TWI633074B - 玻璃平板單元之製造方法 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種可簡易地施行的玻璃平板單元之製造方法。本發明的玻璃平板單元之製造方法，將暫時組裝品（100）收納於腔室部（81）內，將腔室部（81）內排氣而使其呈減壓狀態。暫時組裝品（100），具備第1玻璃平板（20）、第2玻璃平板（30）、及框體（410）。框體（410），配置於第1玻璃平板（20）與第2玻璃平板（30）之間，將第1玻璃平板（20）與第2玻璃平板（30）氣密性地接合。於框體（410），設置將內部空間（500）與外部空間連結之排氣口（700）。腔室部（81），於一部分具有抵靠部（82），其可移動以將第1玻璃平板（20）與第2玻璃平板（30）往接近的方向推壓，且具有熱傳導性。藉由加熱裝置（88）將收納於腔室部（81）內之暫時組裝品（100）的框體（410）加熱，使其變形，以關閉排氣口（700）。

Description

玻璃平板單元之製造方法

本發明係關於一種玻璃平板單元之製造方法。

文獻1（國際公開第2013/172033號），揭露一種玻璃平板單元。文獻1所揭露之玻璃平板單元，具備第1玻璃平板、及與第1玻璃平板隔著既定間隔相對向地配置之第2玻璃平板。進一步，玻璃平板單元，具備：密封件，配置於第1玻璃平板與第2玻璃平板之間，將第1玻璃平板與第2玻璃平板氣密性地接合；以及內部空間，以第1玻璃平板、第2玻璃平板、及密封件包圍。

此玻璃平板單元中，暫時組裝品設置有在第1玻璃平板與第2玻璃平板之間將其等氣密性地接合的框體，具備將被第1玻璃平板、第2玻璃平板及框體包圍之內部空間與外部空間連結的排氣口；在製造過程中，將該暫時組裝品置入密封排氣爐，使其呈真空狀態，並加熱框體，藉以將排氣口密封。藉此，獲得作為完成品之玻璃平板單元。

文獻1所示之玻璃平板單元，係將暫時組裝品插入密封排氣爐等特殊的大型裝置，使其呈真空狀態並將排氣口密封，而吾人期望簡易製之方法。

本發明之目的在於獲得可簡易地製造玻璃平板單元的玻璃平板單元之製造方法。

本發明的玻璃平板單元之製造方法，將暫時組裝品收納於腔室部內，通過通氣路將腔室部內排氣而使其呈減壓狀態。該暫時組裝品，具備：第1玻璃平板，至少由玻璃板構成；第2玻璃平板，其第1面隔著既定間隔而與該第1玻璃平板之第1面相對向地配置，至少由玻璃板構成；框體；以及內部空間。該框體，配置於該第1玻璃平板與該第2玻璃平板之間，將該第1玻璃平板與該第2玻璃平板氣密性地接合。該內部空間，係以該第1玻璃平板、該第2玻璃平板、及該框體包圍。於該框體，設置將該內部空間與外部空間連結之排氣口。該腔室部，於一部分具有可移動以將該第1玻璃平板之第2面與該第2玻璃平板之第2面往接近的方向推壓且具有熱傳導性的抵靠部，設置有與外部空間相通的排氣用之通氣路。藉由加熱裝置將收納於該腔室部內之該暫時組裝品的該框體加熱，使該框體變形，藉以關閉該排氣口。

以下之第一實施形態～第三實施形態，係關於玻璃平板單元及其製造方法，特別是關於具備以下元件之玻璃平板單元及其製造方法：第1玻璃平板；第2玻璃平板，與第1玻璃平板隔著既定間隔而相對向地配置；以及密封件，配置於第1玻璃平板與第2玻璃平板之間，將第1玻璃平板與第2玻璃平板氣密性地接合。

圖1及圖2，顯示第一實施形態的玻璃平板單元（玻璃平板單元之完成品）10。第一實施形態的玻璃平板單元10，係真空隔熱玻璃單元。真空隔熱玻璃單元，為至少具備一對玻璃平板之多層玻璃平板的一種。

第一實施形態的玻璃平板單元10，具備第1玻璃平板20、第2玻璃平板30、密封件40、減壓空間50、氣體吸附體60、及複數間隔件70。

玻璃平板單元（完成品）10，係藉由對圖3及圖4所示之暫時組裝品100施行既定處理而獲得。

暫時組裝品100，具備第1玻璃平板20、第2玻璃平板30、框體410、內部空間500、氣體吸附體60、及複數間隔件70。

第1玻璃平板20，具備決定第1玻璃平板20之平面形狀的玻璃板21、及塗覆層22。

玻璃板21，為矩形的平板，具有彼此平行的厚度方向之一方的面（圖3中的底面）、及另一方的面（圖3中的頂面）。玻璃板21之一方的面及另一方的面皆為平面。玻璃板21之材料，例如為鈉鈣玻璃、高應變點玻璃、化學強化玻璃、無鹼玻璃、石英玻璃、Neoceram、物理強化玻璃。

塗覆層22，形成於玻璃板21之一方的面。塗覆層22，為紅外線反射膜。另，塗覆層22，並未限定為紅外線反射膜，亦可為具有期望之物理特性的膜。

塗覆層22之第2玻璃平板30側的面，構成第1玻璃平板20之第1面201；玻璃板21之另一方的面，構成第1玻璃平板20之第2面202。

第2玻璃平板30，具備決定第2玻璃平板30之平面形狀的玻璃板31。玻璃板31，為矩形的平板，具有彼此平行的厚度方向之一方的面（圖3中的頂面）、及另一方的面（圖3中的底面）。玻璃板31之一方的面及另一方的面皆為平面。

玻璃板31之一方的面，構成第2玻璃平板30之第1面301；玻璃板31之另一方的面，構成第2玻璃平板30之第2面302。

玻璃板31之平面形狀及平面尺寸，與玻璃板21相同。此外，玻璃板31之厚度，與玻璃板21。玻璃板31之材料，例如為鈉鈣玻璃、高應變點玻璃、化學強化玻璃、無鹼玻璃、石英玻璃、Neoceram、物理強化玻璃。

第2玻璃平板30，僅以玻璃板31構成。第2玻璃平板30，與第1玻璃平板20相對向地配置。具體而言，第1玻璃平板20與第2玻璃平板30，配置為第1玻璃平板20之第1面201與第2玻璃平板30之第1面301彼此平行且相對向。

框體410，配置於第1玻璃平板20與第2玻璃平板30之間，將第1玻璃平板20與第2玻璃平板30氣密性地接合。藉此，形成以框體410、第1玻璃平板20、及第2玻璃平板30包圍之內部空間500。

框體410，係以熱黏接劑形成。熱黏接劑，例如為玻璃料。玻璃料，例如為低融點玻璃料。低融點玻璃料，例如為鉍系玻璃料、鉛系玻璃料、釩系玻璃料。

框體410，為矩形的框狀。框體410之平面形狀，雖與玻璃板21、31相同，但框體410之平面尺寸較玻璃板21、31更小。框體410，沿著第2玻璃平板30之外周形成。

第1玻璃平板20與第2玻璃平板30，係藉由以熱黏接劑之軟化點以上的既定溫度（第1熔融溫度）Tm1（參考圖7）使框體410之熱黏接劑先熔融，而藉由框體410氣密性地接合。

於框體410，設置排氣口700。排氣口700，係將內部空間500與外部空間連結的孔。排氣口700，用於將內部空間500排氣。

氣體吸附體60，配置於內部空間500內。具體而言，氣體吸附體60，呈長條狀，在第2玻璃平板30之長度方向的端（圖4中的左端側），沿著第2玻璃平板30之寬度方向而形成。如此地，可使氣體吸附體60不顯眼。此外，氣體吸附體60，位於遠離排氣口700之位置。因此，可降低在內部空間500之排氣時，氣體吸附體60妨礙排氣的可能性。

氣體吸附體60，用於吸附不需要的氣體（殘留氣體等）。不需要的氣體，例如為加熱框體410時，從框體410釋放的氣體。

氣體吸附體60，具有吸氣劑。吸氣劑，係具有吸附較既定大小更小之分子的性質之材料。吸氣劑，例如為蒸發型吸氣劑。蒸發型吸氣劑，具有若成為既定溫度（活性化溫度）以上，則將吸附之分子釋放的性質。因此，即便蒸發型吸氣劑之吸附能力降低，藉由將蒸發型吸氣劑加熱至活性化溫度以上，仍可回復蒸發型吸氣劑之吸附能力。蒸發型吸氣劑，例如為沸石或經離子交換之沸石（例如經銅離子交換之沸石）。

氣體吸附體60，具備此吸氣劑之粉體。具體而言，氣體吸附體60，係藉由塗布分散有吸氣劑之粉體的溶液而形成。此一情況，可將氣體吸附體60減小。因此，即便內部空間500狹窄仍可配置氣體吸附體60。

複數間隔件70，用於將第1玻璃平板20與第2玻璃平板30之間隔維持在既定間隔。

複數間隔件70，配置於內部空間500內。具體而言，複數間隔件70，配置於假想的矩形之格子的交叉點。例如，複數間隔件70之間隔，為2cm。然則，間隔件70之大小、間隔件70之數目、間隔件70之間隔、間隔件70之配置圖案，可適宜選擇。

間隔件70，為具有與上述既定間隔幾近相等之高度的圓柱狀。例如，間隔件70，直徑為1mm，高度為100μm。另，各間隔件70，亦可為角柱狀或球狀等期望之形狀。

間隔件70，使用透明的材料形成。然則，各間隔件70若夠小，則使用不透明的材料形成亦可。間隔件70之材料，以在後述第1熔融步驟、排氣步驟、第2熔融步驟中，間隔件70不變形的方式予以選擇。例如，間隔件70之材料，選擇為具有較熱黏接劑的軟化點更高的軟化點（軟化溫度）。

為了獲得玻璃平板單元（完成品）10，而將此等暫時組裝品100，對上述既定處理供給。

上述既定處理，在既定溫度（排氣溫度）Te（參考圖7），將內部空間500排氣而使內部空間500成為減壓空間50。使排氣溫度Te，較氣體吸附體60之吸氣劑的活性化溫度更高。藉此，可同時施行內部空間500的排氣與吸氣劑之吸附能力的回復。

此外，上述既定處理，如圖2所示，藉由使框體410變形，將排氣口700封閉，而形成包圍減壓空間50之密封件40。框體410，藉由以軟化點以上的既定溫度（第2熔融溫度）Tm2使熱黏接劑先熔融，而可形成密封件40。另，使第1熔融溫度Tm1，較第2熔融溫度Tm2更低。藉此，可防止在以框體410將第1玻璃平板20與第2玻璃平板30接合時，框體410變形而封閉排氣口700。

如此地獲得之玻璃平板單元（完成品）10，如圖2所示，具備：第1玻璃平板20、第2玻璃平板30、密封件40、減壓空間50、氣體吸附體60、及複數間隔件70。

減壓空間50，如同上述，藉由通過排氣口700將內部空間500排氣而形成。換而言之，減壓空間50，係內部之壓力為既定値以下的內部空間500。既定値，例如為0.1Pa，如此地在內部之壓力為可說是真空之壓力以下的情況，減壓空間50成為真空空間。

密封件40，完全地包圍減壓空間50，並將第1玻璃平板20與第2玻璃平板30氣密性地接合。

接著，參考圖5～圖8，對第一實施形態的玻璃平板單元10之製造方法加以說明。

第一實施形態的玻璃平板單元10之製造方法，具備準備步驟、組裝步驟、密閉步驟、及去除步驟。另，亦可省略準備步驟。

準備步驟，係為了獲得暫時組裝品100，而形成第1玻璃平板20、第2玻璃平板30、框體410、內部空間500、排氣口700、及氣體吸附體60之步驟。準備步驟，具有第1步驟～第5步驟。另，第2步驟～第5步驟的順序，亦可適宜變更。

第1步驟，係形成第1玻璃平板20及第2玻璃平板30之步驟（基板形成步驟）。例如，第1步驟，製作第1玻璃平板20及第2玻璃平板30。此外，第1步驟，因應必要，洗淨第1玻璃平板20及第2玻璃平板30。

第2步驟，係形成框體410之步驟（密封材形成步驟）。第2步驟，利用分配器等，於第2玻璃平板30（第1面301）上塗布框體410之材料（熱黏接劑）。

此時，如圖5所示，於框體410之一部分，形成具有較其他部分之厚度更小之厚度的低層部411。藉由此低層部411，形成暫時組裝品100之排氣口700。於形成低層部411的部分以分配器噴吐框體410之材料時，加快分配器的噴嘴之移動速度。藉此，形成具有較其他部分之厚度更小之厚度的低層部411。

另，亦可使分配器的噴嘴之移動速度為一定，在將框體410之材料配置於形成低層部411的部分時，減少來自分配器之噴嘴的框體410之材料的每單位時間之噴吐量。此外，排氣口700，即便未在框體410形成此等低層部411，仍可使構成框體410之材料（熱黏接劑）呈多孔狀而具有通氣性，至以第2熔融溫度Tm2熔融為止。此一情況，構成框體410之材料，藉由以第2熔融溫度Tm2熔融，而失去通氣性。

使框體410之材料乾燥，並予以預鍛燒。例如，將塗布有框體410之材料的第2玻璃平板30加熱。

第3步驟，係形成間隔件70之步驟（間隔件形成步驟）。第3步驟，預先形成複數間隔件70，利用貼片機等，將複數間隔件70，配置於第2玻璃平板30之既定位置。另，複數間隔件70，亦可利用光微影技術及蝕刻技術形成。此一情況，複數間隔件70，係使用光硬化性材料等形成。抑或，複數間隔件70，亦可利用習知的薄膜形成技術。

第4步驟，係形成氣體吸附體60之步驟（氣體吸附體形成步驟）。第4步驟，將分散有吸氣劑之粉體的溶液塗布於第2玻璃平板30之既定位置，使其乾燥，藉以形成氣體吸附體60。

藉由結束第1步驟至第4步驟，而獲得如圖5所示之，形成有框體410、氣體吸附體60、及複數間隔件70的第2玻璃平板30。

第5步驟，係配置第1玻璃平板20與第2玻璃平板30之步驟（配置步驟）。如圖6所示，第5步驟中，第1玻璃平板20與第2玻璃平板30，係將第1玻璃平板20之第1面201與第2玻璃平板30之第1面301彼此平行且相對向地配置，使其重合。

組裝步驟，係準備暫時組裝品100之步驟。具體而言，組裝步驟，藉由將第1玻璃平板20與第2玻璃平板30接合，而準備暫時組裝品100。亦即，組裝步驟，係將第1玻璃平板20與第2玻璃平板30藉由框體410氣密性地接合之步驟（第1熔融步驟）。

第1熔融步驟，藉由以熱黏接劑之軟化點以上的既定溫度（第1熔融溫度）Tm1使熱黏接劑先熔融，而將第1玻璃平板20與第2玻璃平板30氣密性地接合。具體而言，將第1玻璃平板20及第2玻璃平板30，配置於後述之腔室部81內，如圖7所示，以第1熔融溫度Tm1加熱既定時間（第1熔融時間）tm1。

第1熔融溫度Tm1及第1熔融時間tm1，設定為藉由框體410之熱黏接劑將第1玻璃平板20與第2玻璃平板30氣密性地接合，但不因框體410的變形而封閉排氣口700。亦即，第1熔融溫度Tm1之下限，設定為熱黏接劑的軟化點；第1熔融溫度Tm1之上限，設定為不因框體410的變形而封閉排氣口700。

藉由上述組裝步驟（第1熔融步驟），獲得圖8所示之暫時組裝品100。

密閉步驟，係對暫時組裝品100施行上述既定處理而獲得玻璃平板單元（完成品）10之步驟。密閉步驟，具有排氣步驟、及熔融步驟（第2熔融步驟）。亦即，排氣步驟及第2熔融步驟相當於上述既定處理。於密閉步驟，使用圖9所示之腔室裝置80。

腔室裝置80，具備將暫時組裝品100收納於內部而對外部空間密閉之腔室部81。

腔室部81，於一部分具有抵靠部82，其可移動以將第1玻璃平板20之第2面202與第2玻璃平板30之第2面302往接近的方向推壓，且具有熱傳導性。

第一實施形態中，腔室部81，具備可簡單地變形的袋子。腔室部81所具備的袋子，例如使用金屬製的袋子，但並未限定為金屬製。第一實施形態中，腔室部81具備鋁製的袋子。此腔室部81所具備的袋子之厚度，為10μm、50μm、100μm、500μm等，厚度並未特別限定，依材質而適宜決定。此外，亦可於腔室部81所具備的袋子（例如鋁製袋），貼附抑制袋子破裂的膜，此膜具有承受較第2熔融溫度Tm2更高之溫度的耐熱性。如此地，藉由袋子等簡易的構成，而可構成腔室部81。

抵靠部82，係藉由此腔室部81之袋子的任意部分構成。亦即，抵靠部82，相應於腔室部81中的實際上抵靠於第1玻璃平板20之第2面202或第2玻璃平板30之第2面302的部分。抵靠部82需要熱傳導性，宜為具有至少為玻璃以上之熱傳導率的材料，進一步，更宜為具有與金屬類（例如鋁）同等之熱傳導率的材料。

於腔室部81設置開口部83，其係用於將暫時組裝品100置入內部，並將作為完成品之玻璃平板單元10從內部取出。於腔室部81的開口部83之邊緣部，隔著密封構件84而設置關閉構件85。密封構件84，在第一實施形態中，係藉由具有承受較第2熔融溫度Tm2更高之溫度的耐熱性之O型環構成。另，密封構件84，亦可藉由水冷機構水冷。關閉構件85，在第一實施形態中具備金屬製之呈板狀的構件。

於腔室部81，設置有與外部空間相通的通氣路86。第一實施形態中，於關閉構件85，形成與腔室部81之內外相通的通氣路86。於關閉構件85的通氣路86之外部空間側的端部，設置排氣管87。

排氣步驟，係在既定溫度（排氣溫度）Te，將內部空間500，通過排氣口700排氣而使其為減壓空間50之步驟。

排氣，例如係使用真空泵施行。真空泵，於排氣管87安裝密封帽（不圖示），藉此，將真空泵之吸氣口與排氣口700連接。若藉由真空泵排氣，則腔室部81內之氣壓下降，藉由大氣壓推壓抵靠部82，抵靠部82將第1玻璃平板20之第2面202與第2玻璃平板30之第2面302往彼此接近的方向推壓。

第1熔融步驟、排氣步驟、第2熔融步驟，維持將第1玻璃平板20及第2玻璃平板30（形成有框體410、排氣口700、氣體吸附體60、複數間隔件70之第2玻璃平板30）配置於腔室部81內而施行。

排氣步驟中，在排氣溫度Te，通過排氣口700將內部空間500排氣既定時間（排氣時間）te（參考圖7）。

排氣溫度Te，設定為較氣體吸附體60之吸氣劑的活性化溫度（例如350℃）更高，且較軟化點（例如434℃）更低。

如此，則框體410不變形。此外，使氣體吸附體60之吸氣劑活性化，將吸氣劑所吸附的分子（氣體）從吸氣劑釋放。而後，將從吸氣劑釋放的分子（即氣體），通過內部空間500、及排氣口700排出。因此，排氣步驟，回復氣體吸附體60之吸附能力。

排氣時間te，設定為獲得期望之真空度（例如，0.1Pa以下之真空度）的減壓空間50。

第2熔融步驟，係使框體410變形，形成封閉排氣口700之密封件40，藉以形成包圍減壓空間50的密封件40之步驟。第2熔融步驟中，以軟化點以上之既定溫度（第2熔融溫度）Tm2使熱黏接劑先熔融，藉以使框體410變形而形成密封件40。具體而言，將第1玻璃平板20及第2玻璃平板30，於腔室部81內，以第2熔融溫度Tm2加熱既定時間（第2熔融時間）tm2（參考圖7）。

如圖9所示，從抵靠部82之外側，藉由加熱裝置88隔著抵靠部82將第1玻璃平板20及第2玻璃平板30加熱。作為加熱裝置88，例如雖利用使用電熱線等之熱板，但並未特別限定為熱板。

第2熔融溫度Tm2及第2熔融時間tm2，設定為使熱黏接劑軟化，形成封閉排氣口700之框體410。第2熔融溫度Tm2之下限為軟化點（434℃）。然則，第2熔融步驟，與第1熔融步驟相異，係以使框體410變形為目的，故使第2熔融溫度Tm2，較第1熔融溫度（440℃）Tm1更高。

在第1熔融步驟，亦將框體410加熱，故從框體410釋放氣體。從框體410釋放出的氣體被氣體吸附體60吸附，故有氣體吸附體60之吸附能力因第1熔融步驟而降低的情況。然而，排氣步驟中，以氣體吸附體60之吸氣劑的活性化溫度以上之排氣溫度Te施行內部空間500的排氣，藉此，使氣體吸附體60之吸附能力回復。因此，氣體吸附體60，在第2熔融步驟中，可充分吸附從框體410釋放出的氣體。

此外，第2熔融步驟，從排氣步驟持續，通過排氣口700將內部空間500排氣。亦即，第2熔融步驟，以第2熔融溫度Tm2，通過排氣口700將內部空間500排氣，並使框體410變形而封閉排氣口700以形成密封件40，第2熔融步驟實質上包含於排氣步驟。藉此，於第2熔融步驟中，進一步防止減壓空間50之真空度惡化。

經由上述準備步驟、組裝步驟、密閉步驟、及去除步驟，獲得玻璃平板單元10。

在第一實施形態中，並未如同習知例地使用密封排氣爐等特殊的大型裝置，而可製造玻璃平板單元10。亦即，使用具有如上述之腔室部81的腔室裝置80。藉此，藉由構成腔室部81之一部分的抵靠部82將第1玻璃平板20與第2玻璃平板30抵靠，將腔室部81內之容積減小而解決。此外，因抵靠部82具有熱傳導性，故可從腔室部81外藉由加熱裝置88加熱而將暫時組裝品100的框體410加熱。藉此，亦使腔室部81內之容積減小而解決，不需要大型裝置，而可簡易地製造玻璃平板單元10。此外，將排氣之氣體（空氣）的量減少、將動力減小而解決，追求節能化。

此外，並未伴隨腔室裝置80之變形或切除等，故可再利用腔室裝置80。

接著，依據圖10對第二實施形態加以說明。第二實施形態中，使用與第一實施形態的腔室裝置80不同之腔室裝置80A。另，第二實施形態大部分與第一實施形態相同，故對於相同構成使用在相同符號後方給予「A」的符號並省略說明，主要對相異之構成予以說明。

腔室裝置80A，具備將暫時組裝品100A收納於內部之腔室部81A。

腔室部81A，於一部分具有抵靠部82A，其可移動以將第1玻璃平板20A與第2玻璃平板30A往接近的方向推壓，且具有熱傳導性。具體而言，腔室部81A，具備成為成為抵靠部82A之二片板、及密封構件811A。

抵靠部82A，具備第1板821A、及第2板822A。第1板821A及第2板822A，以具有透光性之玻璃形成。

於第1板821A與第2板822A之間，沿著其等的邊緣部設置密封構件811A，其係藉由具有承受較第2熔融溫度Tm2更高之溫度的耐熱性及彈性之O型環構成。密封構件811A，藉由水冷機構89A水冷。

若藉由真空泵排氣，則腔室部81A內之氣壓下降，以大氣壓推壓第1板821A與第2板822A。第1板821A與第2板822A，分別推壓第1玻璃平板20A與第2玻璃平板30A。亦即，密封構件811A具有彈性，故可推壓第1板821A與第2板822A以使其等接近。

第二實施形態的加熱裝置88A，雖為紅外線加熱器，但亦可利用例如使用電熱線等之熱板，並未特別限定。

此外，形成貫通第1板821A之通氣路86A，於第1板821A的通氣路86A之外部空間側的端部設置排氣管87A。此外，氣體吸附體60A、間隔件70A分別與第一實施形態的氣體吸附體60、間隔件70相同。

第二實施形態中，在藉由真空泵排氣而將腔室部81A內減壓之狀態下，藉由加熱裝置88A將框體410A加熱而關閉排氣口700A。藉此，形成在內部具有減壓空間之玻璃平板單元。

此外，第1板821A及第2板822A，亦可不為玻璃，而以金屬形成，材質並未特別限定。在第1板821A及第2板822A不為玻璃之情況（即不具有透光性之情況），作為加熱裝置88A適合使用熱板。

第二實施形態，亦與第一實施形態同樣地，並未如同習知方法地使用密封排氣爐等特殊的大型裝置，可較簡易地製造玻璃平板單元。特別是，藉由第1板821A、第2板822A、密封構件811A等簡易之構成，而可構成腔室部81A。

此外，並未伴隨腔室裝置80A之變形或切除等，故可再利用腔室裝置80A。

接著，依據圖11對第三實施形態加以說明。第三實施形態中，使用與第一實施形態的腔室裝置80不同之腔室裝置80B。另，第三實施形態大部分與第一實施形態相同，故對於相同構成使用在相同符號後方給予「B」的符號並省略說明，主要對相異之構成予以說明。

腔室裝置80B，具備將暫時組裝品100B收納於內部之腔室部81B。

腔室部81B，具備可簡單地變形的袋子。腔室部81B所具備的袋子，例如雖使用金屬製的袋子，但並未限定為金屬製。第三實施形態的腔室部81B，具備與第一實施形態相同之鋁製的袋子。

於腔室部81B，設置開口部，但此開口部，在將暫時組裝品100B收納於腔室部81B內，將腔室部81B內減壓後，成為藉由熔接等而密封之密封部90B，予以密閉。

此外，於腔室部81B內，插入氣體吸附體91B。氣體吸附體91B，具有與氣體吸附體60B相同之吸氣劑。將氣體吸附體91B，封入容器92B。將腔室部81B內減壓後，容器92B破裂，使構成氣體吸附體91B之吸氣劑活性化。容器92B，可從腔室部81B之袋子上方夾持弄破。

第三實施形態的加熱裝置88B，例如雖為使用電熱線等之熱板，但並未特別限定。在形成密封部90B並藉由密閉使腔室部81A內減壓之狀態下，藉由加熱裝置88B將框體410B加熱，關閉排氣口700B。此時，藉由氣體吸附體91B吸附從框體410B產生之氣體。藉此，形成在內部具有減壓空間之玻璃平板單元。

若藉由真空泵排氣而將腔室部81B內減壓，則藉由大氣壓推壓抵靠部82B，抵靠部82B將第1玻璃平板20B與第2玻璃平板30B往彼此接近的方向推壓。間隔件70B與第一實施形態的間隔件70相同。

第三實施形態，亦與第一實施形態同樣地，並未如同習知方法地使用密封排氣爐等特殊的大型裝置，而可較簡易地製造玻璃平板單元。

接著，依據圖12、圖13，對於藉由上述第一實施形態～第三實施形態之製造方法製造出的玻璃平板單元10之變形例加以說明。另，變形例的玻璃平板單元10，因係在上述玻璃平板單元10中具有追加構成之玻璃平板單元，故對於與上述玻璃平板單元10共同之構成給予相同符號而省略說明。

變形例的玻璃平板單元10，具備與第2平板30相對向地配置之第3平板93。另，在變形例中，第3平板93，雖為了方便與第2平板30相對向，但亦可與第1平板20相對向。

第3平板93，具備第3玻璃板94。第3平板93所具備之第3玻璃板94，具有平坦表面，具有既定厚度。變形例中，藉由第3玻璃板94構成第3平板93。

另，第3平板93，亦可於任一表面具備塗覆層。塗覆層，為紅外線反射膜等具有期望之物理特性的膜。於此一情況，第3平板93係以第3玻璃板94及塗覆層構成。總而言之，第3平板93，至少由第3玻璃板94構成。

進一步，玻璃平板單元10具備第2密封件41，第2密封件41配置於第2平板30與第3平板93之間，將第2平板30與第3平板93氣密性地接合。另，此一情況，密封件40成為第1密封件。第2密封件41，在第2平板30的邊緣部與第3平板93的邊緣部之間環狀地配置。第2密封件41，可由與密封件40相同之材質構成，亦可由相異之材質構成。

玻璃平板單元10具備第2內部空間510，第2內部空間510係以第2平板30、第3平板93、及第2密封件41密閉，封入有乾燥氣體。另，此一情況，內部空間500成為第1內部空間。作為乾燥氣體，雖使用氬等之乾燥的稀有氣體、乾燥空氣等，但並未特別限定。

此外，在第2平板30的邊緣部與第3平板93的邊緣部之間的第2密封件41之內側，環狀地配置中空的框構件95。於框構件95，形成與第2內部空間510相通的貫通孔951，在內部收納例如矽氧凝膠等乾燥劑96。

此外，第2平板30與第3平板93之接合，可藉由和第1平板20與第2平板30之接合相同的要領施行，對於一例於以下內容說明。

首先，準備具有第3平板93、第1平板20、及第2平板30之組裝品（第一實施形態或第二實施形態之玻璃平板單元10）。

而後將成為第2密封件41的第2熱黏接劑，於第3平板93或第2平板30之表面的邊緣部框狀地配置（第2熱黏接劑配置步驟）。熱黏接劑，可由與成為框體410的熱黏接劑（第1熱黏接劑）相同之材質構成，亦可由相異之材質構成。進一步此步驟中，於熱黏接劑，形成由使第2內部空間510與外部空間相通之貫通孔構成的通氣路（第2通氣路）。

接著，使第3平板93、第2平板30對向配置（第3平板對向配置步驟）。

接著，藉由使溫度上升至成為第2密封件41之熱黏接劑熔融的溫度而使熱黏接劑先熔融，而將第2平板30與第3平板93以第2密封件41氣密性地接合（接合步驟）。另，此時，使第2通氣路未完全封閉。

接著，通過第2通氣路使乾燥氣體流入第2內部空間510（乾燥氣體流入步驟）。此一步驟，可僅以乾燥氣體填滿第2內部空間510內，亦可留下空氣。

接著，將第2密封件41加熱而封閉第2通氣路，密封第2內部空間510（第2空間密封步驟）。

如同上述地，形成玻璃平板單元10。若依變形例的玻璃平板單元10，則可獲得更進一步之隔熱性。

如同自上述第一實施形態～第三實施形態所明瞭，本發明之第1形態的玻璃平板單元10之製造方法，將暫時組裝品100收納於腔室部81內，通過通氣路86使腔室部81內呈減壓狀態。暫時組裝品100，具備：第1玻璃平板20，至少由玻璃板21構成；第2玻璃平板30，其第1面301隔著既定間隔而與第1玻璃平板20之第1面201相對向地配置，至少由玻璃板31構成；框體410；以及內部空間500。框體410，配置於第1玻璃平板20與第2玻璃平板30之間，將第1玻璃平板20與第2玻璃平板30氣密性地接合。內部空間500，係以第1玻璃平板20、第2玻璃平板30、及框體410包圍。於框體410，設置將內部空間500與外部空間連結之排氣口700。腔室部81，於一部分具有可移動以將第1玻璃平板20之第2面202與第2玻璃平板30之第2面302往接近的方向推壓且具有熱傳導性的抵靠部82，設置有與外部空間相通的排氣用之通氣路86。藉由加熱裝置88將收納於腔室部81內之暫時組裝品100的框體410加熱，使框體410變形，藉以關閉排氣口700。

依第1形態，則可簡易地製造玻璃平板單元10。

本發明之第2形態的玻璃平板單元之製造方法為附加之方法，係藉由與第1形態組合而實現。第2形態的玻璃平板單元10之製造方法中，腔室部81，具備於一部分設置有開口部83之可變形的袋子，於開口部83之邊緣部設置密封構件84，隔著密封構件84以可裝卸的方式設置關閉開口部83之關閉構件85。於關閉構件85形成通氣路86。

若依第2形態，則藉由袋子等簡易之構成，而可構成腔室部81。此外，並未伴隨腔室部81之變形、破損，故可再利用腔室部81。

本發明之第3形態的玻璃平板單元之製造方法為附加之方法，係藉由與第1形態組合而實現。第3形態的玻璃平板單元之製造方法中，腔室部81A，具備作為抵靠部82A之第1板821A與第2板822A、及密封構件811A。密封構件811A，設置於第1板821A與第2板822A之間，具有耐熱性及彈性。

若依第3形態，則藉由第1板821A、第2板822A、密封構件811A等簡易之構成，而可構成腔室部81A。此外，並未伴隨腔室部81A之變形、破損，故可再利用腔室部81A。

本發明之第4形態的玻璃平板單元之製造方法為附加之方法，係藉由與第1形態組合而實現。第4形態的玻璃平板單元之製造方法中，腔室部81B，具備於一部分設置有開口部之可變形的袋子。藉由此開口部將暫時組裝品100B收納於腔室部81B內，將腔室部81B內減壓後，密封開口部以形成密封部90B。

若依第4形態，則藉由袋子等簡易之構成，而可構成腔室部81B。此外，並未伴隨腔室部81B之變形、破損，故可再利用腔室部81B。

10‧‧‧玻璃平板單元

100、100A、100B‧‧‧暫時組裝品

20‧‧‧第1玻璃平板（第1平板）

20A、20B‧‧‧第1玻璃平板

201‧‧‧第1面

202‧‧‧第2面

21‧‧‧玻璃板

22‧‧‧塗覆層

30‧‧‧第2玻璃平板（第2平板）

30A、30B‧‧‧第2玻璃平板

301‧‧‧第1面

302‧‧‧第2面

31‧‧‧玻璃板

40‧‧‧密封件（第1密封件）

41‧‧‧第2密封件

410、410A、410B‧‧‧框體

411‧‧‧低層部

50‧‧‧減壓空間

500‧‧‧內部空間（第1內部空間）

510‧‧‧第2內部空間

60、60A、60B‧‧‧氣體吸附體

70、70A、70B‧‧‧間隔件

700、700A、700B‧‧‧排氣口

80、80A、80B‧‧‧腔室裝置

81、81A、81B‧‧‧腔室部

811A‧‧‧密封構件

82、82A、82B‧‧‧抵靠部

821A‧‧‧第1板

822A‧‧‧第2板

83‧‧‧開口部

84‧‧‧密封構件

85‧‧‧關閉構件

86、86A‧‧‧通氣路

87、87A‧‧‧排氣管

88、88A、88B‧‧‧加熱裝置

89A‧‧‧水冷機構

90B‧‧‧密封部

91B‧‧‧氣體吸附體

92B‧‧‧容器

93‧‧‧第3平板

94‧‧‧第3玻璃板

95‧‧‧框構件

951‧‧‧貫通孔

96‧‧‧乾燥劑

[圖1]係本發明之第一實施形態的玻璃平板單元之製造方法的玻璃平板單元之完成品的概略剖面圖。 [圖2]係同上之完成品的概略俯視圖。 [圖3]係同上之玻璃平板單元的暫時組裝品之概略剖面圖。 [圖4]係同上之暫時組裝品的概略俯視圖。 [圖5]係同上之第4步驟結束後的暫時組裝品之立體圖。 [圖6]係說明同上之第5步驟的暫時組裝品之立體圖。 [圖7]係說明同上之製造方法的第1熔融步驟、排氣步驟、第2熔融步驟之溫度的時序圖。 [圖8]係同上之組裝步驟結束後的暫時組裝品之立體圖。 [圖9]係同上之製造方法的腔室裝置之剖面圖。 [圖10]係第二實施形態之製造方法的腔室裝置之剖面圖。 [圖11]係第三實施形態之製造方法的腔室裝置之剖面圖。 [圖12]係玻璃平板單元的變形例之概略剖面圖。 [圖13]係同上之玻璃平板單元的變形例之部分斷開概略俯視圖。

Claims (4)

1. 一種玻璃平板單元之製造方法，將玻璃平板單元之暫時組裝品，收納於設置有與外部空間相通的排氣用之通氣路的腔室部內；該暫時組裝品具備：第1玻璃平板，至少由玻璃板構成；第2玻璃平板，其第1面隔著既定間隔而與該第1玻璃平板之第1面相對向地配置，至少由玻璃板構成；框體，配置於該第1玻璃平板與該第2玻璃平板之間，將該第1玻璃平板與該第2玻璃平板氣密性地接合；內部空間，以該第1玻璃平板、該第2玻璃平板、及該框體包圍；以及排氣口，設置於該框體，連結該內部空間與外部空間；該腔室部，於一部分具有抵靠部，該抵靠部可移動以將該第1玻璃平板之第2面與該第2玻璃平板之第2面往接近的方向推壓且具有熱傳導性；通過該通氣路將該腔室部內排氣，藉由大氣壓推壓該抵靠部，該抵靠部將該第1玻璃平板之該第2面與該第2玻璃平板之該第2面往彼此接近的方向推壓，藉此使包含該內部空間的該腔室部內呈減壓狀態；藉由加熱裝置將收納於該腔室部內之該暫時組裝品的該框體加熱，使該框體變形，藉以關閉該排氣口。
2. 如申請專利範圍第1項之玻璃平板單元之製造方法，其中，該腔室部，具備於一部分設置有開口部之可變形的袋子，於該開口部之邊緣部設置密封構件；並設置隔著該密封構件以可裝卸方式關閉該開口部之關閉構件，於該關閉構件形成該通氣路。
3. 如申請專利範圍第1項之玻璃平板單元之製造方法，其中，該腔室部，具備：第1板及第2板，作為該抵靠部；以及密封構件，設置於該第1板與該第2板之間，具有耐熱性及彈性。
4. 如申請專利範圍第1項之玻璃平板單元之製造方法，其中，該腔室部，具備於一部分設置有開口部之可變形的袋子，從該開口部將該暫時組裝品收納於該腔室部內而將該腔室部內減壓後，密封該開口部以形成密封部。