KR101741828B1

KR101741828B1 - 푸셔장치

Info

Publication number: KR101741828B1
Application number: KR1020150169270A
Authority: KR
Inventors: 정영배
Original assignee: 주식회사 아이에스시
Priority date: 2015-11-30
Filing date: 2015-11-30
Publication date: 2017-05-31
Also published as: TW201727251A; TWI619952B; CN108450020B; CN108450020A; WO2017095070A1

Abstract

본 발명은 푸셔장치에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스의 단자들을 검사용 장치에 가압하기 위한 푸셔장치에 있어서, 중앙에 배치되며 아래로 개방되어 있는 푸셔 수용공간과, 상기 푸셔 수용공간과 인접하게 배치되고 밸브구조체가 수용될 수 있는 밸브 수용공간과, 일단은 외부의 공기유입부와 연결되고 타단은 상기 밸브 수용공간과 연결되는 유입통로와, 일단은 외부와 연결되고 타단은 상기 밸브 수용공간과 연결되는 배출통로와, 일단은 상기 밸브 수용공간과 연결되고 타단은 상기 푸셔 수용공간과 연결되는 연결통로를 포함하는 하우징; 상기 연결통로를 상기 유입통로와 배출통로 중 어느 하나에 선택적으로 연통시키는 밸브구조체; 및 상기 유입통로와 연결통로가 연통되어 공기유입부로부터 공기가 상기 푸셔 수용공간 내에 유입되는 경우 공압에 의하여 하강하여 피검사 디바이스와 접촉함으로서 상기 피검사 디바이스를 검사용 장치 측으로 가압할 수 있는 가압수단을 포함하되, 상기 밸브구조체와 가압수단은 단일의 하우징 내에 배치되어 있는 푸셔장치에 대한 것이다.

Description

푸셔장치{Pusher apparatus}

본 발명은 푸셔장치에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 하우징과 밸브를 일체화하여 전체적인 장치의 크기 및 무게를 감소시킨 푸셔장치에 대한 것이다.

일반적으로 검사가 완료된 반도체 디바이스는 전기적 검사를 수행하게 된다. 이러한 전기적 검사를 위해서는 외부로부터 운반되어온 반도체 디바이스를 소정의 검사장치에 안착시킨 후에 상기 반도체 디바이스에 소정의 가압력을 가하여 상기 반도체 디바이스의 단자들이 검사장치의 패드들에 일정한 압력으로 접촉될 수 있어야 한다.

이러한 반도체 디바이스를 검사장치측으로 가압하기 위한 장치를 푸셔장치라고 하는데, 이러한 푸셔장치는 통상적으로 내부에 실린더 구조를 가지고 있으며 공압에 의하여 동작되는 하우징과, 공기를 공급하는 에어실린더와 하우징 사이에 배치되어 공기의 공급을 ON/OFF 하는 밸브장치로 구성되어 있게 된다.

이때 하우징 내부에는 외부로부터 유입되는 공기를 채워지는 소정의 공간과 상기 공간 내에서 상승 또는 하강하면서 반도체 디바이스의 상면을 가압하는 가압수단이 마련되어 있게 된다.

또한, 상기 밸브장치는 에어실린더와 상기 하우징에 연결되어 에어실린더로부터 공급되는 공기를 ON/OFF 하기 위한 밸브가 내부에 마련되어 있게 되는데, 이러한 밸브장치는 하우징과는 별도로 하우징 외부로 설치되어 있게 된다.

이와 같이 종래기술의 푸셔장치는 하우징과 밸브장치로 별개로 제작된 후에 서로 부착되는 방식으로 구성되기 때문에, 전체적인 크기와 무게가 많이 나간다는 문제점이 있다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 하우징과 밸브를 일체화하여 전체적인 장치의 크기 및 무게를 감소시킨 푸셔장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 푸셔장치는, 피검사 디바이스의 단자들을 검사용 장치에 가압하기 위한 푸셔장치에 있어서,

중앙에 배치되며 아래로 개방되어 있는 푸셔 수용공간과, 상기 푸셔 수용공간과 인접하게 배치되고 밸브구조체가 수용될 수 있는 밸브 수용공간과, 일단은 외부의 공기유입부와 연결되고 타단은 상기 밸브 수용공간과 연결되는 유입통로와, 일단은 외부와 연결되고 타단은 상기 밸브 수용공간과 연결되는 배출통로와, 일단은 상기 밸브 수용공간과 연결되고 타단은 상기 푸셔 수용공간과 연결되는 연결통로를 포함하는 하우징;

상기 연결통로를 상기 유입통로와 배출통로 중 어느 하나에 선택적으로 연통시키는 밸브구조체; 및

상기 유입통로와 연결통로가 연통되어 공기유입부로부터 공기가 상기 푸셔 수용공간 내에 유입되는 경우 공압에 의하여 하강하여 피검사 디바이스와 접촉함으로서 상기 피검사 디바이스를 검사용 장치 측으로 가압할 수 있는 가압수단을 포함하되,

상기 밸브구조체와 가압수단은 단일의 하우징 내에 배치된다.

상기 푸셔장치에서,

상기 밸브구조체는, 상기 하우징의 밸브 수용공간에 삽입되되,

상기 연결통로와 상기 유입통로를 서로 연통시키면서 상기 연결통로와 상기 배출통로 간의 연통을 차단하는 유입위치와, 상기 연결통로와 상기 배출통로를 서로 연통시키고 상기 연결통로와 상기 유입통로 간의 연통을 차단하는 배출위치 사이를 이동할 수 있다.

상기 푸셔장치에서,

상기 가압수단은, 상기 밸브구조체가 유입위치로 이동하여 공기가 상기 푸셔 수용공간 내부로 유입되면 공압에 의하여 하강하여 피검사 디바이스와 접촉함으로서 상기 피검사 디바이스를 검사장치 측으로 가압할 수 있다.

상기 푸셔장치에서,

상기 밸브구조체는,

상기 밸브 수용공간 내에 삽입되며 상하단을 연통하는 스템삽입공이 마련되는 통형상의 밸브부시;

상기 적어도 일부가 밸브부시에 삽입되어 유입위치와 배출위치 사이를 이동하는 밸브스템;

상기 밸브스템을 상기 배출위치에서 유입위치 측으로 탄성바이어스시키는 탄성바이어스수단; 및

상기 통형상의 밸브부재의 상단측에 배치되며 상기 밸브스템과 접촉하면서 상기 밸브스템을 가압하여 배출위치로 이동시킬 수 있는 조작수단을 포함할 수 있다.

상기 푸셔장치에서,

상기 밸브 수용공간은,

상기 유입통로가 연결된 유입부분과, 상기 배출통로가 연결된 배출부분과, 상기 연결통로가 연결된 연결부분으로 구성되되, 상기 연결부분은 유입부분과 배출부분의 사이에 배치될 수 있다.

상기 푸셔장치에서,

상기 밸브부시에는, 상단에 상기 유입통로를 내부의 스템삽입공과 연통시키는 연통공이 마련되고, 상기 연통공의 하측에는 밸브부시의 외면과 상기 밸브 수용공간 사이를 밀폐시키는 부시실링이 마련될 수 있다.

상기 푸셔장치에서,

상기 밸브스템은 적어도 일부가 상기 밸브부시의 스템삽입공에 삽입되며 상기 스템삽입공보다 작은 외경을 가지는 기둥부와, 상기 기둥부와 일체로 연결되며 밀폐실링이 마련된 밀폐부로 이루어지되,

상기 유입위치는 상기 밀폐부의 밀폐실링이 상기 밸브부시의 스템삽입공의 내면에 기밀성이 있도록 접촉하는 위치이며,

상기 배출위치는 상기 유입부분과 연결부분 사이의 수용공간의 내벽에 기밀성이 있도록 접촉하는 위치일 수 있다.

상기 푸셔장치의 상기 연결부분에서, 상기 밸브스템이 상기 밸브 수용공간의 내벽에 소정간격 이격되어 있으며 상기 밀폐부의 밀폐실링이 상기 유입부분에 위치되었을 때 상기 연결부분의 연결통로는 밸브스템의 하단을 통하여 배출통로와 연통될 수 있다.

상기 푸셔장치에서, 상기 밀폐부의 밀폐실링이 밸브스템의 내부에 끼워졌을 때 상기 연결부분의 유입통로는 밸브스템의 외주면과 밀폐부 사이의 공간을 통하여 서로 연통될 수 있다.

상기 밸브구조체와 가압수단은 단일의 하우징 내에 배치되어 있어 반도체 디바이스를 검사하기 위한 공간을 최소화할 수 있다는 장점이 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 푸셔장치의 사시도.
도 2는 도 1의 분리사시도.
도 3 및 4는 푸셔장치가 반도체 디바이스를 가압하기 전 상태를 나타내는 측면도.
도 5는 푸셔장치가 반도체 디바이스를 가압하기 전 상태를 나타내는 평면도.
도 6은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ 단면도.
도 7은 도 5의 Ⅶ-Ⅶ 단면도.
도 8은 도 5의 Ⅷ-Ⅷ 단면도.
도 9는 푸셔장치가 반도체 디바이스를 가압할 때의 모습을 나타내는 평면도.
도 10은 도 9의 Ⅹ-Ⅹ 단면도.
도 11은 도 9의 ⅩⅠ-ⅩⅠ 단면도.
도 12는 도 9의 ⅩⅡ-ⅩⅡ 단면도.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 푸셔장치를 첨부된 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

본 발명은 피검사 디바이스(50)의 단자들을 검사용 장치에 가압하기 위한 푸셔장치(10)에 대한 것으로서, 하우징(20), 밸브구조체(30), 가압수단(40)을 포함하는 것으로서 상기 밸브구조체(30)와 가압수단(40)은 단일의 하우징(20) 내에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

상기 하우징(20)은, 전체적으로 직육면체의 형상을 가지는 것으로서 그 내부에 푸셔 수용공간(21), 밸브 수용공간(22), 유입통로(23), 배출통로(24) 및 연결통로(25)를 포함한다.

상기 푸셔 수용공간(21)은 대략 중앙에 배치되며 아래로 개방되어 있는 것으로서 대략 원통형태로 이루어진다. 이러한 푸셔 수용공간(21)에는 연결통로(25)의 타단이 연결되어 있게 된다.

상기 밸브 수용공간(22)은 상기 푸셔 수용공간(21)과 인접하게 배치되고 밸브구조체(30)가 수용될 수 있는 것으로서, 밸브구조체(30)가 내부에 수용되는 것이다. 구체적으로 밸브 수용공간(22)은 상측으로 개구된 홈 형태를 가진다. 이러한 밸브 수용공간(22)은 유입통로(23)의 타단이 연결되고, 배출통로(24)의 타단이 연결되며, 연결통로(25)의 일단이 연결되어 있게 된다.

이러한 밸브 수용공간(22)은 상기 유입통로(23)가 연결된 유입부분(221)과, 상기 배출통로(24)가 연결된 배출부분(222)과, 상기 연결통로(25)가 연결된 연결부분(223)으로 구성되되, 상기 연결부분(223)은 유입부분(221)과 배출부분(222)의 사이에 배치되어 있게 된다. 상기 연결부분(223)에서, 상기 밸브스템(32)이 상기 밸브 수용공간(22)의 내벽에 소정간격 이격되어 있으며 상기 밀폐부(322)의 밀폐실링(322a)이 상기 유입부분(221)에 위치되었을 때 상기 연결부분(223)의 연결통로(25)는 밸브스템(32)의 하단을 통하여 배출통로(24)와 연통된다.

또한 상기 밀폐부(322)의 밀폐실링(322a)이 밸브스템(32)의 내부에 끼워졌을 때 상기 연결부분(223)의 유입통로(23)는 밸브스템(32)의 외주면과 밀폐부(322) 사이의 공간을 통하여 서로 연통될 수 있다.

상기 유입통로(23)는 일단은 외부의 공기유입부(231)와 연결되고 타단은 상기 밸브 수용공간(22)과 연결되어 있는 것이다. 구체적으로 유입통로(23)의 일단은 외부의 공기펌프와 연결되어 공기펌프(미도시)로부터 가해진 공기가 유입될 수 있도록 하는 통로이다.

상기 배출통로(24)는 일단은 외부의 배출통로(241)와 연결되고 타단은 상기 밸브 수용공간(22)과 연결되는 것으로서, 피검사 디바이스(50)에 대한 가압이 완료된 후에 가압수단(40)이 상승할 때 공기가 빠질 수 있도록 하는 공기 배출통로(24)의 기능을 수행한다.

상기 연결통로(25)는 일단은 상기 밸브 수용공간(22)과 연결되고 타단은 상기 푸셔 수용공간(21)과 연결되는 통로이다. 이러한 연결통로(25)는 푸셔 수용공간(21) 내부로 공기가 유입되는 통로로 이용되거나 푸셔 수용공간(21) 내부의 공기를 외부로 배출하는 통로로도 사용되는 것이다.

상기 밸브구조체(30)는 상기 연결통로(25)를 상기 유입통로(23)와 배출통로(24) 중 어느 하나에 선택적으로 연통시키는 것이다. 구체적으로 상기 밸브구조체(30)는, 상기 하우징(20)의 밸브 수용공간(22)에 삽입되되, 상기 연결통로(25)와 상기 유입통로(23)를 서로 연통시키면서 상기 연결통로(25)와 상기 배출통로(24) 간의 연통을 차단하는 유입위치와, 상기 연결통로(25)와 상기 배출통로(24)를 서로 연통시키고 상기 연결통로(25)와 상기 유입통로(23) 간의 연통을 차단하는 배출위치 사이를 이동하는 것이다.

이러한 밸브구조체(30)는 밸브부시(31), 밸브스템(32), 탄성바이어스수단(33) 및 조작수단(34)을 포함한다.

상기 밸브부시(31)는 상기 밸브 수용공간(22) 내에 삽입되며 상하단을 연통하는 스템삽입공(311)이 마련되는 것으로서 통형상으로 이루어진다. 상기 밸브부시(31)에는, 상단에 상기 유입통로(23)를 내부의 스템삽입공(311)과 연통시키는 연통공(312)이 마련되고, 상기 연통공(312)의 하측에는 밸브부시(31)의 외면과 상기 밸브 수용공간(22) 사이를 밀폐시키는 부시실링(313)이 마련되어 있다.

상기 밸브스템(32)은 상기 적어도 일부가 밸브부시(31)에 삽입되어 유입위치와 배출위치 사이를 이동하는 것이다. 상기 밸브스템(32)은 적어도 일부가 상기 밸브부시(31)의 스템삽입공(311)에 삽입되며 상기 스템삽입공(311)보다 작은 외경을 가지는 기둥부(321)와, 상기 기둥부(321)와 일체로 연결되며 밀폐실링(322a)이 마련된 밀폐부(322)로 이루어진다. 이때, 상기 유입위치는 상기 밀폐부(322)의 밀폐실링(322a)이 상기 밸브부시(31)의 스템삽입공(311)의 내면에 기밀성이 있도록 접촉하는 위치이며, 상기 배출위치는 상기 유입부분(221)과 연결부분(223) 사이의 밸브 수용공간(22)의 내벽에 기밀성이 있도록 접촉하는 위치이다.

상기 탄성바이어스수단(33)은, 상기 밸브스템(32)을 상기 배출위치에서 유입위치 측으로 탄성바이어스시키는 것이다. 구체적으로 상기 탄성바이어스수단(33)은 상기 밸브스템(32)의 하단과 상기 밸브 수용공간(22)의 하단 사이에 배치되어 상기 밸브스템(32)을 탄성지지하는 것이다.

상기 조작수단(34)은, 상기 통형상의 밸브부재의 상단측에 배치되며 상기 밸브스템(32)과 접촉하면서 상기 밸브스템(32)을 가압하여 배출위치로 이동시킬 수 있는 것이다.

상기 가압수단(40)은 상기 유입통로(23)와 연결통로(25)가 연통되어 공기유입부(231)로부터 공기가 상기 푸셔 수용공간(21) 내에 유입되는 경우 공압에 의하여 하강하여 피검사 디바이스(50)와 접촉함으로서 상기 피검사 디바이스(50)를 검사용 장치 측으로 가압할 수 있는 것이다. 이러한 가압수단(40)은 상기 밸브구조체(30)가 유입위치로 이동하여 공기가 상기 푸셔 수용공간(21) 내부로 유입되면 공압에 의하여 하강하여 피검사 디바이스(50)와 접촉함으로서 상기 피검사 디바이스(50)를 검사장치 측으로 가압할 수 있다. 이러한 가압수단(40)은 피검사 디바이스(50)와 상면과 접촉하여 상기 피검사 디바이스(50)를 가압하는 가압판(41)과, 상기 가압판(41)과 연결되며 공압에 의하여 상승 내지 하강하는 피스톤(42)과, 상기 피스톤(42)을 상측으로 탄성바이어스시키는 피스톤 스프링(43)으로 이루어진다. 푸셔 수용공간(21) 내부로 공기가 유입되면 상기 피스톤(42)은 공압에 의하여 하강하고 이와 함께 가압판(41)도 하강하게 되며, 공압이 제거되면 피스톤 스프링(43)에 의하여 피스톤(42)이 상승하게 되는 구조로 이루어진다. 이러한 가압수단(40)은 푸셔장치(10)의 일반적인 구성이므로 구체적인 설명은 생략한다.

본 발명에 따른 푸셔장치(10)의 작용 및 효과에 대하여 설명하면 다음과 같다.

먼저 밸브구조체(30)가 배출위치에 놓여 가압수단(40)이 상승한 모습을 도 6 내지 도 8에 도시되어 있다. 이때 연결통로(25)와 배출통로(24)가 서로 연통되어 있어서 푸셔 수용공간(21) 내부의 공기는 외부로 배출되도록 구성되어 있게 된다.

이 상태에서 조작수단(34)을 조작하여 밸브구조체(30)가 탄성바이어스수단(33)에 의하여 상승시키는 경우에는 도 10 내지 도 12와 같이 동작된다. 즉, 밸브구조체(30)가 상승하면 밀폐부(322)의 밀폐실링(322a)이 밸브스템(32)의 내면에 기밀하게 접촉되면서 배출통로(24)와 연결통로(25)를 연통을 차단하게 된다. 이와는 반대로 유입통로(23)와 연결통로(25)는 서로 연통시킨다. 이에 따라서 외부의 공기가 유입통로(23) 및 연결통로(25)를 통하여 푸셔 수용공간(21)에 공급됨으로서 가압수단(40)을 하강시키면서 피검사 디바이스(50)를 검사장치 측으로 가압시키게 되는 것이다.

이와 반대로서 조작밸브를 다시 반대로 조작하면 밸브구조체(30)가 하강하면서 도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이 밀폐부(322)의 밀폐실링(322a)이 유입부분(221)을 연결부분(223)으로부터 기밀성 있게 차단함으로서 외부로부터 공기가 유입되는 것을 막는다. 이와는 달리 배출통로(24)와 연결통로(25)를 서로 연통시킨다. 즉, 푸셔 수용공간(21) 내부의 공기는 연결통로(25), 밸브 수용공간(22)의 내벽과 밸브스템(32) 사이의 이격공간, 밸브스템(32)의 하단 및 밸브스템(32)의 스템삽입공(311)을 통하여 배출통로(24)를 거쳐서 외부로 배출된다.

이러한 본 발명에 다른 푸셔장치는 하우징 내부에 가압수단을 포함한 밸브 구조체를 일체화시켜 배치함으로서 전체적인 푸셔장치의 크기를 감소시킬 수 있을 뿐 아니라, 중량도 감소시킬 수 있는 장점이 있다.

10...푸셔장치 20...하우징
21...푸셔 수용공간 22...밸브 수용공간
221...유입부분 222...배출부분
223...연결부분 23...유입통로
24...배출통로 25...연결통로
30...밸브구조체 31...밸브부시
311...스템삽입공 312...연통공
313...부시실링 32...밸브스템
321...기둥부 322...밀폐부
322a...밀폐실링 33...탄성바이어스수단
34...조작수단 40...가압수단
41...가압판 42...피스톤
43...피스톤 스프링 50...피검사 디바이스

Claims

피검사 디바이스의 단자들을 검사용 장치에 가압하기 위한 푸셔장치에 있어서,
중앙에 배치되며 아래로 개방되어 있는 푸셔 수용공간과, 상기 푸셔 수용공간과 인접하게 배치되고 밸브구조체가 수용될 수 있는 밸브 수용공간과, 일단은 외부의 공기유입부와 연결되고 타단은 상기 밸브 수용공간과 연결되는 유입통로와, 일단은 외부와 연결되고 타단은 상기 밸브 수용공간과 연결되는 배출통로와, 일단은 상기 밸브 수용공간과 연결되고 타단은 상기 푸셔 수용공간과 연결되는 연결통로를 포함하는 하우징;
상기 연결통로를 상기 유입통로와 배출통로 중 어느 하나에 선택적으로 연통시키는 밸브구조체; 및
상기 유입통로와 연결통로가 연통되어 공기유입부로부터 공기가 상기 푸셔 수용공간 내에 유입되는 경우 공압에 의하여 하강하여 피검사 디바이스와 접촉함으로서 상기 피검사 디바이스를 검사용 장치 측으로 가압할 수 있는 가압수단을 포함하되,
상기 밸브구조체와 가압수단은 단일의 하우징 내에 각각 단일로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 푸셔장치.
제1항에 있어서,
상기 밸브구조체는,
상기 하우징의 밸브 수용공간에 삽입되되,
상기 연결통로와 상기 유입통로를 서로 연통시키면서 상기 연결통로와 상기 배출통로 간의 연통을 차단하는 유입위치와, 상기 연결통로와 상기 배출통로를 서로 연통시키고 상기 연결통로와 상기 유입통로 간의 연통을 차단하는 배출위치 사이를 이동하는 것을 특징으로 하는 푸셔장치.
제2항에 있어서,
상기 가압수단은, 상기 밸브구조체가 유입위치로 이동하여 공기가 상기 푸셔 수용공간 내부로 유입되면 공압에 의하여 하강하여 피검사 디바이스와 접촉함으로서 상기 피검사 디바이스를 검사장치 측으로 가압하는 것을 특징으로 하는 푸셔장치.
제2항에 있어서,
상기 밸브구조체는,
상기 밸브 수용공간 내에 삽입되며 상하단을 연통하는 스템삽입공이 마련되는 통형상의 밸브부시;
적어도 일부가 상기 밸브부시에 삽입되어 유입위치와 배출위치 사이를 이동하는 밸브스템;
상기 밸브스템을 상기 배출위치에서 유입위치 측으로 탄성바이어스시키는 탄성바이어스수단; 및
상기 통형상의 밸브부재의 상단측에 배치되며 상기 밸브스템과 접촉하면서 상기 밸브스템을 가압하여 배출위치로 이동시킬 수 있는 조작수단을 포함하는 푸셔장치.
제4항에 있어서,
상기 밸브 수용공간은,
상기 유입통로가 연결된 유입부분과, 상기 배출통로가 연결된 배출부분과, 상기 연결통로가 연결된 연결부분으로 구성되되, 상기 연결부분은 유입부분과 배출부분의 사이에 배치된 것을 특징으로 하는 푸셔장치.
제5항에 있어서,
상기 밸브부시에는, 상단에 상기 유입통로를 내부의 스템삽입공과 연통시키는 연통공이 마련되고, 상기 연통공의 하측에는 밸브부시의 외면과 상기 밸브 수용공간 사이를 밀폐시키는 부시실링이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 푸셔장치.
제6항에 있어서,
상기 밸브스템은 적어도 일부가 상기 밸브부시의 스템삽입공에 삽입되며 상기 스템삽입공보다 작은 외경을 가지는 기둥부와, 상기 기둥부와 일체로 연결되며 밀폐실링이 마련된 밀폐부로 이루어지되,
상기 유입위치는 상기 밀폐부의 밀폐실링이 상기 밸브부시의 스템삽입공의 내면에 기밀성이 있도록 접촉하는 위치이며,
상기 배출위치는 상기 유입부분과 연결부분 사이의 수용공간의 내벽에 기밀성이 있도록 접촉하는 위치인 것을 특징으로 하는 푸셔장치.
제7항에 있어서,
상기 연결부분에서, 상기 밸브스템이 상기 밸브 수용공간의 내벽에 소정간격 이격되어 있으며 상기 밀폐부의 밀폐실링이 상기 유입부분에 위치되었을 때 상기 연결부분의 연결통로는 밸브스템의 하단을 통하여 배출통로와 연통되는 것을 특징으로 하는 푸셔장치.
제7항에 있어서,
상기 밀폐부의 밀폐실링이 밸브스템의 내부에 끼워졌을 때 상기 연결부분의 유입통로는 밸브스템의 외주면과 밀폐부 사이의 공간을 통하여 서로 연통되는 것을 특징으로 하는 푸셔장치.