TWI707216B - 溫度控制裝置 - Google Patents

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TWI707216B
TWI707216B TW105135555A TW105135555A TWI707216B TW I707216 B TWI707216 B TW I707216B TW 105135555 A TW105135555 A TW 105135555A TW 105135555 A TW105135555 A TW 105135555A TW I707216 B TWI707216 B TW I707216B
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小野茂彦
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日商伸和控制工業股份有限公司
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Abstract

提供一種溫度控制裝置，在複數流路中，即便 在需要藉由閥門進行控制的情況下，也能在抑制裝置全體的煩雜化及大型化的同時，將溫度控制對象區域的溫度迅速地控制到所期望的溫度。

由閥門單元(31)來控制：藉由第1調溫單 元(10)控制成預定的溫度並流通於第1供應流路(11)的熱媒介的向合流流路(40)的流通及遮斷、以及藉由第2調溫單元(20)控制成與第1供應流路(11)的熱媒介不同溫度的流通於第2供應流路(21)的熱媒介的向合流流路(40)的流通及遮斷。在閥門單元(31)具有第1轉軸閥門(100)及第2轉軸閥門(200)，第1轉軸閥門(100)及第2轉軸閥門(200)係隔著隔熱層(400L)連結。

Description

溫度控制裝置
本發明係有關於溫度控制裝置。
從前已知有電漿處理裝置，其藉由電漿蝕刻來除去在半導體製造時對基板塗佈的光阻等。電漿處理裝置一般具備：維持基板的基板維持部、施加高頻電力而產生電漿的高頻電源，並且為了將基板加熱至所期望的溫度，而對基板維持部作溫度控制。
作為對上述基板維持部的這種構件作溫度控制的裝置，例如專利文獻1揭示有一種溫度控制系統，其將從低溫流路所供應的經調溫至第1溫度的液體、從高溫流路所供應的經調溫至第2溫度的液體、及從旁流流路所供應的液體合流，而供應至調溫部。在該溫度控制系統中，藉由分別連接低溫流路、高溫流路、及旁流流路至複數調溫部，可以將複數溫度控制對象區域作溫度控制。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]JP 2013-105359 A
但是，專利文獻1所揭示的溫度控制系統，對各個低溫流路、高溫流路、及旁流流路，安裝有流量調整用的可變閥門。而且從調溫部流出的液體會通過分歧成3條的流路，分別循環於低溫流路、高溫流路、及旁流流路，在該等分歧的各流路設置止回閥。但是，這樣的複數閥門因為溫度控制對象區域的增加，其個數也跟著增加，當溫度控制對象區域具有相當的數量時，裝置全體會有極煩雜化及大型化的問題。
此外，例如電漿蝕刻在半導體製造時對基板塗佈的光阻時，將塗佈光阻的基板溫度迅速且高精度地控制至所期望的溫度，能提升製品的產率。因此，這種溫度控制裝置或系統，極需要迅速且高精度地進行至所期望溫度的控制。
本發明係考慮這種實情，目的為提供一種溫度控制裝置，其在複數流路中，即便在需要藉由閥門進行控制的情況下，也能在抑制裝置全體的煩雜化及大型化的同時，將溫度控制對象區域的溫度迅速地控制到所期望的溫度。
本發明的溫度控制裝置具備：具有使熱媒介流通的第1供應流路的第1調溫單元、具有使溫度被控制成與流通於前述第1供應流路的熱媒介有相異溫度的熱媒介流通的第2供應流路的第2調溫單元、連接於前述第1供應流路及前述第2供應流路的閥門單元、連接於前述閥門單元，在流通於前述第1供應流路並從前述閥門單元流出的熱媒介以及流通於前述第2供應流路並從前述閥門單元流出的熱媒介中，至少使1者流通的合流流路、使從前述合流流路流出的熱媒介流通，並將預定的構件作溫度控制的溫度調整部；其中，前述閥門單元具有：切換從前述第1供應流路向前述合流流路的熱媒介的流通及遮斷之第1轉軸閥門、切換從前述第2供應流路向前述合流流路的熱媒介的流通及遮斷之第2轉軸閥門，前述第1轉軸閥門及前述第2轉軸閥門係隔著隔熱層連結。
本發明的溫度控制裝置，更具備：從前述溫度調整部分歧延伸，並流通從該溫度調整部流出的熱媒介的第1循環流路及第2循環流路；其中，前述第1轉軸閥門連接至前述第1循環流路，前述第2轉軸閥門連接至前述第2循環流路；前述第1轉軸閥門具有使從前述第1循環流路的熱媒介流出的第1返回用流出端口，並與從前述第1供應流路向前述合流流路的熱媒介的流通及遮斷的切換作連動，而切換從前述第1循環流路向前述第1返回用流出端口的熱媒介的流通及遮斷；前述第2轉軸閥門具有使從前述第2循環流路的熱媒介流出的第2返回用流出端 口，並與從前述第2供應流路向前述合流流路的熱媒介的流通及遮斷的切換作連動，而切換從前述第2循環流路向前述第2返回用流出端口的熱媒介的流通及遮斷也可以。
前述第1轉軸閥門在使熱媒介從前述第1供應流路向前述合流流路流通時，使得熱媒介從前述第1循環流路向前述第1返回用流出端口流通，而且在遮斷從前述第1供應流路向前述合流流路的熱媒介時，遮斷從前述第1循環流路向前述第1返回用流出端口的熱媒介；前述第2轉軸閥門在使熱媒介從前述第2供應流路向前述合流流路流通時，使得熱媒介從前述第2循環流路向前述第2返回用流出端口流通，而且在遮斷從前述第2供應流路向前述合流流路的熱媒介時，遮斷從前述第2循環流路向前述第2返回用流出端口的熱媒介也可以。
前述第1轉軸閥門更具有：與前述第1供應流路連接的第1供應用流入端口、與前述合流流路連接的第1供應用流出端口、與前述第1循環流路連接的第1返回用流入端口；前述第1轉軸閥門在遮斷前述第1供應用流入端口與前述第1供應用流出端口，而遮斷從前述第1供應流路向前述合流流路的熱媒介，且遮斷前述第1返回用流入端口與前述第1返回用流出端口，而遮斷從前述第1循環流路向前述第1返回用流出端口的熱媒介時，使前述第1供應用流入端口與前述第1返回用流出端口之間呈連接狀態；前述第2轉軸閥門更具有：與前述第2供應流路連接的第2供應用流入端口、與前述合流流路連接的第 2供應用流出端口、與前述第2循環流路連接的第2返回用流入端口；前述第2轉軸閥門在遮斷前述第2供應用流入端口與前述第2供應用流出端口，而遮斷從前述第2供應流路向前述合流流路的熱媒介，且遮斷前述第2返回用流入端口與前述第2返回用流出端口，而遮斷從前述第2循環流路向前述第2返回用流出端口的熱媒介時，使前述第2供應用流入端口與前述第2返回用流出端口之間呈連接狀態也可以。
本發明的溫度控制裝置，更具備：控制前述閥門單元中的前述第1轉軸閥門及前述第2轉軸閥門的動作的閥門控制部；前述閥門控制部以將熱媒介從前述第1供應流路向前述合流流路流通的狀態來控制前述第1轉軸閥門時，以遮斷從前述第2供應流路向前述合流流路的熱媒介的狀態來控制前述第2轉軸閥門，並以將熱媒介從前述第2供應流路向前述合流流路流通的狀態來控制前述第2轉軸閥門時，以遮斷從前述第1供應流路向前述合流流路的熱媒介的狀態來控制前述第1轉軸閥門也可以。
此時，各個前述第1轉軸閥門及前述第2轉軸閥門具有因應激磁及非激磁的狀態來切換2個位置的電磁線圈，且因應該電磁線圈的位置來切換熱媒介的流通及遮斷；前述閥門控制部將前述第1轉軸閥門的電磁線圈控制成激磁或非激磁的任一者時，將前述第2轉軸閥門的電磁線圈控制成激磁或非激磁的另一者也可以。
在本發明的溫度控制裝置中，前述第1轉軸 閥門以可調整從前述第1供應流路向前述合流流路流通的熱媒介的流量的方式，來切換從前述第1供應流路向前述合流流路的熱媒介的流通及遮斷；前述第2轉軸閥門以可調整從前述第2供應流路向前述合流流路流通的熱媒介的流量的方式，來切換從前述第2供應流路向前述合流流路的熱媒介的流通及遮斷也可以。因此，前述第1轉軸閥門更具有：與前述第1供應流路連接的第1供應用流入端口、與前述合流流路連接的第1供應用流出端口、與前述第1循環流路連接的第1返回用流入端口；前述第1轉軸閥門藉由將前述第1供應用流入端口與前述第1供應用流出端口之間的連接狀態在全開及全閉之間的開度作調整，調整從前述第1供應流路向前述合流流路流通的熱媒介的流量，並且藉由將前述第1返回用流入端口與前述第1返回用流出端口之間的連接狀態在全開及全閉之間的開度作調整，調整從前述第1循環流路向前述第1返回用流出端口流通並流出的熱媒介的流量，且隨著前述第1供應用流入端口與前述第1供應用流出端口之間的連接狀態的開度變大，前述第1返回用流入端口與前述第1返回用流出端口之間的連接狀態的開度也跟著變大也可以。此外，前述第2轉軸閥門可以更具有：與前述第2供應流路連接的第2供應用流入端口、與前述合流流路連接的第2供應用流出端口、與前述第2循環流路連接的第2返回用流入端口；前述第2轉軸閥門藉由將前述第2供應用流入端口與前述第2供應用流出端口之間的連接狀態在全開及全閉之 間的開度作調整，調整從前述第2供應流路向前述合流流路流通的熱媒介的流量，並且藉由將前述第2返回用流入端口與前述第2返回用流出端口之間的連接狀態在全開及全閉之間的開度作調整，調整從前述第2循環流路向前述第2返回用流出端口流通並流出的熱媒介的流量，且隨著前述第2供應用流入端口與前述第2供應用流出端口之間的連接狀態的開度變大，前述第2返回用流入端口與前述第2返回用流出端口之間的連接狀態的開度也跟著變大。
本發明的溫度控制裝置中，前述第1轉軸閥門，在當前述第1供應用流入端口與前述第1供應用流出端口之間的連接狀態為全閉，且前述第1返回用流入端口與前述第1返回用流出端口之間的連接狀態為全閉時，使前述第1供應用流入端口與前述第1返回用流出端口呈現全開的連接狀態；前述第1供應用流入端口與前述第1返回用流出端口之間的連接狀態，隨著前述第1供應用流入端口與前述第1供應用流出端口之間的連接狀態及前述第1返回用流入端口與前述第1返回用流出端口之間的連接狀態接近全開，而接近全閉，在當以前述第1供應用流入端口與前述第1供應用流出端口之間的連接狀態為全開，且前述第1返回用流入端口與前述第1返回用流出端口之間的連接狀態為全開時，則成為全閉也可以。此外，前述第2轉軸閥門，在當前述第2供應用流入端口與前述第2供應用流出端口之間的連接狀態為全閉，且前述第2返回用流入端口與前述第2返回用流出端口之間的連接狀態為 全閉時，使前述第2供應用流入端口與前述第2返回用流出端口呈現全開的連接狀態；前述第2供應用流入端口與前述第2返回用流出端口之間的連接狀態，隨著前述第2供應用流入端口與前述第2供應用流出端口之間的連接狀態及前述第2返回用流入端口與前述第2返回用流出端口之間的連接狀態接近全開，而接近全閉，在當以前述第2供應用流入端口與前述第2供應用流出端口之間的連接狀態為全開，且前述第2返回用流入端口與前述第2返回用流出端口之間的連接狀態為全開時，則成為全閉也可以。
本發明的溫度控制裝置，更具備：控制前述閥門單元中的前述第1轉軸閥門及前述第2轉軸閥門的動作的閥門控制部；前述第1轉軸閥門及前述第2轉軸閥門係成為相互相同的構造；前述閥門控制部在當將前述第1轉軸閥門的前述第1供應用流入端口與前述第1供應用流出端口之間的連接狀態的開度控制成0%~100%之間的A%時，也將前述第2轉軸閥門的前述第2供應用流入端口與前述第2供應用流出端口之間的連接狀態的開度控制成(100-A%)也可以。
在本發明的溫度控制裝置中，各個前述第1轉軸閥門及前述第2轉軸閥門具有比例線圈，並因應該比例線圈的驅動進行流量調整也可以。
在本發明的溫度控制裝置中，前述第1調溫單元更具有：連接至前述第1返回用流出端口，並使從該第1返回用流出端口流出的熱媒介流通的第1返回流路、 配置於前述第1返回流路與前述第1供應流路之間的第1中間流路、在從前述第1返回流路到前述第1供應流路的上游端的部分的任何位置，冷卻熱媒介的第1冷卻部、在從前述第1返回流路到前述第1供應流路的上游端的部分的比前述第1冷卻部的冷卻位置還下游側，加熱熱媒介的第1加熱部；流通於前述第1供應流路的熱媒介藉由前述第1冷卻部及前述第1加熱部來作溫度控制也可以。
在本發明的溫度控制裝置中，前述第1返回流路與前述第1中間流路藉由第1側三方閥門來連接；前述第1中間流路具有：第1側主流路部及第1側旁流流路部；前述第1側三方閥門在第1端口與前述第1返回流路的下游端連接，在第2端口與前述第1側主流路部的上游端連接，在第3端口與前述第1側旁流流路部的上游端連接；流通於前述第1側主流路部的熱媒介藉由前述第1冷卻部來冷卻；前述第1側主流路部的下游端連接至前述第1加熱部，前述第1加熱部接收從前述第1側主流路部流出的熱媒介並加熱；前述第1側旁流流路部，連接至在前述第1側主流路部的前述第1冷卻部所冷卻的位置的下游側，即與前述第1加熱部的連接位置的上游側的位置連接也可以。
在本發明的溫度控制裝置中，前述第2調溫單元更具有：連接至前述第2返回用流出端口，並使從該第2返回用流出端口流出的熱媒介流通的第2返回流路、配置於前述第2返回流路與前述第2供應流路之間的第2 中間流路、在從前述第2返回流路到前述第2供應流路的上游端的部分的任何位置，冷卻熱媒介的第2冷卻部、在從前述第2返回流路到前述第2供應流路的上游端的部分的比前述第2冷卻部的冷卻位置還下游側，加熱熱媒介的第2加熱部；流通於前述第2供應流路的熱媒介藉由前述第2冷卻部及前述第2加熱部來作溫度控制也可以。
在本發明的溫度控制裝置中，前述第2返回流路與前述第2中間流路藉由第2側三方閥門來連接；前述第2中間流路具有：第2側主流路部及第2側旁流流路部；前述第2側三方閥門在第1端口與前述第2返回流路的下游端連接，在第2端口與前述第2側主流路部的上游端連接，在第3端口與前述第2側旁流流路部的上游端連接；流通於前述第2側主流路部的熱媒介藉由前述第2冷卻部來冷卻；前述第2側主流路部的下游端連接至前述第2加熱部，前述第2加熱部接收從前述第2側主流路部流出的熱媒介並加熱；前述第2側旁流流路部，連接至在前述第2側主流路部的前述第2冷卻部所冷卻的位置的下游側，即與前述第2加熱部的連接位置的上游側的位置連接也可以。
本發明的溫度控制裝置，更具備：與前述第1循環流路及前述第2循環流路一同從前述溫度調整部分歧延伸，並使從該溫度調整部流出的熱媒介流通的第3循環流路；前述閥門單元更具有連接至前述第3循環流路的第3轉軸閥門；前述第3轉軸閥門具有使從前述第3循環流 路的熱媒介流出的第3返回用流出端口，並切換從前述第3循環流路向前述第3返回用流出端口的熱媒介的流通及遮斷；前述第3返回用流出端口連接至前述合流流路也可以。
前述第3轉軸閥門連接至前述第1轉軸閥門及前述第2轉軸閥門中的任一者也可以。
此外，在本發明的溫度控制裝置中，前述第1轉軸閥門具有：形成有轉軸孔的第1閥門本體、插入前述第1閥門本體的轉軸孔的第1轉軸；前述第2轉軸閥門具有：形成有轉軸孔的第2閥門本體、插入前述第2閥門本體的轉軸孔的第2轉軸；前述第1轉軸閥門及前述第2轉軸閥門以與前述第1轉軸及前述第2轉軸呈同軸的狀態配置，在互相對向的前述第1閥門本體的端部與前述第2閥門本體的端部之間，配置前述隔熱層也可以。
此外，本發明的溫度控制裝置具備：具有使熱媒介流通的第1供應流路的第1調溫單元、具有使溫度被控制成與流通於前述第1供應流路的熱媒介有相異溫度的熱媒介流通的第2供應流路的第2調溫單元、連接於前述第1供應流路及前述第2供應流路的閥門單元、連接於前述閥門單元，在流通於前述第1供應流路並從前述閥門單元流出的熱媒介以及流通於前述第2供應流路並從前述閥門單元流出的熱媒介中，至少使1者流通的合流流路、使從前述合流流路流出的熱媒介流通，並將預定的構件作溫度控制的溫度調整部；其中，前述閥門單元具有：切換 從前述第1供應流路向前述合流流路的熱媒介的流通及遮斷之第1轉軸閥門、切換從前述第2供應流路向前述合流流路的熱媒介的流通及遮斷之第2轉軸閥門；前述第1轉軸閥門及前述第2轉軸閥門互相連結，該溫度控制裝置具備：從前述溫度調整部分歧延伸，且使從該溫度調整部流出的熱媒介流通的第1循環流路及第2循環流路；前述第1轉軸閥門連接至前述第1循環流路，前述第2轉軸閥門連接至前述第2循環流路；前述第1轉軸閥門具有使從前述第1循環流路的熱媒介流出的第1返回用流出端口，並與從前述第1供應流路向前述合流流路的熱媒介的流通及遮斷的切換作連動，而切換從前述第1循環流路向前述第1返回用流出端口的熱媒介的流通及遮斷；前述第2轉軸閥門具有使從前述第2循環流路的熱媒介流出的第2返回用流出端口，並與從前述第2供應流路向前述合流流路的熱媒介的流通及遮斷的切換作連動，而切換從前述第2循環流路向前述第2返回用流出端口的熱媒介的流通及遮斷。
根據本發明的溫度控制裝置，在複數流路中，即便在需要藉由閥門進行控制的情況下，也能在抑制裝置全體的煩雜化及大型化的同時，將溫度控制對象區域的溫度迅速地控制到所期望的溫度。
1、2、3、4‧‧‧溫度控制裝置
10‧‧‧第1調溫單元
11‧‧‧第1供應流路
12‧‧‧第1返回流路
13‧‧‧第1中間流路
14‧‧‧第1冷卻部
15‧‧‧第1加熱部
16‧‧‧第1側三方閥門
20‧‧‧第2調溫單元
21‧‧‧第2供應流路
22‧‧‧第2返回流路
23‧‧‧第2中間流路
24‧‧‧第2冷卻部
25‧‧‧第2加熱部
26‧‧‧第2側三方閥門
31、32‧‧‧閥門單元
40‧‧‧合流流路
50‧‧‧溫度調整部
61‧‧‧第1循環流路
62‧‧‧第2循環流路
63‧‧‧第3循環流路
80‧‧‧閥門控制部
100‧‧‧第1轉軸閥門
101‧‧‧第1返回用流出端口
102‧‧‧第1供應用流入端口
103‧‧‧第1供應用流出端口
104‧‧‧第1返回用流入端口
110‧‧‧轉軸孔
111‧‧‧第1閥門本體
112‧‧‧第1轉軸
113‧‧‧第1比例電磁線圈
200‧‧‧第2轉軸閥門
201‧‧‧第2返回用流出端口
202‧‧‧第2供應用流入端口
203‧‧‧第2供應用流出端口
204‧‧‧第2返回用流入端口
210‧‧‧轉軸孔
211‧‧‧第2閥門本體
212‧‧‧第2轉軸
213‧‧‧第2比例電磁線圈
300‧‧‧第3轉軸閥門
301‧‧‧第3返回用流出端口
400、401‧‧‧隔熱構件
400L‧‧‧隔熱層
[圖1]關於本發明的第1實施形態之溫度控制裝置的概略圖。
[圖2]具備圖1所示的溫度控制裝置的閥門單元的概略圖。
[圖3A]說明圖1所示的溫度控制裝置的動作的圖。
[圖3B]說明圖1所示的溫度控制裝置的動作的圖。
[圖3C]說明圖1所示的溫度控制裝置的動作的圖。
[圖4]關於本發明的第2實施形態之溫度控制裝置的概略圖。
[圖5]具備圖4所示的溫度控制裝置的閥門單元的概略圖。
[圖6]關於本發明的第3實施形態之溫度控制裝置的概略圖。
[圖7]關於本發明的第4實施形態之溫度控制裝置的概略圖。
[實施形態]
以下，參照附加的圖式詳細說明有關本發明的各實施形態。
(第1實施形態)
圖1為關於本發明的第1實施形態之溫度控制裝置1的概略圖。該溫度控制裝置1，例如，其目的係用於將藉由電漿蝕刻來除去在半導體製造時對基板塗佈的光阻的電漿處理裝置的基板維持部作溫度控制，將維持於該基板維持部的基板溫度控制在所期望的溫度。
<溫度控制裝置的概略構成>
首先，說明有關本實施形態的溫度控制裝置1的概略構成。如圖1所示，有關本實施形態的溫度控制裝置1具備：具有使熱媒介流通的第1供應流路11之第1調溫單元10、具有使溫度被控制成與流通於第1供應流路11的熱媒介有相異的溫度的熱媒介的第2供應流路21之第2調溫單元20、連接至第1供應流路11及第2供應流路21的閥門單元31、連接至閥門單元31，且使從閥門單元31流出並在第1供應流路11流通的熱媒介及使從閥門單元31流出並在第2供應流路21流通的熱媒介中的至少一者流通的合流流路40、使從合流流路40流出的熱媒介流通，將預定的構件，例如上述電漿處理裝置中的基板維持部作溫度控制之溫度調整部50。
閥門單元31具有：切換從第1供應流路11向合流流路40的熱媒介的流通及遮斷之第1轉軸閥門100、切換從第2供應流路21向合流流路40的熱媒介的流通及遮斷之第2轉軸閥門200。在本實施形態中，第1轉軸閥門100以可調整從第1供應流路11向合流流路40 流通的熱媒介的流量的方式，切換從第1供應流路11向合流流路40的熱媒介的流通及遮斷。同樣地，第2轉軸閥門200以可調整從第2供應流路21向合流流路40流通的熱媒介的流量的方式，切換從第2供應流路21向合流流路40的熱媒介的流通及遮斷。
此外在本實施形態中，合流流路40具有：連接至第1轉軸閥門100的第1流路部41、連接至第2轉軸閥門200的第2流路部42、連接至第1流路部41及第2流路部42，並使熱媒介流出至溫度調整部50的合流部本體43。因此，在本例中，第1轉軸閥門100調整從第1供應流路11向合流流路40的第1流路部41流通的熱媒介的流量，第2轉軸閥門200調整從第2供應流路21向合流流路40的第2流路部42流通的熱媒介的流量。
此外有關本實施形態的溫度控制裝置1更具備：從溫度調整部50分歧延伸，並使從溫度調整部50流出的熱媒介流通的第1循環流路61及第2循環流路62。其中第1循環流路61連接至第1轉軸閥門100，第2循環流路62連接至第2轉軸閥門200。
第1轉軸閥門100具有使從第1循環流路61的熱媒介流出的第1返回用流出端口101，並與從第1供應流路11向合流流路40流通的熱媒介的流量的調整作連動，而調整從第1循環流路61流通至第1返回用流出端口101並流出的熱媒介的流量。接著第1轉軸閥門100使從該第1返回用流出端口101流出的熱媒介返回第1調溫 單元10。同樣地，第2轉軸閥門200具有使從第2循環流路62的熱媒介流出的第2返回用流出端口201，且與從第2供應流路21向合流流路40流通的熱媒介的流量的調整作連動，並調整從第2循環流路62流出的向第2返回用流出端口201流通的熱媒介的流量。接著第2轉軸閥門200使從該第2返回用流出端口201流出的熱媒介返回第2調溫單元20。此外，在本實施形態中所使用的上述熱媒介為液體，第1調溫單元10與第2調溫單元20使用同一熱媒介。以下，說明有關溫度控制裝置1的各部的構成。
<第1調溫單元>
如圖1所示，第1調溫單元10具有：上述第1供應流路11、連接於上述第1返回用流出端口101，並使從該第1返回用流出端口101流出的熱媒介流通的第1返回流路12、配置於該第1返回流路12與第1供應流路11之間的第1中間流路13、在從第1返回流路12到第1供應流路11的上游端的部分的第1中間流路13的上游側部分，將熱媒介冷卻的第1冷卻部14、在從第1返回流路12到第1供應流路11的上游端的部分的比第1冷卻部14的冷卻位置還下游側，將熱媒介加熱的第1加熱部15。在本實施形態中，第1返回流路12與第1中間流路13藉由第1側三方閥門16來連接。第1中間流路13具有：第1側主流路部13M、第1側旁流流路部13B。
第1側三方閥門16在其第1端口與第1返回流路12的下游端連接，在其第2端口與第1側主流路部13M的上游端連接，在其第3端口與第1側旁流流路部13B的上游端連接。第1側三方閥門16將從第1返回流路12的熱媒介以可調整流量的方式供應至第1側主流路部13M與第1側旁流流路部13B。
第1冷卻部14將流通於第1側主流路部13M的熱媒介冷卻，在圖示之例中，其具有：使冷卻水流通的冷卻水供應路14A、供應從冷卻水供應路14A的冷卻水的冷卻部本體14B、使從冷卻部本體14B流出的冷卻水流通的冷卻水返回路14C。在該第1冷卻部14中，藉由使流通於冷卻部本體14B的冷卻水與流通於第1側主流路部13M的熱媒介作熱交換，來將該熱媒介冷卻。也就是說，在圖示的例中，藉由冷卻部本體14B與第1側主流路部13M的一部分來構成熱交換器。
此外第1側主流路部13M的下游端連接至第1加熱部15，第1加熱部15接收從第1側主流路部13M流出的熱媒介並加熱，再將其供應至第1供應流路11。在本實施形態中，上述第1側旁流流路部13B，連接至在第1側主流路部13M的第1冷卻部14所冷卻的位置的下游側，即與第1加熱部15的連接位置的上游側的位置連接。因此，第1加熱部15可以將藉由第1冷卻部14所冷卻的熱媒介及通過第1側旁流流路部13B的熱媒介所混合而成的熱媒介加熱。
第1加熱部15具有：第1側熱媒介槽15A、收容於第1側熱媒介槽15A內的第1側加熱器15B。藉此第1加熱部15使流入第1側熱媒介槽15A的熱媒介與既儲留的熱媒介混合，藉由第1側加熱器15B來加熱。第1側熱媒介槽15A形成閉空間，其內部的熱媒介以其液面與第1側熱媒介槽15A的上壁部之間形成氣相的量，儲存於第1側熱媒介槽15A。
此外，在圖1中，符號17表示在第1供應流路11中使熱媒介流通的泵，符號18A表示檢出在比泵17還下游側流通於第1供應流路11的熱媒介的溫度的下游側溫度感測器，符號18B表示電連接至下游側溫度感測器18A並且電連接至第1加熱部15的第1側加熱器15B的加熱控制部。此外，符號18C表示檢出流經第1側主流路部13M與第1側旁流流路部13B的連接位置的熱媒介的溫度的上游側溫度感測器，符號18D表示電連接至上游側溫度感測器18C並且電連接至第1側三方閥門16的三方閥門控制部。此外，符號19A表示檢出在比下游側溫度感測器18A還下游側流通於第1供應流路11的熱媒介的流量的流量感測器，符號19B表示電連接至流量感測器19A並且通過反相器電連接至泵17的流量控制部。
在第1調溫單元10中，流量控制部19B因應由流量感測器19A所檢出的熱媒介的流量，通過控制泵17的驅動，將流通於第1供應流路11的熱媒介的流量控制成預定的流量。此外，三方閥門控制部18D因應由上游 側溫度感測器18C所檢出的熱媒介的溫度，通過控制第1側三方閥門16，將由上游側溫度感測器18C所檢出的熱媒介的溫度控制成預定的溫度。此外，加熱控制部18B因應由下游側溫度感測器18A所檢出的熱媒介的溫度，通過控制第1側加熱器15B的加熱量，將由下游側溫度感測器18A所檢出的熱媒介的溫度控制成預定的溫度。
在該第1調溫單元10中，熱媒介經第1冷卻部14冷卻後，藉由控制由第1加熱部15加熱至預定的溫度，即使從第1返回流路12返回的熱媒介的溫度會有大變動的情形，流通於第1供應流路11的熱媒介的溫度也能高精度地控制在預定的溫度(例如100度等)。而因為藉由第1側三方閥門16能夠將從第1返回流路12而來的熱媒介以可調整流量的方式供應至第1側主流路部13M與第1側旁流流路部13B，因應必要藉由調整冷卻的熱媒介的流量，在能迅速地成溫度控制的同時，也可以抑制進行溫度控制所需的能量消耗量。
<第2調溫單元>
接著本實施形態中的第2調溫單元20如圖1所示，具有：上述第2供應流路21、連接於上述第2返回用流出端口201，並使從該第2返回用流出端口201流出的熱媒介流通的第2返回流路22、配置於該第2返回流路22與第2供應流路21之間的第2中間流路23、在從第2返回流路22到第2供應流路21的上游端的部分的第2中間 流路23的上游側部分，將熱媒介冷卻的第2冷卻部24、在從第2返回流路22到第2供應流路21的上游端的部分的比第2冷卻部24的冷卻位置還下游側，將熱媒介加熱的第2加熱部25。在本實施形態中，第2返回流路22與第2中間流路23藉由第2側三方閥門26來連接。第2中間流路23具有：第2側主流路部23M、第2側旁流流路部23B。
第2側三方閥門26在其第1端口與第2返回流路22的下游端連接，在其第2端口與第2側主流路部23M的上游端連接，在其第3端口與第2側旁流流路部23B的上游端連接。第2側三方閥門26將從第2返回流路22的熱媒介以可調整流量的方式供應至第2側主流路部23M與第2側旁流流路部23B。
第2冷卻部24將流通於第2側主流路部23M的熱媒介冷卻，在圖示之例中，其具有：使冷卻水流通的冷卻水供應路24A、供應從冷卻水供應路24A的冷卻水的冷卻部本體24B、使從冷卻部本體24B流出的冷卻水流通的冷卻水返回路24C。在第2冷卻部24中，藉由使流通於冷卻部本體24B的冷卻水與流通於第2側主流路部23M的熱媒介作熱交換，來將該熱媒介冷卻。也就是說，在圖示的例中，藉由冷卻部本體24B與第2側主流路部23M的一部分來構成熱交換器。
此外第2側主流路部23M的下游端連接至第2加熱部25，第2加熱部25接收從第2側主流路部23M 流出的熱媒介並加熱，再將其供應至第2供應流路21。在本實施形態中，上述第2側旁流流路部23B，連接至在第2側主流路部23M的第2冷卻部24所冷卻的位置的下游側，即與第2加熱部25的連接位置的上游側的位置連接。因此，第2加熱部25可以加熱藉由第2冷卻部24所冷卻的熱媒介及通過第2側旁流流路部23B的熱媒介所混合而成的熱媒介。
第2加熱部25具有：第2側熱媒介槽25A、收容於第2側熱媒介槽25A內的第2側加熱器25B。藉此第2加熱部25使流入第2側熱媒介槽25A的熱媒介與既儲留的熱媒介混合，藉由第2側加熱器25B來加熱。第2側熱媒介槽25A形成閉空間，其內部的熱媒介以其液面與第2側熱媒介槽25A的上壁部之間形成氣相的量，儲存於第2側熱媒介槽25A。
此外，在圖1中，符號27表示在第2供應流路21中使熱媒介流通的泵，符號28A表示檢出在比泵27還下游側流通於第2供應流路21的熱媒介的溫度的下游側溫度感測器，符號28B表示電連接至下游側溫度感測器28A並且電連接至第2加熱部25的第2側加熱器25B的加熱控制部。此外，符號28C表示檢出流經第2側主流路部23M與第2側旁流流路部23B的連接位置的熱媒介的溫度的上游側溫度感測器，符號28D表示電連接至上游側溫度感測器28C並且電連接至第2側三方閥門26的三方閥門控制部。此外，符號29A表示檢出在比下游側溫度感 測器28A還下游側流通於第2供應流路21的熱媒介的流量的流量感測器，符號29B表示電連接至流量感測器29A並且通過反相器電連接至泵27的流量控制部。
在第2調溫單元20中的熱媒介的流量及溫度的控制，因為與第1調溫單元10一樣，故省略說明。但是，在第2調溫單元20中，流通於第2供應流路21的熱媒介的溫度，被控制成與在第1調溫單元10中流通於第1供應流路11的熱媒介溫度相異的預定溫度(例如120度等)。
<閥門單元>
接著說明有關閥門單元31。圖2為閥門單元31的概略圖。如圖2所示，本實施形態中的閥門單元31具有：上述第1轉軸閥門100及第2轉軸閥門200、配置於該等第1轉軸閥門100及第2轉軸閥門200之間的隔熱構件400，其中，第1轉軸閥門100及第2轉軸閥門200係隔著隔熱構件400所形成的隔熱層400L連結。
第1轉軸閥門100具有：形成有轉軸孔110的第1閥門本體111、插入第1閥門本體111的轉軸孔110的第1轉軸112、設於第1閥門本體111中的第1轉軸112的在軸方向的2個端部的其中一端部且與第1轉軸112連結的第1比例電磁線圈113，其中，第1轉軸閥門100因應第1比例線圈113的驅動而進行流量調整。同樣地，第2轉軸閥門200具有：形成有轉軸孔210的第2閥 門本體211、插入第2閥門本體211的轉軸孔210的第2轉軸212、設於第2閥門本體211中的第2轉軸212的在軸方向的2個端部的其中一端部且與第2轉軸212連結的第2比例電磁線圈213，其中，第2轉軸閥門200因應第2比例線圈213的驅動而進行流量調整。詳言之，第1轉軸閥門100及第2轉軸閥門200以與第1轉軸112及第2轉軸212呈同軸的狀態配置；在位於與互相對向的第1比例電磁線圈113側的相反側的第1閥門本體111的端部以及位於與互相對向的第2比例電磁線圈213側的相反側的第2閥門本體211的端部之間，係配置隔熱構件400(也就是隔熱層400L)連結。
形成隔熱層400L的隔熱構件400，用以抑制從第1轉軸閥門100及第2轉軸閥門200中的一方到另一方的熱影響而設置。在本實施形態中，作為隔熱構件400，使用EPDM(乙烯-丙烯-二烯橡膠)製的獨立氣泡隔熱構件，而隔熱構件400自體形成隔熱層400L。在本實施形態中，隔熱構件400例如藉由黏接將第1轉軸閥門100及第2轉軸閥門200連結，但也可以使用別的器具，以隔熱構件400被夾於之間的狀態連結第1轉軸閥門100及第2轉軸閥門200。此外，隔熱構件400若是能抑制熱影響者，並不侷限於此。例如，作為隔熱構件400，內部具有作為隔熱層作用的空間，且也可以使用連結第1轉軸閥門100及第2轉軸閥門200的例如是箱狀的構件。此外，作為隔熱構件400，使用形成筒狀，並在其一端部固定第1 轉軸閥門100，在其另一個端部固定第2轉軸閥門200的構件也可以。隔熱構件400若是在形成這種筒狀的構件的情況下，筒狀的構件將第1轉軸閥門100及第2轉軸閥門200固定，以形成在第1轉軸閥門100及第2轉軸閥門200之間的隔熱層。此外，作為隔熱構件400，可以使用連續氣泡隔熱構件。但是，當隔熱構件400若是獨立氣泡隔熱構件時，液密性及氣密性變好，可以有效地抑制熱影響。
此外，上述第1比例電磁線圈113及第2比例電磁線圈213分別電連接至圖1所示的閥門控制部80。閥門控制部80藉由對第1比例電磁線圈113及第2比例電磁線圈213提供電流，來控制第1轉軸112及第2轉軸212的動作。也就是說，第1比例電磁線圈113及第2比例電磁線圈213分別因應從閥門控制部80提供的電流大小，調整第1轉軸112及第2轉軸212的位置。藉此，第1轉軸閥門100可以因應第1比例電磁線圈113的驅動進行流量調整，第2轉軸閥門200可以因應第2比例電磁線圈213的驅動進行流量調整。此外，第1比例電磁線圈113及第2比例電磁線圈213也可以因應所施加電壓的大小，調整其位置。
有關各轉軸閥門100、200將於以下詳述，但如圖2所示，本實施形態中的第1轉軸閥門100具有：上述第1返回用流出端口101、與第1供應流路11連接的第1供應用流入端口102、與合流流路40(第1流路部41) 連接的第1供應用流出端口103、與第1循環流路61連接的第1返回用流入端口104。各端口101~104分別從第1閥門本體111的外面向內部延伸，在轉軸孔110開口。
該第1轉軸閥門100藉由第1轉軸112的移動，將第1供應用流入端口102與第1供應用流出端口103之間的連接狀態，在全開及全閉之間的開度作調整，藉此調整從第1供應流路11向合流流路40流通的熱媒介的流量，並且藉由將第1返回用流入端口104與第1返回用流出端口101之間的連接狀態，在全開及全閉之間的開度作調整，藉此調整從第1循環流路61向第1返回用流出端口101流通並流出的熱媒介的流量。因此在本實施形態中的第1轉軸閥門100，隨著第1供應用流入端口102與第1供應用流出端口103之間的連接狀態的開度變大，第1返回用流入端口104與第1返回用流出端口101之間的連接狀態的開度也跟著變大。
關於此利用圖3A~圖3C作說明。圖3A表示第1供應用流入端口102與第1供應用流出端口103之間的連接狀態為全開，第1返回用流入端口104與第1返回用流出端口101之間的連接狀態為全開的狀態。圖3B表示第1供應用流入端口102與第1供應用流出端口103之間的連接狀態為全開與全閉之間的中間值，第1返回用流入端口104與第1返回用流出端口101之間的連接狀態為全開與全閉之間的中間值的狀態。圖3C表示第1供應用 流入端口102與第1供應用流出端口103之間的連接狀態為全閉，第1返回用流入端口104與第1返回用流出端口101之間的連接狀態為全開的狀態。隨著圖3A、圖3B及圖3C的順序移行，第1轉軸112從圖中左側到右側進出。如該等圖3A~圖3C所示，在本實施形態中，隨著第1供應用流入端口102與第1供應用流出端口103之間的連接狀態的開度變大，第1返回用流入端口104與第1返回用流出端口101之間的連接狀態的開度也跟著變大。此外在本實施形態中，當第1供應用流入端口102與第1供應用流出端口103之間的連接狀態的開度為全開時，第1返回用流入端口104與第1返回用流出端口101之間的連接狀態的開度也是全開；當第1供應用流入端口102與第1供應用流出端口103之間的連接狀態的開度為全閉時，第1返回用流入端口104與第1返回用流出端口101之間的連接狀態的開度也是全閉。
此外在本實施形態中的第1轉軸閥門100如圖3C所示，當第1供應用流入端口102與第1供應用流出端口103之間的連接狀態為全閉，且第1返回用流入端口104與第1返回用流出端口101之間的連接狀態為全閉時，第1供應用流入端口102與第1返回用流出端口101會呈以全開的狀態的連接狀態。因此，以圖3C、圖3B、圖3A的順序參照可以明白，第1供應用流入端口102與第1返回用流出端口101之間的連接狀態，隨著第1供應用流入端口102與第1供應用流出端口103之間的連接狀 態及第1返回用流入端口104與第1返回用流出端口101之間的連接狀態接近全開，而接近全閉；當以第1供應用流入端口102與第1供應用流出端口103之間的連接狀態為全開，且第1返回用流入端口104與第1返回用流出端口101之間的連接狀態為全開時，第1供應用流入端口102與第1返回用流出端口101之間的連接狀態則成為全閉(參照圖3A)。
另一方面，如圖2所示，第2轉軸閥門200具有：上述第2返回用流出端口201、與第2供應流路21連接的第2供應用流入端口202、與合流流路40(第2流路部42)連接的第2供應用流出端口203、與第2循環流路62連接的第2返回用流入端口204。各端口201~204分別從第2閥門本體211的外面向內部延伸，在轉軸孔210開口。
該第2轉軸閥門200也藉由第2轉軸212的移動，將第2供應用流入端口202與第2供應用流出端口203之間的連接狀態，在全開及全閉之間的開度作調整，藉此調整從第2供應流路21向合流流路40流通的熱媒介的流量，並且藉由將第2返回用流入端口204與第2返回用流出端口201之間的連接狀態，在全開及全閉之間的開度作調整，藉此調整從第2循環流路62向第2返回用流出端口201流通並流出的熱媒介的流量。因此在本實施形態中的第2轉軸閥門200，也隨著第2供應用流入端口202與第2供應用流出端口203之間的連接狀態的開度變 大，第2返回用流入端口204與第2返回用流出端口201之間的連接狀態的開度也跟著變大。
也就是說，圖3A表示第2供應用流入端口202與第2供應用流出端口203之間的連接狀態為全閉，第2返回用流入端口204與第2返回用流出端口201之間的連接狀態為全開的狀態。圖3B表示第2供應用流入端口202與第2供應用流出端口203之間的連接狀態為全開與全閉之間的中間值，第2返回用流入端口204與第2返回用流出端口201之間的連接狀態為全開與全閉之間的中間值的狀態。圖3C表示第2供應用流入端口202與第2供應用流出端口203之間的連接狀態為全開，第2返回用流入端口204與第2返回用流出端口201之間的連接狀態為全開的狀態。隨著圖3A、圖3B及圖3C的順序移行，第2轉軸212從圖中左側後退到右側。如該等圖3A~圖3C所示，在本實施形態中，隨著第2供應用流入端口202與第2供應用流出端口203之間的連接狀態的開度變大，第2返回用流入端口204與第2返回用流出端口201之間的連接狀態的開度也跟著變大。此外在本實施形態中，當第2供應用流入端口202與第2供應用流出端口203之間的連接狀態的開度為全開時，第2返回用流入端口204與第2返回用流出端口201之間的連接狀態的開度也是全開；當第2供應用流入端口202與第2供應用流出端口203之間的連接狀態的開度為全閉時，第2返回用流入端口204與第2返回用流出端口201之間的連接狀態的開度 也是全閉。
此外在本實施形態中的第2轉軸閥門200也如圖3A所示，當第2供應用流入端口202與第2供應用流出端口203之間的連接狀態為全閉，且第2返回用流入端口204與第2返回用流出端口201之間的連接狀態為全閉時，第2供應用流入端口202與第2返回用流出端口201會呈以全開的狀態的連接狀態。因此，以圖3A、圖3B、圖3C的順序參照可以明白，第2供應用流入端口202與第2返回用流出端口201之間的連接狀態，隨著第2供應用流入端口202與第2供應用流出端口203之間的連接狀態及第2返回用流入端口204與第2返回用流出端口201之間的連接狀態接近全開，而接近全閉；當以第2供應用流入端口202與第2供應用流出端口203之間的連接狀態為全開，且第2返回用流入端口204與第2返回用流出端口201之間的連接狀態為全開時，第2供應用流入端口202與第2返回用流出端口201之間的連接狀態則成為全閉(參照圖3C)。
此外在本實施形態中，例如圖3A所示，當第1供應用流入端口102與第1供應用流出端口103之間的連接狀態為全開，第1返回用流入端口104與第1返回用流出端口101之間的連接狀態也為全開時，第2供應用流入端口202與第2供應用流出端口203之間的連接狀態為全閉，第2返回用流入端口204與第2返回用流出端口201之間的連接狀態為全閉。另一方面，如圖3C所示， 當第1供應用流入端口102與第1供應用流出端口103之間的連接狀態為全閉，第1返回用流入端口104與第1返回用流出端口101之間的連接狀態也為全閉時，第2供應用流入端口202與第2供應用流出端口203之間的連接狀態為全開，第2返回用流入端口204與第2返回用流出端口201之間的連接狀態為全開。接著第1轉軸閥門100及第2轉軸閥門200成為相互同一的構造(各構成要素的尺寸等為同一)。
藉此，本實施形態中，從閥門單元31供應至合流流路40的熱媒介的流量基本上為一定，使在溫度調整部50的溫度控制的安定性提升。為了將此實現，上述閥門控制部80在當將第1轉軸閥門100的第1供應用流入端口102與第1供應用流出端口103之間的連接狀態的開度控制成0%~100%之間的A%時，也將第2轉軸閥門200的第2供應用流入端口202與第2供應用流出端口203之間的連接狀態的開度控制成(100-A%)。根據這樣的控制，能使從閥門單元31供應至合流流路40的熱媒介的流量基本上維持一定，並使在溫度調整部50的溫度控制的安定性提升。此外，該控制因為能夠相對第1轉軸閥門100的控制將第2轉軸閥門200作反轉同步控制來實施，故能以簡單的操作，使得在溫度調整部50的溫度控制的安定性提升。
此外，閥門控制部80也能如同上述那樣相對第1轉軸閥門100的控制，將第2轉軸閥門200作反轉同 步控制，但也可以分別控制第1轉軸閥門100及第2轉軸閥門200。
關於以上說明的本實施形態的溫度控制裝置1中，藉由第1調溫單元10控制成預定的溫度並流通於第1供應流路11的熱媒介、以及藉由第2調溫單元20控制成與第1供應流路11的熱媒介有相異溫度並流通於第2供應流路21的熱媒介，分別由閥門單元31來控制流量，能夠通過合流流路40流通至溫度調整部50。因此，可以將溫度調整部50的溫度控制成流通於第1供應流路11的熱媒介的溫度與流通於第2供應流路21的熱媒介的溫度之間的所期望溫度。此時，因為混合不同溫度的熱媒介來控制溫度調整部50的溫度，能夠將溫度調整部50的溫度迅速控制至所期望的溫度。此外，在閥門單元31中，因為藉由第1轉軸閥門100及第2轉軸閥門200的直線動作來進行熱媒介的流量控制，熱媒介被迅速地控制成所期望的流量，故能將溫度調整部50的溫度迅速地控制成所期望的溫度。藉此，例如，通過該溫度調整部50，可以將維持於電漿處理裝置的基板維持部的基板溫度迅速地控制至所期望的溫度。
因此在有關本實施形態溫度控制裝置1中，在閥門單元31中，藉由將第1轉軸閥門100及第2轉軸閥門200隔著隔熱層400L連結，使第1轉軸閥門100及第2轉軸閥門200單元化。藉此，雖在第1轉軸閥門100及第2轉軸閥門200需要連接複數流路並在該複數流路進 行流量控制，但能夠抑制溫度控制裝置1全體的煩雜化及大型化。特別是在本實施形態中，第1轉軸閥門100及第2轉軸閥門200以與第1轉軸112及第2轉軸212呈同軸的狀態配置，藉由在互相對向的第1閥門本體111的端部與第2閥門本體211的端部之間配置隔熱層400L連結，抑制了相對於轉軸的徑方向的突出，並能有效地抑制溫度控制裝置1全體的大型化。因此，藉由將第1轉軸閥門100及第2轉軸閥門200隔著隔熱層400L連結，因為能抑制從一方到另一方的熱影響，能夠抑制通過合流流路40流通至溫度調整部50的熱媒介的溫度產生未預期的偏差。
接著，即便是在複數流路需要藉由閥門進行控制的情況下，也能在抑制裝置全體的煩雜化及大型化的同時，將藉由溫度調整部50所控制的溫度控制對象區域，例如上述基板維持部及至基板等的溫度迅速且高精度地控制成所期望的溫度。特別是有複數溫度控制對象區域時，在各個複數區域連接有關本實施形態的溫度控制裝置1並進行溫度控制時，有關本實施形態的閥門單元31能夠極有益地抑制裝置全體的煩雜化及大型化。
此外有關本實施形態的溫度控制裝置1更具備：從溫度調整部50分歧延伸並流通從該溫度調整部50流出的熱媒介的第1循環流路61及第2循環流路62，而第1轉軸閥門100連接至第1循環流路61，第2轉軸閥門200連接至第2循環流路62。接著第1轉軸閥門100 具有使從第1循環流路61的熱媒介流出的第1返回用流出端口101，並與從第1供應流路11向合流流路40流通的熱媒介流量的調整作連動，而調整從第1循環流路61流通至第1返回用流出端口101並流出的熱媒介的流量，而第2轉軸閥門200也有同樣的構成。藉此，因為單元化的第1轉軸閥門100及第2轉軸閥門200也能進行從溫度調整部50返回的熱媒介的流量控制，能夠極有地抑制裝置全體的煩雜化及大型化。
此外，在本實施形態中，該第1轉軸閥門100藉由將第1供應用流入端口102與第1供應用流出端口103之間的連接狀態，在全開及全閉之間的開度作調整，而藉此調整從第1供應流路11向合流流路40流通的熱媒介的流量，並且藉由將第1返回用流入端口104與第1返回用流出端口101之間的連接狀態，在全開及全閉之間的開度作調整，而調整從第1循環流路61向第1返回用流出端口101流通並流出的熱媒介的流量。因此隨著第1供應用流入端口102與第1供應用流出端口103之間的連接狀態的開度變大，第1返回用流入端口104與第1返回用流出端口101之間的連接狀態的開度也跟著變大。
藉此，因應從第1供應流路11供應至溫度調整部50的熱媒介量，能使熱媒介從溫度調整部50返回至第1調溫單元10，能抑制在第1調溫單元10中的熱媒介的流量變化及壓力變動。藉此，可以以安定的狀態使第1調溫單元10運轉。在第2調溫單元20也一樣。其結果， 熱媒介的溫度安定，能夠使得藉由溫度調整部50所控制的溫度控制對象區域提升向所期望溫度的追隨響應性及控制精度。
此外，在本實施形態中，當第1供應用流入端口102與第1供應用流出端口103之間的連接狀態為全閉，且第1返回用流入端口104與第1返回用流出端口101之間的連接狀態為全閉時，第1供應用流入端口102與第1返回用流出端口101會呈以全開的狀態的連接狀態。因此第1供應用流入端口102與第1供應用流出端口101之間的連接狀態，會隨著第1供應用流入端口102與第1供應用流出端口103之間的連接狀態以及第1返回用流入端口104與第1返回用流出端口101之間的連接狀態接近全開，而接近全閉。因此第1供應用流入端口102與第1供應用流出端口103之間的連接狀態為全開，且第1返回用流入端口104與第1返回用流出端口101之間的連接狀態成為全開時，第1供應用流入端口102與第1返回用流出端口101之間的連接狀態為全閉。
藉此，即便變更第1供應用流入端口102與第1供應用流出端口103之間的連接狀態的開度以及第1返回用流入端口104與第1返回用流出端口101之間的連接狀態的開度時，也能夠將流通在各流路及第1轉軸閥門100內的熱媒介的壓力變動以安定的狀態抑制。藉此，可以以極安定的狀態使第1調溫單元10運轉。在第2調溫單元20也一樣。其結果，熱媒介的溫度安定，能夠有效 地使得藉由溫度調整部50所控制的溫度控制對象區域提升向所期望溫度的追隨響應性及控制精度。
(第2實施形態)
接著，利用圖4及圖5說明有關本發明的第2實施形態的溫度控制裝置2。圖4為關於本發明的第2實施形態之溫度控制裝置2的概略圖，圖5為具備溫度控制裝置2的閥門單元32的概略圖。此外，在本實施形態的構成部分中與第1實施形態同樣者，附加同一符號並省略說明。
如圖4所示，有關本實施形態的溫度控制裝置2更具備：與第1循環流路61及第2循環流路62一同從溫度調整部50分歧延伸，並流通從溫度調整部50流出的熱媒介的第3循環流路63。另一方面，閥門單元32具有連接至第3循環流路63的第3轉軸閥門300。
第3轉軸閥門300具有使從第3循環流路63的熱媒介流出的第3返回用流出端口301，以可調整流量的方式將從第3循環流路63向第3返回用流出端口301的熱媒介的流通及遮斷作切換。此外，第3轉軸閥門300也可以僅進行從第3循環流路63向第3返回用流出端口301的熱媒介的流通及遮斷的切換。此外，在本實施形態中，合流流路40更具有第3流路部45，第3返回用流出端口301通過第3流路部45連接至合流流路40的合流部本體43。
如圖5所示，第3轉軸閥門300具有：形成 有轉軸孔310的第3閥門本體311、插入第3閥門本體311的轉軸孔310的第3轉軸312、設於第3閥門本體311中的第3轉軸312的在軸方向的2個端部的其中一端部且與第3轉軸312連結的第3比例電磁線圈313。因此，位於與第3轉軸閥門300中的第3比例線圈313側的相反側的第3閥門本體311的端部，通過形成隔熱層的隔熱構件401連結至第1轉軸閥門100。第3轉軸312與第1轉軸112及第2轉軸212呈同軸配置。此外，第3轉軸閥門300也可以以無隔熱構件401的狀態連接至第1轉軸閥門100或第2轉軸閥門200。
在有關這種第2實施形態的溫度控制裝置2中，如圖5的「C」標記所示，能夠將從溫度調整部50流出的熱媒介藉由第3轉軸閥門300以可調整流量的方式返回溫度調整部50。藉此，例如在也可以未將溫度調整部50作精密控制的情況、或者溫度調整部50的溫度沒有大變動的情況等，不作從溫度調整部50流出的熱媒介的溫度控制而返回溫度調整部50，藉此能夠抑制為了進行在第1調溫單元10及第2調溫單元20的熱媒介的溫度控制所消耗的能量。
(第3實施形態)
接著，利用圖6說明有關本發明的第3實施形態的溫度控制裝置3。圖6為關於本發明的第3實施形態之溫度控制裝置3的概略圖。此外，在本實施形態的構成部分中 與第1實施形態同樣者，附加同一符號並省略說明。
如圖6所示，在有關本實施形態的溫度控制裝置3中，從第1調溫單元10的第1供應流路11的1條或複數(本例為1條)供應分歧流路11A分歧，從第1返回流路12的1條或複數(本例為1條)的返回分歧流路12A分歧。此外，從第2調溫單元20的第2供應流路21的1條或複數(本例為1條)供應分歧流路21A分歧，從第2返回流路22的1條或複數(本例為1條)的返回分歧流路22A分歧。因此，在第1返回流路12、返回分歧流路12A、供應分歧流路21A、及返回分歧流路22A，連接與閥門單元31同樣的閥門單元31’。
這種有關第3實施形態的溫度控制裝置3中，藉由複數閥門單元將從第1調溫單元10及第2調溫單元20的熱媒介作流量控制，能夠將複數溫度控制對象區域作溫度控制。
(第4實施形態)
接著，利用圖7說明有關本發明的第4實施形態的溫度控制裝置4。圖7為關於第4實施形態之溫度控制裝置4的概略圖，特別是表示第1調溫單元10及第2調溫單元20。在本實施形態中，第1調溫單元10及第2調溫單元20的構成與第1實施形態相異。此外，在本實施形態的構成部分中與第1實施形態同樣者，附加同一符號並省略說明。
如圖7所示，在關於本實施形態之溫度控制裝置4中，第1調溫單元10中的第1加熱部15的第1側熱媒介槽15A、與第2調溫單元20中的第2加熱部25的第2側熱媒介槽25A藉由第1連接配管71及第2連接配管72來連接。
第1連接配管71與第1側熱媒介槽15A的上部側及第2側熱媒介槽25A的上部側連接，將儲留熱媒介的第1側熱媒介槽15A及第2側熱媒介槽25A各自的氣層間以流體的方式連接設置。第2連接配管72與第1側熱媒介槽15A的下部側及第2側熱媒介槽25A的下部側連接，將第1側熱媒介槽15A及第2側熱媒介槽25A各自的熱媒介的液層間以流體的方式連接設置。
更詳言之，第1側熱媒介槽15A及第2側熱媒介槽25A各自設定儲留熱媒介時的基準液面高度，第1連接配管71與比第1側熱媒介槽15A的基準液面高度還上側的部分、及比第2側熱媒介槽25A的基準液面高度還上側的部分連接。另一方面，第2連接配管72與比第1側熱媒介槽15A的基準液面高度還下側的部分、及比第2側熱媒介槽25A的基準液面高度還下側的部分連接。
在這種有關第4實施形態的溫度控制裝置4中，因應壓力變動，容許第1側熱媒介槽15A與第2側熱媒介槽25A之間的氣層中的氣體及熱媒介的移動，將第1側熱媒介槽15A中的熱媒介的液面及第2側熱媒介槽25A中熱媒介的液面均一地保持。其結果，抑制第1調溫單元 10及第2調溫單元20的壓力變動，熱媒介的溫度安定，能夠有效地使得藉由溫度調整部50所控制的溫度控制對象區域提升向所期望溫度的追隨響應性及控制精度。
(第5實施形態)
接著，說明有關本發明的第5實施形態的溫度控制裝置。在上述的第1實施形態中，說明第1轉軸閥門100具有第1比例電磁線圈113、第2轉軸閥門200具有第2比例電磁線圈213的例子。相對於此，在本實施形態中，第1轉軸閥門100具有電磁線圈、第2轉軸閥門200具有電磁線圈。伴隨於此，第1轉軸閥門100及第2轉軸閥門200的動作態樣與第1實施形態相異。此外，本實施形態中的第1轉軸閥門100及第2轉軸閥門200的構成要素，除了線圈不同的點以外，與第1實施形態相同。接著，以下援用圖1及圖2，且利用同圖中的符號，說明本實施形態。
首先，在本實施形態中所用的第1轉軸閥門100及第2轉軸閥門200各自的電磁線圈為通常的線圈，係因應該激磁及非激磁的狀態來切換2個位置的電磁線圈。第1轉軸閥門100因應電磁線圈的位置，切換熱媒介的流通及遮斷。詳言之，第1轉軸閥門100，與從第1供應流路11向合流流路40的熱媒介的流通及遮斷的切換作連動，而切換從第1循環流路61向第1返回用流出端口101的熱媒介的流通及遮斷。
此外，第1轉軸閥門100如圖2所示，在使熱媒介從第1供應流路11向合流流路40流通時，使得熱媒介從第1循環流路61向第1返回用流出端口101流通，而且在遮斷從第1供應流路11向合流流路40的熱媒介時，遮斷從第1循環流路61向第1返回用流出端口101的熱媒介。再來，此第1轉軸閥門100遮斷第1供應用流入端口102與第1供應用流出端口103，而遮斷從第1供應流路11向合流流路40的熱媒介，且在遮斷第1返回用流入端口104與第1返回用流出端口101，而遮斷從第1循環流路61向第1返回用流出端口101的熱媒介時，使第1供應用流入端口102與第1返回用流出端口101之間呈連接狀態。此外，第2轉軸閥門200也與第1轉軸閥門100有同樣的構成。
因此，在本實施形態中，閥門控制部80以從第1供應流路11向合流流路40將熱媒介流通的狀態控制第1轉軸閥門100時，以遮斷從第2供應流路21向合流流路40的熱媒介的狀態控制第2轉軸閥門200；以從第2供應流路21向合流流路40將熱媒介流通的狀態控制第2轉軸閥門200時，以遮斷從第1供應流路11向合流流路40的熱媒介的狀態控制第1轉軸閥門。為了實施這種控制，在本實施形態中的閥門控制部80將第1轉軸閥門100的電磁線圈控制成激磁或非激磁的任一者時，將第2轉軸閥門200的電磁線圈控制成激磁或非激磁的另一者。
藉由這樣的第5實施形態，即便是在複數流 路需要藉由閥門進行控制的情況下，也能在抑制裝置全體的煩雜化及大型化的同時，將藉由溫度調整部50所控制的溫度控制對象區域的溫度迅速且高精度地控制成所期望的溫度。本實施形態因能夠將與溫度調整部50不同溫度的熱媒介即早作切換並供應，能夠在要求迅速切換溫度的情況下有期地使用。
以上，雖說明有關本發明的實施形態，但本發明不限於上述實施形態。例如，第1調溫單元10及第2調溫單元20不限於圖示之例，例如設置旁流流路部13B、23B等也無妨。此外，上述第4實施形態中的第1連接配管71及第2連接配管72適用於第2、第3或第5實施形態也可以。
1‧‧‧溫度控制裝置
10‧‧‧第1調溫單元
11‧‧‧第1供應流路
12‧‧‧第1返回流路
13‧‧‧第1中間流路
13B‧‧‧第1側旁流流路部
13M‧‧‧第1側主流路部
14‧‧‧第1冷卻部
14A‧‧‧冷卻水供應路
14B‧‧‧冷卻部本體
14C‧‧‧冷卻水返回路
15‧‧‧第1加熱部
15A‧‧‧第1側熱媒介槽
15B‧‧‧第1側加熱器
16‧‧‧第1側三方閥門
17‧‧‧泵
18A‧‧‧下游側溫度感測器
18B‧‧‧加熱控制部
18C‧‧‧上游側溫度感測器
18D‧‧‧三方閥門控制部
19A‧‧‧流量感測器
19B‧‧‧流量控制部
20‧‧‧第2調溫單元
21‧‧‧第2供應流路
22‧‧‧第2返回流路
23‧‧‧第2中間流路
23B‧‧‧第2側旁流流路部
23M‧‧‧第2側主流路部
24‧‧‧第2冷卻部
24A‧‧‧冷卻水供應路
24B‧‧‧冷卻部本體
24C‧‧‧冷卻水返回路
25‧‧‧第2加熱部
25A‧‧‧第2側熱媒介槽
25B‧‧‧第2側加熱器
26‧‧‧第2側三方閥門
27‧‧‧泵
28A‧‧‧下游側溫度感測器
28B‧‧‧加熱控制部
28C‧‧‧上游側溫度感測器
28D‧‧‧三方閥門控制部
29A‧‧‧流量感測器
29B‧‧‧流量控制部
31‧‧‧閥門單元
40‧‧‧合流流路
41‧‧‧第1流路部
42‧‧‧第2流路部
43‧‧‧合流部本體
50‧‧‧溫度調整部
61‧‧‧第1循環流路
62‧‧‧第2循環流路
80‧‧‧閥門控制部
100‧‧‧第1轉軸閥門
101‧‧‧第1返回用流出端口
200‧‧‧第2轉軸閥門
201‧‧‧第2返回用流出端口

Claims (17)

  1. 一種溫度控制裝置，具備：具有使熱媒介流通的第1供應流路的第1調溫單元、具有使溫度被控制成與流通於前述第1供應流路的熱媒介有相異溫度的熱媒介流通的第2供應流路的第2調溫單元、連接於前述第1供應流路及前述第2供應流路的閥門單元、連接於前述閥門單元，在流通於前述第1供應流路並從前述閥門單元流出的熱媒介以及流通於前述第2供應流路並從前述閥門單元流出的熱媒介中，至少使1者流通的合流流路、使從前述合流流路流出的熱媒介流通，並將預定的構件作溫度控制的溫度調整部；其中，前述閥門單元具有：切換從前述第1供應流路向前述合流流路的熱媒介的流通及遮斷之第1轉軸閥門、切換從前述第2供應流路向前述合流流路的熱媒介的流通及遮斷之第2轉軸閥門，前述第1轉軸閥門及前述第2轉軸閥門係隔著隔熱層連結；該溫度控制裝置，更具備：從前述溫度調整部分歧延伸，並流通從該溫度調整部流出的熱媒介的第1循環流路及第2循環流路；其中，前述第1轉軸閥門連接至前述第1循環流路，前述第2轉軸閥門連接至前述第2循環流路； 前述第1轉軸閥門具有使從前述第1循環流路的熱媒介流出的第1返回用流出端口，並與從前述第1供應流路向前述合流流路的熱媒介的流通及遮斷的切換作連動，而切換從前述第1循環流路向前述第1返回用流出端口的熱媒介的流通及遮斷；前述第2轉軸閥門具有使從前述第2循環流路的熱媒介流出的第2返回用流出端口，並與從前述第2供應流路向前述合流流路的熱媒介的流通及遮斷的切換作連動，而切換從前述第2循環流路向前述第2返回用流出端口的熱媒介的流通及遮斷。
  2. 如請求項1所記載的溫度控制裝置，其中，前述第1轉軸閥門在使熱媒介從前述第1供應流路向前述合流流路流通時，使得熱媒介從前述第1循環流路向前述第1返回用流出端口流通，而且在遮斷從前述第1供應流路向前述合流流路的熱媒介時，遮斷從前述第1循環流路向前述第1返回用流出端口的熱媒介；前述第2轉軸閥門在使熱媒介從前述第2供應流路向前述合流流路流通時，使得熱媒介從前述第2循環流路向前述第2返回用流出端口流通，而且在遮斷從前述第2供應流路向前述合流流路的熱媒介時，遮斷從前述第2循環流路向前述第2返回用流出端口的熱媒介。
  3. 如請求項2所記載的溫度控制裝置，其中，前述第1轉軸閥門更具有：與前述第1供應流路連接的第1供應用流入端口、與前述合流流路連接的第1供應用流出端 口、與前述第1循環流路連接的第1返回用流入端口；前述第1轉軸閥門在遮斷前述第1供應用流入端口與前述第1供應用流出端口，而遮斷從前述第1供應流路向前述合流流路的熱媒介，且遮斷前述第1返回用流入端口與前述第1返回用流出端口，而遮斷從前述第1循環流路向前述第1返回用流出端口的熱媒介時，使前述第1供應用流入端口與前述第1返回用流出端口之間呈連接狀態；前述第2轉軸閥門更具有：與前述第2供應流路連接的第2供應用流入端口、與前述合流流路連接的第2供應用流出端口、與前述第2循環流路連接的第2返回用流入端口；前述第2轉軸閥門在遮斷前述第2供應用流入端口與前述第2供應用流出端口，而遮斷從前述第2供應流路向前述合流流路的熱媒介，且遮斷前述第2返回用流入端口與前述第2返回用流出端口，而遮斷從前述第2循環流路向前述第2返回用流出端口的熱媒介時，使前述第2供應用流入端口與前述第2返回用流出端口之間呈連接狀態。
  4. 如請求項1至3中任1項所記載的溫度控制裝置，更具備：控制前述閥門單元中的前述第1轉軸閥門及前述第2轉軸閥門的動作的閥門控制部；前述閥門控制部以將熱媒介從前述第1供應流路向前述合流流路流通的狀態來控制前述第1轉軸閥門時，以遮斷從前述第2供應流路向前述合流流路的熱媒介的狀態來控制前述第2轉軸閥門，並以將熱媒介從前述第2供應流 路向前述合流流路流通的狀態來控制前述第2轉軸閥門時，以遮斷從前述第1供應流路向前述合流流路的熱媒介的狀態來控制前述第1轉軸閥門。
  5. 如請求項4所記載的溫度控制裝置，其中，各個前述第1轉軸閥門及前述第2轉軸閥門具有因應激磁及非激磁的狀態來切換2個位置的電磁線圈，且因應該電磁線圈的位置來切換熱媒介的流通及遮斷；前述閥門控制部將前述第1轉軸閥門的電磁線圈控制成激磁或非激磁的任一者時，將前述第2轉軸閥門的電磁線圈控制成激磁或非激磁的另一者。
  6. 如請求項1所記載的溫度控制裝置，其中，前述第1轉軸閥門以可調整從前述第1供應流路向前述合流流路流通的熱媒介的流量的方式，來切換從前述第1供應流路向前述合流流路的熱媒介的流通及遮斷；前述第2轉軸閥門以可調整從前述第2供應流路向前述合流流路流通的熱媒介的流量的方式，來切換從前述第2供應流路向前述合流流路的熱媒介的流通及遮斷；前述第1轉軸閥門更具有：與前述第1供應流路連接的第1供應用流入端口、與前述合流流路連接的第1供應用流出端口、與前述第1循環流路連接的第1返回用流入端口；前述第1轉軸閥門藉由將前述第1供應用流入端口與前述第1供應用流出端口之間的連接狀態在全開及全閉之間的開度作調整，調整從前述第1供應流路向前述合流流 路流通的熱媒介的流量，並且藉由將前述第1返回用流入端口與前述第1返回用流出端口之間的連接狀態在全開及全閉之間的開度作調整，調整從前述第1循環流路向前述第1返回用流出端口流通並流出的熱媒介的流量，且隨著前述第1供應用流入端口與前述第1供應用流出端口之間的連接狀態的開度變大，前述第1返回用流入端口與前述第1返回用流出端口之間的連接狀態的開度也跟著變大；前述第2轉軸閥門更具有：與前述第2供應流路連接的第2供應用流入端口、與前述合流流路連接的第2供應用流出端口、與前述第2循環流路連接的第2返回用流入端口；前述第2轉軸閥門藉由將前述第2供應用流入端口與前述第2供應用流出端口之間的連接狀態在全開及全閉之間的開度作調整，調整從前述第2供應流路向前述合流流路流通的熱媒介的流量，並且藉由將前述第2返回用流入端口與前述第2返回用流出端口之間的連接狀態在全開及全閉之間的開度作調整，調整從前述第2循環流路向前述第2返回用流出端口流通並流出的熱媒介的流量，且隨著前述第2供應用流入端口與前述第2供應用流出端口之間的連接狀態的開度變大，前述第2返回用流入端口與前述第2返回用流出端口之間的連接狀態的開度也跟著變大。
  7. 如請求項6所記載的溫度控制裝置，其中，前述第1轉軸閥門，在當前述第1供應用流入端口與前述第1供應用流出端口之間的連接狀態為全閉，且前述第1返回用 流入端口與前述第1返回用流出端口之間的連接狀態為全閉時，使前述第1供應用流入端口與前述第1返回用流出端口呈現全開的連接狀態；前述第1供應用流入端口與前述第1返回用流出端口之間的連接狀態，隨著前述第1供應用流入端口與前述第1供應用流出端口之間的連接狀態及前述第1返回用流入端口與前述第1返回用流出端口之間的連接狀態接近全開，而接近全閉，在當以前述第1供應用流入端口與前述第1供應用流出端口之間的連接狀態為全開，且前述第1返回用流入端口與前述第1返回用流出端口之間的連接狀態為全開時，則成為全閉；前述第2轉軸閥門，在當前述第2供應用流入端口與前述第2供應用流出端口之間的連接狀態為全閉，且前述第2返回用流入端口與前述第2返回用流出端口之間的連接狀態為全閉時，使前述第2供應用流入端口與前述第2返回用流出端口呈現全開的連接狀態；前述第2供應用流入端口與前述第2返回用流出端口之間的連接狀態，隨著前述第2供應用流入端口與前述第2供應用流出端口之間的連接狀態及前述第2返回用流入端口與前述第2返回用流出端口之間的連接狀態接近全開，而接近全閉，在當以前述第2供應用流入端口與前述第2供應用流出端口之間的連接狀態為全開，且前述第2返回用流入端口與前述第2返回用流出端口之間的連接狀態為全開時，則成為全閉。
  8. 如請求項6或7所記載的溫度控制裝置，更具備：控制前述閥門單元中的前述第1轉軸閥門及前述第2轉軸閥門的動作的閥門控制部；前述第1轉軸閥門及前述第2轉軸閥門係成為相互相同的構造；前述閥門控制部在當將前述第1轉軸閥門的前述第1供應用流入端口與前述第1供應用流出端口之間的連接狀態的開度控制成0%~100%之間的A%時，也將前述第2轉軸閥門的前述第2供應用流入端口與前述第2供應用流出端口之間的連接狀態的開度控制成(100-A%)。
  9. 如請求項8所記載的溫度控制裝置，其中，各個前述第1轉軸閥門及前述第2轉軸閥門具有比例線圈，並因應該比例線圈的驅動進行流量調整。
  10. 如請求項1所記載的溫度控制裝置，其中，前述第1調溫單元更具有：連接至前述第1返回用流出端口，並使從該第1返回用流出端口流出的熱媒介流通的第1返回流路、配置於前述第1返回流路與前述第1供應流路之間的第1中間流路、在從前述第1返回流路到前述第1供應流路的上游端的部分的任何位置，冷卻熱媒介的第1冷卻部、在從前述第1返回流路到前述第1供應流路的上游端的部分的比前述第1冷卻部的冷卻位置還下游側，加熱熱媒介的第1加熱部； 流通於前述第1供應流路的熱媒介藉由前述第1冷卻部及前述第1加熱部來作溫度控制。
  11. 如請求項10所記載的溫度控制裝置，其中，前述第1返回流路與前述第1中間流路藉由第1側三方閥門來連接；前述第1中間流路具有：第1側主流路部及第1側旁流流路部；前述第1側三方閥門在第1端口與前述第1返回流路的下游端連接，在第2端口與前述第1側主流路部的上游端連接，在第3端口與前述第1側旁流流路部的上游端連接；流通於前述第1側主流路部的熱媒介藉由前述第1冷卻部來冷卻；前述第1側主流路部的下游端連接至前述第1加熱部，前述第1加熱部接收從前述第1側主流路部流出的熱媒介並加熱；前述第1側旁流流路部，連接至在前述第1側主流路部的前述第1冷卻部所冷卻的位置的下游側，即與前述第1加熱部的連接位置的上游側的位置連接。
  12. 如請求項10或11所記載的溫度控制裝置，其中，前述第2調溫單元更具有：連接至前述第2返回用流出端口，並使從該第2返回用流出端口流出的熱媒介流通的第2返回流路、配置於前述第2返回流路與前述第2供應流路之間的 第2中間流路、在從前述第2返回流路到前述第2供應流路的上游端的部分的任何位置，冷卻熱媒介的第2冷卻部、在從前述第2返回流路到前述第2供應流路的上游端的部分的比前述第2冷卻部的冷卻位置還下游側，加熱熱媒介的第2加熱部；流通於前述第2供應流路的熱媒介藉由前述第2冷卻部及前述第2加熱部來作溫度控制。
  13. 如請求項12所記載的溫度控制裝置，其中，前述第2返回流路與前述第2中間流路藉由第2側三方閥門來連接；前述第2中間流路具有：第2側主流路部及第2側旁流流路部；前述第2側三方閥門在第1端口與前述第2返回流路的下游端連接，在第2端口與前述第2側主流路部的上游端連接，在第3端口與前述第2側旁流流路部的上游端連接；流通於前述第2側主流路部的熱媒介藉由前述第2冷卻部來冷卻；前述第2側主流路部的下游端連接至前述第2加熱部，前述第2加熱部接收從前述第2側主流路部流出的熱媒介並加熱；前述第2側旁流流路部，連接至在前述第2側主流路部的前述第2冷卻部所冷卻的位置的下游側，即與前述第 2加熱部的連接位置的上游側的位置連接。
  14. 如請求項1所記載的溫度控制裝置，更具備：與前述第1循環流路及前述第2循環流路一同從前述溫度調整部分歧延伸，並使從該溫度調整部流出的熱媒介流通的第3循環流路；前述閥門單元更具有連接至前述第3循環流路的第3轉軸閥門；前述第3轉軸閥門具有使從前述第3循環流路的熱媒介流出的第3返回用流出端口，並切換從前述第3循環流路向前述第3返回用流出端口的熱媒介的流通及遮斷；前述第3返回用流出端口連接至前述合流流路。
  15. 如請求項14所記載的溫度控制裝置，其中，前述第3轉軸閥門連接至前述第1轉軸閥門及前述第2轉軸閥門中的任一者。
  16. 一種溫度控制裝置，具備：具有使熱媒介流通的第1供應流路的第1調溫單元、具有使溫度被控制成與流通於前述第1供應流路的熱媒介有相異溫度的熱媒介流通的第2供應流路的第2調溫單元、連接於前述第1供應流路及前述第2供應流路的閥門單元、連接於前述閥門單元，在流通於前述第1供應流路並從前述閥門單元流出的熱媒介以及流通於前述第2供應流路並從前述閥門單元流出的熱媒介中，至少使1者流通的 合流流路、使從前述合流流路流出的熱媒介流通，並將預定的構件作溫度控制的溫度調整部；其中，前述閥門單元具有：切換從前述第1供應流路向前述合流流路的熱媒介的流通及遮斷之第1轉軸閥門、切換從前述第2供應流路向前述合流流路的熱媒介的流通及遮斷之第2轉軸閥門，前述第1轉軸閥門及前述第2轉軸閥門係隔著隔熱層連結；其中，前述第1轉軸閥門具有：形成有轉軸孔的第1閥門本體、插入前述第1閥門本體的轉軸孔的第1轉軸；前述第2轉軸閥門具有：形成有轉軸孔的第2閥門本體、插入前述第2閥門本體的轉軸孔的第2轉軸；前述第1轉軸閥門及前述第2轉軸閥門以與前述第1轉軸及前述第2轉軸呈同軸的狀態配置，在互相對向的前述第1閥門本體的端部與前述第2閥門本體的端部之間，配置前述隔熱層。
  17. 一種溫度控制裝置，具備：具有使熱媒介流通的第1供應流路的第1調溫單元、具有使溫度被控制成與流通於前述第1供應流路的熱媒介有相異溫度的熱媒介流通的第2供應流路的第2調溫單元、連接於前述第1供應流路及前述第2供應流路的閥門單元、連接於前述閥門單元，在流通於前述第1供應流路並 從前述閥門單元流出的熱媒介以及流通於前述第2供應流路並從前述閥門單元流出的熱媒介中，至少使1者流通的合流流路、使從前述合流流路流出的熱媒介流通，並將預定的構件作溫度控制的溫度調整部；其中，前述閥門單元具有：切換從前述第1供應流路向前述合流流路的熱媒介的流通及遮斷之第1轉軸閥門、切換從前述第2供應流路向前述合流流路的熱媒介的流通及遮斷之第2轉軸閥門；前述第1轉軸閥門及前述第2轉軸閥門更具備：互相連結，並從前述溫度調整部分歧延伸，且使從該溫度調整部流出的熱媒介流通的第1循環流路及第2循環流路；前述第1轉軸閥門連接至前述第1循環流路，前述第2轉軸閥門連接至前述第2循環流路；前述第1轉軸閥門具有使從前述第1循環流路的熱媒介流出的第1返回用流出端口，並與從前述第1供應流路向前述合流流路的熱媒介的流通及遮斷的切換作連動，而切換從前述第1循環流路向前述第1返回用流出端口的熱媒介的流通及遮斷；前述第2轉軸閥門具有使從前述第2循環流路的熱媒介流出的第2返回用流出端口，並與從前述第2供應流路向前述合流流路的熱媒介的流通及遮斷的切換作連動，而切換從前述第2循環流路向前述第2返回用流出端口的熱媒介的流通及遮斷。
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