TWI665454B - 用於測試的按壓裝置 - Google Patents

Abstract

本發明是關於用於測試的按壓裝置，且更特定言之，是關於用於在測試中將測試目標元件朝向檢查裝置推動的按壓裝置。在按壓裝置中，配置為沿閥容納空間滑動的閥結構在開口位置與關閉位置之間移動時處於無負載狀態。

Description

用於測試的按壓裝置

本發明是關於一種用於測試之按壓裝置，且更特定言之，是關於一種配置為經由簡單閥操縱來執行推動動作的用於測試之按壓裝置。

一般來說，在其他檢查程序執行於其上後，對半導體元件執行電測試。在此類電測試中，將自檢查裝置外部轉移之半導體元件放置於檢查裝置上，且用某一力推動半導體元件以在將某一壓力施加至半導體元件時使半導體元件之末端與檢查裝置之接墊接觸。

用於相對於檢查裝置推動半導體元件之裝置稱作按壓裝置。大體而言，按壓裝置具有圓柱結構，且包括可氣動操作殼體及放置於殼體與供應空氣之空氣缸之間以控制空氣之供應打開/關閉的閥元件。

在此情況下，空間形成於殼體中以接收自外部引入之空氣，且推動構件設置於殼體之空間中以在向上或向下移動時推動半導體元件之上部表面。

另外，閥設置於閥元件中且連接至空氣缸及殼體以控制自空氣缸供應空氣打開/關閉。閥元件單獨地安裝於殼體外部。

由於閥元件具有複雜結構且配置為藉由由插入於閥元件中之彈簧施加之力來使閥恢復，因此閥元件需要相對大量的力以操作所述閥且亦可由於閥之複雜整體結構而容易故障。

提供本發明以解決上述問題。具體言之，本發明提供一種用於測試之按壓裝置，其中按壓裝置配置為移動處於無負載狀態之閥以用小的力操作所述閥且提供簡單閥結構。

為實現上述目標，本發明提供一種用於將測試目標元件朝向檢查裝置推動之按壓裝置，按壓裝置包含：殼體，包含定義於中心區域中且向下開放之按壓容納空間、鄰近於按壓容納空間且在水平方向上延伸（其中一側暴露於外部）之閥容納空間以及具有連接至閥容納空間之一端及連接至按壓容納空間之另一端的連接路徑；閥結構，包含空氣引入部分，所述空氣引入部分具有經由其引入空氣之一端及經由其排出空氣之另一端，空氣引入部分之一端及另一端與彼此連通，閥結構容納於閥容納空間中且可在一軸向方向上沿閥容納空間滑動；以及推動構件，配置為當空氣引入部分之另一端與連接路徑連通且外部空氣供應至按壓容納空間時，藉由氣動壓力降低所述推動構件且使之與測試目標元件接觸以朝向檢查裝置推動測試目標元件，其中閥結構可在開口位置與關閉位置之間滑動，在所述開口位置處空氣引入部分之另一端與連接路徑連通，且在所述關閉位置處空氣引入部分之另一端並不與連接路徑連通，且閥結構在開口位置與關閉位置之間移動時處於無負載狀態。

閥結構可包含：閥體，包含空氣引入部分，閥體具有柱形狀；以及一對密封構件，設置於閥體之外側上且配置於空氣引入部分之另一端之兩側上，其中當閥體滑動時，所述對密封構件可密閉地與閥容納空間之內壁接觸。

當閥結構處於關閉位置時，連接路徑可與閥容納空間之打開之外部連通。

閥結構可更包含柄部，所述柄部耦接至殼體且配置為以絞接方式擺動，柄部之一端耦接至閥體以使閥體滑動。

閥體可包含突出部分，所述突出部分自閥體之一端突出且包含圓形孔。柄部可包含容納部分，其中形成狹縫以接收突出部分、形成於容納部分中且在一個方向上較長之長孔以及具有對應於圓形孔之直徑且插入於圓形孔及長孔兩者中的銷。當在其中突出部分插入於容納部分之狹縫中之狀態下，插入於圓形孔中的銷沿狹縫移動時，柄部之旋轉可轉換成閥體之線性運動。

擋止器可設置於殼體以在開口位置處擋止閥體。

連接路徑之端部分可放置於開口位置處之所述對密封構件之間，且連接路徑之端部分可遠離關閉位置處之所述對密封構件之間的間隙。

經由閥結構排出之空氣可在垂直於閥結構之軸向方向之方向上流動使得當閥結構在開口位置與關閉位置之間移動時，閥結構可處於無負載狀態，在所述無負載狀態中無軸向負載施加至閥結構。

根據本發明，閥配置為實質上在無負載狀態下操作，進而使得有可能用少量力來操作閥。

另外，根據本發明，閥配置為具有簡單操作結構以減少成本及故障。

下文中，將參考附圖來詳細描述根據本發明之實施例的用於測試之按壓裝置。

根據本發明，用於測試之按壓裝置用於將測試目標元件（未展示）朝向檢查裝置（未展示）推動以執行電測試。為此目的，按壓裝置配置為當藉由轉移構件在按壓裝置下移動測試目標元件時，將測試目標元件向下推動。

根據本發明，用於測試之按壓裝置10包含殼體20、閥結構30以及推動構件40。

殼體20整體上具有長方體形狀。殼體20包含按壓容納空間21、閥容納空間22以及連接路徑23。

按壓容納空間21大致位於殼體20之中心區域中且具有具備打開之底側的大致圓柱形形狀。連接路徑23之一端連接至按壓容納空間21。推動構件40以可向上或向下移動之方式設置於按壓容納空間21中。當推動構件40在按壓容納空間21中向下移動時，使測試目標元件與檢查裝置接觸且所述測試目標元件推動檢查裝置，且當推動構件40在按壓容納空間21中向上移動時，測試目標元件可自檢查裝置分離。

閥容納空間22鄰近於按壓容納空間21，且閥結構30可容納於閥容納空間22中。閥容納空間22具有具備打開一側及圓形橫截面之水平長形狀。詳言之，閥容納空間22具有對應於閥結構30之橫截面形狀，使得閥結構30可插入至閥容納空間22中且在閥容納空間22中滑動。連接路徑23之一端在閥容納空間22之中心區域中打開。

閥容納空間22及按壓容納空間21經由連接路徑23與彼此連通，所述連接路徑具有連接至閥容納空間22之一端及連接至按壓容納空間21之另一端。連接路徑23用作路徑，經由所述路徑將空氣引入至按壓容納空間21中或自按壓容納空間21排出空氣。

閥結構30包含空氣引入部分32，所述空氣引入部分具有經由其引入空氣之一端及經由其排出空氣之另一端，其中空氣引入部分32之一端及另一端與彼此連通。閥結構30可在一軸向方向上沿閥容納空間22滑動。

閥結構30還包含閥體31、空氣引入部分32、密封構件33、突出部分34以及柄部35。

閥體31整體具有柱形狀且配置為插入至閥容納空間22中且在閥容納空間22中滑動。待耦接至外部空氣供應構件之進氣口321設置於閥體31之一側處，且進氣口321連接至設置於閥體31中之空氣引入部分32。

空氣引入部分32設置於閥體31中作為空氣路徑，所述空氣路徑具有經由其引入空氣之一端及經由其排出空氣之另一端。由於進氣口321設置於空氣引入部分32之一端處，因此外部空氣可經由進氣口321引入。另外，空氣引入部分32之另一端設置於閥體31之中心區域中且暴露於閥體31之中心區域中之外部，使得經由空氣引入部分32之一端引入的空氣可經由空氣引入部分32之另一端排出。詳言之，空氣引入部分32在一軸向方向上自一端延伸至另一端，使得在空氣引入部分32中流動之空氣可在軸向方向（圖4中之水平方向）上移動。另外，空氣引入部分32之另一端在垂直於軸向方向之方向（圖4中之垂直方向）上延伸，使得在軸向方向上移動之空氣可在垂直於軸向方向之方向上排出。

一對密封構件33以放置於空氣引入部分32之另一端之兩側上的方式設置於閥體31之外部上。詳言之，密封構件33在閥體31之外側與閥容納空間22之內壁表面之間的空間中配置於閥體31之中心區域之外部上。即在閥體31滑動時，密封構件33密閉地與閥容納空間22之內壁接觸。

由於所述對密封構件33配置於空氣引入部分32之另一端之兩側上，因此經由空氣引入部分32之另一端排出的空氣並不自所述對密封構件33之間的空間逸出且保持在所述對密封構件33之間的空間中。密封構件33可為包含彈性橡膠材料之橡膠環或可為包含金屬材料之金屬環。

突出部分34自閥體31之一端突出，且圓形孔341定義於突出部分34之中心區域中。圓形孔341可成形以接收銷353且可具有對應於銷353之直徑。

柄部35耦接至殼體20且可以絞接方式擺動以使耦接至柄部35之一端的閥體31滑動。

柄部35包含容納部分351，其中形成狹縫以接收突出部分34、定義於容納部分351中且在一個方向上延伸之長孔352以及具有對應於圓形孔341之直徑且插入於圓形孔341及長孔352兩者中的銷353，其中當在其中突出部分34插入於容納部分351之狹縫中之狀態下，插入於圓形孔341中的銷353沿狹縫移動時，柄部35之旋轉轉換成閥體31之線性運動。

閥結構30可在開口位置與關閉位置之間滑動，在所述開口位置處空氣引入部分32之另一端與連接路徑23連通，在所述關閉位置處空氣引入部分32之另一端並不與連接路徑23連通，且在閥結構30在開口位置與關閉位置之間滑動時，閥結構30可處於無負載狀態。詳言之，經由閥結構30排出之空氣在垂直於閥結構30之軸向方向之方向上排出，且因此在閥結構30在開口位置與關閉位置之間移動時，閥結構30處於無負載狀態，在所述無負載狀態中無軸向負載施加至閥結構30。由於閥結構30維持在如上文所描述之實質上無軸向負載狀態下，因此閥結構30可藉由操控柄部35用最小量之力來操作。詳言之，由於閥結構30可滑動地放置於閥容納空間22內部且可藉由旋轉柄部35進行線性移動，因此當在軸向方向上於閥容納空間22中滑動閥結構30時，實質上無軸向負載施加至閥結構30，且因此閥結構30可用少量力來移動。

另外，擋止器24設置於殼體20之閥容納空間22之一端側上以在開口位置處擋止閥體31。由於擋止器24設置於閥容納空間22中，因此當閥體31藉由旋轉柄部35來進行滑動時，空氣引入部分32之另一端可不脫離在其處空氣引入部分32之另一端連接至連接路徑23的位置，進而維持空氣連接狀態。

當空氣引入部分32之另一端及連接路徑23彼此連接且外部空氣供應至按壓容納空間21時，藉由氣動壓力來降低推動構件40且使之與測試目標元件接觸，且因此可朝向檢查裝置推動測試目標元件。當閥結構30之閥體31移動至開口位置且因此將空氣引入至按壓容納空間21中時，藉由氣動壓力降低推動構件40且使之與測試目標元件接觸，且因此朝向檢查裝置推動測試目標元件。推動構件40包含：推動板41，配置為與測試目標元件之上部表面接觸且推動測試目標元件；活塞42，連接至推動板41且配置為藉由氣動壓力進行提昇或降低；以及活塞彈簧43，使活塞42向上偏移。當將空氣引入至按壓容納空間21中時，藉由氣動壓力降低活塞42，且因此推動板41與活塞42一起降低。當移去氣動壓力時，藉由活塞彈簧43提昇活塞42。推動構件40為按壓裝置10之常規結構，且因此將省略其詳細描述。

現將描述本發明之按壓裝置10之操作及效應。

首先，圖6至圖9說明其中閥結構30處於關閉位置且推動構件40經提昇之狀態。在此狀態下，連接路徑23處於遠離所述對密封構件33之間的間隙之位置，且因此自按壓容納空間21排出空氣。

在此狀態下，當操縱柄部35以使閥體31滑動至開口位置時，經由閥體31之空氣引入部分32引入的空氣經由空氣引入部分32之另一端流入連接路徑23中，且因此將空氣供應至按壓容納空間21。由於供應至按壓容納空間21之空氣，因此氣動壓力施加至推動構件40，且因此降低推動構件40之活塞42，進而朝向檢查裝置按壓測試目標元件。

詳言之，當柄部35在一個方向上旋轉時，插入於圓形孔341中之銷353沿在其中突出部部分34插入於容納部分351之狹縫中之狀態下的容納部分351之狹縫移動，且因此閥體31線性地移動。當閥體31如上文所描述在一個方向上線性地滑動時，連接路徑23定位於所述對密封構件33之間，且經由閥體31之一端引入的空氣經由空氣引入部分32之另一端排出至連接路徑23。引入至連接路徑23中之空氣沿連接路徑23流動至按壓容納空間21，且在按壓容納空間21中，空氣向下推動推動構件40之活塞42。特定言之，當氣動壓力變得大於活塞彈簧43之彈性力時，活塞42被降低。

另外，在測試後必須移去藉由推動構件40之推動以移動測試目標元件，且為此目的，在相反方向上旋轉柄部35。當如上文所描述在相反方向上旋轉柄部35時，閥體31反向地移動，且因此連接路徑23遠遠背離所述對密封構件33之間的位置。在此情況下，引入至空氣引入部分32中且由所述對密封構件33隔離之空氣限制於所述對密封構件33之間的間隙中。另外，由於連接路徑23背離密封構件33之間的間隙，因此連接路徑23與外部連通，且因此按壓容納空間21中所填充之空氣藉由活塞彈簧43之回彈性來推動且因此經由連接路徑23排出至外部。

在本發明之按壓裝置中，大的負載並不是操作閥結構所必需的，且因此閥可用少量力來進行操作。

另外，由於本發明之按壓裝置具有簡單閥操作結構，因此按壓裝置可引起低修護成本且當故障時可易於修復。

雖然已描述本發明之各種實施例，但本發明不限於此，且可在不脫離本發明之精神及範疇的情況下在其中進行形式及細節方面的各種改變。

10‧‧‧按壓裝置

20‧‧‧殼體

21‧‧‧按壓容納空間

22‧‧‧閥容納空間

23‧‧‧連接路徑

24‧‧‧擋止器

30‧‧‧閥結構

31‧‧‧閥體

32‧‧‧空氣引入部分

33‧‧‧密封構件

34‧‧‧突出部分

35‧‧‧柄部

40‧‧‧推動構件

41‧‧‧推動板

42‧‧‧活塞

43‧‧‧活塞彈簧

321‧‧‧進氣口

341‧‧‧圓形孔

351‧‧‧容納部分

352‧‧‧長孔

353‧‧‧銷

IV-IV、V-V、VIII-VIII、IX-IX‧‧‧線

圖1為說明根據本發明之實施例的當按壓裝置處於開啟狀態時用於測試之按壓裝置的透視圖。 圖2為說明圖1中所展示之按壓裝置的分解透視圖。 圖3為說明圖1中所展示之按壓裝置的平面視圖。 圖4為沿圖3之線IV-IV截取之橫截面圖。 圖5為沿圖3之線V-V截取的橫截面圖。 圖6為說明當按壓裝置處於關閉狀態時圖1中所展示之按壓裝置的透視圖。 圖7為說明圖6中所展示之按壓裝置的平面視圖。 圖8為沿圖7之線VIII-VIII截取的橫截面圖。 圖9為沿圖7之線IX-IX截取的橫截面圖。

Claims (8)

1. 一種按壓裝置，用於將測試目標元件朝向檢查裝置推動，所述按壓裝置包括： 殼體，包括：按壓容納空間，定義於中心區域中且向下打開；閥容納空間，鄰近於所述按壓容納空間且在水平方向上延伸，其中一側暴露於外部；以及連接路徑，具有連接至所述閥容納空間之一端及連接至所述按壓容納空間之另一端； 閥結構，包括空氣引入部分，所述空氣引入部分具有經由其引入空氣之一端及經由其排出所述空氣之另一端，所述空氣引入部分之所述一端及所述另一端與彼此連通，所述閥結構容納於所述閥容納空間中且可在一軸向方向上沿所述閥容納空間滑動；以及 推動構件，配置為當所述空氣引入部分之所述另一端與所述連接路徑連通且外部空氣供應至所述按壓容納空間時，藉由氣動壓力降低所述推動構件且使之與所述測試目標元件接觸以朝向所述檢查裝置推動所述測試目標元件， 其中所述閥結構可在開口位置與關閉位置之間滑動，在所述開口位置處所述空氣引入部分之所述另一端與所述連接路徑連通，在所述關閉位置處所述空氣引入部分之所述另一端並不與所述連接路徑連通，且 所述閥結構在所述開口位置與所述關閉位置之間移動時處於無負載狀態。
2. 如申請專利範圍第1項所述的按壓裝置，其中所述閥結構包括： 閥體，包含所述空氣引入部分，所述閥體具有柱形狀；以及 一對密封構件，設置於所述閥體之外側上且配置於所述空氣引入部分之所述另一端之兩側上， 其中當所述閥體滑動時，所述對密封構件密閉地與所述閥容納空間之內壁接觸。
3. 如申請專利範圍第2項所述的按壓裝置，其中當所述閥結構處於所述關閉位置時，所述連接路徑與所述閥容納空間之打開的外部連通。
4. 如申請專利範圍第2項所述的按壓裝置，其中所述閥結構更包括柄部，所述柄部耦接至所述殼體且配置為以絞接方式擺動，所述柄部之一端耦接至所述閥體以使所述閥體滑動。
5. 如申請專利範圍第4項所述的按壓裝置，其中所述閥體包括突出部分，所述突出部分自所述閥體之一端突出且包括圓形孔， 所述柄部包括容納部分，其中形成狹縫以接收所述突出部分、形成於所述容納部分中且在一個方向上較長之長孔以及具有對應於所述圓形孔之直徑且插入於所述圓形孔及所述長孔兩者中的銷，且 當在其中所述突出部分插入於所述容納部分之所述狹縫中之狀態下，插入於所述圓形孔中的所述銷沿所述狹縫移動時，所述柄部之旋轉轉換成所述閥體之線性運動。
6. 如申請專利範圍第5項所述的按壓裝置，其中在所述殼體設置擋止器以在所述開口位置處擋止所述閥體。
7. 如申請專利範圍第2項所述的按壓裝置，其中所述連接路徑之端部分放置於所述開口位置處之所述對密封構件之間，且 所述連接路徑之所述端部分遠離所述關閉位置處之所述對密封構件之間的間隙。
8. 如申請專利範圍第1項所述的按壓裝置，其中經由所述閥結構排出之空氣在垂直於所述閥結構之所述軸向方向的方向上流動，使得當所述閥結構在所述開口位置與所述關閉位置之間移動時，所述閥結構處於無負載狀態，在所述無負載狀態中無軸向負載施加至所述閥結構。