TWI492909B - 玻璃板切斷裝置及玻璃板切斷方法 - Google Patents

Description

玻璃板切斷裝置及玻璃板切斷方法

本發明係關於一種將玻璃板等基板素材切斷成複數個基板的玻璃板切斷裝置。

作為切割玻璃板等基板素材的方法，習知以來存在有以下裝置：利用刀具24在玻璃基板20上形成刻劃線(scribe line)21，之後利用輥26對該刻劃線加壓來進行切斷(參照專利文獻1的說明書摘要)。

又，存在有以下方法：利用切斷機構(上升機構23及按壓機構24等)使藉由機械手17被搬入到送出工作台21上之形成刻劃線後的大塊基板2位於能夠切斷的位置，並藉由該切斷機構及操作人員P的手進行切斷，再由操作人員P用手將切斷得到的長條狀的基板3搬出(參照專利文獻2的段落【0032】至【0035】以及圖3至圖5等)。

又，存在有以下玻璃板折斷方法：使用刀具裝置71的刀輪73等，在藉由搬送裝置21搬送到玻璃板折斷部3的預定位置並被定位的玻璃板6上，形成切割線8、9(刻劃線)後，使用按壓構件76等將玻璃板6折斷，並藉由搬送裝置21將因折斷而得到的玻璃板從玻璃板折斷部3的預定位置搬送到玻璃板邊緣研磨部4(參照專利文獻3的段落【0032】)。

〔習知技術文獻〕 〔專利文獻〕

專利文獻1：日本特開平9-286628號公報

專利文獻2：日本特開2008-69065號公報

專利文獻3：日本特開平10-291829號公報

此外，專利文獻1的方法係在一個場所同時進行刻劃線的形成與切斷的方法，乍看之下很有效率。然而，將切斷後的玻璃基板搬出之後一直到清掃結束為止是無法搬入下一個玻璃基板，因此不一定說是有效率的。

因此，作為改變場所來進行刻劃線的形成與切斷之方法，還有專利文獻2的方法。然而，在專利文獻2的切斷方法中，在搬出工作台21上利用切斷機構與手工作業對大塊基板2進行切斷，並利用手工作業將得到的長條狀的基板3搬出。在此種利用手工作業的方法中．存在有提高切斷作 業效率的極限。

又，在專利文獻3的玻璃板折斷方法中，在帶式輸送機狀的作業台上，對搬入到玻璃板折斷部3的玻璃板進行切割線的形成(刻劃線的形成)與玻璃板的折斷。若使用此種作業台則玻璃切斷後的作業台清掃變得容易，但是在本方法中，需要依序一一地進行：將玻璃板搬入到玻璃板折斷部3的預定位置的搬入動作、所搬入的玻璃板的折斷動作、從折斷後的玻璃板的玻璃板折斷部搬出的搬出動作、以及作業台清掃動作。因此，即便是該方法，仍存在有提高玻璃板的折斷效率的極限。

本發明係鑑於此種問題點而研創的發明，其課題為提供一種可有效率地進行切斷玻璃板來製造基板並且將得到的基板搬出到搬出目的地的作業之玻璃板切斷裝置及玻璃板切斷方法。

本申請案之發明為一種玻璃板切斷方法，係具有：玻璃板搬入動作，將作為切斷對象且形成有刻劃線的玻璃板搬入到搬送單元的帶式輸送機上的搬入位置；切斷動作，沿著被搬入到搬入位置的前述玻璃板的刻劃線施加按壓力從而切斷該玻璃板；以及切斷玻璃板搬出動作，將藉由切斷而得到的帶式輸送機上的切斷玻璃板搬出到搬出目的地；前述切斷動作係具有：切斷步驟，使施加前述按壓力的按壓構件沿著刻劃線移動而切斷該玻璃板；以及按壓構 件移動步驟，使該切斷動作結束後的前述按壓構件移動到下一個按壓對象的刻劃線的位置；在對任意的刻劃線持續執行前述切斷步驟且朝下一個刻劃線的按壓構件移動步驟中，能夠同時對切斷玻璃板執行切斷玻璃板搬出動作。

並且，前述切斷玻璃板搬出動作係包括切斷玻璃板保持步驟，在該切斷玻璃板保持步驟係藉由用以將前述切斷玻璃板搬出到搬出目的地的搬出單元的保持構件，來保持前述帶式輸送機上的前述切斷玻璃板；在對任意的前述刻劃線的前述切斷動作的切斷步驟中，執行對切斷中的該玻璃板進行的前述切斷玻璃板搬出動作的切斷玻璃板保持步驟。

又，進一步具有玻璃板搬送動作，該玻璃板搬送動作係使被搬入到前述帶式輸送機上的搬入位置的玻璃板朝帶式輸送機搬送方向移動；前述切斷玻璃板搬出動作係進一步包括將被前述保持構件保持的切斷玻璃板搬出到搬出目的地的切斷玻璃板搬出步驟；前述按壓構件移動步驟、前述切斷玻璃板搬出步驟以及前述玻璃板搬送動作以使作業時間重疊的方式同時進行。

又，前述玻璃板搬入動作係與對前一個切斷對象的玻璃板進行的玻璃板搬送動作同時被進行。

又，本申請發明之玻璃板切斷方法進一步具備：玻璃板位置的檢測動作，檢測被搬入到前述搬入位置的前述玻璃板的位置；以及更新動作，根據預先記錄的前述刻劃線的線位置資訊、與由前述檢測動作所檢測的前述玻璃板的 位置資訊，對被搬入的實際的玻璃基板的線位置資訊進行更新。

又，前述切斷步驟係包括移動限制步驟，該移動限制步驟係在利用前述按壓構件按壓前述玻璃板時，藉由用以覆蓋位於前述按壓構件周圍的前述玻璃板的至少一部分的移動限制構件，來限制玻璃板朝與按壓方向相反方向移動。

又，本申請之另一發明是一種玻璃板切斷裝置，係具備：搬送單元，其具備有載置作為切斷對象且形成有刻劃線的玻璃板的帶式輸送機、以及使該帶式輸送機作動的驅動機構，藉由使該驅動機構作動而使玻璃板朝搬送方向移動；按壓單元，對載置於前述帶式輸送機上的前述玻璃板施加用於切斷玻璃板的按壓力；以及搬出單元，將藉由過切斷而得到的帶式輸送機上的切斷玻璃板搬出到搬出目的地；前述按壓單元係具備：按壓構件，對前述玻璃板施加按壓力；以及按壓構件移動機構，用於進行切斷動作，該切斷動作係使抵壓於前述玻璃板的該按壓構件沿著前述刻劃線移動從而切斷前述玻璃板；前述搬出單元係具備：保持構件，用於保持前述切斷玻璃板；以及保持構件移動機構，使前述帶式輸送機上的切斷玻璃板朝搬出目的地移動；該搬出單元係在前述按壓單元的切斷步驟中，使前述保持構件移動機構作動從而使前述帶式輸送機上的前述切斷玻璃板朝前述搬出目的地移動。

並且，前述搬送單元係在前述按壓單元的按壓構件移 動步驟中，使前述驅動機構作動從而使前述帶式輸送機上的前述玻璃板朝前述搬送方向移動。

又，前述搬出單元的保持構件係可保持前述帶式輸送機上的複數個切斷玻璃板。

又，具備有複數個前述按壓單元。

又，前述按壓構件係沿著前述刻劃線滾動移動的按壓輥，該按壓輥係以可變更滾動移動方向的狀態被安裝。

又，前述按壓單元進一步具備有移動限制構件，該移動限制構件係限制受到前述按壓力的前述玻璃板朝與按壓方向相反方向移動。

前述移動限制構件係覆蓋被覆區域，該被覆區域係位於前述按壓構件的周圍的前述玻璃板的至少一部分。

又，前述按壓單元進一步具備有移動限制構件，該移動限制構件係被設置成面對由前述按壓構件所按壓的前述玻璃板的按壓位置中之至少一部分的周緣部，來限制玻璃板朝與按壓方向相反方向移動。

又，前述移動限制構件係被設置成包圍被施加前述按壓力的位置，且面對玻璃板的上表面。

又，一個以上的前述移動限制構件係具備有相對於按壓輥可接近分離的水平移動單元。

又，具有複數個前述移動限制構件，各移動限制構件具有：在水平面內能夠進行彼此接近移動與離開移動的水平移動單元。

又，進一步具備有對載置玻璃板的帶式輸送機的表面 進行清潔的清潔機構。

又，進一步具備有回收碎屑的碎屑回收部。

又，前述按壓單元係具備有吹氣噴嘴，該吹氣噴嘴係朝前述按壓構件之與前述玻璃板抵接的面噴吹空氣。

根據本申請案之發明，在切斷玻璃板來製造基板並將得到的基板搬出到搬出目的地時，在按壓構件移動步驟中，能夠同時對切斷玻璃板執行切斷玻璃板搬出動作，因此能夠有效率地進行切斷並搬出的動作。

1‧‧‧玻璃板切斷裝置

10‧‧‧裝置支撐框架

11‧‧‧引導構件

11a‧‧‧導軌

20‧‧‧搬送單元

20a‧‧‧帶式輸送機(輸送機)

21‧‧‧傳送帶

21a‧‧‧搬送面(朝上側的外表面)

22‧‧‧旋轉輥

23‧‧‧馬達(驅動源)

24‧‧‧傳動帶

30‧‧‧按壓單元

30a‧‧‧按壓頭

31‧‧‧按壓頭本體

32‧‧‧按壓頭的升降部

32a‧‧‧移動單元

32b‧‧‧桿

33‧‧‧按壓輥

33a‧‧‧旋轉軸

33b‧‧‧垂直軸

33z‧‧‧按壓輥的下端

34‧‧‧按壓輥的支撐部

35‧‧‧噴射嘴

36‧‧‧移動限制構件

36a‧‧‧貫通部(貫通孔)

36b‧‧‧限制面

36c‧‧‧凹部

36d‧‧‧回避面

37‧‧‧托架

42‧‧‧按壓用框架(按壓頭支撐框架)

136、236‧‧‧複數個時的限制片

136a、236a‧‧‧貫通部

42‧‧‧按壓用框架

50‧‧‧搬出單元

50a‧‧‧搬出頭

51‧‧‧搬出頭本體(保持構件移動機構)

52‧‧‧搬出頭的升降部(保持構件移動 機構)

53‧‧‧吸盤(保持構件)

60‧‧‧保持頭支撐部

60x‧‧‧搬出用框架

71‧‧‧雷射光感測器

71a‧‧‧雷射光照射部

71b‧‧‧雷射光受光部

80‧‧‧基板收納托盤(基板收納部)

81‧‧‧碎屑回收部

81a‧‧‧碎屑回收箱

81b‧‧‧台車

82‧‧‧清掃單元

82a‧‧‧清掃單元的引導構件

82b‧‧‧清掃單元的升降部

83‧‧‧清掃用刷子

84‧‧‧吸引噴嘴

M、M0~M2‧‧‧玻璃板(基板素材)

Ms‧‧‧矩形區域

L、Lx、Lx1、Lx2、

Lxm、Ly、Ly1、

Ly2、Ly3、Lym‧‧‧刻劃線

Me1‧‧‧玻璃板的搬送方向上游側的外周緣

Me2‧‧‧玻璃板的搬送方向下游側的外周緣

Me3‧‧‧玻璃板的在搬送方向延伸的外周緣

F‧‧‧框體

S‧‧‧基板(切斷玻璃板)

S1‧‧‧基板

Q‧‧‧基板及框體的周緣

R0~R10‧‧‧切割開始位置

E1‧‧‧按壓輥的可移動範圍

E2‧‧‧吸盤的可移動範圍

E3‧‧‧可移動範圍

F1‧‧‧切斷作業區域

F2‧‧‧搬出作業區域

F3x、F3y‧‧‧按壓輥的按壓作業區域

T‧‧‧玻璃板搬送動作

T1‧‧‧玻璃板搬入動作

T2‧‧‧間歇搬送動作(玻璃板搬送動作)

t1‧‧‧搬送步驟

t2‧‧‧搬送停止步驟

C‧‧‧位置檢測動作

C1‧‧‧搬入位置檢測動作

C2‧‧‧現在位置檢測動作

D‧‧‧切斷動作

D1‧‧‧對X方向刻劃線的切斷動作

D2‧‧‧對Y方向刻劃線的切斷動作

d1‧‧‧切斷步驟(按壓輥轉動步驟)

d2‧‧‧按壓輥移動步驟(按壓構件移動步驟)

H‧‧‧搬出動作(切斷玻璃板搬出動作)

H1‧‧‧搬出切斷作業區域的基板的基板搬出動作

H2‧‧‧搬出移動到搬出作業區域的基板的基板搬出動作

h1‧‧‧基板吸附步驟(切斷玻璃板保持步驟、基板保持步驟)

h2‧‧‧基板搬出步驟(切斷玻璃板搬出步驟、後退步驟)

h3‧‧‧吸盤進出步驟(接收步驟、進出步驟)

V‧‧‧按壓輥的滾動移動方向

X方向‧‧‧搬送方向

Y方向‧‧‧與X方向正交的水平方向距離

X2‧‧‧搬送方向

Xa‧‧‧搬送方向上游側

XbZa‧‧‧按壓方向

Zb‧‧‧上方(與按壓方向相反方向)

圖1係顯示實施例1的玻璃板切斷裝置的俯視圖。

圖2係顯示圖1所示的玻璃板切斷裝置的前視圖。

圖3係顯示圖1所示的玻璃板切斷裝置的動作途中的狀態的俯視圖。

圖4係顯示玻璃板切斷裝置的按壓輥的立體圖。

圖5係用以說明按壓輥的動作的說明用立體圖。

圖6係概略地顯示實施例的玻璃板切斷裝置中之各動作的各步驟的動作時序的時序圖。

圖7係顯示實施例1的玻璃板切斷裝置中之各動作的各步驟的動作時序的時序圖。

圖8係顯示實施例2的玻璃板切斷裝置中之各動作的各步驟的動作時序的時序圖。

圖9係顯示實施例3的玻璃板切斷裝置的按壓單元及搬出單元的構造的示意圖。

圖10係顯示具備移動限制構件的按壓單元的實施方式的部分剖面的側視圖。

圖11係顯示圖10所示的按壓單元的A-A剖面的俯視剖面圖。圖12係用以說明切斷步驟中之移動限制構件的作用的說明圖。

圖13係顯示移動限制構件為複數個時的具體例之移動限制構件的俯視圖。

其次，使用附圖對本發明的玻璃板切斷裝置的實施例進行說明。

【實施例1】

玻璃板切斷裝置1係製造切斷大片的玻璃板(基板素材)M(M0、M1、M2)而得到的基板(切斷玻璃板)S的裝置(參照圖1)。

本實施例中的切斷對象的玻璃板M係如圖1所示為矩形，並且在被搬入到玻璃板切斷裝置1之前，預先形成有刻劃線L(Lx、Ly)。此外，刻劃線L係指特定玻璃板M的切斷位置並且為容易切斷的線狀的切痕，例如利用加工、切斷用刀具或雷射光所形成。

在刻劃線L中具有：與朝玻璃板M的搬送方向X延伸的外周緣平行的複數條X方向刻劃線Lx及和朝與X方向正交的水平方向Y延伸的外周緣平行的複數條Y方向刻劃線Ly。亦即，刻劃線L係形成為格子狀，在玻璃板M上形成有被刻劃線包圍的複數個矩形區域Ms。

如圖1及圖2所示，玻璃板切斷裝置1係具備：裝置支撐框架10，支撐整個裝置；搬送單元20，設置於裝置支撐框架10上；按壓單元30；以及搬出單元50。

裝置支撐框架10係具備引導構件11，設置於其上表面。該引導構件11係可朝X方向(切斷對象的玻璃板M的搬送方向)移動的狀態下來支撐後述的按壓用框架42及搬出用框架60，且具備朝玻璃板M的搬送方向X延伸的一對導軌11a、11a。一對導軌11a、11a係以夾持搬送單元20的方式配置於搬送單元20的兩側。

搬送單元20係搬送玻璃板M，且具備：帶式輸送機(以下簡稱為輸送機)20a，具有環狀(endless)的傳送帶21與使傳送帶21動作的一對旋轉輥22、22；馬達(驅動源)23，使傳送帶21作動；以及傳動帶24，將馬達23的旋轉傳遞給一方的旋轉輥22。

各旋轉輥22係被設置成可繞著朝與搬送方向X正交的水平方向Y延伸的旋轉軸旋轉。亦即，傳送帶21的搬送面 21a(朝上側的外表面)係可朝搬送方向X移動。又，當使馬達23作動而使傳送帶21的搬送面21a朝後述的托盤80(基板收納部、搬出目的地)移動時，傳送帶21上的載置物(例如玻璃板M)係被朝搬送方向下游側的方向Xa搬送。

此外，在搬送單元20的搬送方向上游側中設置有未圖示的上游側帶式輸送機。該上游側帶式輸送機係用於朝輸送機20a搬入玻璃板M，與搬送單元20同步動作。因此，在後述的動作說明中省略其詳細動作說明。又，也可以取代上游側帶式輸送機而配置多關節機器人，利用多關節機器人將玻璃板M搬入到搬送單元20。

按壓單元30係用以對玻璃板M施加按壓力並沿著刻劃線L切斷玻璃板M，且配置於傳送帶21的上方。接著，按壓單元30係具備：按壓頭30a，具備後述的按壓輥33(按壓構件)；按壓用框架(按壓頭支撐框架)42，可移動地支撐按壓頭30a。

按壓用框架42為門形的構件，可沿著一對導軌11a、11a在X方向移動。此外，按壓頭本體31的可移動範圍E1如圖2所示。亦即，按壓頭本體31係可在後退界限位置(參照圖2的按壓頭本體31的位置)與較後退界限位置還靠近作為搬送方向下游側Xa的進出界限位置之間移動。

按壓頭30a係具有：按壓頭本體31，相對於按壓用框架42朝Y方向移動被設置；按壓頭的升降部32，相對於按壓 頭本體31可升降地被設置；以及被安裝於該升降部32的按壓輥33及噴射噴嘴35(參照圖4)。因此，當使按壓頭30a的升降部32下降時，按壓輥33及噴射噴嘴35下降，朝傳送帶21接近移動。

按壓輥33係如圖4所示，利用下降而按壓於輸送機20a上所載置的玻璃板M，且樞軸方式地支撐朝水平方向延伸的旋轉軸33a。該旋轉軸33a的支撐部34係以可繞著垂直軸33b旋轉的狀態下被安裝於升降部32。因此，按壓輥33係相對於按壓頭本體31可繞著垂直軸旋轉。

在後述的切斷動作D1、D2的切斷步驟d1(參照圖7的區間1或者區間8)中，在將該按壓輥33按壓於輸送機20a上的玻璃板M的狀態下，使該按壓輥33沿著玻璃板M的刻劃線L移動(參照圖5)。藉此，玻璃板M係沿著刻劃線L被切斷而得到基板S。

此外，在以下的說明中，將存在於按壓對象(或者按壓中)的刻劃線L的兩側的刻劃線L(或者玻璃板M的外周緣)所夾持的區域稱為按壓輥33的按壓作業區域F3x、F3y。例如，若圖5所示的刻劃線Lx1為按壓對象時，則玻璃板M的一側(圖5中的右下側)的外周緣Me3與刻劃線Lx2所夾持的區域為按壓輥33的按壓作業區域F3x，若刻劃線Ly2為按壓對象時，則存在於其兩側的刻劃線Ly1、Ly3所夾持的區域為按壓輥33的按壓作業區域F3y。尤其是，在Y方向的刻劃線Ly的切割中，切斷前的玻璃板M(或者玻璃板M的未切斷部分)位於按壓作業區域F3y的上游側，且因 切斷所得到的基板S位於按壓作業區域F3y的下游側，因此按壓作業區域F3y係成為劃分玻璃板M的區域與基板S的區域的邊界區域。

噴射噴嘴35係朝按壓輥33的外周面噴吹空氣。藉此，能夠去除在按壓輥33中按壓於玻璃板M的外周面上所附著的灰塵等異物。

搬出單元50係搬出輸送機20a上的基板S，且被配置成相鄰接於傳送帶21的搬送方向下游側。接著，搬出單元50係具備：搬出頭50a，具備後述的吸盤(保持構件)53；以及搬出用框架(保持頭支撐部)60，可移動地支撐搬出頭50a。

搬出用框架(保持構件移動機構)60係設置於一對導軌11a、11a上的門形構件，且沿著引導構件11朝X方向移動。

搬出頭50a係具備：搬出頭本體(保持構件移動機構)51，相對於搬出用框架60朝Y方向上移動地被設置；搬出頭50a的升降部52(保持構件移動機構)，相對於搬出頭本體51可升降地被設置；以及吸盤53，安裝於該升降部52。因此，當使搬出頭50a的升降部52下降時，吸盤53下降，且朝傳送帶21接近移動。

吸盤53係利用下降而按壓於輸送機20a上的基板S，並利用吸附來保持按壓目的地的基板S。

此外，吸盤53的可移動範圍E2如圖2所示。亦即，吸 盤53係可在後退界限位置(參照圖2的吸盤53的位置)與較後退界限位置還靠近作為搬送方向上游側Xb的進出界限位置之間移動。如果僅搬出搬出作業區域F2的基板S而不從切斷作業區域F1搬出基板S，則吸盤53也可以在可移動範圍E3內移動。

玻璃板切斷裝置1係進一步具備：玻璃板M的位置檢測單元(位置檢測構件)；基板收納托盤(基板收納部)80，設置於裝置支撐框架10；碎屑回收部81；清掃單元82；以及控制器(未圖示)，控制玻璃板切斷裝置1的動作。

位置檢測單元係取得搬入到輸送機20a的玻璃板M的位置特定用資料，且具備雷射光感測器71，該雷射光感測器71係具備有配置於導軌11a的玻璃板M的搬入側端部的透射式雷射光照射部71a與受光部71b。雷射光感測器71的光軸係根據所通過的玻璃板M的高度而決定並朝Y方向。因此，玻璃板M朝帶式輸送機20a被搬入時，藉由遮擋透射光而檢測用於輸送機20a上的玻璃板M的特定位置的資料。

檢測到的資料係被發送給控制器，根據該資料計算出玻璃板M的Y方向的外周緣Me1、Me2的位置。計算出的外周緣Me1、Me2的位置資訊係被記錄於控制器的記錄部。此外，被搬入到帶式輸送機20a的玻璃板M係以未圖示的推動器(pusher)等夾持，在修正XY方向的偏移的狀態下被搬入。

基板收納托盤(以下簡稱為托盤)80係設置於與輸送機20a的搬送方向下游側相鄰接的位置。因切斷而得到的輸送機20a上的基板S係藉由搬出頭50a載置於托盤80，並被搬出。

碎屑回收部81係用以回收玻璃板切斷時所產生的玻璃的碎屑等異物，設置於輸送機20a的搬送方向下游側端部的下方的回收時位置。碎屑回收部81係具備：碎屑回收箱81a，上端具有開口部；以及台車81b，可裝卸自如地設置碎屑回收箱81a。因此，在將碎屑回收部81設置於回收時位置的狀態下，使玻璃板切斷裝置1作動時，傳送帶21的上側面(搬送面)係在搬送方向下游側的端部迴繞輸送機20a的下側時，傳送帶21上的碎屑係從搬送面21a掉落到碎屑回收箱81a內而被回收。因此，可有效率地回收碎屑。又，對於每個台車81b，碎屑回收箱81a都能從回收時位置拉出到裝置支撐框架10的外側的取出位置。因此，回收到碎屑回收箱81a的碎屑的處理也很容易。

清掃單元82係去除附著於傳送帶21的外表面的灰塵等異物，且具備：清掃單元的引導構件82a，被設置於裝置支撐框架10；清掃單元的升降部82b，相對於引導構件82a可升降地被設置；設置於該升降部82b的清掃用刷子83及吸引噴嘴84；以及刷子旋轉用旋轉機構及噴嘴吸引用吸引泵(皆 為未圖示)。

清掃用刷子83的外觀為圓筒形狀，具備有從其中心朝外側以放射狀延伸的刷毛，以能夠繞朝Y方向延伸的軸旋轉的狀態被軸支撐。

又，引導構件82a係在朝鉛垂方向延伸的狀態被設置。接著，升降部82b係可沿著該引導構件82a在清掃時位置(參照圖2的二點鏈線的位置)與避開位置(參照圖2的實線的位置)之間升降，該清掃時位置係清掃用刷子83的外周與朝傳送帶21的下側的表面(下表面)抵接，該避開位置係清掃用刷子83的外周部從傳送帶21的表面離開。因此，當在升降部82b位於清掃時位置的狀態下使清掃用刷子83旋轉時，傳送帶21的表面被清掃。

吸引噴嘴84係在其前端具有狹縫形狀的開口部，以使該開口部與圓筒形狀的清掃用刷子83的外周部相鄰接的狀態下被設置。將該吸引噴嘴84設為吸引狀態時，藉由清掃用刷子83從傳送帶21的表面所去除的灰塵等異物係被吸引噴嘴84吸引。

如果是此種清掃單元82，則總是能夠將輸送機20a的傳送帶21的表面維持在清潔狀態，且可確實防止去除的灰塵等異物飛散。

控制器(未圖示)係具備運算手段(CPU；central processing unit)、與記錄謀體(RAM；random access memory及ROM；read only memory)等的周知構件。接著，在記 錄謀體中確保有：記錄部，控制程式；基本資訊記錄部，記錄有預先記錄的資訊；以及檢測資訊記錄部，記錄檢測資料以及根據該檢測資料計算出的檢測資訊等。控制器係根據這些記錄資訊控制玻璃板切斷裝置1的動作。

預先記錄的資訊係指例如被搬入的玻璃板M的大小或形狀(包括預先形成的各刻劃線Lx、Ly的位置)相關的資訊、基準搬入位置資訊、刻劃線位置資訊。

此外，基準搬入位置資訊係指玻璃板M的最佳搬入位置相關的資料。在本實施例中，最佳搬入位置亦即顯示玻璃板的四角位置的位置資料，該最佳搬入位置係在玻璃板M被搬入而最初呈停止的切斷作業開始時成為基準的位置。該四角位置係顯示玻璃板M相對於裝置支撐框架10的相對位置關係的位置資料。

又，刻劃線位置資訊係指在被搬入的玻璃板M上形成的刻劃線Lx、Ly的位置相關的位置資料。各刻劃線的位置係根據前述切斷作業開始前之作為基準的玻璃板M為基準的刻劃線基準位置，例如事先教示(enlighten)在玻璃板M的哪個位置形成有刻劃線而得到的位置資料(絕對值)。因此，根據刻劃線位置資訊的刻劃線絕對值、根據基準搬入位置資訊的玻璃板M相對於裝置支撐框架10的相對位置關係，藉此得到處於切斷作業開始時的玻璃板M的實際的切斷位置資訊。

檢測資料係指例如除了由雷射光感測器71所檢測的玻璃板M的外周緣Me1、Me2的搬送方向X的位置資料之外， 還有由在玻璃板切斷裝置的各個部位所設置的感測器檢所測出的資料。例如，由安裝於旋轉輥22上的編碼器所檢測的傳送帶21的傳送量(搬送距離)、由設置於按壓頭30a的升降部32上的感測器所檢測出的按壓輥33的升降狀態、由設置於搬出頭50a的升降部52上的感測器所檢測出的升降部52的吸盤53的升降狀態、由設置於搬出用框架60上的感測器所檢測出的搬出用框架60的搬送方向X的位置資料。這些資料係被從各感測器隨時輸出的資料隨時更新。

又，檢測資訊係指使用這些檢測資料與記錄於記錄部的其它資料而算出的資訊。例如，可以列舉出輸送機的動作狀態(停止狀態)、實際的玻璃板M的位置資訊(包括實際的刻劃線L的位置資訊)、基板S的搬出狀態(下一個搬出基板的位置資訊)、按壓輥的位置資訊、吸盤的位置資訊等。

其次，說明關於以實施例的玻璃板切斷裝置1進行的玻璃板切斷方法。

本實施例的玻璃板切斷方法係概略地如圖6所示，具有：利用輸送機20a進行玻璃板搬送動作T；利用按壓頭30a進行玻璃板M的切斷動作D；利用搬出頭50a進行切斷後的基板S的搬出動作H；以及利用清掃用刷子83進行傳送帶清掃動作，進一步具有被搬入的玻璃板M的位置檢測動作C(參照圖7、8)。

接著，以預定時序執行構成各動作的步驟，藉此切斷 玻璃板M而形成基板S，並將所形成的基板S搬出到搬出目的地。

亦即，輸送機20a係在運轉中(動作接通(ON)時)，以預定時序搬送玻璃板M。作為執行搬送的時序，存在有運轉中(動作接通時)連續執行的情況與運轉中斷斷續續地(間歇地)執行的情況。利用輸送機的搬送，以最初的玻璃板M0、下一個玻璃板M1、再下一個玻璃板M2的順序依序搬送玻璃板M。

按壓頭30a在運轉中(動作接通時)，以預定時序切斷玻璃板M。切斷執行時序係指輸送機20a搬送停止時。輸送機20a的搬送停止狀態係指：運轉中(動作接通)的輸送機20a處於搬送停止中(例如圖8的區間1、3、5等)、與輸送機20a處於運轉停止中(動作斷開(OFF)時：例如圖7的區間1至8等)。圖6係顯示：在輸送機20a處於運轉停止狀態(動作斷開)的時序，按壓頭30a成為運轉狀態(動作接通)的例子(參照玻璃板M0的切斷開始時)。又，在該例子中，在按壓頭30a的運轉中(動作接通時：詳細為後述的按壓輥移動步驟d2時)輸送機20a成為運轉狀態(動作接通)，在前述預定時序將玻璃板M僅搬送其搬送方向長度的一半的距離。

搬出頭50a係在運轉中(動作接通時)，以預定時序吸附基板S並從輸送機20a上搬出。執行吸附的時序係例如在按壓輥33的按壓作業區域F3y(參照圖5)的搬送方向下游 側存在基板S的狀態，係運轉中(動作接通)的輸送機20a處於搬送停止狀態時。圖6係顯示下述具體例：在切斷中的玻璃板M的搬送方向下游側一半的切斷結束的時序(下游側一半存在於按壓作業區域F3y的搬送方向下游側的狀態下的時序)來開始進行從切斷中的玻璃板M0所得到的基板S的搬出(參照玻璃板M0前半段的搬出開始時)。又，在該例子中，在前一個玻璃板M0的切斷結束後開始下一個玻璃板M1的切斷的時序，開始玻璃板M0後半段的基板S的搬出。

清掃用刷子83係在運轉中(動作接通時)，以預定時序對輸送機表面(搬送面的背面)進行清掃。執行清掃的時序係圖6中輸送機20a處於運轉中(動作接通時)。

接下來，對此種各動作進行詳細說明。

玻璃板搬送動作T係將搬送單元20的輸送機20a上的玻璃板M0(M)朝搬送方向Xa進行搬送的動作，根據動作時期，稱為玻璃板搬入動作T1(參照圖7)、或者間歇搬送動作T2(參照圖8)。各玻璃板搬送動作T1、T2都具有：搬送步驟t1(參照圖7的區間9、圖8的區間2)、以及搬送停止的搬送停止步驟t2(參照圖7的區間10、圖8的區間3)。

搬送步驟t1係旋轉輥22進行作動而使輸送機20a上的玻璃板M0朝搬送方向Xa移動的步驟。搬送步驟t1係在按壓 輥33及吸盤53未與輸送機20a上的玻璃板M0或基板S接觸時被執行的。因此，例如在對玻璃板M0的後述的切斷步驟d1結束、或者因吸盤53後述的搬出步驟h2被開始時，可以執行搬送步驟t1。又，搬送步驟t1中之搬送距離係由輸送機20a的搬送速度與動作時間決定。

此外，在搬送步驟t1中，搬送動作中的傳送帶21的上側面(搬送面)21a到達搬送方向下游側的端部時，迴繞於輸送機20a的下側。此時，搬送面21a上的碎屑等異物朝碎屑回收箱81a掉落而被回收。

在搬送停止步驟t2中，旋轉輥22被停止且玻璃板M0的搬送被停止。

在玻璃板搬入動作T1(參照圖7的區間9)中，將從搬送單元20的搬送方向上游側所送來的玻璃板M0搬入到輸送機20a上的切斷作業區域F1的搬入位置(圖1的玻璃板M0的位置)。藉由該動作，從搬送方向上游側的前一個步驟所搬送來的玻璃板M0被搬入到輸送機20a上。此外，在玻璃板被搬入時，雷射光感測器71係檢測通過感測器位置的玻璃板M0。輸送機20a係從檢測出玻璃板M0的後端緣Me2(或者前端緣Me1)的時序經過了預定時間後停止(搬送停止步驟t2)，使玻璃板M0停止於輸送機20a上的基準位置。此外，到停止為止的時間係根據輸送機20a的動作條件預先計算出。

接著，當後續的玻璃板M1被搬入到搬入位置時，處於 切斷作業區域F1的基板S(切斷玻璃板M0而得到的基板)被移動到搬出作業區域F2(參照圖3)。

在間歇搬送動作T2中，將被搬入到搬入位置的玻璃板M0進一步朝搬送方向Xa搬送。藉由該動作，在切斷步驟d1之間的按壓輥移動步驟d2中能夠搬送玻璃板(例如，參照在圖8的區間4執行的搬送步驟t1)。

位置檢測動作C係檢測玻璃板M或切斷後的基板S的位置的動作，根據動作時期，稱為搬入位置檢測動作C1(參照圖7的區間10)、或者現在位置檢測動作C2(參照圖7的區間1)。

在搬入位置檢測動作C1中，檢測玻璃板搬入動作T1時輸送機20a上的玻璃板M的位置。搬入位置檢測動作C1係具有：玻璃板搬入位置的檢測處理、以及刻劃線位置的運算處理(更新處理)。

在玻璃板搬入位置的檢測處理中，以雷射光感測器71檢測玻璃板M的後端緣Me1(或者前端緣Me2)的搬入資訊。控制器係得到該檢測資訊時，根據輸送機20a的搬送速度及經過時間、驅動輸送機20a的旋轉輥22的編碼器資訊及事先被教示的玻璃板M的尺寸，計算出玻璃板M的實際位置資訊，且驅動輸送機20a直到玻璃板M到達預定的停止位置。接著，在玻璃板M到達前述停止位置並停止輸送機20a的驅動後，將其停止位置記錄到檢測資訊記錄部。同時， 讀取事先被教示的刻劃線的位置資訊。

在現在位置檢測動作C2中，檢測藉由間歇搬送動作T2被搬送而位置發生了變更的玻璃板M的現在位置(隨時位置資訊)(參照實施例2)。該動作係在對玻璃板M的切斷動作D1、D2的切斷步驟d1中(亦即，搬送停止步驟t2中)被執行。此外，現在位置檢測動作C2也具有：玻璃板搬入位置的更新處理、以及刻劃線位置的運算處理(更新處理)。

在玻璃板搬入位置的檢測處理中，根據搬入位置檢測動作C1時所記錄的玻璃板M的位置資訊與輸送機20a的驅動資訊，計算出玻璃板M的實際位置資訊，並記錄在檢測資訊記錄部。接著，同時計算出實際的刻劃線L的位置資訊並記錄在檢測資訊記錄部(刻劃線位置的運算處理(更新處理))。藉此，玻璃板M及刻劃線L的位置資訊被隨時更新。

切斷動作D係沿著刻劃線L切斷玻璃板M的動作，具有對X方向刻劃線Lx的切斷動作D1(參照圖7的區間1、11至16)、以及對Y方向刻劃線Ly的切斷動作D2(參照圖7的區間2至8)。切斷動作D1、D2都具有切斷步驟d1與按壓輥移動步驟d2。

切斷步驟d1係將按壓於玻璃板M的按壓輥33沿著刻劃線L(Lx、Ly)滾動，並將玻璃板M沿著刻劃線L切斷的步 驟。該步驟d1係在搬送停止中被執行。

按壓輥移動步驟d2係使切斷步驟結束後的按壓輥33移動到下一個切斷對象的刻劃線L的切斷開始位置的步驟。例如使結束刻劃線Lx1(或者Ly1，參照圖5)的切斷步驟d1的按壓輥33移動到下一個刻劃線Lx2(或者Ly2)的切斷開始位置的步驟。此外，按壓輥移動步驟d2係更詳細而言包含以下的動作。亦即，使按壓輥33從玻璃板M離開之動作、使按壓輥33移動到下一個切斷步驟開始位置之動作、使按壓輥33繞著垂直軸33b旋轉而使得按壓輥33的滾動方向與下一個切斷對象的刻劃線L(Lx2或Ly2)的方向一致之動作，將按壓輥33按壓於切斷步驟開始位置之動作。

此外，在本實施例的切斷動作D中，首先，先進行對X方向刻劃線Lx的切斷動作D1，之後進行Y方向刻劃線Ly的切斷動作D2。

接著，對複數條X方向刻劃線Lx的切斷動作D1中之最初的切斷步驟d1係對朝搬送方向X的最右側、或者最左側的X方向刻劃線Lx的任意一者被執行。在開始切斷動作D1的時間點選擇靠近按壓輥33的刻劃線。之後，以對與結束切斷的X方向刻劃線Lx1相鄰接的刻劃線Lx2進行下一個切斷步驟d1的方式依序對相鄰接的切斷前的X方向刻劃線Lx執行切斷。

又，對複數條Y方向刻劃線Ly的切斷動作D2係以以下的順序被執行。首先，對位於搬送方向X的最下游側的Y方 向刻劃線Ly1(參照圖5)執行切斷步驟d1。之後，對與結束切斷的Y方向刻劃線Ly1的上游側相鄰接的刻劃線Ly2進行切斷步驟d1。如此，依序對位於上游側位置的Y方向刻劃線Ly執行切斷。

搬出動作H係將切斷後的基板S搬出到托盤80的動作，根據動作時期，被稱為基板搬出動作H1(參照圖7的區間4至9)、或者基板搬出動作H2(參照圖7的區間10至15)。

各基板搬出動作H1、H2都具有：基板吸附步驟h1(切斷玻璃板保持步驟、基板保持步驟)；將所吸附的基板S搬運且移載到搬出目的地的基板搬出步驟h2(切斷玻璃板搬出步驟、後退步驟)；以及使移載後的吸盤53移動到下一個要搬出的基板S的位置的吸盤進出步驟h3(接收步驟、進出步驟)。

基板吸附步驟h1係使吸盤53朝位於輸送機20a上的搬出對象的基板S1下降，並使吸盤53吸附基板S1的步驟。藉此，基板S1係被吸盤53保持。此外，在此被保持的基板S係一直被保持到下一個基板搬出步驟h2的最後，最終被搬出到托盤80。換而言之，在基板吸附步驟h1到基板搬出步驟h2之間，基板S的吸附接通。又，利用吸盤53的基板S1的吸附位置係對應於預先被教示的切割面量。

基板搬出步驟h2係使吸附基板S1的吸盤53上升，並且 移動到托盤(搬出目的地)80的位置的步驟。之後，解除基板S1的吸附狀態，基板S係被移載到收納托盤80上。藉此基板S1的搬出結束。

吸盤進出步驟h3係使搬出基板S1後的吸盤53移動到下一個搬出對象的基板S2的上方位置的步驟。

在基板搬出動作H1中，將位於比切斷作業區域F1(參照圖1)亦即按壓輥33的按壓作業區域F3y(參照圖5)還靠近搬送方向下游側的基板S搬出。此外，為了優先搬出動作來進行切斷動作，在切斷最先的玻璃板M0時，延遲開始搬出動作。

在基板搬出動作H2中，將被移動到搬出作業區域F2(參照圖1)的基板S搬出到搬出目的地。

傳送帶清掃動作係具有：清掃用升降部82b的升降；清掃用刷子83的旋轉；清掃用刷子83的旋轉停止；吸引噴嘴84的吸引；以及吸引的停止等動作。在本實施例中，當玻璃板切斷裝置1的運轉開始時，清掃用升降部82b上升且清掃用刷子83位於清掃時位置，同時執行清掃用刷子83的旋轉動作與吸引噴嘴84的吸引動作。藉此，藉由清掃用刷子83與吸引噴嘴84能夠清掃傳送帶21。又，當玻璃板切斷裝置1的運轉結束時，清掃用升降部82b下降，同時執行清掃用刷子83的旋轉停止動作與吸引的停止動作。

接下來，關於本發明之玻璃板切斷方法的一例(第1實施例)，參照圖7加以說明動作流程。

在此，關於最初被搬入到輸送機20a的玻璃板M0，以在對所有X方向刻劃線Lx的切斷動作D1結束、對最初的Y方向刻劃線Ly的切斷動作D2的切斷步驟d1開始的狀態(圖5中按壓輥33位於輥位置R4的狀態)為基準進行說明。

按壓輥33係在對Y方向的切斷動作D2的切斷步驟d1開始時(參照圖7的區間3)，沿著Y方向刻劃線Ly1從開始位置R4(參照圖5)滾動移動到結束位置R5(參照圖5)。藉此，玻璃板M0係沿著Y方向刻劃線Ly1被切斷。

為了在切斷步驟d1結束時，使按壓輥33移動到下一個切斷對象的Y方向刻劃線的切斷開始位置(在此為左側端部的位置R8)，而執行按壓輥移動步驟d2(參照區間4)。藉此，按壓輥33經由位置R6、R7移動到切斷開始位置R8。

按壓輥移動步驟d2結束時，開始對下一個切斷對象的Y方向刻劃線Ly2的切斷步驟d1(參照區間5)。

在本實施例中，反覆執行由此種步驟所構成的切斷動作D2，直到對所有Y方向刻劃線Ly的切斷動作結束。在本發明中，X方向刻劃線Lx、Y方向刻劃線Ly的切斷動作都從玻璃板M0的搬送方向前頭側實施。該切斷法係效率高，適於量產。

然而，在本實施例中，與上述切斷動作D2並行地執行 基板搬出動作H1(參照圖7的區間4至9)。首先，為了使吸盤53移動到搬出對象的基板S的上方位置，而開始吸盤進出步驟h3(參照區間4至5)。

此外，在最先的玻璃板M0的情況下，使步驟h3的開始呈待機狀態，並使吸盤53停止在近前的位置(參照區間1至4)，直到使吸盤53成為能夠位於基板S1(參照圖5)的上方的狀態。之後，待機理由消除時，結束吸盤進出步驟h3的執行，吸盤53成為位於搬出對象的基板S1的上方的狀態。此外，也可以待機到基板S1被移動到搬出作業區域F2。

當吸盤進出步驟h3結束時，接下來，執行基板吸附步驟h1(參照區間5)，以便由吸盤53保持搬出對象的基板S1。在本實施例中，在切斷步驟中以吸盤53吸附基板S1，因此能夠迅速地執行基板搬出。

接下來，在吸附保持基板S的狀態下，執行基板搬出步驟h2(參照區間5)，將基板S移載到托盤80。

繼而，為了使吸盤53移動到下一個搬出對象的基板S2的搬出上方，而開始執行最初所說明的吸盤進出步驟h3(參照區間5)。

在本實施例中，與切斷動作並行地反覆執行此種搬出動作的各步驟，直到對所有Y方向刻劃線Ly的切斷動作結束。

接著，當按壓輥33到達對最後的切斷對象的Y方向刻劃線Lym(參照圖5)的切斷步驟d1(參照區間8)的結束 位置R9時，在將按壓輥33從玻璃板M0離開後，切斷動作D2結束(參照區間8)。在此時間點，對所有Y方向刻劃線Ly的切斷動作D2結束，對作為切斷對象的玻璃板M0的所有切斷動作D1、D2結束。

當玻璃板M0的切斷結束時，將下一個切斷對象的玻璃板M1搬入到搬入位置(參照玻璃板搬入動作T1的搬送步驟t1、區間9)。根據該動作，藉由玻璃板M0的切斷而得到的基板S被移動到搬出作業區域F2(參照圖1)，新的玻璃板M1被搬入到搬入位置(參照圖3)。此時，利用雷射光感測器71檢測玻璃板M1的位置資訊。又，被搬送到搬出作業區域F2的各基板S的搬送方向X的位置係根據後續的玻璃板M1的位置(亦即，前端緣Me1或者後端緣Me2的位置)與輸送機20a的搬送距離被計算出的。

接著，當新的玻璃板M1被搬入時，執行搬送停止步驟，且執行玻璃板的搬入位置檢測動作C1(參照區間10)。

然而，當玻璃板M1的搬入動作T1的搬送步驟t1開始時，基板搬出動作H1係暫時中斷(參照區間9)。此外，到搬送步驟t1的開始時間點之前，如果存在由吸盤53吸附的基板S，則執行基板搬出步驟h2，在將該基板S移載到托盤80後，結束動作。

接著，當後續的玻璃板M1的搬入結束時，位於切斷作業區域F1的基板S成為被移動到搬出作業區域F2的狀態 (參照圖3)，因此，對移動到搬出作業區域F2的基板S，再次開始基板搬出動作H2(參照區間10)。在該基板搬出動作H2被實施的期間，對被搬入到切斷作業區域F1的後續的玻璃板M1執行切斷動作D。

然後，當基板搬出動作H2結束時(參照區間15)，接著，開始從玻璃板M1切斷的基板S的基板搬出動作H1(參照區間19)。然而，如果在比按壓輥的切斷按壓作業區域F3y(參照圖5)還靠近搬送方向下游側不存在基板S，則等待達到存在基板S的狀態，之後開始基板S的基板搬出動作H1。此外，在此執行的基板搬出動作H1係與之前說明的搬出動作H1一樣，因此，在此省略說明。

又，當搬入位置檢測動作C1(參照區間10)結束，新搬入的玻璃板M1的搬入位置被特定時，執行切斷動作D1的按壓輥移動步驟d2(參照區間11)。在該步驟中，將按壓輥33按壓於作為屬於最初的切斷對象的X方向刻劃線Lx的搬送方向上游側端部的切斷開始位置R10(=R0、參照圖5)。此外，最初的切斷對象係在搬入結束後的切斷動作開始的時間點靠近按壓輥33的位置，且朝搬送方向的最前列的X方向刻劃線Lx。

然後，接著執行切斷步驟d1(參照區間12)。

此外，在此執行的切斷動作D1係只是切斷對象不同，動作本身與之前說明的切斷動作D2一樣，因此，在此省略說明。

然後，當對最後的X方向刻劃線Lxm的切斷步驟d1(參照區間16)結束時，達到按壓輥位於結束位置R1(參照圖5)的狀態，因此，之後執行按壓輥移動步驟d2(參照區間17)。藉此，使按壓輥33經由途中的位置R2、R3而移動到玻璃板M1的最初的Y方向刻劃線Ly1的切斷開始位置R4。接著，之後執行對Y方向刻劃線Ly的切斷動作D2(參照區間17及其之後的區間)。關於該動作，之前已經進行說明，因此省略其說明。

【實施例2】

其次，對玻璃板切斷裝置執行的其它切斷方法進行說明。

本實施例的切斷方法係與實施例1中說明的切斷動作D1、D2並行地執行間歇搬送動作T2的方法。更具體地進行說明，在本實施例中，在切斷動作D1、D2的按壓輥移動步驟d2中，與該步驟d2並行地執行搬送玻璃板M的搬送步驟t1(例如，參照圖8的區間2、4、6)。

此外，本實施例的玻璃板切斷裝置係與實施例1的裝置一樣，又，本實施例切斷方法除了執行間歇搬送動作T2以外，與實施例1一樣，因此省略這些的詳細說明。

本實施例的情況下，當開始按壓輥移動步驟d2(參照圖8的區間2)，而成為按壓輥33從玻璃板M0離開的狀態 時，與該步驟d2並行地執行搬送步驟t1(參照區間2)。然後，每當實施搬送步驟t1時，就更新玻璃板M0(從玻璃板M0所切斷的基板S)、M1的位置資訊。之後進行切斷步驟d1等各步驟是根據更新後的位置資訊被執行的。

如果是按壓輥33(以及吸盤53)未與玻璃板M0接觸的狀態，則能夠以按壓輥33不會損傷玻璃板M0的狀態來搬送輸送機20a上的玻璃板M0。又，如果能夠並行實施切斷動作D1、D2與搬送動作T2，則切斷玻璃板M0並搬出基板S的作業效率(產量)提高。

接著，間歇搬送動作T2的搬送步驟t1係在切斷步驟d1開始之前(按壓輥移動步驟結束時)停止(搬送停止步驟、參照區間3)。

在本實施例中，與切斷動作並行地反覆執行此種間歇搬送動作的各步驟，直到對所有的Y方向刻劃線Ly的切斷動作結束。

又，當對玻璃板M1的X方向刻劃線Lx的切斷動作D1開始時(參照區間11)，與對之前的玻璃板M0的Y方向刻劃線Ly的切斷動作時一樣，與切斷動作D1並行地執行玻璃板M1的搬送動作T2(間歇搬送)。具體而言，與切斷動作D1的按壓輥移動步驟d2並行地執行搬送步驟t1(參照區間13)。關於間歇搬送動作T2，之前已經進行了說明，因此在此省略說明。藉此，在切斷動作中也能夠漸漸地搬送玻璃板M1，從而切斷玻璃板M0並搬出基板S的作業效率得以 提高。

此外，因間歇搬送動作T2的搬送步驟t1的玻璃板M的搬送方向Xa的搬送距離雖然被適當地定義，然而，例如在使按壓輥33從位置R6(參照圖5)朝位置R8移動時，如果將玻璃板僅搬送預定距離X1，則按壓輥的搬送方向X的移動距離相應地縮短，切斷玻璃板M0的切斷動作效率得以提高。尤其是，如果間歇搬送動作T2的搬送步驟t1中的玻璃板M的搬送距離與基板S的搬送方向長度為相同的距離X2(參照圖5)，則能夠將按壓輥33的移動距離縮短到極短，能夠縮短按壓輥移動步驟d2的製成時間(tact time)等，玻璃板M0的切斷動作效率進一步得到提高。

【實施例3】

接下來，對本發明之玻璃板切斷裝置進一步說明其它實施例。

本實施例的玻璃板切斷裝置係如圖9所示，在實施例1的裝置所具備的一對導軌11a的外側進一步具備有另一對導軌(未圖示)。按壓用框架42x係能夠沿著一對導軌11a、11a朝X方向移動，搬出用框架60x係能夠沿著另一對導軌朝X方向移動。接著，搬出用框架60x係以能夠跨越按壓用框架42x，進而跨越整個按壓單元30x之方式而成大型的框架。

根據此種構造，能夠在構造上防止框架彼此間的干涉，因此只要控制按壓頭30a及搬出頭50a的升降動作即 可。因此，對各框架，能夠進行更迅速的動作，且能夠更迅速地執行切斷動作與搬出動作。

此外，本發明之玻璃板切斷裝置及玻璃板切斷方法並不限定於上述實施例的裝置及方法。在不脫離本發明的主旨的範圍內進行變更而得到的裝置及方法都包含在本發明的範圍內。

例如，實施例的按壓單元30的按壓輥33係能夠繞著垂直軸33b旋轉，以便朝X方向與Y方向，但是也可以朝任意角度，也可以旋轉360度。

又，按壓單元30也可以具備有移動限制構件36，該移動限制構件36係在切斷步驟D1時限制藉由按壓輥(按壓構件)33按壓的玻璃板M朝上方(與按壓的方向Za相反的方向)Zb移動(參照圖10)。此外，在圖10中關於移動限制構件36係顯示圖11的B-B面的剖面。本實施方式中之移動限制構件36係被設置成與玻璃板M之間設有微小間隙，使得與玻璃板M不接觸。

在圖10所示的按壓頭30a的升降部32的下部中，設置有移動限制構件36的移動單元32a。移動單元32a安裝在上下方向進退的桿32b的下端，該移動單元32a上安裝有移動限制構件36。因此，當使桿32b作動而使移動單元32a上下移動時，移動限制構件36上下移動。

移動限制構件36係具備有水平限制面36b的板狀構件，其上表面中央部具備有凹部36c，且在凹部36c的中央部進一步具備有在上下方向上貫通的貫通部(貫通孔)36a。按壓輥33配置成位於貫通部36a的位置。接著，移動限制構件36與按壓輥33係以在按壓輥33的下端33z突出到限制面36b(移動限制構件36)下方的狀態的方式，調整雙方的位置高度。

又，移動限制構件36係覆蓋作為位於按壓輥33的周圍的玻璃板的至少一部分的被覆區域。若具備此種移動限制構件36，則限制受到按壓力的玻璃板與按壓方向相反的方向移動。

此外，在關於玻璃板的移動限制的說明(例如以下的3個段落)中，玻璃板係指雖然是上述的玻璃板M，更具體而言，係指藉由刻劃線L所劃分的玻璃板的矩形區域及藉由切斷而得到的切斷玻璃板S。接著，在以下的3個段落中，將按壓輥33所按壓的玻璃板簡稱為“按壓玻璃板”。

上述「位於按壓構件周圍的玻璃板」係指例如按壓玻璃板及與該按壓玻璃板相鄰接的玻璃板，更具體而言，係指按壓玻璃板及與該按壓玻璃板在輥移動方向的前方及後方相鄰接的玻璃板，再具體而言，係指按壓玻璃板及與該按壓玻璃板的輥移動方向後方相鄰接的玻璃板，再具體地講，僅是按壓玻璃板。

又，被覆區域係指例如從按壓輥33與玻璃板的抵接位 置(按壓位置)的分離距離比按壓玻璃板的輥移動方向長度的一半長度還要短的區域。若覆蓋此種區域，則在滾動按壓輥33來切斷玻璃板時，總是能夠由移動限制構件36覆蓋按壓玻璃板的至少一部分，從而能夠更可確實進行玻璃板的移動限制。

如此，移動限制構件36係包圍由按壓輥33按壓的玻璃板M的按壓位置(由按壓輥33施加按壓力的位置)，且面對玻璃板M的上表面。

根據該構成，能夠縮小用於使按壓輥33突出於下側的貫通部36a的大小，從而能夠將移動限制構件36配置於更接近按壓輥33的位置。例如，本實施方式的貫通部36a(參照圖10及圖11)係按壓輥33的滾動移動方向(以下簡稱為移動方向)V的長度尺寸變得比按壓輥33的直徑還短。此外，在圖11中，關於按壓輥33係顯示平面觀視的狀態，而非剖面。

又，移動限制構件36係具備有與限制面36b的移動方向V的前方及後方相連的回避面36d、36d。回避面36d、36d係從與限制面36b相連的位置朝上方傾斜的上傾傾斜面。

在切斷步驟D1中，如上所述，使按壓輥33沿著刻劃線L滾動移動來將玻璃板M切斷。因此，在玻璃板M的按壓位置(按壓位置的正下方)之周緣部中，存在有基板(切斷玻璃板)S與相鄰接的基板S、S間的框體F(參照圖12)。接著，移動限制構件36係被設置成與玻璃板M的按壓位置 中之至少一部分周緣相面對。此外，在圖12中，以虛線表示刻劃線L，以實線表示藉由切斷所形成的基板S以及框體F的周緣Q。

使用具備上述移動限制構件36的按壓單元30進行切斷動作時，在開始切斷步驟D1之前，預先將移動限制構件36移動到切斷時位置(參照圖10)來執行切斷步驟D1。在此種狀態下執行切斷步驟D1時，當由按壓輥33按壓玻璃板M時，能夠由移動限制構件36覆蓋與玻璃板M的按壓位置(按壓輥33之與玻璃板M的抵接位置)相鄰接的位置。亦即，執行限制玻璃板M朝上方Zb的移動的移動限制步驟。因此，能夠對限制了朝上方Zb移動的狀態下的玻璃板M施加按壓力來切斷玻璃板M。

在未限制玻璃板M朝上方Zb移動的狀態下執行切斷步驟D1時，藉由切斷所形成的框體F有時產生跳動，因為跳動存在有觸碰到周圍的基板S上之虞(參照圖12)。如果框體F發生觸碰，較不理想為需要中斷切斷步驟D1等。

關於此點，如果限制玻璃板M朝上方Zb移動，則可確實防止此種跳動，且防止切斷步驟D1的中斷等所帶來的切斷效率降低。

此外，使移動限制構件36移動到切斷時位置的時期並不限定於上述的時期。又，作為移動限制構件36，也可以如圖10中以雙鏈線所示，設置有噴射嘴35。於此情形時， 在切斷動作時，使從噴射嘴35噴射出的壓縮空氣朝玻璃板M的上表面噴吹，藉此以非接觸的方式對切斷中的玻璃板M進行移動限制。噴射嘴35也可彎曲，以便能夠改變壓縮空氣的噴吹位置，設置的噴射嘴35的數量也可以是複數個。如此，作為移動限制構件，能夠使用噴射嘴35與移動限制構件36兩者或者任意一者。

進而，在使用移動限制構件36的情況下，也可以在切斷步驟開始時使移動限制構件36略微下降而與玻璃板M抵接(直接接觸)來進行移動限制。此時，為了防止移動限制構件36對玻璃板過度施加力，也可以在托架37上安裝彈壓構件。如此，作為移動限制構件36的動作控制，能夠考慮各種動作控制。關於切斷動作，移動限制構件36的移動動作以外的動作係與上述動作相同，因此，在此省略其詳細說明。

又，移動限制構件36係如上所述，只要設置於與按壓輥(按壓構件)33的與玻璃板M的抵接位置相鄰接的位置即可，不限定設置狀態。接著，也不限定移動限制構件36的數量，只要是由一個以上的構件構成即可。亦即，可以如圖13(a)所示，移動限制構件由2個限制片(限制構件)136構成，又，也可以如圖13(b)所示，由4個限制片236構成。

在此，也可以在各限制片上連接水平移動構件，以能夠水平移動的方式設置複數個限制片136、236的一部分或 者全部。根據此種構成，能夠將各限制片136、236在水平面內進行彼此近接分離移動。藉此，能夠控制玻璃板M的移動限制位置與移動限制範圍(覆蓋玻璃板的位置或範圍)，而且還能夠進行調整由限制片136、236的貫通部136a、236a所確保的貫通區域(開口)的大小的控制。亦即，即使改變按壓輥33的大小，只要對準按壓輥33的大小來調整各限制片間的間隙，就能夠以1個移動限制構件36對應複數個尺寸的按壓輥33。又，藉由將各限制片在水平方向上對接來形成貫通孔(開口)36a。此外，各限制片不必一定在水平方向上對接，如圖13(a)及圖13(b)所示，各限制片也可以分離。

此外，作為將複數個限制片136、236能夠在水平面內相互近接分離移動的方法，例如，可以列舉出使用具備有使各限制片136、236水平移動的移動機構(未圖示)的移動單元32a的方法。於此情形時，移動單元32a為移動限制構件136、236的水平移動單元。此外，移動單元32a及桿32b的動作係藉由控制器(未圖示)來控制。

再者，作為傳送帶21也可以在其搬送面側的表面上形成有凹凸形狀。由於使用此種傳送帶可確實防止基板S與傳送帶緊貼，因此更可確實地執行以吸盤53吸附基板S來提升基板S的動作。

接著，作為屬於搬出對象的基板的保持構件，除了吸盤等吸附構件之外，還可以列舉出例如機械手臂等。

又，作為用於特定玻璃板M或刻劃線的位置的資訊，可以使用各種位置資訊。

又，在對玻璃板M的切斷動作D中，也可以先進行對Y方向刻劃線Ly的切斷動作D1，之後進行X方向刻劃線Lx的切斷動作D2。

又，在前述實施例中，按壓單元(按壓輥)的數量及搬出單元(吸盤)的數量都是1個，但是也可以是2個以上(複數個)。

又，上述實施例1、2的裝置係以同時進行作動的按壓單元的框架42與搬出單元的框架60共同使用導軌11a、11a，實施例3的裝置係使按壓用框架42x與搬送用框架60x沿著不同的導軌移動，但是，作為框架支撐構造，可以考慮使用其它懸架(suspension)構造等各種構造。

又，從圖6到圖8的時序圖所示的玻璃板切斷裝置的動作為一個例子，切斷步驟d1中的基板吸附步驟h1的次數等係可考慮各種情況。

1‧‧‧玻璃板切斷裝置

11‧‧‧引導構件

11a‧‧‧導軌

20‧‧‧搬送單元

20a‧‧‧帶式輸送機(輸送機)

21‧‧‧傳送帶

21a‧‧‧搬送面(朝上側的外表面)

30‧‧‧按壓單元

42‧‧‧框架

50‧‧‧搬出單元

60‧‧‧保持頭支撐部

71a‧‧‧雷射光照射部

71b‧‧‧雷射光受光部

80‧‧‧基板收納托盤(基板收納部)

81‧‧‧碎屑回收部

81a‧‧‧碎屑回收箱

F1‧‧‧切斷作業區域

F2‧‧‧搬出作業區域

Lx、Ly‧‧‧刻劃線

M、M0‧‧‧玻璃板(基板素材)

Me1‧‧‧玻璃板的搬送方向上游側的外周緣

Me2‧‧‧玻璃板的搬送方向下游側的外周緣

Ms‧‧‧矩形區域

Xa‧‧‧搬送方向

Xb‧‧‧搬送方向上游側

Claims (20)

1. 一種玻璃板切斷方法，係具有：玻璃板搬入動作，將作為切斷對象且形成有刻劃線的玻璃板搬入到搬送單元的帶式輸送機上的搬入位置；切斷動作，在將施加按壓力的按壓構件按壓在被搬入到搬入位置的前述玻璃板的狀態下，沿著刻劃線移動而切斷該玻璃板；以及切斷玻璃板搬出動作，將藉由切斷而得到的帶式輸送機上的切斷玻璃板搬出到搬出目的地；前述切斷動作係具有：切斷步驟，使前述按壓構件在按壓於前述玻璃板的刻劃線的狀態下沿著刻劃線移動而切斷該玻璃板；以及按壓構件移動步驟，使該切斷動作結束後的前述按壓構件移動到下一個按壓對象的刻劃線的位置；在對任意的刻劃線持續執行前述切斷步驟且朝下一個刻劃線的按壓構件移動步驟中，能夠同時對切斷玻璃板執行切斷玻璃板搬出動作。
2. 如請求項1所記載之玻璃板切斷方法，其中前述切斷玻璃板搬出動作係包括切斷玻璃板保持步驟，該切斷玻璃板保持步驟係藉由用以將前述切斷玻璃板搬出到搬出目的地的搬出單元的保持構件，來保持前述帶式輸送機上的前述切斷玻璃板；在對任意的前述刻劃線進行的前述切斷動作的切斷步驟中，執行對切斷中的該玻璃板進行的前述切斷玻璃 板搬出動作的切斷玻璃板保持步驟。
3. 一種玻璃板切斷方法，係具有：玻璃板搬入動作，將作為切斷對象且形成有刻劃線的玻璃板搬入到搬送單元的帶式輸送機上的搬入位置；切斷動作，沿著被搬入到搬入位置的前述玻璃板的刻劃線施加按壓力從而切斷該玻璃板；以及切斷玻璃板搬出動作，將藉由切斷而得到的帶式輸送機上的切斷玻璃板搬出到搬出目的地；前述切斷動作係具有：切斷步驟，使施加按壓力的按壓構件沿著刻劃線移動而切斷該玻璃板；以及按壓構件移動步驟，使該切斷動作結束後的前述按壓構件移動到下一個按壓對象的刻劃線的位置；在對任意的刻劃線持續執行前述切斷步驟且朝下一個刻劃線的按壓構件移動步驟中，能夠同時對切斷玻璃板執行切斷玻璃板搬出動作；前述切斷玻璃板搬出動作係包括切斷玻璃板保持步驟，該切斷玻璃板保持步驟係藉由用以將前述切斷玻璃板搬出到搬出目的地的搬出單元的保持構件，來保持前述帶式輸送機上的前述切斷玻璃板；在對任意的前述刻劃線進行的前述切斷動作的切斷步驟中，執行對切斷中的該玻璃板進行的前述切斷玻璃板搬出動作的切斷玻璃板保持步驟。
4. 如請求項3所記載之玻璃板切斷方法，其中進一步具有玻璃板搬送動作，該玻璃板搬送動作係使被搬入到前述 帶式輸送機上的搬入位置的玻璃板朝輸送機搬送方向移動；前述切斷玻璃板搬出動作係進一步包括將被前述保持構件保持的切斷玻璃板搬出到搬出目的地的切斷玻璃板搬出步驟；前述按壓構件移動步驟、前述切斷玻璃板搬出步驟以及前述玻璃板搬送動作以使作業時間重疊的方式被同時進行。
5. 如請求項4所記載之玻璃板切斷方法，其中前述玻璃板搬入動作係與對前一個切斷對象的玻璃板進行的玻璃板搬送動作同時被進行。
6. 如請求項1至5中任一項所記載之玻璃板切斷方法，其中進一步具備：玻璃板位置的檢測動作，檢測被搬入到前述搬入位置的前述玻璃板的位置；以及更新動作，根據預先記錄的前述刻劃線的線位置資訊、與由前述檢測動作所檢測的前述玻璃板的位置資訊，對被搬入的實際的玻璃基板的線位置資訊進行更新。
7. 如請求項1至5中任一項所記載之玻璃板切斷方法，其中前述切斷步驟係包括移動限制步驟，該移動限制步驟係在利用前述按壓構件按壓前述玻璃板時，藉由用以覆蓋位於前述按壓構件的周圍的前述玻璃板的至少一部分的移動限制構件，來限制玻璃板朝與按壓方向相反方向 移動。
8. 一種玻璃板切斷裝置，係具備：搬送單元，其具備有載置作為切斷對象且形成有刻劃線的玻璃板的帶式輸送機、以及使該帶式輸送機作動的驅動機構，藉由使該驅動機構作動而使玻璃板朝搬送方向移動；按壓單元，對前述帶式輸送機上所載置的前述玻璃板施加用於切斷玻璃板的按壓力；以及搬出單元，將藉由切斷而得到的帶式輸送機上的切斷玻璃板搬出到搬出目的地；前述按壓單元係具備：按壓構件，對前述玻璃板施加按壓力；以及按壓構件移動機構，用於進行切斷動作，該切斷動作係使抵壓於前述玻璃板的該按壓構件沿著前述刻劃線移動從而切斷前述玻璃板；前述搬出單元係具備：保持構件，用於保持前述切斷玻璃板；以及保持構件移動機構，使前述帶式輸送機上的切斷玻璃板朝搬出目的地移動；該搬出單元係在前述按壓單元的切斷步驟中，使前述保持構件移動機構作動從而使前述帶式輸送機上的前述切斷玻璃板朝前述搬出目的地移動。
9. 如請求項8所記載之玻璃板切斷裝置，其中前述搬送單元係在前述按壓單元的按壓構件移動步驟中，使前述驅動機構作動從而使前述帶式輸送機上的前述玻璃板朝前述搬送方向移動。
10. 如請求項8或9所記載之玻璃板切斷裝置，其中前述搬出單元的保持構件係可保持前述帶式輸送機上的複數個切斷玻璃板。
11. 如請求項8所記載之玻璃板切斷裝置，其中具備有複數個前述按壓單元。
12. 如請求項8或11所記載之玻璃板切斷裝置，其中前述按壓構件係沿著前述刻劃線滾動移動的按壓輥，該按壓輥係以可變更滾動移動方向的狀態被安裝。
13. 如請求項12所記載之玻璃板切斷裝置，其中前述按壓單元進一步具備有移動限制構件，該移動限制構件係限制受到前述按壓力的前述玻璃板朝與按壓方向相反方向移動。
14. 如請求項13所記載之玻璃板切斷裝置，其中前述移動限制構件係覆蓋被覆區域，該被覆區域係位於前述按壓構件的周圍的前述玻璃板的至少一部分。
15. 如請求項13所記載之玻璃板切斷裝置，其中前述移動限制構件係被設置成包圍被施加前述按壓力的位置，且面對玻璃板的上表面。
16. 如請求項13所記載之玻璃板切斷裝置，其中前述移動限制構件係具備有被設置成面對前述被覆區域的一個以上的限制構件。
17. 如請求項16所記載之玻璃板切斷裝置，其中一個以上的前述限制構件係具備相對於按壓輥可接近分離移動的水平移動單元。
18. 如請求項8或9所記載之玻璃板切斷裝置，其中進一步具備有對載置玻璃板的帶式輸送機的表面進行清潔的清潔機構。
19. 如請求項18所記載之玻璃板切斷裝置，其中進一步具備有回收碎屑的碎屑回收部。
20. 如請求項8或11所記載之玻璃板切斷裝置，其中前述按壓單元係具備有吹氣噴嘴，該吹氣噴嘴係朝前述按壓構件之與前述玻璃板抵接的面噴吹空氣。