TWI612159B - 成膜遮罩之製造方法 - Google Patents

Abstract

本發明係一種成膜遮罩之製造方法，該成膜遮罩之構造為將形成有複數開口圖案之金屬遮罩片4撐開固定於框狀的金屬框7而成，該成膜遮罩之製造方法係進行以下步驟：第一步驟：將金屬遮罩片4的周緣部接著於被施有一定張力之合成纖維的網1；第二步驟：將對應於成膜有效區域之網1的部分切除，該成膜有效區域大小係內含有金屬遮罩片4的複數開口圖案之大小；第三步驟：將框7從與網1相反側接合固定於金屬遮罩片4的周緣部；第四步驟：將網1從金屬遮罩片4除去。

Description

成膜遮罩之製造方法

本發明關於一種成膜遮罩之製造方法，該成膜遮罩之構造為形成有複數開口圖案之遮罩片經撐開固定於框狀的金屬框，尤其關於一種賦予橫跨遮罩片整面均等的張力即可固定於框之成膜遮罩之製造方法。

以往之成膜遮罩之製造方法，係使用光阻遮罩來將金屬製片材加以蝕刻，形成貫通之複數開口圖案後，於金屬製片材經撐開的狀態下將框狀的金屬框點焊(spot welding)於該金屬製片材的周緣部(請參照例如特開2009-074160號公報)。

然而，此種以往的成膜遮罩之製造方法中，因為是直接將金屬製片材以朝四方向拉伸之狀態固定於框，故難以對金屬製片材整面賦予均等的張力。因此，會因為對金屬製片材施加張力之方法不同，造成金屬製片材發生皺褶、撓曲或相鄰之開口圖案間的金屬部分破裂、或所形成之開口圖案變形之問題。

因此，本發明因應此種問題，目的在於提供一種橫跨遮罩片整面賦予均等的張力而可固定於框之成膜遮罩之製造方法。

為了達成上述目的，第一發明之成膜遮罩之製造方法，係一 種成膜遮罩之製造方法，該成膜遮罩之構造為將形成有複數開口圖案之遮罩片撐開固定於框狀的金屬框而成，該成膜遮罩之製造方法係進行以下步驟：第一步驟：將上述遮罩片的周緣部接著於被施有一定張力之合成纖維的網(mesh)；第二步驟：將對應於成膜有效區域之上述網的部分切除，該成膜有效區域之大小係內含有上述遮罩片的上述複數開口圖案之大小；第三步驟：將上述框從與上述網相反側接合固定於上述遮罩片的周緣部；第四步驟：將上述網從上述遮罩片除去。

又，第二發明之成膜遮罩之製造方法，係一種成膜遮罩之製造方法，該成膜遮罩之構造為將形成有複數開口圖案之遮罩片撐開固定於框狀的金屬框而成，該成膜遮罩之製造方法係進行以下步驟：第一步驟：使具有樹脂製膜密合於設有複數貫通孔之片狀磁性金屬構件一面之構造的遮罩用構件之上述膜側成為上述網側，將上述膜的周緣部接著於被施有一定張力之合成纖維的網，其中上述複數貫通孔之大小係內含有至少一個上述開口圖案之大小，第二步驟：將對應於成膜有效區域之上述網的部分切除，該成膜有效區域之大小係內含有上述遮罩用構件之上述複數貫通孔之大小；第三步驟：將上述框從與上述網相反側接合固定於上述遮罩用構件之上述磁性金屬構件的周緣部；第四步驟：將上述網從上述遮罩用構件除去；第五步驟：對與上述磁性金屬構件之上述貫通孔內的上述開口圖案相對應之上述膜的部分照射雷射光，形成上述開口圖案。

本發明係藉由合成纖維的網將遮罩片或遮罩用構件以撐開 的狀態固定於框，故可橫跨遮罩片或遮罩用構件的整面賦予均等的張力。因此，遮罩片或遮罩用構件不會有發生皺褶、撓曲或所形成之開口圖案變形之顧慮。因此可提高開口圖案的形成位置精確度。

1‧‧‧網

2‧‧‧夾具

3‧‧‧支持框

4‧‧‧金屬遮罩片

5‧‧‧開口圖案

6‧‧‧成膜有效區域

7‧‧‧框

8‧‧‧樹脂製膜

9‧‧‧貫通孔

10‧‧‧磁性金屬構件

11‧‧‧複合型遮罩片

12‧‧‧遮罩用構件

L‧‧‧雷射光

圖1係表示本發明之成膜遮罩之製造方法的實施形態，且表示遮罩片接合至框之接合步驟的剖面圖。

圖2係表示作為上述遮罩片之金屬遮罩片的一構成例之圖，(a)為俯視圖，(b)為局部放大剖面圖。

圖3係表示作為上述遮罩片之複合型遮罩片的一構成例之圖，(a)為俯視圖，(b)為局部放大剖面圖。

圖4係表示上述複合型遮罩片的開口圖案形成前之遮罩用構件的圖，(a)為俯視圖，(b)為局部放大剖面圖。

以下，基於所附之圖式詳細說明本發明之實施形態。圖1係表示本發明之成膜遮罩之製造方法的實施形態，表示遮罩片接合至框之接合步驟的剖面圖。此成膜遮罩之製造方法，所製造之成膜遮罩之構造為將形成有複數開口圖案之遮罩片撐開固定於框狀的金屬框而成，該成膜遮罩之製造方法係進行以下步驟：第一步驟：將遮罩片的周緣部接著於被施有一定張力之合成纖維的網；第二步驟：將對應於成膜有效區域之網的部分切除，該成膜有效區域大小係內含有上述遮罩片的上述複數開口圖案之大小；第三步驟：將框從與網相反側接合固定於遮罩片的周緣部；第四步 驟：將網從遮罩片除去。以下詳細說明各步驟。再者，在此係針對以下情況進行說明：遮罩片如圖2所示，係使用光阻遮罩來將片狀之例如銦鋼(invar)等磁性金屬材料加以蝕刻，而形成有複數開口圖案5之金屬遮罩片4的情況。

上述第一步驟中，首先，如圖1(a)所示，將例如聚酯等所構成之四角形的合成纖維網1的四邊緣部分別以夾具2夾持，將網1朝四方以預先所定之一定張力加以拉伸。此時，網1會因其本身所具有之伸縮性而橫跨面內整體地被賦予均等張力。

接著，如圖1(b)所示，使例如鋁(Al)等所構成之支持框3的端面抵住網1之一側的面(該圖中的下面)，從網1的上方將接著劑塗佈於支持框3的端面，經由通過網1的網眼而浸入之接著劑來將網1接著於支持框3的端面。其後，沿著支持框3的外周緣部將網1切斷，形成以撐開狀態固定於支持框3的網1。

接著，如圖1(c)所示，例如在網1的內面側，於支持框3內側的網1中央部配置金屬遮罩片4，沿著金屬遮罩片4的緣部從網1上方塗佈接著劑，經由通過網1而浸入之接著劑來將金屬遮罩片4的周緣部接著於網1。藉此，完成了第一步驟。再者，亦可將金屬遮罩片4接著於網1的外側。此情況時，可將接著有網1之支持框3的上下翻轉，以與上述相同方式進行即可。

上述第二步驟中，如圖1(d)所示，將沿著圖2中虛線所圍繞表示之成膜有效區域6的周緣部的網1部分，例如以裁切器等切下除去，該成膜有效區域6之大小為內含有形成於金屬遮罩片4之複數個開口圖案 5(參照圖2)之大小。藉此，被賦予在網1之均等張力會移至金屬遮罩片4，金屬遮罩片4則會朝其四方受均等的張力拉伸。

上述第三步驟中，首先如圖1(e)所示，從與網1相反之側，使例如銦鋼或銦鋼合金等框7的端面抵住金屬遮罩片4的周緣部。此時，亦可以利用相機來觀察金屬遮罩片4的緣部與框7的緣部，以調整框7相對於金屬遮罩片4的位置偏移。又，亦可以利用兩台相機一邊觀察位於與金屬遮罩片4左右相隔一定距離之開口圖案5，一邊以該開口圖案5的間隔呈預先決定之距離的方式，利用省略圖示之另外的夾具夾持在支持框3內側且在金屬遮罩片4外側的網1的部分，以使得網1伸縮，調整張力的大小。

接著，如圖1(f)所示，對金屬遮罩片4的周緣部照射雷射光L來將金屬遮罩片4與框7加以點焊。藉此，在橫跨面內整體賦予有均等張力之狀態下金屬遮罩片4固定於框7。此情況時，因為將金屬遮罩片4與框7加以點焊，故與使用有有機接著劑之接著並不相同，不會有因成膜時的熱造成接合部變鬆而金屬遮罩片4變形、或產生漏氣使得成膜出之膜受到汙染的顧慮。

上述第四步驟中，如圖1(g)所示，將網1例如以裁切器等沿著金屬遮罩片4的外周緣將熔接部的外側切斷，從金屬遮罩片4除去網1。或是亦可以對網1與金屬遮罩片4之接著部照射雷射光來將網1燒斷、或對上述接著部賦予適當的溫度以使得接著劑軟化的方式來將網1從金屬遮罩片4除去。藉此可獲得金屬遮罩片4受到均等張力撐開而固定於框7之成膜遮罩。

以上說明雖然是針對當遮罩片為金屬遮罩片4的情況進行敘述，但遮罩片如圖3所示，亦可為使具有樹脂製膜8與磁性金屬構件10密合而成之構造的複合型遮罩片11，該樹脂製膜8係設有複數開口圖案5之例如聚醯亞胺等能透過可見光者，該磁性金屬構件10係設有複數貫通孔9之片狀之由銦鋼、銦鋼合金、鎳或鎳合金等所構成者，該複數貫通孔9之大小係內含有至少一個開口圖案5之大小。

當遮罩片為複合型遮罩片11的情況時，於上述第一步驟中，係以上述膜8那一側為網1側，並以與上述同樣方式將膜8的周緣部接著於網1。

又，上述第三步驟中，係以與上述同樣方式，從與網1相反之側將框7接合固定於磁性金屬構件10的周緣部。

再者，上述複合型遮罩片11可以如下方式形成。亦即，例如將聚醯亞胺之樹脂液塗佈於厚度為30μm~50μm左右之例如銦鋼等片狀磁性金屬構件10的一面成為一定厚度之後，將其乾燥以形成厚度為10μm~30μm左右的膜8。接著，將光阻劑塗佈於磁性金屬構件10的另一面，使用光罩以使光阻劑曝光後，將其顯影，以形成對應於所欲形成之貫通孔9而開口的光阻遮罩。接著，使用該光阻遮罩，將上述磁性金屬構件10加以蝕刻，於磁性金屬構件10形成通往膜8之貫通孔9。接著，對上述貫通孔9內的膜8的部分照射雷射光以形成上述開口圖案5。

又，上述複合型遮罩片11以可以下述方式形成。亦即，於樹脂製膜8上形成50nm左右厚度的例如鎳等導電性金屬基底層後，將光阻劑塗佈於該基底層上，利用習知技術將該光阻劑圖案化，於對應於上述貫 通孔9之位置形成與貫通孔9相同形狀的島圖案。接著，利用電鍍於島圖案外側部分鍍敷形成上述磁性金屬構件10。接著，將上述島圖案除去後，將存在於島圖案下部之基底層加以蝕刻除去以形成貫通孔9。然後，與上述同樣地，對貫通孔9內的膜8的部分照射雷射光以形成開口圖案5。

又，當遮罩片為複合型遮罩片11的情況時，上述第一~第四步驟中，亦可在於磁性金屬構件10的貫通孔9內的膜8部分形成開口圖案5之前，使用圖4所示之遮罩用構件12取代遮罩片來進行。

亦即，第一步驟中，使具有樹脂製膜8密合於設有複數貫通孔9之片狀磁性金屬構件10一面之構造的遮罩用構件12的膜8側成為網1側，將膜8的周緣部接著於被施有一定張力之合成纖維的網1，該複數貫通孔9大小係內含有至少一個開口圖案5之大小。又，第二步驟中，將對應於成膜有效區域之網1的部分切除，該成膜有效區域之大小係內含有遮罩用構件12之複數貫通孔9之大小。再者，第三步驟中，將框7從與網1相反側接合固定於遮罩用構件12的磁性金屬構件10的周緣部。然後，將網1從遮罩用構件12除去。

此情況時，就要進一步實施第五步驟，即對於與磁性金屬構件10之貫通孔9內的開口圖案5相對應之膜8的部分照射雷射光以形成開口圖案5。藉此，因為是對於受均等張力撐開而固定於框7之遮罩用構件12照射雷射光而形成開口圖案5，故可更進一步提高開口圖案5的形成位置精確度。

再者，上述實施形態中，雖然是針對將網1撐開固定於支持框3的情況進行說明，但本發明不限定於此，亦可不將網1固定於支持框3， 而是將遮罩片或遮罩用構件12接著於經夾具2夾持並朝四方拉伸撐開的狀態的網1，並實施上述第二步驟之後的程序。

1‧‧‧網

2‧‧‧夾具

3‧‧‧支持框

4‧‧‧金屬遮罩片

7‧‧‧框

L‧‧‧雷射光

Claims (2)

1. 一種成膜遮罩之製造方法，該成膜遮罩之構造係將形成有複數開口圖案之遮罩片撐開固定於框狀的金屬框而成，該製造方法之特徵在於進行以下步驟：第一步驟：使具有樹脂製膜密合於設有複數貫通孔之片狀磁性金屬構件一面之構造的遮罩用構件的該膜側成為該網側，將該膜的周緣部接著於被施有一定張力之合成纖維的網，其中該複數貫通孔之大小係內含有至少一個該開口圖案之大小，第二步驟：將對應於成膜有效區域之該網的部分切除，該成膜有效區域之大小係內含有該遮罩用構件之該複數貫通孔之大小；第三步驟：將該框從與該網相反側接合固定於該遮罩用構件的該磁性金屬構件的周緣部；第四步驟：將該網從該遮罩用構件除去；第五步驟：對與該磁性金屬構件之該貫通孔內的該開口圖案相對應之該膜的部分照射雷射光，形成該開口圖案。
2. 如申請專利範圍第1項之成膜遮罩之製造方法，其中，該遮罩片或該遮罩用構件與該框的接合係利用點焊來進行。