CN111323739A - 传感器试验系统 - Google Patents

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Abstract

本发明的课题在于提供吞吐量优异的传感器试验系统。传感器试验系统(1)具备包含以能传递传感器(90)的方式相互连结的多个传感器试验装置(30A～30D)的试验装置组(20)，各个传感器试验装置(30A～30D)具备：施加组件(40)，其包含施加装置(42)，施加装置(42)包含电连接传感器(90)的插座(445)、以及对传感器(90)施加压力的压力腔室(43)；试验组件(35)，其经由插座(445)对传感器(90)进行试验；以及输送机器人(33)，其相对于施加组件(40)搬入搬出传感器(90)。

Description

传感器试验系统
技术领域
本发明涉及对传感器进行试验的传感器试验系统。
背景技术
在对磁阻效应元件施加磁场并使该磁阻效应元件冷却的同时评价该磁阻效应元件的评价装置是已知的(例如，参照专利文献1)。该评价装置具备在对磁阻效应元件进行载置的载置台的下方设置的珀耳帖元件，该珀耳帖元件经由载置台来冷却磁阻效应元件。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：JP特开平11-339232号公报
发明内容
(发明要解决的课题)
在上述评价装置中，在以多个条件对同一磁阻效应元件进行评价的情况下，每当改变温度条件时，需要重新设定载置台的温度，因此存在评价装置的吞吐量会显著下降的问题。
本发明要解决的课题在于，提供一种吞吐量优异的传感器试验系统。
(用于解决课题的技术方案)
[1]本发明所涉及的传感器试验系统是对检测第一物理量的传感器进行试验的传感器试验系统，所述传感器试验系统具备试验装置组，所述试验装置组包含以能传递所述传感器的方式相互连结的多个传感器试验装置，各个所述传感器试验装置具备：施加组件，其包含至少一个施加装置，所述施加装置包含电连接所述传感器的插座、以及对所述传感器施加所述第一物理量的第一施加部；试验组件，其经由所述插座对所述传感器进行试验；以及第一输送装置，其相对于所述施加组件搬入搬出所述传感器。
[2]在上述发明中，可以是，各个所述传感器试验装置具备对所述施加组件、所述试验组件以及所述第一输送装置进行收容的装置主体，所述装置主体具有：第一开口，通过所述第一开口，所述传感器被供给至所述传感器试验装置内的第一位置；以及第二开口，通过所述第二开口，所述传感器被从所述传感器试验装置内的第二位置排出，多个所述传感器试验装置包含彼此相邻的第一传感器试验装置以及第二传感器试验装置，所述第一传感器试验装置的所述第二开口与所述第二传感器试验装置的所述第一开口相互对置。
[3]在上述发明中，可以是，所述试验装置组包含第二输送装置，所述第二输送装置使从所述第一传感器试验装置的所述第二位置移动至所述第二传感器试验装置的所述第一位置，所述第二输送装置经由所述第一传感器试验装置的所述第二开口和所述第二传感器试验装置的所述第一开口，从所述第一传感器试验装置向所述第二传感器试验装置传递所述传感器。
[4]在上述发明中，可以是，各个所述传感器试验装置具备对所述施加组件、所述试验组件以及所述第一输送装置进行控制的控制组件，一个所述传感器试验装置的所述控制组件对其余的所述传感器试验装置的所述控制组件进行控制。
[5]在上述发明中，可以是，所述传感器试验系统具备：投入装置，其将未试验的所述传感器投入所述试验装置组；以及排出装置，其将试验完成的所述传感器从所述试验装置组排出。
[6]在上述发明中，所述第一施加部可以是对所述传感器施加压力的压力施加部。
[7]在上述发明中，所述第一施加部可以是对所述传感器施加2种压力的差压施加部。
[8]在上述发明中，所述第一施加部可以是对所述传感器施加磁场的磁场施加部。
[9]在上述发明中，可以是，所述施加装置包含对所述传感器施加与所述第一物理量不同的第二物理量的第二施加部，多个所述传感器试验装置包括对所述传感器施加第一值的所述第二物理量的传感器试验装置、以及对所述传感器施加与所述第一值不同的第二值的所述第二物理量的传感器试验装置。
[10]在上述发明中，可以是，所述第二施加部是对所述传感器施加热应力来对所述传感器的温度进行调整的温度调整部。
[11]在上述发明中，可以是，所述施加装置包含与所述传感器接触并将所述传感器压贴至所述插座的顶推件，所述温度调整部设置于所述顶推件。
(发明效果)
在本发明中，传感器试验系统具备多个传感器试验装置，该传感器试验装置彼此能传递传感器地相互连结。故而，能对同一传感器高效地进行多个条件的测试，因此能提高吞吐量优异的传感器试验系统。
附图说明
图1是示出本发明的实施方式中的传感器试验系统的立体图。
图2的(a)是示出作为本发明的实施方式中的传感器试验系统的试验对象的压力传感器的俯视图，图2的(b)是示出作为本发明的实施方式中的传感器试验系统的试验对象的压力传感器的变形例的俯视图。
图3是示出本发明的实施方式中的装载器的内部的布局的图，是沿着图1的III-III线的剖视图。
图4是示出本发明的实施方式中的卸载器的内部的布局的图，是沿着图1的IV-IV线的剖视图。
图5是示出本发明的实施方式中的测试单元的立体图。
图6是示出本发明的实施方式中的测试单元的内部的布局的图，是沿着图1的VI-VI线的剖视图。
图7是示出本发明的实施方式中的输送机器人的主视图。
图8是示出本发明的实施方式中的输送机器人的俯视图。
图9是示出本发明的实施方式中的施加组件的立体图。
图10是示出本发明的实施方式中的施加组件的图，是沿着图9的X-X线的剖视图。
图11是示出本发明的实施方式中的压力腔室的剖视图。
图12是示出本发明的实施方式中的压力腔室的基座部的俯视图，是图11的XII方向箭视图。
图13是示出本发明的实施方式中的测试单元的控制系统的框图。
图14是示出本发明的实施方式中的测试单元的基台的内部的透视图。
图15是本发明的实施方式中的温度调整组件的配管回路图。
图16的(a)～图16的(c)是示出本发明的实施方式中的施加组件的动作的剖视图(其1～3)。
图17的(a)～图17的(c)是示出本发明的实施方式中的施加组件的动作的剖视图(其4～6)。
图18是示出本发明的实施方式中的压力腔室的剖视图，是图17的(c)的XVIII部的放大图。
图19是示出本发明的实施方式中的传感器试验系统的控制系统的框图。
图20是示出本发明的实施方式中的施加装置的第一变形例的图，是差压传感器用的施加装置的剖视图。
图21是示出本发明的实施方式中的施加装置的第二变形例的图，是磁传感器用的施加装置的剖视图。
具体实施方式
以下，基于附图对本发明的实施方式进行说明。
图1是示出本实施方式中的传感器试验线的立体图，图2的(a)是示出作为本实施方式中的传感器试验系统的试验对象的压力传感器的俯视图，图2的(b)是示出作为本实施方式中的传感器试验系统的试验对象的压力传感器的变形例的俯视图。
如图1所示，本实施方式中的传感器试验系统1是具备试验装置组20的传感器试验线，该试验装置组20是将用于检查传感器90的多个(本例中为四个)测试单元30(30A～30D)连结而构成的。本实施方式中的测试单元30相当于本发明中的“传感器试验装置”的一例。另外，构成试验装置组20的测试单元30的数量并无特别限定，能够根据利用该传感器试验系统1进行的试验的种类的数量等来设定。
作为该传感器试验系统1的试验对象的传感器90是检测(测定)压力并输出与该检测结果(测定结果)相应的电信号的压力传感器。如图2的(a)所示，该传感器90是在布线板901上安装有单片化的传感器芯片(裸片)902的类型的传感器器件。设置在布线板901上的端子903与后述的施加组件40的插座445的触头接触。
另外，如图2的(b)所示，作为传感器试验系统1的试验对象的传感器90’也可以是由树脂材料将安装有传感器芯片902的布线板901进行封装并使引线905从该封装件904突出的类型的传感器器件。在此情况下，插座445的触头与引线905接触。
此外，传感器试验系统1的试验对象也可以是压力传感器以外的传感器。例如，也可以将差压传感器、磁传感器设为传感器试验系统1的试验对象。或者，还可以将检测压力、磁以外的物理量的传感器设为传感器试验系统1的试验对象。
各测试单元30是在将传感器90的温度调整至给定的温度、并且对传感器90施加了给定的压力的状态下，基于从该传感器90输出的电信号，来判定传感器90的良好与否等的装置。虽然并无特别限定，但是在该传感器试验系统1中，通过使传感器90经过多个测试单元30A～30D，从而能够针对一个传感器90执行多种(本例中为四种)试验。
此外，如图1所示，该传感器试验系统1具备：装载器10，其向试验装置组20投入未试验的传感器90；以及卸载器80，其将试验完成的传感器90从试验装置组20排出，能够自动地进行传感器90向试验装置组20的投入/排出。本实施方式中的装载器10相当于本发明中的“投入装置”的一例，本实施方式中的卸载器80相当于本发明中的“排出装置”的一例。
图3是示出本实施方式中的装载器的内部的布局的图，是沿着图1的III-III线的剖视图。
本实施方式中的装载器10是向试验装置组20投入未试验的传感器90的投入装置，与在试验装置组20中位于前端(图1中的左端)的测试单元30A连结。如图3所示，该装载器10具备移载装置11和移动装置12。在该装载器10中，移载装置11和移动装置12由控制组件15(参照图19)进行控制。
移载装置11是输送传感器90的拾放装置，具备：吸附头111，其能够吸附保持传感器90，并且能够在Z方向上升降；以及轨道112，其使该吸附头111在XY平面上移动。移动装置12具备：沿着X方向设置的轨道121、以及能够在该轨道121上往复移动的板件122。在板件122的上表面，形成有分别能够收容传感器90的凹状的多个收容部123。
移动装置12的一部分和移载装置11收容在装载器10的罩13内，在该罩13形成有两个开口13a、13b。移动装置12的其余部分经由一个开口13b向测试单元30A内延伸出。
经由另一个开口13a，向移载装置11的下方搬入托盘14。移载装置11从该托盘14拾取传感器90，并载置到位于装载器10内的板件122的收容部123。移动装置12使该板件122经由开口13b向测试单元30A内移动，向测试单元30A投入未试验的传感器90。
另外，装载器10的结构并不特别限定于上述结构。例如，也可以取代拾放装置，而使用多关节机器人臂作为移载装置11。或者，也可以使用送料器来取代移载装置11。也可以将多个托盘14以收容于箱盒的状态搬入到装载器10中。
图4是示出本实施方式中的卸载器的内部的布局的图，是沿着图1的IV-IV线的剖视图。
本实施方式中的卸载器80是从试验装置组20将试验完成的传感器90排出的排出装置，与试验装置组20中位于后端(图1中的右端)的测试单元30D连结。如图4所示，该卸载器80具备移动装置81和移载装置82。在该卸载器80中，移动装置81和移载装置82由控制组件85(参照图19)进行控制。
移动装置81是与上述的装载器10的移动装置12同样的装置，具备轨道811和板件812，在板件812的上表面形成有多个收容部813。移载装置82是与上述的装载器10的移载装置11同样的装置，是具备吸附头821和轨道822的拾放装置。
移动装置81的一部分和移载装置82收容在卸载器80的罩83内，在该罩83形成有两个开口83a、83b。移动装置81的其余部分经由一个开口83a向测试单元30D内延伸出。
移动装置81使板件812从测试单元30D向卸载器80内移动，从测试单元30D将试验完成的传感器90排出。然后，移载装置82从位于卸载器80内的板件812拾取传感器90，并载置到位于该移载装置82的下方的托盘84。此时，移载装置82也可以基于各个测试单元30中的测试结果，边对传感器90进行分类边载置到托盘84中。该托盘84从罩83的另一个开口83b被搬出到卸载器80之外。
另外，卸载器80的结构并不特别限定于上述结构。例如，也可以取代拾放装置，使用多关节机器人臂作为移载装置82。或者，也可以使用送料器来代替移载装置82。也可以将多个托盘34以收容于箱盒的状态从卸载器80搬出。
图5是示出本实施方式中的测试单元的立体图，图6是示出本实施方式中的测试单元的内部的布局的图，图7以及图8是示出本实施方式中的输送机器人的主视图以及俯视图。
本实施方式中的试验装置组20具备：多个测试单元30，分别执行传感器90的测试；以及移动装置70，在彼此相邻的测试单元30间进行传感器90的传递。
如图6所示，移动装置70是与上述装载器10的移动装置12同样的装置，具有轨道71和板件72，在板件72的上表面形成有多个收容部73。该移动装置70具备对板件72的移动动作进行控制的控制组件75(参照图19)。本实施方式中的移动装置70相当于本发明中的“第二输送装置”的一例。
如图5以及图6所示，各测试单元30具备：预热部31、多个(本例中为两个)施加组件40、除热部32、以及输送机器人33。测试单元30具备多个施加组件40，从而能够实现该测试单元30中的吞吐量的提高。
另外，测试单元30具有的施加组件40的数量并无特别限定，测试单元30也可以仅具有一个施加组件40，还可以具有三个以上的施加组件40。此外，测试单元30也可以不具备预热部31和除热部32。
该测试单元30具备：预热部31、施加组件40、除热部32、以及对输送机器人33进行收容的装置主体301。该装置主体301具有基台302和罩305。
基台302具有：框架303、和由该框架303支承的底板304。在该基台302，具有在俯视下向+Y方向凹陷的凹部302a，具有大致U字的平面形状。基台302具有由该凹部302a形成的开口302b，该开口302b朝向―Y方向开口。
罩305设置在基台302上，具有包含包括凹部302a在内的底板304的整个面的大致立方体形状。在该罩305的X方向的侧面306a、306b，分别形成有开口307a、307b。此外，在该罩305的－Y方向的侧面306c，形成有开口307c。该开口307c位于基台302的开口302b的上方，在Z方向上开口302b、307c实质上一致。本实施方式中的开口307a相当于本发明中的“第一开口”的一例，本实施方式中的开口307b相当于本发明中的“第二开口”的一例。
预热部31、施加组件40以及除热部32设置在基台302的底板304上，配置在装置主体301内。此外，输送机器人33也经由装置主体301的开口302b、307c进入到基台302的凹部302a内，配置在装置主体301内。该输送机器人33能够经由开口302b、307c，从装置主体301进出，测试单元30的维护性优异。
在此，试验装置组20中的前端(图1中的左端)的测试单元30A以装载器10的开口13b与该测试单元30A的开口307a相互对置的方式与装载器10连结。装载器10的移动装置12经由装载器10的开口13b和测试单元30A的开口307a进入该测试单元30A内。通过该移动装置12，传感器90被投入测试单元30A内。
另外，试验装置组20中的中间的测试单元30B以测试单元30A的开口307b与该测试单元30B的开口307a相互对置的方式与测试单元30A连结。而且，移动装置70的一部分位于测试单元30A的基座板304上，经由测试单元30A的开口307b和测试单元30B的开口307a，该移动装置70的剩余部分朝后端侧的测试单元30B延伸出来进入测试单元30B内。即，移动装置70架设于测试单元30A与测试单元30B之间，通过该移动装置70，在测试单元30A与测试单元30B之间传递传感器90。
另外，试验装置组20中的中间的测试单元30C以测试单元30B的开口307b与该测试单元30C的开口307a相互对置的方式与测试单元30B连结。而且，移动装置70的一部分位于测试单元30B的基座板304上，经由测试单元30B的开口307b和测试单元30C的开口307a，该移动装置70的剩余部分朝后端侧的测试单元30C延伸出来进入测试单元30C内。即，移动装置70架设于测试单元30B与测试单元30C之间，通过该移动装置70，在测试单元30B与测试单元30C之间传递传感器90。
另外，试验装置组20中的后端(图1中的右端)的测试单元30D以测试单元30C的开口307b与该测试单元30D的开口307a相互对置的方式与测试单元30C连结。而且，移动装置70的一部分位于测试单元30C的基座板304上，经由测试单元30C的开口307b和测试单元30D的开口307a，该移动装置70的剩余部分朝后端侧的测试单元30D延伸出来而进入测试单元30D内。即，移动装置70架设于测试单元30C与测试单元30D之间，通过该移动装置70，在测试单元30C与测试单元30D之间传递传感器90。
进而，该测试单元30D以该测试单元30D的开口307b与卸载器80的开口83a相互对置的方式与卸载器80连结。经由测试单元30D的开口307b和卸载器80的开口83a，从卸载器80突出的移动装置81进入该测试单元30D内。通过该移动装置81，从测试单元30D内排出传感器90。
关于测试单元30A，移动装置12中位于测试单元30A的底板304上的部分相当于本发明中的“第一位置”的一例。此外，移动装置70中位于测试单元30A的底板304上的部分相当于本发明中的“第二位置”的一例。
另外，关于测试单元30B，前端侧的移动装置70中位于测试单元30B的基座板304上的部分相当于本发明中的“第一位置”的一例。另外，后端侧的移动装置70中位于测试单元30B的基座板304上的部分相当于本发明中的“第二位置”的一例。
另外，关于测试单元30C，前端侧的移动装置70中位于测试单元30C的基座板304上的部分相当于本发明中的“第一位置”的一例。另外，后端侧的移动装置70中位于测试单元30C的基座板304上的部分相当于本发明中的“第二位置”的一例。
进而，关于测试单元30D，移动装置70中位于测试单元30D的底板304上的部分相当于本发明中的“第一位置”的一例。此外，移动装置81中位于测试单元30D的底板304上的部分相当于本发明中的“第二位置”的一例。
并且，在俯视下，移动装置12(移动装置70)、预热部31、施加组件40、除热部32和移动装置70(移动装置81)配置为大致U字状使得包围输送机器人33。
更具体而言，在进入到装置主体301内的移动装置12(移动装置70)与施加组件40之间配置有预热部31。此外，在施加组件40与进入到测试单元30内的移动装置70(移动装置81)之间配置有除热部42。前端侧的移动装置12(移动装置70)和后端侧的移动装置70(移动装置81)隔着基台302的凹部302a相互对置。同样地，预热部31和除热部32也隔着凹部302a相互对置。通过采用这样的大致U字状的布局，能够实现测试单元30的省空间化。
另外，装置主体301内的布局并不限定于大致U字状。例如，在装置主体301内，也可以将移动装置12(移动装置70)、预热部31、施加组件40、除热部32和移动装置70(移动装置81)配置为直线状。
预热部31具备板件311，该板件311具有分别能够收容传感器90的凹状的多个收容部312。该板件311连接有未特别图示的加热/冷却装置，能够预先使供给到施加组件40之前的传感器90的温度接近于给定的温度。由此，能够缩短在施加组件40内使传感器90的温度到达给定的温度为止的时间。
除热部32也具备具有分别能够收容传感器90的凹状的多个收容部322的板件321。该板件321连接有未特别图示的加热/冷却装置，能够使从施加组件40排出后的传感器90的温度接近于常温。由此，能够缩短施加组件40内的试验后的传感器90的除热时间，并且能够抑制试验后的传感器90上的结露的产生。
另外，预热部31的结构并不特别限定于上述结构。例如，也可以通过预热部31对未试验的传感器90喷吹热风或冷风，从而对该传感器90进行加热/冷却。同样地，除热部32的结构也不特别限定于上述结构。例如，也可以通过除热部32对试验完成的传感器90喷吹热风或冷风，从而对该传感器90进行加热/冷却。
如图7以及图8所示，输送机器人33是具有两个多关节臂332、336的双臂型的SCARA机器人(水平多关节机器人)。该输送机器人33将未试验的传感器90搬入到施加组件40，并且将试验完成的传感器90从施加组件40搬出。本实施方式中的输送机器人33相当于本发明中的“第一输送单元”的一例。
该输送机器人33具备：基座部331、第一多关节臂332和第二多关节臂336。第一以及第二多关节臂332、336由基座部331支承，均能够以第一旋转轴RA1为中心进行旋转。即，第一以及第二多关节臂332、336共用第一旋转轴RA1。
第一多关节臂332具备：第一臂333、第二臂334、以及第一吸附头335。第一臂333由基座部331支承，并如上所述，能够以第一旋转轴RA1为中心进行旋转。此外，第二臂334由第一臂333支承，能够以第二旋转轴RA2为中心进行旋转。进而，第一吸附头335由第二臂334支承，能够以第三旋转轴RA3为中心进行旋转。此外，该第一吸附头335以能够在Z方向上升降的方式保持于第二臂334，并且具有能够吸附保持传感器90的吸附盘。
第二多关节臂336也与第一多关节臂331同样地，具备：第三臂337、第四臂338和第二吸附头339。第二臂337由基座部331支承，并如上所述，能够以第一旋转轴RA1为中心进行旋转。此外，第四臂338由第三臂337支承，并能够以第四旋转轴RA4为中心进行旋转。进而，第二吸附头339由第四臂338支承，并能够以第五旋转轴RA5为中心进行旋转。此外，该第二吸附头339以能够在Z方向上升降的方式保持于第四臂338，并且具有能够吸附保持传感器90的吸附盘。
在本实施方式中，通过使用这样的双臂型的SCARA机器人作为输送机器人33，从而能够实现测试单元30的省空间化。另外，第一以及第二多关节臂331、336的结构(例如，自由度、各臂的长度)并不特别限定于上述结构。此外，第一多关节臂331的结构和第二多关节臂336的结构也可以相互不同。或者，也可以使用与双臂型的SCARA机器人不同类型的机器人作为输送机器人33。或者，也可以取代输送机器人33而使用拾放装置等其他的输送装置。
如图5以及图6所示，若从装载器10(前的测试单元30)通过移动装置12(移动装置70)将未试验的传感器90搬入到测试单元30内，则输送机器人33使该传感器90从移动装置12(移动装置70)移动到预热部31，进而，使该传感器90从预热部31移动到施加组件40。此外，如果在施加组件40处传感器90的试验结束，则输送机器人33使试验完成的传感器90从施加组件40移动到除热部32，进而，使该传感器90从除热部32移动到移动装置70(移动装置81)。该移动装置70(移动装置81)使该传感器90移动到后面的测试单元30(卸载器80)。
此时，在本实施方式中，输送机器人33的第一多关节臂332担负传感器90向施加组件40的供给。另一方面，第二多关节臂336担负传感器90从施加组件40的排出。
具体而言，第一多关节臂332担负从移动装置12(移动装置70)向预热部31的移动、以及从预热部31向施加组件40的移动。另一方面，第二多关节臂336担负从施加组件40向除热部32的移动、以及从除热部32向移动装置70(移动装置81)的移动。另外，第一多关节臂332对双方的施加组件40供给未试验的传感器90，第二多关节臂336从双方的施加组件40排出试验完成的传感器90。
图9以及图10是示出本实施方式中的施加组件的立体图以及剖视图，图11是示出本实施方式中的压力腔室的剖视图，图12是示出本实施方式中的压力腔室的基座部的俯视图。
如图9以及图10所示，施加组件40具备干燥腔室41和多个(本例中为四个)施加装置42。另外，在本实施方式中，各测试单元30具有的两个施加组件40具有相同的构造，但是并不特别限定于此。
在本实施方式中，在干燥腔室41内收容有四个施加装置42，一个施加装置42与一个传感器90对应。因此，在本实施方式的施加组件40中能够同时测试四个传感器90。另外，施加组件40具有的施加装置42的数量并不特别限定，能够根据测试单元20所需的吞吐量等任意地决定。
干燥腔室41具有：具有开口411a的箱状的壳体411；以及覆盖该开口411a的盖412。在该干燥腔室41内，填充有露点温度低的干燥空气，抑制了传感器90上的结露的产生。
在盖412形成有四个窗412a，使得与四个施加装置42分别对应。此外，在盖412设置有四个闸门413，使得与该四个窗412a对应。该闸门413通过致动器414能够在Y方向上往复移动，在传感器90相对于施加组件40的搬入搬出时，盖412的窗412a通过该闸门413而开闭。作为该致动器414的具体例，例如，能够例示气缸。
另外，施加组件的结构并不特别限定于上述结构。例如，施加组件也可以不具备干燥腔室。另外，在此情况下，也可以通过将多个施加装置42仅设置在一块支承板401上，来构成该施加组件。
各施加装置42是对由输送机器人33供给的传感器90施加热应力(heat stress)、并且对该传感器90施加压力的组件。该施加装置42具备压力腔室43和按压机构48。另外，在本实施方式中，各施加组件40具有的四个施加装置42具有相同的构造，但是并不特别限定于此。
如图11以及图12所示，压力腔室43具有基座部44和头部45。基座部44固定于壳体411的底面，使得与干燥腔室41的盖412的窗412a对置。在该基座部44的上表面，开口有圆形的凹部441，并且设置有O型圈442使得包围该凹部441的开口。此外，在基座部44的侧面，连接有配管444a。该配管444a与凹部441内连通，并且与压力调整组件36(后述)连接。
此外，在凹部441的内部的中央，设置有插座445。虽然并未特别图示，但是该插座445具有与传感器90的端子903接触的触头。作为这样的触头的具体例，例如，能够例示弹簧针、各向异导电性橡胶等。此外，在基座部44的侧面，连接有电缆446。插座445经由该电缆446，与试验组件35(后述)电连接。
此外，在该基座部44的内部，形成有散热器443。虽然并未特别图示，但是该散热器443具有形成于基座部44的内部的蛇腹状的流路、从基座部44的内壁突出的翅片等，能够与从温度调整组件37(后述)供给的冷媒/热媒高效地进行热交换。
该散热器443设置于插座445的正下方，能够经由该插座445，对传感器90进行加热/冷却。此外，在基座部44的侧面，连接有配管444b～444d。这些配管444b～444d与散热器443连通，并与温度调整组件37连接。
压力腔室43的头部45具有顶推件(pusher)46和保持板47。如图10所示，该头部45以能够通过致动器472(后述)在Y方向上往复移动的方式设置在干燥腔室41内，能够在基座部44的上方的位置(参照图17的(b))与从基座部44的上方退避的位置(参照图16的(a))之间往复移动。
如图11所示，顶推件46具有朝向下方突出的凸部461，该凸部461与传感器90接触，将该传感器90压贴于插座445。
在该顶推件46的内部，设置有散热器462。该散热器462与上述的基座部44的散热器443同样，具有形成于顶推件46的内部的蛇腹状的流路或从顶推件46内壁突出的翅片等，能够与从温度调整组件37供给的冷媒/热媒高效地进行热交换。
该散热器462还形成在凸部461的内部，能够对传感器90进行加热/冷却。此外，在头部45的侧面，连接有配管463a～463c。这些配管463a～463c与散热器462连通，并且与温度调整装置37连接。
另外，在本实施方式中，基座部44以及头部45这两者都具有散热器443、462，但是并不特别限定于此。例如，也可以基座部44或头部45的一方具有散热器，头部45或基座部44的另一方具有散热器以外的温度调整单元。作为散热器以外的温度调整单元的一例，例如，能够例示加热器、珀耳帖元件等。或者，也可以仅基座部44或头部45的任意一方具有温度调整单元，头部45或基座部44的另一方不具有温度调整单元。
在该顶推件46的上部，以能够旋转的方式安装有一对凸轮从动件464。该凸轮从动件464沿着按压机构48的凸轮槽482(后述)进行转动，由此顶推件46下降。
而且，该顶推件46插入于保持板47的开口471，并通过止动件465和螺旋弹簧466，可游动地保持于保持板47。止动件465插入于保持板47的贯通孔，并且固定于顶推件46。螺旋弹簧466以压缩的状态介于止动件465与保持板47之间，通过该螺旋弹簧466对顶推件46朝向上方施力。
如图10所示，在保持板47，连接有固定于干燥腔室41的致动器472。通过该致动器472，从而头部45能够在Y方向上往复移动。作为该致动器472的具体例，例如，能够例示气缸。
按压机构48设置在干燥腔室41内，使得隔着基座部44与头部45对置。该按压机构48具有凸轮板481和致动器484。
在凸轮板481，形成有供顶推件46的凸轮从动件464插入的凸轮槽482。通过凸轮从动件464沿着该凸轮槽482的倾斜面483转动，从而顶推件46相对于保持板47相对下降。
此外，在该凸轮板481，连接有固定于干燥腔室41的致动器484。通过该致动器484，从而凸轮板481能够在Y方向上往复移动。作为该致动器484的具体例，例如，能够例示气缸。
本实施方式中的压力腔室43相当于本发明中的“压力施加部”的一例，本实施方式中的形成于头部45的散热器462相当于本发明中的“温度调整部”的一例。
另外，施加装置的结构只要具有电连接传感器的插座、对传感器施加热应力的机构、以及对传感器施加压力的机构，则并不特别限定于上述结构。
此外，使顶推件46相对于插座445相对移动的移动机构的结构也并不特别限定于上述结构。例如，也可以取代致动器472以及按压机构48，使用滚珠丝杠和电动机来构成移动机构。或者，也可以使用拾放装置或具有多关节臂的机器人等作为移动机构。
图13是示出本实施方式中的测试单元的控制系统的框图，图14是示出本实施方式中的测试单元的基台的内部的透视图，图15是本实施方式中的温度调整组件的配管回路图。
如图13所示，各测试单元30具备：控制组件34、试验组件35、压力调整组件36、以及温度调整组件37。
如图14所示，控制组件34、试验组件35、压力调整组件36以及温度调整组件37保存在装置主体301的基台302的框架303中。在本实施方式中，从试验精度的提高的观点出发，试验组件35配置在施加组件40的正下方，但是并不特别限定于此。例如，也可以将压力调整组件36配置在施加组件40的正下方，或者，还可以将温度调整组件37配置在施加组件40的正下方。
控制组件34例如由计算机构成，统一进行测试单元30内的控制。具体而言，如图13所示，该控制组件34控制试验组件35、压力调整组件36以及温度调整组件37，并且还控制上述的输送机器人33、施加组件40具有的致动器472、484。
试验组件35例如具备计算机、试验用的电路基板等，与在施加组件40各自的压力腔室43内设置的插座445电连接。该试验组件35在由压力腔室43对传感器90施加给定的压力的状态下，供给传感器90的电力的同时取得从该传感器90输出的电信号，并基于该电信号来判定传感器90是良品或不良品中的哪一者。另外，也可以构成为，试验组件35基于从传感器90输出的电信号，取得相对于实际施加的压力值的传感器90的输出的特性。
压力调整组件36经由上述的配管444a与基座部44的凹部441连接。该压力调整组件36例如具备加压装置、减压装置以及压力控制器。加压装置通过向压力腔室43的密闭空间431(后述)内供给压缩空气，从而对该密闭空间431内的气氛进行加压。减压装置是对该密闭空间431内的气氛进行减压的装置，作为具体例，能够例示喷射器、真空泵。压力控制器设置于加压装置以及减压装置与密闭空间431之间，是调整基于加压装置的加压量、基于减压装置的减压量的装置，例如具备调节器。虽然并无特别限定，但是该压力调整组件36能够在-60kPa～800kPa的范围内对压力腔室43内的压力进行调整。
温度调整组件37是为了调整传感器90的温度，向施加组件40各自的压力腔室43具有的散热器443、462供给冷媒和热媒的组件。该温度调整组件37能够通过散热器443、462在－40℃～+150℃的范围内对传感器90的温度进行调整。如图15所示，该温度调整组件37具有：热交换器371、372、冷媒用容器373、热媒用容器374、泵375、流路376a～376c、以及阀门367a～367d。
热交换器371具有与冷媒用容器373连接的流路、和与散热器443、462连接的流路，通过该流路间的热交换使供给到散热器443、462的冷媒冷却。热交换器371和阀门377a、377c通过流路376a连接。
此外，热交换器372也具有与热媒用容器374连接的流路、和与散热器443、462连接的流路，通过该流路间的热交换使供给到散热器443、462的热媒加热。热交换器372和阀门377b、377d通过流路376b连接。
温度调整组件37通过阀门377a来调整冷媒的流量，并且通过阀门377b来调整热媒的流量。该流量调整后的冷媒和热媒经由配管444b、444c而供给到散热器443，在该散热器443内被混合。此时，通过阀门377a、377b来改变冷媒与热媒的混合比，由此能够调整散热器443内的混合液的温度。该散热器443内的混合液的热经由插座445而传热到传感器90，由此调整传感器90的温度。
同样地，该温度调整组件37通过阀门377c来调整冷媒的流量，并且通过阀门377d来调整热媒的流量。该流量调整后的冷媒和热媒经由配管463a、463b而供给到散热器462，在该散热器462内将冷媒和热媒进行混合。此时，通过阀门377c、377d来改变冷媒与热媒的混合比，由此能够调整散热器462内的混合液的温度。该散热器462内的混合液的热经由顶推件6的凸部461而传热到传感器90，由此调整传感器90的温度。
散热器443经由配管444d与流路376c连接。此外，散热器462也经由配管463c与流路376c连接。从散热器443、462排出的混合液经由流路376c而返回到热交换器371、372。泵375设置于该流路376c中，对混合液进行压送。
另外，在本实施方式中，由一台温度调整组件37向施加组件40的所有(合计8个)的散热器443、462供给冷媒和热媒，但是并不特别限定于此。例如，也可以构成为，在测试单元中设置四台温度调整组件，由一台温度调整组件向一个施加装置42的散热器443、462供给冷媒和热媒。或者，也可以构成为，在测试单元中设置两台温度调整组件，由一个温度调整组件向四个散热器443供给冷媒和热媒，并且由另一个温度调整组件向四个散热器462供给冷媒和热媒。
以下，参照图16的(a)～图18，对施加组件40的动作进行说明。图16的(a)～图17的(c)是示出本实施方式中的施加组件的动作的剖视图(其1～6)，图18是图17的(c)的XVIII部的放大图。
首先，使保持有未试验的传感器90的输送机器人33的第一吸附头335(第二吸附头339)移动到盖412的窗412a的上方，使干燥腔室41的闸门413移动而打开窗412a(参照图16的(a))。
接着，使输送机器人33的第一吸附头335(第二吸附头339)下降，将传感器90载置于设置在基座部44内的插座445(参照图16的(b))。另外，在该状态下，头部45从基座部44的上方退避。
接着，使输送机器人34的第一吸附头335(第二吸附头339)上升而从施加组件40退避(参照图16的(c))。接着，使干燥腔室41的闸门413移动而关闭窗412a(参照图17的(a))。
接着，通过驱动致动器472，使头部45移动到基座部44的上方(参照图17的(b))。接着，通过驱动按压机构48的致动器484，使凸轮板481朝向头部45移动(参照图17的(c))。由此，顶推件46的凸轮从动件464沿着凸轮板481的凸轮槽482进行转动，从而头部45的顶推件46下降。
并且，若顶推件46与基座部44接触，则如图18所示，在顶推件46与基座部44之间，形成包含凹部441的密闭空间431。在该状态下，传感器90被顶推件46的凸部461压贴于插座445，与该插座445电连接。
接着，执行传感器90的试验。具体而言，首先，通过从温度调整组件37向基座部44以及头部45的散热器443、462供给冷媒和热媒，从而将传感器90的温度调整为给定值。接着，通过利用压力调整组件36将密闭空间431内的气氛的压力调整为给定值，从而对传感器90施加给定值的压力。并且，在将传感器90的温度维持为给定的温度并且对传感器90施加了给定的压力的状态下，试验组件35经由插座445取得从传感器90输出的电信号并判定该传感器90的良好与否。
图19是示出本实施方式中的传感器试验系统的控制系统的框图。
试验装置组20所具有的测试单元30A～30D各自具有参照上述图13说明的控制系统。即，如图19所示，测试单元30A～30D各自具有控制组件34A～34D。另外，如上所述，装载器10以及卸载器80各自具有控制组件15、85，移动装置70也各自具有控制组件75。
在本实施方式中，在传感器试验系统1内将全部控制组件15、34A～34D、75、85以能通信的方式进行连接。而且，后端的测试单元30D的控制组件34D总括进行传感器试验系统1内的控制。具体而言，构成为：测试单元30D的控制组件34D对其余的控制组件15、34A～34C、75、85进行控制，该其余的控制组件15、34A～34C、75、85遵照测试单元30D的控制组件34D的指示进行动作。
即，在本实施方式中，测试单元30D的控制组件34D相当于“主机”，其他控制组件15、34A～34C、75、85相当于“从机”，采用了所谓的主从机方式。由此，在传感器试验系统中不需要对传感器试验系统内的控制进行总括的专用的控制装置，因此能实现该系统的低成本化。此外，对传感器试验系统1内的控制进行总括的主机的控制组件可以取代测试单元30D的控制组件34D而是测试单元30A～30C的控制组件34A～34C的任一个。
回到图1，在本实施方式的传感器试验系统1中，在传感器90从装载器10投入至测试单元组20时，在前端的测试单元30A执行第一测试。该第一测试例如是低温环境下的低压测试。在测试单元30A进行的试验完成时，由移动装置70将传感器90输送至下一个测试单元30B。
在测试单元30B执行第二测试。该第二测试是与第一测试不同条件的测试，例如是低温环境下的高压测试。在测试单元30B进行的试验完成时，由移动装置70将传感器90输送至下一个测试单元30C。
在测试单元30C执行第三测试。该第三测试是与第一以及第二测试不同条件的测试，例如是高温环境下的低压测试。虽未特别限定，但该第三测试是在与第一测试相比使传感器90的温度更高的状态下对该传感器90进行测试的试验。在测试单元30C进行的试验完成时，由移动装置70将传感器90输送至后端的测试单元30D。
在测试单元30D执行第四测试。该第四测试是与第一～第三测试不同条件的测试，例如是高温环境下的高压测试。虽未特别限定，但该第四测试是在与第二测试相比使传感器90的温度更高的状态下对该传感器90进行测试的试验。在测试单元30D进行的试验完成时，由卸载器80从测试单元组20进行排出。
如此，测试单元30A～30D依次实施传感器90的试验，从而能对1个传感器90执行多种(本例中为4种)测试。此外，第一～第四测试的内容不限于上述内容。
如上所述，在本实施方式中，传感器试验系统1具备多个传感器试验装置30A～30D，该传感器试验装置30A～30D彼此以能传递传感器90的方式相互连结。故而，能对同一传感器90高效地进行多个条件的测试，因此能提供吞吐量优异的传感器试验系统1。
另外，如上所述，传感器试验系统1的试验对象也可以是压力传感器以外的传感器，在此情况下，需要变更各个测试单元30的施加组件。例如，在传感器试验系统1的试验对象为差压传感器的情况下，使用具有图20所示的施加装置的施加组件。此外，在传感器试验系统1的试验对象为磁传感器的情况下，使用具有图21所示的施加装置的施加组件。
图20是示出本实施方式中的施加装置的第一变形例的图，是差压传感器用的施加装置的剖视图。
如图20所示，差压传感器91具有两个压力施加口911、912。该差压传感器91经由第一压力施加口911检测第一压力，并且经由第二压力施加口912检测第二压力。第一压力和第二压力为相互不同的压力值，该差压传感器91计算第一压力以及第二压力之差，并输出与该计算结果相应的电信号。
在传感器试验系统1的试验对象为差压传感器91的情况下，作为差压传感器用的施加组件，使用将施加装置42置换为图20所示的施加装置52的施加组件。另外，该施加组件除了施加装置42被置换为施加装置52这一点之外，具有与上述施加组件40相同的结构。
如图20所示，该差压传感器用的施加装置52具有：基座部54、头部55和按压机构(未图示)。另外，按压机构具有与上述的按压机构48相同的结构。
基座部54固定于该干燥腔室的壳体的底面，使得与干燥腔室的盖的窗对置。在该基座部54的上表面，设置有插座541。该插座541具有与上述的插座445相同的结构，并与试验组件35电连接。
此外，在该基座部54的内部，形成有散热器542。该散热器542具有与上述的散热器443相同的结构，并与温度调整组件37连接。该散热器542设置在插座541的正下方，能够经由该插座541对传感器91进行加热/冷却。
头部55具备：顶推件56、第一压力喷嘴57、第二压力喷嘴58和保持板(未图示)。另外，保持板具有与上述的保持板46相同的结构，通过止动件和螺旋弹簧可游动地保持顶推件56，并且通过致动器能够在Y方向上移动。
第一以及第二压力喷嘴57、58贯通顶推件56并在该顶推件56的前端露出。在第一压力喷嘴57的前端安装有O型圈571，在第二压力喷嘴58的前端也安装有O型圈581。第一压力喷嘴57与第一压力调整组件36A连接，第二压力喷嘴58与第二压力调整组件36B连接。另外，具备该差压传感器用的施加装置52的测试单元具备两个压力调整组件36A、36B来取代压力调整组件36，该第一以及第二压力调整组件36A、36B分别具有与上述的压力调整组件36相同的结构。从第一以及第二压力调整组件36A、36B供给相互不同的压力。
由于在顶推件56的前端面的中央部露出有第一以及第二压力喷嘴57、58，因此该顶推件56的前端面的外周部与传感器91接触。在该顶推件56的内部，设置有散热器561。该散热器561具有与上述的散热器462相同的结构，并与温度调整组件37连接。此外，虽未特别图示，但该顶推件56具备具有与上述凸轮从动件464相同的结构的凸轮从动件(未图示)。
使用了具备该施加装置52的施加组件的测试如下进行。即，将传感器91载置于插座541后，头部55水平移动到该传感器91的上方。接着，通过按压机构的水平移动而使头部55下降，从而由顶推件56将传感器91压贴于插座541，使传感器91与插座541电连接。此外，与此同时，第一压力喷嘴57与传感器91的第一压力施加口911连接，第二压力喷嘴58与传感器91的第二压力施加口912连接。
接着，执行传感器91的试验。具体而言，首先，通过从温度调整组件37向基座部54以及头部55的散热器542、561供给冷媒和热媒，从而将传感器91的温度调整为给定值。接着，通过第一压力调整组件36A，对传感器91的第一压力施加口911施加第一压力，并且通过第二压力调整组件36B，对传感器91的第二压力施加口912施加第二压力。并且，在维持传感器91的温度并且对传感器91施加有第一以及第二压力的状态下，试验组件35经由插座541执行传感器91的测试。
本实施方式中的第一以及第二压力喷嘴57、58相当于本发明中的“差压施加部”的一例，本实施方式中的散热器542、561相当于本发明中的“温度调整部”的一例。
图20是示出本实施方式中的施加装置的第二变形例的图，是磁传感器用的施加装置的剖视图。
磁传感器92检测施加于该磁传感器92的磁场的大小，并输出与该检测结果相应的电信号。磁传感器92的用途并无特别限定，例如为电流传感器。
在传感器试验系统1的试验对象为磁传感器92的情况下，作为磁传感器用的施加组件，使用将施加装置42置换为图21所示的施加装置62后的施加组件。另外，该施加组件除了施加装置42被置换为施加装置62这一点之外，具有与上述施加组件40相同的结构。
如图21所示，该磁传感器用的施加装置62具有：基座部64、头部65、一对电磁铁67以及按压机构(未图示)。另外，按压机构具有与上述按压机构48相同的结构。
基座部64固定于干燥腔室的壳体的底面，使得与干燥腔室的盖的窗对置。在该基座部64的上表面，设置有插座641。该插座641具有与上述插座445相同的结构，并与试验组件35电连接。
此外，在该基座部64的内部，形成有散热器642。该散热器642具有与上述散热器443相同的结构，并与温度调整组件37连接。该散热器642设置于插座641的正下方，能够经由该插座641对磁传感器92进行加热/冷却。
头部65具有：顶推件66、和保持该顶推件66的保持板(未图示)。另外，保持板具有与上述的保持板46相同的结构，通过止动件和螺旋弹簧可游动地保持顶推件66，并且通过致动器能够在Y方向上移动。
在顶推件66的内部，设置有散热器661。该散热器661具有与上述的散热器462相同的结构，并与温度调整组件37连接。此外，虽未特别图示，但该顶推件66具备具有与上述凸轮从动件464相同的结构的凸轮从动件(未图示)。
一对电磁铁67以夹着插座641上的传感器92的方式，相互对置配置。各个电磁铁67具有芯体671和线圈675。
芯体671是用于增强由线圈675产生的磁通量并使磁传感器92通过由该磁通量形成的闭环(磁路)的铁氧体(铁芯)。该芯体671具有：主体部672、第一突出部673、以及第二突出部674。主体部672是沿着插座641的主面的法线方向(Z方向)延伸的柱状的部分，在该主体部672卷绕有线圈675。第一突出部673从主体部672的上端朝向另一个电磁铁67的第一突出部673突出。与插座641连接的磁传感器92介于一对第一突出部673之间。第二突出部674也从主体部672的下端朝向另一个电磁铁67的第二突出部674突出，一对第二突出部674相互对置。
线圈675是卷绕于芯体671的主体部672的导线，与磁场调整组件38连接。另外，具备该磁传感器用的施加装置62的测试单元具备磁场调整组件38来取代压力调整组件36。若从该磁场调整组件38向线圈675流动电流则产生磁通量，该磁通量形成一个芯体671的主体部671、一个芯体671的第一突出部672、磁传感器92、另一个芯体671的第一突出部672、另一个芯体671的主体部671、另一个芯体671的第二突出部673、以及一个芯体671的第二突出部672那样的闭环。
使用了具备该施加装置62的施加组件的测试如下进行。即，将传感器92载置于插座641后，头部65移动到该传感器92的上方。接着，通过按压机构的水平移动而使头部65下降，从而由顶推件66将传感器92压贴于插座641，使传感器92与插座641电连接。此外，与此同时，传感器92位于相互对置的一对芯体671的第一突出部673之间。
接着，执行传感器92的试验。具体而言，首先，通过从温度调整组件37向基座部64以及头部65的散热器642、661供给冷媒和热媒，从而将传感器92的温度调整为给定值。接着，通过磁场调整组件38，对传感器92施加给定强度的磁场。并且，在维持传感器92的温度并且对传感器92施加有磁场的状态下，试验组件35经由插座641执行传感器92的测试。
本实施方式中的一对电磁铁67相当于本发明中的“磁场施加部”的一例，本实施方式中的散热器642、661相当于本发明中的“温度调整部”的一例。
另外，以上说明的实施方式是为了使本发明容易理解而记载的内容，并非为了限定本发明而记载的内容。因此，上述实施方式中公开的各要素意图包括属于本发明的技术范围的所有设计变更、均等物。
符号说明
1…传感器试验系统
10…装载器
15…控制组件
20…测试单元组
30、30A～30D…测试单元
301…装置主体
307a～307c…开口
40…施加组件
42…施加装置
43…压力腔室
44…基座部
443…散热器
445…插座
46…顶推件
462…散热器
52…施加装置
57…第一压力喷嘴
58…第二压力喷嘴
62…施加装置
67…电磁铁
33…输送机器人
34、34A～34D…控制组件
35…试验组件
36…压力调整组件
37…温度调整组件
38…磁场调整组件
70…移动装置
75…控制组件
80…卸载器
85…控制组件
90、90’…压力传感器
91…差压传感器
92…磁传感器。

Claims (11)

1.一种传感器试验系统，是对检测第一物理量的传感器进行试验的传感器试验系统，
所述传感器试验系统具备试验装置组，所述试验装置组包含以能传递所述传感器的方式相互连结的多个传感器试验装置，
各个所述传感器试验装置具备：
施加组件，其包含至少一个施加装置，所述施加装置包含电连接所述传感器的插座、以及对所述传感器施加所述第一物理量的第一施加部；
试验组件，其经由所述插座对所述传感器进行试验；以及
第一输送装置，其相对于所述施加组件搬入搬出所述传感器。
2.根据权利要求1所述的传感器试验系统，其中，
各个所述传感器试验装置具备对所述施加组件、所述试验组件以及所述第一输送装置进行收容的装置主体，
所述装置主体具有：
第一开口，通过所述第一开口，所述传感器被供给至所述传感器试验装置内的第一位置；以及
第二开口，通过所述第二开口，所述传感器被从所述传感器试验装置内的第二位置排出，
多个所述传感器试验装置包含彼此相邻的第一传感器试验装置以及第二传感器试验装置，
所述第一传感器试验装置的所述第二开口与所述第二传感器试验装置的所述第一开口相互对置。
3.根据权利要求2所述的传感器试验系统，其中，
所述试验装置组包含第二输送装置，所述第二输送装置使从所述第一传感器试验装置的所述第二位置移动至所述第二传感器试验装置的所述第一位置，
所述第二输送装置经由所述第一传感器试验装置的所述第二开口和所述第二传感器试验装置的所述第一开口，从所述第一传感器试验装置向所述第二传感器试验装置传递所述传感器。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的传感器试验系统，其中，
各个所述传感器试验装置具备对所述施加组件、所述试验组件以及所述第一输送装置进行控制的控制组件，
一个所述传感器试验装置的所述控制组件对其余的所述传感器试验装置的所述控制组件进行控制。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的传感器试验系统，其中，
所述传感器试验系统具备：
投入装置，其将未试验的所述传感器投入所述试验装置组；以及
排出装置，其将试验完成的所述传感器从所述试验装置组排出。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的传感器试验系统，其中，
所述第一施加部是对所述传感器施加压力的压力施加部。
7.根据权利要求1～5中任一项所述的传感器试验系统，其中，
所述第一施加部是对所述传感器施加2种压力的差压施加部。
8.根据权利要求1～5中任一项所述的传感器试验系统，其中，
所述第一施加部是对所述传感器施加磁场的磁场施加部。
9.根据权利要求1～8中任一项所述的传感器试验系统，其中，
所述施加装置包含对所述传感器施加与所述第一物理量不同的第二物理量的第二施加部，
多个所述传感器试验装置包括对所述传感器施加第一值的所述第二物理量的传感器试验装置、以及对所述传感器施加与所述第一值不同的第二值的所述第二物理量的传感器试验装置。
10.根据权利要求9所述的传感器试验系统，其中，
所述第二施加部是对所述传感器施加热应力来对所述传感器的温度进行调整的温度调整部。
11.根据权利要求10所述的传感器试验系统，其中，
所述施加装置包含与所述传感器接触并将所述传感器压贴至所述插座的顶推件，
所述温度调整部设置于所述顶推件。
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