轉速、排氣風量調節風門的開度、再生加熱器的溫度中之至少一種運轉動作,因應對於除濕功能之貢獻率來調節露點溫度。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019-069460 | 2019-03-29 | ||
JP2019069460A JP2020165630A (ja) | 2019-03-29 | 2019-03-29 | 露点温度調節用除湿装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW202035926A TW202035926A (zh) | 2020-10-01 |
TWI739326B true TWI739326B (zh) | 2021-09-11 |
Family
ID=72668290
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW109106874A TWI739326B (zh) | 2019-03-29 | 2020-03-03 | 露點溫度調節用除濕裝置及其使用方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11874019B2 (zh) |
EP (1) | EP3945253A4 (zh) |
JP (1) | JP2020165630A (zh) |
CN (1) | CN113597531B (zh) |
TW (1) | TWI739326B (zh) |
WO (1) | WO2020202906A1 (zh) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102438815B1 (ko) * | 2021-11-23 | 2022-09-01 | 주식회사 휴마스터 | 소형 제습기 및 그의 제어 방법 |
KR102662601B1 (ko) * | 2022-07-01 | 2024-04-30 | 엘지전자 주식회사 | 신발 관리기 |
KR20240003632A (ko) * | 2022-07-01 | 2024-01-09 | 엘지전자 주식회사 | 신발 관리기 및 그 제어 방법 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2019
- 2019-03-29 JP JP2019069460A patent/JP2020165630A/ja active Pending
-
2020
- 2020-02-25 EP EP20782416.0A patent/EP3945253A4/en active Pending
- 2020-02-25 WO PCT/JP2020/007546 patent/WO2020202906A1/ja unknown
- 2020-02-25 CN CN202080009927.5A patent/CN113597531B/zh active Active
- 2020-03-03 TW TW109106874A patent/TWI739326B/zh active
-
2021
- 2021-08-20 US US17/407,821 patent/US11874019B2/en active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
US11874019B2 (en) | 2024-01-16 |
US20210381701A1 (en) | 2021-12-09 |
TW202035926A (zh) | 2020-10-01 |
WO2020202906A1 (ja) | 2020-10-08 |
EP3945253A4 (en) | 2022-05-18 |
JP2020165630A (ja) | 2020-10-08 |
CN113597531B (zh) | 2023-04-21 |
CN113597531A (zh) | 2021-11-02 |
EP3945253A1 (en) | 2022-02-02 |
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