KR102558862B1

KR102558862B1 - 검사용 소켓

Info

Publication number: KR102558862B1
Application number: KR1020210070923A
Authority: KR
Inventors: 정영배; 윤현식; 이병주
Original assignee: 주식회사 아이에스시
Priority date: 2021-06-01
Filing date: 2021-06-01
Publication date: 2023-07-24
Also published as: KR20220162451A

Abstract

본 발명은 피검사 디바이스의 단자와 검사 장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 관한 것으로, 본 발명의 실시예에 따른 검사용 소켓은 상기 검사 장치의 패드와 대응하는 위치마다 마련된 복수의 제1 도전부와 상기 복수의 제1 도전부가 서로 전기적으로 절연되도록 상기 복수의 제1 도전부를 지지하는 제1 지지부를 포함하는 제1 소켓 레이어와, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응하는 위치마다 마련된 복수의 제2 도전부와 상기 복수의 제2 도전부를 각각 둘러싸는 복수의 신축부 그리고 상기 복수의 제2 도전부가 서로 전기적으로 절연되도록 상기 복수의 신축부를 지지하는 제2 지지부를 포함하는 제2 소켓 레이어, 그리고 상기 제1 지지부와 상기 제2 지지부 사이에 교체 가능하도록 마련되어 상기 제1 지지부와 상기 제2 지지부의 간격을 유지하는 스페이서를 포함한다.

Description

검사용 소켓{TEST SOCKET}

본 발명은 검사용 소켓에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스와 검사 장치 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사 장치의 패드를 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 관한 것이다.

일반적으로 제조가 완료된 디바이스는 검사 장치를 사용하여 불량 여부를 판단하기 위한 전기적 검사를 받게 된다. 따라서 검사 장치는 피검사 디바이스들과 빈번하게 접촉하게 되고, 피검사 디바이스와 접속하는 검사 장치의 패드는 검사 횟수와 비례하여 마모되거나 손상될 수 있다. 하지만, 검사 장치는 비교적 고가의 장비로 유지 보수 비용이 상당하며 교체도 용이하지 않다.

이에, 검사용 소켓을 사용하여 검사 장치를 피검사 디바이스와 간접적으로 접속시킨 후 검사를 수행하고 있다. 이러한 검사용 소켓은 검사 장치에 교체 가능하게 장착되고 피검사 디바이스는 검사 장치가 아닌 검사용 소켓과 접촉하여, 검사 장치와 피검사 디바이스가 전기적으로 연결되게 된다. 즉, 검사 장치로부터 나오는 검사 신호는 검사용 소켓을 통하여 피검사 디바이스로 전달된다.

구체적으로, 검사용 소켓은 피검사 디바이스와 검사 장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사 장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키게 된다. 그리고 검사용 소켓이 마모 등으로 손상되면 이를 교체하여 사용함으로써 검사 장치를 보호하게 된다. 예를 들어, 검사용 소켓은 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치된 복수의 도전부와, 복수의 도전부를 각각 지지하면서 절연시키는 절연성 지지부를 포함할 수 있다. 여기서, 도전부는 절연성 탄성 물질 내에 다수의 도전성 입자가 포함된 구조를 갖는다.

그런데, 피검사 디바이스가 검사 장치와 접속되는 과정에서 발생하는 충격으로 검사 장치가 손상되어 경제적 손실을 야기하거나 검사용 소켓이 손상되어 정확한 검사를 수행할 수 없게 되는 문제점이 있다.

또한, 검사를 위해 검사용 소켓을 사이에 두고 배치된 피검사 디바이스의 단자와 검사 장치의 패드 간의 요구 거리가 피검사 디바이스의 종류 및 검사 장치의 종류마다 상이해질 수 있는데, 종래의 검사용 소켓은 피검사 디바이스와 검사 장치 간의 거리를 일정하게만 유지하여 피검사 디바이스나 검사 장치의 종류가 달라질 때 마다 검사용 소켓 전체를 별도로 제작해야 하는 문제점이 있다.

본 발명의 실시예는 다양한 종류의 피검사 디바이스를 용이하고도 안정적으로 검사 장치에 접속시켜 검사할 수 있도록 돕는 검사용 소켓을 제공한다.

본 발명의 실시예에 따르면, 피검사 디바이스의 단자와 검사 장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓은 상기 검사 장치의 패드와 대응하는 위치마다 마련된 복수의 제1 도전부와 상기 복수의 제1 도전부가 서로 전기적으로 절연되도록 상기 복수의 제1 도전부를 지지하는 제1 지지부를 포함하는 제1 소켓 레이어와, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응하는 위치마다 마련된 복수의 제2 도전부와 상기 복수의 제2 도전부를 각각 둘러싸는 복수의 신축부 그리고 상기 복수의 제2 도전부가 서로 전기적으로 절연되도록 상기 복수의 신축부를 지지하는 제2 지지부를 포함하는 제2 소켓 레이어, 그리고 상기 제1 지지부와 상기 제2 지지부 사이에 교체 가능하도록 마련되어 상기 제1 지지부와 상기 제2 지지부의 간격을 유지하는 스페이서를 포함한다.

상기 제1 도전부는 절연성 탄성 물질과 다수의 도전성 입자를 포함할 수 있다.

상기 제2 도전부는 일단이 상기 피검사 디바이스의 단자와 접속 가능하고 타단이 상기 제1 도전부와 접속 가능한 금속핀을 포함할 수 있다.

상기 제2 소켓 레이어의 상기 신축부는 상기 제2 지지부보다 상대적으로 경도가 낮은 러버(rubber)로 만들어질 수 있다.

상기 피검사 디바이스의 단자가 상기 제2 소켓 레이어의 상기 제2 도전부를 가압하면, 상기 신축부가 신장되면서 상기 제2 도전부가 상기 검사 장치의 패드와 접촉된 상기 제1 도전부와 접촉하여 상기 검사 장치의 패드와 상기 피검사 디바이스의 단자가 전기적으로 연결될 수 있다.

상기 제2 도전부가 상기 제1 도전부 방향으로 가압된 상태에서 상기 피검사 디바이스의 단자와 대향하는 상기 제2 도전부의 일단의 높이와 상기 제2 도전부에 대한 가압이 해제된 상태에서 상기 제2 도전부의 상기 일단의 높이 간의 차이는 상기 스페이서의 두께로 조절될 수 있다.

상기 스페이서는 서로 다른 두께를 갖는 복수의 스페이서 중 선택된 하나로 교체 가능할 수 있다.

상기 신축부의 탄성 변형률은 상기 복수의 스페이서가 갖는 최대 두께와 비례하여 설정될 수 있다.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 피검사 디바이스의 단자와 검사 장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓은 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응하는 위치마다 마련된 복수의 도전부와, 상기 복수의 도전부를 각각 둘러싸는 복수의 신축부와, 상기 복수의 도전부가 서로 전기적으로 절연되도록 상기 복수의 신축부를 지지하는 지지부, 그리고 상기 지지부를 상기 검사 장치의 패드로부터 이격시켜 지지하는 스페이서를 포함한다.

상기 도전부는 일단이 상기 피검사 디바이스의 단자와 접속 가능하고 타단이 상기 검사 장치의 패드와 접속 가능한 금속핀을 포함할 수 있다.

상기 도전부는 상기 금속핀의 타단에 형성된 도전성 탄성부를 더 포함할 수 있다.

상기 도전성 탄성부는 실리콘 러버와 전도성 파우더가 혼합된 것일 수 있다.

상기 신축부는 상기 지지부보다 상대적으로 경도가 낮은 러버(rubber)로 만들어질 수 있다.

상기 피검사 디바이스의 단자가 상기 도전부를 가압하면, 상기 신축부가 신장되면서 상기 도전부가 상기 검사 장치의 패드와 접촉하여 상기 검사 장치의 패드와 상기 피검사 디바이스의 단자가 전기적으로 연결될 수 있다.

상기 도전부가 상기 검사 장치의 패드 방향으로 가압된 상태에서 상기 피검사 디바이스의 단자와 대향하는 상기 도전부의 일단의 높이와 상기 도전부에 대한 가압이 해제된 상태에서 상기 도전부의 상기 일단의 높이 간의 차이는 상기 스페이서의 두께로 조절될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 검사용 소켓은 다양한 종류의 피검사 디바이스를 용이하고도 안정적으로 검사 장치에 접속시켜 검사할 수 있도록 도울 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 검사용 소켓은 신축부 및 스페이서에 의해 피검사 디바이스의 단자와 접촉하는 도전부가 자유롭게 탄성 동작 하기 때문에 피검사 디바이스의 단자의 높이 편차 또는 피검사 디바이스의 휨 현상이 발생하더라도 안정적으로 검사를 할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 검사용 소켓의 동작 상태를 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에서 피검사 디바이스가 검사용 소켓을 가압하지 않는 상태와 가압하는 상태를 직접적으로 대비하여 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타낸 도면이다.
도 5는 도 1의 검사용 소켓의 동작 상태를 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에서 피검사 디바이스가 검사용 소켓을 가압하지 않는 상태와 가압하는 상태를 직접적으로 대비하여 나타낸다.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.

또한, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1 실시예에서 설명하고, 그 외의 제2 실시예에서는 제1 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.

도면들은 개략적이고 축척에 맞게 도시되지 않았다는 것을 일러둔다. 도면에 있는 부분들의 상대적인 치수 및 비율은 도면에서의 명확성 및 편의를 위해 그 크기에 있어 과장되거나 축소되어 도시되었으며 임의의 치수는 단지 예시적인 것이지 한정적인 것은 아니다. 그리고 둘 이상의 도면에 나타나는 동일한 구조물, 요소 또는 부품에는 동일한 참조 부호가 유사한 특징을 나타내기 위해 사용된다.

본 발명의 실시예는 본 발명의 이상적인 실시예를 구체적으로 나타낸다. 그 결과, 도해의 다양한 변형이 예상된다. 따라서 실시예는 도시한 영역의 특정 형태에 국한되지 않으며, 예를 들면 제조에 의한 형태의 변형도 포함한다.

또한, 본 명세서에서 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 달리 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 가진다. 본 명세서에 사용되는 모든 용어들은 본 발명을 더욱 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며 본 발명에 따른 권리범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.

또한, 본 명세서에서 사용되는 '포함하는', '구비하는', '갖는' 등과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 달리 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.

또한, 본 명세서에서 기술된 단수형의 표현은 달리 언급하지 않는 한 복수형의 의미를 포함할 수 있으며, 이는 청구범위에 기재된 단수형의 표현에도 마찬가지로 적용된다.

또한, 본 명세서에서 사용되는 '제1', '제2' 등의 표현들은 복수의 구성 요소들을 상호 구분하기 위해 사용되며, 해당 구성요소들의 순서 또는 중요도를 한정하는 것은 아니다.

이하, 도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사용 소켓(101)을 설명한다. 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사용 소켓(101)은 피검사 디바이스(10)와 검사 장치(20) 사이에서 피검사 디바이스(10)의 단자(12)와 검사 장치(20)의 패드(22)를 서로 전기적으로 연결시키기 위해 사용될 수 있다.

일례로, 검사용 소켓(101)은 반도체 디바이스의 제조 공정 중 후공정에서, 반도체 디바이스의 최종적인 전기적 검사를 위해 사용될 수 있지만, 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사용 소켓(101)이 적용되는 예가 이에 한정되지는 않는다.

또한, 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사용 소켓(101)은 검사 장치(20)에 제거 가능하게 장착될 수 있다. 검사용 소켓(101)은 수작업으로 또는 운반 장치에 의해 검사 장치(20)로 운반된 피검사 디바이스(10)를 검사 장치(20) 상에 정렬시키고, 피검사 디바이스(10)의 검사 시에, 검사용 소켓(101)은 검사 장치(20)와 피검사 디바이스(10)에 상하 방향으로 접촉되며, 검사 장치(20)와 피검사 디바이스(10)를 서로 전기적으로 접속시킬 수 있다.

이하, 본 명세서에서 "상하 방향"이라 함은 피검사 디바이스(10)와 검사 장치(20)가 서로 대향하는 방향을 의미한다. 또한, "상하 방향"의 방향 지시어는 상방 방향과 하방 방향을 포함하지만, 상방 방향과 하방 방향 중 특정한 하나의 방향을 의미하지는 않는다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사용 소켓(101)이 적용되는 예를 나타낸다. 또한, 도 1은 검사용 소켓(101)과 검사용 소켓(101)에 접촉되는 피검사 디바이스(10) 및 검사 장치(20)를 개략적으로 도시하며, 도 1에 도시하는 형상은 실시예의 이해를 위해 선택된 일 예에 불과하다.

피검사 디바이스(10)는, 예를 들어 반도체 집적 회로(integrated circuit, IC) 칩과 다수의 단자를 수지 재료를 사용하여 육면체 형태로 패키징한 반도체 디바이스일 수 있다. 또한, 피검사 디바이스(10)는 그 하측에 다수의 단자(12)를 가지며, 피검사 디바이스(10)의 단자(12)는 볼(ball) 타입의 단자일 수 있다.

검사 장치(20)는 피검사 디바이스(10)의 각종 동작 특성을 검사할 수 있다. 검사 장치(20)는 검사가 수행되는 보드를 가질 수 있고, 이러한 보드에는 피검사 디바이스(10)의 검사를 위한 검사 회로가 구비될 수 있다. 또한, 검사 장치(20)는 검사용 소켓(101)을 통해 피검사 디바이스(10)의 단자(12)와 전기적으로 접속되는 다수의 단자(22)를 가질 수 있다. 검사 장치(20)의 패드(22)는, 전기적 테스트 신호를 송신할 수 있고 응답 신호를 수신할 수 있다.

검사용 소켓(101)은 검사 장치(20)의 패드(22)와 접촉되도록 배치될 수 있다. 피검사 디바이스(10)의 검사 시에, 검사용 소켓(101)이 피검사 디바이스(10)의 단자(12)와 이것에 대응하는 검사 장치(20)의 패드(22)를 상하 방향으로 전기적으로 접속시키며, 검사용 소켓(101)을 통해 검사 장치(20)에 의해 피검사 디바이스(10)의 검사가 수행된다.

또한, 검사용 소켓(101)의 적어도 일부는 탄성 물질로 이루어질 수 있다. 피검사 디바이스(10)의 검사를 위해, 기계 장치에 의해 또는 수동으로 압력이 상하 방향에서의 하방으로 검사용 소켓(101)에 가해질 수 있다. 그리고 가해지는 압력에 의해, 피검사 디바이스(10)의 단자(12)와 검사용 소켓(101)이 상하 방향으로 접촉될 수 있고, 검사용 소켓(101)과 검사 장치(20)의 패드(22)가 상하 방향으로 접촉될 수 있다. 그리고 가해지던 압력이 제거되면, 검사용 소켓(101)은 원래 형상으로 복원될 수 있다.

구체적으로, 도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사용 소켓(101)은 제1 소켓 레이어(200), 제2 소켓 레이어(300), 및 스페이서(spacer, 500)를 포함한다. 도 1은 검사용 소켓(101)에 압력이 가해지지 않는 상태를 도시하며, 제1 소켓 레이어(200)와 제2 소켓 레이어(300)는 이격되어 있다.

제1 소켓 레이어(200)는 복수의 제1 도전부(220) 및 제1 지지부(210)를 포함한다.

복수의 제1 도전부(220)는 검사 장치(20)의 패드(22)와 대응하는 위치마다 각각 마련될 수 있다. 구체적으로, 제1 도전부(220)는 절연성 탄성 물질(221)과, 다수의 도전성 입자(223)를 포함할 수 있다. 그리고 다수의 도전성 입자(223)는 절연성 탄성 물질(221) 내에 마련될 수 있다. 즉, 자성을 갖는 다수의 도전성 입자(223)가 절연성 탄성 물질(221) 내에서 두께 방향, 즉 피검사 디바이스(10)의 단자(12)와 검사 장치(20)의 패드(22)를 서로 연결하는 방향으로 늘어서도록 배치될 수 있다.

구체적으로, 다수의 도전성 입자(223)는 상하 방향으로 도전 가능하게 접촉되어 있으며, 상하 방향을 따라, 예컨대 원기둥 형상으로 집합되어 있다. 이와 같이 상하 방향으로 도전 가능하게 접촉된 다수의 도전성 입자(223)가 상하 방향으로 신호 전달을 실행하는 도전체를 제1 도전부(220) 내에 형성하게 된다. 그리고 제1 도전부(220)는 원기둥 형상을 가질 수 있지만, 이에 한정되지는 않는다. 절연성 탄성 물질(221)은 경화된 상태에 있으며 탄성을 가진다. 그리고 다수의 도전성 입자(223) 사이에는 절연성 탄성 물질(221)로 채워질 수 있다. 즉, 절연성 탄성 물질(221)은 다수의 도전성 입자(223)가 상하 방향으로 통전 가능하도록 형상을 유지한다. 이와 같이, 절연성 탄성 물질(221)이 다수의 도전성 입자(223)와 혼합되어 제1 도전부(220)를 형성하게 된다.

예를 들어, 제1 도전부(220)의 절연성 탄성 물질(221)로 가교 구조를 갖는 내열성 고분자 물질이 사용될 수 있다. 이러한 가교 고분자 물질은 실리콘 러버(rubber), 폴리부타디엔 고무, 천연 고무, 폴리이소프렌 고무, 스티렌-부타디엔 공중합체 고무, 아크릴로니트릴-부타디엔 공중합체 고무 등의 공액 디엔계 고무 및 이들의 수소 첨가물, 스티렌-부타디엔-디엔 블럭 공중합체 고무, 스티렌-이소프렌 블럭 공중합체 등의 블럭 공중합체 고무 및 이들의 수소 첨가물, 클로로프렌 고무, 우레탄 고무, 폴리에스테르계 고무, 에피클로로히드린 고무, 에틸렌-프로필렌 공중합체 고무, 에틸렌-프로필렌-디엔 공중합체 고무, 연질 액상 에폭시 고무 등을 재료로 만들어질 수 있다. 이 중에서 실리콘 러버가 성형 가공성, 전기 특성의 관점에서 우수하다.

또한, 제1 도전부(220)의 도전성 입자(223)는 자장을 가하여 성형 재료 중에서 해당 도전성 입자를 쉽게 이동시킬 수 있도록 자성을 나타내는 것이 좋다. 자성을 나타내는 도전성 입자(223)의 구체예로서는 철, 니켈, 코발트 등의 자성을 나타내는 금속 입자, 또는 이들의 합금의 입자 또는 이들 금속을 함유하는 입자, 또는 이들 입자를 코어 입자로 하고, 해당 코어 입자의 표면에 금, 은, 팔라듐, 로듐 등의 도전성이 양호한 금속의 도금을 실시한 것, 또는 비자성 금속 입자 또는 유리 비드 등의 무기 물질 입자 또는 중합체 입자를 코어 입자로 하고, 해당 코어 입자의 표면에 니켈, 코발트 등의 도전성 자성체의 도금을 실시한 것, 또는 코어 입자에 도전성 자성체 및 도전성이 양호한 금속 모두를 피복한 것 등을 들 수 있다.

제1 지지부(210)는 복수의 제1 도전부(220)가 서로 전기적으로 절연되도록 복수의 제1 도전부(220)를 지지할 수 있다. 그리고 제1 지지부(210)는 절연성을 가지며 탄성 변형이 가능한 탄성 고분자 물질로 이루어진다. 여기서, 탄성 고분자 물질로도 가교 고분자 물질이 사용될 수 있다.

제2 소켓 레이어(300)는 복수의 제2 도전부(320)와, 복수의 신축부(340), 그리고 제2 지지부(310)를 포함할 수 있다.

복수의 제2 도전부(320)는 피검사 디바이스(10)의 단자(12)와 대응하는 위치마다 마련될 수 있다. 구체적으로, 제2 도전부(320)는 일단이 피검사 디바이스(10)의 단자(12)와 접속 가능하고 타단이 제1 소켓 레이어(200)의 제1 도전부(220)와 접속 가능한 금속핀을 포함할 수 있다. 여기서, 금속핀은 전기 전도도가 높고 피검사 디바이스(10)에 의해 가해지는 압력을 견딜 수 있는 강도를 갖는 금속으로 만들어질 수 있다.

복수의 신축부(340)는 각각 복수의 제2 도전부(320)를 각각 둘러쌀 수 있다. 그리고 제2 지지부(310)는 복수의 제2 도전부(320)가 서로 전기적으로 절연되도록 복수의 신축부(340)를 지지할 수 있다. 즉, 제2 지지부(310)는 제2 도전부(320)를 둘러싼 신축부(340)를 지지하게 된다. 이때, 신축부(340)는 제2 지지부(310)보다 상대적으로 경도가 낮은 러버(rubber)로 만들어질 수 있다. 일례로, 신축부(340)는 제2 지지부(310)보다 경도가 낮은 실리콘 러버로 만들어질 수 있다.

또한, 제2 지지부(310)는 전술한 제1 지지부(210)와 동일한 소재로 만들어질 수 있고, 폴리이미드 필름, FR4, 수지 등의 절연성 소재 또는 절연 처리된 금속 기판 등 신축부(340)보다 경도가 높은 소재면 어느 것으로도 만들어 질 수 있다.

스페이서(spacer, 500)는 제1 소켓 레이어(200)의 제1 지지부(210)와 제2 소켓 레이어(300)의 제2 지지부(310) 사이에 교체 가능하도록 마련되어 제1 지지부(210)와 제2 지지부(310)의 간격을 유지할 수 있다.

도 2는 검사용 소켓(101)에 압력이 가해진 상태를 도시한다. 이때, 압력은 피검사 디바이스(10)의 검사 시에 피검사 디바이스(10)를 통해 검사용 소켓(101)으로 가해질 수 있다. 그리고 압력은 기계 장치에 의해 또는 수작업으로 가해질 수 있다. 이와 같이 가해지는 압력에 의해 피검사 디바이스(10)의 단자(12)가 검사용 소켓(101)의 제2 소켓 레이어(300)의 제2 도전부(320)의 상단을 하방으로 누름에 따라, 제2 소켓 레이어(300)의 제2 도전부(320)가 제1 소켓 레이어(200)의 제1 도전부(220)와 서로 접촉하면서 제1 도전부(220)가 눌리는 상태가 된다.

이러한 가압 상태는 제2 도전부(320)가 피검사 디바이스(10)의 단자(12)에 의해 상하 방향으로 눌리면서 신축부(340)가 변형되는 상태를 의미할 수 있다. 그리고 제2 도전부(320)를 제1 도전부(220) 방향으로 가압하여 제2 도전부(320)와 제1 도전부(220)를 접촉시키는 압력은 제2 도전부(320)의 탄성적인 상하 이동을 허용하는 신축부(340)의 탄성 변형률에 따라 결정될 수 있다.

한편, 제2 도전부(320)에 가해지는 압력이 신축부(340)를 탄성 변형시킬 수 있는 소정 한계보다 낮은 경우, 제2 도전부(320)와 제1 도전부(220)는 스위치 오프 상태를 유지하게 된다. 반면, 제2 도전부(320)에 가해지는 압력이 제2 도전부(320)와 제1 도전부(220)를 접촉시키기 위한 상기 소정 한계보다 높은 경우, 제2 도전부(320)는 제1 도전부(220)와 접촉되면서, 스위치 온 상태로 되어 상하 방향에서의 신호 전달이 실행된다. 이와 같이 검사용 소켓(101)에서의 상하 방향에서의 신호 전달에 대한 일종의 스위치로서 기능할 수 있다.

즉, 도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사용 소켓(101)에서는, 피검사 디바이스(10)의 단자(12)가 제2 소켓 레이어(300)의 제2 도전부(320)의 일단을 가압하면, 신축부(340)가 신장되면서 제2 도전부(320)의 타단이 검사 장치(20)의 패드(22)와 접촉된 제1 소켓 레이어(200)의 제1 도전부(220)와 접촉하여 검사 장치(20)의 패드(22)와 피검사 디바이스(10)의 단자(12)가 전기적으로 연결될 수 있다.

이후, 피검사 디바이스(10)의 가압이 해제되면, 신축부(340)가 수축하면서 제2 도전부(320)가 제1 도전부(220)로부터 이격될 수 있다.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에서 피검사 디바이스(10)가 검사용 소켓(101)을 가압하지 않는 상태와 가압하는 상태를 직접적으로 대비하여 나타낸다.

제2 소켓 레이어(300)의 제2 도전부(320)가 제1 소켓 레이어(200)의 제1 도전부(220) 방향으로 가압된 상태에서 피검사 디바이스(10)의 단자(12)와 대향하는 제2 도전부(320)의 일단의 높이와 제2 도전부(320)에 대한 가압이 해제된 상태에서 제2 도전부(320)의 일단의 높이 간의 차이(S)를 스트로크(stroke)라 할 수 있다.

즉, 스트로크는 가압되지 않은 상태에서의 제2 도전부(320)의 높이와 검사가 가능한 정도로 전류가 흐를 수 있도록 가압된 상태에서의 제2 도전부(320)의 높이 간의 차이를 의미할 수 있다. 그리고 이러한 스트로크는 스페이서(500)의 두께(t)로 조절할 수 있다.

또한, 본 발명의 제1 실시예에서는, 스페이서(500)가 서로 다른 두께(t)를 갖는 복수의 스페이서 중 선택된 하나로 교체될 수 있다. 검사를 위해 검사용 소켓(101)을 사이에 두고 배치된 피검사 디바이스(10)의 단자(12)와 검사 장치(20)의 패드(22) 간의 요구 거리가 피검사 디바이스(10)의 종류 및 검사 장치(20)의 종류마다 상이해질 수 있는데, 본 발명의 제1 실시예에 따르면, 검사용 소켓(101) 전체를 교체할 필요없이 간단하게 스페이서(500)를 교체하여 제1 소켓 레이어(200)와 제2 소켓 레이어(300)의 간격을 조정함으로써 다양한 종류의 피검사 디바이스(10)를 용이하게 검사할 수 있다. 즉, 스페이서(500)를 교체함으로써 스트로크를 조절할 수 있다.

또한, 신축부(340)의 탄성 변형률은 복수의 스페이서(500)가 갖는 최대 두께와 비례하여 설정될 수 있다. 스페이서의 두께(t)가 커질수록 스트로크도 커지게 되고, 제2 도전부의 이동 거리도 커지게 되므로, 신축부가 더 많이 변형될 수 있어야 한다. 이에, 신축부(340)의 탄성 변형률은 검사용 소켓(101)에 사용될 복수의 스페이서(500) 중 최대 두께와 비례하여 적절한 크기를 갖도록 설정될 수 있다.

이와 같은 구성에 의하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사용 소켓(101)은 다양한 종류의 피검사 디바이스(10)를 용이하고도 안정적으로 검사 장치(20)에 접속시켜 검사할 수 있도록 도울 수 있다.

또한, 검사용 소켓(101)은 신축부(340) 및 스페이서(500)에 의해 피검사 디바이스(10)의 단자(12)와 접촉하는 제2 도전부(320)가 자유롭게 탄성 동작 하기 때문에 피검사 디바이스(10)의 단자(12)의 높이 편차 또는 피검사 디바이스(10)의 휨 현상이 발생하더라도 안정적으로 검사를 할 수 있다.

구체적으로, 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사용 소켓(101)은 제1 소켓 레이어(200)와 제2 소켓 레이어(300)를 포함하는 복층 구조로 형성되며, 스페이서(500)와 금속핀을 포함하는 제2 도전부(320)를 통해 피검사 디바이스(10)와 검사 장치(20) 사이에 개재된 검사용 소켓(101)의 스트로크(stroke)를 조절하고, 신축부(340)와 제1 도전부(220)를 통해 피검사 디바이스(10)가 검사 장치(20)와 접속되는 과정에서 발생하는 충격을 완화하면서, 피검사 디바이스(10)와 검사 장치(20)를 전기적으로 연결할 수 있다.

이하, 도 4 내지 도 6을 참조하여, 본 발명의 제2 실시예에 따른 검사용 소켓(102)을 설명한다.

도 4은 본 발명의 제2 실시예에 따른 검사용 소켓(102)이 적용되는 예를 나타낸다. 또한, 도 4는 검사용 소켓(102)과 검사용 소켓(102)에 접촉되는 피검사 디바이스(10) 및 검사 장치(20)를 개략적으로 도시하며, 도 4에 도시하는 형상은 실시예의 이해를 위해 선택된 일 예에 불과하다.

또한, 본 발명의 제2 실시예에 따른 검사용 소켓(102)은, 앞서 설명한 복층 구조의 제1 실시예와 달리, 단층 구조로 형성된다.

도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 검사용 소켓(102)은 복수의 도전부(420), 복수의 신축부(440), 지지부(410), 및 스페이서(500)를 포함한다. 도 4는 검사용 소켓(102)에 압력이 가해지지 않는 상태를 도시하며, 복수의 도전부(420)는 검사 장치(20)의 패드(22)로부터 이격되어 있다.

복수의 도전부(420)는 피검사 디바이스(10)의 단자(12)와 대응하는 위치마다 마련될 수 있다.

또한, 본 발명의 제2 실시예에서, 도전부(420)는 금속핀(421)과 도전성 탄성부(422)를 포함할 수 있다. 금속핀(421)은 일단이 피검사 디바이스(10)의 단자(12)와 접속 가능하고 타단이 검사 장치(20)의 패드(22)와 접속 가능하도록 형성될 수 있다. 그리고 도전성 탄성부(422)는 금속핀(421)의 타단에 형성될 수 있다. 일례로, 도전성 탄성부(422)는 실리콘 러버와 전도성 파우더가 혼합된 것일 수 있다.

금속핀(421)이 직접 검사 장치(20)의 패드(22)와 접촉하게 되면, 접촉 시 충격에 의해 검사 장치(20)의 패드(22)가 손상될 수 있으므로, 검사 장치(20)의 패드(22)와 대향하는 금속핀(421)의 타단에 도전성 탄성부(422)를 형성하여 도전부(420)와 검사 장치(20)의 패드(22) 간의 접촉 시 충격을 완화하면서 전기적 연결은 가능하게 할 수 있다.

예를 들어, 금속핀(421)은 전기 전도도가 높고 피검사 디바이스(10)에 의해 가해지는 압력을 견딜 수 있는 강도를 갖는 금속으로 만들어질 수 있다.

복수의 신축부(440)는 각각 복수의 도전부(420)를 각각 둘러쌀 수 있다. 그리고 지지부(410)는 복수의 도전부(420)가 서로 전기적으로 절연되도록 복수의 신축부(440)를 지지할 수 있다. 즉, 지지부(410)는 도전부(420)를 둘러싼 신축부(440)를 지지하게 된다. 이때, 신축부(440)는 지지부(410)보다 상대적으로 경도가 낮은 러버(rubber)로 만들어질 수 있다. 일례로, 신축부(440)는 지지부(410)보다 경도가 낮은 실리콘 러버로 만들어질 수 있다.

또한, 지지부(410)는 제1 실시예의 제1 지지부(210) 및 제2 지지부(310)와 동일한 소재로 만들어질 수 있고, 폴리이미드 필름, FR4, 수지 등의 절연성 소재 또는 절연 처리된 금속 기판 등 신축부(440)보다 경도가 높은 소재면 어느 것으로도 만들어 질 수 있다.

스페이서(500)는 지지부(410)를 검사 장치(20)의 패드(22)로부터 이격시켜 지지할 수 있다.

도 5는 검사용 소켓(102)에 압력이 가해진 상태를 도시한다. 이때, 압력은 피검사 디바이스(10)의 검사 시에 피검사 디바이스(10)를 통해 검사용 소켓(102)으로 가해질 수 있다. 그리고 압력은 기계 장치에 의해 또는 수작업으로 가해질 수 있다. 이와 같이 가해지는 압력에 의해 피검사 디바이스(10)의 단자(12)가 검사용 소켓(102)의 도전부(420)의 상단을 하방으로 누름에 따라, 도전부(420)가 검사 장치(20)의 패드(22)와 서로 접촉하는 상태가 된다.

이러한 가압 상태는 도전부(420)가 피검사 디바이스(10)의 단자(12)에 의해 상하 방향으로 눌리면서 신축부(440)가 변형되는 상태를 의미할 수 있다. 그리고 도전부(420)를 검사 장치(20)의 패드(22) 방향으로 가압하여 도전부(420)와 검사 장치(20)의 패드(22)를 접촉시키는 압력은 도전부(420)의 탄성적인 상하 이동을 허용하는 신축부(440)의 탄성 변형률에 따라 결정될 수 있다.

한편, 도전부(420)에 가해지는 압력이 신축부(440)를 탄성 변형시킬 수 있는 소정 한계보다 낮은 경우, 도전부(420)와 검사 장치(20)의 패드(22)는 스위치 오프 상태를 유지하게 된다. 반면, 도전부(420)에 가해지는 압력이 도전부(420)와 검사 장치(20)의 패드(22)를 접촉시키기 위한 상기 소정 한계보다 높은 경우, 도전부(420)는 검사 장치(20)의 패드(22)와 접촉되면서, 스위치 온 상태로 되어 상하 방향에서의 신호 전달이 실행된다. 이와 같이 검사용 소켓(102)에서의 상하 방향에서의 신호 전달에 대한 일종의 스위치로서 기능할 수 있다.

즉, 도 5에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 검사용 소켓(102)에서는, 피검사 디바이스(20)의 단자(22)가 도전부(420)의 일단을 가압하면, 신축부(440)가 신장되면서 도전부(420)의 타단이 검사 장치(20)의 패드(22)와 접촉하여 검사 장치(20)의 패드(22)와 피검사 디바이스(10)의 단자(12)가 전기적으로 연결될 수 있다.

이후, 피검사 디바이스(10)의 가압이 해제되면, 신축부(440)가 수축하면서 도전부(420)가 검사 장치(20)의 패드(22)로부터 이격될 수 있다.

도 6은 본 발명의 제2 실시예에서 피검사 디바이스(10)가 검사용 소켓(102)을 가압하지 않는 상태와 가압하는 상태를 직접적으로 대비하여 나타낸다.

도전부(420)가 검사 장치(20)의 패드(22) 방향으로 가압된 상태에서 피검사 디바이스(10)의 단자(12)와 대향하는 도전부(420)의 일단의 높이와 도전부(420)에 대한 가압이 해제된 상태에서 도전부(420)의 일단의 높이 간의 차이(S)를 스트로크(stroke)라 할 수 있다.

즉, 스트로크는 가압되지 않은 상태에서의 도전부(420)의 높이와 검사가 가능한 정도로 전류가 흐를 수 있도록 가압된 상태에서의 도전부(420)의 높이 간의 차이를 의미할 수 있다. 그리고 이러한 스트로크는 스페이서(500)의 두께(t)로 조절할 수 있다.

또한, 본 발명의 제2 실시예에서도, 스페이서(500)가 서로 다른 두께(t)를 갖는 복수의 스페이서 중 선택된 하나로 교체될 수 있다. 검사를 위해 검사용 소켓(102)을 사이에 두고 배치된 피검사 디바이스(10)의 단자(12)와 검사 장치(20)의 패드(22) 간의 요구 거리가 피검사 디바이스(10)의 종류 및 검사 장치(20)의 종류마다 상이해질 수 있는데, 본 발명의 제2 실시예에 따르면, 검사용 소켓(102) 전체를 교체할 필요없이 간단하게 스페이서(500)를 교체하여 검사용 소켓(102)의 지지부(410)와 검사 장치(20) 간의 간격을 조정함으로써 다양한 종류의 피검사 디바이스(10)를 용이하게 검사할 수 있다. 즉, 스페이서(500)를 교체함으로써 스트로크를 조절할 수 있다.

이와 같은 구성에 의하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 검사용 소켓(102)은 다양한 종류의 피검사 디바이스(10)를 용이하고도 안정적으로 검사 장치(20)에 접속시켜 검사할 수 있도록 도울 수 있다.

또한, 검사용 소켓(102)은 신축부(440) 및 스페이서(500)에 의해 피검사 디바이스(10)의 단자(12)와 접촉하는 도전부(420)가 자유롭게 탄성 동작 하기 때문에 피검사 디바이스(10)의 단자(12)의 높이 편차 또는 피검사 디바이스(10)의 휨 현상이 발생하더라도 안정적으로 검사를 할 수 있다.

구체적으로, 본 발명의 제2 실시예에 따른 검사용 소켓(102)은 스페이서(500)와 금속핀(421)을 통해 피검사 디바이스(10)와 검사 장치(20) 사이에 개재된 검사용 소켓(102)의 스트로크(stroke)를 조절하고, 신축부(440)와 도전성 탄성부(422)를 통해 피검사 디바이스(10)가 검사 장치(20)와 접속되는 과정에서 발생하는 충격을 완화하면서 피검사 디바이스(10)와 검사 장치(20)를 전기적으로 연결할 수 있다.

또한, 본 발명의 제2 실시예에서는, 제1 실시예와 달리, 단층 구조로 형성됨으로써, 전체적인 구성을 더욱 간소화할 수 있다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.

그러므로 이상에서 기술한 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명은 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

10: 피검사 디바이스
12: 단자
20: 검사 장치
22: 패드
101, 102: 검사용 소켓
200: 제1 소켓 레이어
210: 제1 지지부
220: 제1 도전부
221: 절연성 탄성 물질
223: 도전성 입자
300: 제2 소켓 레이어
310: 제2 지지부
320: 제2 도전부
340, 440: 신축부
410: 지지부
420: 도전부
421: 금속핀
422: 도전성 탄성부
500: 스페이서

Claims

피검사 디바이스의 단자와 검사 장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 있어서,
상기 검사 장치의 패드와 대응하는 위치마다 마련된 복수의 제1 도전부와 상기 복수의 제1 도전부가 서로 전기적으로 절연되도록 상기 복수의 제1 도전부를 지지하는 제1 지지부를 포함하는 제1 소켓 레이어;
상기 피검사 디바이스의 단자와 대응하는 위치마다 마련된 복수의 제2 도전부와, 상기 복수의 제2 도전부를 각각 둘러싸는 복수의 신축부, 그리고 상기 복수의 제2 도전부가 서로 전기적으로 절연되도록 상기 복수의 신축부를 지지하는 제2 지지부를 포함하는 제2 소켓 레이어;
상기 제1 지지부와 상기 제2 지지부 사이에 교체 가능하도록 마련되어 상기 제1 지지부와 상기 제2 지지부의 간격을 유지하는 스페이서; 및
상기 제2 도전부는 일단이 상기 피검사 디바이스의 단자와 접속 가능하고 타단이 상기 제1 도전부와 접속 가능한 금속핀
을 포함하는 검사용 소켓.
제1항에 있어서,
상기 제1 도전부는 절연성 탄성 물질과 다수의 도전성 입자를 포함하는 검사용 소켓.
삭제
제1항에 있어서,
상기 제2 소켓 레이어의 상기 신축부는 상기 제2 지지부보다 상대적으로 경도가 낮은 러버(rubber)로 만들어진 검사용 소켓.
제1항에 있어서,
상기 피검사 디바이스의 단자가 상기 제2 소켓 레이어의 상기 제2 도전부를 가압하면, 상기 신축부가 신장되면서 상기 제2 도전부가 상기 검사 장치의 패드와 접촉된 상기 제1 도전부와 접촉하여 상기 검사 장치의 패드와 상기 피검사 디바이스의 단자가 전기적으로 연결되는 검사용 소켓.
피검사 디바이스의 단자와 검사 장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 있어서,
상기 검사 장치의 패드와 대응하는 위치마다 마련된 복수의 제1 도전부와 상기 복수의 제1 도전부가 서로 전기적으로 절연되도록 상기 복수의 제1 도전부를 지지하는 제1 지지부를 포함하는 제1 소켓 레이어;
상기 피검사 디바이스의 단자와 대응하는 위치마다 마련된 복수의 제2 도전부와, 상기 복수의 제2 도전부를 각각 둘러싸는 복수의 신축부, 그리고 상기 복수의 제2 도전부가 서로 전기적으로 절연되도록 상기 복수의 신축부를 지지하는 제2 지지부를 포함하는 제2 소켓 레이어; 및
상기 제1 지지부와 상기 제2 지지부 사이에 교체 가능하도록 마련되어 상기 제1 지지부와 상기 제2 지지부의 간격을 유지하는 스페이서
를 포함하며,
상기 제2 도전부가 상기 제1 도전부 방향으로 가압된 상태에서 상기 피검사 디바이스의 단자와 대향하는 상기 제2 도전부의 일단의 높이와 상기 제2 도전부에 대한 가압이 해제된 상태에서 상기 제2 도전부의 상기 일단의 높이 간의 차이는 상기 스페이서의 두께로 조절되는 검사용 소켓.
제1항 또는 제6항에 있어서,
상기 스페이서는 서로 다른 두께를 갖는 복수의 스페이서 중 선택된 하나로 교체 가능한 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
제7항에 있어서,
상기 신축부의 탄성 변형률은 상기 복수의 스페이서가 갖는 최대 두께와 비례하여 설정되는 검사용 소켓.
피검사 디바이스의 단자와 검사 장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 있어서,
상기 피검사 디바이스의 단자와 대응하는 위치마다 마련된 복수의 도전부;
상기 복수의 도전부를 각각 둘러싸는 복수의 신축부;
상기 복수의 도전부가 서로 전기적으로 절연되도록 상기 복수의 신축부를 지지하는 지지부; 및
상기 지지부를 상기 검사 장치의 패드로부터 이격시켜 지지하는 스페이서
를 포함하며,
상기 도전부는 일단이 상기 피검사 디바이스의 단자와 접속 가능하고 타단이 상기 검사 장치의 패드와 접속 가능한 금속핀을 포함하는 검사용 소켓.
삭제
제9항에 있어서,
상기 도전부는 상기 금속핀의 타단에 형성된 도전성 탄성부를 더 포함하는 검사용 소켓.
제11항에 있어서,
상기 도전성 탄성부는 실리콘 러버와 전도성 파우더가 혼합된 것인 검사용 소켓.
제9항에 있어서,
상기 신축부는 상기 지지부보다 상대적으로 경도가 낮은 러버(rubber)로 만들어진 검사용 소켓.
제9항에 있어서,
상기 피검사 디바이스의 단자가 상기 도전부를 가압하면, 상기 신축부가 신장되면서 상기 도전부가 상기 검사 장치의 패드와 접촉하여 상기 검사 장치의 패드와 상기 피검사 디바이스의 단자가 전기적으로 연결되는 검사용 소켓.
피검사 디바이스의 단자와 검사 장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 있어서,
상기 피검사 디바이스의 단자와 대응하는 위치마다 마련된 복수의 도전부;
상기 복수의 도전부를 각각 둘러싸는 복수의 신축부;
상기 복수의 도전부가 서로 전기적으로 절연되도록 상기 복수의 신축부를 지지하는 지지부; 및
상기 지지부를 상기 검사 장치의 패드로부터 이격시켜 지지하는 스페이서
를 포함하며,
상기 도전부가 상기 검사 장치의 패드 방향으로 가압된 상태에서 상기 피검사 디바이스의 단자와 대향하는 상기 도전부의 일단의 높이와 상기 도전부에 대한 가압이 해제된 상태에서 상기 도전부의 상기 일단의 높이 간의 차이는 상기 스페이서의 두께로 조절되는 검사용 소켓.
제9항 또는 제15항에 있어서,
상기 스페이서는 서로 다른 두께를 갖는 복수의 스페이서 중 선택된 하나로 교체 가능한 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
제16항에 있어서,
상기 신축부의 탄성 변형률은 상기 복수의 스페이서가 갖는 최대 두께와 비례하여 설정되는 검사용 소켓.