JP2004207689A - 異方導電性フィルム、その製造方法及びプローブ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 従来の異方導電性フィルムは、絶縁性フィルムの孔に電気メッキによってバンプを有する導電体として成長させるため高価になり、バンプの高さを均一に揃えることが難しく、導電体自体がフィルムの伸縮により寸法安定性が悪く高価であった。
【解決手段】異方導電性フィルム10は、検査用基板60とウエハWとの間に介在し、検査用基板60の複数のバンプ61と複数の電極パッドPとの間の導通を取るための異方導電性フィルムであって、絶縁性フィルム11と、この絶縁性フィルム11を貫通して所定のパターンで配置された複数の球形の導電体12と、絶縁性フィルム11をその周囲から張設して支持する枠体とを備え、各球形の導電体12の一部を絶縁性フィルム11の両面からそれぞれ突出させたものである。
【選択図】 図8
【解決手段】異方導電性フィルム10は、検査用基板60とウエハWとの間に介在し、検査用基板60の複数のバンプ61と複数の電極パッドPとの間の導通を取るための異方導電性フィルムであって、絶縁性フィルム11と、この絶縁性フィルム11を貫通して所定のパターンで配置された複数の球形の導電体12と、絶縁性フィルム11をその周囲から張設して支持する枠体とを備え、各球形の導電体12の一部を絶縁性フィルム11の両面からそれぞれ突出させたものである。
【選択図】 図8
Description
本発明は、異方導電性フィルム、その製造方法及びプローブ装置に関する。
異方導電性フィルムとしては、例えば特許文献1に記載の半導体装置に用いられた異方導電性フィルムが知られている。この異方導電性フィルム1には、図9に示すように、絶縁体層1Aの一方の表面から他方の表面まで連通する導通路1Bが複数形成されている。各導通路は、絶縁体層の表面よりも外方に突出して形成された第1及び第2接点部であるところの金属突起物(バンプ)にそれぞれ接続され、第1バンプ1Cは導通路1Bを介してそれぞれ第2バンプ1Dに導通されている。この異方導電性フィルム1は、絶縁体層と導電性物質層の積層基材を用いて概ね次のように製造する。即ち、積層基材の絶縁体層に孔を設け、この孔を介して導電性物質層表面にエッチング等により凹部を設けた後、メッキ法によりバンプ及び導通路を設ける。その後、エッチング等により導電性物質層を除去して異方導電性フィルムを得る。
上記異方導電性フィルム1を例えばウエハの検査用として使用する場合には、異方導電性フィルム1を検査用基板とウエハとの間に配置し、検査用基板とウエハとを異方導電性フィルム1を介して圧接すると、絶縁性フィルム1Aの全面に配置された第1、第2バンプ1C、1Dがそれぞれ検査用基板のバンプ(電極)とウエハの電極パッド(電極)とを電気的に導通し、ウエハの検査を行なうことができるようになる。
しかしながら、特許文献1に記載の異方導電性フィルム1は、絶縁性フィルム1Aにレーザ光等により穿孔し、これらの孔に電気メッキによって金属を埋め込み、バンプを有する導電体1Bとして成長させるため高価になり、絶縁性フィルム1A全面のバンプの高さを均一の揃えることが難しく、況して絶縁性フィルムの面積が大きくなるとバンプの高さを均一に揃えることが益々難しくなり、また、場合によってはバンプの脱落を生じるという課題があった。また、積層基材の導電性物質層をエッチング等により除去した後には、絶縁性フィルム1Aとして例えばポリイミド系樹脂を用いた場合にはレーザ加工後の寸法から0.05%程度伸縮するという課題があった。
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、メッキ処理を使うことなく低コストで製造することができ、しかも導電体の高さを揃えることができる異方導電性フィルム及びその製造方法を提供することを目的としている。また、本発明は、上記異方導電性フィルムを用いて被検査体の検査を行う際に、被検査体と検査用基板とを正確且つ確実に電気的に接続することができ、延いては被検査体の検査の信頼性を高めることができるプローブ装置を併せて提供する。
本発明の請求項1に記載の異方導電性フィルムは、検査用基板と被検査体との間に介在し、上記検査用基板の複数の電極と上記被検査体の複数の電極との間の導通を取るための異方導電性フィルムであって、絶縁性フィルムと、この絶縁性フィルムを貫通して所定のパターンで配置された複数の球形の導電体と、上記絶縁性フィルムをその周囲から張設して支持する枠体とを備え、上記各球形の導電体の一部を上記絶縁性フィルムの両面からそれぞれ突出させたことを特徴とするものである。
また、本発明の請求項2に記載の異方導電性フィルムは、請求項1に記載の発明において、上記絶縁性フィルムをその周囲から張設して支持する枠体を備えたことを特徴とするものである。
また、本発明の請求項3に記載の異方導電性フィルムは、請求項1または請求項2に記載の発明において、上記絶縁性フィルムの上記被検査体と接触する方の面を、金属粉末を含む樹脂によって被覆したことを特徴とするものである。
また、本発明の請求項4に記載の異方導電性フィルムは、請求項3に記載の発明において、上記樹脂が離型剤からなることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項5に記載の異方導電性フィルムは、請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の発明において、上記球形の導電体は、上記検査用基板と上記被検査体とが互いに接近する方向に押圧されて電気的導通を取る際に、上記球形の導電体が潰れる硬さを有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項6に記載の異方導電性フィルムは、請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の発明において、上記球形の導電体は、Hv50〜300のヴィッカース硬度を有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項7に記載の異方導電性フィルムは、請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の発明において、上記枠体は、磁性体であることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項8に記載の異方導電性フィルムは、請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載の発明において、上記検査用基板の各電極と上記被検査体の各電極と上記球形の導電体とは、それぞれ同一パターンで配置されていることを特徴とすることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項9に記載の異方導電性フィルムの製造方法は、絶縁性フィルムに、その上面の開口径が球形の導電体の直径より大きく且つその下面の開口径が上記球形の導電体の直径より小さい孔を所定のパターンで穿孔する工程と、上記絶縁性フィルムの孔に上記球形の導電体の一部を上下に突出させて嵌め込む工程と、上記導電体を上記絶縁性フィルムの孔に固定する工程とを備えたことを特徴とするものである。
また、本発明の請求項10に記載の異方導電性フィルムの製造方法は、所定のパターンで形成された基体上の凹部内に球形の導電体を嵌め込む工程と、上記球形の導電体の一部を突出させて上記基体の上面に硬化性樹脂を塗布して絶縁性フィルムを形成する工程と、上記絶縁性フィルムを上記導電体と一緒に上記基体から剥離する工程とを備えたことを特徴とすることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項11に記載の異方導電性フィルムの製造方法は、請求項9または請求項10に記載の発明において、上記絶縁性フィルムの上記被検査体と接触する方の面を、金属粉末を含む樹脂によって被覆する工程を備えたことを特徴とするものである。
また、本発明の請求項12に記載の異方導電性フィルムの製造方法は、請求項11に記載の発明において、上記樹脂として離型剤を用いることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項13に記載のプローブ装置は、下面に複数の電極を有し且つ上記各電極とテスタとを接続するためのインターフェースを有する検査用基板と、この検査用基板と接触させる被検査体を載置する、移動可能な載置台と、上記検査用基板と上記被検査体との間に配置された異方導電性フィルムとを備え、上記検査用基板と上記被検査体とを上記異方導電性フィルムを介して接触させて上記被検査体の電気的特性検査を行うプローブ装置であって、上記異方導電性フィルムは、絶縁性フィルムと、この絶縁性フィルムを貫通して所定のパターンで配置された複数の球形の導電体と、上記絶縁性フィルムをその周囲から張設して支持する枠体とを備え、上記各球形の導電体の一部を上記絶縁性フィルムの両面からそれぞれ突出させたことを特徴とすることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項14に記載のプローブ装置は、請求項13に記載の発明において、上記絶縁性フィルムの上記被検査体と接触する方の面を、金属粉末を含む樹脂によって被覆したことを特徴とするものである。
また、本発明の請求項15に記載のプローブ装置は、請求項14に記載の発明において、上記樹脂が離型剤からなることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項16に記載のプローブ装置は、請求項13〜請求項15のいずれか1項に記載の発明において、上記球形の導電体は、上記異方導電性フィルムが押圧されて上記被検査体を検査する時に、上記球形の導電体が潰れる硬さを有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項17に記載のプローブ装置は、請求項13〜請求項16のいずれか1項に記載の発明において、上記球形の導電体は、Hv50〜300のヴィッカース硬度を有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項18に記載のプローブ装置は、請求項13〜請求項17のいずれか1項に記載の発明において、上記異方導電性フィルムは、上記被検査体の検査を行う前に、上記載置台または上記検査用基板のいずれか一方に位置合わせを行って保持されることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項19に記載のプローブ装置は、請求項13〜請求項18のいずれか1項に記載の発明において、上記異方導電性フィルムを保持する取付体を、上記検査用基板を保持する部材に着脱可能に取り付けることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項20に記載のプローブ装置は、請求項19に記載の発明において、上記枠体は磁性体からなり、且つ上記取付体は上記枠体を吸着保持する磁石を備えたことを特徴とするものである。
また、本発明の請求項21に記載のプローブ装置は、請求項13〜請求項19のいずれか1項に記載の発明において、上記載置台は上記枠体を吸着保持する吸着手段を有することを特徴とするものである。
本発明の請求項1〜請求項12に記載の発明によれば、メッキ処理を使うことなく低コストで製造することができ、しかも導電体の高さを揃えることができる異方導電性フィルム及びその製造方法を提供することができる。
また、本発明の請求項13〜請求項21の発明によれば、本発明の異方導電性フィルムを用いて被検査体の検査を行う際に、被検査体と検査用基板とを正確且つ確実電気的に接続することができ、延いては被検査体の検査の信頼性を高めることができるプローブ装置を併せて提供することができる。
以下、図1〜図8に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。
本実施形態の異方導電性フィルム10は、例えば図1の(a)、(b)に示すように、絶縁性フィルム11と、この絶縁性フィルム11を貫通して所定のパターンで配置された複数の導電体12とを備えている。この異方導電性フィルム10は、例えばエレクトロマイグレーション試験等の信頼性試験に好適に使用することができる。即ち、後述するように検査用基板とウエハ間に介在させ、これら三者を特別に工夫された載置台上で一体化する。信頼性試験に用いる場合には、異方導電性フィルム10は、図1の示すようにウエハの外径よりもやや大径の金属枠20に張設して使用する。金属枠20の材質としては、例えばSUS430(磁性体のステンレス)が好ましい。
本実施形態の異方導電性フィルム10は、例えば図1の(a)、(b)に示すように、絶縁性フィルム11と、この絶縁性フィルム11を貫通して所定のパターンで配置された複数の導電体12とを備えている。この異方導電性フィルム10は、例えばエレクトロマイグレーション試験等の信頼性試験に好適に使用することができる。即ち、後述するように検査用基板とウエハ間に介在させ、これら三者を特別に工夫された載置台上で一体化する。信頼性試験に用いる場合には、異方導電性フィルム10は、図1の示すようにウエハの外径よりもやや大径の金属枠20に張設して使用する。金属枠20の材質としては、例えばSUS430(磁性体のステンレス)が好ましい。
上記絶縁性フィルム11としては一般的な樹脂を用いることができる。一般的な樹脂としては、例えば、ポリイミド系樹脂、ポリエチレン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、エポキシ系樹脂等が好ましい。また、絶縁性フィルム11の厚さは、導電体12を保持し得る厚さであれば良く、例えば、10〜30μmの厚さが好ましい。絶縁性フィルム11には、図2に示すように導電体12が嵌まり込む孔11Aが全面に均等に形成されている。
而して、上記導電体12は、図1の(b)及び図2に示すように球形に形成されている。この導電体12は、絶縁性フィルム11の孔11Aに嵌まり込んだ状態で一部が絶縁性フィルム11の両面からそれぞれ突出している。導電体11は、検査用基板の電極(以下、「バンプ」と称す。)及びウエハの電極(以下、「電極パッド」と称す。)(図示せず)の配列パターンに即して絶縁性フィルム11に配置され、バンプ及び電極パッドと一対一で接触する。導電体12を球形にすることによって均一な大きさを持った導電体12を容易に製造することができ、延いては絶縁性フィルム11から突出するバンプ高さを均一に揃えることができる。
また、導電体12を球形にすることによって検査時に上下の電極と点接触して大きな圧力を受けて潰れやすくなる。また、導電体12を球形で、微小な大きさで均一に形成することができるため、電極パッドの狭ピッチ化に対応させることができる。この球形の直径は、特に制限されるものではないが、検査用基板20及びウエハWの電極パッドの大きさに応じて決めることができ、例えば50〜100μmの大きさに形成することができる。また、導電体12は、例えばHv50〜600のヴィッカース硬度を有する金属が好ましく、Hv50〜300の金属がより好ましい。このような金属として、例えば、銅、鉄、ニッケルの単独金属またはこれらの合金等の金属を挙げることができる。このような球形の導電体12としては、例えば(株)日鉄マイクロメタル製のマイクロボールを使用することができる。球形の導電体12は表面を金で被覆することが好ましい。この場合の被膜厚は例えば0.1μm程度が好ましい。
また、導電体12は、ウエハの電極パッドと同一の配列パターンで絶縁性フィルム11に形成された孔11Aに配置されている。また、検査用基板には複数のバンプがウエハの複数の電極パッドと同一の配列パターンで配列されている。この結果、検査用基板の各バンプとウエハの各電極パッドは異方導電性フィルム10の導電体12を介して一対一で電気的に接触するようになっている。
上記導電体12が嵌め込まれた絶縁性フィルム11の下面には金属(例えば、タングステン、ニッケル、ステンレス等)粉末を含む樹脂薄膜13が被覆され、この金属粉末を含む樹脂薄膜13を介して導電体12と電極パッドとを電気的に接触させるようにしてある。樹脂薄膜13は金属粉末を含むため、異方性の導電性フィルムとして機能して圧縮方向のみに導通する。樹脂薄膜13に用いられる樹脂は特定の樹脂に制限されるものではないが、このような樹脂としては、例えば四フッ化エチレン樹脂等のフッ素系樹脂のように耐熱性及び離型性に優れたものが好ましい。
次に、上記異方導電性フィルム10を製造する際に用いられる本発明の製造方法の実施形態について図3及び図4に示す模式図を参照しながら説明する。
図3に示す本実施形態では、予め金属枠20に張設した絶縁性フィルム11及び球形の導電体12を準備する。次いで、図3の(a)に示すように絶縁性フィルム11に所定のパターンでレーザ光Lを照射して複数の孔11Aを開ける。これらの孔11Aの上面開口11Bの径は、球形の導電体12の直径より大きく、下面の開口11Cの径は球形の導電体12の直径より小さく形成されている。また孔11Aの側壁11Dは球形の導電体12が嵌まり込み易いように傾斜面になっている。例えば、直径が50μmの導電体12を用いる場合には、厚みが25μmの絶縁性フィルム11を使用し、上面開口11Bの直径が約60μm、下面開口11Bが約40μmの孔11Aを設ける。
次いで、この絶縁性フィルム11上に大量の球形の導電体12を供給すると、導電体12が絶縁性フィルム11上を転動する間に、図3の(b)に示すように所定のパターンで配列された全ての孔11A内に球形の導電体12が嵌まり込む。そして、余分の導電体12は絶縁性フィルム11上から除去する。然る後、同図に(c)に示すように、絶縁性フィルム11の下面に、金属粉末を含む樹脂をスプレーによって噴霧して樹脂薄膜13を形成し、導電体12を絶縁性フィルム11の孔11Aから離脱しないようにすると、異方導電性フィルム10を得ることができる。金属粉末を含む樹脂のスプレーとしては、例えば金属粉末を含むフッ素系樹脂のスプレーを用いることができる。同図の(b)に示すように導電体12の下面と絶縁性フィルム11の下面とが実質的に同一な場合でも、異方導電性フィルム10を検査用基板とウエハとで押圧すると、導電体12の下面は絶縁性フィルム11から突出する。従って、導電体12は絶縁性フィルム11から突出しているものとして取り扱う。また、金属粉末を含むフッ素系樹脂を使用することにより、ウエハWの電極パッドがアルミニウムの場合でも金属粉末がアルミニウム表面の酸化膜を破り導通をとることができる
以上説明したように本実施形態によれば、球形の導電体12を絶縁性フィルム11に形成した孔11Aに簡単に嵌め込んで異方導電性フィルム10を製造するため、従来の電気メッキ法に比べて遥かに低コストで異方導電性フィルム10を製造することができ、しかも絶縁性フィルム11の製作にメッキやエッチング等を用いないため、寸法安定性に優れた異方導電性フィルム10を得ることができる。また、本実施形態によれば、導電体12として球形のものを使用するため、ウエハWの電極パッドPの高密度化により狭ピッチ化(例えば90μmピッチ)しても電極パッドPに即した小さな球体を製造することができ、電極パッドPの狭ピッチ化に対応させることができる。更に、絶縁性フィルム11の下面が離型性を有する樹脂薄膜13で被覆されているため、高温下であっても異方導電性フィルム10がウエハWに付着する虞がない。
また、上記絶縁性フィルム10は図4に示すように位置決め治具を用いて製造することもできる。即ち、図4の(a)に示すように所定のパターンで凹部31Aが形成された位置決め治具31を準備する。位置決め治具31は、例えば従来公知のリソグラフィー技術とエッチング技術とによってシリコン基板等の表面に凹部31Aを形成することによって得ることができる。尚、この位置決め治具31の表面には予め離型剤がコーティングされている。
次いで、図4の(b)に示すように、位置決め治具31上に球形の導電体12を供給すると、導電体12が位置決め治具31上を転動する間に、所定のパターンで配列された全ての全ての凹部31A内に導電体12が嵌まり込む。そして、余分の導電体12を位置決め治具31から除去する。然る後、同図の(c)に示すように位置決め治具31上に硬化性樹脂を塗布して導電体12を固定した後、硬化性樹脂を硬化させて絶縁性フィルム11を形成した後、同図の(d)に示すように絶縁性フィルム11を位置決め治具31上から剥離する。更に、同図の(e)に示すように、絶縁性フィルム11の下面に、金属粉末を含む樹脂をスプレーによって噴霧して樹脂薄膜13を形成すると、異方導電性フィルム10を得ることができる。従って、本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果を期することができる。
次に、上記異方導電性フィルム10を信頼性試験に用いる場合について図5〜図8を参照しながら説明する。信頼性試験を行う場合には例えば図5に示すプローブ装置を用いてウエハの電極パッドと異方導電性フィルム10の導電体12との位置合わせ(アライメント)を行った後、プローブ装置を用いて検査用基板のバンプと導電体12とのアライメントを行って検査用基板をウエハ側に接触させて一体化する。
プローブ装置50は、例えば図5に示すように、ウエハWをキャリア単位で収納し且つウエハWをロード、アンロードするローダ室51と、このローダ室51に隔壁を介して隣接するプローバ室52とを備えている。また、プローバ室52内には、ウエハWを載置する載置台(ウエハチャック)53が移動可能に配設され、プローバ室52内において、ウエハチャック53で保持されたウエハWと異方導電性フィルム10及び検査用基板60を順次アライメントした後これら三者を一括接触させてウエハWの検査を行う。そして、図示してないがローダ室51には搬送機構(ピンセット)及び予備位置合わせ機構(サブチャック)がそれぞれ配設され、ピンセットを介してキャリア内からウエハWを一枚ずつ搬送する間にサブチャック上でオリフラを基準にしてウエハWを予備位置合わせ(プリアライメント)した後、ピンセットを介してウエハWをプローバ室52へ搬送する。
また、図5に示すように上記プローバ室52にはヘッドプレート54が開閉可能に取り付けられ、このヘッドプレート54に異方導電性フィルム10及び検査用基板60を相前後して装着し、プローバ室52の上面開口を開閉するようにしてある。プローバ室52内のヘッドプレート54の下方にはX、Y、Z及びθ方向で移動可能な上記ウエハチャック53が配設されている。このウエハチャック53は回転昇降機構(図示せず)を介してX、Yステージ55(図7参照)上でZ方向に昇降すると共にθ方向に正逆回転可能に配置されている。そして、ローダ室51内のピンセットを介してプリアライメント後のウエハWをプローバ室52内のウエハチャック53上へ移載する。
更に、プローバ室52内には図示しないアライメント機構が配設され、このアライメント機構はアライメントブリッジに固定された上カメラと、ウエハチャック53側に固定された下カメラとを備えている。ウエハチャック53を移動させて上カメラでウエハチャック53上のウエハWの検査用電極パッドを撮像すると共にウエハチャック53を移動させて下カメラでヘッドプレート54に固定された異方導電性フィルム10の導電体12または検査用基板60のバンプ61(図7参照)を撮像し、これらの画像データに基づいてウエハWと異方導電性フィルム10、及び異方導電性フィルム10と検査用基板60を順次アライメントするようにしてある。尚、図5において56はヘッドプレートを回転させて自動開閉する駆動機構である。この駆動機構56はマニュアルで操作する場合には省略することもできる。
而して、ヘッドプレート54には図6の(a)に示すように開口部54Aが形成され、この開口部54Aに対して異方導電性フィルム10を取り付けるための取付プレート57が着脱可能に装着されている。取付プレート57は、プレート本体57Aと、プレート本体57Aの外周に形成されたフランジ57Bと、フランジ57Bの内側に異方導電性フィルム10を保持する磁性体製の金属枠20に対応して周方向に沿って形成された凹部内に装着された磁石57Cとを有し、ヘッドプレート54に対してネジ部材57Dによって締結されている。また、ヘッドプレート54に検査用基板60を取り付ける場合には、図7に示すように取付プレート57をヘッドプレート54から取り外した後、ヘッドプレート54の開口部54Aに検査用基板60を取り付けるようにしてある。
また、図6の(b)に示すようにウエハチャック53内にはウエハWを真空吸着する際に用いられる第1排気通路53Aが形成され、この排気通路53Aはウエハチャック53の表面に形成された複数のリング状溝53Bにおいて開口している。また、ウエハチャック53内には異方導電性フィルム10を保持する金属枠20を真空吸着する際に用いられる第2排気通路53Cが形成され、この排気通路53Cはウエハチャック53の表面に金属枠20に対応して形成されたリング状溝53Dにおいて開口している。第1、第2排気通路53A、53Cはいずれも配管58、59を介して真空排気装置(図示せず)に接続されている。従って、ウエハチャック53上でウエハW及び異方導電性フィルム10を吸着する場合には、まずウエハWをウエハチャック53上に吸着し、次いで金属枠20を介して異方導電性フィルム10をウエハチャック53上で吸着する。また、ウエハチャック53は温度調節機構としてのヒータ54E(図7参照)を内蔵し、信頼性試験を行なう際にヒータ54Eを介してウエハWを所定温度に加熱し維持する。
次に、上記プローブ装置50を用いた被検査体の試験方法の一実施形態について説明する。まず、ヘッドプレート54を開き、その開口部54Aに取付プレート57を装着した後、図6の(a)に示すように取付プレート57に磁石57C、金属枠20を介して異方導電性フィルム10を取り付けた後、ヘッドプレート54を閉じる。
然る後、ローダ室11内のピンセット及びサブチャックを介してウエハWをプリアライメントした後、ピンセットを介してウエハWをウエハチャック53上へ載置し、ウエハチャック53のウエハ側の排気通路を真空引きしウエハチャック53上にウエハWを真空吸着する(図7参照)。引き続き、X、Yステージ55及び回転昇降機構が作動すると共にアライメント機構が作動し、ウエハWの電極パッドと異方導電性フィルム10の導電体12のアライメントを行う。アライメントが終了すると、回転昇降機構が作動し、ウエハチャック53が上昇し、ウエハWの電極パッドと導電体12が一括接触する。この状態でウエハチャック60の金属枠20側の排気通路を介して異方導電性フィルム10を保持する金属枠20をウエハチャック53上に真空吸着する。
次いで、ヘッドプレート54を開き、ヘッドプレート54の取付プレート57を取り外し、検査用基板60をヘッドプレート54に装着した後、ヘッドプレート54を閉じる。引き続き、ウエハWと異方導電性フィルム10のアライメントと同様の手順で検査用基板60のバンプ61と異方導電性フィルム10の導電体12とのアライメントを行った後、図7に示すようにウエハチャック53を上昇させてその上のウエハW、異方導電性フィルム10及び検査用基板60を互いに接触させると、図8の(a)に示すように電極パッドP、導電体12及びバンプ61は互いに一対一で接触する。この状態でウエハチャック53が更に上昇すると、同図の(b)に示すようにバンプ61、導電体12及び電極パッドPが一対一で一括接触し、バンプ61と電極パッドP間の球形の導電体12が押し潰されてこれら三者が電気的に導通可能な状態になる。
導電体12は球形に形成されているため、導電体12はまずバンプ61及び電極パッドPと点接触してこれら両者から大きな圧力を受け、引き続き点接触部を中心に接触面積を円形状に広めながら押し潰されて図8の(b)で示すように変形して電気的に導通可能な状態になる。この状態で信頼性試験を実施する。この際、球形の導電体12は大きさが揃っているため、全ての導電体12が均一に押し潰され、金属粉末を含む樹脂膜13を介して全てのバンプ61と電極パッドP間の導通を確実に確保することができる。ところが、導電体が電気メッキにより形成されたものであると、導電体自体の高低差が大きく、しかも均一に圧縮変形することが難く、また、導電体自体の寸法安定性が悪いため、検査用基板の複数のバンプとウエハの電極パッド間を均一に導通させることが難しい。また、試験後には、異方導電性フィルム10は、離型剤からなる樹脂薄膜13を介してウエハWから簡単に取り外すことができる。また、試験後には導電体12が潰れているため、異方導電性フィルム10は使い捨てにし、次の信頼性試験を行う場合には新しい異方導電性フィルム10を使用する。
以上説明したように本実施形態によれば、異方導電性フィルム10を検査用基板60とウエハWの間に介在させてウエハWの信頼性試験を行うようにしたため、異方導電性フィルム10を介してウエハWと検査用基板60間の電気的導通を確実に取ることができ、信頼性試験を確実に行なうことができる。しかも、導電体12は微細な球形であるため、ウエハWの電極パッドPが狭ピッチ化して、例えば電極パッドP間のピッチが90μm程度になってもウエハWの試験を確実に行うことができる。
尚、上記実施形態では、異方導電性フィルム10をプローブ装置50に適用して信頼性試験に使用する場合について説明したが、プローブ装置50を用いての信頼性試験に限らず、電極間の電気的接続を取るコネクタ等としても本発明の導電性フィルムを広く適用することができる。また、異方導電性フィルム10の導電体12をウエハWの電極パッドP及び検査用基板60のバンプ61に対応して設けた場合について説明したが、球形の導電体12、ウエハWの電極パッドP及び検査用基板60のバンプ61は、全てが同一パターンで配置されていない時でも本発明を適用することができる。また、プローブ装置の取付プレート57は磁石57Cで異方導電性フィルム10を吸着するようにしたものについて説明したが、磁石に代えて真空吸着等の吸着手段を用いても良い。また、プローブ装置は信頼性試験の他、被検査体の電気的特性検査等の検査にも適用することができる。
本発明は、電極パッドが狭ピッチ化した被検査体の検査をする場合に利用することができる。
10 異方導電性フィルム
11 絶縁性フィルム
11A 孔
12 球形の導電体
13 金属粉末を含む樹脂薄膜
20 金属枠
31 位置決め用治具
31A 凹部
50 プローブ装置
54 ヘッドプレート(検査用基板を保持する部材)
57 取付プレート(取付部)
57C 磁石
60 検査用基板
61 バンプ(電極)
W ウエハ(被検査体)
P 電極パッド(電極)
11 絶縁性フィルム
11A 孔
12 球形の導電体
13 金属粉末を含む樹脂薄膜
20 金属枠
31 位置決め用治具
31A 凹部
50 プローブ装置
54 ヘッドプレート(検査用基板を保持する部材)
57 取付プレート(取付部)
57C 磁石
60 検査用基板
61 バンプ(電極)
W ウエハ(被検査体)
P 電極パッド(電極)
Claims (21)
- 検査用基板と被検査体との間に介在し、上記検査用基板の複数の電極と上記被検査体の複数の電極との間の導通を取るための異方導電性フィルムであって、絶縁性フィルムと、この絶縁性フィルムを貫通して所定のパターンで配置された複数の球形の導電体とを備え、上記各球形の導電体の一部を上記絶縁性フィルムの両面からそれぞれ突出させたことを特徴とする異方導電性フィルム。
- 上記絶縁性フィルムをその周囲から張設して支持する枠体を備えたことを特徴とする請求項1に記載の異方導電性フィルム。
- 上記絶縁性フィルムの上記被検査体と接触する方の面を、金属粉末を含む樹脂によって被覆したことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の異方導電性フィルム。
- 上記樹脂が離型剤からなることを特徴とする請求項3に記載の異方導電性フィルム。
- 上記球形の導電体は、上記検査用基板と上記被検査体とが互いに接近する方向に押圧されて電気的導通を取る際に、上記球形の導電体が潰れる硬さを有することを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の異方導電性フィルム。
- 上記球形の導電体は、Hv50〜300のヴィッカース硬度を有することを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の異方導電性フィルム。
- 上記枠体は、磁性体であることを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の異方導電性フィルム。
- 上記検査用基板の各電極と上記被検査体の各電極と上記球形の導電体とは、それぞれ同一パターンで配置されていることを特徴とすることを特徴とする請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載の異方導電性フィルム。
- 絶縁性フィルムに、その上面の開口径が球形の導電体の直径より大きく且つその下面の開口径が上記球形の導電体の直径より小さい孔を所定のパターンで穿孔する工程と、上記絶縁性フィルムの孔に上記球形の導電体の一部を上下に突出させて嵌め込む工程と、上記導電体を上記絶縁性フィルムの孔に固定する工程とを備えたことを特徴とする異方導電性フィルムの製造方法。
- 所定のパターンで形成された基体上の凹部内に球形の導電体を嵌め込む工程と、上記球形の導電体の一部を突出させて上記基体の上面に硬化性樹脂を塗布して絶縁性フィルムを形成する工程と、上記絶縁性フィルムを上記導電体と一緒に上記基体から剥離する工程とを備えたことを特徴とすることを特徴とする異方導電性フィルムの製造方法。
- 上記絶縁性フィルムの上記被検査体と接触する方の面を、金属粉末を含む樹脂によって被覆する工程を備えたことを特徴とする請求項9または請求項10に記載の異方導電性フィルムの製造方法。
- 上記樹脂として離型剤を用いることを特徴とする請求項11に記載の異方導電性フィルムの製造方法。
- 下面に複数の電極を有し且つ上記各電極とテスタとを接続するためのインターフェースを有する検査用基板と、この検査用基板と接触させる被検査体を載置する、移動可能な載置台と、上記検査用基板と上記被検査体との間に配置された異方導電性フィルムとを備え、上記検査用基板と上記被検査体とを上記異方導電性フィルムを介して接触させて上記被検査体の電気的特性検査を行うプローブ装置であって、上記異方導電性フィルムは、絶縁性フィルムと、この絶縁性フィルムを貫通して所定のパターンで配置された複数の球形の導電体と、上記絶縁性フィルムをその周囲から張設して支持する枠体とを備え、上記各球形の導電体の一部を上記絶縁性フィルムの両面からそれぞれ突出させたことを特徴とすることを特徴とするプローブ装置。
- 上記絶縁性フィルムの上記被検査体と接触する方の面を、金属粉末を含む樹脂によって被覆したことを特徴とする請求項13に記載のプローブ装置。
- 上記樹脂が離型剤からなることを特徴とする請求項14に記載のプローブ装置。
- 上記球形の導電体は、上記異方導電性フィルムが押圧されて上記被検査体を検査する時に、上記球形の導電体が潰れる硬さを有することを特徴とする請求項13〜請求項15のいずれか1項に記載のプローブ装置。
- 上記球形の導電体は、Hv50〜300のヴィッカース硬度を有することを特徴とする請求項13〜請求項16のいずれか1項に記載のプローブ装置。
- 上記異方導電性フィルムは、上記被検査体の検査を行う前に、上記載置台または上記検査用基板のいずれか一方に位置合わせを行って保持されることを特徴とする請求項13または請求項17のいずれか1項に記載のプローブ装置。
- 上記異方導電性フィルムを保持する取付体を、上記検査用基板を保持する部材に着脱可能に取り付けることを特徴とする請求項13〜請求項16のいずれか1項に記載のプローブ装置。
- 上記枠体は磁性体からなり、且つ上記取付体は上記枠体を吸着保持する磁石を備えたことを特徴とする請求項19に記載のプローブ装置。
- 上記載置台は上記枠体を吸着保持する吸着手段を有することを特徴とする請求項13〜請求項20のいずれか1項に記載のプローブ装置。
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