TWI586955B - On - line concentration meter and concentration detection method - Google Patents
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Description
本發明係關於半導體製造裝置的原料流體供給裝置等中使用之在線型濃度計及濃度檢測方法的改良，尤其，關於可實現濃度計的感度及再現性．測定精度的提升、小型．省空間化及低成本化的紫外吸收方式的在線型氣體濃度計及氣體濃度檢測方法。
在半導體製造裝置的原料流體供給裝置等中，根據謀求半導體製品的品質提升的觀點，需要將穩定之濃度的加工氣體，供給至處理裝置。
因此，先前的此種原料流體供給裝置，例如於圖7之構造的氣泡方式的原料流體供給裝置中，於被溫度控制之原料槽21的原料蒸氣出口的附近，設置紅外吸收方式的濃度計22，藉由根據來自該濃度計22的濃度檢測訊號，調整原料槽21的溫度、載體氣體CG的流量、槽內蒸氣壓力Po等，對反應爐23供給所定原料濃度的加工氣體24，例如包含三甲基鎵TMGa等之有機金屬材料蒸氣的加工氣體。再者，於圖7中，25是載體氣體的熱式流量控
制器，26是槽內壓的壓力調整裝置，33是載體氣體供給線，34是排氣氣體線，G是原料氣體。又，作為加工氣體24內的原料氣體源，不僅液體原料，也有使用昇華性的固體原料之狀況。
又，作為前述紅外吸收方式的濃度計22，有各種構造的濃度計實用化，但是，作為在線型濃度計22，如圖8所示，由原料氣體G流通的資料用格子30a及對照用氣體C流通的對照用格子30b、對各格子內照射紅外光的光源28、通過各格子內之光量的檢測器29、根據檢測器29的檢測訊號求出消光度並計算出原料濃度的運算裝置(省略圖示)等所形成。再者，A是前置放大器，S是半導體製造裝置，SC是光透射窗，光源28及受光器29成為一體而移動至上下方向，對資料用格子30a及對照用格子30b內照射光線(日本特開公開2000-206045號)。
然後，於前述圖8的濃度計22中，測定資料用格子30a內之氣體的消光度，並且將消光度的測定結果適用朗伯-比爾等之定律(Lambert-Beer law)，運算氣體濃度。又，藉由使光源28及受光器29作為一體而往上方滑動，檢測出對照用格子30b的消光度，適當進行零點調整等的測定值修正。
但是，於前述紅外吸收方式的濃度計22，存在有(I)光源28的波動比較大，欠缺檢測器29的穩定性，及(II)因進行消光度的平均化處理，回應性低，所
謂濃度的檢測感度相對性較差的難處。進而，(III)需要比較長之光路徑長度的格子30a、30b，除了檢測器29會大型化之外，有製造成本變高的問題。
又，為了涵蓋長期來連續進行穩定的氣體濃度測定來說，需要光透射窗SC的透明度涵蓋長期穩定，在透明度經時變化時，會難以進行穩定的氣體濃度測定。
再者，為了謀求紅外吸收方式的分光光度計之測定速度及S/N比等的提升，故使用利用干涉計以非分散同步檢測所有波長的光學系，來代替使用繞射光柵及縫隙的分散型光學系，對檢測值進行傅立葉轉換處理，分別運算各波長成分的光度之傅立葉轉換型紅外分光(FT-IR)型的分光光度計被開發、利用。
但是，即使是使用該FT-IR光度計的濃度計，測定波長區域也基本是紅外區域，故起因於光源的波動之測定精度及再現性差的問題，依然是未被解決的狀態。
又，藉由交換光源或分光器、檢測器、透光構件等，可從遠紅外至可視光為止擴大測定頻率區域，但是，因為交換耗費勞力及起因於紅外方式的各種問題，現實上難以進行其之實用化。
另一方面，作為解決前述紅外吸收法之回應性及測定感度差等的問題者，開發有使用紫外光的氣體濃度測定裝置。圖9係揭示其裝置構造的概要者，光源28由放射200~400nm之紫外光的紫外光燈(氘燈或Hg-
Xe燈)所成的光源部28a，與分光器28b所成。
亦即，如圖9所示，由原料氣體G流通的資料用格子30a及對照用氣體C流通的對照用格子30b、對各格子內照射紫外光的光源28a及分光器28b、通過各格子內之光量的檢測器29、根據檢測器輸出29a的檢測訊號求出消光度並計算出原料濃度的運算裝置(省略圖示)等所形成。再者，31是氣體精製裝置，32是泵，35是排氣處理裝置，M是鏡片，MP是繞射光柵，ML是縫隙，MS是扇形鏡，MG是格子鏡(日本專利公開2005-241249號)。
前述紫外光方式的氣體濃度測定裝置，係作為使用雙光束方式的分光器28b，檢測出對照用格子30b的消光度，適當進行零點調整等之測定值修正的構造，但是，光學系的基本構造係與紅外吸收方式的濃度計之狀況完全相同，故依然還是有光源28的波動大，及回應性及檢測感度相對較差的問題點。
如上所述，在使用先前之紅外吸收方式或紫外吸收方式的濃度計時，不僅難以進行設備的小型化及設備費用的減低，在濃度測定的回應性及檢測感度、檢測精度及其再現性、氣體氣密性及氣體純度的保持等之觀點上也殘存很多問題，該基本的解決對策為當急要務。
[專利文獻1]日本專利公開2000-206045號公報
[專利文獻2]日本專利公開2005-241249號公報
本發明的主要目的，係提供在先前的原料流體供給裝置等使用之原料氣體的濃度計及使用其之濃度測定方法中的上述問題，亦即，(I)無法容易謀求濃度計的構造的簡單化及小型化以及產品成本的降低，及(II)濃度測定的回應性及測定感度低，(III)測定的再現性差，無法進行穩定且高精度之原料氣體的濃度測定，(IV)藉由光透射窗之透明度的變化來解決測定精度容易降低等的問題，即使是高腐蝕性的有機原料氣體，也可涵蓋長期，進行具有高回應性及高感度、高精度之穩定的濃度測定，而且，可小型且廉價地製造之紫外光吸收方式的在線型濃度計及使用其的濃度測定方法。
本發明相關之濃度計的第1樣態，係以具備以下構件作為發明的基本構造：光源部，係發出具有相位差之至少兩種波長的混成光；檢測部，係具備將來自光源部的混成光射入至檢測器本體之流體通路內的光射入部，及對透射流體通路內之混成光進行受光的至少兩個光檢測部；運算處理部，係對來自各光檢測部之混成光的檢測訊
號分別進行頻率解析，並且運算與在前述各檢測訊號的至少兩個頻率區域之消光度對應的強度變化量，並根據該各檢測訊號的至少兩個頻率區域的前述強度變化量，運算流體通路內的流體濃度；及記錄顯示部，係記錄及顯示在運算處理部之流體濃度的運算值。
本發明的第2樣態，係於前述第1樣態中，將光源部，設為發出3種波長之混成光的光源部。
本發明的第3樣態，係於前述第1樣態中，光源部，具備LED或雷射二極體。
本發明的第4樣態，係於前述第1樣態中，將光源部，設為發出波長區域為200~400nm之紫外光的光源部。
本發明的第5樣態，係於前述第1樣態中，將運算處理部，設為藉由傅立葉轉換或小波轉換來進行頻率解析的運算處理部。
本發明的第6樣態，係於前述第1樣態中，設為運算流通於流體通路內之混合氣體內的有機金屬材料氣體濃度的運算處理部。
本發明的第7樣態，係於前述第1樣態中，設為具備1個光射入部與兩個光檢測部的檢測部。
本發明的第8樣態，係於前述第1樣態中，將光源部，設為發出3種波長之紫外光的混成光的光源部。
本發明的第9樣態，係於前述第1樣態中，
將前述運算處理部，設為對3種波長之混成光的檢測訊號，分別藉由傅立葉轉換進行頻率解析的運算處理部。
本發明的第10樣態，係於前述第7樣態中，於檢測器本體的一側面配置1個光射入部，並且於與前述一側面對向的另一側面配置兩個光檢測部。
本發明的第11樣態，係於前述第2樣態中，於檢測器本體的一側面配置1個光射入部，並且於與前述一側面對向的另一側面配置3個光檢測部。
本發明的第12樣態，係於前述第7樣態中，於檢測器本體的一側面配置1個光射入部及1個光檢測部，並且於與前述一側面對向的另一側面配置兩個光檢測部。
本發明的第13樣態，係於前述第1樣態中，將光源部，設為發出將波長不同之紫外光利用光束組合器來混成混成光的光源部。
本發明的第14樣態是一種濃度檢測方法，發明的基本構造為：從設置於具有流體通路的檢測器本體之1個光射入部至流體通路內，射入來自光源部之具有相位差的3種波長不同之紫外光的混成光，利用設置於檢測器本體之至少兩個光檢測部檢測出透射流體通路內的各紫外光，並且藉由傅立葉轉換對利用各光檢測部所檢測出之混成光的檢測訊號，分別進行頻率解析，針對利用該光檢測部所檢測出之各檢測訊號，運算與在3個頻率區域之消光度對應的強度變化量，之後，根據該各檢測訊號之在3個
頻率區域的至少合計6個前述運算出之前述強度變化量，運算流通於流體通路內之混合氣體內的有機金屬材料氣體濃度。
本發明的第15樣態，係於前述第14樣態中，將光檢測部設為3個，根據與合計9個運算出之消光度對應的強度變化量，運算流通於流體通路內之混合氣體內的有機金屬材料氣體濃度。
本發明的第16樣態，係於前述第14樣態中，利用1個光檢測部檢測出從光射入部射入的混成光，並且將來自該光檢測部的反射光，射入至另一方的光檢測部。
本發明的第17樣態，係於前述第14樣態中，使從光射入部射入之混成光分散，並射入至兩個光檢測部。
在本發明中，由發出具有相位差之至少兩種波長的混成光的光源部、具備將來自光源部的混成光射入至檢測器本體之流體通路內的光射入部，及對透射流體通路內之混成光進行受光的至少兩個光檢測部的；檢測部、對來自各光檢測部之混成光的檢測訊號分別進行頻率解析，並且運算與在前述各檢測訊號的至少兩個頻率區域之消光度對應的強度變化量，並根據該各檢測訊號的至少兩個頻率區域的前述強度變化量，運算流體通路內的流體濃
度的運算處理部、及記錄及顯示在運算處理部之流體濃度的運算值的記錄顯示部，構成濃度計。
結果，首先，利用至少兩個光檢測部，檢測出具有相位差之至少兩個波長的混成光的射入時與消光後的強度變化量，並且對與利用各光檢測部所檢測出之混成光的強度變化量對應之檢測值，進行頻率解析，求出對應至少兩個頻率區域之消光度的運算值，依據該至少6個運算出之消光度，運算流體濃度。
結果，相較於先前的使用繞射光柵及縫隙等的分散型光學系，可使光學系的構造大幅地單純且簡單化，可進行裝置的大幅小型化。
又，藉由將光源部設為使用LED或雷射二極體的光源部，相較於先前的紅外光源之狀況，消費電力明顯減少並且光源壽命大幅延長，在實用上極為有利，並且可簡單且容易地取得不同波長的紫外光。
進而，使用具有波長不同之至少兩個相位差的紫外光，且使用至少兩個光檢測部，進行消光度的測定，故可獲得高測定精度與測定的再現性，並且光源的所謂波動現象幾乎不會發生，可進行穩定的濃度測定。
此外，因為由具有流體通路的檢測器本體，與配置於其側面之光射入部及光檢測部構成檢測部，故可謀求檢測部的大幅小型化，簡單進行對配管路徑的安裝及從配管路徑的卸下。
1‧‧‧光源部
1a‧‧‧LED光源
1a1~1a3‧‧‧LED光源
1a4‧‧‧光束組合器
1b‧‧‧反射鏡
2‧‧‧檢測部
3‧‧‧運算處理部
3a‧‧‧流體通路
3b‧‧‧接合部
4‧‧‧記錄．顯示部
5‧‧‧光纖
6‧‧‧檢測器本體
6a‧‧‧流體通路
6b‧‧‧洩漏檢查孔
6c‧‧‧光射入部安裝孔
6d‧‧‧光檢測部安裝孔
7‧‧‧入口區塊
8‧‧‧出口區塊
9‧‧‧光射入部
9a‧‧‧藍寶石製光透射窗
9b‧‧‧凸緣收容孔
9c‧‧‧保持固定體
9d‧‧‧第一固定凸緣
9e‧‧‧第二固定凸緣
10‧‧‧光檢測部
10a~10b‧‧‧光檢測部
11‧‧‧墊片型封件
12‧‧‧光二極體
13‧‧‧槽內壓力控制器
14‧‧‧質量流量控制器
15‧‧‧氣體產生裝置
GD‧‧‧氣體濃度計
‧‧‧相位差
λ1~λ3‧‧‧波長
S‧‧‧光檢測部的檢測光強度曲線
E1~E3‧‧‧相對於有機原材料之紫外光的透射度曲線
A1~A3‧‧‧波長λ1~λ3之紫外光的光強度變化特性
α、β、γ‧‧‧消光度矩陣
[圖1]關於本發明的實施形態之原料流體濃度計的構造的概略圖。
[圖2]光源部的構造的概要圖。
[圖3]揭示檢測部構造的縱剖面概要圖。
[圖4]揭示有機金屬材料氣體的紫外光消光(透射)特性之一例。
[圖5](a)~(c)係運算處理部之檢測值處理的說明圖，(d)係運算出之消光度矩陣α、β、γ的說明圖。
[圖6]揭示關於本發明之氣體濃度計的適用例的圖。
[圖7]揭示先前之在線型氣體濃度計的適用例的圖。
[圖8]揭示先前之在線型氣體濃度計的構造的概要圖。
[圖9]揭示先前之紫外吸收型氣體濃度計的構造的概要圖。
以下，依據圖面來說明本發明的實施形態。
圖1係關於本發明的實施形態之原料流體的濃度計的構造概略圖。本發明的原料氣體的濃度計GD係由具備LED光源1a的光源部1、具備具有光射入部9與流體通路6a的檢測器本體6與光檢測部10的檢測部2、運算處
理部3與記錄．顯示部4等所構成，前述檢測部2係如後所述，形成為可插裝至製程配管路徑內的在線型。
亦即，從前述光源部1使波長不同之3個紫外光分別偏離相位而放射，射入至光束組合器1a4(圖2)。射入之各紫外光，係於光束組合器1a4中混成，混成光透過光纖5，射入至檢測部2的光射入部9。
又，射入至檢測部2的光射入部9之紫外光，係透射流體通路6a的原料氣體G內而行進，利用至少設置於兩處不同位置的各光檢測部10分別檢測。
在本實施形態中，依據圖2~圖5，如後所述，作為從LED光源1a，發出波長為λ1、λ2、λ3之具有相位差的3個紫外光，將該3個紫外光的混成光射入至一台光射入部9，藉由利用兩台光檢測部10來檢測出從該光射入部9放射至流體氣體G內的紫外光，檢測出紫外光的所謂消光度的構造，對第2光檢測部，射入來自從第1光檢測部的藍寶石製光透射窗9a的反射光。
再者，雖未圖示，但是，也可設為使從一個光射入部9的入射光分散，將混成光直接射入至少兩個以上的光檢測部10的構造。
又，利用前述兩台各光檢測部10a、10b檢測出之波長λ1、λ2、λ3的混成光(合成光)之光檢測值(光受光值)，係分別輸入至運算處理部3，在此，藉由利用傅立葉轉換等來進行頻率解析，運算出3頻率區域成分的光檢測值強度，運算出與合計6種(2光檢測部×3頻
率解析)的消光度對應之運算值。
然後，根據對應前述6個消光度之運算值的矩陣，運算、顯示最後流通於流體通路6a內之原料氣體的濃度。
參照圖2，光源部1係由多LED光源1a與光束組合器1a4與反射鏡1b與光纖5等所構成，又，從前述多LED光源1a，係發出波長為λ1、λ2、λ3之3種類的紫外光，利用光束組合器1a4混成1種光線之後，透過反射鏡1b及光纖5，輸入至檢測部2。
再者，在圖2的實施形態中，於各LED光源1a1、1a2、1a3的發光開始時間設置差距，在各紫外光之間設置相位差，但是，也可從各LED發訊器1a1、1a2、1a3同時發出紫外光，使用另外設置的相位調整器(省略圖示)，在各紫外光之間設置相位差。
作為前述LED光源1a，使用所謂多LED，在本實施形態中，使用波長區域為200nm~400nm的3色小型高亮度LED。
再者，在圖1及圖2的實施例中，作為光源，使用LED光源，但是，當然也可將包含於LED的範疇之所謂LD(雷射二極體)作為光源。
前述檢測部2係如圖3所示，由檢測器本體6、1台光射入部9及兩台光檢測部10a、10b等所形成。
又，前述檢測器本體6係不鏽鋼製，於其內部，設置有流體通路6a。
進而，於檢測器本體6的兩側部，隔著墊片型封件11，入口區塊7及出口區塊8藉由螺絲(省略圖示)氣密固定。再者，6b是洩漏檢查用孔，6c是光射入部9的安裝孔，6d是光檢測部10的安裝孔。
前述光射入部9係配置於檢測器本體6的上面側，又，前述光檢測部10a及10b係於檢測器本體6的下面側與上面側，配置成分別斜對向狀，從光源部1經光纖5，具有相位差的波長λ1、λ2、λ3之3種紫外光的混成光，射入至前述光射入部9內的藍寶石製光透射窗9a。
前述射入之混成光的大部分，係透過藍寶石製光透射窗9a而射入至流體通路6a內，但是，射入之混成光的一部分係被藍寶石製光透射窗9a反射，該反射光的強度係藉由光二極體12檢測，使用於光源之所謂波動等的檢測。
前述光射入部9係設置成與第1光檢測部10a斜對向狀，從光射入部9射入之光線的大部分，係通過流體通路6a內的氣體流體G及第1光檢測部10a的藍寶石製光透射窗9a，射入至第1光檢測部10a內的光二極體12，檢測出該射入光的光強度。
又，射入至第1光檢測部10a內的藍寶石製光透射窗9a的混成光，係具有一定傾斜角度射入至該藍寶石製光透射窗9a，故在此混成光的一部分會被反射。然後，來自該第1光檢測部10a內的反射光，係通過流體
通路6a而射入至上面側的第2光檢測部10b。
於前述各光檢測部10a、10b中檢測出之波長λ1、λ2、λ2之混成光的各光強度，係因流通於流體通路6a內之原料流體G(製程用流體)的消光而變化，亦即，因原料氣體G的濃度等，各光強度會變化。
再者，藉由光二極體12所檢測出之光強度訊號，係被輸入至後述之運算處理部3，在此，自動運算原料流體G內的濃度。
前述光射入部9及各光檢測部10a、10b係在構造上完全相同，如圖3所示，由於中央具有凸緣收容孔9b的保持固定體9c、設置於檢測器本體6之外表面的第一固定凸緣9d、第二固定凸緣9e、氣密地被挾持固定於兩凸緣9d、9e之間的藍寶石製光透射板9a、位於光透射板9a的上方而固定於第一固定凸緣9d的光二極體12等所形成。
亦即，第二固定凸緣9e與第一固定凸緣9d，係藉由將第一固定凸緣9d的突出部，壓入至第二固定凸緣9e的凹部內，在挾持固定藍寶石製光透射板9a之狀態下氣密地一體化。
然後，將一體化該第二固定凸緣9e與第一固定凸緣9d者，插入至保持固定體9c的凸緣收容孔9b內，將保持固定體9c藉由固定用螺絲(省略圖示)中介設置墊片型封件11而押壓固定至檢測器本體6，藉此，光射入部9及各光檢測部10a、10b被氣密地固定至檢測
器本體6。
再者，於圖3中，7b、8b是接合部，6b洩漏檢查用孔，6c是光射入部9的安裝孔，6d是光檢測部10a、10b的安裝孔。又，光射入部9及光檢測部10a、10b係藉由固定用螺絲(省略圖示)固定。
於前述圖3的實施形態中，將光射入部9設置於檢測器本體6的上面側，及將光檢測部10配置於檢測器本體6的上面側及下面側，但是，也可將光射入部9與光檢測部10橫一列並置於同一面側。
又，於圖3的實施形態中，將光檢測部10設為兩台，但是，當然該光檢測部也可為3台，或者為4台，但是根據測定精度及濃度計的成本等之觀點，光檢測部10設為2~3台最佳。
於前述上面側的各光檢測部10a、10b中檢測出的光強度，係因流體通路6a內的光路徑長度及流通之原料流體G的濃度等而變化，對應消光度之檢測出的光強度訊號被輸入至運算處理部3，在此，運算出原料流體內的原料濃度。
圖4係揭示有機金屬材料氣體的紫外光相對之消光度(透射度)特性的一例者，是相對於波長200nm~350nm的紫外光者。
再者，於圖4中，曲線E1表示透射0.10%TMGa氣體的紫外光透射度，E2表示透射0.01%TMIn氣體的紫外光透射度，E3表示透射0.81%TMA1氣體的紫外光透射度。
再者，原料的濃度Cd係基本上以分光光度計所求出的消光度A為基準，藉由以下(1)式運算。
A=log10(I0/I)=ε×Cd×I．．．(1)
但是，於1式中，I0是來自光射入部9的射入光強度，I是透射光強度(光檢測部10之光二極體12的射入光強度)，ε是原料的莫耳消光係數，Cd是原料濃度，A是消光度。
參照圖5(a)，從前述光源部1的多LED光源1a發送之波長λ1、λ2、λ3中具有相位差之3種紫外光的混成光，係被送至前述檢測部2的光射入部9，從該光射入部9放射至原料氣體G中。
對透射前述原料氣體G內之波長λ1、λ2、λ3中具有相位差之3種紫外光進行強度調變，以光束組合器1a4混成之混成光，係分別到達各光檢測部10a、10b。射入之混成光係在透射原料氣體G內時因原料氣體G而特定波長之光線被消光，射入至光檢測部之混成光的光強度藉由各光二極體12檢測出。圖5的(b)自揭示前述檢測之光強度的測定值之一例，計測有機原料氣體所致之消光後的強度的變化。
再者，以各光檢測部10a、10b檢測出之消光後的混成光的光強度，係因應光線的檢測位置及光線的波長、原料氣體濃度及透射光路徑距離而變化，該檢測值係如圖5(b)的曲線S。
以前述各光檢測部10a、10b所檢測出之各光
強度的檢測值S係被輸入至運算處理部3，於該運算處理部3中，持續進行快速傅立葉轉換所致之頻率解析及3種頻率區域之強度(亦即，對應消光度的強度)的運算解析，藉由朗伯-比爾定律來運算原料氣體濃度。
再者，圖5的(c)係揭示前述3種頻率區域中之波長λ1、波長λ2、波長λ3的紫外光之強度變化量者，且揭示與成為原料氣體濃度計算之基礎的消光度對應之強度值的一例者。
接著，根據與前述快速FFT(快速傅立葉轉換)所致之頻率解析及各頻率區域(在本實施形態中為3個頻率區域)之消光度對應的光強度變化量的運算結果，於運算處理部3中求出如圖5(d)所示之各消光度的矩陣α、β、γ，並且以該消光度矩陣α、β、γ為基準，使用預先作成之原料氣體的濃度的運算機制，即時連續運算出原料氣體G的濃度。
又，以前述圖5(d)的消光度矩陣之變化為基準，進行濃度計的零點調整及異常的診斷，例如檢測藍寶石製光透射窗9a的霧度的產生。依據本發明，與先前使用紫外光的F2氣體測定裝置相較，確認了可獲得更高測定精度及測定的再現性之外，可實現濃度測定所需時間的大幅縮短及裝置成本的降低。
圖6係揭示本發明相關之濃度計GD的適用例，以濃度計GD的濃度檢測值，對槽內壓力控制裝置13及/或載體氣體CG的質量流量控制機14進行回授控制，
藉此，將原料氣體G的濃度保持為一定值者。
再者，原料氣體產生裝置15的構造本身與圖7所示之先前技術略相同，故在此省略說明。
本案發明係只要是具有對於光線，尤其是紫外光的消光性的原料流體，不管是液體或昇華性固體等任何原料，也可連續檢測出配管路徑內之流體的濃度，不僅半導體製造用氣體供給系，也可使用於處理萃取性或光反應性、腐蝕性流體之所有流體供給管路或流體使用機器類之流體濃度的連續檢測。
1‧‧‧光源部
1a‧‧‧LED光源
2‧‧‧檢測部
3‧‧‧運算處理部
4‧‧‧記錄．顯示部
5‧‧‧光纖
6‧‧‧檢測器本體
6a‧‧‧流體通路
9‧‧‧光射入部
10‧‧‧光檢測部
GD‧‧‧氣體濃度計
Claims (10)
- 一種在線型濃度計，其特徵為具備：光源部，係發出以LED或雷射二極體作為光源之至少兩種波長的混成光；檢測部，係具備將來自光源部的混成光射入至檢測器本體之流體通路內的光射入部，及對透射流體通路內之混成光進行受光的至少兩個光檢測部；運算處理部，係對前述各光檢測部的檢測訊號分別進行頻率解析，並且使用前述各檢測訊號的至少兩個頻率區域之光強度，運算對於前述混成光的前述至少兩種波長的光線之消光度，並根據對於前述至少兩種波長的光線之消光度，運算流體通路內的流體濃度；及記錄顯示部，係記錄及顯示在運算處理部之流體濃度的運算值。
- 如申請專利範圍第1項所記載之在線型濃度計，其中，前述至少兩個光檢測部，係以對分別以不同光路徑長度來通過前述流體通路內的混成光進行受光之方式配置。
- 如申請專利範圍第1項所記載之在線型濃度計，其中，將光源部，設為發出3種波長之混成光的光源部。
- 如申請專利範圍第1項所記載之在線型濃度計，其中，將前述光源部，設為發出波長區域為200~400nm之 紫外光的光源部。
- 如申請專利範圍第1項所記載之在線型濃度計，其中，將前述運算處理部，設為藉由傅立葉轉換或小波轉換來進行頻率解析的運算處理部。
- 如申請專利範圍第1項所記載之在線型濃度計，其中，流通於前述流體通路內的流體是有機金屬材料氣體。
- 如申請專利範圍第1項所記載之在線型濃度計，其中，將檢測部，設為具備1個光射入部與兩個光檢測部的檢測部。
- 如申請專利範圍第1項所記載之在線型濃度計，其中，於檢測器本體的一側面配置1個光射入部及1個光檢測部，又，於與該一側面對向的另一側面配置1個光檢測部。
- 如申請專利範圍第1項所記載之在線型濃度計，其中，將前述光源部，設為發出將波長不同之紫外光利用光束組合器來混成混成光的光源部。
- 一種濃度檢測方法，其特徵為：從設置於具有流體通路的檢測器本體之1個光射入部至流體通路內，射入以LED或雷射二極體作為光源之至 少兩種波長的光線被混成的混成光，利用至少兩個光檢測部檢測出透射流體通路內的前述混成光，並且對前述檢測出之前述混成光的檢測訊號進行頻率解析，針對利用前述至少兩個光檢測部所檢測出之各檢測訊號，使用在至少兩個頻率區域之光強度，運算對於前述混成光的前述至少兩種波長的光線之消光度，之後，根據前述運算之消光度，運算流通於流體通路內的有機金屬材料氣體濃度。
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