TWI591031B - Rolling device for brittle material substrates - Google Patents

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Description

脆性材料基板之滾動裂斷裝置
本發明係關於滾動裂斷裝置者,尤其是關於可容易地對形成有刻劃線之脆性材料基板進行分斷之脆性材料基板之滾動裂斷裝置。
一般而言,脆性材料基板係被大型化地製造,使用者再將該基板分斷成所欲之大小而使用。關於分斷如此之大型的脆性材料基板之習知之分斷裝置,參照圖1及圖2進行說明。
參照圖1,為了對大型的脆性材料基板3進行分斷,首先,於大型的脆性材料基板3之表面,使用刀輪4來形成刻劃線S。之後,以將脆性材料基板3之上下面對調之方式利用吸附反轉裝置(未圖示)使其180度反轉。如圖2所示,若使形成有刻劃線S之脆性材料基板3之面以朝向底面之方式反轉,則對刻劃線S之背側沿著刻劃線S之形成方向以裂斷桿8進行加壓。藉此,脆性材料基板3沿著刻劃線S左右分離同時分斷。此時,在脆性材料基板S之下部側,以於利用斷桿8進行加壓時,脆性材料基板3一邊被押往下部側一邊被緩衝之方式鋪設有緩衝片7。
如前述般,當沿著刻劃線S對脆性材料基板3之上面一邊以裂斷桿8進行加壓一邊押下時,脆型材料基板3則一邊往緩衝片7壓擠一邊沿著刻劃線S分斷。然而,由於脆性材料基板3之刻劃線S與鋪設之緩衝片7之面接觸,一旦對與形成有刻劃線S之面為相反側之面以裂斷桿8 進行加壓,則形成有刻劃線S之面將與緩衝片7之面接觸且產生摩擦力。據此,存在有分斷後之脆性材料基板難以左右分離,使分離變得不容易之問題。
此外,形成有刻劃線S之面,在與緩衝片7之面接觸之狀態下,一邊往緩衝片7之方向壓擠一邊引起摩擦同時分斷,因此亦存在有於分斷面產生碎屑之問題。此外,在如前述般之習知之分斷裝置中,為了對脆性材料進行分斷而必需利用吸附反轉裝置等使基板反轉,因此亦存在有因吸附而導致基板面之汙染容易產生之問題點。進一步地,一旦未對刻劃線S之正背對位置以裂斷桿8進行加壓,則無法正確地沿刻劃線S分斷,一旦在脆性材料基板3之位置些微偏移之狀態下以裂斷桿8進行加壓,便無法正確地沿刻劃線S分斷,而以往左右任一方偏移之狀態分斷之問題發生。
本發明係考量上述般之問題點而提出者,其目的在於,提供一種可容易地分斷形成有刻劃線之脆性材料基板之脆性材料基板之滾動裂斷裝置。
為了達成前述之目的,本發明之滾動裂斷裝置,具備有:載置於上面形成有刻劃線之脆性材料基板之柔軟性安放襯墊(pad)、設置於該柔軟性安放襯墊之一側端並以拉伸該柔軟性安放襯墊之方式賦予張力之拉伸部、隔著該柔軟性安放襯墊位於與該脆性材料基板相反之相反側之按壓移動滾動部、以及使該按壓移動滾動部上下移動之升降部。
該按壓移動滾動部,可成為沿著該柔軟性安放襯墊之下面進 行移動之構成。
在該按壓移動滾動部與該升降部之間,進一步包含與該脆性材料基板之下面平行地設置之水平棚,且該按壓移動滾動部,可成為在該水平棚上沿著該柔軟性安放襯墊之下面進行移動之構成。
可成為具有使該按壓移動滾動部在與該脆性材料基板之面平行之面內旋轉之旋轉部之構成。
該柔軟性安放襯墊,可以在篩網狀之網上重疊橡膠襯墊之方式形成、或以黏著性橡膠形成。
該按壓移動滾動部,其長邊方向之尺寸可形成為較該脆性材料基板之寬度為大之構成。
根據本發明之一實施例,於脆性材料基板形成刻劃線後,以未將該脆性材料基板翻面之方式繼續,因此可防止基板面之汙染。此外,藉由利用在水平方向進行移動之按壓移動滾動部,可迅速且容易地將形成有刻劃線之脆性材料基板分斷,並且,即使在刻劃線之方向與按壓移動滾動部之位置未正確地成為一致時亦可分斷。此外,由於一邊將按壓移動滾動部往上方按壓,一邊使其沿著脆性材料基板之下面於水平方向移動,因此可對脆性材料基板之刻劃線順著每一條線進行裂斷。此外,在以黏著性橡膠構成柔軟性安放襯墊之情形,由於脆性材料基板貼附於黏著性橡膠襯墊,因此可防止在由按壓移動滾動部之往上按壓時,脆性材料基板從柔軟性安放襯墊浮起,且可提高分斷力。
S‧‧‧刻劃線
3‧‧‧脆性材料基板
20‧‧‧按壓移動滾動部
25‧‧‧柔軟性安放襯墊
26‧‧‧升降部
28‧‧‧旋轉部
30‧‧‧拉伸部
圖1,係概略地表示形成用以分斷脆性材料基板之刻劃線之裝置之圖式。
圖2,係表示在藉由圖1之裝置形成刻劃線後,利用裂斷桿對基板進行分斷之習知之分斷裝置之圖式。
圖3,係表示本發明之一實施例之脆性材料基板之滾動裂斷裝置之圖式。
圖4,係表示利用本發明之一實施例之脆性材料基板之滾動裂斷裝置,對脆性材料基板進行分斷之狀態之圖式。
圖5,係更具體地表示本發明之一實施例之脆性材料基板之滾動裂斷裝置,對脆性材料基板進行分斷之狀態之圖式。
以下,參照圖式,對本發明之較佳之實施例更詳細地進行說明。另外,在本發明之實施例中,關於與習知技術之構成元件相同或類似之構成元件,藉由使用相同之圖式符號而省略說明。
本發明之一實施例之脆性材料基板之滾動裂斷裝置,如圖3所示,具備藉由汽缸等而可升降之升降部26,而在該升降部26之上部安裝有旋轉部28。在旋轉部28之上部安裝有在水平狀態下形成平坦之水平棚22,而在水平棚22上安裝有於水平方向移動自如之按壓移動滾動部20。按壓移動滾動部20,以在水平棚22上藉由驅動裝置(未圖示)而可滾動之方式設置。
在按壓移動滾動部20之上方往水平方向延伸設置有柔軟性安放襯墊25,而在該柔軟性安放襯墊25之一側端,安裝有以柔軟性安放襯 墊25經常性地維持水平狀態之方式賦予張力之拉伸部30。拉伸部30,安裝於柔軟性安放襯墊25之一側端,並可以使柔軟性安放襯墊25經常性地維持於拉伸狀態之懸錘或彈性體構成。當然,若可使柔軟性安放襯墊25經常維持於拉伸狀態,則亦可為其他之手段。拉伸部30,以即使在脆性材料基板3已載置於柔軟性安放襯墊25上之狀態下,柔軟性安裝襯墊25亦不會因脆性材料基板3之重量而彎曲並可維持水平狀態之方式,對柔軟性安放襯墊25賦予張力。
在拉伸部30對柔軟性安放襯墊25之整個寬以一定之力拉伸時,為了維持柔軟性安放襯墊25之水平狀態,較佳為:以篩網狀之橡膠網構成柔軟性安放襯墊25,或以於篩網狀之網上將橡膠襯墊形成一體之方式構成柔軟性安放襯墊25。此外,柔軟性安放襯墊25,為了在載置有脆性材料基板3時產生固定力,因此亦可利用附著性佳之黏著橡膠等。
對利用如上述般構成之本實施例之滾動裂斷裝置分斷基板之過程具體地進行說明。
首先,如圖3所示,將藉由刻劃步驟而於上面形成有刻劃線S之脆性材料基板3載置於柔軟性安放襯墊25上。在將脆性材料基板3載置於柔軟性安放襯墊25上時,柔軟性安放襯墊25未撓曲地維持水平狀態。亦即,柔軟性安放襯墊25,其一側端藉由拉伸部30而經常性地以較脆性材料基板3之重量為大之力拉伸,因此防止因脆性材料基板3之重量而使柔軟性安放襯墊25之中央部位往下方撓曲。
當將脆性材料基板3載置於柔軟性安放襯墊25上,升降部26藉由驅動裝置(未圖示)上升。一旦升降部26上升則使得按壓移動滾動部 20亦上升,藉此,在載置有脆性材料基板3之狀態下維持水平狀態之柔軟性安放襯墊25之下面之一部分,亦藉由按壓移動滾動部20上升一定之高度。
當按壓移動滾動部20一邊抵接於柔軟性安放襯墊25之下面,一邊使柔軟性安放襯墊25押往上方(在圖3之Y方向)時,載置於柔軟性安放襯墊25上之脆性材料基板3亦同時往上方位移。亦即,如圖4所示,一旦柔軟性安放襯墊25藉由按壓移動滾動部20而被押至Y軸上之一定之高度,則使得載置於柔軟性安放襯墊25上之脆性材料基板3亦被往上方舉起。此時,一旦形成於脆性材料基板3之上面之刻劃線S之高度以按壓移動滾動部20之上升高度進行位移,則於使刻劃線S裂開之方向產生拉伸應力,藉此形成於刻劃線S之裂痕緩緩地往下側延伸並分斷脆性材料基板3。
此外,如圖5所示,在脆性材料基板3之刻劃線S藉由按壓移動滾動部20之按壓力而左右分離時,藉由脆性材料基板3之本身重而加重施加於刻劃線S上之拉伸應力,因此裂痕之進行速度進一步地加速,可進一步容易地對脆性材料基板3進行分斷。
此外,如圖4所示,在按壓移動滾動部20一邊於水平方向(在圖4之X方向)進行移動一邊經過形成脆性材料基板3之刻劃線S之位置之過程中,成為按壓移動滾動部20將脆性材料基板3之刻劃線S往上方舉起之形態,因此於形成有刻劃線S之每一部位,裂痕一邊進行一邊依序分斷。
載置有脆性材料基板3之柔軟性安放襯墊25之表面,亦可以一般之橡膠形成,以脆性材料基板3附著於柔軟性安放襯墊25之表面並進一步增加由拉伸應力導致之分斷力之方式,亦可以吸附性橡膠或黏著性橡膠等形成。
關於此,更具體地進行說明,在柔軟性安放襯墊25以黏著性橡膠形成之情形,由於脆性材料基板3貼附於柔軟性安放襯墊25,因此在圖5所示之圓內之放大圖中之脆性材料基板3之折彎之角度變陡峭,進一步附加施加於脆性材料基板3之刻劃線S之力,因此進一步有助於裂痕之進行。
另一方面,如前述般,按壓移動滾動部20,一邊沿著脆性材料基板3之下面於X方向移動,一邊對脆性材料基板3之形成於與X軸及Y軸垂直之方向(以下稱Z方向)之刻劃線S進行裂斷後,藉由升降部26之下降動作下降並返回至最初之位置。而且,在完成沿著形成於Z方向之刻劃線S之分斷作業後,為了繼續地執行沿著形成於X方向之刻劃線S之分斷作業,利用旋轉部28將按壓移動滾動20之朝向旋轉90度。之後,按壓移動滾動部20,藉由升降部26而再次往Y方向上升,此次一邊往Z方向移動一邊依序對脆性材料基板3之形成於X方向之刻劃線S進行裂斷。
在本實施例中,雖按壓移動滾動部20以在水平棚22上進行移動之方式構成,但本發明並不限定於此者,按壓移動滾動部20亦可以在旋轉部28上於水平方向進行移動之方式構成。此外,按壓移動滾動部20,圖示雖省略,但亦可以於兩端鋪設軌條等之方式使其移動,或以安裝其他之驅動裝置等之方式使其移動。
此外,根據本實施例之按壓移動滾動部20,在脆性材料基板3之與形成有刻劃線S之面為相反側之面,亦即脆性材料基板3之背面之側,長條狀之滾子(roller)一邊滾動一邊將該背面往上方舉起,因此在按壓移動滾動部20與刻劃線S之間即使產生些微之偏移等,亦可沿著刻劃線S 正確地進行分斷。
S‧‧‧刻劃線
3‧‧‧脆性材料基板
20‧‧‧按壓移動滾動部
22‧‧‧水平棚
25‧‧‧柔軟性安放襯墊
26‧‧‧升降部
28‧‧‧旋轉部
30‧‧‧拉伸部

Claims (7)

  1. 一種滾動裂斷裝置,其特徵在於,具備有:柔軟性安放襯墊,載置於上面形成有刻劃線之脆性材料基板;拉伸部,設置於該柔軟性安放襯墊之一側端,並以拉伸該柔軟性安放襯墊之方式賦予張力;按壓移動滾動部,隔著該柔軟性安放襯墊位於與該脆性材料基板相反之相反側;以及升降部,使該按壓移動滾動部上下移動。
  2. 如申請專利範圍第1項之滾動裂斷裝置,其中,該按壓移動滾動部,沿著該柔軟性安放襯墊之下面進行移動。
  3. 如申請專利範圍第2項之滾動裂斷裝置,其中,在該按壓移動滾動部與該升降部之間,進一步包含與該脆性材料基板之下面平行地設置之水平棚;該按壓移動滾動部,在該水平棚上沿著該柔軟性安放襯墊之下面進行移動。
  4. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之滾動裂斷裝置,其中,具有使該按壓移動滾動部在與該脆性材料基板之面平行之面內旋轉之旋轉部。
  5. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之滾動裂斷裝置,其中,該柔軟性安放襯墊,以在篩網狀之網上重疊橡膠襯墊之方式形成。
  6. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之滾動裂斷裝置,其中,該柔軟性安放襯墊,係黏著性橡膠。
  7. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之滾動裂斷裝置,其中,該按 壓移動滾動部,其長邊方向之尺寸形成為較該脆性材料基板之寬度為大。
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