TWI689734B

TWI689734B - 測試插座

Info

Publication number: TWI689734B
Application number: TW107133281A
Authority: TW
Inventors: 鄭永倍
Original assignee: 南韓商Ｉｓｃ股份有限公司
Priority date: 2017-09-25
Filing date: 2018-09-21
Publication date: 2020-04-01
Also published as: KR102039625B1; WO2019059629A1; KR20190034983A; TW201920974A

Abstract

本發明是關於一種測試插座，且更特定言之是關於一種包含以下的測試插座：外殼，具有經配置以將測試目標裝置及檢查設備彼此電性連接的測試連接器，以及經配置以容納測試目標裝置的容納空間，外殼具有敞開的上部部分；封蓋，經配置以打開及關閉外殼的敞開的上部部分；推進裝置，設置在封蓋上且經配置以朝向測試連接器推進置放於外殼中的測試目標裝置；空氣注入單元，經配置以將具有預定溫度的空氣或製冷劑注入至容納空間中，以用於調節容納空間的內部溫度；空氣排放單元，經配置以將注入至容納空間的空氣或製冷劑排放至容納空間的外部；以及密封構件，經配置以在外殼被封蓋關閉時從容納空間的外部密封容納空間。

Description

測試插座

本發明是關於一種測試插座，且更特定言之是關於一種經配置以快速調節測試空間的溫度以在高溫或低溫環境中執行電氣測試的測試插座。 [相關申請案的交叉參考] 本申請案主張2017年9月25日於韓國智慧財產局申請的韓國專利申請案第10-2017-0123654號的權益，所述申請案的揭露內容以全文引用的方式併入本文中。

大體而言，在製造半導體積體電路裝置的製程期間，在例如矽晶圓上形成多個積體電路，且隨後執行探針測試以檢查每個積體電路的基本電特性並找出有缺陷的積體電路。隨後，晶圓被切割成半導體晶片，且將半導體晶片置放於適當的封裝中。另外，封裝半導體積體電路裝置中的每一者在高溫或低溫環境中經電性測試，以檢查封裝半導體積體電路裝置的電特性並選擇具有潛在缺陷的半導體積體電路裝置。

在此測試製程期間，待測試的測試目標裝置未直接與檢測設備接觸，而是經由測試插座的測試連接器與檢查設備間接接觸。

另外，在將測試目標裝置置放於測試連接器的上表面上之後，推進裝置推進測試目標裝置的上表面以牢固地使測試目標裝置與測試連接器接觸，且隨後對測試目標裝置進行測試。

然而，先前技術的測試插座可能具有以下問題。

在先前技術中，藉由使用高溫或低溫空氣加熱或冷卻推進裝置的按壓表面以及允許按壓表面到測試目標裝置的熱傳遞來得到高溫或低溫環境。然而，此製程導致大量熱量損耗且需要較長時間週期來得到高溫或低溫環境。

此外，由於熱控制構件安裝在推進裝置中，先前技術的推進裝置的整體結構較複雜。

提供本發明以解決上文所描述的問題。具體而言，本發明的目標是提供一種經配置以藉由將具有預定溫度的空氣或製冷劑供應至容納空間而非推進裝置來快速地形成高溫或低溫環境的測試插座。

另外，本發明的目標是提供一種經配置以在密封狀態下使用具有預定溫度的空氣或製冷劑來調節容納測試目標裝置的容納空間的溫度以防止熱量損耗並快速地提供所需溫度條件的測試插座。

為了實現上述目標，本發明提供一種測試插座，包含：外殼，具有經配置以將測試目標裝置及檢驗設備彼此電性連接的測試連接器，以及經配置以容納測試目標裝置的容納空間，外殼具有敞開的上部部分；封蓋，經配置以打開及關閉外殼的敞開的上部部分；推進裝置，設置在封蓋上且經配置以朝向測試連接器推進置放於外殼中的測試目標裝置；空氣注入單元，經配置以將具有預定溫度的空氣或製冷劑注入至容納空間中，以用於調節容納空間的內部溫度；空氣排放單元，經配置以將注入至容納空間的空氣或製冷劑排放至容納空間的外部；以及密封構件，經配置以在外殼被封蓋關閉時從容納空間的外部密封容納空間。

在所述測試插座中，外殼可包含：本體部分，經配置以置放於檢查設備上且固定至所述檢查設備，所述本體部分包含將測試連接器置放於其中的中心孔；以及底座部件，可拆卸地固定至本體部分且包含擴孔，所述測試連接器的上表面經由擴孔暴露以與測試目標裝置接觸。

在所述測試插座中，密封構件可包含設置在底座部件與封蓋之間以密封容納空間的上部密封部分。

在所述測試插座中，密封構件可包含設置在底座部件與檢查設備之間以防止空氣或製冷劑從容納空間洩漏的下部密封部分，且所述下部密封部分可設置在測試連接器周圍以包圍所述測試連接器。

在所述測試插座中，空氣注入單元可包含：第一空氣注入單元，經配置以將高溫空氣注入至容納空間中；以及第二空氣注入單元，經配置以將低溫空氣或製冷劑注入至容納空間中。

在所述測試插座中，空氣注入單元可設置在外殼的橫向側面上。

在所述測試插座中，封蓋可鉸接在外殼上，且可經配置以由電致動構件自動打開及關閉。

為了實現上述目標，本發明提供一種測試插座，包含：外殼，具有經配置以將測試目標裝置及檢驗設備彼此電性連接的測試連接器，以及經配置以容納測試目標裝置的容納空間，外殼具有敞開的上部部分；封蓋，經配置以打開及關閉外殼的敞開的上部部分；空氣注入單元，經配置以將具有預定溫度的空氣或製冷劑注入至容納空間中，以用於調節容納空間的內部溫度；空氣排放單元，經配置以將注入至容納空間的空氣或製冷劑排放至容納空間的外部；以及密封構件，經配置以在外殼被封蓋關閉時從容納空間的外部密封容納空間，其中所述外殼包含：本體部分，經配置以固定至所述檢查設備，其中所述測試連接器置放於所述本體部分的中心區域中；以及底座部件，可拆卸地耦接至所述本體部分且包含處於對應於測試連接器的位置處的擴孔，其中所述密封構件包含設置在底座部件的上表面上的上部密封部分，以及設置在底座部件的下表面上的下部密封部分。

在所述測試插座，上部密封部分可經配置以與封蓋的下表面接觸，且下部密封部分可經配置以在包圍測試連接器時與檢查設備的上表面接觸。

在所述測試插座中，下部密封部分可防止空氣或製冷劑經由底座部件與檢驗設備之間的間隙洩漏。

在所述測試插座中，封蓋可鉸接在外殼上，且可經配置以手動打開及關閉。

在所述測試插座中，推進裝置可設置在外殼上以朝向檢查設備推進置放於外殼中的測試目標裝置。

根據本發明，測試插座經配置以將具有預定溫度的空氣或製冷劑供應至容納測試目標裝置的容納空間，藉此快速地獲得容納空間中的所需溫度條件。

另外，使用密封部件牢固地密封容納空間，藉此防止熱量損耗且快速地獲得所需溫度條件。

另外，由於額外部件未附接至推進裝置以進行溫度調節，因此推進裝置可具有簡單的整體結構。

在下文中，將參看隨附圖式詳細地描述根據本發明的實施例的測試插座。

根據本發明，測試插座10將測試目標裝置81的端子電性連接至檢查設備80的襯墊，以電性檢查測試目標裝置81。

測試插座10包含外殼20、封蓋30、推進裝置40、空氣注入單元50、空氣排放單元60以及密封構件70。

經配置以將測試目標裝置81電性連接至檢查設備80的測試連接器82以及經配置以容納測試目標裝置81的容納空間20a設置在外殼20中。外殼20具有敞開的上部部分。詳言之，外殼20形成在將測試連接器82容納於本體中時允許測試目標裝置81與測試連接器82接觸的本體。

外殼20包含本體部分21、底座部件22以及鉸鏈構件23。

本體部分21經配置以置放於檢查設備80上且固定至檢查設備80，且中心孔211形成於本體部分21中以將測試連接器82置放於中心孔211中。作為整體，本體部分21具有四邊形框架形狀。詳言之，測試連接器82置放於中心孔211中，且附接至檢查設備80。

底座部件22可拆卸地附接至本體部分21，且擴孔222形成於底座部件22中，以使得可暴露測試連接器82的上表面以與測試目標裝置81接觸。底座部件22具有小於本體部分21的四邊形框架形狀。

測試連接器82置放於底座部件22的擴孔222下方，以使得測試連接器82及測試目標裝置81可經由擴孔222彼此接觸。另外，分別與空氣注入單元50及空氣排放單元60連通的多個第一連通孔221形成於底座部件22的橫向側面中，以使得可經由第一連通孔221將高溫空氣、低溫空氣或製冷劑引入至容納空間20a中，且可經由第一連通孔221從容納空間20a排放空氣或製冷劑。

鉸鏈構件23面向形成第一連通孔221的底座部件22的橫向側面。鉸鏈構件23包含鉸鏈本體231及在鉸鏈本體231的長度方向上插入穿過鉸鏈本體231的鉸鏈銷232。封蓋30耦接至鉸鏈銷232的兩端，以使得可打開及關閉封蓋30。

第二連通孔2311形成於面向第一連通孔221的位置處的鉸鏈本體231中，且空氣注入單元50及空氣排放單元60插入穿過第二連通孔2311。

封蓋30經配置以關閉及打開外殼20的上部部分，且與外殼20一起形成容納空間20a。亦即，當用封蓋30關閉外殼20時，外殼20與封蓋30之間的內部空間變為容納空間20a。封蓋30以可旋轉方式耦接至鉸鏈銷232，以使得當將測試目標裝置81插入至容納空間20a或從容納空間20a取出測試目標裝置81時，打開封蓋30以打開外殼20的容納空間20a，且在測試目標裝置81置放於容納空間20a中以用於測試時，關閉封蓋30以關閉容納空間20a。穿孔31設置於封蓋30的中心區域中，以允許推進裝置40穿過穿孔31。

推進裝置40設置於封蓋30中，且經配置以朝向測試連接器82推進置放於外殼20中的測試目標裝置81。

推進裝置40包含推進本體41、活塞桿42、密封部分43以及按壓板44。推進本體41固定至封蓋30的上表面，且升高或降低活塞桿42。推進本體41藉由氣壓致動法或另一公認致動法來線性地移動活塞桿42。

由於活塞桿42被推進本體41升高或降低，因此由或未由按壓板44來推進測試目標裝置81的上表面。詳言之，活塞桿42的上部部分耦接至推進本體41的內側，活塞桿42的下部部分固定至按壓板44，且活塞桿42的中間部分穿過封蓋30的穿孔31。由於活塞桿42被推進本體41升高或降低，因此活塞桿42升高或降低按壓板44，藉此執行推進操作。

密封部分43安裝在活塞桿42周圍以密封活塞桿42與穿孔31之間的間隙，從而防止當活塞桿42穿過穿孔31時空氣從容納空間20a洩漏。

按壓板44耦接至活塞桿42的下部末端，且經配置以與活塞桿42一起升高或降低。按壓板44與測試目標裝置81的上表面接觸以用於推進測試目標裝置81。按壓板44置放在封蓋30的下部側上。

經由空氣注入單元50將具有預定溫度的空氣或製冷劑注入至容納空間20a中，以調節容納空間20a的溫度。空氣注入單元50插入至外殼20的橫向側面中，且與容納空間20a連通。具體而言，空氣注入單元50插入至設置在底座部件22的橫向側面中的第一連通孔221中，且與容納空間20a連通。替代向底座部件22增加新的結構，第一連通孔221僅形成於底座部件22中，且空氣注入單元50連接至第一連通孔221以僅調節容納空間20a的內部溫度。另外，儘管較佳地，空氣注入單元50設置於外殼20的橫向側面中，但必要時，空氣注入單元50可設置於外殼20的上表面或下表面中。

空氣注入單元50包含：第一空氣注入單元51，經配置以將高溫空氣注入至容納空間20a中；以及第二空氣注入單元52，經配置以將低溫空氣或製冷劑注入至容納空間20a中。在本文中，術語「製冷劑」是指空氣與可蒸發液體（諸如液氮）的混合物。

當意欲在容納空間20a中形成高溫環境時，經由第一空氣注入單元51將高溫空氣供應至容納空間20a，以快速地升高容納空間20a的內部溫度。

另外，當意欲在容納空間20a中形成低溫環境時，經由第二空氣注入單元52將低溫空氣或製冷劑供應至容納空間20a，以快速地降低容納空間20a的內部溫度。

詳言之，歸因於空氣注入單元50，可將容納空間20a的內部溫度調節至-40℃至150℃的範圍內，且可執行此溫度調節，精確度為1℃或小於1℃。

空氣排放單元60用於從容納空間20a排放空氣或製冷劑。亦即，在將空氣或製冷劑供應至容納空間20a且完成測試後，經由空氣排放單元60將空氣或製冷劑從容納空間20a排放至外部。

當封蓋30關閉外殼20時，密封構件70可從外部密封容納空間20a。亦即，需要密封以使用高溫空氣、低溫空氣或製冷劑來升高或降低容納空間20a的內部溫度，且為此目的，提供密封構件70來維持容納空間20a處於密封狀態。

密封構件70包含上部密封部分71及下部密封部分72。

上部密封部分71設置在底座部件22與封蓋30之間，以密封容納空間20a。具體而言，上部密封部分71牢固地密封底座部件22與封蓋30之間的接觸表面，以防止空氣或製冷劑從容納空間20a洩漏。上部密封部分71具有沿底座部件22的上表面邊緣延伸的大致四邊形框架形狀。上部密封部分71的下表面與底座部件22的上表面接觸，且上部密封部分71的上表面與封蓋30的下表面接觸，以使得容納空間20a可維持於密封狀態。

下部密封部分72設置在底座部件22與檢查設備80之間，以防止空氣或製冷劑從容納空間20a洩漏。下部密封部分72置放在測試連接器82周圍以包圍測試連接器82。當測試目標裝置81在插入測試連接器82的狀態下與測試連接器82接觸時，空氣可不可避免地經由測試目標裝置81與底座部件22的擴孔222之間的間隙洩漏至測試連接器82的周邊區域，且因此上部密封部分71在測試連接器82周圍置放在底座部件22與檢查設備80之間，所述測試目標裝置81與測試連接器82接觸。

在本發明中，附圖標號82及附圖標號90分別指代測試連接器及電致動構件。

測試連接器82包含導電部分及絕緣支撐部分。

導電部分是藉由在絕緣彈性材料中在絕緣彈性材料的厚度方向上佈置多個導電粒子而設置於對應於測試目標裝置81的端子的位置處。導電粒子具有磁性且密集地佈置在導電部分的厚度方向上。

較佳地，形成導電部分的絕緣彈性材料可為耐熱的交聯聚合材料（cross-linked polymeric material）。各種可固化的聚合物成型材料可用於獲得交聯聚合材料。此類固化聚合物成型材料的具體實例包含：聚矽氧橡膠（silicone rubber）；共軛二烯橡膠（conjugated diene rubbers），諸如聚丁二烯橡膠（polybutadiene rubber）、天然橡膠、聚異戊二烯橡膠（polyisoprene rubber）、苯乙烯-丁二烯共聚物橡膠（styrene-butadiene copolymer rubber）以及丙烯腈-丁二烯共聚物橡膠（acrylonitrile-butadiene copolymer rubber），及其氫化產物；嵌段共聚物橡膠（block copolymer rubbers），諸如苯乙烯-丁二烯-二烯嵌段共聚物橡膠（styrene-butadiene-diene block copolymer rubber）以及苯乙烯-異戊二烯嵌段共聚物橡膠（styrene-isoprene block copolymer rubber），及其氫化產物；氯丁二烯橡膠（chloroprene rubber）；胺基甲酸酯橡膠（urethane rubber）；聚酯橡膠；表氯醇橡膠（epichlorohydrin rubber）；乙烯-丙烯共聚物橡膠；乙烯-丙烯-二烯共聚物橡膠；以及軟液體環氧橡膠（soft liquid epoxy rubber）。

在所列材料當中，就成形性及電特性而言，較佳地使用聚矽氧橡膠。

另外，對於測試插座10用於對晶圓的積體電路執行探測測試或預燒測試的情況，加成固化液態矽氧烷橡膠的固化產物（在下文中稱為「矽氧烷橡膠固化產物」）可用作絕緣彈性材料，且在150℃測得的矽氧烷橡膠固化產物的壓縮永久變形（compression set）可較佳為30%或小於30%，更佳為20%或小於20%，且甚至更佳為10%或小於10%。若聚矽氧橡膠固化產物的壓縮永久變形大於30%，則在測試插座10在高溫條件下使用多次或重複使用之後，導電部分可能易於經歷永久變形。在此情況下，導電部分的導電粒子的佈置可能變形，從而可能難以維持所要導電性程度。

另外，在23℃下量測的聚矽氧橡膠固化產物的硬度計A硬度可較佳為10至80，更佳為15至80，且甚至更佳為20至80。若矽橡膠固化產物的硬度計A硬度小於10，則當按壓導電部分時，使導電部分彼此絕緣的絕緣支撐部分可能過度變形，從而可能難以將導電部分之間的絕緣維持在所要絕緣位準。另一方面，若聚矽氧橡膠固化產物的硬度計A硬度大於60，則可能必須將顯著較大的載荷施加於導電部分，以使導電部分變形至所要程度。在此情況下，例如可使測試目標物件變形或破損。

較佳地，測試插座10的導電部分中的導電粒子可具有磁特性，且在此情況下，可藉由將磁場施加於導電粒子而在成型材料中輕易地移動導電粒子。具有磁特性的導電粒子的實例可包含：磁性金屬（諸如鐵、鎳以及鈷）的粒子；金屬合金的粒子；含有所述金屬中的任一者的粒子；藉由製備此類粒子作為核心粒子且用諸如金、銀、鈀或銠的高導電金屬塗佈核心粒子所形成的粒子；藉由製備無磁性的金屬粒子、諸如玻璃珠的無機材料粒子或聚合物粒子作為核心粒子且用諸如鎳或鈷的導電磁性材料塗佈核心粒子或用導電磁性材料及高導電金屬塗佈核心粒子所形成的粒子。

較佳地，可藉由製備鎳粒子作為核心粒子及用高導電金屬（諸如金或銀）塗佈核心粒子來形成導電粒子。

用於使用導電金屬來塗佈核心粒子的構件不受限制。舉例而言，可使用無電式鍍覆。

在藉由使用導電金屬塗佈核心粒子以獲得高導電性來形成導電粒子的情況下，使用導電金屬塗佈核心粒子的比率（亦即，核心粒子的表面積與用導電金屬塗佈的面積的比率）可較佳為40%或大於40%，更佳45%或大於45%，且甚至更佳47%至90%。

另外，用於塗佈的導電金屬的量可較佳為核心粒子的2.5重量%（wt%）至50重量%，更佳為核心粒子的3重量%至30重量%，甚至更佳為核心粒子的3.5重量%至25重量%，且再更佳為核心粒子的4重量%至20重量%。若導電金屬為金，則用於塗佈的導電金屬的量可較佳為核心粒子的3重量%至30重量%，更佳為核心粒子的3.5重量%至25重量%，甚至更佳為核心粒子的4重量%至20重量%，且再更佳為核心粒子的4.5重量%至10重量%。另外，若導電金屬為銀，則用於塗佈的導電金屬的量可較佳為核心粒子的3重量%至30重量%，更佳為核心粒子的4重量%至25重量%，甚至更佳為核心粒子的5重量%至23重量%，且再更佳為核心粒子的6重量%至20重量%。

另外，導電粒子的直徑可較佳為1微米至500微米，更佳為2微米至400微米，甚至更佳為5微米至300微米，且再更佳為10微米至150微米。

當導電粒子滿足上述條件時，測試插座10可易於壓縮及變形，藉此保證測試插座10的導電部分的導電粒子之間的足夠電接觸。

另外，導電粒子的形狀不受特別限制。然而，導電粒子可較佳地具有易於分散於聚合物成型材料中的球形或星形形狀。

絕緣支撐部分佈置在導電部分之間以支撐導電部分，同時使導電部分彼此絕緣。絕緣支撐部分包含絕緣彈性材料，且導電粒子不或幾乎不包含於絕緣彈性材料中。較佳地，絕緣支撐部分可包含與用於形成導電部分的絕緣彈性材料相同的絕緣彈性材料。舉例而言，絕緣支撐部分可包含聚矽氧橡膠。然而，絕緣支撐部分不限於此。亦即，絕緣支撐部分可包含各種其他材料中的任一者。

電致動構件90用於自動打開及關閉鉸接至外殼20的封蓋30。電致動構件90包含馬達91及電力傳輸單元92，且封蓋30可在電力傳輸單元92將旋轉電力自馬達91傳輸至鉸鏈銷232時自動旋轉。亦即，當馬達91在一方向上旋轉時，封蓋30可交互式地打開外殼20的上部部分，且當馬達91在相反方向上旋轉時，封蓋30可交互式地關閉外殼20的上部部分。

本發明的測試插座10具有以下操作效果。

首先，如圖8中所繪示，當打開封蓋30時，從外部區域傳送的測試目標裝置81插入至底座部件22的擴孔222中。此時，測試目標裝置81的下表面與測試連接器82的上表面接觸。其後，旋轉封蓋30以關閉外殼20的上表面，且操作推進裝置40。此時，藉由降低推進裝置40的活塞桿42來使按壓板44的下表面與測試目標裝置81的上表面接觸，且隨後在進一步降低按壓板44時使測試目標裝置81牢固地與測試連接器82接觸。

其後，經由空氣注入單元50將高溫空氣、低溫空氣或製冷劑引入到容納空間20a中，以快速地在容納空間20a中形成具有所需溫度的環境以用於執行電氣測試。在如上文所描述在容納空間20a中形成高溫或低溫環境的狀態下，執行電氣測試。

另外，在電氣測試之後，經由空氣排放單元60從容納空間20a排放空氣或製冷劑，且接著操作推進裝置40以使按壓板44遠離測試目標裝置81。其後，旋轉封蓋30以打開外殼20的上部部分，且向外移動測試的測試目標裝置81。另外，若需要額外測試，則在傳送新的測試目標裝置81時重複上述操作。

本發明的測試插座10可藉由將高溫空氣、低溫空氣或製冷劑引入至容納空間20a中使測試時間降至最低，針對高溫或低溫環境的測試，測試目標裝置容納於所述容納空間20a中。在先前技術中，通過藉由加熱或冷卻推進裝置的按壓板及允許按壓板與測試目標裝置之間的熱傳遞的間接熱傳遞方法來執行測試。因此，先前技術的此技術導致熱量損耗及較長測試時間。然而，本發明解決了這些問題。

特定言之，與先前技術的測試插座相比，藉由減少轉換所需的時間或藉由將較少量的空氣或製冷劑饋入由耐熱、耐寒塑膠材料形成的外殼20中來達到所需溫度，本發明的測試插座10提高了能效且減少了測試轉換時間。

此外，根據本發明的測試插座10，將具有預定溫度的空氣或製冷劑引入至容納空間20a中，且密封構件70設置在底座部件22的上表面及下表面上，以防止空氣或製冷劑從容納空間20a洩漏，從而防止熱量損耗。因此，執行快速及可靠的電氣測試為可能的。

此外，就先前技術的測試插座而言，額外組件包含於推進裝置中以加熱推進裝置的按壓板，因此推進裝置具有複雜結構。然而，根據本發明，不完整地使用容納空間20a，且僅將用於引入空氣的簡單結構增加至外殼20的側面，以對測試目標裝置執行電氣測試。因此，本發明的測試插座10具有簡單的整體結構，從而可易於維護及維修。

本發明的測試插座10不限於以上描述。舉例而言，測試插座10可按如下修改。

首先，儘管在上述實施例中由電致動構件90自動旋轉封蓋30，但封蓋30不限於此.舉例而言，使用者可手動打開及關閉封蓋30。

另外，測試連接器82使用包含上述實施例中的聚矽氧橡膠的各向異性導電橡膠。然而，測試連接器82不限於此。舉例而言，測試連接器82可使用包含彈簧的彈簧式頂針以提供彈性。

另外，分別在上述實施例中的底座部件22的上表面及下表面上提供密封構件。然而，此實例是非限制性實例。舉例而言，額外密封構件可設置在待密封的其他部分上。

雖然已根據各種實施例描述本發明的測試插座10，但本發明不限於實施例，且可在不脫離本發明的精神及範疇的情況下在本文中作出形式及細節的各種變化。

10‧‧‧測試插座20‧‧‧外殼20a‧‧‧容納空間21‧‧‧本體部分22‧‧‧底座部件23‧‧‧鉸鏈構件30‧‧‧封蓋31‧‧‧穿孔40‧‧‧推進裝置41‧‧‧推進本體42‧‧‧活塞桿43‧‧‧密封部分44‧‧‧按壓板50‧‧‧空氣注入單元51‧‧‧第一空氣注入單元52‧‧‧第二空氣注入單元60‧‧‧空氣排放單元70‧‧‧密封構件71‧‧‧上部密封部分72‧‧‧下部密封部分80‧‧‧檢查設備81‧‧‧測試目標裝置82‧‧‧測試連接器90‧‧‧電致動構件91‧‧‧馬達92‧‧‧電力傳輸單元211‧‧‧中心孔221‧‧‧第一連通孔222‧‧‧擴孔231‧‧‧鉸鏈本體232‧‧‧鉸鏈銷2311‧‧‧第二連通孔VI-VI、VII-VII‧‧‧線

圖1是示出根據本發明的測試插座的分解透視圖。圖2是示出圖1中所繪示的測試插座的組合透視圖。圖3是示出圖1中所繪示的測試插座的平面視圖。圖4是示出圖1中所繪示的測試插座的側視圖。圖5是示出圖1中所繪示的測試插座的正視圖。圖6是沿圖3的線VI-VI截取的橫截面圖。圖7是沿圖3的線VII-VII截取的橫截面圖。圖8是示出當打開測試插座的封蓋時的圖2中所繪示的測試插座的視圖。

10‧‧‧測試插座

20‧‧‧外殼

21‧‧‧本體部分

22‧‧‧底座部件

23‧‧‧鉸鏈構件

30‧‧‧封蓋

31‧‧‧穿孔

40‧‧‧推進裝置

41‧‧‧推進本體

42‧‧‧活塞桿

43‧‧‧密封部分

44‧‧‧按壓板

50‧‧‧空氣注入單元

51‧‧‧第一空氣注入單元

52‧‧‧第二空氣注入單元

60‧‧‧空氣排放單元

70‧‧‧密封構件

71‧‧‧上部密封部分

72‧‧‧下部密封部分

80‧‧‧檢查設備

81‧‧‧測試目標裝置

82‧‧‧測試連接器

90‧‧‧電致動構件

91‧‧‧馬達

92‧‧‧電力傳輸單元

211‧‧‧中心孔

221‧‧‧第一連通孔

222‧‧‧擴孔

231‧‧‧鉸鏈本體

232‧‧‧鉸鏈銷

2311‧‧‧第二連通孔

Claims

一種測試插座，包括：外殼，具有經配置以將測試目標裝置及檢查設備彼此電性連接的測試連接器，以及經配置以容納所述測試目標裝置的容納空間，所述外殼具有敞開的上部部分；封蓋，經配置以打開及關閉所述外殼的所述敞開的上部部分；推進裝置，設置在所述封蓋上且經配置以朝向所述測試連接器推進所述測試目標裝置，其中所述測試目標裝置置放於所述外殼中；空氣注入單元，經配置以將具有預定溫度的空氣或製冷劑注入至所述容納空間中，以用於調節所述容納空間的內部溫度；空氣排放單元，經配置以將注入至所述容納空間的所述空氣或所述製冷劑排放至所述容納空間的外部；以及密封構件，經配置以在所述外殼被所述封蓋關閉時從所述容納空間的所述外部密封所述容納空間。
如申請專利範圍第1項所述的測試插座，其中所述外殼包括：本體部分，經配置以置放於所述檢查設備上且固定至所述檢查設備，所述本體部分包括將所述測試連接器置放於其中的中心孔；以及底座部件，可拆卸地固定至所述本體部分且包括擴孔，所述測試連接器的上表面經由所述擴孔暴露以與所述測試目標裝置接觸。
如申請專利範圍第2項所述的測試插座，其中所述密封構件包括設置在所述底座部件與所述封蓋之間以密封所述容納空間的上部密封部分。
如申請專利範圍第2項或第3項所述的測試插座，其中所述密封構件包括設置在所述底座部件與所述檢查設備之間以防止所述空氣或所述製冷劑從所述容納空間洩漏的下部密封部分，且所述下部密封部分設置在所述測試連接器周圍以包圍所述測試連接器。
如申請專利範圍第1項所述的測試插座，其中所述空氣注入單元包括：第一空氣注入單元，經配置以將高溫空氣注入至所述容納空間中；以及第二空氣注入單元，經配置以將低溫空氣或製冷劑注入至所述容納空間中。
如申請專利範圍第1項所述的測試插座，其中所述空氣注入單元設置在所述外殼的橫向側面上。
如申請專利範圍第1項所述的測試插座，其中所述封蓋鉸接在所述外殼上，且經配置以由電致動構件自動打開及關閉。
一種測試插座，包括：外殼，具有經配置以將測試目標裝置及檢查設備彼此電性連接的測試連接器，以及經配置以容納所述測試目標裝置的容納空間，所述外殼具有敞開的上部部分；封蓋，經配置以打開及關閉所述外殼的所述敞開的上部部分；空氣注入單元，經配置以將具有預定溫度的空氣或製冷劑注入至所述容納空間中，以用於調節所述容納空間的內部溫度；空氣排放單元，經配置以將注入至所述容納空間的所述空氣或所述製冷劑排放至所述容納空間的外部；以及密封構件，經配置以在所述外殼被所述封蓋關閉時，所述密封構件密封所述容納空間，其中所述外殼包括：本體部分，經配置以固定至所述檢查設備，其中所述測試連接器置放於所述本體部分的中心區域中；以及底座部件，可拆卸地耦接至所述本體部分且包括處於對應於所述測試連接器的位置處的擴孔，其中所述密封構件包括設置在所述底座部件的上表面上的上部密封部分，以及設置在所述底座部件的下表面上的下部密封部分。
如申請專利範圍第8項所述的測試插座，其中所述上部密封部分經配置以與所述封蓋的下表面接觸，以及所述下部密封部分經配置以在包圍所述測試連接器時與所述檢查設備的上表面接觸。
如申請專利範圍第9項所述的測試插座，其中所述下部密封部分防止所述空氣或所述製冷劑經由所述底座部件與所述檢查設備之間的間隙洩漏。
如申請專利範圍第8項所述的測試插座，其中所述封蓋鉸接在所述外殼上，且經配置以手動打開及關閉。
如申請專利範圍第8項所述的測試插座，其中推進裝置設置在所述外殼上以朝向所述檢查設備推進置放於所述外殼中的所述測試目標裝置。