TWI619952B - 推動器裝置 - Google Patents

Abstract

本發明是有關於一種推動器裝置，更詳細而言，有關於 一種用以將被檢查器件的端子加壓至檢查用裝置的推動器裝置，其包括：殼體，包括推動器收容空間、閥收容空間、流入通路、排出通路、及連接通路；閥構造體，使上述連接通路選擇性地與上述流入通路及排出通路連通；及加壓單元，通過空氣壓力下降而與被檢查器件接觸以向檢查用裝置側加壓被檢查器件；且上述閥構造體與加壓單元配置於同一殼體內。

Description

推動器裝置

本發明是有關於一種推動器裝置，更詳細而言，有關於一種將殼體與閥一體化而減少裝置的整體尺寸及重量的推動器裝置。

通常，對檢查結束的半導體器件進行電氣檢查。為了進行此種電氣檢查，需於將自外部搬送而來的半導體器件安裝至特定的檢查裝置後，對上述半導體器件施加特定的加壓力而使上述半導體器件的端子以固定的壓力與檢查裝置的墊接觸。

將此種用以向檢查裝置側加壓半導體器件的裝置稱為推動器裝置，此種推動器裝置通常包括：殼體，於內部具有汽缸構造，藉由空氣壓力而進行動作；及閥裝置，配置至供給空氣的氣缸與殼體之間，接通/斷開(ON/OFF)空氣的供給。

此時，於殼體內部設置有填充自外部流入的空氣的特定的空間，及於上述空間內上升或下降而對半導體器件的上表面進行加壓的加壓單元。

並且，上述閥裝置於內部設置有用以連接至氣缸與上述 殼體而接通/斷開由氣缸供給的空氣的閥，此種閥裝置與殼體獨立地設置於殼體外部。

如上所述，先前技術的推動器裝置以個別地製作殼體與閥裝置後使彼此附著的方式構成，故而存在整體尺寸與重量較大的問題。

本發明是為了解決上述問題而提出，更詳細而言，其目的在於提供一種將殼體與閥一體化而減少裝置的整體尺寸及重量的推動器裝置。

用以達成上述目的的本發明的推動器裝置用以將被檢查器件的端子加壓至檢查用裝置，推動器裝置包括：殼體，包括配置至中央且向下方開放的推動器收容空間、與上述推動器收容空間相鄰地配置且可收容閥構造體的閥收容空間、一端與外部的空氣流入部連接且另一端與上述閥收容空間連接的流入通路、一端與外部連接且另一端與上述閥收容空間連接的排出通路，及一端與上述閥收容空間連接且另一端與上述推動器收容空間連接的連接通路；閥構造體，使上述連接通路選擇性地與上述流入通路及排出通路中的任一者連通；及加壓單元，在上述流入通路與連接通路連通而空氣自空氣流入部流入至上述推動器收容空間內時，藉由 空氣壓力下降而與被檢查器件接觸，藉此可向檢查用裝置側加壓上述被檢查器件；且述閥構造體與加壓單元配置至同一殼體內。

於上述推動器裝置中，上述閥構造體可插入至上述殼體的閥收容空間，於流入位置與排出位置之間移動，閥構造體在上述流入位置使上述連接通路與上述流入通路彼此連通且阻斷上述連接通路與上述排出通路間的連通，閥構造體在上述排出位置使上述連接通路與上述排出通路彼此連通且阻斷上述連接通路與上述流入通路間的連通。

於上述推動器裝置中，若上述閥構造體移動至流入位置而空氣流入至上述推動器收容空間的內部，則上述加壓單元可藉由空氣壓力下降而與被檢查器件接觸，藉此向檢查裝置側加壓上述被檢查器件。

於上述推動器裝置中，上述閥構造體可包括：筒形狀的閥襯套，插入至上述閥收容空間內，具備連通上端及下端的桿插入孔；閥桿，至少一部分插入至閥襯套，於流入位置與排出位置之間移動；彈性偏置單元，使上述閥桿自上述排出位置向流入位置側彈性偏置；及操作單元，配置至上述筒形狀的閥構件的上端側，可與上述閥桿接觸而對上述閥桿進行加壓來使上述閥桿向排出位置移動。

於上述推動器裝置中，上述閥收容空間可包括連接上述流入通路的流入部分、連接上述排出通路的排出部分，及連接上述連接通路的連接部分，上述連接部分配置至流入部分與排出部分 之間。

於上述推動器裝置中，上述閥襯套可於上端設置使上述流入通路與內部的桿插入孔連通的連通孔，於上述連通孔的下側設置使閥襯套的外表面與上述閥收容空間之間密閉的襯套密封件。

於上述推動器裝置中，上述閥桿可包括：柱部，至少一部分插入至上述閥襯套的桿插入孔，具有小於上述桿插入孔的外徑；及密閉部，與上述柱部一體地連接，設置有密閉密封件；上述流入位置是上述密閉部的密閉密封件以具有氣密性的方式與上述閥襯套的桿插入孔的內表面接觸的位置，上述排出位置是上述密閉部的密閉密封件以具有氣密性的方式與上述流入部分與連接部分之間的收容空間的內壁接觸的位置。

於上述推動器裝置的上述連接部分，上述閥桿與上述閥收容空間的內壁隔開特定間隔，於上述密閉部的密閉密封件位於上述流入部分時，上述連接部分的連接通路可藉由閥桿的下端而與排出通路連通。

於上述推動器裝置中，在上述密閉部的密閉密封件嵌入於閥桿的內部時，上述連接部分的流入通路可藉由閥桿的外周面與密閉部之間的空間而彼此連通。

上述閥構造體與加壓單元配置於同一殼體內，因此具有可將用以檢查半導體器件的空間最小化的優點。

10‧‧‧推動器裝置

20‧‧‧殼體

21‧‧‧推動器收容空間

22‧‧‧閥收容空間

23‧‧‧流入通路

24、241‧‧‧排出通路

25‧‧‧連接通路

30‧‧‧閥構造體

31‧‧‧閥襯套

32‧‧‧閥桿

33‧‧‧彈性偏置單元

34‧‧‧操作單元

40‧‧‧加壓單元

41‧‧‧加壓板

42‧‧‧活塞

43‧‧‧活塞彈簧

50‧‧‧被檢查器件

221‧‧‧流入部分

222‧‧‧排出部分

223‧‧‧連接部分

231‧‧‧空氣流入部

311‧‧‧桿插入孔

312‧‧‧連通孔

313‧‧‧襯套密封件

321‧‧‧柱部

322‧‧‧密閉部

322a‧‧‧密閉密封件

圖1是本發明的一實施例的推動器裝置的立體圖。

圖2是圖1的分解立體圖。

圖3及圖4是表示推動器裝置對半導體器件進行加壓前的狀態的側視圖。

圖5是表示推動器裝置對半導體器件進行加壓前的狀態的俯視圖。

圖6是圖5的Ⅵ-Ⅵ剖面圖。

圖7是圖5的Ⅶ-Ⅶ剖面圖。

圖8是圖5的Ⅷ-Ⅷ剖面圖。

圖9是表示推動器裝置對半導體器件進行加壓時的情況的俯視圖。

圖10是圖9的X-X剖面圖。

圖11是圖9的XI-XI剖面圖。

圖12是圖9的XII-XII剖面圖。

以下，參照隨附圖式，詳細地對本發明的一實施例的推動器裝置進行說明。

本發明是有關於一種用以將被檢查器件50的端子加壓 至檢查用裝置的推動器裝置10，推動器裝置10包括：殼體20、閥構造體30及加壓單元40；上述閥構造體30與加壓單元40配置於同一殼體20內。

上述殼體20整體呈長方體的形狀，於其內部包括推動器收容空間21、閥收容空間22、流入通路23、排出通路24及連接通路25。

上述推動器收容空間21大致配置至中央且向下方開放，大致構成為圓筒形態。於此種推動器收容空間21連接有連接通路25的另一端。

上述閥收容空間22與上述推動器收容空間21相鄰地配置且可收容閥構造體30，於內部收容閥構造體30。具體而言，閥收容空間22呈向上側開口的槽形態。此種閥收容空間22連接流入通路23的另一端、排出通路24的另一端及連接通路25的一端。

此種閥收容空間22包括連接上述流入通路23的流入部分221、連接上述排出通路24的排出部分222，及連接上述連接通路25的連接部分223，上述連接部分223配置於流入部分221與排出部分222之間。於上述連接部分223，上述閥桿32與上述閥收容空間22的內壁隔開特定間隔，於上述密閉部322的密閉密封件322a位於上述流入部分221時，上述連接部分223的連接通路25藉由閥桿32的下端而與排出通路24連通。

並且，於上述密閉部322的密閉密封件322a嵌入於閥 桿32的內部時，上述連接部分223的流入通路23可藉由閥桿32的外周面與密閉部322之間的空間而彼此連通。

上述流入通路23的一端與外部的空氣流入部231連接，另一端與上述閥收容空間22連接。具體而言，流入通路23為如下通路：一端與外部的空氣泵連接而可使自空氣泵(未圖示)施加的空氣流入。

上述排出通路24的一端與外部的排出通路241連接，另一端與上述閥收容空間22連接，執行如下的排出通路24的功能：於加壓單元40完成對被檢查器件50的加壓後上升時，可使空氣排出。

上述連接通路25是一端與上述閥收容空間22連接，另一端與上述推動器收容空間21連接的通路。此種連接通路25用作使空氣流入至推動器收容空間21的內部的通路，或亦用作向外部排出推動器收容空間21內部的空氣的通路。

上述閥構造體30使上述連接通路25選擇性地與上述流入通路23及排出通路24中的任一者連通。具體而言，上述閥構造體30插入至上述殼體20的閥收容空間22，並於流入位置與排出位置之間移動，閥構造體30在流入位置使上述連接通路25與上述流入通路23彼此連通且阻斷上述連接通路25與上述排出通路24間的連通，閥構造體30在排出位置使上述連接通路25與上述排出通路24彼此連通且阻斷上述連接通路25與上述流入通路23間的連通。

此種閥構造體30包括閥襯套31、閥桿32、彈性偏置單元33及操作單元34。

上述閥襯套31呈筒形狀，插入至上述閥收容空間22內，具備連通上下端的桿插入孔311。上述閥襯套31於上端設置使上述流入通路23與內部的桿插入孔311連通的連通孔312，於上述連通孔312的下側設置有將閥襯套31的外表面與上述閥收容空間22之間密閉的襯套密封件313。

上述閥桿32的至少一部分插入至閥襯套31，於流入位置與排出位置之間移動。上述閥桿32包括：柱部321，至少一部分插入至上述閥襯套31的桿插入孔311，具有小於上述桿插入孔311的外徑；及密閉部322，與上述柱部321一體地連接，設置有密閉密封件322a。此時，上述流入位置是上述密閉部322的密閉密封件322a以具有氣密性的方式與上述閥襯套31的桿插入孔311的內表面接觸的位置，上述排出位置是上述密閉部的密閉密封件以具有氣密性的方式與上述流入部分221與連接部分223之間閥收容空間22的內壁接觸的位置。

上述彈性偏置單元33使上述閥桿32自上述排出位置向流入位置側彈性偏置。具體而言，上述彈性偏置單元33配置至上述閥桿32的下端與上述閥收容空間22的下端之間而彈性支持上述閥桿32。

上述操作單元34配置至上述筒形狀的閥構件的上端側，可與上述閥桿32接觸而對上述閥桿32進行加壓來使上述閥桿向 排出位置移動。

上述加壓單元40於上述流入通路23與連接通路25連通而空氣自空氣流入部231流入至上述推動器收容空間21內的情形時，藉由空氣壓力下降而與被檢查器件50接觸，藉此可向檢查用裝置側加壓上述被檢查器件50。若上述閥構造體30向流入位置移動而空氣流入至上述推動器收容空間21的內部，則此種加壓單元40藉由空氣壓力下降而與被檢查器件50接觸，藉此可向檢查裝置側加壓上述被檢查器件50。此種加壓單元40包括：加壓板41，與被檢查器件50的上表面接觸而對上述被檢查器件50進行加壓；活塞42，與上述加壓板41連接，藉由空氣壓力而上升或下降；及活塞彈簧43，使上述活塞42向上側彈性偏置。上述加壓單元呈如下構造：若空氣流入至推動器收容空間21，則上述活塞42藉由空氣壓力而下降，加壓板41亦與上述活塞一同下降，若去除空氣壓力，則活塞42藉由活塞彈簧43而上升。此種加壓單元40為推動器裝置10的通常的構成，因此省略具體說明。

本發明的推動器裝置10的作用及效果如下。

首先，於圖6至圖8中表示閥構造體30位於排出位置而加壓單元40上升的情況。此時，由於連接通路25與排出通路24彼此連通，因此推動器收容空間21內部的空氣排出至外部。

於在上述狀態下對操作單元34進行操作而使閥構造體30藉由彈性偏置單元33上升的情形時，如圖10至圖12所示般進行動作。即，若閥構造體30上升，則密閉部322的密閉密封件 322a氣密地與閥桿32的內表面接觸而阻斷排出通路24與連接通路25連通。與此相反，使流入通路23與連接通路25彼此連通。藉此，外部的空氣藉由流入通路23及連接通路25而供給至推動器收容空間21，從而使加壓單元40下降而向檢查裝置側加壓被檢查器件50。

與此相反，若再次相反地對閥進行操作，則閥構造體30下降而如圖6至圖8所示般密閉部322的密閉密封件322a以具有氣密性的方式自連接部分223阻斷流入部分221，藉此防止空氣自外部流入。與此相反，使排出通路24與連接通路25彼此連通。即，推動器收容空間21內部的空氣藉由連接通路25、閥收容空間22的內壁與閥桿32之間的隔開空間、閥桿32的下端及閥桿32的桿插入孔311而經由排出通路24排出至外部。

本發明的此種推動器裝置於殼體內部一體地配置包括加壓單元的閥構造體，藉此具有不僅可減少推動器裝置的整體尺寸，而且亦可減少重量的優點。

Claims (8)

1. 一種推動器裝置，用以將被檢查器件的端子加壓至檢查用裝置，所述推動器裝置包括：殼體，包括配置至中央且向下方開放的推動器收容空間、與所述推動器收容空間相鄰地配置且可收容閥構造體的閥收容空間、一端與外部的空氣流入部連接且另一端與所述閥收容空間連接的流入通路、一端與外部連接且另一端與所述閥收容空間連接的排出通路，及一端與所述閥收容空間連接且另一端與所述推動器收容空間連接的連接通路；所述閥構造體，使所述連接通路選擇性地與所述流入通路及所述排出通路中的任一者連通；及加壓單元，於所述流入通路與所述連接通路連通而空氣自所述空氣流入部流入至所述推動器收容空間內時，藉由空氣壓力下降而與所述被檢查器件接觸，藉此可向所述檢查用裝置側加壓所述被檢查器件；且所述閥構造體與所述加壓單元配置於同一所述殼體內，其中所述閥構造體插入至所述殼體的所述閥收容空間且可於流入位置與排出位置之間移動，所述閥構造體在所述流入位置使所述連接通路與所述流入通路彼此連通且阻斷所述連接通路與所述排出通路間的連通，所述閥構造體在所述排出位置使所述連接通路與所述排出通路彼此連通且阻斷所述連接通路與所述流入通路間的連通。
2. 如申請專利範圍第1項所述的推動器裝置，其中若所述閥構造體移動至所述流入位置而空氣流入至所述推動器收容空間的內部，則所述加壓單元藉由空氣壓力下降而與被檢查器件接觸，藉此向檢查裝置側加壓所述被檢查器件。
3. 如申請專利範圍第1項所述的推動器裝置，其中所述閥構造體包括：呈筒形狀的閥襯套，插入至所述閥收容空間內，具備連通上端及下端的桿插入孔；閥桿，至少一部分插入至所述閥襯套，於所述流入位置與所述排出位置之間移動；彈性偏置單元，使所述閥桿自所述排出位置向所述流入位置側彈性偏置；以及操作單元，配置至筒形狀的所述閥構件的上端側，可與所述閥桿接觸而對所述閥桿進行加壓來使所述閥桿向所述排出位置移動。
4. 如申請專利範圍第3項所述的推動器裝置，其中所述閥收容空間包括連接所述流入通路的流入部分、連接所述排出通路的排出部分，及連接所述連接通路的連接部分，所述連接部分配置於所述流入部分與所述排出部分之間。
5. 如申請專利範圍第4項所述的推動器裝置，其中所述閥襯套於上端設置使所述流入通路與內部的所述桿插入孔連通的連通孔，於所述連通孔的下側設置有將所述閥襯套的外表面與所述 閥收容空間之間密閉的襯套密封件。
6. 如申請專利範圍第5項所述的推動器裝置，其中所述閥桿包括：柱部，至少一部分插入至所述閥襯套的所述桿插入孔，具有小於所述桿插入孔的外徑；以及密閉部，與所述柱部一體地連接，設置有密閉密封件；所述流入位置是所述密閉部的所述密閉密封件以具有氣密性的方式與所述閥襯套的所述桿插入孔的內表面接觸的位置，所述排出位置是所述密閉部的所述密閉密封件以具有氣密性的方式與所述流入部分與所述連接部分之間的收容空間的內壁接觸的位置。
7. 如申請專利範圍第6項所述的推動器裝置，其中於所述連接部分，所述閥桿與所述閥收容空間的內壁隔開特定間隔，於所述密閉部的所述密閉密封件位於所述流入部分時，所述連接部分的所述連接通路藉由所述閥桿的下端而與所述排出通路連通。
8. 如申請專利範圍第6項所述的推動器裝置，其中於所述密閉部的所述密閉密封件嵌入於所述閥桿的內部時，所述連接部分的所述流入通路藉由所述閥桿的外周面與所述密閉部之間的空間而彼此連通。