DE102019124938A1

DE102019124938A1 - Sensortestsystem

Info

Publication number: DE102019124938A1
Application number: DE102019124938.4A
Authority: DE
Inventors: Kazunari Suga; Daisuke Takano; Satoshi Hanamura; Michiro Chiba; Hisao Nishizaki; Atsushi Hayakawa
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2018-12-14
Filing date: 2019-09-17
Publication date: 2020-06-18
Also published as: US11460520B2; JP2020094954A; CN111323739A; JP7240869B2; US20200191886A1

Abstract

Ein Sensortestsystem, das einen Sensor testet, der eine erste physikalische Größe detektiert, wobei das Sensortestsystem aufweist:eine Testgerätegruppe (20) mit einer Vielzahl von Sensortestgeräten (30A, 30B, 30C, 30D), die so aneinander gekoppelt sind, dass der Sensor durchgereicht werden kann,wobei jedes der Sensortestgeräte aufweist:eine Behandlungseinheit mit wenigstens einer Behandlungseinrichtung, die umfasst:einen Sockel, mit welchem der Sensor elektrisch verbunden wird, undeinen ersten Behandlungsteil, der den Sensor mit einer ersten physikalischen Größe beaufschlagt;eine Testeinheit, die den Sensor über den Sockel testet; undeine erste Transporteinrichtung, die den Sensor in die und aus der Behandlungseinheit transportiert.

Description

[TECHNISCHES GEBIET]
Die Erfindung betrifft ein Sensortestsystem, mit dem ein Sensor getestet wird.
[STAND DER TECHNIK]
Eine Evaluierungseinrichtung, mit der ein Element evaluiert wird, das einen magnetoresistiven Effekt aufweist, während ein Magnetfeld an dieses Element angelegt wird und das Element gekühlt wird, ist bekannt (siehe z. B. Patentdokument 1). Die Evaluierungsenrichtung weist ein Peltier-Element auf, das unter einem Auflagetisch angeordnet ist, auf welchen das Element, das den magnetoresistiven Effekt hat (im folgenden „magnetoresistives Element“) aufgelegt wird, und das Peltier-Element kühlt das magnetoresistive Element durch den Auflagetisch hindurch.
[ZITIERUNGEN]
[PATENTDOKUMENT]
Patentdokument 1: JP-A-11-339232
[KURZDARSTELLUNG DER ERFINDUNG]
[TECHNISCHES PROBLEM]
Wenn bei der oben beschriebenen Evaluierungseinrichtung eine Evaluierung für dasselbe magnetoresistive Element unter einer Vielzahl von Bedingungen durchgeführt wird, ist es notwendig, die Temperatur des Auflagetisches jedes Mal neu einzustellen, wenn die Temperaturbedingung geändert wird, und deshalb besteht das Problem, dass der Durchsatz der Evaluierungseinrichtung beträchtlich eingeschränkt wird.
Es ist eine Aufgabe der Erfindung, ein Sensortestsystem mit ausgezeichnetem Durchsatz zu schaffen.
[MITTEL ZUR LÖSUNG DES PROBLEMS]
[1] Ein Sensortestsystem gemäß der Erfindung ist ein Sensortestsystem, mit dem ein Sensor getestet wird, der eine erste physikalische Größe detektiert, wobei das Sensortestsystem eine Testgerätegruppe aufweist, die mehrere Sensortestgeräte hat, die aneinander gekoppelt sind, so dass der Sensor durchgereicht werden kann, und jedes der Sensortestgeräte umfasst: eine Behandlungseinheit mit wenigstens einer Behandlungseinrichtung, die einen Sockel aufweist, mit dem der Sensor elektrisch verbunden wird, einen ersten Behandlungsteil, der die erste physikalische Größe an den Sensor anlegt; eine Testeinheit, die den Sensor über den Sockel testet; und eine erste Transporteinrichtung, die den Sensor in die Behandlungseinheit hinein und aus dieser heraus transportiert.
[2] Gemäß der Erfindung kann jedes der Sensortestgeräte einen Gerätehauptkörper aufweisen, der die Behandlungseinheit, die Testeinheit und die erste Transporteinrichtung aufnimmt, der Gerätehauptkörper kann eine erste Öffnung, durch welche hindurch der Sensor in eine erste Position in dem Sensortestgerät zugeführt wird, und eine zweite Öffnung haben, durch welche der Sensor von einer zweiten Position in dem Sensortestgerät ausgetragen wird, die Sensortestgeräte können erste und zweite Sensortestgeräte umfassen, die einander benachbart sind, und die zweite Öffnung des ersten Sensortestgerätes und die erste Öffnung des zweiten Sensortestgerätes können einander zugewandt sein.
[3] Gemäß der Erfindung kann die Sensortestgerätegruppe eine zweite Transporteinrichtung aufweisen, die den Sensor von der zweiten Position des ersten Sensortestgerätes zu der ersten Position des zweiten Sensortestgerätes überführt, und die zweite Transporteinrichtung kann den Sensor durch die zweite Öffnung des ersten Sensortestgerätes und durch die erste Öffnung des zweiten Sensortestgerätes hindurch von dem ersten Sensortestgerät zu dem zweiten Sensortestgerät überführen.
[4] Gemäß der Erfindung kann jedes der Sensortestgeräte eine Steuereinheit aufweisen, die die Behandlungseinheit, die Testeinheit und die Transporteinrichtung steuert, und die Steuereinheit eines der Sensortestgeräte kann die Steuereinheiten der übrigen Sensortestgeräte steuern.
[5] Gemäß der Erfindung kann das Sensortestsystem eine Zufuhreinrichtung aufweisen, die den noch nicht getesteten Sensor zu der Testgerätegruppe zuführt, sowie eine Austrageinrichtung, die den getesteten Sensor aus der Testgerätegruppe austrägt.
[6] Gemäß der Erfindung kann der erste Behandlungsteil ein Druckanlegeteil sein, der einen Druck an den Sensor anlegt.
[7] Gemäß der Erfindung kann der erste Behandlungsteil ein Differenzdruck-Anlegeteil sein, der zwei Arten von Drücken an den Sensor anlegt.
[8] Gemäß der Erfindung kann der erste Behandlungsteil ein Magnetfeld-Anlegeteil sein, der ein Magnetfeld an den Sensor anlegt.
[9] Gemäß der Erfindung kann die Behandlungseinrichtung einen zweiten Behandlungsteil aufweisen, der eine von der ersten physikalischen Größe verschiedene zweite physikalische Größe an den Sensor anlegt, und die Sensortestgeräte können umfassen: ein Sensortestgerät, das die zweite physikalische Größe mit einem ersten Wert an den Sensor anlegt; ein Sensortestgerät, das die zweite physikalische Größe mit einem von dem ersten Wert verschiedenen zweiten Wert an den Sensor anlegt.
[10] Gemäß der Erfindung kann der zweite Behandlungsteil ein Temperatureinstellteil sein, der einen thermischen Stress auf den Sensor ausübt, um die Temperatur des Sensors einzustellen.
[11] Gemäß der Erfindung kann die Behandlungseinrichtung einen Stößel aufweisen, der den Sensor kontaktiert und den Sensor gegen den Sockel drückt, und der Temperatureinstellteil kann in dem Stößel angeordnet sein.
[EFFEKT DER ERFINDUNG]
Gemäß der Erfindung umfasst das Sensortestsystem eine Vielzahl von Sensortestgeräten, und die Sensortestgeräte sind so aneinander gekoppelt, dass der Sensor weitergereicht werden kann. Deshalb ist es möglich, denselben Sensor effizient unter einer Vielzahl von Bedingungen zu testen, und es ist deshalb möglich, ein Sensortestsystem mit hervorragendem Durchsatz zu schaffen.
Figurenliste

1 ist eine perspektivische Darstellung eines Sensortestsystems in einer Ausführungsform der Erfindung.
2(a) ist ein Grundriss und zeigt einen Drucksensor, der das Testobjekt des Sensortestsystems in der Ausführungsform der Erfindung ist, und 2(b) ist ein Grundriss und zeigt eine Modifikation des Drucksensors, der das Testobjekt des Sensortestsystems in der Ausführungsform der Erfindung ist.
3 ist ein Diagramm, dass das innere Layout einer Ladestation in einer Ausführungsform der Erfindung zeigt, und ist eine Querschnittsdarstellung entlang der Linie III - III in 1.
4 ist ein Diagramm, das das innere Layout einer Entladestation in der Ausführungsform der Erfindung zeigt und ist eine Querschnittsdarstellung entlang der Linie IV - IV in 1.
5 ist eine perspektivische Ansicht und zeigt eine Testzelle in einer Ausführungsform der Erfindung.
6 ist ein Diagramm und zeigt das innere Layout einer Testzelle in einer Ausführungsform der Erfindung und ist eine Querschnittsdarstellung entlang der Linie VI - VI in 1.
7 ist eine Frontansicht und zeigt einen Transportroboter in einer Ausführungsform der Erfindung.
8 ist ein Grundriss und zeigt einen Transportroboter in einer Ausführungsform der Erfindung.
9 ist eine perspektivische Ansicht und zeigt eine Behandlungseinheit in einer Ausführungsform der Erfindung.
10 ist ein Diagramm und zeigt eine Behandlungseinheit in einer Ausführungsform der Erfindung und ist eine Querschnittsdarstellung entlang der Linie X - X in 9.
11 ist eine Querschnittsdarstellung und zeigt eine Druckkammer in einer Ausführungsform der Erfindung.
12 ist ein Grundriss und zeigt einen Basisteil der Druckkammer in der Ausführungsform der Erfindung und ist eine Ansicht in der Richtung des Pfeils XII in 11.
13 ist ein Blockdiagramm und zeigt ein Steuersystem einer Testzelle in einer Ausführungsform der Erfindung.
14 ist eine perspektivische Ansicht und zeigt das Innere der Basis der Testzelle in der Ausführungsform der Erfindung.
15 ist ein Leitungsdiagramm einer Temperatureinstelleinheit in einer Ausführungsform der Erfindung.
16(a) bis 16(c) sind Querschnittsdarstellungen (Nr. 1 bis Nr. 3) und zeigen die Arbeitsweise der Behandlungseinheit in einer Ausführungsform der Erfindung.
17(a) bis 17(c) sind Querschnittsdarstellungen (Nr. 4 bis Nr. 6) und zeigen die Arbeitsweise der Behandlungseinheit in der Ausführungsform der Erfindung.
18 ist eine Querschnittsdarstellung und zeigt eine Druckkammer in einer Ausführungsform der Erfindung und ist eine vergrößerte Ansicht der Einzelheit XVIII in 17(c).
19 ist ein Blockdiagramm und zeigt eine Steuersystem des Sensortestsystems in einer Ausführungsform der Erfindung.
20 ist ein Diagramm und zeigt eine erste Modifikation der Behandlungseinrichtung in einer Ausführungsform der Erfindung und ist eine Querschnittsdarstellung der Behandlungseinrichtung für den Differenzialdrucksensor.
21 ist ein Diagramm und zeigt ein zweite Modifikation der Behandlungseinrichtung in einer Ausführungsform der Erfindung und ist eine Querschnittsdarstellung der Behandlungseinrichtung für einen Magnetsensor.

[AUSFÜHRUNGSFORM(EN) DER ERFINDUNG]
Im folgenden wird eine Ausführungsform der Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben werden.
1 ist ein perspektivische Ansicht und zeigt eine Sensortestlinie in dieser Ausführungsform, 2(a) ist ein Grundriss und zeigt einen Drucksensor, der das Testobjekt des Sensortestsystems in dieser Ausführungsform ist, und 2(b) ist ein Grundriss und zeigt eine Modifikation des Drucksensors, der das Testobjekt des Sensortestsystems in dieser Ausführungsform ist.
Wie in 1 gezeigt ist, ist das Sensortestsystem 1 in dieser Ausführungsform eine Sensortestlinie mit einer Testgerätegruppe 20, die konfiguriert ist durch Koppeln (Verbinden) mehrerer (vier in diesem Beispiel) Testzellen 30 (30A bis 30B) zum Testen eines Sensors 90. Die Testzelle 30 in dieser Ausführungsform entspricht einem Beispiel für ein „Sensortestgerät“ gemäß der Erfindung. Die Anzahl der Testzellen 30, die die Testgerätegruppe 20 bilden, ist nicht besonders beschränkt und kann je nach der Anzahl von Typen von Tests gewählt werden, die mit dem Sensortestsystem 1 ausgeführt werden, und dergleichen.
Der Sensor 90, der ein Testobjekt des Sensortestsystems 1 ist, ist ein Drucksensor, der einen Druck detektiert (misst) und ein dem Detektionsergebnis (Messergebnis) entsprechendes elektrisches Signal ausgibt. Wie in 2(a) gezeigt ist, ist der Sensor 90 eine Sensoreinrichtung eines Typs bei dem ein einzelner Sensorchip (Formling) 902 auf einer Leiterplatte 901 montiert ist. Kontakte eines Sockels 445 der später beschriebenen Behandlungseinheit 40 kontaktieren Klemmen 903 auf der Leiterplatte 901.
Wie in 2(b) gezeigt ist, kann der Sensor 90', der ein Testobjekt des Sensorsystems 1 ist, eine Sensoreinrichtung eines Typs sein, bei dem eine Leiterplatte 901, auf der ein Sensorchip 902 montiert ist, in ein Harzmaterial gekapselt ist und Leiter 905 aus der Packung 904 herausragen. In diesem Fall kontaktieren die Kontakte des Sockels 445 die Leiter 905.
Das Testobjekt des Sensortestsystems 1 kann auch ein anderer Sensor als ein Drucksensor sein. Zum Beispiel kann das Testobjekt des Sensortestsystems 1 ein Differenzialdrucksensor oder ein Magnetsensor sein. Alternativ kann ein Sensor zu Detektion einer andere physikalischen Größe als eines Druckes oder magnetischer Wirkungen ein Testobjekt des Sensortestsystems 1 sein.
Jede der Testzellen 30 ist ein Einrichtung, die feststellt, ob der Sensor 90 schadhaft ist oder nicht, auf der Grundlage eines elektrischen Signals, das von dem Sensor 90 in einem Zustand ausgegeben wird, in dem die Temperatur des Sensors 90 auf eine vorbestimmte Temperatur eingestellt ist und ein vorbestimmter Druck an dem Sensor 90 anliegt. Ohne hierauf beschränkt zu sein ist es mit dem Sensortestsystem 1 möglich, mehrere Typen von Tests (vier Typen in diesem Beispiel) in Bezug auf einen Sensor 90 auszuführen, indem der Sensor 90 mehrere Testzellen 30A bis 30D durchläuft.
Wie in 1 gezeigt ist, umfasst das Sensortestsystem 1 eine Ladestation 10, die einen noch nicht getesteten Sensor 90 in die Testgerätegruppe 20 einbringt, und eine Entladestation 80, die den getesteten Sensor 90 aus der Testgerätegruppe 20 austrägt, und die Ladestation kann den Sensor 90 automatisch in die Testgerätegruppe 20 hinein und aus dieser heraus bringen. Die Ladestation 10 in dieser Ausführungsform entspricht einem Beispiel für die „Zufuhreinrichtung“ im Sinne der Erfindung, und die Entladestation 80 in dieser Ausführungsform entspricht einem Beispiel für die „Austrageinrichtung“ im Sinne der Erfindung.
3 ist ein Diagramm eines inneren Layouts der Ladestation in der vorliegenden Ausführungsform und ist eine Querschnittsdarstellung entlang der Linie III - III in 1.
Die Ladestation 10 ist in dieser Ausführungsform eine Ladeeinrichtung zum Überführen eines ungeprüften Sensors 90 in die Testgerätegruppe 20 und ist mit einer Testzelle 30A gekoppelt (verbunden), die sich am vorderen Ende der Testgerätegruppe 20 (linkes Ende in 1) befindet. Wie in 3 gezeigt ist, enthält die Ladestation 10 eine Transfereinrichtung 11 und eine Bewegungseinrichtung 12. In der Ladestation 10, werden die Transfereinrichtung 11 und die Bewegungseinrichtung 12 durch eine Steuereinheit 15 gesteuert (siehe 19).
Die Transfereinrichtung 11 ist eine Einrichtung zum Aufnehmen und Absetzen von Objekten, die den Sensor 90 transportiert und einen Saugkopf 111, der den Sensor 90 durch Saugkraft halten kann und sich in der Z-Richtung auf und ab bewegen kann, sowie eine Schiene 112 aufweist, die den Saugkopf 111 in der XY-Ebene bewegt. Die Bewegungseinrichtung 12 umfasst eine Schiene 121, die in der X-Richtung angeordnet ist, und eine Platte 122, die hin- und hergehend auf der Schiene 121 beweglich ist. Mehrere konkave Aufnahmeteile 123, die in der Lage sind, die Sensoren 90 aufzunehmen, sind auf der oberen Oberfläche der Platte 122 gebildet.
Ein Teil der Bewegungseinrichtung 12 und der Transfereinrichtung 11 sind in einer Haube 13 der Ladestation 10 aufgenommen, und in der Haube 13 sind zwei Öffnungen 13a und 13b gebildet. Der Rest der Bewegungseinrichtung 12 erstreckt sich durch eine Öffnung 13b in die Testzelle 30A.
Das Tablar 14 wird durch die andere Öffnung 13a in den unteren Teil der Transfereinrichtung 11 eingebracht. Die Transfereinrichtung nimmt den Sensor 90 von diesem Tablar 14 auf und legt ihn in den Aufnahmeteil 123 der Platte 122, die sich in der Ladestation 10 befindet. Die Bewegungseinrichtung 12 bewegt die Platte 122 durch die Öffnung 13b hindurch in die Testzelle 30A und trägt den ungetesteten Sensor 90 in die Testzelle 30A ein.
Die Konfiguration der Ladestation 10 ist nicht auf die oben beschriebene Konfiguration beschränkt. Zum Beispiel könnte anstelle der Einrichtung zum Aufnehmen und Absetzen ein Gelenkarmroboter als Transfereinrichtung 11 verwendet werden. Alternativ könnte anstelle der Transfereinrichtung 11 ein Bauteilförderer verwendet werden. Die Mehrzahl der Tablare 14 können in einem Zustand, in dem sie in einem Magazin aufgenommen sind, in die Ladestation 10 eingebracht werden.
1 ist ein Diagramm, das ein inneres Layout der Entladestation in der vorliegenden Ausführungsform zeigt und ist eine Querschnittsdarstellung entlang der Linie IV - IV in 1.
Die Entladestation 80 ist in dieser Ausführungsform eine Entladeeinrichtung zum Austragen des getesteten Sensors 90 aus der Testgerätegruppe 20 und ist mit der Testzelle 30D verbunden, die sich am hinteren Ende der Testgerätegruppe 20 befindet (am rechten Ende in 1). Wie in 4 gezeigt ist, enthält die Entladestation 80 eine Bewegungseinrichtung 81 und eine Transfereinrichtung 82. In der Entladestation 80, werden die Bewegungseinrichtung 81 und die Transfereinrichtung 82 durch eine Steuereinheit 85 gesteuert (siehe 19).
Die Bewegungseinrichtung 81 ist von der gleichen Art wie die Bewegungseinrichtung 12 der Ladestation 10, die oben beschrieben wurde, und umfasst eine Schiene 811 und eine Platte 812, und eine Vielzahl von Aufnahmeteilen 813 ist auf der Oberfläche der Platte 812 gebildet. Die Transfereinrichtung 82 ist von der gleichen Art wie die Transfereinrichtung 11 der Ladestation 10, die oben beschrieben wurde, und ist eine Einrichtung zum Aufnehmen und Absetzen, mit einem Saugkopf 821 und einer Schiene 822.
Ein Teil der Bewegungseinrichtung 81 und die Transfereinrichtung 82 sind in einer Haube 83 der Entladestation 80 aufgenommen, und in der Haube 83 sind zwei Öffnungen 83a und 83b gebildet. Der Rest der Transfereinrichtung 81 erstreckt sich durch eine Öffnung 83a in die Testzelle 30D.
Die Bewegungseinrichtung 81 bewegt die Platte 812 aus der Testzelle 30D in die Entladestation 80 und trägt den getesteten Sensor 90 aus der Testzelle 30D aus. Dann nimmt die Transfereinrichtung 82 den Sensor 90 von der Platte 812 auf, die sich in der Entladestation befindet, und setzt ihn auf die Tablare 84, die sich unterhalb der Transfereinrichtung 82 befinden. Zu diesem Zeitpunkt kann die Transfereinrichtung 82 den Sensor 90 auf dem Tablar 84 absetzen, während die Sensoren 90 auf der Basis der Testresultate der jeweiligen Testzellen 30 klassifiziert werden. Das Tablar 84 wird durch die andere Öffnung 83b der Haube 83 aus der Entladestation 80 ausgetragen.
Die Konfiguration der Entladestation 80 ist nicht auf die oben beschriebene Konfiguration beschränkt. Zum Beispiel könnte anstelle der Einrichtung zum Aufnehmen und Absetzen ein Gelenkarmroboter als die Transfereinrichtung 82 verwendet werden. Alternativ könnte anstelle der Transfereinrichtung 82 ein Bauteilförderer verwendet werden. Die Mehrzahl der Tablare 84 können in einem Zustand, in dem sie in einem Magazin aufgenommen sind, aus der Entladestation 80 ausgetragen werden.
5 ist eine perspektivische Ansicht einer Testzelle in der vorliegenden Ausführungsform, 6 ist eine Ansicht, die ein Layout im Inneren der Testzelle in der vorliegenden Ausführungsform zeigt, und 7 und 8 sind eine Frontansicht und ein Grundriss eines Transportroboters in der vorliegenden Ausführungsform.
Die Testgerätegruppe 20 in der vorliegenden Ausführungsform umfasst eine Vielzahl von Testzellen 30, die jeweils einen Test an dem Sensor 90 ausführen, sowie eine Bewegungseinrichtung 70, die den Sensor 90 zwischen den paarweise aneinander angrenzenden Testzellen 30 überführt.
Wie in 6 gezeigt ist, ist die Bewegungseinrichtung 70 von der gleichen Art wie die Bewegungseinrichtung 12 der oben beschriebenen Ladestation 10 und umfasst eine Schiene 71 und eine Platte 72, und eine Vielzahl von Aufnahmeteilen 73 ist auf der oberen Oberfläche der Platte 72 gebildet. Die Bewegungseinrichtung 70 hat eine Steuereinheit 75 (siehe 19) zur Steuerung der Bewegungsoperationen der Platten 72. Die Bewegungseinrichtung 70 in dieser Ausführungsform entspricht einem Beispiel für die „zweite Transporteinrichtung“ im Sinne der Erfindung.
Wie in 5 und 6 gezeigt ist, umfasst jede Testzelle 30 einen Vorheizteil 31, mehrere (zwei in diesem Beispiel) Behandlungseinheiten 40, einen Abkühlteil 32 und einen Transportroboter 33. Da die Testzelle 30 eine Vielzahl von Behandlungseinheiten 40 aufweist, kann der Durchsatz der Testzelle 30 verbessert werden.
Die Anzahl der in der Testzelle 30 enthaltenen Behandlungseinheiten 40 ist nicht besonders beschränkt, und die Testzelle 30 mag auch nur eine Behandlungseinheit 40 aufweisen oder sie kann drei oder mehr Behandlungseinheiten 40 aufweisen. Die Testzelle 30 muss nicht unbedingt den Vorheizteil 31 und den Abkühlteil 32 enthalten.
Die Testzelle 30 hat einen Gerätehauptkörper 301, der einen Vorheizteil 31, Behandlungseinheiten 40, einen Abkühlteil 32 und den Transportroboter 33 aufnimmt. Der Gerätehauptkörper 301 hat eine Basis 302 und eine Haube 305.
Die Basis 302 hat einen Rahmen 303 und eine Grundplatte 304, die auf dem Rahmen 303 abgestützt ist. Die Basis 302 hat einen konkaven Teil 302a, der im Grundriss in der +Y-Richtung ausgenommen ist und eine im wesentlichen U-förmige planare Form hat. Die Basis 302 hat eine Öffnung 302d, die durch die Ausnehmung 302a gebildet wird, und die Öffnung 302b öffnet sich in der -Y-Richtung.
Die Haube 305 ist auf der Basis 302 angeordnet und hat eine im wesentlichen kubische Gestalt, die die gesamte Oberfläche der Grundplatte 304 einschließlich des konkaven Teils 302a einnimmt. In den in der X-Richtung liegenden seitlichen Oberflächen 306a und 306b der Haube 305 sind jeweilige Öffnungen 307a und 307b gebildet. Eine Öffnung 307c ist in der in -Y-Richtung liegenden seitlichen Oberfläche 306c der Haube 305 gebildet. Die Öffnung 307c befindet sich oberhalb der Öffnung 302b der Basis 302, und die Öffnungen 302b und 307c sind in der Z-Richtung im wesentlich miteinander bündig. Die Öffnung 307a in dieser Ausführungsform entspricht einem Beispiel für die „erste Öffnung“ im Sinne dieser Erfindung, und die Öffnung 307b in dieser Ausführungsform entspricht einem Beispiel für die „zweite Öffnung“ im Sinne der Erfindung.
Der Vorheizteil 31, die Behandlungseinheiten 40 und der Abkühlteil 32 sind auf der Grundplatte 304 der Basis 302 angeordnet und befinden sich im Gerätehauptkörper 301. Der Transportroboter 33 tritt über die Öffnungen 302b und 307c des Gerätehauptkörpers 301 ebenfalls in den konkaven Teil 302a der Basis 302 ein und befindet sich im Gerätehauptkörper 301. Der Transportroboter 33 kann durch die Öffnungen 302b und 307c in den Gerätehauptkörper 301 hinein und aus diesem heraus bewegt werden, und die Testzelle 30 lässt sich sehr gut warten.
Die Testzelle 30A am vorderen Ende (an linken Ende in 1) der Testgerätegruppe 20 ist mit der Ladestation 10 gekoppelt (verbunden), so dass die Öffnung 13b der Ladestation 10 und die Öffnung 307a der Testzelle 30A einander zugewandt sind. Die Bewegungseinrichtung 12 der Ladestation 10 tritt durch die Öffnung 13b der Ladestation 10 und die Öffnung 307a der Testzelle 30A hindurch in die Testzelle 30A ein. Der Sensor 90 wird durch die Bewegungseinrichtung 12 zu der Testzelle 30A zugeführt.
Die mittlere Testzelle 30B in der Testgerätegruppe 30 ist so mit der Testzelle 30A gekoppelt (verbunden), dass die Öffnung 307b der Testzelle 30A und die Öffnung 307a der Testzelle 30B einander zugewandt sind. Ein Teil der Bewegungseinrichtung 70 befindet sich auf der Grundplatte 304 der Testzelle 30A, und der übrige Teil der Bewegungseinrichtung 70 erstreckt sich durch die Öffnung 307b der Testzelle 30A und die Öffnung 307a der Testzelle 30B hindurch zu der weiter hinten gelegenen Testzelle 30B und tritt in die Testzelle 30B ein. Die Bewegungseinrichtung 70 bildet eine Brücke zwischen der Testzelle 30A und der Testzelle 30B und die Bewegungseinrichtung 70 überführt den Sensor 90 zwischen der Testzelle 30A und der Testzelle 30B.
Die mittlere Testzelle 30C in der Testgerätegruppe 20 ist so mit der Testzelle 30B verbunden (gekoppelt), dass die Öffnung 307b der Testzelle 30B und die Öffnung 307a der Testzelle 30C einander zugewandt sind. Ein Teil der Bewegungseinrichtung 70 befindet sich auf der Grundplatte 304 der Testzelle 30B und der übrige Teil der Bewegungseinrichtung 70 erstreckt sich durch die Öffnung 307b der Testzelle 30B und die Öffnung 307a der Testzelle 30C in die weiter hinten gelegene Testzelle 30C und tritt in die Testzelle 30C ein. Die Bewegungseinrichtung 70 bildet eine Brücke zwischen der Testzelle 30B und der Testzelle 30C, und die Bewegungseinrichtung 70 überführt den Sensor 90 zwischen der Testzelle 30B und der Testzelle 30C.
Die Testzelle 30D am hinteren Ende (am rechten Ende in 1) der Testgerätegruppe 20 ist so mit der Testzelle 30C gekoppelt (verbunden), dass die Öffnung 307b der Testzelle 30C und die Öffnung 307a der Testzelle 30D einander zugewandt sind. Ein Teil der Bewegungseinrichtung 70 befindet sich auf der Grundplatte 304 der Testzelle 30C, und der übrigen Teil der Bewegungseinrichtung 70 erstreckt sich durch die Öffnung 307b der Testzelle 30C und die Öffnung 307a der Testzelle 30D hindurch in die am hinteren Ende gelegene Testzelle 30D und tritt in die Testzelle 30D ein.
Die Testzelle 30D ist so mit der Entladestation 80 gekoppelt (verbunden), dass die Öffnung 307b der Testzelle 30B und die Öffnung 83a der Entladestation einander zugewandt sind. Die von der Entladestation 80 vorspringende Bewegungseinrichtung 80 tritt durch die Öffnung 307b der Testzelle 30D und die Öffnung 83a der Entladestation 80 hindurch in die Testzelle 30D ein. Der Sensor wird durch die Bewegungseinrichtung 81 aus der Testzelle 30D ausgetragen.
In der Testzelle 30A entspricht ein Teil der Bewegungseinrichtung 12, der sich auf der Grundplatte 304 der Testzelle 30A befindet, einem Beispiel für die „erste Position“ im Sinne dieser Ausführungsform. Der Teil der Bewegungseinrichtung 70, der sich auf der Grundplatte 304 der Testzelle 30A befindet, entspricht einem Beispiel für die „zweite Position“ im Sinne dieser Ausführungsform.
In der Testzelle 30B entspricht ein Teil der vorderseitigen Bewegungseinrichtung 70, der sich auf der Grundplatte 304 der Testzelle 30B befindet, einem Beispiel für die „erste Position“ im Sinne dieser Ausführungsform. Der Teil der rückseitigen Bewegungseinrichtung 70, der sich auf der Grundplatte 304 der Testzelle 30B befindet, entspricht einem Beispiel für die „zweite Position“ im Sinne dieser Ausführungsform.
In der Testzelle 30C entspricht ein Teil der vorderseitigen Bewegungseinrichtung 70, der sich auf der Grundplatte 304 der Testzelle 30C befindet, einem Beispiel für die „erste Position“ im Sinne dieser Ausführungsform. Der Teil der rückseitigen Bewegungseinrichtung 70, der sich auf der Grundplatte 304 der Testzelle 30C befindet, entspricht einem Beispiel für die „zweite Position“ im Sinne dieser Ausführungsform.
In der Testzelle 30D entspricht der Teil der Bewegungseinrichtung 70, der sich auf der Grundplatte 304 der Testzelle 30BD befindet, einem Beispiel für die „erste Position“ im Sinne dieser Ausführungsform. Der Teil der Bewegungseinrichtung 81, der sich auf der Grundplatte 304 der Testzelle 30D befindet, entspricht einem Beispiel für die „zweite Position“ im Sinne dieser Ausführungsform.
Im Grundriss sind die Bewegungseinrichtung 12 (Bewegungseinrichtung 70), der Vorheizteil 31, die Behandlungseinheiten 40, der Abkühlteil 32 und die Bewegungseinrichtung 70 (Bewegungseinrichtung 81) im wesentlichen in der Form eines U angeordnet, das den Transportroboter 33 umschließt.
Spezieller ist der Vorheizteil 31 zwischen der Bewegungseinrichtung 12 (Bewegungseinrichtung 70), die sich im Gerätehauptkörper 301 befindet, und der Behandlungseinheit 40 angeordnet. Der Abkühlteil 32 ist zwischen der Behandlungseinheit 40 und der Bewegungseinrichtung 70 (Bewegungseinrichtung 81) angeordnet, die sich in der Testzelle 30 befindet. Die Bewegungseinrichtung 12 (Bewegungseinrichtung 70) auf der Vorderseite und die Bewegungseinrichtung 70 (Bewegungseinrichtung 81) auf der Rückseite liegen einander beiderseits des konkaven Teils 302a der Basis 302 gegenüber. Ähnlich liegen der Vorheizteil 31 und der Abkühlteil 32 einander beiderseits des konkaven Teils 302a gegenüber. Durch Verwendung eines solchen im wesentlichen U-förmigen Layouts kann bei der Testzelle 30 eine Platzersparnis erreicht werden.
Das Layout des Gerätehauptkörpers 301 ist nicht auf eine im wesentlichen U-förmige Gestalt beschränkt. Zum Beispiel könnten die Bewegungseinrichtung 12 (Bewegungseinrichtung 70), der Vorheizteil 31, die Behandlungseinheiten 40, der Abkühlteil 32 und die Bewegungseinrichtung 70 (Bewegungseinrichtung 81) linear in dem Gerätehauptkörper 301 angeordnet sein.
Der Vorheizteil 31 hat eine Platte 311 mit einer Vielzahl von ausgenommenen Aufnahmeteilen 312, die in der Lage sind, die jeweiligen Sensoren 90 aufzunehmen. Die Platte 301 ist mit einer (nicht gezeigten) Heiz/Kühleinrichtung verbunden, und die Temperatur des Sensors 90, bevor er zu der Behandlungseinheit 40 zugeführt wird, kann vorab in die Nähe einer vorbestimmten Temperatur gebracht werden. Dadurch ist es möglich, die Zeit abzukürzen, die der Sensor 90 in der Behandlungseinheit 40 benötigt, um die vorbestimmte Temperatur zu erreichen.
Der Abkühlteil 32 hat ebenfalls eine Platte 321 mit einer Vielzahl von ausgenommen Aufnahmeteilen 322, die in der Lage sind, die Sensoren 90 aufzunehmen. Die Platte 321 ist mit einer (nicht gezeigten) Heiz/Kühleinrichtung verbunden, und die Temperatur des Sensors 90, nachdem er aus der Behandlungseinheit 40 ausgetragen wurde, kann in die Nähe einer Normaltemperatur gebracht werden. Dadurch ist es möglich, die Abkühlzeit des Sensors 90 abzukürzen, nachdem er in der Behandlungseinheit 40 getestet wurde, und das Auftreten von Kondensation an dem Sensor 90 nach dem Test zu beschränken.
Die Konfiguration des Vorheizteils 31 ist nicht auf die oben beschriebene Konfiguration beschränkt. Zum Beispiel könnte der Vorheizteil 31 warme Luft oder kalte Luft auf den ungeprüften Sensor 90 blasen, um den Sensor 90 zu heizen oder zu kühlen. Ähnlich ist die Konfiguration des Abkühlteils 32 nicht auf die oben beschriebene Konfiguration beschränkt. Zum Beispiel könnte der Abkühlteil 32 warme Luft oder kalte Luft gegen den getesteten Sensor 90 blasen, um den Sensor 90 zu erwärmen oder zu kühlen.
Wie in 7 und 8 gezeigt ist, ist der Transportroboter 33 ein zweiarmiger Skalarroboter mit zwei Gelenkarmen 332 und 336. Der Transportroboter 33 bringt den ungeprüften Sensor 90 zu der Behandlungseinheit 40 und bringt den getesteten 90 aus der Behandlungseinheit 40 heraus. Der Transportroboter 33 in der vorliegenden Ausführungsform entspricht einem Beispiel der „Transporteinrichtung“ im Sinne der Erfindung.
Der Transportroboter 33 hat einen Basisteil 331, einen ersten Gelenkarm 332 und einen zweiten Gelenkarm 336. Die ersten und zweiten Gelenkarme 332 und 336 sind an dem Basisteil 331 gehalten und um eine erste Drehachse RA₁ drehbar. Das heißt, die ersten und zweiten Gelenkarme 332 und 336 haben die erste Drehachse RA₁ gemeinsam.
Der erste Gelenkarm 332 hat einen ersten Arm 333, einen zweiten Arm 334 und einen ersten Saugkopf 335. Der erste Arm 333 ist an dem Basisteil 331 gehalten und um die erste Drehachse RA₁ drehbar, wie oben beschrieben wurde. Der zweite Arm 334 ist an dem ersten Arm 333 gehalten und um eine zweite Drehachse RA₂ drehbar. Der erste Saugkopf 335 ist an dem zweiten Arm 334 gehalten und um eine dritte Drehachse RA₃ drehbar. Der erste Saugkopf 335 ist so an dem zweiten Arm 334 gehalten, dass er sich in der Z-Richtung auf und ab bewegen kann, und hat ein Saugkissen, dass in der Lage ist, den Sensor 90 durch Sogwirkung zu halten.
Ähnlich wie der erste Gelenkarm 331 hat der zweite Gelenkarm 336 einen dritten Arm 337, einen vierten Arm 338 und einen zweiten Saugkopf 339. Der dritte Arm 337 ist an dem Basisteil 331 gehalten und um die erste Drehachse RA₁ drehbar, wie oben beschrieben wurde. Der vierte Arm 338 ist an dem dritten Arm 337 gehalten und um die vierte Drehachse RA₄ drehbar. Der zweite Saugkopf 339 ist an dem vierten Arm 338 gehalten und um die fünfte Drehachse RA₅ drehbar. Der zweite Saugkopf 339 ist so an dem vierten Arm 338 gehalten, dass er sich in der Z-Richtung auf und ab bewegen kann, und hat ein Saugkissen, das in der Lage ist, den Sensor 90 durch Sogwirkung zu halten.
In der vorliegenden Ausführungsform kann eine Platzersparnis in der Testzelle 30 dadurch erreicht werden, dass ein solcher zweiarmiger Skalarroboter als Transportroboter 33 verwendet wird. Die Konfiguration der ersten und zweiten Gelenkarme 331 und 336 (z.B. der Freiheitsgrad und die Länge jedes Armes) ist nicht auf das oben beschriebene Beispiel beschränkt. Die Konfiguration des ersten Gelenkarmes 331 und die Konfiguration des zweiten Gelenkarmes 336 können voneinander verschieden sein. Alternativ kann ein Roboter eines anderen Typs als der zweiarmige Skalarroboter als Transportroboter 33 verwendet werden. Alternativ kann anstelle eines Transportroboters 33 eine andere Transporteinrichtung wie etwa eine Aufnahme- und Absetzeinrichtung verwendet werden.
Wenn, wie in 5 und 6 gezeigt ist, ein ungetesteter Sensor 90 mit der Bewegungseinrichtung 12 (Bewegungseinrichtung 70) von der Ladestation 10 (vorangehenden Testzelle 30) in die Testzelle 30 überführt wird, bewegt der Transportroboter 33 den Sensor 90 von der Bewegungseinrichtung 12 (Bewegungseinrichtung 70) zu dem Vorheizteil 31, und er bewegt den Sensor 90 weiter von dem Vorwärtsteil 31 zu der Behandlungseinheit 40. Wenn der Test des Sensors 90 in der Behandlungseinheit 40 abgeschlossen ist, bewegt der Transportroboter 33 den getesteten Sensor 90 von der Behandlungseinheit 40 zu dem Abkühlteil 32 und bewegt den Sensor 90 weiter von dem Abkühlteil 32 zu der Bewegungseinrichtung 70 (Bewegungseinrichtung 81). Die Bewegungseinrichtung 70 (Bewegungseinrichtung 81) bewegt den Sensor 90 zur nächsten Testzelle 30 (zur Entladestation 80).
Zu diesem Zeitpunkt ist in dieser Ausführungsform der erste Gelenkarm 332 des Transportroboters 33 dafür zuständig, den Sensor 90 zu der Behandlungseinheit 40 zuzuführen. Andererseits ist der zweite Gelenkarm 336 dafür zuständig, den Sensor 90 aus der Behandlungseinheit 40 auszutragen.
Im einzelnen ist der erste Gelenkarm 332 zuständig für die Bewegung von der Bewegungseinrichtung 12 (Bewegungseinrichtung 70) zu dem Vorheizteil 31 und für die Bewegung von dem Vorheizteil 31 zu der Behandlungseinheit 40. Andererseits ist der zweite Gelenkarm 336 zuständig für die Bewegung von der Behandlungseinheit 40 zu dem Abkühlteil 32 und für die Bewegung von dem Abkühlteil 32 zu der Bewegungseinrichtung 70 (Bewegungseinrichtung 81). Der erste Gelenkarm 332 führt den ungetesteten Sensor 90 beiden Behandlungseinheiten 40 zu, und der zweite Gelenkarm 336 trägt den getesteten Sensor 90 aus beiden Behandlungseinheiten 40 aus.
9 und 10 sind eine perspektivische Ansicht und ein Querschnitt einer Behandlungseinheit in der vorliegenden Ausführungsform. 11 ist ein Querschnitt einer Druckkammer in dieser Ausführungsform, und 12 ist ein Grundriss eines Basisteils der Druckkammer in dieser Ausführungsform.
Wie in 9 und 10 gezeigt ist, hat die Behandlungseinheit 40 eine Trockenkammer 41 und eine Vielzahl (vier in diesem Beispiel) von Behandlungseinrichtungen 42. In dieser Ausführungsform haben die beiden Behandlungseinheiten 40, die in den jeweiligen Testzellen 30 enthalten sind, den gleichen Aufbau, doch ist die Erfindung nicht hierauf beschränkt.
In der vorliegenden Ausführungsform sind vier Behandlungseinrichtungen 42 in der Trockenkammer 41 aufgenommen, und eine Behandlungseinrichtung 42 entspricht einem Sensor 90. Deshalb ist es in der Behandlungseinheit 40 gemäß dieser Ausführungsform möglich, vier Sensoren 90 gleichzeitig zu testen. Die Anzahl der Behandlungseinrichtungen 42, die in der Behandlungseinheit 40 enthalten sind, ist nicht beschränkt und kann je nach dem für die Testzelle 30 geforderten Durchsatz und dergleichen beliebig gewählt werden.
Die Trockenkammer 41 hat ein kastenförmiges Gehäuse 411 mit einer Öffnung 411a und einem Deckel 412, der die Öffnung 441a bedeckt. Trockenluft mit einer niedrigen Taupunkttemperatur wird in die Trockenkammer 41 zugeführt, um das Auftreten von Kondensation an dem Sensor 90 zu unterdrücken.
In dem Deckel 412 sind vier Fenster 412a entsprechend den vier Behandlungseinrichtungen 42 gebildet. In dem Deckel 412 sind vier Verschlüsse 413 vorgesehen, die den vier Fenstern 412a entsprechen. Der Verschluss 413 ist mit Hilfe eines Aktuators 414 hin und hergehend in der Y-Richtung beweglich, und das Fenster 412a des Deckels 412 wird durch den Verschluss 413 geöffnet und geschlossen, wenn der Sensor 90 in die Behandlungseinheit 40 eingetragen und aus dieser ausgetragen wird. Als ein spezielles Beispiel für den Aktuator 414 kann z.B. ein Luftzylinder genannt werden.
Die Konfiguration der Behandlungseinheit ist nicht auf das oben beschriebene Beispiel beschränkt. Zum Beispiel braucht die Behandlungseinheit keine Trockenkammer aufzuweisen. In diesem Fall kann die Behandlungseinheit einfach dadurch gebildet werden, dass eine Vielzahl von Behandlungseinrichtungen 42 auf einer Trägerplatte 401 vorgesehen wird.
Jede der Behandlungseinrichtungen 42 ist eine Einheit, die den Sensor 90, der mit dem Transportroboter 33 zugeführt wurde, einem thermischen Stress aussetzt und einen Druck an den Sensor 90 anlegt. Die Behandlungseinrichtung 42 hat eine Druckkammer 43 und einen Andruckmechanismus 48. In dieser Ausführungsform haben die Behandlungseinrichtungen 42, die in den jeweiligen Behandlungseinheiten 40 enthalten sind, den gleichen Aufbau, doch ist die Erfindung nicht hierauf beschränkt.
Wie in 11 und 12 gezeigt ist, hat die Druckkammer einen Basisteil 44 und einen Kopfteil 45. Der Basisteil 44 ist an der Bodenfläche des Gehäuses 411 befestigt, so dass er dem Fenster 412a in dem Deckel 412 der Trockenkammer 41 gegenüberliegt. Ein kreisförmiger konkaver Teil 441 öffnet sich auf der oberen Oberfläche des Basisteils 44, und ein O-Ring 442 ist so angeordnet, dass er die Öffnung des konkaven Teil 441 umgibt. Eine Leitung 444a ist an eine seitliche Oberfläche des Basisteils 44 angeschlossen. Die Leitung 444a kommuniziert mit dem Inneren des konkaven Teils 441 und ist mit einer Druckeinstelleinheit 36 verbunden (die später beschrieben wird).
Ein Sockel 445 ist in der Mitte des Inneren des konkaven Teils 441 angeordnet. Obgleich dies nicht besonders gezeigt ist, hat der Sockel 443 Kontakte, die die Klemme 903 des Sensors 90 kontaktieren. Beispiele für solche Kontakte umfassen Federkontaktstifte, anisotrope leitfähige Gummi und dergleichen. Ein Kabel 446 ist an eine seitliche Oberfläche des Basisteils 44 angeschlossen. Der Sockel 445 ist über das Kabel 446 elektrisch mit der Testeinheit 35 verbunden (die später beschrieben wird).
Im Inneren des Basisteils 44 ist eine Wärmesenke 443 gebildet. Obgleich dies nicht besonders gezeigt ist, hat die Wärmesenke 443 einen balgförmigen Strömungspfad, der im Inneren des Basisteils 44 gebildet ist, Rippen, die von der Innenwand des Basisteils 44 vorspringen, oder dergleichen, und kann effizient Wärme mit dem Heiz/Kühlmedium austauschen, das von der Temperatureinstelleinheit 37 zugeführt wird (die später beschrieben wird).
Die Wärmesenke 443 ist direkt unter dem Sockel 445 angeordnet und kann den Sensor 90 über den Sockel 445 heizen/kühlen. Leitungen 444b bis 444d sind an die seitliche Oberfläche des Basisteils 44 angeschlossen. Diese Leitungen 444b bis 444d kommunizieren mit der Wärmesenke 443 und sind an die Temperatureinstelleinheit 37 angeschlossen.
Der Kopfteil 45 der Druckkammer 43 enthält einen Stößel 46 und eine Halteplatte 47. Wie in 10 gezeigt ist, ist der Kopfteil 45 so in der Trockenkammer 41 angeordnet, dass er mit Hilfe eines Aktuators 472 (der später beschrieben wird) hin und hergehend in Y-Richtung beweglich ist und sich zwischen einer Position oberhalb des Basisteils 44 (siehe 17(b)) und einer aus dem Raum oberhalb des Basisteils 44 zurückgezogenen Position (siehe 16(a)) hin und hergehend bewegen kann.
Wie in 11 gezeigt ist, hat der Stößel 46 einen konvexen Teil 461, der nach unten vorspringt, und der konvexe Teil 461 berührt den Sensor 90 um den Sensor 90 gegen den Sockel 445 zu drücken.
Im Inneren des Stößels 46 ist eine Wärmesenke 462 vorgesehen. Ähnlich wie die oben beschriebene Wärmesenke 443 des Basisteils 44 hat die Wärmesenke 462 einen balgförmigen Strömungspfad, der im Inneren des Stößels 46 gebildet ist, Rippen, die von der Innenwand des Stößels 46 vorspringen, oder dergleichen, und kann effizient Wärme mit dem Kühl/Heizmedium austauchen, das von der Temperatureinstelleinheit 37 zugeführt wird.
Die Wärmesenke 462 ist auch im Inneren des konvexen Teils 461 ausgebildet und kann den Sensor 90 erhitzen/kühlen. Leitungen 463a bis 463c sind an die seitliche Oberfläche des Kopfteils 45 angeschlossen. Diese Leitungen 463a bis 463c kommunizieren mit der Wärmesenke 462 und sind an die Temperatureinstelleinrichtung 37 angeschlossen.
In der vorliegenden Ausführungsform haben sowohl der Basisteil 44 als auch der Kopfteil 45 die Wärmesenken 443 und 462, jedoch ist die Erfindung nicht darauf beschränkt. Zum Beispiel könnte einer der Teile, Basisteil 44 oder Kopfteil 45, eine Wärmesenke haben, und der andere der Teile, Kopfteil 45 oder Basisteil 44, könnte eine andere Temperatureinstelleinrichtung als eine Wärmesenke haben. Als ein Beispiel für eine andere Temperatureinstelleinrichtung als die Wärmesenke kann z. B. eine Heizung, ein Peltier-Element, oder dergleichen genannt werden. Alternativ könnte nur einer der Teile, Basisteil 44 oder Kopfteil 45, eine Temperatureinstelleinrichtung haben, während der andere der Teile, Kopfteil 45 oder Basisteil 44, keine Temperatureinstelleinrichtung hat.
Ein Paar Nockenfolger 464 sind drehbar im oberen Bereich des Stößels 46 montiert. Wenn der Nockenfolger 464 an der Steuernut 482 des Andruckmechanismus 48 (wird später beschrieben) entlang läuft, wird der Stößel 46 abgesenkt.
Weiterhin ist der Stößel 46 in eine Öffnung 471 der Halteplatte 47 eingesetzt und durch die Halteplatte 74 über einen Anschlag 465 und eine Schraubenfeder 466 beweglich gehalten. Die Schraubenfeder 466 ist in einem komprimierten Zustand zwischen dem Anschlag 465 und der Halteplatte 47 eingefügt, und der Stößel 46 wird durch die Schraubenfeder 466 nach oben vorgespannt.
Wie in 10 gezeigt ist, ist ein an der Trockenkammer 41 befestigter Aktuator 472 mit der Halteplatte 47 verbunden. Der Aktuator 472 ermöglicht eine hin und hergehende Bewegung des Kopfteils 45 in der Y-Richtung. Als ein spezielles Beispiel für den Aktuator 472 kann z. B. ein Luftzylinder genannt werden.
Der Andruckmechanismus 48 ist so in der Trockenkammer 41 angeordnet, dass er dem Kopfteil 45 gegenüberliegt, so dass sich der Basisteil 44 zwischen ihnen befindet. Der Andruckmechanismus 48 hat eine Nockenplatte 481 und einen Aktuator 484.
Eine Steuernut 482, in welche der Nockenfolger 464 des Stößels 46 eingreift, ist in der Nockenplatte 481 gebildet. Wenn der Nockenfolger 464 an der geneigten Oberfläche 483 der Steuernut 482 abrollt, senkt sich der Stößel 46 relativ zu der Halteplatte 47 ab.
Ein an der Trockenkammer 41 befestigter Aktuator 484 ist mit der Nockenplatte 481 verbunden. Der Aktuator 484 ermöglicht eine hin und hergehende Bewegung der Nockenplatte 481 in der Y-Richtung. Als ein spezielles Beispiel für den Aktuator 484 kann z.B. ein Luftzylinder genannt werden.
Die Druckkammer 43 entspricht in diesem Ausführungsbeispiel einem Beispiel für den „Druckanlegeteil“ im Sinne der Erfindung, die Wärmesenke 462, die in dem Kopfteil 45 gebildet ist, entspricht in dieser Ausführungsform einem Beispiel für den „Temperatureinstellteil“ im Sinne der Erfindung.
Die Konfiguration der Behandlungseinrichtung ist nicht auf die oben beschriebene Konfiguration beschränkt, solange die Behandlungseinrichtung einen Sockel, mit dem der Sensor elektrisch verbunden wird, einen Mechanismus zum Ausüben eines thermischen Stresses auf dem Sensor, und einen Mechanismus zum Ausüben eines Druckes auf den Sensor aufweist.
Die Konfiguration des Bewegungsmechanismus zum Bewegen des Stößels 46 relativ zu dem Sockel 445 ist nicht auf das oben beschriebene Beispiel beschränkt. Zum Beispiel könnten anstelle des Aktuators 472 und des Andruckmechanismus 48 eine Kugelspindel und ein Motor verwendet werden, um den Bewegungsmechanismus zu bilden. Alternativ könnten als Bewegungsmechanismus eine Aufnahme- und Absetzeinrichtung, ein Roboter mit einem Gelenkarm oder dergleichen verwendet werden.
13 ist ein Blockdiagramm, das das Steuersystem der Testzelle in dieser Ausführungsform zeigt, 14 ist eine perspektivische Ansicht und zeigt das Innere der Basis der Testzelle in dieser Ausführungsform, und 14 ist ein Leitungsdiagramm der Temperatureinstelleinheit in dieser Ausführungsform.
Wie in 13 gezeigt ist, enthält jede Testzelle 30 eine Steuereinheit 34, eine Testeinheit 35, eine Druckeinstelleinheit 36 und eine Temperatureinstelleinheit 37.
Wie in 14 gezeigt ist, sind die Steuereinheit 34, die Testeinheit 35, die Druckeinstelleinheit 36 und die Temperatureinstelleinheit 34 im Inneren eines Rahmens 303 der Basis 302 eines Gerätehauptkörpers 301 installiert. In dieser Ausführungsform ist die Testeinheit 35 unter dem Gesichtspunkt der Verbesserung der Testgenauigkeit direkt unter der Behandlungseinheit 40 angeordnet, doch ist die Erfindung nicht hierauf beschränkt. Zum Beispiel könnte auch die Druckeinstelleinheit 36 direkt unter der Behandlungseinheit 40 angeordnet sein oder die Temperatureinstelleinheit 37 könnte direkt unter der Behandlungseinheit 40 angeordnet sein.
Die Steuereinheit 34 umfasst z.B. einen Computer und managt die Steuerungen in der Testzelle 30. Speziell, wie in 13 gezeigt ist, steuert die Steuereinheit 34 die Testeinheit 35, die Druckeinstelleinheit 36 und die Temperatureinstelleinheit 37, und sie steuert ebenso den oben beschriebenen Transportroboter 33 und die Aktuatoren 472 und 484 der Behandlungseinheit 40.
Die Testeinheit 35 umfasst z.B. einen Computer, eine Schaltungsplatine zu Testzwecken oder dergleichen und ist elektrisch mit einem Sockel 445 verbunden, der in jeder Druckkammer 43 der Behandlungseinheit 40 angeordnet ist. Die Testeinheit 35 versorgt den Sensor 90 mit elektrischer Leistung und nimmt von dem Sensor 90 in einem Zustand, in dem durch die Druckkammer 43 ein vorbestimmter Druck auf den Sensor 90 ausgeübt wird, eine elektrisches Ausgangssignal auf und entscheidet auf der Basis dieses elektrischen Signals ob der Sensor 90 ein fehlerfreies Produkt oder ein schadhaftes Produkt ist. Die Testeinheit 35 kann auf der Basis des elektrischen Ausgangssignals des Sensors 90 eine Kennlinie des Ausgangssignals des Sensors 90 in Bezug auf den aktuell ausgeübten Druck aufnehmen.
Die Druckeinstelleinheit 36 ist über die oben beschriebene Leitung 444a mit dem konkaven Teil 441 des Basisteils 44 verbunden. Die Druckeinstelleinheit 36 umfasst z.B. eine Druckerzeugungseinrichtung, eines Druckentlastungseinrichtung und eine Drucksteuerung. Die Druckerzeugungseinrichtung setzt die Atmosphäre in dem abgedichteten Raum 431 unter Druck, indem sie Druckluft in den abgedichteten Raum 431 (wird später beschrieben) der Druckkammer 43 einleitet. Die Druckentlastungseinrichtung ist eine Einrichtung zur Entspannung der Atmosphäre in dem abgedichteten Raum 431, und als ein spezifisches Beispiel kann ein Ejektor oder eine Vakuumpumpe genannt werden. Die Drucksteuerung ist zwischen der Druckerzeugungseinrichtung und dem abgedichteten Raum 431 und zwischen der Druckentlastungseinrichtung und dem abgedichteten Raum 431 angeordnet und ist eine Einrichtung zum Einstellen der Höhe des von der Druckerzeugungseinrichtung erzeugten Druckes und der von der Druckentlastungseinrichtung erzeugten Druckabnahme und umfasst z.B. einen Regler. Obgleich die Erfindung nicht hierauf beschränkt ist, kann die Druckeinstelleinheit 36 den Druck in der Druckkammer 43 in dem Bereich von -60 kPa bis 800 kPa regeln.
Die Temperatureinstelleinheit 37 ist eine Einheit zum Zuführen eines Kühlmittels und eines heißen Mediums zu den Wärmesenken 443 und 462 der jeweiligen Druckkammern 43 der Behandlungseinheit 40, um die Temperatur des Sensors 90 einzustellen. Die Temperatureinstelleinheit 37 ist in der Lage, die Temperatur des Sensors 90 über die Wärmesenken 443 und 452 im Bereich von -40° C bis +150° C einzustellen. Wie in 15 gezeigt ist, hat die Temperatureinstelleinheit 37 Wärmetauscher 371 und 372, einen Kühlmittelbehälter 373, einen Behälter 374 für heißes Medium, eine Pumpe 375, Strömungswege 376a bis 376c und ein Ventil 377a bis 377d.
Der Wärmetauscher 371 hat einen Strömungsweg, der mit dem Kühlmittelbehälter 773 verbunden ist, und einen Strömungsweg, der mit den Wärmesenken 443 und 462 verbunden ist, und kühlt das Kühlmittel, das den Wärmesenken 443 und 462 zuzuführen ist, durch Wärmeaustausch zwischen den Strömungswegen. Der Wärmetauscher 371 und die Ventile 377a und 377c sind über einen Strömungsweg 376a verbunden.
Der Wärmetauscher 372 hat einen Strömungsweg, der mit dem Behälter 374 für heißes Medium verbunden ist, und einen Strömungsweg, der mit den Wärmesenken 443 und 462 verbunden ist, und erhitzt das heiße Medium, das den Wärmesenken 443 und 462 zuzuführen ist, durch Wärmeaustausch zwischen den Strömungswegen. Der Wärmetauscher 372 und die Ventile 377b und 377d sind über einen Strömungsweg 376b verbunden.
Die Temperatureinstelleinheit 37 stellt mit dem Ventil 377a den Durchfluss des Kühlmittels ein und stellt mit dem Ventil 377b den Durchfluss des heißen Mediums ein. Das Kühlmittel und das heiße Medium, deren Durchflüsse eingestellt wurden, werden über die Leitungen 444b und 444c der Wärmsenke 443 zugeführt und in der Wärmesenke 443 gemischt. Zu diesem Zeitpunkt ist es möglich, durch Ändern des Mischungsverhältnisses des Kühlmittels und des heißen Mediums mit Hilfe der Ventile 377a und 377b die Temperatur der gemischten Flüssigkeit in der Wärmesenke 443 einzustellen. Die Wärme der gemischten Flüssigkeit in der Wärmesenke 443 wird über den Sockel 443 auf den Sensor 90 übertragen, und dadurch wird die Temperatur des Sensors 90 eingestellt.
Ähnlich stellt die Temperatureinstelleinheit 37 mit dem Ventil 377c den Durchfluss des Kühlmittels und mit dem Ventil 377d den Durchfluss des heißen Mediums ein. Das Kühlmittel und das heiße Medium, deren Durchflüsse eingestellt wurden, wird über die Leitungen 463a und 463b der Wärmesenke 462 zugeführt, und das Kühlmittel und das heiße Medium werden in der Wärmesenke 462 gemischt. Zu diesem Zeitpunkt ist es möglich, durch Ändern des Mischungsverhältnisses des Kühlmittels und des heißen Mediums mit Hilfe der Ventile 377c und 377d die Temperatur der gemischten Flüssigkeit in der Wärmesenke 462 einzustellen. Die Wärme der gemischten Flüssigkeit in der Wärmesenke 462 wird über den konvexen Teil 461 des Stößels 46 auf den Sensor 90 übertragen, und dadurch wird die Temperatur des Sensors 90 eingestellt.
Die Wärmesenke 443 ist über eine Leitung 444d mit dem Strömungsweg 376c verbunden. Die Wärmesenke 462 ist ebenfalls über eine Leitung 463c mit dem Strömungsweg 376c verbunden. Die gemischte Flüssigkeit, die von den Wärmesenken 443 und 462 abgegeben wird, kehrt über den Strömungsweg 376c zu den Wärmetauschern 371 und 372 zurück. Die Pumpe 375 ist in dem Strömungsweg 376c angeordnet und pumpt die gemischte Flüssigkeit.
In dieser Ausführungsform werden das Kühlmittel und das heiße Medium durch eine Temperatureinstelleinheit 37 zu allen (insgesamt 8) Wärmesenken 443 und 462 der Behandlungseinheit 40 zugeführt, doch ist die Erfindung nicht hierauf beschränkt. Zum Beispiel könnte die Testzelle vier Temperatureinstelleinheiten enthalten, und eine Temperatureinstelleinheit könnte dazu konfiguriert sein, das Kühlmittel und das heiße Medium zu den Wärmesenken 443 und 462 einer Behandlungseinrichtung 42 zuzuführen. Alternativ könnte die Testzelle zwei Temperatureinstelleinheiten aufweisen, und das Kühlmittel und das heiße Medium könnten durch eine Temperatureinstelleinheit zu den vier Wärmesenken 443 zugeführt werden, und das Kühlmittel und das heiße Medium könnten durch die andere Temperatureinstelleinheit zu den vier Wärmesenken 462 zugeführt werden.
Im folgenden wird mit Bezug auf 16(a) bis 18 die Arbeitsweise der Behandlungseinrichtung 40 beschrieben werden. 16(a) bis 17(c) sind Querschnittsdarstellungen (Nr. 1 bis Nr. 6) und zeigen die Arbeitsweise der Behandlungseinheit in dieser Ausführungsform, und 18 ist eine vergrößerte Ansicht der Einzelheit XVIII in 17(c).
Zuerst wird der erste Sauggreifer 335 (zweite Sauggreifer 339) des Transportroboters 33, der den ungetesteten Sensor 90 hält, über das Fenster 412a des Deckels 412 bewegt, und der Verschluss 413 der Trockenkammer 41 wird bewegt, um das Fenster 412a zu öffnen (siehe 16(a)).
Als nächstes wird der erste Sauggreifer 335 (zweite Sauggreifer 339) des Transportroboters 33 abgesenkt, und der Sensor 90 wird auf dem in dem Basisteil 44 angeordneten Sockel 445 abgelegt (siehe 16(b)). In diesem Zustand ist der Kopfteil 45 von dem oben genannten Basisteil 44 zurückgezogen.
Als nächstes wird der erste Sauggreifen 335 (zweite Sauggreifer 339) des Transportroboters 33 angehoben und aus der Behandlungseinheit 40 zurückgezogen (siehe 16c)). Als nächstes wird der Verschluss 413 der Trockenkammer 41 bewegt, um das Fenster 412a zu schließen (siehe 17(a)).
Als nächstes wird durch Ansteuerung des Aktuators 472 der Kopfteil 45 über den Basisteil 44 bewegt (siehe 17(b)). Danach wird der Aktuator 484 des Andruckmechanismus 48 aktiviert, um die Nockenplatte 481 in Richtung auf den Kopfteil 45 zu bewegen (siehe 17(c)). Infolgedessen rollt der Nockenfolger 464 des Stößels 46 an der Steuernut 482 der Nockenplatte 481 entlang, und der Stößel 46 des Kopfteils 45 senkt sich ab.
Wenn der Stößel 46 mit dem Basisteil 44 in Kontakt kommt, wie in 18 gezeigt ist, so wird zwischen dem Stößel 46 und dem Basisteil 44 ein abgedichteter Raum 431 gebildet, der den konkaven Teil 441 einschließt. In diesem Zustand wird der Sensor 90 durch den konvexen Teil 461 des Stößels 46 gegen den Sockel 445 angedrückt und elektrisch mit dem Sockel 445 verbunden.
Als nächstes wird der Sensor 90 getestet. Im einzelnen wird zunächst die Temperatur des Sensors 90 auf einen vorbestimmten Wert eingestellt, durch Zuführen eines Kühlmittels und eines heißen Mediums von der Temperatureinstelleinheit 37 zu den Wärmesenken 443 und 462 des Basisteils 44 und des Kopfteils 45. Als nächstes stellt die Druckeinstelleinheit 36 den Druck der Atmosphäre in dem abgedichteten Raum 431 auf einen vorbestimmten Wert ein, so dass ein vorbestimmter Druck auf den Sensor 90 ausgeübt wird. Dann, in einem Zustand, in dem die Temperatur des Sensors 90 auf einer vorbestimmten Temperatur gehalten wird und ein vorbestimmter Druck auf den Sensor 90 ausgeübt wird, nimmt die Testeinheit 35 über den Sockel 445 ein elektrisches Ausgangssignal von dem Sensor 90 auf und bewertet die Qualität des Sensors 90.
19 ist ein Blockdiagramm und zeigt ein Steuersystem des Sensortestsystems gemäß dieser Ausführungsform.
Jede der Testzellen 30A bis 30D in der Testgerätegruppe 20 hat das Steuersystem, das oben mit Bezug auf 13 beschrieben wurde. Das heißt, wie in 19 gezeigt ist, die Testzellen 30A bis 30D haben jeweilige Steuereinheiten 34A bis 34D. Wie oben beschrieben wurde, haben die Ladestation 10 und die Entladestation 80 jeweilige Steuereinheiten 15 und 85, und die Bewegungseinrichtungen 70 haben ebenfalls jeweilige Steuereinheiten 75.
In dieser Ausführungsform sind alle der Steuereinheiten 15, 34A bis 34D, 75 und 85 für die Kommunikation mit dem Sensortestsystem 1 verbunden. Die Steuereinheit 34D der Testzelle 30D am hinteren Ende managet kollektiv die Steuerungen in dem Sensortestsystem 1. Speziell steuert die Steuereinheit 34D der Testzelle 30D die verbleibenden Steuereinheiten 15, 34A bis 34C, 75, 85, und die verbleibenden Steuereinheiten 15, 34A bis 34C, 75, 85 sind dazu konfiguriert, gemäß Befehlen der Steuereinheit 34D der Testzelle 30D zu arbeiten.
Das heißt, in der vorliegenden Ausführungsform wird ein sogenanntes Master/Slave-System eingesetzt, bei dem die Steuereinheit 34D der Testzelle 30D einem „Master“ entspricht und die anderen Steuereinheiten 15, 34A bis 34C, 75, 85 einem „Slave“ entsprechen. Dies beseitigt den Bedarf für eine spezialisierte Steuereinrichtung zur kollektiven Verwaltung der Steuerungen in dem Sensortestsystem, wodurch die Kosten des Systems verringert werden. Die Steuereinheit des Masters, die kollektiv die Steuerungen in dem Sensortestsystem 1 verwaltet, kann anstelle der Steuereinheit 34D der Testzelle 30D auch irgendeine der Steuereinheiten 34A bis 34C der Testeinheiten 30A bis 30C sein.
Wieder mit Bezug auf 1, wenn in dem Sensortestsystem 1 nach dieser Ausführungsform der Sensor 90 von der Ladestation 10 in die Testzellgruppe 20 eingetragen wird, so wird der erste Test in der ersten Testzelle 30A ausgeführt. Der erste Test ist z.B. ein Niederdrucktest in einer Umgebung mit niedriger Temperatur. Wenn der Test in der Testzelle 30A abgeschlossen ist, wird der Sensor 90 durch die Bewegungseinrichtung 70 in die nächste Testzelle 30B überführt.
Der zweite Test wird in der Testzelle 30B ausgeführt. Der zweite Test ist ein Test unter anderen Bedingungen als bei dem ersten Test, z.B. ein Hochdrucktest in einer Umgebung unter niedriger Temperatur. Wenn der Test in der Testzelle 30B abgeschlossen ist, wird der Sensor 90 mit der Bewegungseinrichtung 70 in die nächste Testzelle 30C überführt.
Ein dritter Test wird in der Testzelle 30C ausgeführt. Der dritte Test ist ein Test unter andern Bedingungen als bei dem ersten und dem zweiten Test, z.B. ein Niederdrucktest in einer Umgebung mit hoher Temperatur. Ohne hierauf beschränkt zu sein ist er dritte Test ein Test, bei dem der Sensor 90 in einem Zustand getestet wird, in dem seine Temperatur höher ist als bei dem ersten Test. Wenn der Test in der Testzelle 30C abgeschlossen ist, wird der Sensor durch die Bewegungseinrichtung 70 zu der letzten Testzelle 30D überführt.
Ein vierter Test wird in der Testzelle 30D ausgeführt. Der vierte Test ist ein Test unter anderen Bedingungen als bei dem ersten bis dritten Test, z.B. ein Hochdrucktest in einer Umgebung mit hoher Temperatur. Ohne hierauf beschränkt zu sein ist er vierte Test ein Test, bei dem der Sensor 90 in einem Zustand getestet wird, in dem seine Temperatur höher ist als bei dem zweiten Test. Wenn der Test in der Testzelle 30D abgeschlossen ist, wird der Sensor 90 durch die Entladestation 80 aus der Testzellgruppe 20 ausgetragen.
Auf diese Weise ist es durch sequenzielle Ausführung der Tests an den Sensoren 90 mit den Testzellen 30A bis 30D möglich, mehrere Typen (vier Typen in diesem Beispiel) von Tests an einem Sensor 90 vorzunehmen. Der Inhalt der ersten bis vierten Tests ist nicht auf das oben beschriebene Beispiel beschränkt.
Wie oben beschrieben wurde, umfasst bei dieser Ausführungsform das Sensortestsystem eine Vielzahl von Sensortestgeräten 30A bis 30D, und die Sensortestgeräte 30A bis 30D sind so miteinander gekoppelt (verbunden), dass der Sensor 90 durchgereicht werden kann. Deshalb kann eine Vielzahl von Bedingungen für denselben Sensor 90 effizient getestet werden, so dass das Sensortestsyystem 1 mit ausgezeichnetem Durchsatz geschaffen wird.
Wie oben beschrieben wurde, kann das Testobjekt des Sensortestsystems 1 ein anderer Sensor als ein Drucksensor sein, und in diesem Fall ist es notwendig, die Behandlungseinheit jeder Testzelle 30 auszutauschen. Wenn z.B. das Testobjekt des Sensortestsystems 1 ein Differenzdrucksensor ist, so wird eine Behandlungseinheit verwendet, die eine Behandlungseinrichtung hat, wie sie in 20 gezeigt ist. Wenn das Testobjekt des Sensortestsystems 1 ein Magnetsensor ist, wird eine Behandlungseinheit verwendet, die eine Behandlungseinrichtung hat, wie sie in 21 gezeigt ist.
20 ist ein Diagramm und zeigt eine erste Abwandlung der Behandlungseinrichtung in dieser Ausführungsform und ist eine Querschnittsdarstellung einer Behandlungseinrichtung für einen Differenzdrucksensor.
Wie in 20 gezeigt ist, hat der Differenzdrucksensor 91 zwei Druckeingänge 911 und 912. Der Differenzdrucksensor 91 detektiert einen ersten Druck über einen ersten Druckeingang 911 und detektiert einen zweiten Druck über einen zweiten Druckeingang 912. Der erste Druck und der zweite Druck haben voneinander verschiedene Druckwerte, und der Differenzdrucksensor 91 berechnet eine Differenz zwischen dem ersten Druck und dem zweiten Druck und gibt ein dem Berechnungsergebnis entsprechendes elektrisches Signal aus.
Wenn das Testobjekt des Sensortestsystems der Differenzdrucksensor 91 ist, so wird als die Behandlungseinheit für den Differenzdrucksensor eine der Behandlungseinheiten verwendet, in der die Behandlungseinrichtung 42 durch die in 20 gezeigte Behandlungseinrichtung 52 ersetzt ist. Die Behandlungseinheit hat die gleiche Konfiguration wie die oben beschriebene Behandlungseinheit 40 mit der Ausnahme, dass die Behandlungseinrichtung 42 durch die Behandlungseinrichtung 52 ersetzt ist.
Wie in 20 gezeigt ist, hat die Behandlungseinrichtung 52 für den Differenzdrucksensor einen Basisteil 54, einen Kopfteil 55 und einen (nicht gezeigten) Andruckmechanismus. Der Andruckmechanismus hat die gleiche Konfiguration wie der oben beschriebene Andruckmechanismus 48.
Der Basisteil ist so an der Bodenfläche des Gehäuses der Trockenkammer befestigt, dass er dem Fenster des Deckels der Trockenkammer gegenüberliegt. Auf der oberen Oberfläche des Basisteils 54 ist ein Sockel 541 angeordnet. Der Sockel 541 hat die gleiche Konfiguration wie der oben beschriebene Sockel 445 und ist elektrisch mit der Testeinheit 35 verbunden.
Im Inneren des Basisteils 54 ist eine Wärmesenke 542 gebildet. Die Wärmesenke 542 hat die gleiche Konfiguration wie die oben beschriebene Wärmesenke 443 und ist mit der Temperatureinstelleinheit 37 verbunden. Die Wärmesenke 542 ist direkt unter dem Sockel 541 angeordnet und kann den Sensor 91 über den Sockel 541 heizen/kühlen.
Der Kopfteil 55 umfasst einen Stößel 56, eine erste Druckdüse 57, eine zweite Druckdüse 58 und eine (nicht gezeigte) Halteplatte. Die Halteplatte hat die gleich Konfiguration wie die oben beschriebene Halteplatte 47 und hält über einen Anschlag und eine Schraubenfeder den Stößel 56 so dass er beweglich ist und ist mit Hilfe eines Aktuators in der Y-Richtung bewegbar ist.
Die ersten und zweiten Druckdüsen 57 und 58 gehen durch den Stößel 56 hindurch und münden an der Spitze des Stößels 56. An der Spitze der ersten Druckdüse 57 ist ein O-Ring 571 angebracht, und an der Spitze der zweiten Druckdüse 58 ist ein O-Ring 581 angebracht. Die erste Druckdüse 57 ist mit der ersten Druckeinstelleinheit 36A verbunden, und die zweite Druckdüse 58 ist mit der zweiten Druckeinstelleinheit 36B verbunden. Die Testzelle mit der Behandlungseinrichtung 52 für den Differenzdrucksensor hat zwei Druckeinstelleinheiten 36A und 36B anstelle der Druckeinstelleinheit 36, und die ersten und zweiten Druckeinstelleinheiten 36A und 36B haben die gleiche Konfiguration wie die oben beschriebene Druckeinstelleinheit 36. Von den ersten und zweiten Druckeinstelleinheiten 36A und 36B werden unterschiedliche Drücke zugeführt.
Da die ersten und zweiten Druckdüsen 57 und 58 in der Mittel der distalen Stirnfläche des Stößels 56 münden, berührt der äußere Umfangsbereich der distalen Stirnfläche des Stößels 56 den Sensor 91. Im Inneren des Stößels 56 ist eine Wärmesenke 561 angeordnet. Die Wärmesenke 561 hat die gleiche Konfiguration wie die Wärmesenke 462, die oben beschrieben wurde, und ist mit der Temperatureinstelleinheit 37 verbunden. Obgleich dies nicht im einzelnen gezeigt ist, hat der Stößel 56 einen Nockenfolger (nicht gezeigt), der die gleiche Konfiguration hat wie der oben beschriebene Nockenfolger 464.
Der Test unter Verwendung der Behandlungseinheit mit der Behandlungseinrichtung 52 wird wie folgt ausgeführt. Wenn der Sensor 91 auf dem Sockel 541 abgelegt ist, bewegt sich der Kopfteil 55 horizontal über den Sensor 91. Als nächstes wird der Kopfteil 55 durch die horizontale Bewegung des Andruckmechanismus abgesenkt, und dadurch wird der Sensor 91 durch den Stößel 56 gegen den Sockel 541 gedrückt, und der Sensor 91 und der Sockel 541 werden elektrisch miteinander verbunden. Gleichzeitig wird die erste Druckdüse 57 mit dem ersten Druckeingang 911 des Sensors 91 verbunden, und die zweite Druckdüse 58 wird mit dem zweiten Druckeingang 912 des Sensors 91 verbunden.
Dann wird der Sensor 91 getestet. Im einzelnen wird zunächst die Temperatur des Sensors 91 auf einen vorbestimmten Wert eingestellt, durch Zuführen eines Kühlmittels und eines heißen Mediums von der Temperatureinstelleinheit 37 zu den Wärmesenken 542 und 561 des Basisteils 54 und des Kopfteils 55. Als nächstes wird durch die erste Druckeinstelleinheit 36A ein erster Druck an den ersten Druckeingang 911 des Sensors 91 angelegt, und durch die zweite Druckeinstelleinheit 36B wird ein zweiter Druck an den zweiten Druckeingang 912 des Sensors 91 angelegt. Dann nimmt die Testeinheit 35 über den Sockel 541 den Test an dem Sensor 91 vor, während die Temperatur des Sensors 91 gehalten wird und die ersten und zweiten Drücke an dem Sensor 91 anliegen.
Die ersten und zweiten Druckdüsen 57 und 58 in dieser Ausführungsform entsprechen einem Beispiel für den „Differenzialdruck-Anlegeteil“ im Sinne der Erfindung, und die Wärmesenken 542 und 561 in dieser Ausführungsform entsprechen einem Beispiel für den „Temperatureinstellteil“ im Sinne der Erfindung.
21 ist ein Diagramm und zeigt eine zweite Modifikation der Behandlungseinrichtung in dieser Ausführungsform und ist eine Querschnittsdarstellung einer Behandlungseinrichtung für einen Magnetsensor.
Der Magnetsensor 92 detektiert die Stärke des Magnetfeldes, das an den Magnetsensor 92 angelegt wird, und gibt ein dem Detektionsergebnis entsprechendes elektrisches Signal aus. Der Anwendungszweck des Magnetsensors ist nicht besonders beschränkt und er kann z.B. ein Stromsensor sein.
Wenn das Testobjekt des Sensortestsystems 1 der Magnetsensor 92 ist, wird als die Behandlungseinheit für den Magnetsensor eine Behandlungseinheit verwendet, bei der die Behandlungseinrichtung 42 durch die Behandlungseinrichtung 62 ersetzt ist, die in 21 gezeigt ist. Diese Behandlungseinheit hat die gleiche Konfiguration wie die oben beschriebene Behandlungseinheit 40, mit der Ausnahme, dass die Behandlungseinrichtung 42 durch die Behandlungseinrichtung 62 ersetzt ist.
Wie in 21 gezeigt ist, hat die Behandlungseinrichtung 62 für einen Magnetsensor 64 einen Kopfteil 65, zwei Elektromagnete 67 und einen (nicht gezeigten) Andruckmechanismus. Der Andruckmechanismus hat die gleiche Konfiguration wie der oben beschriebene Andruckmechanismus 48.
Der Basisteil 64 ist so an der Bodenfläche des Gehäuses der Trockenkammer befestigt, dass er dem Fenster des Deckels der Trockenkammer gegenüberliegt. Auf der oberen Oberfläche des Basisteils 64 ist ein Sockel 641 angeordnet. Der Sockel 641 hat die gleiche Konfiguration wie der oben beschriebene Sockel 445 und ist elektrisch mit der Testeinheit 35 verbunden.
Im Inneren des Basisteils 64 ist eine Wärmesenke 642 gebildet. Die Wärmesenke 642 hat die gleiche Konfiguration wie die oben beschriebene Wärmesenke 443 und ist mit der Temperatureinstelleinheit 37 verbunden. Die Wärmesenke 642 ist direkt unter dem Sockel 641 angeordnet und kann über den Sockel 641 den Magnetsensor 92 erhitzen/kühlen.
Der Kopfteil 65 umfasst einen Stößel 66 und eine (nicht gezeigte) Halteplatte zum Halten des Stößels 66. Die Halteplatte hat die gleiche Konfiguration wie die oben beschriebene Halteplatte 47 und hält den Stößel 66 über einen Anschlag und eine Schraubenfeder so, dass er beweglich ist, und ist mit Hilfe eines Aktuators in der Y-Richtung beweglich ist.
Im Inneren des Stößels 66 ist eine Wärmesenke 661 vorgesehen. Die Wärmesenke 661 hat die gleiche Konfiguration wie die oben beschriebene Wärmesenke 462 und ist mit der Temperatureinstelleinheit 37 verbunden. Obgleich dies nicht im einzelnen gezeigt ist, hat der Stößel 66 einen (nicht gezeigten) Nockenfolger, der die gleiche Konfiguration hat wie der oben beschriebene Nockenfolger 464.
Die beiden Elektromagnete 67 sind einander gegenüberliegend angeordnet, so dass sie den Sensor 92 auf dem Sockel 641 sandwichartig zwischen sich aufnehmen. Jeder Elektromagnet 67 hat einen Kern 671 und eine Spule 675.
Der Kern 671 ist ein Ferrit (Eisenkern) zur Erhöhung des in der Spule 675 erzeugten magnetischen Flusses und ermöglicht es, dass ein geschlossener Kreis (magnetischer Kreis), der durch den magnetischen Fluss gebildet wird, durch den Magnetsensor 92 hindurchgeht. Der Kern 671 hat einen Hauptkörper 672, einen ersten Vorsprung 673 und einen zweiten Vorsprung 674. Der Hauptkörper 672 ist ein säulenförmiger Teil, der sich entlang der Normalen (Z-Richtung) der Hauptfläche des Sockels 641 erstreckt, und die Spule 675 ist auf den Hauptkörper 672 gewickelt. Der erste vorspringende Teil 673 springt vom oberen Ende des Hauptkörpers 672 in Richtung auf den ersten vorspringenden Teil 673 des anderen Elektromagneten 67 vor. Der mit dem Sockel 641 verbundene Magnetsensor 92 liegt zwischen den beiden ersten Vorsprüngen 673. Der zweite vorspringende Teil 674 springt ebenfalls vom unteren Ende des Hauptkörpers 672 in Richtung auf den zweiten vorspringenden Teil 674 des anderen Elektromagneten 67 vor, und die beiden vorspringenden Teile liegen einander gegenüber.
Die Spule 675 ist ein leitfähiger Draht, der um den Hauptkörper 672 des Kerns 671 gewickelt ist, und ist mit der Magnetfeldeinstelleinheit 38 verbunden. Die Testzelle mit der Behandlungseinrichtung 62 für den Magnetsensor enthält eine Magnetfeldeinstelleinheit 38 anstelle der Druckeinstelleinheit 36. Wenn ein Strom von der Magnetfeldeinstelleinheit 38 zu der Spule 675 fließt, wird ein magnetischer Fluss erzeugt, und der magnetische Fluss bildet eine geschlossenen Schleife wie etwa den Hauptkörper 671 des einen Kerns 671, den ersten Vorsprung 672 des einen Kerns 671, den Magnetsensor 92, den ersten Vorsprung 672 des anderen Kerns 671, den Hauptkörper 671 des anderen Kerns 671, den zweiten Vorsprung 673 des anderen Kerns 671 und den zweiten Vorsprung 672 des anderen Kerns 671.
Der Test unter Verwendung der Behandlungseinheit mit der Behandlungseinrichtung 62 wird wie folgt ausgeführt. Wenn der Sensor 92 auf dem Sockel 641 abgesetzt ist, bewegt sich der Kopfteil 65 über den Sensor 92. Als nächstes wird der Kopfteil 65 durch die horizontale Bewegung des Andruckmechanismus angesenkt, wodurch der Sensor 92 mit dem Stößel 66 gegen den Sockel 641 angedrückt wird und der Sensor 92 und der Sockel 641 elektrisch miteinander verbunden werden. Zu diesem Zeitpunkt ist der Sensor 92 zwischen den einander gegenüberliegenden ersten Vorsprüngen 673 der beiden Kerne 671 positioniert.
Dann wird der Sensor 92 getestet. Im einzelnen wird zunächst die Temperatur des Sensors 92 auf einen vorbestimmten Wert eingestellt, durch Zufuhr eines Kühlmittels und eines heißen Mediums von der Temperatureinstelleinheit 37 zu den Wärmesenken 642 und 661 des Basisteils 64 und des Kopfteils 65. Als nächstes wird durch die Magnetfeldeinstelleinheit 38 ein Magnetfeld einer vorbestimmten Stärke an den Sensor 92 angelegt. Dann führt die Testeinheit 35 über den Sockel 641 den Test des Sensors 92 durch, während die Temperatur des Sensors 92 gehalten wird und das Magnetfeld am Sensor 92 anliegt.
Die beiden Elektromagnete 67 in dieser Ausführungsform entsprechen einem Beispiel für den „Magnetfeldanlegeteil“ im Sinne der Erfindung, die Wärmesenken 642 und 661 in dieser Ausführungsform entsprechen einem Beispiel für den „Temperatureinstellteil“ im Sinne der Erfindung.
Die oben beschriebenen Ausführungsformen dienen zum leichteren Verständnis der Erfindung und sollen die Erfindung nicht beschränken. Die in den oben beschriebenen Ausführungsformen dargestellten Elemente umfassen deshalb alle konstruktiven Änderungen und Äquivalente im technischen Rahmen der Erfindung.
Bezugszeichenliste

1: Sensortestsystem
10: Ladestation
15: Steuereinheit
20: Testzellgruppe
30, 30A bis 30D: Testzelle
301: Gerätehauptkörper
40: Behandlungseinheit
42: Behandlungseinrichtung
43: Druckkammer
44: Basisteil
443: Wärmesenke
445: Sockel
46: Stößel
462: Wärmesenke
52: Behandlungseinrichtung
57: erste Druckdüse
58: zweite Druckdüse
62: Behandlungseinrichtung
67: Elektromagnet
34, 34A bis 34D: Steuereinheit
35: Testeinheit
36: Druckeinstelleinheit
37: Temperatureinstelleinheit
38: Magnetfeldeinstelleinheit
70: Bewegungseinrichtung
75: Steuereinheit
80: Entladestation
85: Steuereinheit
90, 90': Drucksensor
91: Differenzdrucksensor
92: Magnetsensor

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

JP 11339232 A [0003]

Claims

Ein Sensortestsystem, das einen Sensor testet, der eine erste physikalische Größe detektiert, wobei das Sensortestsystem aufweist: eine Testgerätegruppe mit einer Vielzahl von Sensortestgeräten, die so aneinander gekoppelt sind, dass der Sensor durchgereicht werden kann, wobei jedes der Sensortestgeräte aufweist: eine Behandlungseinheit mit wenigstens einer Behandlungseinrichtung, die umfasst: einen Sockel, mit welchem der Sensor elektrisch verbunden wird, und einen ersten Behandlungsteil, der den Sensor mit einer ersten physikalischen Größe beaufschlagt; eine Testeinheit, die den Sensor über den Sockel testet; und eine erste Transporteinrichtung, die den Sensor in die und aus der Behandlungseinheit transportiert.
Das Sensortestsystem nach Anspruch 1, bei dem jedes der Sensortestgeräte einen Gerätehauptkörper aufweist, der die Behandlungseinheit, die Testeinheit und die erste Transporteinrichtung aufnimmt, der Gerätehauptkörper aufweist: eine erste Öffnung, durch welche der Sensor in eine erste Position in dem Sensortestgerät zugeführt wird, und eine zweite Öffnung, durch welche der Sensor aus einer zweiten Position in dem Sensortestgerät ausgetragen wird, die Sensortestgeräte ein erstes Sensortestgerät und ein zweites Sensortestgerät umfassen, die einander benachbart sind, und die zweite Öffnung des ersten Sensortestgerätes und die erste Öffnung des zweiten Sensortestgerätes einander zugewandt sind.
Das Sensortestsystem nach Anspruch 2, bei dem die Testgerätegruppe eine zweite Transporteinrichtung aufweist, die sich von der zweiten Position des ersten Sensortestgerätes zu der ersten Position des zweiten Sensortestgerätes bewegt, und die zweite Transporteinrichtung den Sensor durch die zweite Öffnung des ersten Sensortestgerätes und die erste Öffnung des zweiten Sensortestgerätes von dem ersten Sensortestgerät zu dem zweiten Sensortestgerät überführt.
Das Sensortestsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem jedes der Sensortestgeräte eine Steuereinheit aufweist, die die Behandlungseinheit, die Testeinheit und die erste Transporteinrichtung steuert, und die Steuereinheit eines der Sensortestgeräte die Steuereinheiten der übrigen Sensortestgeräte steuert.
Das Sensortestsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei dem das Sensortestsystem aufweist: eine Zufuhreinrichtung, die den noch nicht getesteten Sensor zu der Testgerätegruppe zuführt, und eine Austrageinrichtung, die den getesteten Sensor aus der Testgerätegruppe austrägt.
Das Sensortestsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem der erste Behandlungsteil ein Druckanlegeteil ist, der einen Druck an den Sensor anlegt,
Das Sensortestsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem der erste Behandlungsteil ein Differenzdruck-Anlegeteil ist, der zwei Arten von Drücken an den Sensor anlegt.
Das Sensortestsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem der erste Behandlungsteil ein Magnetfeld-Anlegeteil ist, der ein Magnetfeld an den Sensor anlegt.
Das Sensortestsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 8, bei dem die Behandlungseinrichtung einen zweiten Behandlungsteil aufweist, der eine zweite physikalische Größe, die von der ersten physikalischen Größe verschieden ist, an den Sensor anlegt, und die Sensortestgeräte umfassen: ein Sensortestgerät, das die zweite physikalische Größe mit einem ersten Wert an den Sensor anlegt; und ein Sensortestgerät, das die zweite physikalische Größe mit einem zweiten, von dem ersten Wert verschiedenen Wert an den Sensor anlegt.
Das Sensortestsystem nach Anspruch 9, bei dem der zweite Behandlungsteil ein Temperatureinstellteil ist, der einen thermischen Stress auf den Sensor ausübt, um die Temperatur des Sensors einzustellen.
Das Sensortestsystem nach Anspruch 10, bei dem die Behandlungseinrichtung einen Stößel aufweist, der den Sensor kontaktiert und den Sensor gegen den Sockel andrückt, und der Temperatureinstellteil in dem Stößel angeordnet ist.