CN105556283A - 在线型浓度计和浓度检测方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种在有机原料流体的供给系统等中使用的浓度计，能够实现该浓度计的结构的简单化、小型化、产品成本的降低，并且能够在高精度、高灵敏度下进行再现性高的浓度测定。本发明由以下部件构成：发射具有相位差的至少两种波长的光的光源部；具备将来自光源部的光入射至检测器主体的流体通路内的光入射部和对流体通路内通过的光进行受光的至少两个光检测部的检测部；对来自检测部的至少两个波长的检测信号分别进行频率解析，并且计算与上述各检测信号的至少三个频率域的吸光度对应的强度，根据该各检测信号的至少三个频率域的吸光度强度计算流体通路内的流体浓度的运算处理部；记录和/或显示运算处理部的流体浓度的计算值的记录显示部。

Description

在线型浓度计和浓度检测方法
技术领域
本发明涉及在半导体制造装置的原料流体供给装置等中使用的在线(in-line，又称为直连、串联、生产线中配置)型浓度计以及浓度检测方法的改良，特别是涉及一种作为紫外吸收方式的在线型气体浓度计以及气体浓度检测方法，其能够实现浓度计的灵敏度、再现性·测量精度的提高，实现小型·节省空间以及低成本化。
背景技术
从实现半导体产品的品质提高的观点出发，半导体制造装置的原料流体供给装置等需要向处理装置供给稳定浓度的工艺气体。
因此，以往的这种原料流体供给装置，例如，如图7所示构成的发泡方式的原料流体供给装置中，在受到温度控制的原料罐21的原料蒸气出口的附近设置有红外吸收方式的浓度计22，通过利用来自该浓度计22的浓度检测信号，调整原料罐21的温度、载气(载流气体，载体气体)CG的流量、罐内蒸气压力Po等，由此，将规定的原料浓度的工艺气体24，例如，含有三甲基镓TMGa等的有机金属材料蒸气的工艺气体，供给到反应炉23。
此外，图7中，25为载气的热式质量流量控制器，26为罐内压的压力调整装置，33为载气供给线路，34为排气线路，G为原料气体。再者，作为工艺气体24内的原料气体源，不仅可以为液体原料，也可以使用升华性的固体原料。
此外，作为上述红外吸收方式的浓度计22，虽然有各种结构的浓度计被实用化，但是，如图8所示，作为在线型浓度计22，由以下部件构成：原料气体G流通的资料用气室(气体单元)30a和对照用气体C流通的对照用气室30b；向各个气室内照射红外光的光源28；各个气室内部通过的光量的检测器29；根据检测器29的检测信号求出吸光度并计算原料浓度的运算装置(图示省略)等。此外，A为前置放大器，S为半导体制造装置，SC为透光窗，光源28和受光器29作为一体向上下方向移动，向资料用气室30a和对照用气室30b内照射光(日本国专利公开2000-206045号)。
而且，在上述图8的浓度计22中，测定资料用气室30a内的气体的吸光度，并且对吸光度的测定结果，运用朗伯-比尔等定律(Lambert-Beerlaw)，计算气体浓度。
并且，使光源28和受光器29为一体向上方滑动，通过检测对照用气室(又称为参考用气室)30b的吸光度，适当地进行零点调整等的测量值补正。
然而，上述红外吸收方式的浓度计22，存在以下难点：(I)光源28的波动比较大，检测器29的稳定性不足，以及(II)由于吸光度的平均化处理所致的响应性低，所谓浓度的检测灵敏度相对较差；进一步地，还存在以下这样的问题：(III)需要比较长的光程长度的气室30a、30b，除了检测器29大型化以外，制造成本也变高。
此外，为了长期连续地进行稳定的气体浓度测定，需要透光窗SC的透明度长时间稳定，透明度经时变化的情况下，稳定的气体浓度测定变得困难。
而且，为了实现红外吸收方式的分光光度计的测定速度或S/N比等的提高，开发、利用了一种傅里叶变换型红外分光(FT-IR)型的分光光度计，其结构如下：使用利用干涉仪以非分散同时检测所有波长的光学系统，代替使用衍射光栅或缝隙的分散型光学系统，对检测值进行傅里叶变换处理而对各波长成分分别计算每一个波长成分的光强度(又称为光度、发光强度)。
但是，即使是使用该FT-IR光度计的浓度计，由于测量波长范围(波长区域)基本上为红外区域，所以起因于光源的波动(摇晃)造成的测量精度或再现性差这样的问题依然未能解决而遗留下来。
另外，通过更换光源或分光器、检测器、透光窗等，能够从远红外到可见光为止扩大测量频率范围(频率区域)，但由于更换需要耗费劳力或起因于红外方式所造成的各种问题，故在现实中其实用化很困难。
另一方面，作为上述红外吸收法的响应性或测量灵敏度差等问题的解决方案，开发了一种使用紫外光的气体浓度测定装置。
图9为表示该装置构成的概要的图，光源28包括由放射200～400nm的紫外光的紫外光灯(氘灯或Hg-Xe灯)形成的光源部28a和分光器28b而形成。
即，如图9所示，该气体浓度测量装置包括以下部件而形成：原料气体G流通的资料用气室30a和对照用气体C流通的对照用气室30b；向各个气室内照射紫外光的光源部28a和分光器28b；在各个气室内部通过的光量的检测器29；根据检测器输出29a的检测信号求出吸光度并计算原料浓度的运算装置(图示省略)等。此外，31为气体精制装置，32为泵，35为排气处理装置，M为镜片，MP为衍射光栅，ML为狭缝，MS为扇形镜，MG为光栅镜(日本国专利公开2005-241249号)。
上述紫外光方式的气体浓度测定装置虽然是使用双光束方式的分光器28b检测出对照用气室30b的吸光度，并适当地进行零点调整等的测量值的修正的结构，但是，由于光学系统的基本构造与红外吸收方式的浓度计的情况完全相同，所以仍然存在光源28的波动大，以及响应性或检测灵敏度相对较差这样的问题。
如上所述，在使用以往的红外吸收方式或紫外吸收方式的浓度计的情况下，不仅难以实现设备的小型化或设备费用的降低，而且在浓度测量的响应性及检测灵敏度、检测精度及其再现性、气体气密性及气体纯度的保持等方面也存在很多问题，急需基本的解决方案。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本国专利公开2000-206045号公报
专利文献2：日本国专利公开2005-241249号公报
发明内容
本发明是要解决在以往的原料流体供给装置等中使用的原料气体的浓度计或使用其的浓度测量(测定)方法中存在的上述问题，即解决：(I)不容易实现浓度计的构造简单化和小型化以及产品成本的下降；和(II)浓度测量的响应性或测量灵敏度低；(III)测量的再现性差，不能进行稳定且高精度的原料气体的浓度测量；(IV)由于透光窗的透明度变化而造成的测量精度易于下降等的问题，由此，本发明的主要目的在于提供一种紫外光吸收方式的在线型浓度计以及使用其的浓度测量方法，该在线型浓度计，即使对高腐蚀性的有机原料气体，也能够长期以高响应性和高灵敏度、高精度进行稳定的浓度测量，而且，能够小型化且以低价进行制造。
本发明涉及的浓度计的第一方式，以如下部件作为本发明的基本结构：发出具有相位差的至少两种波长的混成光的光源部；具备将来自光源部的混成光(又称为混合光)入射至检测器主体的流体通路内的光入射部和对流体通路内通过的混成光进行受光(接收)的至少两个光检测部的检测部；对来自各光检测部的混成光的检测信号分别进行频率解析，并且计算与上述各检测信号的至少两个频率域(频率区域、频带)的吸光度对应的强度变化量，通过该各检测信号的至少两个频率域的上述强度变化量计算流体通路内的流体浓度的运算处理部；记录和显示在运算处理部的流体浓度的计算值的记录显示部。
本发明的第二方式，在上述第一方式中，将光源部设定为发出三种波长的混成光的光源部。
本发明的第三方式，在上述第一方式中，光源部具备LED或者激光二极管。
本发明的第四方式，在上述第一方式中，将光源部设定为发出波长域(波长区域、波长范围)为200～400nm的紫外光的光源部。
本发明的第五方式，在上述第一方式中，运算处理部为利用傅里叶变换或者小波变换进行频率解析的运算处理部。
本发明的第六方式，在上述第一方式中，设定为计算流体通路内流通的混合气体内的有机金属材料气体浓度的运算处理部。
本发明的第七方式：在上述第一方式中，设定为具备一个光入射部和两个光检测部的检测部。
本发明的第八方式，在上述第一方式中，将光源部设定为发出三种波长的紫外光的混成光的光源部。
本发明的第九方式，在上述第一方式中，上述运算处理部设定为利用傅里叶变换分别对三种波长的混成光的检测信号进行频率解析的运算处理部。
本发明的第十方式按照如下方式形成：在上述第七方式中，在检测器主体的一侧面配置有一个光入射部，并且在与上述一侧面相对的另一侧面配置有两个光检测部。
本发明的第十一方式按照如下方式形成：在上述第二方式中，在检测器主体的一侧面配置有一个光入射部，并且在与上述一侧面相对的另一侧面配置有三个光检测部。
本发明的第十二方式按照如下方式形成：在上述第七方式中，在检测器主体的一侧面配置有一个光入射部和一个光检测部，并且在与上述一侧面相对的另一侧面配置有两个光检测部。
本发明的第十三方式，在上述第一方式中，将光源部设定为发出利用波束组合器将波长不同的紫外光加以混成而得到的混成光的光源部。
本发明的第十四方式，以如下内容作为本发明的基本结构：来自光源部的具有相位差的三种波长不同的紫外光的混成光，从设置于具有流体通路的检测器主体的一个光入射部入射至流体通路内，利用设置于检测器主体的至少两个光检测部检测出流体通路内通过的各紫外光，并且利用傅里叶变换等分别对各光检测部检测出的混成光的检测信号进行频率解析，针对该光检测部检测出的各检测信号，计算与三个频率域的吸光度对应的强度变化量，然后，根据该各检测信号的三种频率域的至少合计6个上述计算出的上述强度变化量，计算流体通路内流通的混合气体内的有机金属材料气体浓度。
本发明的第十五方式按照如下方式形成：在上述第十四方式中，将光检测部设为3个，通过合计9个计算出的与吸光度对应的强度变化量，计算流体通路内流通的混合气体内的有机金属材料气体浓度。
本发明的第十六方式按照如下方式形成：在上述第十四方式中，通过1个光检测部检测出从光入射部入射的混成光，并且将来自该光检测部的反射光入射至其他的光检测部。
本发明的第十七方式按照如下方式形成：在上述第十四方式中，使从光入射部入射的混成光分散并入射至两个光检测部。
发明效果
本发明以如下方式构成浓度计：
发出具有相位差的至少两种波长的混成光的光源部；
具备将来自光源部的混成光入射至检测器主体的流体通路内的光入射部和对流体通路内通过的混成光进行受光的至少两个光检测部的检测部；
对来自各光检测部的混成光的检测信号分别进行频率解析，并且计算与上述各检测信号的至少两个频率域的吸光度对应的强度变化量，根据该各检测信号的至少两个频率域的上述强度变化量计算流体通路内的流体浓度的运算处理部；以及
记录和/或显示在运算处理部的流体浓度的计算值的记录显示部。
其结果，首先，利用至少两个光检测部检测出具有相位差的至少两种波长的混成光的入射时和吸光后的强度变化量，并且对与由各个检测部检测出的混成光的强度变化量对应的检测值进行频率解析，求出与至少两个频率域的吸光度对应的计算值，基于该至少6个计算出的吸光度计算流体浓度。
其结果，与以往使用衍射光栅或狭缝等的分散型光学系统比较，能够实现光学系统的构造大幅度单纯且简单化，也能够实现装置的大幅小型化。
此外，通过将光源部设为使用LED或激光二极管的光源部，与以往的红外光源的情况比较，消耗电力显著减少，并且光源寿命大幅延长，在实用上变得非常有利，并且能够简单且容易地得到不同波长的紫外光。
进一步地，使用波长不同的至少两种具有相位差的紫外光，并且使用至少两个光检测部来进行吸光度的测定，所以能够获得高测量精度和测量的再现性，并且光源的所谓波动现象几乎没有发生，可进行稳定的浓度测量。
此外，因为检测部是由具有流体通路的检测部主体；配置于其侧面的光入射部和光检测部构成，所以实现了检测部的大幅小型化，能够简单地进行向配管路径的安装及从配管路径的卸下。
附图说明
图1为本发明的实施方式涉及的原料流体浓度计的构成的概要图。
图2为光源部的构成的概要图。
图3为表示检测部的构成的纵截面概要图。
图4为表示有机金属材料气体的紫外光吸光(透过)特性的一个示例的图。
图5(a)～(c)为运算处理部的检测值处理的说明图。(d)为计算出的吸光度矩阵α、β、γ的说明图。
图6为表示本发明涉及的气体浓度计的适用示例的图。
图7为表示以往的在线型气体浓度计的适用示例的图。
图8为以往的在线型浓度计的构成的概要图。
图9为以往的紫外吸收型气体浓度计的构成的概要图。
符号说明
1光源部
1aLED光源
1a1～1a3LED光源
1a4光束组合器
1b反射镜
2检测部
3运算处理部
3a流体通路
3b接头部
4记录·显示部
5光纤
6检测器主体
6a流体通路
6b泄漏检查用孔
6c光入射部安装孔
6d光检测部安装孔
7入口块体(入口基座)
8出口块体(出口基座)
9光入射部
9a蓝宝石制透光窗
9b凸缘(法兰)收纳孔
9c保持固定体
9d第一固定凸缘
9e第二固定凸缘
10光检测部
10a～10b光检测部
11垫片型密封件
12光电二极管
13罐内压力控制器
14质量流量控制器
15气体产生装置
GD气体浓度计
Φ相位差
λ1～λ3波长
S光检测部的检测光强度曲线
E1～E3相对于有机原材料的紫外光的透光度曲线
A1～A3波长λ1～λ3的紫外光的光强度变化特性
α，β，γ吸光度矩阵
具体实施方式
以下，基于附图说明本发明的实施方式。
图1为本发明的实施方式涉及的原料流体的浓度计的构成概要图。
本发明的原料气体的浓度计GD由具备LED光源1a的光源部1；具备光入射部9和具有流体通路6a的检测器主体6和光检测部10的检测部2；运算处理部3和记录·显示部4等构成。如后所述，上述检测部2形成为能够插入至工艺配管路径内的在线型。
即，从上述光源部1使波长不同的三个紫外光分别相位错开地放射，并入射至光束组合器1a4(图2)。入射的各紫外光在光束组合器1a4中混成(混合)，混成光(混合光)通过光纤5入射至检测部2的光入射部9。
此外，入射至检测部2的光入射部9的紫外光，透过流体通路6a的原料气体G内而行进，利用至少设置于2处不同位置的各光检测部10分别检测出来。
本实施方式中，基于图2～图5，如后所述，为如下构造：设定为从LED光源1a发出波长为λ1，λ2，λ3的具有相位差的三个紫外光，该三个紫外光的混成光入射至一台光入射部9，通过利用2台光检测部10来检测出从该光入射部9放射至流体气体G内的紫外光，检测紫外光的所谓吸光度，来自第一光检测部的蓝宝石制透光窗9a的反射光入射至第二光检测部。
再者，虽然未图示，但是，还能够设定为如下构造：使来自一个光入射部9的入射光分散，将混成光直接入射到至少两个以上的光检测部10。
此外，将上述2台的各检测部10a，10b检测出的波长λ1，λ2，λ3的混成光(合成光)的光检测值(光接收值)分别输入至运算处理部3，在此通过利用傅里叶变换等来进行频率解析，计算3个频率域成分的光检测值强度，计算与合计6种(2个光检测部×3个频率域)的吸光度对应的计算值。
然后，根据与上述6个吸光度对应的计算值的矩阵，计算并显示最终在流体通路6a内流通的原料气体的浓度。
参照图2，光源部1由以下等部件构成：多LED光源1a；光束组合器1a4；反射镜1b和光纤5。另外，从上述多LED光源1a发出波长为λ1，λ2，λ3的3种紫外光，利用光束组合器1a4混成一束光后，经由反射镜1b和光纤5输入至检测部2。
另外，在图2的实施方式中，在各LED光源1a1，1a2，1a3的发光开始时间上设置差值，使得在各紫外光之间设置相位差Φ，但是，也能够从各LED发讯器(又称为发射器)1a1，1a2，1a3同时发出紫外光，使用另外设置的相位调整器(图示省略)，在各紫外光之间设置相位差Φ。
作为上述LED光源1a，使用所谓多LED，在本实施方式中，使用波长域为200nm～400nm的3色小型高亮度LED。
再者，在图1和图2的实施例中，虽然使用LED光源作为光源，但是，毋庸置疑，LED的范畴中包含的所谓LD(激光二极管)也可以作为光源。
如图3所示，上述检测部2由检测器主体6，1台光入射部9以及2台光检测部10a、10b等形成。
而且，上述检测器主体6为不锈钢制，其内部设置有流体通路6a。
进一步地，利用螺栓(省略图示)将入口块体7和出口块体8隔着垫片型密封件11气密地固定于检测器主体6的两侧部。另外，6b为泄漏检查用孔，6c为光入射部9的安装孔，6d为光检测部10的安装孔。
上述光入射部9配置于检测器主体6的上面侧，而且，上述光检测部10a和10b分别斜对向状配置于检测器主体6的下面侧和上面侧。从光源部1经光纤5，具有相位差Φ的波长λ1，λ2，λ3的3种紫外光的混成光入射至上述光入射部9内的蓝宝石制透光窗9a。
上述入射的混成光的大部分，透过蓝宝石制透光窗9a入射至流体通路6a内，但入射的混成光的一部分被蓝宝石制透光窗9a反射，通过光电二极管12检测出此反射光的强度，用于光源的所谓波动等的检测。
上述光入射部9与第一光检测部10a呈斜对向状设置，从光入射部9入射的光的大部分，通过流体通路6a内的气体流体G和第一光检测部10a的蓝宝石制透光窗9a入射至第一光检测部10a内的光电二极管12，检测出该入射光的光强度。
另外，由于入射至第一光检测部10a内的蓝宝石制透光窗9a的混成光，保持一定的倾斜角度入射至该蓝宝石制透光窗9a，所以混成光的一部分在此被反射。然后，来自此第一光检测部10a内的反射光通过流体通路6a入射至上面侧的第二光检测部10b。
在上述各光检测部10a、10b检测出的波长λ1，λ2，λ3的混成光的各光强度根据流体通路6a内流通的原料流体G(工艺用流体)的吸光而变化，即，各光强度根据原料气体G的浓度等而变化。
再者，利用光电二极管12检测出的各光强度信号被输入至后述的运算处理部3，在此自动计算原料流体G内的浓度。
如图3所示，上述光入射部9和各光检测部10a、10b，在构造上完全相同，由以下等部件形成：中央具有凸缘收纳孔9b的保持固定体9c；设置于检测器主体6的外表面的第一固定凸缘9d；第二固定凸缘9e；气密地夹持固定于两凸缘9d、9e之间的蓝宝石制透光板9a；位于透光板9a的上方且固定于第一固定凸缘9d的光电二极管12等。
即，第二固定凸缘9e和第一固定凸缘9d，通过将第一固定凸缘9d的突出部压入至第二固定凸缘9e的凹部内，在将蓝宝石制透光板9a夹持固定的状态下完成气密一体化。
然后，将此第二固定凸缘9e和第一固定凸缘9d一体化后的部件插入至保持固定体9c的凸缘收纳孔9b内，通过利用固定用螺栓(图示省略)将保持固定体9c隔着垫片型密封件11按压固定至检测器主体6，由此，光入射部9和各光检测部10a、10b被气密地固定于检测器主体6。
此外，在图3中，7b、8b为接头部，6b为泄漏检查用孔，6c为光入射部9的安装孔，6d为光检测部10a、10b的安装孔。而且，光入射部9和光检测部10a、10b通过固定用螺栓(图示省略)固定。
在上述图3的实施方式中，将光入射部9配置于检测器主体6的上面侧，以及将光检测部10分别配置于检测器主体6的上面侧和下面侧，但也能够将光入射部9和光检测部10在同一面侧横向并成一列设置。
另外，虽然在图3的实施方式中，光检测部10为2台，但毋庸置疑，该光检测部10为3台或者4台也可以，但从测量精度或者浓度计的成本等观点出发，光检测部10为2～3台最合适。
在上述上面侧的各光检测部10a、10b检测出的光强度会随着流体通路6a内的光路长度和流通的原料流体G的浓度等而变化，与吸光度对应的检测出的光强度信号被输入至运算处理部3，在此计算原料流体内的原料浓度。
图4为表示有机金属材料气体对于紫外光的吸光度(透过度)特性的一个示例的图，为关于波长200nm～350nm的紫外光的图。
此外，在图4中，曲线E1，E2，E3依次分别表示0.10％TMGa气体，0.01％TMIn气体，0.81％TMAl气体的紫外光透过度。
此外，原料的浓度Cd，基本上，基于使用分光光度计求出的吸光度A，通过下述(1)式进行计算。
A＝log10(I0I)＝ε×Cd×I···(1)
其中，在(1)式中，I0为来自光入射部9的入射光强度，I为透过光强度(到光检测部10的光电二极管12的入射光强度)，ε为原料的摩尔吸光系数，Cd为原料浓度，A为吸光度。
参考图5(a)，从上述光源部1的多LED光源1a发出的波长λ1，λ2，λ3的具有相位差Φ的3种紫外光的混成光被传送至上述检测部2的光入射部9，从该光入射部9放射至原料气体G中。
对透过上述原料气体G内的波长λ1，λ2，λ3且具有相位差的3种紫外光进行强度调制，利用光束合成器1a4混成的混成光分别到达各光检测部10a、10b。入射的混成光在透过原料气体G内时因原料气体G造成特定波长的光被吸光(消光)，入射至光检测部的混成光的光强度通过各光电二极管12检测出来。图5(b)为表示上述检测出的光强度的测定值的一个示例的图，计测由于有机原料气体所致的吸光后的强度变化。
此外，由各光检测部10a、10b检测出的吸光后的混成光的光强度根据光的检测位置、光的波长、原料气体浓度和透过光路距离而变化，其检测值为图5(b)的曲线S。
由上述各光检测部10a、10b检测出的各光强度的检测值S被输入至运算处理部3，在该运算处理部3中，继续利用快速傅里叶变换进行频率解析和/或三个波长域的强度(即与吸光度对应的强度)的计算解析，通过朗伯-比尔定律计算原料气体浓度。
另外，图5(c)为表示上述三个频率域中的波长λ1，波长λ2，波长λ3的紫外光的强度变化量的图，为表示与构成原料气体浓度算出的基础的吸光度对应的强度值的一个示例的图。
其次，根据与基于上述快速FFT(快速傅里叶变换)的频率解析及各频率域(本实施方式为3个频率域)的吸光度对应的光强度变化量的计算结果，在运算处理部3中求出如图5(d)所示的各吸光度的矩阵α，β，γ，并且基于该吸光度矩阵α，β，γ，使用预先创建的原料气体的浓度计算方法(算法)，实时连续地计算原料气体G的浓度。
另外，基于上述图5(d)的吸光度矩阵的变化，进行浓度计的零点调整和异常的诊断，例如检知蓝宝石制透光窗9a模糊不清的发生等。根据本发明，与以往的使用紫外光的F2气体测定装置比较，确认了不仅可以得到更高测量精度和测量的再现性，而且能够实现浓度测定所需时间的大幅缩短和装置成本的降低。
图6为表示本发明涉及的浓度计GD的适用例的图，通过以浓度计GD的浓度检测值，对罐内压力控制装置13和/或载气CG的质量流量控制机14进行反馈控制，保持原料气体G的浓度为固定值。
此外，由于原料气体发生装置15的构造本身与图7所示的现有技术大致相同，故在此省略对其的说明。
产业上的可利用性
本申请的发明，只要是具有对于光，尤其是紫外光的吸光性的原料流体，不论是液体或升华性固体等任何原料，都能够实现连续检测出配管路径内的流体的浓度。不仅能够在半导体制造用气体供给系统中使用，而且也能够在处理析出性、光反应性、腐蚀性流体的所有的流体供给管路或者流体使用设备类的流体浓度的连续检测中使用。

Claims (17)

1.一种在线型浓度计，其特征在于，具备：
光源部，所述光源部发出具有相位差的至少两种波长的混成光；
检测部，所述检测部具备将来自光源部的混成光入射至检测器主体的流体通路内的光入射部和对流体通路内通过的混成光进行受光的至少两个光检测部；
运算处理部，所述运算处理部对来自各光检测部的混成光的检测信号分别进行频率解析，并且计算与所述各检测信号的至少两个频率域的吸光度对应的强度变化量，通过该各检测信号的至少两个频率域的所述强度变化量计算流体通路内的流体浓度；和
记录显示部，所述记录显示部记录和显示在运算处理部的流体浓度的计算值。
2.根据权利要求1所述的在线型浓度计，其特征在于，
光源部为发出三种波长的混成光的光源部。
3.根据权利要求1所述的在线型浓度计，其特征在于，
光源部为以LED或者激光二极管作为光源的光源部。
4.根据权利要求1所述的在线型浓度计，其特征在于，
光源部为发出波长域为200～400nm的紫外光的光源部。
5.根据权利要求1所述的在线型浓度计，其特征在于，
运算处理部为利用傅里叶变换或者小波变换进行频率解析的运算处理部。
6.根据权利要求1所述的在线型浓度计，其特征在于，
运算处理部为计算流体通路内流通的混合气体内的有机金属材料气体浓度的运算处理部。
7.根据权利要求1所述的在线型浓度计，其特征在于，
检测部为具备一个光入射部和两个光检测部的检测部。
8.根据权利要求1所述的在线型浓度计，其特征在于，
光源部为发出三种波长的紫外光的混成光的光源部。
9.根据权利要求1所述的在线型浓度计，其特征在于，
运算处理部为利用傅里叶变换分别对三种波长的混成光的检测信号进行频率解析的运算处理部。
10.根据权利要求7所述的在线型浓度计，其特征在于，
在检测器主体的一侧面配置有一个光入射部，并且在与该一侧面相对的另一侧面配置有两个光检测部。
11.根据权利要求2所述的在线型浓度计，其特征在于，
在检测器主体的一侧面配置有一个光入射部，并且在与该一侧面相对的另一侧面配置有三个光检测部。
12.根据权利要求7所述的在线型浓度计，其特征在于，
在检测器主体的一侧面配置有一个光入射部和一个光检测部，并且在与该一侧面相对的另一侧面配置有两个光检测部。
13.根据权利要求1所述的在线型浓度计，其特征在于，
光源部为发出利用光束组合器将波长不同的紫外光加以混成而得到的混成光的光源部。
14.一种浓度检测方法，其特征在于，来自光源部的具有相位差的三种波长不同的紫外光的混成光，从设置于具有流体通路的检测器主体的一个光入射部入射至流体通路内，利用设置于检测器主体的至少两个光检测部检测出流体通路内通过的各紫外光，并且分别对各光检测部检测出的混成光的检测信号进行频率解析，针对由该光检测部检测出的各检测信号，计算与三个频率域的吸光度对应的强度变化量，然后，根据该各检测信号的三种频率域的至少合计6个所述计算出的所述强度变化量，计算流体通路内流通的混合气体内的有机金属材料气体浓度。
15.根据权利要求14所述的浓度检测方法，其特征在于，光检测部为3个，根据合计9个计算出的与吸光度对应的强度变化量，计算流体通路内流通的混合气体内的有机金属材料气体浓度。
16.根据权利要求14所述的浓度检测方法，其特征在于，通过1个光检测部检测出从光入射部入射的混成光，并且将来自该光检测部的反射光入射至其他的光检测部。
17.根据权利要求14所述的浓度检测方法，其特征在于，使从光入射部入射的混成光分散并入射至两个光检测部。
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