WO2019059629A1 - 검사용 소켓 - Google Patents

검사용 소켓 Download PDF

Info

Publication number
WO2019059629A1
WO2019059629A1 PCT/KR2018/011033 KR2018011033W WO2019059629A1 WO 2019059629 A1 WO2019059629 A1 WO 2019059629A1 KR 2018011033 W KR2018011033 W KR 2018011033W WO 2019059629 A1 WO2019059629 A1 WO 2019059629A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
housing
air
inspection
accommodation space
cover
Prior art date
Application number
PCT/KR2018/011033
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
정영배
Original Assignee
주식회사 아이에스시
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 아이에스시 filed Critical 주식회사 아이에스시
Publication of WO2019059629A1 publication Critical patent/WO2019059629A1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G01R1/0433—Sockets for IC's or transistors
    • G01R1/0441—Details
    • G01R1/0466—Details concerning contact pieces or mechanical details, e.g. hinges or cams; Shielding
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G01R1/0433—Sockets for IC's or transistors
    • G01R1/0441—Details
    • G01R1/0458—Details related to environmental aspects, e.g. temperature
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2865—Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
    • G01R31/2867—Handlers or transport devices, e.g. loaders, carriers, trays
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/2872—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation
    • G01R31/2874—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation related to temperature
    • G01R31/2877—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation related to temperature related to cooling
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2891—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks related to sensing or controlling of force, position, temperature

Definitions

  • the present invention relates to a test socket, and more particularly, to a test socket capable of quickly adjusting a temperature of a test space during an electrical test performed in a high temperature or low temperature environment.
  • a semiconductor integrated circuit device for example, a plurality of integrated circuits are formed on a wafer made of silicon, and then each of these integrated circuits is checked for fundamental electric characteristics, A probe test is performed. Subsequently, the semiconductor chip is formed by cutting the wafer, and the semiconductor chip is housed in an appropriate package. Electrical inspection is performed to select semiconductor integrated circuit devices having potential defects by inspecting electrical characteristics of each packaged semiconductor integrated circuit device under a high temperature or low temperature temperature environment.
  • the devices to be inspected need not be directly contacted with the inspection device but indirectly through the inspection connector included in the inspection socket.
  • the device to be inspected is placed on the upper surface of the connector for inspection, and then the upper surface of the device to be inspected is pressed by the pusher device, thereby making sure contact with the connector for inspection.
  • Such a conventional inspection socket has the following problems.
  • the pressing surface of the pusher device is heated or cooled by air at a high or low temperature
  • the pressing surface conveys heat to the device to be inspected, thereby forming a high temperature or low temperature environment. In this process, Or it takes a long time to produce a low-temperature environment.
  • the pusher apparatus is provided with the thermal control means, which causes a problem that the entire pusher apparatus becomes complicated.
  • the present invention has been made in order to solve the above-described problems, and more particularly, it is an object of the present invention to provide an air conditioner having a predetermined temperature, And to provide a socket for inspection which enables the socket to be manufactured.
  • the temperature of the accommodation space needs to be adjusted by air or a coolant having a predetermined temperature, the space in which the device to be inspected is sealed is reliably sealed, and there is no heat loss, And it is an object of the present invention to provide a test socket capable of making a test socket.
  • a socket for inspection comprising: a connector for inspecting a device to be inspected electrically with an inspecting device; a housing space in which the device to be inspected can be accommodated; A housing;
  • a cover capable of opening and closing an open top of the housing
  • a pusher device provided on the cover, for pushing the device to be inspected which is seated on the housing toward the connector for inspection;
  • An air injector for injecting air or a coolant at a predetermined temperature into the accommodation space to adjust the temperature in the accommodation space
  • sealing means for sealing the accommodating space from the outside when the cover closes the housing.
  • the housing comprises: a body portion that is seated and fixed to an inspection apparatus and in which a central hole is formed and an inspection connector is disposed in the central hole;
  • a base member detachably fixed to the body portion and having an opening for opening the upper surface of the inspection connector so as to be in contact with the device to be inspected.
  • the sealing means may include an upper sealing member which is provided between the base member and the cover and seals the accommodation space.
  • the sealing means may include a lower sealing member provided between the base member and the inspection device to prevent air or refrigerant in the accommodation space from flowing out to the outside and to surround the inspection connector around the inspection connector can do.
  • the air injection unit may include a first air injection unit for supplying high temperature air into the accommodation space and a second air injection unit for supplying low temperature air or a coolant into the accommodation space.
  • the air injection unit may be installed on a side surface of the housing.
  • the cover may be hingedly connected to the housing and may be automatically opened and closed by the transmission means.
  • a socket for inspection comprising: a connector for inspecting a device to be inspected electrically with an inspecting device; a housing space in which the device to be inspected can be accommodated; A housing;
  • a cover capable of opening and closing an open top of the housing
  • An air injector for injecting air or a coolant at a predetermined temperature into the accommodation space to adjust the temperature in the accommodation space
  • sealing means for sealing the accommodation space from the outside when the cover closes the housing
  • the housing includes a body portion fixed to the inspection apparatus side and having the inspection connector disposed at the center thereof and a base member formed with an opening hole at a position corresponding to the inspection connector detachably coupled to the body portion and,
  • the sealing means includes an upper sealing body provided on the upper surface of the base member and a lower sealing body provided on a lower surface of the base member.
  • the lower sealing member can contact the upper surface of the inspection apparatus while surrounding the inspection connector.
  • the lower sealing member can prevent air or refrigerant from flowing out into a gap between the base member and the inspection apparatus.
  • the cover may be hingedly connected to the housing and manually opened and closed.
  • the cover may be provided with a pusher device for pressing the device to be inspected on the housing toward the connector for inspection.
  • Test socket is that the advantage of the internal accommodation space by the device under test provide an air or coolant having a predetermined temperature in the received receiving space can quickly create a desired temperature condition.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view of a test socket of the present invention.
  • Fig. 2 is a perspective view of the coupling of Fig. 1; Fig.
  • FIG. 3 is a plan view of Fig.
  • Figure 4 is a side view of Figure 1;
  • Fig. 5 is a front view of Fig. 1; Fig.
  • FIG. 6 is a sectional view taken along the line VI-VI of Fig. 3;
  • FIG. 7 is a cross-sectional view taken along line VII-VII of FIG. 3;
  • FIG. 8 is a view showing a state in which the cover is opened in the inspection socket of Fig. 2;
  • test socket according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
  • the inspection socket 10 is for electrically connecting the terminal of the device under test 81 with the pad of the inspection device 80 in order to perform the electrical inspection of the device under test 81.
  • the inspection socket 10 includes a housing 20, a cover 30, a pusher device 40, an air injecting portion 50, an air discharging portion 60 and a sealing means 70.
  • the housing 20 includes an inspection connector 82 for electrically connecting the device under test 81 with the inspection device 80 and a housing space 20a in which the device under test 81 can be accommodated And the upper portion is opened.
  • the housing 20 constitutes a body in which the device under test 81 can contact the inspection connector 82 while the inspection connector 82 is housed.
  • the housing 20 includes a body portion 21, a base member 22, and a hinge means 23.
  • the body 21 is fixed to the inspection device 80 and is formed with a central hole 211 and a connector 82 for inspection in the central hole 211.
  • the inspection connector 82 is disposed in the central hole 211, and the inspection connector 82 is attached to the inspection apparatus 80.
  • the base member 22 is detachably fixed to the body 21 and is formed with an opening hole 222 for opening the upper surface of the inspection connector 82 so as to be in contact with the device under test 81 will be.
  • the base member 22 is formed in a square frame shape smaller than the body portion 21.
  • the inspection connector 82 is disposed below the opening hole 222 of the base member 22 so that the inspection connector 82 and the device under test 81 contact each other through the opening hole 222 .
  • a plurality of first through holes 221 communicating with the air injecting portion 50 and the air discharging portion 60 are provided on one side surface of the base member 22 so that high temperature, So that low-temperature air or refrigerant can be introduced into the accommodation space 20a or air or refrigerant inside the accommodation space 20a can be discharged to the outside.
  • the hinge means 23 includes a hinge body 231 disposed to face a side surface of the base member 22 where the first through hole 221 is formed and having a hinge pin 232 penetrated in the longitudinal direction, And a hinge pin 232 coupled to the body 231.
  • a cover 30 is coupled to both ends of the hinge pin 232 to enable the cover 30 to be opened and closed.
  • a second through hole 2311 is formed in the hinge body 231 at a position facing the first through hole 221 so that the air injecting portion 50 and the air discharging portion 60 pass through.
  • the cover 30 is configured to open and close an opened upper portion of the housing 20 and constitutes a receiving space 20a in cooperation with the housing 20. [ That is, when the cover 30 closes the housing 20, the internal space of the cover 30 becomes the accommodating space 20a.
  • the cover 30 is coupled with the hinge pin 232 and is rotatable.
  • the cover 30 is opened and the accommodating space 20a of the housing 20 is opened. And closes the accommodating space 20a after the inspected device 81 is placed in the accommodating space 20a for inspection.
  • a through hole 31 through which the pusher device 40 passes is provided in the center of the cover 30, a through hole 31 through which the pusher device 40 passes is provided.
  • the pusher device 40 is provided on the cover 30 and is for pressing the device under test 81 seated on the housing 20 toward the connector 82 for inspection.
  • the pusher device 40 includes a pusher body 41, a cylinder rod 42, a sealing portion 43, and a pressure plate 44.
  • the pusher body 41 is fixedly installed on the upper surface of the cover 30 so as to raise or lower the cylinder rod 42.
  • the pusher body 41 allows the cylinder rod 42 to move linearly by pneumatic or other various known driving methods.
  • the cylinder rod 42 is pressed or released from the upper surface of the device under test 81 while the pressure plate 44 is lifted or lowered by the pusher body 41.
  • an upper portion of the cylinder rod 42 is coupled to the pusher body 41, a lower portion thereof is fixed to the pressure plate 44, and an intermediate portion thereof is configured to pass through the through hole 31 of the cover 30.
  • the cylinder rod 42 which is raised or lowered by the pusher body 41, can perform the pressing operation while raising or lowering the pressure plate 44 at the lower end.
  • the sealing portion 43 is fitted in the cylinder rod 42 so that the air in the receiving space 20a is prevented from flowing out to the outside in the process of the cylinder rod 42 passing through the through hole 31 And the through-hole 31, as shown in FIG.
  • the pressure plate 44 is coupled to the lower end of the cylinder rod 42 and moves up or down with the cylinder rod 42 to come into contact with the upper surface of the device under test 81, .
  • This pressure plate 44 is disposed on the lower side of the cover 30.
  • the air injection unit 50 adjusts the temperature in the accommodation space 20a by injecting air or a coolant at a predetermined temperature into the accommodation space 20a.
  • the air injecting portion 50 is fitted into the side surface of the housing 20, specifically, the first through hole 221 provided at one side of the base member 22, and communicates with the accommodating space 20a.
  • the present invention is not limited to adding a new structure to the base member 22 but simply forming the first through hole 221 in the base member 22 and connecting the air injection portion 50 to the first through hole 221, Thereby enabling the temperature control inside the heat exchanger 20a.
  • the air injection unit 50 is installed on the side surface of the housing 20, it may be provided on the upper surface or the lower surface of the housing as required.
  • the air injection unit 50 includes a first air injection unit 51 for supplying high temperature air into the accommodation space 20a and a second air injection unit 51 for supplying low temperature air or a coolant into the accommodation space 20a. And an injection unit 52.
  • the refrigerant means a state in which liquid and air which are well vaporized, such as liquefied nitrogen, are mixed.
  • low-temperature air or coolant flows from the second air injection unit 52 and is supplied to the accommodation space 20a, It goes down quickly.
  • the inside of the receiving space can be adjusted to a temperature of -40 to 150 ° C by the air injection unit 50, and the temperature can be precisely controlled within 1 ° C.
  • the air discharging portion 60 discharges air or refrigerant in the receiving space 20a to the outside and discharges the air or the refrigerant in the receiving space 20a to the outside after the air or the refrigerant is supplied and the inspection is completed Function.
  • the sealing means 70 is capable of sealing the accommodating space 20a from the outside when the cover 30 closes the housing 20. That is, in order to raise or lower the temperature inside the accommodation space 20a by the high temperature air, the low temperature air or the refrigerant, the airtightness is required. To this end, the airtightness of the accommodation space 20a is maintained by the sealing means 70 ).
  • the sealing means 70 includes an upper sealing member 71 and a lower sealing member 72.
  • the upper sealing member 71 is provided between the base member 22 and the cover 30 to seal the accommodation space 20a. Specifically, the upper sealing member 71 reliably seals the contact surface between the base member 22 and the cover 30, thereby preventing air or refrigerant in the accommodation space 20a from flowing out to the outside.
  • the upper sealing member 71 is substantially in the form of a rectangular frame and is disposed extending along the upper surface of the rim of the base member 22. [ The upper sealing member 71 contacts the upper surface of the base member 22 and its upper surface contacts the lower surface of the cover 30 to maintain airtightness in the accommodation space 20a.
  • the lower sealing member 72 is provided between the base member 22 and the inspection apparatus 80 to prevent air or refrigerant in the accommodation space 20a from flowing out to the outside, And is arranged to surround the inspection connector 82 in the vicinity thereof.
  • the lower sealing member 72 is inserted between the device under test 81 and the opening 222 of the base member 22 Air is forced to leak to the peripheral portion of the inspection connector 82 disposed below the inspection member 82 through the gap so that the surrounding of the inspection connector 82 to which the inspection subject device 81 contacts surrounds the base member 22 And the inspection apparatus (80).
  • reference numerals 82 and 90 designate a connector 82 for inspection and a transmission means 90, respectively.
  • the inspection connector 82 includes a conductive portion and an insulating support portion.
  • the conductive part has a plurality of conductive particles arranged in the thickness direction in the insulating elastic material at each position corresponding to the terminal of the device under test 81.
  • the conductive particles showing magnetism are densely contained in a state oriented so as to be aligned in the thickness direction.
  • a heat-resistant polymer material having a crosslinked structure is preferable.
  • the curable polymer material forming material that can be used to obtain such a crosslinked polymer material various materials can be used, and specific examples thereof include silicone rubber, polybutadiene rubber, natural rubber, polyisoprene rubber, styrene-butadiene copolymer rubber, acrylonitrile -Butadiene copolymer rubber and hydrogenated products thereof, block copolymer rubbers such as styrene-butadiene-diene block copolymer rubber and styrene-isoprene block copolymer, and hydrogenated products thereof, chloroprene rubber, urethane rubber , A polyester rubber, an epichlorohydrin rubber, an ethylene-propylene copolymer rubber, an ethylene-propylene-diene copolymer rubber, and a soft liquid epoxy rubber.
  • silicone rubber is preferable from the viewpoints of moldability and electrical characteristics.
  • a cured product of addition type liquid silicone rubber (hereinafter referred to as " silicone rubber cured product " ,
  • the permanent compression set at 150 ⁇ is preferably 30% or less, more preferably 20% or less, and even more preferably 10% or less.
  • the compression set is more than 30%, when the obtained test socket 10 is repeatedly used a plurality of times or repeatedly in a high temperature environment, permanent distortion is likely to occur in the conductive portion, Accordingly, the chain of the conductive particles in the conductive portion may be disturbed, and as a result, it may be difficult to maintain the desired conductivity.
  • the silicone rubber cured product preferably has a durometer A hardness of 10 to 80 at 23 ⁇ , more preferably 15 to 80, particularly preferably 20 to 80 Do.
  • the durometer A hardness is less than 10
  • the insulating support portion that insulates the conductive portions from each other at the time of pressurization tends to be excessively distorted, and it may become difficult to maintain the desired insulation property between the conductive portions.
  • the durometer A hardness exceeds 60, a pressing force due to a considerably large load is required in order to provide appropriate distortion to the conductive portion, so that, for example, the object to be inspected tends to be deformed or broken.
  • the conductive particles contained in the conductive portion in the inspection socket 10 it is preferable to use a material exhibiting magnetism from the viewpoint that a magnetic field can be applied to easily move the conductive particles in the molding material.
  • a material exhibiting magnetism metal particles exhibiting magnetism such as iron, nickel, and cobalt, particles of these alloys, particles containing these metals, or particles containing these particles as core particles, Metal particles or polymer particles, such as non-magnetic metal particles or glass beads, as core particles, and the surfaces of the core particles are coated with a metal such as nickel, silver, palladium, Cobalt or the like, or one obtained by coating the core particle with a conductive magnetic material and a metal having good conductivity.
  • nickel particles are preferably used as the core particles, and the surface thereof is plated with metal having good conductivity such as gold or silver.
  • the means for covering the surface of the core particle with the conductive metal is not particularly limited, but can be performed by, for example, electroless plating.
  • the coating ratio of the conductive metal on the particle surface (the ratio of the coated area of the conductive metal to the surface area of the core particles from the viewpoint of obtaining good conductivity ) Is preferably 40% or more, more preferably 45% or more, and particularly preferably 47 to 95%.
  • the covering amount of the conductive metal is preferably 2.5 to 50% by weight, more preferably 3 to 30% by weight, still more preferably 3.5 to 25% by weight, and most preferably 4 to 20% by weight Particularly preferred.
  • the covering amount is preferably 3 to 30% by weight, more preferably 3.5 to 25% by weight, still more preferably 4 to 20% by weight, Particularly preferably 10% by weight.
  • the covering amount is preferably 3 to 30% by weight, more preferably 4 to 25% by weight, still more preferably 5 to 23% by weight of the core particles, Particularly preferably 6 to 20% by weight.
  • the particle diameter of the conductive particles is preferably 1 to 500 ⁇ , more preferably 2 to 400 ⁇ , further preferably 5 to 300 ⁇ , particularly preferably 10 to 150 ⁇ .
  • the obtained test socket 10 can be easily pressed and deformed, and sufficient electrical contact can be obtained between the conductive particles in the conductive portion of the test socket 10 concerned.
  • the shape of the conductive particles is not particularly limited, but a spherical shape or a star shape is preferable in that it can be easily dispersed in a polymeric substance-forming material.
  • the insulating support portion is disposed around the conductive portion to support the conductive portion while insulating each conductive portion, and is made of an insulating elastic material and contains no or little conductive particles therein.
  • the insulating support portion is preferably made of the same material as the insulating elastic material constituting the conductive portion. For example, a silicone rubber. However, it should be understood that the present invention is not limited thereto and various materials may be used.
  • the transmission means (90) automatically opens and closes the cover (30) hingedly connected to the housing (20).
  • This transmission means 90 is composed of a motor 91 and a power transmission body 92 and transmits the rotational force of the motor 91 to the hinge pin 232 of the power transmission body 92, Thereby enabling automatic rotation. That is, when the motor 91 rotates in one direction, the cover 30 opens the upper portion of the housing 20, and when the motor 91 rotates in the other direction, the cover 30 interlocks with the housing 20, As shown in Fig.
  • test socket 10 according to the present invention has the following actions and effects.
  • the inspecting device 81 carried from the outside is inserted into the opening 222 of the base member 22 with the cover 30 opened.
  • the lower surface of the inspected device 81 is brought into contact with the upper surface of the inspection connector 82.
  • the cover 30 is rotated to close the upper surface of the housing 20, and then the pusher device 40 is operated.
  • the pusher device 40 causes the lower surface of the pressure plate 44 to contact the upper surface of the device under test 81 by lowering the cylinder rod 42, and thereafter, further lowering the pressure plate 44, (81) is surely brought into contact with the inspection connector (82).
  • the inside of the accommodation space 20a is quickly changed to the environmental condition of the desired temperature. In this way, the inside of the accommodation space 20a is subjected to a predetermined electrical inspection in a specific temperature environment of high temperature or low temperature.
  • air or refrigerant in the accommodating space 20a is discharged to the outside through the air discharging portion 60 and then the pusher device 40 is operated so that the pressure plate 44 is moved to the inspecting device 81 .
  • the cover 30 is rotated to open the upper portion of the housing 20, the inspected device 81 that has been inspected is moved to the outside.
  • the above-described operation is repeated while carrying the new inspected device 81.
  • the inspecting socket according to the present invention is characterized in that in order to inspect the inspecting device under a specific temperature environment of high temperature or low temperature, by inserting high temperature, low temperature air or refrigerant into the accommodating space in which the device to be inspected is accommodated, Time can be minimized.
  • the inspection is performed through indirect heat transfer which causes heat transfer between the pressure plate and the device under test. There is a problem that it takes a long time, but the present invention solves this problem.
  • the inspection socket according to the present invention is a housing made of a plastic material resistant to heat and cold, and uses a small amount of air and refrigerant to shorten the time required to reach a desired temperature and the conversion time, Saving effect.
  • the inspection socket according to the present invention takes in air or refrigerant at a predetermined temperature into the accommodation space, the air or the coolant inside the accommodation space is prevented from flowing out to prevent heat loss It is arranged on the upper surface and the lower surface side of the base member of the sealing means, thereby making it possible to carry out a reliable electrical inspection promptly.
  • the inspection socket of the prior art has a problem in that the structure of the pusher device is complicated because there is a separate component for heating the pressure plate in the pusher device.
  • the present invention it is possible to perform an electrical inspection on the device under test by a simple structure in which air is introduced from one side of the housing, thereby simplifying the overall structure of the device, and the advantage of easy maintenance .
  • the socket for inspection according to the present invention is not limited to the above contents, but may be modified as follows.
  • the rotation of the cover is automatically performed by the driving means.
  • the present invention is not limited to this, and the cover may be opened and closed manually by a user.
  • an anisotropic conductive rubber using the characteristics of silicone rubber is used as the connector for inspection.
  • the present invention is not limited to this, and a pogo pin for providing an elastic force using a spring may be used as a connector for inspection It is possible.
  • one sealing means is provided on each of the upper surface and the lower surface of the base member.
  • the present invention is not limited thereto.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 검사용 소켓에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스를 검사장치와 전기적으로 연결시키는 검사용 커넥터와, 상기 피검사 디바이스가 수용될 수 있는 수용공간이 마련되고, 상부가 개방되어 있는 하우징; 상기 하우징의 개방된 상부를 개폐할 수 있는 커버; 상기 커버에 마련되며, 상기 하우징에 안착된 피검사 디바이스를 검사용 커넥터 측으로 가압하기 위한 푸셔장치; 상기 수용공간 내로 소정온도의 공기 또는 냉매를 주입함으로서 수용공간 내의 온도를 조절하는 공기주입부; 상기 수용공간 내에 주입된 공기 또는 냉매를 외부로 배출시키는 공기배출부; 및 상기 커버가 상기 하우징을 폐쇄하였을 때 상기 수용공간을 외부로부터 밀봉시킬 수 있는 밀봉수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓에 대한 것이다.

Description

검사용 소켓
본 발명은 검사용 소켓에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 고온 또는 저온 환경에서 수행되는 전기적 검사시 검사용 공간의 온도를 신속하게 조절할 수 있는 검사용 소켓에 대한 것이다.
일반적으로, 반도체 집적 회로 장치의 제조 공정에서는, 예를 들면 실리콘으로 이루어지는 웨이퍼에 다수의 집적 회로를 형성하고, 그 후 이들 집적 회로의 각각에 대하여 기초적인 전기 특성을 검사함으로써, 결함을 갖는 집적 회로를 선별하는 프로브 시험이 행해진다. 이어서, 이 웨이퍼를 절단함으로써 반도체칩이 형성되고, 이 반도체칩이 적절한 패키지 내에 수납된다. 또한, 패키지화된 반도체 집적 회로 장치의 각각에 대하여 고온 또는 저온의 온도 환경하에서 전기적 특성을 검사함으로써, 잠재적 결함을 갖는 반도체 집적 회로 장치를 선별하는 전기적 검사가 행해진다.
이러한 검사 과정에서 검사가 필요한 피검사 디바이스는 직접적으로 검사장치에 접촉하는 것이 아니라 검사용 소켓에 포함된 검사용 커넥터를 통하여 간접적으로 접촉하게 된다.
또한, 피검사 디바이스는 검사용 커넥터의 상면에 안착된 후에 푸셔장치에 의하여 피검사 디바이스의 상면이 눌림으로서 검사용 커넥터와 확실하게 접촉되어 검사가 수행되게 된다.
이러한 종래의 검사용 소켓은 다음과 같은 문제점이 있다.
종래기술은 푸셔장치의 가압면을 고온 또는 저온의 공기에 의하여 가열 또는 냉각한 후에 가압면이 피검사 디바이스에 열을 전달함으로써 고온 또는 저온 환경을 이루게 되는데, 이 과정에서 열 손실이 많을 뿐 아니라 고온 또는 저온의 환경을 만드는데 시간이 오래걸리게 되는 단점이 있다.
또한, 종래기술은 푸셔장치에 열제어 수단이 설치되어 있어서 전체적인 푸셔장치가 복잡해지는 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 푸셔장치가 아닌 피검사 디바이스가 수용되는 수용공간 내에 소정의 온도를 가지는 공기 또는 냉매를 공급함으로서 신속하게 고온 또는 저온의 환경 조건을 만들 수 있게 하는 검사용 소켓을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은, 소정의 온도를 가지는 공기 또는 냉매에 의하여 수용공간의 온도를 조절해야 하므로 피검사 디바이스가 수용되는 공간을 확실하게 밀봉함으로서 열손실이 없을 뿐 아니라 신속하게 원하는 온도 조건을 만들 수 있도록 할 수 있는 검사용 소켓을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 소켓은, 피검사 디바이스를 검사장치와 전기적으로 연결시키는 검사용 커넥터와, 상기 피검사 디바이스가 수용될 수 있는 수용공간이 마련되고, 상부가 개방되어 있는 하우징;
상기 하우징의 개방된 상부를 개폐할 수 있는 커버;
상기 커버에 마련되며, 상기 하우징에 안착된 피검사 디바이스를 검사용 커넥터 측으로 가압하기 위한 푸셔장치;
상기 수용공간 내로 소정온도의 공기 또는 냉매를 주입함으로서 수용공간 내의 온도를 조절하는 공기주입부;
상기 수용공간 내에 주입된 공기 또는 냉매를 외부로 배출시키는 공기배출부; 및
상기 커버가 상기 하우징을 폐쇄하였을 때 상기 수용공간을 외부로부터 밀봉시킬 수 있는 밀봉수단을 포함한다.
상기 검사용 소켓에서,
상기 하우징은, 검사장치에 안착되어 고정되며 중앙공이 형성되고 상기 중앙공 내에 검사용 커넥터가 배치되는 몸체부; 및
상기 몸체부에 분리가능하게 고정되며 상기 검사용 커넥터의 상면을 개방시켜 피검사 디바이스와 접촉가능하게 하는 개방공이 형성되는 베이스부재를 포함할 수 있다.
상기 검사용 소켓에서,
상기 밀봉수단은, 상기 베이스부재와 상기 커버 사이에 마련되며 상기 수용공간을 밀봉시키는 상부 밀봉체를 포함할 수 있다.
상기 검사용 소켓에서,
상기 밀봉수단은, 상기 베이스부재와 상기 검사장치 사이에 마련되어 상기 수용공간 내의 공기 또는 냉매가 외부로 유출되는 것을 방지하고 상기 검사용 커넥터 주변에 상기 검사용 커넥터를 감싸도록 배치되는 하부 밀봉체를 포함할 수 있다.
상기 검사용 소켓에서,
상기 공기주입부는, 고온의 공기를 상기 수용공간 내부로 공급하는 제1공기주입부와, 저온의 공기 또는 냉매를 상기 수용공간 내로 공급하는 제2공기주입부를 포함할 수 있다.
상기 검사용 소켓에서,
상기 공기주입부는, 상기 하우징의 측면에 설치될 수 있다.
상기 검사용 소켓에서,
상기 커버는 상기 하우징에 대해서 힌지식으로 연결되며 전동수단에 의하여 자동으로 개폐될 수 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 소켓은, 피검사 디바이스를 검사장치와 전기적으로 연결시키는 검사용 커넥터와, 상기 피검사 디바이스가 수용될 수 있는 수용공간이 마련되고, 상부가 개방되어 있는 하우징;
상기 하우징의 개방된 상부를 개폐할 수 있는 커버;
상기 수용공간 내로 소정온도의 공기 또는 냉매를 주입함으로서 수용공간 내의 온도를 조절하는 공기주입부;
상기 수용공간 내에 주입된 공기 또는 냉매를 외부로 배출시키는 공기배출부; 및
상기 커버가 상기 하우징을 폐쇄하였을 때 상기 수용공간을 외부로부터 밀봉시킬 수 있는 밀봉수단을 포함하되,
상기 하우징은, 검사장치 측에 고정설치되며 중앙에 상기 검사용 커넥터가 배치된 몸체부와, 상기 몸체부에 대하여 분리가능하게 결합되는 상기 검사용 커넥터와 대응되는 위치에 개방공이 형성된 베이스부재를 포함하고,
상기 밀봉수단은, 상기 베이스부재의 상면에 설치되는 상부밀봉체와, 상기 베이스부재의 하면에 설치되는 하부밀봉체를 포함한다.
상기 검사용 소켓에서,
상기 상부밀봉체는, 상기 커버의 하면과 접촉하고,
상기 하부밀봉체는, 검사용 커넥터를 둘러싸면서 상기 검사장치의 상면에 접촉할 수 있다.
상기 검사용 소켓에서,
상기 하부밀봉체는, 상기 베이스부재와 검사장치 사이의 틈으로 공기 또는 냉매가 유출되는 것을 방지할 수 있다.
상기 검사용 소켓에서,
상기 커버는 상기 하우징에 대해서 힌지식으로 연결되어 수동으로 개폐될 수 있다.
상기 검사용 소켓에서,
상기 커버에는 하우징에 안착된 피검사 디바이스를 검사용 커넥터 측으로 가압하기 위한 푸셔장치가 마련될 수 있다.
본 발명에 따른 검사용 소켓은, 피검사 디바이스가 수용된 수용공간 내에 소정의 온도를 가지는 공기 또는 냉매를 제공함으로서 수용공간 내부를 원하는 온도 조건으로 신속하게 만들 수 있다는 장점이 있다.
또한 수용공간을 밀봉부재에 의하여 외부와 확실하게 밀폐시킴으로 인하여 열손실이 없을 뿐 아니라 신속하게 원하는 온도 조건을 만들 수 있도록 할 수 있는 장점이 있다.
또한, 푸셔장치에 온도조절을 위한 별도의 부재를 부착할 필요가 없어서 푸셔장치의 구조를 전체적으로 간단하게 할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 검사용 소켓의 분리사시도를 나타내는 도면.
도 2는 도 1의 결합사시도.
도 3은 도 1의 평면도.
도 4는 도 1의 측면도.
도 5는 도 1의 정면도.
도 6은 도 3의 Ⅵ-Ⅵ 단면도.
도 7은 도 3의 Ⅶ-Ⅶ 단면도.
도 8은 도 2의 검사용 소켓에서 커버가 개방된 상태를 나타내는 도면.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓을 첨부된 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.
본 발명에 따른 검사용 소켓(10)은 피검사 디바이스(81)의 전기적 검사를 수행하기 위하여 상기 피검사 디바이스(81)의 단자를 검사장치(80)의 패드와 전기적으로 접속시키기 위한 것이다.
이러한 검사용 소켓(10)은, 하우징(20), 커버(30), 푸셔장치(40), 공기주입부(50), 공기배출부(60) 및 밀봉수단(70)을 포함한다.
상기 하우징(20)은, 피검사 디바이스(81)를 검사장치(80)와 전기적으로 연결시키는 검사용 커넥터(82)와, 상기 피검사 디바이스(81)가 수용될 수 있는 수용공간(20a)이 마련되고, 상부가 개방되어 있는 것이다. 구체적으로 하우징(20)은 검사용 커넥터(82)를 수용한 상태에서 피검사 디바이스(81)가 상기 검사용 커넥터(82)에 접촉할 수 있는 몸체를 구성한다.
이러한 하우징(20)은, 몸체부(21), 베이스부재(22) 및 힌지수단(23)을 포함하여 구성된다.
상기 몸체부(21)는 검사장치(80)에 안착되어 고정되며 중앙공(211)이 형성되고 상기 중앙공(211) 내에 검사용 커넥터(82)가 배치되는 것으로서 전체적으로 사각프레임 형태로 이루어진다. 구체적으로 상기 중앙공(211)내에 검사용 커넥터(82)가 배치되며, 상기 검사용 커넥터(82)는 검사장치(80)에 부착된다.
상기 베이스부재(22)는 상기 몸체부(21)에 분리가능하게 고정되며 상기 검사용 커넥터(82)의 상면을 개방시켜 피검사 디바이스(81)와 접촉가능하게 하는 개방공(222)이 형성되는 것이다. 이러한 베이스부재(22)는 상기 몸체부(21)보다 작은 사각프레임 형태로 이루어지게 된다.
상기 베이스부재(22)의 개방공(222)의 하측에는 검사용 커넥터(82)가 배치되어 있어서 상기 개방공(222)을 통하여 검사용 커넥터(82)와 피검사 디바이스(81)가 서로 접촉할 수 있도록 구성된다. 또한 상기 베이스부재(22)의 일측면에는 공기주입부(50) 및 공기배출부(60)와 각각 연통되는 복수의 제1통공(221)이 마련되어 있어서 상기 제1통공(221)을 통하여 고온, 저온의 공기 또는 냉매가 수용공간(20a) 내부로 유입되게 하거나 수용공간(20a) 내부의 공기 또는 냉매가 외부로 배출될 수 있도록 한다.
상기 힌지수단(23)은, 상기 베이스부재(22)에서 제1통공(221)이 마련된 측면과 대면하도록 배치되며 힌지핀(232)이 길이방향으로 관통되어 있는 힌지몸체(231)와, 상기 힌지몸체(231)에 결합된 힌지핀(232)으로 구성된다. 상기 힌지핀(232)의 양단에는 커버(30)가 결합되어 상기 커버(30)의 개폐를 가능하게 한다.
상기 힌지몸체(231)에서 상기 제1통공(221)과 대면하는 위치에는 제2통공(2311)이 마련되어 있어서 공기주입부(50) 및 공기배출부(60)가 관통하도록 한다.
상기 커버(30)는 상기 하우징(20)의 개방된 상부를 개폐할 수 있도록 구성되며, 하우징(20)과 협동하여 수용공간(20a)을 구성한다. 즉, 커버(30)가 하우징(20)을 폐쇄하였을 때 그 내부공간이 수용공간(20a)이 될 수 있도록 한다. 이러한 커버(30)는 힌지핀(232)과 결합되어 회동가능한 상태로 되어 있으며 피검사 디바이스(81)를 수용공간(20a)에 삽입하거나 빼내는 경우에는 개방되어 하우징(20)의 수용공간(20a)을 오픈시키고 검사를 위하여 피검사 디바이스(81)가 수용공간(20a)에 안착된 후에는 수용공간(20a)을 폐쇄하도록 구성된다. 이러한 커버(30)의 중앙에는 푸셔장치(40)가 관통하는 관통공(31)이 마련되어 있다.
상기 푸셔장치(40)는, 상기 커버(30)에 마련되며, 상기 하우징(20)에 안착된 피검사 디바이스(81)를 검사용 커넥터(82) 측으로 가압하기 위한 것이다.
이러한 푸셔장치(40)는, 푸셔몸체(41), 실린더 로드(42), 실링부(43) 및 가압판(44)으로 이루어진다. 상기 푸셔몸체(41)는 상기 커버(30)의 상면측에 고정설치되어 있는 것으로서 상기 실린더 로드(42)를 상승 내지 하강시키도록 한다. 상기 푸셔몸체(41)는 공압 내지 기타 다양한 공지된 구동방식에 의하여 상기 실린더 로드(42)를 직선적으로 이동하게 한다.
상기 실린더 로드(42)는 상기 푸셔몸체(41)에 의하여 상승 내지 하강하면서 가압판(44)이 피검사 디바이스(81)의 상면을 가압하거나 가압해제하도록 한다. 구체적으로 상기 실린더 로드(42)의 상부는 푸셔몸체(41) 내부에 결합되고 하부는 가압판(44)에 고정되며 그 중간부분은 커버(30)의 관통공(31)을 통과하도록 구성된다. 상기 푸셔몸체(41)에 의하여 상승 내지 하강하는 실린더 로드(42)는 하단의 가압판(44)을 상승 내지 하강시키면서 가압 동작을 수행할 수 있도록 한다.
상기 실링부(43)는 상기 실린더 로드(42)에 끼워져서 상기 실린더 로드(42)가 관통공(31)을 지나는 과정에서 수용공간(20a) 내부의 공기가 외부로 유출되지 않도록 실린더 로드(42)와 관통공(31) 사이의 틈새를 막아주는 기능을 수행하게 된다.
상기 가압판(44)은 상기 실린더 로드(42)의 하단에 결합되어 상기 실린더 로드(42)와 함게 상승 내지 하강하는 것으로서 피검사 디바이스(81)의 상면에 접촉하여 상기 피검사 디바이스(81)의 가압을 수행하게 된다. 이러한 가압판(44)은 커버(30)의 하측에 배치된다.
상기 공기주입부(50)는, 상기 수용공간(20a) 내로 소정온도의 공기 또는 냉매를 주입함으로서 수용공간(20a) 내의 온도를 조절하는 것이다. 이러한 공기주입부(50)는 하우징(20)의 측면, 구체적으로는 베이스부재(22)의 일측에 마련된 제1통공(221)에 끼워져서 수용공간(20a)과 연통된다. 베이스부재(22)에 새로운 구조를 부가하는 것이 아니라 베이스부재(22)에는 단순하게 제1통공(221)만 형성하고 그 제1통공(221)에 공기주입부(50)를 연결함으로서 간편하게 수용공간(20a) 내부의 온도조절을 가능하게 한다. 한편, 공기주입부(50)가 하우징(20)의 측면에 설치되는 것이 바람직하나, 필요에 따라서 하우징의 상면 또는 하면에 설치되어 있는 것도 가능하다.
이러한 공기주입부(50)는 고온의 공기를 상기 수용공간(20a) 내부로 공급하는 제1공기주입부(51)와, 저온의 공기 또는 냉매를 상기 수용공간(20a) 내로 공급하는 제2공기주입부(52)로 구성된다. 이때 냉매는 액화질소와 같이 기화가 잘 되는 액체와 공기가 혼합된 상태를 이루는 것을 의미한다.
수용공간(20a) 내부를 고온의 환경을 만들기 위해서 상기 제1공기주입부(51)로부터 고온의 공기가 유입되어 수용공간(20a)에 공급되고 이에 따라서 수용공간(20a) 내부 온도가 신속하게 올라간다.
또한, 수용공간(20a) 내부를 저온의 환경으로 만들기 위해서는 제2공기주입부(52)로부터 저온의 공기 또는 냉매가 유입되어 수용공간(20a)에 공급되고 이에 따라서 수용공간(20a) 내부 온도가 신속하게 내려간다.
구체적으로 상기 공기주입부(50)에 의하여 수용공간 내부를 -40 ~ 150 ℃의 온도로 조절할 수 있으며, 1 ℃ 이내에서 정밀하게 온도조절이 가능하다.
상기 공기배출부(60)는 수용공간(20a) 내부의 공기 또는 냉매를 외부로 배출하는 것으로서, 공기 또는 냉매가 공급되어 검사가 완료된 후에 수용공간(20a) 내부의 공기 또는 냉매를 외부로 배출시키는 기능을 수행하게 된다.
상기 밀봉수단(70)은, 상기 커버(30)가 하우징(20)을 폐쇄하였을 때 상기 수용공간(20a)을 외부로부터 밀봉시킬 수 있는 것이다. 즉, 고온의 공기, 저온의 공기 또는 냉매에 의하여 수용공간(20a) 내부의 온도를 상승 내지 하강시키기 위해서는 기밀성이 요구되는데, 이를 위하여 수용공간(20a)의 기밀성을 유지하도록 하기 위하여 밀봉수단(70)을 마련하게 된다.
이러한 밀봉수단(70)은, 상부밀봉체(71)와 하부밀봉체(72)로 이루어진다.
상기 상부밀봉체(71)는, 상기 베이스부재(22)와 상기 커버(30) 사이에 마련되며 상기 수용공간(20a)을 밀봉시키는 것이다. 구체적으로 상부밀봉체(71)은 베이스부재(22)와 커버(30) 사이의 접촉되는 면을 확실하게 밀봉함으로서 수용공간(20a) 내부의 공기 또는 냉매가 외부로 유출되는 것을 방지한다. 이러한 상부밀봉체(71)는 대략 사각프레임 형태로 이루어지며 베이스부재(22)의 테두리 상면을 따라서 연장되어 배치된다. 이러한 상부밀봉체(71)는 그 하면이 베이스부재(22)의 상면에 접촉하고 그 상면이 커버(30)의 하면에 접촉함으로서 수용공간(20a) 내부의 기밀성을 유지하도록 한다.
상기 하부밀봉체(72)는, 상기 베이스부재(22)와 상기 검사장치(80) 사이에 마련되어 상기 수용공간(20a) 내의 공기 또는 냉매가 외부로 유출되는 것을 방지하고 상기 검사용 커넥터(82) 주변에서 상기 검사용 커넥터(82)를 감싸도록 배치되는 것이다. 이러한 하부밀봉체(72)는 검사용 커넥터(82)가 삽입되어 있는 상태에서 피검사 디바이스(81)가 접촉하게 되면 피검사 디바이스(81)와 베이스부재(22)의 개방공(222) 사이의 틈을 통해 그 아래에 배치된 검사용 커넥터(82) 주변부로 공기 가 새어나갈 수 밖에 없기 때문에 피검사 디바이스(81)가 접촉하는 검사용 커넥터(82)의 주변을 둘러싸면서 베이스부재(22)와 검사장치(80) 사이에 배치한다.
본 발명에서 도면부호 82, 90은 각각 검사용 커넥터(82), 전동수단(90)을 지칭한다.
상기 검사용 커넥터(82)는, 도전부 및 절연지지부를 포함하여 구성된다.
상기 도전부는 상기 피검사 디바이스(81)의 단자와 대응되는 위치마다 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배열되어 있는 것이다. 이러한 도전부에는 자성을 나타내는 도전성 입자가 두께 방향으로 늘어서도록 배향된 상태로 조밀하게 함유되어 있다.
도전부를 형성하는 절연성 탄성물질로서는, 가교 구조를 갖는 내열성 고분자 물질이 바람직하다. 이러한 가교 고분자 물질을 얻기 위해서 사용할 수 있는 경화성 고분자 물질 형성 재료로서는 여러가지의 것을 사용할 수 있으며, 그 구체적인 예로서는 실리콘 고무, 폴리부타디엔 고무, 천연 고무, 폴리이소프렌 고무, 스티렌-부타디엔 공중합체 고무, 아크릴로니트릴-부타디엔 공중합체 고무 등의 공액 디엔계 고무 및 이들의 수소 첨가물, 스티렌-부타디엔-디엔 블럭 공중합체 고무, 스티렌-이소프렌 블럭 공중합체 등의 블럭 공중합체 고무 및 이들의 수소 첨가물, 클로로프렌 고무, 우레탄 고무, 폴리에스테르계 고무, 에피클로로히드린 고무, 에틸렌-프로필렌 공중합체 고무, 에틸렌-프로필렌-디엔 공중합체 고무, 연질 액상 에폭시 고무 등을 들 수 있다.
이 중에서는 성형 가공성, 전기 특성의 관점에서 실리콘 고무가 바람직하다.
또한, 검사용 소켓(10)을 웨이퍼에 형성된 집적 회로에 대한 프로브 시험 또는 번인 시험에 사용하는 경우에는, 절연성 탄성물질로서 부가형 액상 실리콘 고무의 경화물(이하, 「실리콘 고무 경화물」이라고 함)이며, 그 150 ℃에서의 압축 영구 왜곡이 30 ％ 이하인 것을 사용하는 것이 바람직하고, 20 ％ 이하인 것을 사용하는 것이 보다 바람직하며, 10 ％ 이하인 것을 사용하는 것이 더욱 바람직하다. 상기 압축 영구 왜곡이 30 ％를 초과하는 경우에는, 얻어지는 검사용 소켓(10)을 다수회에 걸쳐 반복 사용했을 때, 또는 고온 환경하에서 반복하여 사용했을 때에는 도전부에 영구 왜곡이 발생하기 쉽고, 그에 따라 도전부에서의 도전성 입자의 연쇄가 흐트러져, 그 결과 목적하는 도전성을 유지하기가 곤란해지는 경우가 있다.
또한, 실리콘 고무 경화물로서는, 23 ℃에서의 듀로미터 A 경도가 10 내지 80 인 것을 사용하는 것이 바람직하고, 15 내지 80인 것을 사용하는 것이 더욱 바람직하며, 20 내지 80 인 것을 사용하는 것이 특히 바람직하다. 상기 듀로미터 A 경도가 10 미만인 경우에는, 가압되었을 때 도전부를 서로 절연하는 절연지지부가 과도하게 왜곡되기 쉽고, 도전부 사이의 목적하는 절연성을 유지하는 것이 곤란해지는 경우가 있다. 한편, 상기 듀로미터 A 경도가 60을 초과하는 경우에는, 도전부에 적정한 왜곡을 제공하기 위해 상당히 큰 하중에 의한 가압력이 필요해지기 때문에, 예를 들면 검사 대상물의 변형이나 파손이 생기기 쉬워진다.
검사용 소켓(10)에서의 도전부에 함유되는 도전성 입자로서는, 자장을 가하여 성형 재료 중에서 해당 도전성 입자를 쉽게 이동시킬 수 있다는 관점에서 자성을 나타내는 것을 사용하는 것이 바람직하다. 이러한 자성을 나타내는 도전성 입자의 구체예로서는 철, 니켈, 코발트 등의 자성을 나타내는 금속 입자, 또는 이들의 합금의 입자 또는 이들 금속을 함유하는 입자, 또는 이들 입자를 코어 입자로 하고, 해당 코어 입자의 표면에 금, 은, 팔라듐, 로듐 등의 도전성이 양호한 금속의 도금을 실시한 것, 또는 비자성 금속 입자 또는 유리 비드 등의 무기 물질 입자 또는 중합체 입자를 코어 입자로 하고, 해당 코어 입자의 표면에 니켈, 코발트 등의 도전성 자성체의 도금을 실시한 것, 또는 코어 입자에 도전성 자성체 및 도전성이 양호한 금속 모두를 피복한 것 등을 들 수 있다.
이들 중에서는 니켈 입자를 코어 입자로 하고, 그 표면에 금이나 은 등의 도전성이 양호한 금속의 도금을 실시한 것을 사용하는 것이 바람직하다.
코어 입자의 표면에 도전성 금속을 피복하는 수단으로서는 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면 무전해 도금에 의해 행할 수 있다.
도전성 입자로서, 코어 입자의 표면에 도전성 금속이 피복되어 이루어지는 것을 사용하는 경우에는, 양호한 도전성이 얻어지는 관점에서 입자 표면에서의 도전성 금속의 피복률(코어 입자의 표면적에 대한 도전성 금속의 피복 면적의 비율)이 40 ％ 이상인 것이 바람직하고, 45 ％ 이상인 것이 더욱 바람직하며, 47 내지 95 ％인 것이 특히 바람직하다.
또한, 도전성 금속의 피복량은 코어 입자의 2.5 내지 50 중량％인 것이 바람직하고, 3 내지 30 중량％인 것이 보다 바람직하며, 3.5 내지 25 중량％인 것이 더욱 바람직하고, 4 내지 20 중량％인 것이 특히 바람직하다. 피복되는 도전성 금속이 금인 경우에는, 그 피복량은 코어 입자의 3 내지 30 중량％인 것이 바람직하고, 3.5 내지 25 중량％인 것이 보다 바람직하며, 4 내지 20 중량％인 것이 더욱 바람직하고, 4.5 내지 10 중량％인 것이 특히 바람직하다. 또한, 피복되는 도전성 금속이 은인 경우에는, 그 피복량은 코어 입자의 3 내지 30 중량％인 것이 바람직하고, 4 내지 25 중량％인 것이 보다 바람직하며, 5 내지 23 중량％인 것이 더욱 바람직하고, 6 내지 20 중량％인 것이 특히 바람직하다.
또한, 도전성 입자의 입경은 1 내지 500 ㎛인 것이 바람직하고, 2 내지 400 ㎛인 것이 보다 바람직하며, 5 내지 300 ㎛인 것이 더욱 바람직하고, 10 내지 150 ㎛인 것이 특히 바람직하다.
이러한 조건을 만족하는 도전성 입자를 사용함으로써, 얻어지는 검사용 소켓(10)은 가압 변형이 용이해지고, 해당 검사용 소켓(10)에서의 도전부에 있어서 도전성 입자 사이에 충분한 전기적 접촉을 얻을 수 있다.
또한, 도전성 입자의 형상은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 고분자 물질 형성 재료 중에 쉽게 분산시킬 수 있다는 점에서 구상인 것, 별 형상인 것이 바람직하다.
상기 절연지지부는 상기 도전부 주위에 배치되어 각각의 도전부는 절연시키면서 도전부를 지지하는 것으로서, 절연성 탄성물질로 이루어지며 그 내부에 도전성 입자가 전혀 또는 거의 함유되어 있지 않은 것이다. 이러한 절연지지부는 도전부를 구성하는 절연성 탄성물질과 동일한 소재로 이루어지는 것이 바람직하다. 예를 들어 실리콘 고무로 이루어지는 것이 가능하다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 소재가 사용될 수 있음은 물론이다.
상기 전동수단(90)은, 하우징(20)에 힌지식으로 연결된 커버(30)를 자동으로 개폐가능하게 하는 것이다. 이러한 전동수단(90)은, 모터(91)와, 동력전달체(92)로 이루어지고, 상기 모터(91)의 회전력을 동력전달체(92)가 힌지핀(232)에 전달함으로서 커버(30)의 자동회동이 가능하게 할 수 있다. 즉, 모터(91)가 일방향으로 회전하면 연동하여 커버(30)가 하우징(20)의 상부를 오픈시키고, 모터(91)가 타방향으로 회전하면 이에 연동하여 커버(30)가 하우징(20)의 상부를 폐쇄할 수 있도록 구성된다.
이러한 본 발명에 따른 검사용 소켓(10)은 다음과 같은 작용효과를 가지게 된다.
먼저, 도 8에 도시된 바와 같이, 커버(30)를 오픈시킨 상태에서 외부에서 운반되어 오는 피검사 디바이스(81)를 베이스부재(22)의 개방공(222)에 삽입시킨다. 이때 피검사 디바이스(81)의 하면이 검사용 커넥터(82)의 상면에 접촉되게 한다. 이후 커버(30)를 회동시켜 하우징(20)의 상면을 폐쇄한 후에, 푸셔장치(40)를 동작시킨다. 이때 푸셔장치(40)는 실린더 로드(42)를 하강시킴으로서 가압판(44)의 하면이 상기 피검사 디바이스(81)의 상면에 접촉하게 하고 이후에 추가적으로 가압판(44)을 하강시키는 것에 의하여 피검사 디바이스(81)가 검사용 커넥터(82)에 확실하게 접촉되도록 한다.
이후에, 전기적 검사를 위해서 공기주입부(50)로부터 고온, 저온의 공기 또는 냉매를 수용공간(20a) 내로 유입시키면 수용공간(20a) 내부가 신속하게 원하는 온도의 환경조건으로 변경된다. 이와 같이 수용공간(20a) 내부가 고온 또는 저온의 특정한 온도 환경에 놓인 상태에서 소정의 전기적 검사를 수행하게 된다.
한편, 검사가 완료된 후에는 공기배출부(60)를 통하여 수용공간(20a) 내부의 공기 또는 냉매를 외부로 배출시킨 후에 푸셔장치(40)를 동작시켜 가압판(44)을 상기 피검사 디바이스(81)로부터 이격시킨다. 이후에 커버(30)를 회동시켜 하우징(20)의 상부가 오픈된 후에는 검사가 완료된 피검사 디바이스(81)를 외부로 이동시키게 된다. 한편, 추가적인 시험이 필요한 경우에는 새로운 피검사 디바이스(81)를 운반하면서 상술한 동작을 반복하게 된다.
이러한 본 발명에 따른 검사용 소켓은, 피검사 디바이스를 고온 또는 저온의 특정한 온도 환경하에서 검사가 이루어지도록 하기 위하여 피검사 디바이스가 수용되는 수용공간에 고온, 저온의 공기 또는 냉매를 유입시키는 것에 의하여 검사시간을 최소화할 수 있다. 종래기술의 경우 푸셔장치의 가압판을 가열 또는 냉각시킨 후에, 상기 가압판과 피검사 디바이스 사이에 열전달이 일어나게 하는 간접적인 열전달을 통하여 검사를 수행하게 되는데, 이러한 종래기술은 열손실의 문제점 및 검사시간이 장시간 소요되는 문제점이 있으나, 본 발명은 이러한 문제점을 해결한다.
특히 본 발명에 따른 검사용 소켓은 내열 및 내한을 버티는 플라스틱 재질로 이루어진 하우징으로 적은 공기 및 냉매를 사용하여 원하는 소정 온도에 도달하는 시간 및 변환 시간 단축을 통해 기존 대비 에너지 효율 및 검사 전환 시간에 대한 절감 효과를 가지고 있다.
또한, 본 발명에 따른 검사용 소켓은, 소정 온도의 공기 또는 냉매를 수용공간 내에 유입시키는 방식을 취하고 있기 때문에 이 과정에서 수용공간 내부의 공기 또는 냉매가 외부로 유출되지 않도록 하여 열손실을 방지하기 위하여 밀봉수단의 베이스부재의 상면과 하면측에 배치하고 있는데, 이로 인하여 신속하게 확실한 전기적 검사가 가능하게 한다.
또한, 종래 기술의 검사용 소켓은, 푸셔장치에 가압판을 가열시키기 위한 별도의 구성품이 존재해야 되기 때문에 푸셔장치의 구조가 복잡하다는 문제점이 있었으나, 본 발명에서는 기존에 존재하는 수용공간을 그대로 활용하고 다만 하우징의 일측에서 공기가 유입되도록 하는 간단한 구조에 의하여 피검사 디바이스에 대한 전기적 검사를 가능하게 하여 전체적인 장치의 구조를 간단하게 할 수 있는 장점이 있으며, 구조가 간단하기 때문에 유지보수가 용이하다는 장점도 더불어 가지게 된다.
이러한 본 발명에 따른 검사용 소켓은 위의 내용에 한정되는 것은 아니며 다음과 같이 변형되는 것도 가능하다.
먼저, 상술한 실시예에서는 커버의 회동이 전동수단에 의하여 자동적으로 이루어지게 하는 것을 설명하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 수동에 의하여 사용자가 직접 커버를 열고 닫도록 구성하는 것도 가능하다.
또한, 상술한 실시예에서는 검사용 커넥터가 실리콘 고무의 특성을 이용한 이방 도전성 고무를 이용하는 것을 예시하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 스프링을 이용하여 탄성력을 제공하는 포고핀이 검사용 커넥터로 이용되는 것도 가능하다.
또한, 상술한 실시예에서는 베이스부재의 상면과 하면에 각각 하나씩의 밀봉수단을 설치하는 것을 예시하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 필요에 따라서 밀봉이 더 필요한 것에 추가로 설치하는 것도 가능한 것은 물론이다.
이상에서 다양한 실시예를 들어 본 발명의 검사용 소켓을 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 권리범위로부터 합리적으로 해석될 수 있는 것이라면 무엇이나 본 발명의 권리범위에 속하는 것은 당연하다.

Claims (12)

  1. 피검사 디바이스를 검사장치와 전기적으로 연결시키는 검사용 커넥터와, 상기 피검사 디바이스가 수용될 수 있는 수용공간이 마련되고, 상부가 개방되어 있는 하우징;
    상기 하우징의 개방된 상부를 개폐할 수 있는 커버;
    상기 커버에 마련되며, 상기 하우징에 안착된 피검사 디바이스를 검사용 커넥터 측으로 가압하기 위한 푸셔장치;
    상기 수용공간 내로 소정온도의 공기 또는 냉매를 주입함으로서 수용공간 내의 온도를 조절하는 공기주입부;
    상기 수용공간 내에 주입된 공기 또는 냉매를 외부로 배출시키는 공기배출부; 및
    상기 커버가 상기 하우징을 폐쇄하였을 때 상기 수용공간을 외부로부터 밀봉시킬 수 있는 밀봉수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 하우징은, 검사장치에 안착되어 고정되며 중앙공이 형성되고 상기 중앙공 내에 검사용 커넥터가 배치되는 몸체부; 및
    상기 몸체부에 분리가능하게 고정되며 상기 검사용 커넥터의 상면을 개방시켜 피검사 디바이스와 접촉가능하게 하는 개방공이 형성되는 베이스부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 밀봉수단은, 상기 베이스부재와 상기 커버 사이에 마련되며 상기 수용공간을 밀봉시키는 상부 밀봉체를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 밀봉수단은, 상기 베이스부재와 상기 검사장치 사이에 마련되어 상기 수용공간 내의 공기 또는 냉매가 외부로 유출되는 것을 방지하고 상기 검사용 커넥터 주변에 상기 검사용 커넥터를 감싸도록 배치되는 하부 밀봉체를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 공기주입부는, 고온의 공기를 상기 수용공간 내부로 공급하는 제1공기주입부와, 저온의 공기 또는 냉매를 상기 수용공간 내로 공급하는 제2공기주입부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 공기주입부는, 상기 하우징의 측면에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 커버는 상기 하우징에 대해서 힌지식으로 연결되며 전동수단에 의하여 자동으로 개폐되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  8. 피검사 디바이스를 검사장치와 전기적으로 연결시키는 검사용 커넥터와, 상기 피검사 디바이스가 수용될 수 있는 수용공간이 마련되고, 상부가 개방되어 있는 하우징;
    상기 하우징의 개방된 상부를 개폐할 수 있는 커버;
    상기 수용공간 내로 소정온도의 공기 또는 냉매를 주입함으로서 수용공간 내의 온도를 조절하는 공기주입부;
    상기 수용공간 내에 주입된 공기 또는 냉매를 외부로 배출시키는 공기배출부; 및
    상기 커버가 상기 하우징을 폐쇄하였을 때 상기 수용공간을 외부로부터 밀봉시킬 수 있는 밀봉수단을 포함하되,
    상기 하우징은, 검사장치 측에 고정설치되며 중앙에 상기 검사용 커넥터가 배치된 몸체부와, 상기 몸체부에 대하여 분리가능하게 결합되는 상기 검사용 커넥터와 대응되는 위치에 개방공이 형성된 베이스부재를 포함하고,
    상기 밀봉수단은, 상기 베이스부재의 상면에 설치되는 상부밀봉체와, 상기 베이스부재의 하면에 설치되는 하부밀봉체를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 상부밀봉체는, 상기 커버의 하면과 접촉하고,
    상기 하부밀봉체는, 검사용 커넥터를 둘러싸면서 상기 검사장치의 상면에 접촉하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 하부밀봉체는, 상기 베이스부재와 검사장치 사이의 틈으로 공기 또는 냉매가 유출되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 커버는 상기 하우징에 대해서 힌지식으로 연결되어 수동으로 개폐되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  12. 제8항에 있어서,
    상기 커버에는 하우징에 안착된 피검사 디바이스를 검사용 커넥터 측으로 가압하기 위한 푸셔장치가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
PCT/KR2018/011033 2017-09-25 2018-09-19 검사용 소켓 WO2019059629A1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170123654A KR102039625B1 (ko) 2017-09-25 2017-09-25 검사용 소켓
KR10-2017-0123654 2017-09-25

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2019059629A1 true WO2019059629A1 (ko) 2019-03-28

Family

ID=65809748

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/KR2018/011033 WO2019059629A1 (ko) 2017-09-25 2018-09-19 검사용 소켓

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR102039625B1 (ko)
TW (1) TWI689734B (ko)
WO (1) WO2019059629A1 (ko)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3079032B1 (fr) * 2018-03-19 2020-09-04 Tyco Electronics France Sas Boîtier électrique et procédé pour tester l’étanchéité du boîtier électrique
KR102319388B1 (ko) * 2020-07-16 2021-11-01 주식회사 아이에스시 검사용 커넥팅 장치
KR102188174B1 (ko) * 2020-09-22 2020-12-08 주식회사 프로이천 프로브핀에 의해 디스플레이 패널을 검사하는 소켓장치

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001146905A (ja) * 1999-11-22 2001-05-29 Fujikura Rubber Ltd 同時作動シリンダ装置及びｉｃの多数個同時検査装置
KR20150097301A (ko) * 2014-02-18 2015-08-26 (주)솔리드메카 가혹조건 조성구조가 구비된 메모리 패키지 테스트용 고정지그
KR20150123377A (ko) * 2014-04-24 2015-11-04 (주)테크윙 전자부품 테스트용 핸들러 및 그 작동방법
KR20160081360A (ko) * 2014-12-31 2016-07-08 주식회사 아이에스시 전기적 검사소켓
KR101741828B1 (ko) * 2015-11-30 2017-05-31 주식회사 아이에스시 푸셔장치

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4054473B2 (ja) * 1999-02-22 2008-02-27 株式会社アドバンテスト 電子部品試験装置および電子部品の試験方法
JP2002016809A (ja) * 2000-05-16 2002-01-18 Heidelberger Druckmas Ag 適応的圧縮のための画像解析方法
US6894479B2 (en) * 2002-08-26 2005-05-17 Agilent Technologies, Inc. Connector cable and method for probing vacuum-sealable electronic nodes of an electrical testing device
KR100864432B1 (ko) * 2007-05-03 2008-10-20 미래산업 주식회사 반도체 소자 테스트 온도 조절용 챔버 및 그를 이용한반도체 소자 제조방법
TWI518339B (zh) * 2010-01-18 2016-01-21 佛姆費克特股份有限公司 用以測試電子裝置之測試系統及方法
JP2012237669A (ja) * 2011-05-12 2012-12-06 Advantest Corp 電子部品試験装置、ソケットボード組立体、及びインタフェース装置
KR101245837B1 (ko) * 2012-03-28 2013-03-20 (주)마이크로컨텍솔루션 반도체 패키지 테스트용 소켓장치
KR101593634B1 (ko) * 2014-12-31 2016-02-18 주식회사 아이에스시 전기적 검사소켓

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001146905A (ja) * 1999-11-22 2001-05-29 Fujikura Rubber Ltd 同時作動シリンダ装置及びｉｃの多数個同時検査装置
KR20150097301A (ko) * 2014-02-18 2015-08-26 (주)솔리드메카 가혹조건 조성구조가 구비된 메모리 패키지 테스트용 고정지그
KR20150123377A (ko) * 2014-04-24 2015-11-04 (주)테크윙 전자부품 테스트용 핸들러 및 그 작동방법
KR20160081360A (ko) * 2014-12-31 2016-07-08 주식회사 아이에스시 전기적 검사소켓
KR101741828B1 (ko) * 2015-11-30 2017-05-31 주식회사 아이에스시 푸셔장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR102039625B1 (ko) 2019-11-01
KR20190034983A (ko) 2019-04-03
TW201920974A (zh) 2019-06-01
TWI689734B (zh) 2020-04-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2019059629A1 (ko) 검사용 소켓
WO2020075896A1 (ko) 반도체 소자 테스트용 소켓장치
WO2018105896A1 (ko) 검사용 소켓장치
WO2016105031A1 (ko) 전기적 검사 소켓 및 전기적 검사 소켓용 도전성 입자의 제조방법
US7518389B2 (en) Interface assembly and dry gas enclosing apparatus using same
WO2021125679A1 (ko) 검사용 소켓
WO2017196092A1 (ko) 검사용 소켓 및 도전성 입자
WO2023128428A1 (ko) 신호 손실 방지용 테스트 소켓
WO2015046786A1 (ko) 반도체 칩 검사장치
WO2019147100A1 (ko) 검사용 소켓
WO2013100560A1 (ko) 전기적 콘택터 및 전기적 콘택터의 제조방법
WO2021241992A1 (ko) 전기접속용 커넥터
US6070478A (en) Removable fixture adapter with RF connections
WO2015156653A1 (ko) 검사용 시트의 제조방법 및 검사용 시트
KR20010072000A (ko) 프로브 카드용 단열판
WO2019045426A1 (ko) 검사용 소켓 및 도전성 입자
CN116754918B (zh) 一种晶圆级别的半导体高压可靠性测试夹具
WO2019045425A1 (ko) 탄소나노튜브가 포함된 검사용 소켓
WO2022045542A1 (ko) 검사용 소켓
WO2023074947A1 (ko) 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치
WO2020145577A1 (ko) 신호 전송 커넥터용 도전부 보호부재 및 그 제조방법과, 이를 갖는 신호 전송 커넥터 및 그 제조방법
WO2021172816A2 (ko) 전기접속용 커넥터
WO2021107484A1 (ko) 도전성 입자 및 이를 갖는 검사용 소켓
WO2023042929A1 (ko) 신호 손실 방지용 테스트 소켓
WO2021033824A1 (ko) 부분 교체가 가능한 테스트 소켓

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 18859223

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 18859223

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1