TWI628130B - 電子零件搬送用工作檯、特性測定裝置、篩選裝置及包裝裝置 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種外緣部之溫度偏差較小並且慣性力矩(慣性)較小之電子零件搬送用工作台。

該電子零件搬送用工作台呈圓盤狀，包括形成有安裝機構之中央部2、形成有複數個凹部(未圖示)之外緣部5、及中央部2與外緣部5之間之中間部7，於各凹部分別收納一個電子零件(未圖示)，並且藉由旋轉來搬送電子零件，於中間部5形成貫通正面主面與背面主面之複數個空心部8，於俯視之情形時，複數個空心部8分開配置於直徑不同之複數個同心圓上。

Description

電子零件搬送用工作檯、特性測定裝置、篩選裝置及包裝裝置

本發明係關於將電子零件收納於形成於外緣部之凹部且圓周狀地搬送電子零件之圓盤狀之電子零件搬送用工作台，更詳細而言，係關於外緣部之溫度偏差較小並且旋轉軸之圓周方向之慣性力矩(慣性)較小之電子零件搬送用工作台。再者，於本申請文件中，關於慣性力矩及慣性之術語全部係指電子零件搬送用工作台之旋轉軸之圓周方向者。

又，本發明係關於使用上述本發明之電子零件搬送用工作台之電子零件之特性測定裝置、篩選裝置及包裝裝置。

於電子零件之特性測定裝置、電子零件之篩選裝置、電子零件之包裝裝置等中，使用圓周狀地搬送電子零件之圓盤狀之電子零件搬送用工作台(以下，有時僅省略為「工作台」來記載)。

例如，於專利文獻1(日本專利特開2003-300616號公報)中，揭示了上述之工作台。

於圖16及圖17中表示於專利文獻1中揭示之工作台1000。其中，圖16係工作台1000之俯視圖。圖17係表示工作台1000安裝於工作台驅動裝置110上之狀態之主要部分剖視圖。

工作台1000呈圓盤狀。

於工作台1000之中央部102，形成有於兩個主面間貫通之1個中心孔103與4個定位孔104作為安裝機構。

於工作台1000之外緣部105，形成有用於收納電子零件之複數個凹部(工件收納用凹部)106。

工作台1000例如如圖17所示，安裝於工作台驅動機構110上使用。

工作台驅動機構110具有圓盤狀之工作台安裝部(工作台緊固部)111與軸(凸部)112。

工作台1000配置於工作台安裝部111之上，軸112插通於中心孔103。而且，經由圓盤墊圈113，螺栓114插通於定位孔104，進而螺栓114緊固於工作台安裝部111上。

如此安裝於工作台驅動機構110上之工作台1000反覆進行高速旋轉與停止，將電子零件(工件)圓周狀地搬送。

即，於工作台驅動機構110之軸112上連結有例如步進馬達(未圖示)等驅動源，藉由控制驅動源，工作台100反覆進行高速旋轉與停止。

工作台驅動裝置110例如構成電子零件之特性測定裝置之一部分。

上述之特性測定裝置已於例如專利文獻2(日本專利特開2007-240158號公報)中揭示。

專利文獻2之特性測定裝置係用於測定熱敏電阻之電阻值者。

於專利文獻2之特性測定裝置中，工作台反覆進行高速旋轉與停止。即，於將電子零件收納於凹部時、及於測定區域測定電子零件之電氣特性時，工作台需要完全停止。而且，於完成電子零件之收納及電氣特性之測定時，為了收納下一個電子零件及測定下一個電子零件之電氣特性，工作台需要立即旋轉再接著停止。

於特性測定裝置中，為了使工作台高速地旋轉、停止，實現工作台之輕量化，從而減小工作台之旋轉軸之圓周方向之慣性力矩(慣 性)較為有效。

先前以來，為了工作台之輕量化，於搬送用工作台之中央部與外緣部之間之中間部設置貫通兩個主面之空心部。

於圖18~圖20中表示3種先前之工作台1100~1300。

圖18係表示未形成空心部之先前例1之工作台1100之俯視圖。

圖19係表示形成有空心部108之先前例2之工作台1200之俯視圖。

圖20係表示形成有空心部118之先前例3之工作台1300之俯視圖。

先前例1之工作台1100如圖18所示，於中央部102形成有1個中心孔103與4個定位孔104。

工作台1100於外緣部105形成有複數個用於收納電子零件之凹部。但是，於圖18中，為了方便觀察，省略凹部之圖示(於以下之圖式中亦相同)。

於工作台1100中，未於中間部107形成空心部。

其結果，工作台1100與下文說明之形成有空心部之工作台1200、1300相比，重量較大，慣性較大。工作台1100之慣性為5.10E-06(kg．m²)。

工作台1100由於慣性較大，因此自步進馬達停止到完全停止為止之時間較長。因此，需要自步進馬達停止到於測定區域開始測定電子零件之電氣特性為止之等待時間。因而，使用工作台1100之特性測定裝置之測定效率較差。再者，於工作台完全停止之前，即於工作台還在振動等之期間，若開始測定電子零件之電氣特性，則會產生電子零件之電極被測定端子劃傷、或者測定誤差變大等問題。

圖19所示之先前例2之工作台1200於中間部107形成有8個扇形之空心部108。

其結果，工作台1200與工作台1100相比，重量較小，慣性較小。 工作台1200之空心量(利用空心部減少之重量/沒有空心部減少重量時之重量)為48%。又，工作台1200之慣性為3.39E-06(kg．m²)。

工作台1200之慣性較小，自步進馬達停止到完全停止為止之時間較短。因此，步進馬達停止後，短時間內就能於測定區域開始測定電子零件之電氣特性。因而，使用工作台1200之特性測定裝置之測定效率較高。

又，圖20所示之先前例3之工作台1300於中間部107形成有8個圓形之空心部118。

其結果，工作台1300亦與工作台1200相同，與工作台1100相比，重量較小，慣性較小。工作台1300之空心量為18%。又，工作台1300之慣性為4.36E-06(kg．m²)。

工作台1300之慣性較小，自步進馬達停止到完全停止為止之時間較短。因此，步進馬達停止後，短時間內就能於測定區域開始測定電子零件之電氣特性。因而，使用工作台1200之特性測定裝置之測定效率較高。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2003-300616號公報

[專利文獻2]日本專利特開2007-240158號公報

如上所述，為了減小工作台之旋轉軸之圓周方向之慣性力矩(慣性)，於工作台上形成空心部來實現工作台之輕量化較為有效。

然而，若於工作台上形成空心部，則會產生如下之新的問題：工作台之外緣部之溫度會產生偏差。

即，安裝工作台之驅動機構具備會產生熱量之步進馬達等驅動 源，自驅動源經由軸傳遞熱量至工作台之中央部，從而工作台之中央部變得溫度特別高。

雖然工作台之中央部溫度變高亦係問題，但更大之問題係工作台之外緣部之溫度產生偏差。

例如，於特性測定裝置中，測定NTC熱敏電阻或PTC熱敏電阻等熱敏電阻之電阻值。然而，熱敏電阻係以電阻值會隨溫度變化作為特徵之一之電子零件，若於形成有收納熱敏電阻之凹部之工作台之外緣部之溫度產生偏差，則無法正確地測定熱敏電阻之電阻值。即，被工作台搬送至測定區域之熱敏電阻由於工作台之外緣部之溫度偏差，每一個個體之溫度都不相同，從而無法正確地測定熱敏電阻之電阻值。

圖18所示之先前例1之未形成空心部之工作台1100中，例如中央部102之溫度最高之部分之溫度為50℃時，外緣部105之溫度一律為31.4℃，未產生溫度偏差。

相對於此，於先前例2之形成空心部108之工作台1200中，如圖21所示，中央部102之溫度最高之部分之溫度為50℃時，外緣部105之溫度之最大溫度MAX為28.248℃，最小溫度MIN為27.057℃，產生1.191℃之溫度差。

又，於先前例3之形成空心部118之工作台1300中，如圖22所示，中央部102之溫度最高之部分之溫度為50℃時，外緣部105之溫度之最大溫度MAX為29.315℃，最小溫度MIN為28.806℃，產生0.509℃之溫度差。

如上所述，為了減小工作台之慣性，於工作台上形成空心部來實現工作台之輕量化較為有效，然而存在以下問題：若形成空心部，則工作台之外緣部之溫度會產生偏差，因此於用於特性測定裝置之情形時，無法正確地測定電氣特性。

本發明係用於解決上述之先前之問題而完成者，本發明之電子零件搬送用工作台(技術方案1中記載之電子零件搬送用工作台)呈圓盤狀，包括形成有安裝機構之中央部、形成有複數個凹部之外緣部、及中央部與外緣部之間之中間部，於各凹部分別收納一個電子零件，並且藉由旋轉來搬送電子零件，於中間部形成貫通正面主面與背面主面之複數個空心部，於俯視之情形時，複數個空心部分開配置於直徑不同之複數個同心圓上。

又，本發明之另一形態之電子零件搬送用工作台(技術方案2中記載之電子零件搬送用工作台)呈圓盤狀，包括形成有安裝機構之中央部、形成有複數個凹部之外緣部、及中央部與外緣部之間之中間部，於各凹部分別收納一個電子零件，並且藉由旋轉來搬送電子零件，於中間部形成貫通正面主面與背面主面之複數個空心部，空心部分別呈槽狀，於俯視之情形時，複數個槽狀之空心部分別自電子零件搬送用工作台之中心向外緣呈輻射狀地配置。

於上述之第一個本發明(技術方案1中記載之電子零件搬送用工作台)之電子零件搬送用工作台中，較佳為配置於至少一個同心圓上之複數個空心部與配置於其他之至少一個同心圓上之複數個空心部以電子零件搬送用工作台之中心作為中心沿圓周方向錯開配置，於自電子零件搬送用工作台之中心觀察電子零件搬送用工作台之外緣之情形時，遍及電子零件搬送用工作台之整個外緣形成有至少1個空心部。此係因為，於該情形時，能使外緣部之溫度之偏差更小。

又，空心部可為槽狀，該槽狀之空心部沿著同心圓配置，並且於中間部之各同心圓形成連接樑。於該情形時，形成於各同心圓上之連接樑之個數較佳為隨著自電子零件搬送用工作台之中心側之同心圓向電子零件搬送用工作台之外緣側之同心圓依次變多。此係因為，於該情形時，能使電子零件搬送用工作台之中心部之熱量隨著向電子零 件搬送用工作台之外緣部而細細地分散，從而使外緣部之溫度之偏差更小。又，形成於各同心圓上之連接樑較佳為隔開均等之間隔來形成。此係因為，於該情形時，能使電子零件搬送用工作台之中心部之熱量隨著向電子零件搬送用工作台之外緣部而均勻地分散，從而使外緣部之溫度之偏差更小。進而，於中間部形成之連接樑較佳為形成為分形之形狀。此係因為，於該情形時，能使外緣部之溫度之偏差極小。

又，於自電子零件搬送用工作台之中心觀察電子零件搬送用工作台之外緣之情形時，較佳為於看著外緣上之至少一個點之情形時，連接樑形成為左右對稱。此係因為，於該情形時，亦能使電子零件搬送用工作台之中心部之熱量隨著向電子零件搬送用工作台之外緣部而均勻地分散，從而使外緣部之溫度之偏差更小。

又，空心部可係圓形或多邊形。於該情形時，為了使熱量均勻地分散，於自電子零件搬送用工作台之中心觀察電子零件搬送用工作台之外緣之情形時看著外緣上之至少一個點之情形時，藉由形成圓形或者多邊形之空心部而形成之連接樑亦較佳為形成為左右對稱。

又，於上述之第二個本發明(於技術方案2中記載之電子零件搬送用工作台)之電子零件搬送用工作台中，較佳為形成於中間部之連接樑之寬度自電子零件搬送用工作台之中心向外緣變寬。此係因為，於該情形時，能使外緣部之溫度之偏差更小。

又，亦較佳為自中心向外緣呈輻射狀地配置之空心部形成為曲線形。此係因為，於該情形時，自中央部向外緣部之散熱路徑(連接樑)變長，容易使外緣部之溫度更均勻。

又，本發明之電子零件搬送用工作台中，空心部可用較構成中間部之材質密度更低之材質來填充。於該情形時，於抑制電子零件搬送用工作台之強度降低之同時，能減小慣性力矩(慣性)。又，例如， 若用於填充之材質之熱傳導性與構成中間部之材質之熱傳導性相等，則容易使外緣部之溫度更均勻。或者，若用於填充之材質之熱傳導性較構成中間部之材質之熱傳導性更高，則能將中心部之熱量高效地向外緣部發散。或者，若用於填充之材質之熱傳導性較構成中間部之材質之熱傳導性更低，則能抑制中心部之熱量對外緣部造成影響，並且能提高強度。

又，可於本發明之電子零件搬送用工作台之上下主面中之至少一個主面上黏貼薄膜。於該情形時，能經由薄膜使熱量發散，其結果，外緣部之溫度亦變得更均勻。更具體而言，例如，若薄膜之熱傳導性較構成中間部之材質之熱傳導性更高，則能將中心部之熱量高效地向外緣部發散。或者，若薄膜之熱傳導性較構成中間部之材質之熱傳導性更低，則能抑制中心部之熱量對外緣部造成影響，並且能使熱量發散。

又，本發明之電子零件搬送用工作台較佳為藉由設置空心部將慣性力矩減少20%以上。此係因為，於該情形時，自驅動用之例如步進馬達停止到電子零件搬送用工作台完全地停止為止之時間變得足夠小。

本發明之電子零件搬送用工作台能用於例如電子零件之特性測定裝置。於該情形時，能正確地測定電子零件之電氣特性。又，本發明之電子零件搬送用工作台亦能用於電子零件之篩選裝置或包裝裝置。

本發明之電子零件搬送用工作台之外緣部之溫度偏差較小，並且慣性力矩(慣性)較小。

2‧‧‧中心部

3‧‧‧中心孔(安裝機構)

4‧‧‧定位孔(安裝機構)

5‧‧‧外緣部

7‧‧‧中間部

8、18、28、38、48、58、108、118‧‧‧空心部

9、19、29、39、49、59‧‧‧連接樑

52‧‧‧薄膜

100、200、300、400、500、600、700、800、1000、1100、1200、1300‧‧‧電子零件搬送用工作台(工作台)

102‧‧‧中央部

103‧‧‧中心孔

104‧‧‧定位孔

105‧‧‧外緣部

106‧‧‧凹部

107‧‧‧中間部

110‧‧‧工作台驅動裝置

111‧‧‧工作台安裝部

112‧‧‧軸

113‧‧‧圓盤墊圈

114‧‧‧螺栓

圖1係表示實施形態1之電子零件搬送用工作台100之俯視圖。

圖2係表示電子零件搬送用工作台100之溫度分佈之俯視圖。

圖3係表示實施形態2之電子零件搬送用工作台200之俯視圖。

圖4係表示電子零件搬送用工作台200之溫度分佈之俯視圖。

圖5係表示實施形態3之電子零件搬送用工作台300之俯視圖。

圖6係表示電子零件搬送用工作台300之溫度分佈之俯視圖。

圖7係表示實施形態4之電子零件搬送用工作台400之俯視圖。

圖8係表示電子零件搬送用工作台400之溫度分佈之俯視圖。

圖9係表示實施形態5之電子零件搬送用工作台500之俯視圖。

圖10係表示電子零件搬送用工作台500之溫度分佈之俯視圖。

圖11係表示電子零件搬送用工作台之空心量與外緣部之溫度差之關係之圖表。

圖12係表示電子零件搬送用工作台之慣性力矩(慣性)與外緣部之溫度差之關係之圖表。

圖13係表示實施形態6之電子零件搬送用工作台600之俯視圖。

圖14係表示實施形態7之電子零件搬送用工作台700之俯視圖。

圖15係表示實施形態8之電子零件搬送用工作台800之俯視圖。

圖16係表示專利文獻1所揭示之電子零件搬送用工作台1000之俯視圖。

圖17係表示安裝於電子零件搬送用工作台驅動裝置上之電子零件搬送用工作台1000之主要部分剖視圖。

圖18係表示先前例1之電子零件搬送用工作台1100之俯視圖。

圖19係表示先前例2之電子零件搬送用工作台1200之俯視圖。

圖20係表示先前例3之電子零件搬送用工作台1300之俯視圖。

圖21係表示電子零件搬送用工作台1200之溫度分佈之俯視圖。

圖22係表示電子零件搬送用工作台1300之溫度分佈之俯視圖。

以下，對於用於實施本發明之實施形態與圖式一起進行說明。

再者，各實施形態係示例性地表示本發明之實施形態者，本發明並不限定於實施形態之內容。又，可將記載於不同之實施形態中之內容組合來實施，該情形時之實施內容亦包含於本發明中。又，圖式僅係為了方便理解實施形態，有時並非嚴密地描繪。例如，描繪之構成要素或構成要素間之尺寸比例有時與說明書中記載之其等之尺寸比例不一致。又，存在記載於說明書中之構成要素於圖式中省略之情況、或省略個數來進行繪製之情況等。

[實施形態1]

於圖1中，表示實施形態1之電子零件搬送用工作台100(如上所述有時省略為「工作台100」來記載；於以下之實施形態中亦相同)。

工作台100由例如陶瓷構成，呈圓盤狀。但是，工作台100之材質不限定於陶瓷，亦可係用玻璃纖維強化後之環氧玻璃材料。

於工作台100之中央部2形成有於兩個主面之間貫通之1個中心孔3與4個定位孔4作為安裝機構。中心孔3用於供工作台驅動機構(未圖示)之軸插通。定位孔4用於供螺栓等插通，並將工作台100緊固於工作台驅動機構之工作台安裝部等上。但是，安裝機構不限定於中心孔3及定位孔4，亦可係其他方法。

於工作台100之外緣部5形成有用於收納電子零件之複數個凹部。但是，於圖1中，如上所述，為了方便觀察，省略凹部之圖示(於以下之圖式中亦相同)。

凹部之大小當然較收納之電子零件之大小更大。收納於凹部之電子零件之形狀與大小係任意。但是，於電子零件係長方體之情形時，可係例如縱向尺寸為0.05mm~10mm左右，橫向尺寸為0.05mm~10mm左右，高度尺寸為0.05mm~10mm左右。又，於電子零件係圓盤狀之情形時，可係例如直徑為0.05mm~10mm左右，厚度尺寸 為0.05mm~10mm左右。

凹部之個數係任意，例如可設為50個~500個。

於本實施形態中，將工作台100之直徑設為68mm。又，關於工作台100之厚度，將中央部2之形成有安裝機構之部分之厚度設為0.78mm，將外緣部5之形成有凹部之部分之厚度設為0.18mm，將其他部分之厚度設為0.48mm。

雖然於本發明中工作台100之直徑係任意，但是例如可設為50mm~500mm左右。又，雖然工作台100之厚度亦係任意，但是可將中央部2之厚之部位設為0.5mm~30mm左右，將外緣部5之薄之部位設為0.05mm~10mm左右。

於工作台100之中央部2與外緣部5之間之中間部7，形成有複數個空心部8。藉由形成空心部8，於中間部7形成有連接樑9。

雖然樑9之寬度尺寸係任意，但是為了維持強度，例如希望係0.25mm左右以上。

於本實施形態之工作台100中，空心部8形成為槽狀。而且，複數個空心部8以工作台100之中心作為中心，配置成5個直徑不同之同心圓狀。槽狀之各空心部8以沿著同心圓之方式進行配置。

由圖1可知，越配置於工作台100之中心部2側之同心圓上之空心部8，槽之長度越長，越配置於工作台100之外緣部5側之同心圓上之空心部8，槽之長度越短。

其結果，自中心部2側起之第一個同心圓上配置有3個空心部8。於第二個同心圓上配置有6個空心部8。於第三個同心圓上配置有12個空心部8。於第四個同心圓上配置有24個空心部8。於第五個同心圓上配置有48個空心部8。

又，對於每個直徑不同之同心圓，空心部8於圓周方向上錯開配置，因此自工作台100之中心觀察工作台100之外緣之情形時，於工作 台100之整個外緣至少形成有1個空心部8。

於工作台100上如上所述形成有空心部8，因此於中間部7形成之連接樑9形成為所謂分形之形狀。分形係指相同之形狀(分支)改變比例尺重複出現之形狀。

本實施形態之工作台100中，連接樑9形成為分形之形狀，因此即使中心部2之溫度因為工作台驅動機構之步進馬達等導致變成高溫，其熱量亦會均勻地分散，同時傳導至外緣部5，因此於外緣部5不產生溫度偏差。或者，即使產生溫度偏差，亦極小。

又，本實施形態之工作台100於自另一個角度看時，自工作台之中心觀察外緣之情形時看著外緣上之至少一個點(例如於連接中心與配置於最靠中心部2側之同心圓上之空心部8上所設置之連接樑9的線之延長線上之外緣上之點)之情形時，連接樑9亦能形成為左右對稱。其結果，工作台100中，即使中心部2之溫度因工作台驅動機構之步進馬達等導致變成高溫，其熱量亦均勻地分散，同時傳導至外緣部5，因此於外緣部5不產生溫度偏差。或者，即使產生溫度偏差，亦極小。

對於中央部2之溫度最高之部分之溫度為50℃時之工作台100之溫度分佈進行測定。再者，工作台100之溫度分佈之測定可使用例如紅外線熱成像等來進行。

於圖2表示工作台100之溫度分佈。

於工作台100中，中央部2之溫度最高之部分之溫度為50℃時，外緣部5之溫度一律為25.039℃，未產生溫度偏差。

又，工作台100如上所述形成有空心部，因此重量較小，慣性較小。工作台100之空心量(利用空心部減少之重量/未利用空心部減少重量時之重量)為53%，重量大大地減少。又，工作台100之慣性為2.32E-06(kg．m²)，足夠小。

如上所述，本實施形態之工作台100外緣部之溫度偏差較小，並且慣性力矩(慣性)較小。若將工作台100使用於專利文獻2(日本專利特開2007-240158號公報)揭示之特性測定裝置，則能對電子零件(例如熱敏電阻)之電氣特性(例如電阻值)正確地並且高效地進行測定。

工作台100可用先前製造工作台所使用之一般之製造方法來製造。即，空心部8可以與中心孔3或定位孔4相同之方法來形成。

[實施形態2]

於圖3中，表示實施形態2之工作台200。

工作台200除了空心部18及連接樑19之形狀、個數及配置以外，由與圖1、圖2所示之實施形態1之工作台100相同之構成來構成。

於工作台200之中間部7形成有120個圓形之空心部18。

空心部18係以工作台200之中心作為中心配置成5個直徑不同之同心圓狀。即，於各同心圓上分別配置有24個空心部18。

又，於工作台200中，對於每個直徑不同之同心圓，空心部18於圓周方向上錯開配置，因此自工作台200之中心觀察工作台200之外緣之情形時，於工作台200之整個外緣至少形成有1個空心部18。

又，工作台200於自另一個角度看時，藉由形成圓形之空心部18而於中間部7之同心圓上形成連接樑19，於自工作台之中心觀察外緣之情形時看著外緣上之至少一個點之情形時，所形成之連接樑19亦能形成為左右對稱。

本實施形態之工作台200中，空心部18或連接樑19之形狀、個數及配置如上所述，即使中心部2之溫度由工作台驅動機構之步進馬達等導致變成高溫，其熱量亦均勻地分散，同時傳導至外緣部5，因此於外緣部5之溫度偏差減少。

於圖4中，表示中央部2之溫度最高之部分之溫度為50℃時之工作台200之溫度分佈。於工作台200中，中央部2之溫度最高之部分之 溫度為50℃時，外緣部5之溫度之最大溫度MAX為28.663℃，最小溫度MIN為28.629℃，溫度偏差僅為0.034℃。工作台200中，外緣部5之溫度之偏差減小。

工作台200之空心量為24%。工作台200之慣性為3.86E-06(kg．m²)，係足夠小之值。

[實施形態3]

於圖5中，表示實施形態3之工作台300。

工作台300對圖3、圖4所示之實施形態2之工作台200增加了變更。

具體而言，工作台300相對於工作台200，對空心部28及連接樑29之配置增加了變更。再者，工作台300之空心部28之形狀及個數與工作台200相同。

於工作台300之中間部7形成有120個圓形之空心部28。

空心部28係以工作台300之中心作為中心配置成5個直徑不同之同心圓狀。即，於各同心圓上分別配置有24個空心部28。

於工作台300中，如圖5所示，配置於直徑不同之同心圓上之空心部28每5個為單位，自工作台300之中心向外緣部配置成直線狀。於實施形態2之工作台200中，對於每個直徑不同之同心圓，空心部18於圓周方向上錯開配置，自工作台200之中心觀察工作台200之外緣之情形時，於工作台200之整個外緣至少形成有1個空心部18。與此相對，工作台300之空心部28之配置係於自工作台300之中心觀察工作台300之外緣之情形時，形成了5個空心部28之區域與空心部28一個亦未形成之區域交替地設置。

於圖6，表示中央部2之溫度最高之部分之溫度為50℃時之工作台300之溫度分佈。於工作台300中，中央部2之溫度最高之部分之溫度為50℃時，外緣部5之溫度之最大溫度MAX為29.167℃，最小溫度 MIN為29.128℃，溫度差為0.039℃。該溫度差與先前例相比係得到充分改善之較小之值。

然而，於將工作台300之溫度分佈與工作台200之溫度分佈相比較之情形時，工作台200中外緣部5之溫度更低，並且外緣部5之最大溫度MAX與最小溫度MIN之溫度差更小。於工作台中，為了抑制外緣部之溫度偏差，可知如工作台200般更佳，即，將空心部18配置成複數個直徑不同之同心圓狀，進而，對於每個直徑不同之同心圓，將空心部18於圓周方向上錯開配置，於自工作台之中心觀察外緣之情形時，於整個外緣至少形成1個空心部18。

本實施形態之工作台300之空心量為24%，與工作台200相同。又，工作台200之慣性亦為3.86E-06(kg．m²)，與工作台200相同。

[實施形態4]

於圖7中，表示實施形態4之工作台400。

工作台400中，於中間部7之整個面配置有多個六邊形之空心部38。

工作台400中，連接樑39形成得比較細。

於圖8中，表示中央部2之溫度最高之部分之溫度為50℃時之工作台400之溫度分佈。於工作台400中，中央部2之溫度最高之部分之溫度為50℃時，外緣部5之溫度之最大溫度MAX為27.083℃，最小溫度MIN為26.707℃，溫度差為0.376℃。該溫度差與實施形態1~3之工作台100~300相比，雖然係較大之值，但是若與先前例相比，則係明顯地改善後之較小之值。認為於工作台400中，將多個六邊形之空心部38一樣形成於中間部7之整個面，因此由自工作台400之中心到外緣之連接樑39形成之路徑成為不均勻之長度、位置，最大溫度MAX與最小溫度MIN之溫度差比較大。

工作台400之空心量為52%，與其他實施形態相比，重量之減少 量較大。其結果，慣性亦極小，為1.99E-06(kg．m²)。

[實施形態5]

於圖9中，表示實施形態5之工作台500。

於工作台500中，於中間部7形成有24個槽狀之空心部49。各空心部49自工作台500之中心向外緣配置成輻射狀。

於工作台500中，連接樑49之寬度隨著自工作台500之中心向外緣逐漸變寬。

連接樑49之寬度隨著自工作台500之中心向外緣逐漸變寬，因此外緣部之溫度變得更均勻。連接樑49之寬度較佳為外緣側之寬度最寬之部位係中心側之寬度最小之部位之例如1.1倍以上。

於圖10中，表示中央部2之溫度最高之部分之溫度為50℃時之工作台500之溫度分佈。於工作台500中，中央部2之溫度最高之部分之溫度為50℃時，外緣部5之溫度之最大溫度MAX為29.514℃，最小溫度MIN為29.472℃，溫度差較小為0.42℃。認為於工作台500中，外緣部5之溫度偏差較小係依賴於連接樑49之寬度隨著自工作台500之中心向外緣逐漸變寬。

工作台500之空心量為37%。工作台500之慣性為3.32E-06(kg．m²)。

[實施形態與先前例之比較]

於表1中，對於實施形態1~5之工作台100~500、及先前例1~3之工作台1100~1300，將各自之空心量與慣性與外緣部之溫度差進行比較並表示。

又，於圖11中，對於實施形態1~5之工作台100~500、及先前例1~3之工作台1100~1300，表示工作台之空心量與外緣部之溫度差之關係。

進而，於圖12中，對於實施形態1~5之工作台100~500、及先前例1~3之工作台1100~1300，表示慣性力矩(慣性)與外緣部之溫度 差之關係。

藉由研究表1、圖11、圖12，從而可知以下事項。

可以看出空心量之大小與慣性之大小有關。即，存在空心量越大，慣性變得越小之傾向。然而，認為慣性不僅受到空心量之影響，還受到空心部之形狀、個數、配置之影響。其結果，儘管實施形態1之工作台100較實施形態4之工作台400之空心量大，但慣性更大。

為了減小外緣部之溫度差，如實施形態1之工作台100般，將連接樑9形成為分形之形狀極為有效。於工作台100中，外緣部無溫度差，整個外緣均係均勻之溫度。

將實施形態2之工作台200與實施形態3之工作台300進行比較可知，為了減小外緣部之溫度差，如工作台300般，對於每個直徑不同之同心圓，將空心部於圓周方向上錯開配置，於自工作台之中心觀察外緣之情形時，於工作台之整個外緣必須至少形成1個空心部18較為有效。

如實施形態4之工作台400般，於中間部7之整個面配置多個空心部38於減小慣性上較為有效。然而，工作台400與其他實施形態之工作台相比，減少外周部之溫度偏差之效果更小。

為了保持減小慣性，同時使外周部之溫度偏差減小，如實施形態5之工作台500般，將槽狀之空心部49自工作台之中心向外緣配置成輻射狀較為有效。

再者，實施形態1~5之工作台100~500與未設置空心部之先前例1相比，慣性(慣性力矩)均減少20%以上，成為非常好之結果。例如，實施形態4之工作台400與未設置空心部之先前例1相比，慣性成為39.0%，減少60%以上。本發明之電子零件搬送用工作台自驅動用之例如步進馬達停止到自身完全地停止為止之時間足夠小。

如上所述，可知根據本發明，能製作外緣部之溫度偏差較小並 且慣性較小之工作台。

進而，對於其他實施形態進行說明。

[實施形態6]

於圖13中，表示實施形態6之工作台600。

工作台600係對圖9、圖10所示之實施形態5之工作台500增加了變更。即，於工作台500中，空心部48自中心向外緣呈直線狀，但是工作台600對此增加了變更，將空心部58形成為曲線狀。

於工作台600中，連接樑59亦呈曲線狀，自中央部到外緣部之散熱路徑變長，外緣之溫度容易變得更均勻。

[實施形態7]

於圖14中，表示實施形態7之工作台700。

工作台700係對圖3、圖4所示之實施形態2之工作台200增加了變更。即，工作台700於工作台200之空心部18中填充與構成中間部7之材質相比密度更低之材質51。例如構成中間部7之材質為氧化鋯(密度…5.7g/cm³、熱傳導率…3W/m．K)之情形時，材質51可使用膠木(密度…約1.2g/cm³、熱傳導率…約0.23W/m．K)等之樹脂類材料、腈橡膠(密度…約0.98g/cm³、熱傳導率…約0.25W/m．K)等之橡膠類材料、鋁(密度…約2.7g/cm³、熱傳導率…約230W/m．K)等之金屬類材料。

於該情形時，能抑制工作台700之強度降低，並且能減小慣性力矩(慣性)。

又，例如，若材質51之熱傳導性與構成中間部7之材質之熱傳導性相等，則容易使外緣之溫度變得更均勻。或者，若材質51之熱傳導性較構成中間部7之材質之熱傳導性更高，則能將中心部之熱量高效地向外緣部發散。或者，若材質51之熱傳導性較構成中間部7之材質之熱傳導性更低，則能抑制因中心部之熱量對外緣部造成之影響，並 且能提高強度。

[實施形態8]

於圖15中，表示實施形態8之工作台800。

工作台800係對圖3、圖4所示之實施形態2之工作台200增加了變更。即，工作台800係於工作台200之上側之主面黏貼薄膜52。更準確而言，薄膜52黏貼於上側主面之除外緣部5之用於收納電子零件之凹部(未圖示)之部分與中央部2之形成了中心孔3與定位孔4之部分以外之整個面上。再者，於圖15中，由於未繪製凹部，因此邊緣部分之薄膜52之繪製一律省略。

雖然薄膜52之材質係任意，但是例如可使用對即使黏貼了鋁(密度…約2.7g/cm³、熱傳導率…約230W/m．K)等其慣性亦不會較空心前大之薄之片材進行加工後得到之材質。

又，薄膜52亦可黏著於下側之主面，代替上側之主面。或者，亦可黏著於上側與下側之兩個主面上。

薄膜52具有使熱量發散之效果，其結果能使外緣之溫度更均勻。再者，薄膜52之熱傳導性能適當選擇較高之熱傳導性、較低之熱傳導性。

以上，對於實施形態1~8之工作台100~800進行了說明。然而，本發明不限定於上述之內容，根據本發明之主旨，能進行各種變更。

例如，於實施形態1~3之工作台100~300中，分別將複數個空心部8、18、28分開配置於直徑不同之5個同心圓上，但是同心圓之個數不限於5個，可比5個少，亦可比5個多。

又，於實施形態1~8之工作台100~800中，分別平坦地形成上側之主面，但是亦可例如於上側之主面設置散熱鰭，藉由散熱鰭將熱量發散至空氣中，減小因中心部之熱量對外緣造成之影響，進而使外 緣之溫度更加均勻。

又，雖然於實施形態1之工作台100之說明中，說明了工作台100使用於例如電子零件之特性測定裝置之情況，但是使用本發明之工作台之裝置不限定於電子零件之特性測定裝置，亦可係電子零件之篩選裝置或包裝裝置等其他裝置。

Claims (18)

1. 一種電子零件搬送用工作台，呈圓盤狀，包括：形成有安裝機構之中央部、形成有複數個凹部之外緣部、及上述中央部與上述外緣部之間之中間部，於上述各凹部分別收納一個電子零件，並且藉由旋轉來搬送上述電子零件，於上述中間部形成貫通正面主面與背面主面之複數個空心部，於俯視之情形時，複數個上述空心部分開配置於直徑不同之複數個同心圓上。
2. 一種電子零件搬送用工作台，呈圓盤狀，包括：形成有安裝機構之中央部、形成有複數個凹部之外緣部、及上述中央部與上述外緣部之間之中間部，於上述各凹部分別收納一個電子零件，並且藉由旋轉來搬送上述電子零件，於上述中間部形成貫通正面主面與背面主面之複數個空心部，上述空心部分別係槽狀，於俯視之情形時，複數個上述槽狀之空心部分別自電子零件搬送用工作台之中心向外緣呈輻射狀地配置。
3. 如請求項1之電子零件搬送用工作台，其中配置於至少一個上述同心圓上之複數個上述空心部與配置於其他之至少一個上述同心圓上之複數個上述空心部以電子零件搬送用工作台之中心作為中心，於圓周方向上錯開配置，於自電子零件搬送用工作台之中心觀察電子零件搬送用工作台之外緣之情形時，於電子零件搬送用工作台之整個外緣形成有至少1個上述空心部。
4. 如請求項1或3之電子零件搬送用工作台，其中上述空心部為槽狀，該槽狀之空心部沿著上述同心圓進行配置，藉由形成上述槽狀之上述空心部，而於上述中間部之各上述同心圓上形成連接樑。
5. 如請求項4之電子零件搬送用工作台，其中形成於各上述同心圓上之上述連接樑之個數隨著自電子零件搬送用工作台之中心側之上述同心圓向電子零件搬送用工作台之外緣側之上述同心圓依次變多。
6. 如請求項4之電子零件搬送用工作台，其中形成於各上述同心圓上之上述連接樑隔開均等之間隔來形成。
7. 如請求項4之電子零件搬送用工作台，其中於上述中間部，上述連接樑形成為分形之形狀。
8. 如請求項4之電子零件搬送用工作台，其中於自電子零件搬送用工作台之中心觀察電子零件搬送用工作台之外緣之情形時看著外緣上之至少一個點之情形時，上述連接樑形成為左右對稱。
9. 如請求項1或3之電子零件搬送用工作台，其中上述空心部為圓形。
10. 如請求項1或3之電子零件搬送用工作台，其中上述空心部為多邊形。
11. 如請求項9之電子零件搬送用工作台，其中藉由形成上述圓形之上述空心部，於上述中間部之各上述同心圓上形成連接樑，於自電子零件搬送用工作台之中心觀察電子零件搬送用工作台之外緣之情形時看著外緣上之至少一個點之情形時，上述連接樑形成為左右對稱。
12. 如請求項10之電子零件搬送用工作台，其中藉由形成上述多邊形之上述空心部，於上述中間部之各上述同心圓上形成連接樑，於自電子零件搬送用工作台之中心觀察電子零件搬送用工作台之外緣之情形時看著外緣上之至少一個點之情形時，上述連接樑形成為左右對稱。
13. 如請求項2之電子零件搬送用工作台，其中藉由形成上述空心部，於上述中間部形成連接樑，上述連接樑之寬度隨著自電子零件搬送用工作台之中心向外緣逐漸變寬。
14. 如請求項2或13之電子零件搬送用工作台，其中上述空心部形成為曲線狀。
15. 如請求項1至3、13中任一項之電子零件搬送用工作台，其中上述空心部由較構成上述中間部之材質密度更低之材質填充。
16. 如請求項1至3、13中任一項之電子零件搬送用工作台，其中於上下主面中之至少一個主面上黏貼薄膜。
17. 如請求項1至3、13中任一項之電子零件搬送用工作台，其中藉由設置上述空心部，慣性力矩減少20%以上。
18. 如請求項1或2之電子零件搬送用工作台，其係用於電子零件之特性測定裝置、電子零件之包裝裝置或電子零件之篩選裝置。